JP3178184B2 - 誘電体バリヤ放電ランプ - Google Patents
誘電体バリヤ放電ランプInfo
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- JP3178184B2 JP3178184B2 JP24609793A JP24609793A JP3178184B2 JP 3178184 B2 JP3178184 B2 JP 3178184B2 JP 24609793 A JP24609793 A JP 24609793A JP 24609793 A JP24609793 A JP 24609793A JP 3178184 B2 JP3178184 B2 JP 3178184B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、光化学反応用
の紫外線光源として使用される放電ランプの一種で、誘
電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成し、該エキ
シマ分子から放射される光を利用するいわゆる誘電体バ
リヤ放電ランプの改良に関する。
の紫外線光源として使用される放電ランプの一種で、誘
電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成し、該エキ
シマ分子から放射される光を利用するいわゆる誘電体バ
リヤ放電ランプの改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】本発明に関連した技術としては、例え
ば、日本国公開特許公報平２ー７３５３号があり、そこ
には、放電容器にエキシマ分子を形成する放電用ガスを
充填し、誘電体バリヤ放電（別名オゾナイザ放電あるい
は無声放電。電気学会発行改定新版「放電ハンドブッ
ク」平成１年６月再版７刷発行第２６３ページ参照）に
よってエキシマ分子を形成せしめ、該エキシマ分子から
放射される光を取り出す放射器、すなわち誘電体バリヤ
放電ランプについて記載されており、該放電容器は円筒
状であり、該放電容器の少なくとも一部は該誘電体バリ
ヤ放電の誘電体を兼ねており、該誘電体の少なくとも一
部は該エキシマ分子から放射される光に対して光透過性
であり、該光透過性誘電体の少なくとも一部に導電性網
状電極が設けられた誘電体バリヤ放電ランプ構造が記載
されている。上記のような誘電体バリヤ放電ランプは、
従来の低圧水銀放電ランプや高圧アーク放電ランプには
無い種々の特長を有しているため有用である。しかし、
上記のような誘電体バリヤ放電ランプは、従来のランプ
とは全く異なった構造のランプであるのにもかかわら
ず、ランプの保持方法について十分な検討がなされてい
ないという問題があった。
ば、日本国公開特許公報平２ー７３５３号があり、そこ
には、放電容器にエキシマ分子を形成する放電用ガスを
充填し、誘電体バリヤ放電（別名オゾナイザ放電あるい
は無声放電。電気学会発行改定新版「放電ハンドブッ
ク」平成１年６月再版７刷発行第２６３ページ参照）に
よってエキシマ分子を形成せしめ、該エキシマ分子から
放射される光を取り出す放射器、すなわち誘電体バリヤ
放電ランプについて記載されており、該放電容器は円筒
状であり、該放電容器の少なくとも一部は該誘電体バリ
ヤ放電の誘電体を兼ねており、該誘電体の少なくとも一
部は該エキシマ分子から放射される光に対して光透過性
であり、該光透過性誘電体の少なくとも一部に導電性網
状電極が設けられた誘電体バリヤ放電ランプ構造が記載
されている。上記のような誘電体バリヤ放電ランプは、
従来の低圧水銀放電ランプや高圧アーク放電ランプには
無い種々の特長を有しているため有用である。しかし、
上記のような誘電体バリヤ放電ランプは、従来のランプ
とは全く異なった構造のランプであるのにもかかわら
ず、ランプの保持方法について十分な検討がなされてい
ないという問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、光の
取り出し効率が十分で、かつ、ランプの保持が容易であ
る誘電体バリヤ放電ランプを提供することである。
取り出し効率が十分で、かつ、ランプの保持が容易であ
る誘電体バリヤ放電ランプを提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記本発明の目的は、少
なくとも外形が概略円筒状である放電容器に誘電体バリ
ヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充
填され、該放電容器の外壁の少なくとも一部は、該エキ
シマ分子から放射される光に対して光透過性であり、か
つ、該誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ねており、該光透
過性誘電体の少なくとも一部に導電性網状電極が設けら
