JP3172324U

JP3172324U - Substrate transfer device

Info

Publication number: JP3172324U
Application number: JP2011005729U
Authority: JP
Inventors: 國忠劉; 志忠李; 鵬聖錢
Original assignee: Gintech Energy Corp
Current assignee: Gintech Energy Corp
Filing date: 2011-09-30
Publication date: 2011-12-15
Anticipated expiration: 2021-09-30

Abstract

【課題】搬送する基板に破片や裂け目が生じにくい基板搬送装置を提案すること。
【解決手段】伝動軸２２０を２つの支持ベース２１０の間で回転させるように、伝動軸２２０の両端部分２２４は、それぞれ支持ベース２１０に接続される。支持軸２３０の両端部分２３６は、それぞれ支持ベース２１０に接続される。支持軸２３０は、伝動軸２２０の上方に位置する。第１のローラー２４０は、複数間隔を置いて伝動軸２２０に固定され、伝動軸２２０と同期回転して、第１のローラー２４０上に位置する基板２６０を搬送することに用いられる。第２のローラー２５０は、第１のローラー２４０との間に基板２６０が挟まれて搬送されるように、回転可能に支持軸２３０に接続され、基板２６０の上表面に接触する。
【選択図】図３To provide a substrate transfer device in which fragments and tears are hardly generated on a substrate to be transferred.
Both end portions of a transmission shaft are connected to the support base so that the transmission shaft is rotated between two support bases. Both end portions 236 of the support shaft 230 are connected to the support base 210, respectively. The support shaft 230 is located above the transmission shaft 220. The first roller 240 is fixed to the transmission shaft 220 at a plurality of intervals, and is used to convey the substrate 260 positioned on the first roller 240 by rotating in synchronization with the transmission shaft 220. The second roller 250 is rotatably connected to the support shaft 230 so as to be conveyed while being sandwiched between the first roller 240 and the upper surface of the substrate 260.
[Selection] Figure 3

Description

本考案は、基板搬送装置に関するものである。 The present invention relates to a substrate transfer apparatus.

近年、製造業において、競争が激しくなっているため、メーカは、限りある時間において数多くの製品を生産できると、高い競争力を持つようになる。そのため、自動化装置の重要性が日増しに高まっている。 In recent years, in the manufacturing industry, competition has intensified, and manufacturers can be highly competitive if they can produce many products in a limited time. For this reason, the importance of automated devices is increasing day by day.

図１は、従来の基板搬送装置１００の正面図を示す。図２は、図１に示す基板搬送装置１００が基板１４０を搬送する時の側面模式図を示す。図１と図２をともに参照すると、基板搬送装置１００は、支持ベース１１０と、下伝動軸１２０と、上伝動軸１３０と、下ローラー１２２と、上ローラー１３２と、を備える。そのうち、支持ベース１１０は、下伝動軸１２０と上伝動軸１３０を連動させて回転させる。下ローラー１２２は、差し込みピン１２４によって下伝動軸１２０に固定されている。円筒状の外形を有する上ローラー１３２は、差し込みピン１３４の貫通によって伝動軸１３０に固定されている。そのため、下ローラー１２２は、下伝動軸１２０の回転に伴って回転し、上ローラー１３２は、上伝動軸１３０の回転に伴って回転する。上ローラー１３２には、ゴム輪１３６が設けられ、下ローラー１２２には、ゴム輪１２６が設けられている。方向ｘに基板１４０を搬送する場合に、支持ベース１１０は、ゴム輪１３６とゴム輪１２６とが連動して基板１４０を移動させるように、下伝動軸１２０を制御して方向１５２に回転させ、上伝動軸１３０を制御して方向１５４に回転させる。一方で、上ローラー１３２は、基板１４０が方向ｚに向かって浮かぶことを抑える機能を更に有する。 FIG. 1 shows a front view of a conventional substrate transfer apparatus 100. FIG. 2 is a schematic side view when the substrate transfer apparatus 100 shown in FIG. Referring to FIGS. 1 and 2, the substrate transport apparatus 100 includes a support base 110, a lower transmission shaft 120, an upper transmission shaft 130, a lower roller 122, and an upper roller 132. Among them, the support base 110 rotates the lower transmission shaft 120 and the upper transmission shaft 130 in conjunction with each other. The lower roller 122 is fixed to the lower transmission shaft 120 by an insertion pin 124. The upper roller 132 having a cylindrical outer shape is fixed to the transmission shaft 130 by penetration of the insertion pin 134. Therefore, the lower roller 122 rotates with the rotation of the lower transmission shaft 120, and the upper roller 132 rotates with the rotation of the upper transmission shaft 130. The upper roller 132 is provided with a rubber ring 136, and the lower roller 122 is provided with a rubber ring 126. When transporting the substrate 140 in the direction x, the support base 110 controls the lower transmission shaft 120 to rotate in the direction 152 so that the rubber ring 136 and the rubber ring 126 move together to move the substrate 140. The upper transmission shaft 130 is controlled to rotate in the direction 154. On the other hand, the upper roller 132 further has a function of suppressing the substrate 140 from floating in the direction z.