れた誘電体バリヤ放電ランプにおいて、該放電容器の少
なくとも一端に該導電性網状電極の外径以下の外径を有
する口金を設けた構成にすることによって達成される。
また、該口金がランプを冷却するための通気孔を有する
ように構成することによって、本発明の目的はよりいっ
そう達成される。
なくとも外形が概略円筒状である放電容器に誘電体バリ
ヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充
填され、該放電容器の外壁の少なくとも一部は、該エキ
シマ分子から放射される光に対して光透過性であり、か
つ、該誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ねており、該光透
過性誘電体の少なくとも一部に導電性網状電極が設けら
れた誘電体バリヤ放電ランプにおいて、該放電容器の少
なくとも一端に該導電性網状電極の外径以下の外径を有
する口金を設けた構成にすることによって達成される。
また、該口金がランプを冷却するための通気孔を有する
ように構成することによって、本発明の目的はよりいっ
そう達成される。
【０００５】
【作用】本発明者等は、少なくとも外形が概略円筒状で
ある放電容器に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子
を形成する放電用ガスが充填され、該放電容器の外壁の
少なくとも一部は、該エキシマ分子から放射される光に
対して光透過性であり、かつ、該誘電体バリヤ放電の誘
電体を兼ねており、該光透過性誘電体の少なくとも一部
に導電性網状電極が設けられた誘電体バリヤ放電ランプ
において、光の取り出し効率について詳細な検討を行っ
たところ、光の取り出し効率は、該誘電体バリヤ放電ラ
ンプの保持方法、特に、該誘電体バリヤ放電ランプの端
部に設けた口金の構造に大きく作用されることを発見し
た。すなわち、口金の外径が該導電性網状電極の外径を
越えると、光取り出し効率が低下することを発見した。
さらに、この原因が、円筒状の誘電体バリヤ放電ランプ
独特の配光分布に起因することも発見した。図２は、配
光分布の説明図であって、直管状の蛍光ランプやハロゲ
ンランプの配光分布が、ランプの管軸に直角な方向の、
すなわちθがπ／２の方向の光出力を直径とした円状曲
線２１になるのに対して、誘電体バリヤ放電ランプの配
光分布は、θが０およびπ付近において円状の分布より
も光出力が大きくなった分布２２をしている。すなわ
ち、誘電体バリヤ放電ランプにおいては、その管軸に近
接した方向に放射される光の割合が蛍光ランプなどに比
較して大きく、従って、口金の外径が該導電性網状電極
の外径を越えると、光取り出し効率が低下する。すなわ
ち、口金の構造によって光出力、言い換えると光り取り
出し効率が低下するのは、円筒状誘電体バリヤ放電ラン
プに、特有の現象である。
ある放電容器に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子
を形成する放電用ガスが充填され、該放電容器の外壁の
少なくとも一部は、該エキシマ分子から放射される光に
対して光透過性であり、かつ、該誘電体バリヤ放電の誘
電体を兼ねており、該光透過性誘電体の少なくとも一部
に導電性網状電極が設けられた誘電体バリヤ放電ランプ
において、光の取り出し効率について詳細な検討を行っ
たところ、光の取り出し効率は、該誘電体バリヤ放電ラ
ンプの保持方法、特に、該誘電体バリヤ放電ランプの端
部に設けた口金の構造に大きく作用されることを発見し
た。すなわち、口金の外径が該導電性網状電極の外径を
越えると、光取り出し効率が低下することを発見した。
さらに、この原因が、円筒状の誘電体バリヤ放電ランプ
独特の配光分布に起因することも発見した。図２は、配
光分布の説明図であって、直管状の蛍光ランプやハロゲ
ンランプの配光分布が、ランプの管軸に直角な方向の、
すなわちθがπ／２の方向の光出力を直径とした円状曲
線２１になるのに対して、誘電体バリヤ放電ランプの配
光分布は、θが０およびπ付近において円状の分布より
も光出力が大きくなった分布２２をしている。すなわ
ち、誘電体バリヤ放電ランプにおいては、その管軸に近
接した方向に放射される光の割合が蛍光ランプなどに比
較して大きく、従って、口金の外径が該導電性網状電極
の外径を越えると、光取り出し効率が低下する。すなわ
ち、口金の構造によって光出力、言い換えると光り取り
出し効率が低下するのは、円筒状誘電体バリヤ放電ラン
プに、特有の現象である。
【０００６】少なくとも外形が概略円筒状である放電容
器に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する
放電用ガスが充填され、該放電容器の外壁の少なくとも
一部は、該エキシマ分子から放射される光に対して光透