しかしながら、上伝動軸１３０は、長時間の使用によって変形した場合に、２つの支持ベース１１０の間でまっすぐに回転することができなくなり、且つ、この上伝動軸１３０に差し込みピン１３４によって固定されている上ローラー１３２に設けたゴム輪１３６も、上伝動軸１３０の変形によって基板１４０に対して斜めに接触する。上ローラー１３２と下ローラー１２２は、どちらも上伝動軸１３０と下伝動軸１２０の回転に伴って回転するものであり、どちらも自発動力を有する動輪であるため、基板１４０は、上ローラー１３２から発生する方向ｙの剪断応力を受けやすく、破片や裂け目が発生してしまう。 However, when the upper transmission shaft 130 is deformed by long-term use, the upper transmission shaft 130 cannot rotate straight between the two support bases 110 and is fixed to the upper transmission shaft 130 by the insertion pin 134. The rubber ring 136 provided on the upper roller 132 is also in contact with the substrate 140 obliquely by the deformation of the upper transmission shaft 130. The upper roller 132 and the lower roller 122 both rotate with the rotation of the upper transmission shaft 130 and the lower transmission shaft 120, and both are driving wheels having spontaneous power. It tends to be subjected to the shearing stress in the direction y, and fragments and tears are generated.

そこで、上記事情を鑑みて、本考案は、搬送する基板に破片や裂け目が生じにくい基板搬送装置を提案することを課題とする。 Therefore, in view of the above circumstances, an object of the present invention is to propose a substrate transport apparatus in which fragments and tears are unlikely to occur on a transported substrate.

本考案の実施形態は、２つの支持ベースと、伝動軸と、支持軸と、複数の第１のローラーと、複数の第２のローラーとを備える基板搬送装置である。伝動軸は、前記支持ベースの間で回転するように、両端部分がそれぞれ前記支持ベースに接続される。支持軸は、両端部分がそれぞれ前記支持ベースに接続される。支持軸は、前記伝動軸の上方に位置する。複数の第１のローラーは、互いに間隔を置いて前記伝動軸に固定され、前記伝動軸と同期回転して、上に位置する基板を搬送することに用いられる。複数の第２のローラーは、前記第１のローラーとの間に前記基板が挟まれて搬送されるように、回転可能に前記支持軸に接続され、前記基板の上表面に接触する。 An embodiment of the present invention is a substrate transport apparatus including two support bases, a transmission shaft, a support shaft, a plurality of first rollers, and a plurality of second rollers. Both ends of the transmission shaft are connected to the support base so as to rotate between the support bases. Both ends of the support shaft are respectively connected to the support base. The support shaft is located above the transmission shaft. The plurality of first rollers are fixed to the transmission shaft at an interval from each other, and are used to convey the substrate located above by rotating in synchronization with the transmission shaft. The plurality of second rollers are rotatably connected to the support shaft so as to be conveyed while being sandwiched between the first roller and the upper surface of the substrate.

また、本考案の実施形態において、前記支持軸は、複数の溝を有することが好ましい。 In the embodiment of the present invention, the support shaft preferably has a plurality of grooves.