過性であり、かつ、該誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ね
ており、該光透過性誘電体の少なくとも一部に導電性網
状電極が設けられた誘電体バリヤ放電ランプにおいて、
該放電容器の少なくとも一端に該導電性網状電極の外径
以下の外径を有する口金を設けると、まず第一に光の取
り出し効率を低下させること無く、第二に太く、かつ、
複雑な構造をした同軸円筒の端部を直接支持する場合に
比較し、ランプの位置を容易に、精密に設定出来るよう
になる。なお、本発明における口金とは、誘電体バリヤ
放電ランプの放電容器とは独立したランプ保持を目的と
した構造物で、接着剤等による接着、あるいは圧入など
によって放電容器に固着されているものをいう。さら
に、この発明における該導電性網状電極の外径とは、放
電容器に装着した状態で測定された網状電極の外径であ
る。たとえば、直径ｄｍｍの素線を交差させた円筒状網
を直径Ｄｍｍの放電容器に装着した場合の該導電性網状
電極の外径は、素線の「重なり」の関係でｄの４倍とＤ
の和になる。
器に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する
放電用ガスが充填され、該放電容器の外壁の少なくとも
一部は、該エキシマ分子から放射される光に対して光透
過性であり、かつ、該誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ね
ており、該光透過性誘電体の少なくとも一部に導電性網
状電極が設けられた誘電体バリヤ放電ランプにおいて、
該放電容器の少なくとも一端に該導電性網状電極の外径
以下の外径を有する口金を設けると、まず第一に光の取
り出し効率を低下させること無く、第二に太く、かつ、
複雑な構造をした同軸円筒の端部を直接支持する場合に
比較し、ランプの位置を容易に、精密に設定出来るよう
になる。なお、本発明における口金とは、誘電体バリヤ
放電ランプの放電容器とは独立したランプ保持を目的と
した構造物で、接着剤等による接着、あるいは圧入など
によって放電容器に固着されているものをいう。さら
に、この発明における該導電性網状電極の外径とは、放
電容器に装着した状態で測定された網状電極の外径であ
る。たとえば、直径ｄｍｍの素線を交差させた円筒状網
を直径Ｄｍｍの放電容器に装着した場合の該導電性網状
電極の外径は、素線の「重なり」の関係でｄの４倍とＤ
の和になる。
【０００７】該口金をランプを冷却するための通気孔を
有する構造にすると、ランプの冷却が容易になり、高出
力の誘電体バリヤ放電ランプが容易に得られる。該口金
をシリコンゴムあるいはフッ素樹脂で構成すると、該材
料は弾力性があるので、該口金を放電容器の端部に取り
付け易い、電極に接続したリード線が取り出しやすいと
いう利点が生じる。
有する構造にすると、ランプの冷却が容易になり、高出
力の誘電体バリヤ放電ランプが容易に得られる。該口金
をシリコンゴムあるいはフッ素樹脂で構成すると、該材
料は弾力性があるので、該口金を放電容器の端部に取り
付け易い、電極に接続したリード線が取り出しやすいと
いう利点が生じる。
【０００８】
【実施例】本発明の一実施例である同軸円筒形誘電体バ
リヤ放電ランプの概略図を図１に示す。放電容器１は全
長約１５０ｍｍの石英ガラス製で、外径１４ｍｍの内側
管２、肉厚１ｍｍ内径約２５ｍｍの外側管３を同軸に配
置して中空円筒状にしたものである。外側管３は誘電体
バリヤ放電の誘電体バリヤと光取り出し窓を兼用してお
り、外面には光を透過する金属製網状電極４が設けられ
ている。内側管２の外表面には光反射板を兼ねたアルミ
ニウム電極５が設けられている。２０は、アルミニウム
電極５を機械的、化学的に保護する目的で設けた付加型
のシリコンゴムからなる保護膜である。また、放電容器
１の一端にバリウムゲッタ６が設けられている。網状電
極４は、軸方向に伸縮性のあるシームレスに編んだ円筒
状網で、該円筒状金属網のなかに放電容器１を挿入し、
ランプの軸方向に引っ張ることによって外側管３の外側
に密接された網状電極５が形成される。従って、該円筒
状網電極の外径は、約２７．４ｍｍになる。該放電容器
の両端に、シリコンゴムからなり、外径が２４ｍｍで、
通気孔１２，１３を有する口金１０、１１を、シリコン
ゴム系の接着材を使用いて装着した。接着材は図示して
いない。
リヤ放電ランプの概略図を図１に示す。放電容器１は全
長約１５０ｍｍの石英ガラス製で、外径１４ｍｍの内側
管２、肉厚１ｍｍ内径約２５ｍｍの外側管３を同軸に配
置して中空円筒状にしたものである。外側管３は誘電体
バリヤ放電の誘電体バリヤと光取り出し窓を兼用してお
り、外面には光を透過する金属製網状電極４が設けられ
ている。内側管２の外表面には光反射板を兼ねたアルミ
ニウム電極５が設けられている。２０は、アルミニウム
電極５を機械的、化学的に保護する目的で設けた付加型