また、本考案の実施形態において、前記溝に挟み置かれ、前記第２のローラーを位置決めすることに用いられる複数のＣ形ホックを更に備え、前記基板が前記第２のローラーを連動させて前記Ｃ形ホックの間で回転させることが好ましい。 In an embodiment of the present invention, the apparatus further includes a plurality of C-shaped hooks sandwiched between the grooves and used for positioning the second roller, wherein the substrate interlocks the second roller, and It is preferred to rotate between C-shaped hooks.

また、本考案の実施形態において、前記支持ベースの１つは、前記伝動軸を連動させて回転させることに用いられるモータを備えることが好ましい。 In an embodiment of the present invention, it is preferable that one of the support bases includes a motor that is used to rotate the transmission shaft in conjunction with each other.

また、本考案の実施形態において、それぞれが前記第１のローラーを貫通して前記伝送軸に接触する複数の固定デバイスを更に備え、前記伝動軸が、それぞれが前記固定デバイスと結合する複数の凹み区域を有することが好ましい。 In an embodiment of the present invention, each of the plurality of fixing devices may further include a plurality of fixing devices that pass through the first roller and contact the transmission shaft, and each of the transmission shafts may be coupled to the fixing device. It is preferable to have an area.

また、本考案の実施形態において、複数の前記第１のローラーぞれぞれは、第１のスロットを有することが好ましい。 In the embodiment of the present invention, it is preferable that each of the plurality of first rollers has a first slot.

また、本考案の実施形態において、複数の前記第１のローラーそれぞれは、前記第１のスロットに設けられる第１のゴム輪を更に備えることが好ましい。 In the embodiment of the present invention, each of the plurality of first rollers preferably further includes a first rubber ring provided in the first slot.

また、本考案の実施形態において、複数の前記第２のローラーの両端部分それぞれは、第２のスロットを有することが好ましい。 In the embodiment of the present invention, it is preferable that each of both end portions of the plurality of second rollers has a second slot.

また、本考案の実施形態において、複数の前記第２のローラーそれぞれは、それぞれが前記第２のスロットに設けられる２つの第２のゴム輪を更に備えることが好ましい。 In the embodiment of the present invention, it is preferable that each of the plurality of second rollers further includes two second rubber rings respectively provided in the second slot.

また、本考案の実施形態において、２つの前記支持ベースそれぞれは、前記伝動軸の前記端部が回転自在に結合される軸受けを備えることが好ましい。 In the embodiment of the present invention, each of the two support bases preferably includes a bearing to which the end of the transmission shaft is rotatably coupled.

本考案の実施形態においては、基板が第１のローラーと第２のローラーの間に挟まれ、第１のローラーが固定デバイスによって伝動軸に固定されているため、支持ベースのモータが伝動軸を連動させて回転させる場合に、第１のローラーは伝動軸と同期回転して基板を搬送することができる。基板が第１のローラーによって搬送される際に、基板は、第２のローラーを連動させてＣ形ホックの間で回転させることができる。このような構成によって、第２のローラーは、自発動力を持たず、受動的に回転する受動輪となるため、基板に対して、基板の浮きを抑える機能のみを有し、基板の移動方向に垂直な剪断応力を発生しにくく、基板に破片や裂け目を引き起こしにくい。一方で、第２のローラーは、支持軸に接触する固定デバイスを１つも有さず、第２のローラーの両側のＣ形ホックのみによって位置決めされるので、支持軸の変形によって基板の移動方向に垂直な剪断応力を発生しにくいため、支持軸の使用寿命を延長できる。 In the embodiment of the present invention, since the substrate is sandwiched between the first roller and the second roller, and the first roller is fixed to the transmission shaft by a fixing device, the support-based motor has the transmission shaft. When rotating in conjunction with each other, the first roller can rotate in synchronization with the transmission shaft and transport the substrate. As the substrate is transported by the first roller, the substrate can be rotated between the C-shaped hooks in conjunction with the second roller. With such a configuration, the second roller does not have spontaneous power and becomes a passive wheel that rotates passively, and therefore has only a function of suppressing the floating of the substrate with respect to the substrate, and in the moving direction of the substrate. It is difficult to generate vertical shear stress, and it is difficult to cause debris and tears on the substrate. On the other hand, the second roller does not have any fixing device that contacts the support shaft, and is positioned only by the C-shaped hooks on both sides of the second roller. Since it is difficult for vertical shear stress to occur, the service life of the support shaft can be extended.