のシリコンゴムからなる保護膜である。また、放電容器
１の一端にバリウムゲッタ６が設けられている。網状電
極４は、軸方向に伸縮性のあるシームレスに編んだ円筒
状網で、該円筒状金属網のなかに放電容器１を挿入し、
ランプの軸方向に引っ張ることによって外側管３の外側
に密接された網状電極５が形成される。従って、該円筒
状網電極の外径は、約２７．４ｍｍになる。該放電容器
の両端に、シリコンゴムからなり、外径が２４ｍｍで、
通気孔１２，１３を有する口金１０、１１を、シリコン
ゴム系の接着材を使用いて装着した。接着材は図示して
いない。
【０００９】放電容器の放電空間７に放電用ガスとして
キセノンガスを３００Ｔｏｒｒ封入した。周波数２０キ
ロヘルツの電源８でランプ長１ｃｍあたり２ワットの電
力で放電させたところ、１７２ｎｍとその付近の紫外線
が高効率で放射された。該口金が該導電性網状電極の外
径未満の外径を有するので、光の取り出し効率を低下さ
せること無く、さらに、太く、かつ、複雑な構造をした
同軸円筒の端部を直接支持する場合に比較し、ランプの
位置を容易に、精密に設定することが出来た。また、該
口金に設けた通気孔に窒素ガスを流してランプを冷却す
ることにより、前記の３倍の電気入力で点灯しても、効
率が低下しない高出力の誘電体バリヤ放電ランプ得られ
た。さらに、口金の材質がシリコンゴムなので、弾力性
があるので放電容器への装着が容易に行え、かつ１７２
ｎｍとその付近の紫外線に対しても十分な耐性があるの
で十分な寿命を有するなどの利点が生じた。
キセノンガスを３００Ｔｏｒｒ封入した。周波数２０キ
ロヘルツの電源８でランプ長１ｃｍあたり２ワットの電
力で放電させたところ、１７２ｎｍとその付近の紫外線
が高効率で放射された。該口金が該導電性網状電極の外
径未満の外径を有するので、光の取り出し効率を低下さ
せること無く、さらに、太く、かつ、複雑な構造をした
同軸円筒の端部を直接支持する場合に比較し、ランプの
位置を容易に、精密に設定することが出来た。また、該
口金に設けた通気孔に窒素ガスを流してランプを冷却す
ることにより、前記の３倍の電気入力で点灯しても、効
率が低下しない高出力の誘電体バリヤ放電ランプ得られ
た。さらに、口金の材質がシリコンゴムなので、弾力性
があるので放電容器への装着が容易に行え、かつ１７２
ｎｍとその付近の紫外線に対しても十分な耐性があるの
で十分な寿命を有するなどの利点が生じた。
【００１０】シリコンゴムの代わりに、フッ素樹脂の口
金を使用しても上記実施例と同様の効果が得られた。ま
た、セラミックスあるいは金属の口金を使用しても、光
の取り出し効率を低下させることが無く、ランプの位置
を容易に、精密に設定することが出来などの効果が得ら
れることは、自明である。
金を使用しても上記実施例と同様の効果が得られた。ま
た、セラミックスあるいは金属の口金を使用しても、光
の取り出し効率を低下させることが無く、ランプの位置
を容易に、精密に設定することが出来などの効果が得ら
れることは、自明である。
【００１１】
【発明の効果】上記したように、本発明によれば、光の
取り出し効率が十分で、かつ、ランプの保持が容易であ
る誘電体バリヤ放電ランプをを提供できる。
取り出し効率が十分で、かつ、ランプの保持が容易であ
る誘電体バリヤ放電ランプをを提供できる。
【図１】本発明の誘電体バリヤ放電ランプの実施例の説
明図である。
明図である。
【図２】配光分布の説明図である。
１ 放電容器 ２ 内側管 ３ 外側管 ４ 円筒状網電極 ５ アルミニウム電極 ６ ゲッタ ８ 電源 １０，１１ 口金 １２，１３ 通気孔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き 審査官 江成 克己 (56)参考文献 特開 平２−7353（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−137640（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01J 61/04 G21K 5/00
Claims (3)
- 【請求項１】 外形が概略円筒状である放電容器に誘電
体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガ
スが充填され、該放電容器の外壁の少なくとも一部は、
該エキシマ分子から放射される光に対して光透過性であ
り、かつ、該誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ねており、
該光透過性誘電体の少なくとも一部に導電性網状電極が
設けられた誘電体バリヤ放電ランプにおいて、該放電容
器の少なくとも一端に該導電性網状電極の外径以下の外
径を有する口金を設けたことを特徴とした誘電体バリヤ
放電ランプ。 - 【請求項２】 該口金がランプを冷却するための通気孔
を有することを特徴とした請求項１に記載の誘電体バリ
ヤ放電ランプ。 - 【請求項３】 該口金がシリコンゴムあるいはフッ素樹
脂であることを特徴とした請求項１に記載の誘電体バリ
ヤ放電ランプ。
Priority Applications (10)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24609793A JP3178184B2 (ja) | 1993-09-08 | 1993-09-08 | 誘電体バリヤ放電ランプ |
| TW086106221A TW348262B (en) | 1993-09-08 | 1994-09-01 | Dielectric barrier discharge lamp |
| TW083108047A TW324106B (en) | 1993-09-08 | 1994-09-01 | Dielectric barrier layer discharge lamp |
| DE69402491T DE69402491T2 (de) | 1993-09-08 | 1994-09-07 | Dielektrikumbegrenzte Entladungslampe |
| EP96103794A EP0721204B1 (en) | 1993-09-08 | 1994-09-07 | Dielectric barrier discharge lamp |
| EP94114054A EP0642153B1 (en) | 1993-09-08 | 1994-09-07 | Dielectric barrier discharge lamp |
| DE69419163T DE69419163T2 (de) | 1993-09-08 | 1994-09-07 | Entladungslampe mit dieelektrischer Barriere |
| KR1019940022656A KR100238642B1 (ko) | 1993-09-08 | 1994-09-08 | 유전체 배리어 방전램프 |
| US08/303,033 US5581152A (en) | 1993-09-08 | 1994-09-08 | Dielectric barrier discharge lamp |
| KR1019990026316A KR100268706B1 (ko) | 1993-09-08 | 1999-07-01 | 유전체 배리어 방전램프 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24609793A JP3178184B2 (ja) | 1993-09-08 | 1993-09-08 | 誘電体バリヤ放電ランプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0778592A JPH0778592A (ja) | 1995-03-20 |
| JP3178184B2 true JP3178184B2 (ja) | 2001-06-18 |
Family
ID=17143450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24609793A Expired - Fee Related JP3178184B2 (ja) | 1993-09-08 | 1993-09-08 | 誘電体バリヤ放電ランプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3178184B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3487771B2 (ja) * | 1998-09-29 | 2004-01-19 | 株式会社オーク製作所 | 気体冷却式誘電体バリア放電ランプ |
| JP3491566B2 (ja) * | 1999-07-05 | 2004-01-26 | ウシオ電機株式会社 | 誘電体バリア放電ランプ |
| JP3606154B2 (ja) * | 2000-03-30 | 2005-01-05 | ウシオ電機株式会社 | 誘電体バリア放電ランプ装置 |
| JP7115036B2 (ja) * | 2018-05-25 | 2022-08-09 | ウシオ電機株式会社 | エキシマランプ |
-
1993
- 1993-09-08 JP JP24609793A patent/JP3178184B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0778592A (ja) | 1995-03-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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