従来の基板搬送装置の正面図を示す。The front view of the conventional board | substrate conveyance apparatus is shown. 図１に示す基板搬送装置が基板を搬送する時の側面模式図を示す。The side surface schematic diagram when the board | substrate conveyance apparatus shown in FIG. 1 conveys a board | substrate is shown. 本考案の実施形態における基板搬送装置の正面図を示す。The front view of the board | substrate conveyance apparatus in embodiment of this invention is shown. 図３に示す支持軸と第２のローラーの斜視図を示す。FIG. 4 is a perspective view of a support shaft and a second roller shown in FIG. 3. 図４に示す支持軸と第２のローラーの分解図を示す。FIG. 5 shows an exploded view of the support shaft and the second roller shown in FIG. 4. 図３に示す基板搬送装置が基板を搬送する時の側面模式図を示す。The side surface schematic diagram when the board | substrate conveyance apparatus shown in FIG. 3 conveys a board | substrate is shown.

以下、図面を参照しながら、本考案を明確にするため、本考案の実施形態について説明する。しかしながら、この実施形態が本考案を制限するものではないことを了解すべきである。つまり、説明する実施形態は本考案の一例であって、実施形態の構成が必須なものではない。なお、図面を簡略化するため、従来から慣用の構造とデバイスについては図面に簡単に示している。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings to clarify the present invention. However, it should be understood that this embodiment does not limit the present invention. That is, the embodiment to be described is an example of the present invention, and the configuration of the embodiment is not essential. In order to simplify the drawing, the conventionally used structure and device are simply shown in the drawing.

図３は、本考案の実施形態における基板搬送装置２００の正面図を示す。図４は、図３に示す支持軸２３０と第２のローラー２５０の斜視図を示す。図５は、図４に示す支持軸２３０と第２のローラー２５０の分解図を示す。図３〜図５を参照すると、基板搬送装置２００は、２つの支持ベース２１０と、伝動軸２２０と、支持軸２３０と、複数（図では４つ）の第１のローラー２４０と、複数（図では２つ）の第２のローラー２５０と、複数（図では４つ）のＣ形ホック２３４とを備える。伝動軸２２０が２つの支持ベース２１０の間で回転できるように、伝動軸２２０の２つの端部２２４は、それぞれ支持ベース２１０に接続される。 FIG. 3 is a front view of the substrate transfer apparatus 200 according to the embodiment of the present invention. FIG. 4 is a perspective view of the support shaft 230 and the second roller 250 shown in FIG. FIG. 5 shows an exploded view of the support shaft 230 and the second roller 250 shown in FIG. 3 to 5, the substrate transport apparatus 200 includes two support bases 210, a transmission shaft 220, a support shaft 230, a plurality (four in the figure) of first rollers 240, and a plurality (see FIG. In the figure, two (2) second rollers 250 and a plurality (four in the figure) of C-shaped hooks 234 are provided. The two ends 224 of the transmission shaft 220 are each connected to the support base 210 so that the transmission shaft 220 can rotate between the two support bases 210.

支持軸２３０の２つの端部２３６は、それぞれ支持ベース２１０に接続される。支持軸２３０は、伝動軸２２０の上方に位置し、溝２３２を有する。支持軸２３０は、第２のローラー２５０の貫通孔２５６を貫通する。第１のローラー２４０は、複数、間隔を置いて伝動軸２２０に固定され、伝動軸２２０と同期回転し、第１のローラー２４０の上に位置する基板２６０を搬送することに用いられる。基板２６０が第１のローラー２４０と第２のローラー２５０との間に挟まれて搬送されるように、第２のローラー２５０は、回転可能に支持軸２３０に接続され、基板２６０の上表面に接触する。Ｃ形ホック２３４は、溝２３２に挟み置かれ、第２のローラー２５０を位置決めすることに用いられる。基板２６０が移動する場合に、基板２６０は、摩擦力によって２つのＣ形ホック２３４間で第２のローラー２５０を連動させて回転させることができる。なお、２つのＣ形ホック２３４の間の距離Ｄ１は、第２のローラー２５０の長さの距離Ｄ２よりやや大きく、例えば距離Ｄ２と距離Ｄ１の差が約０．５ミリメートルである。 Two ends 236 of the support shaft 230 are connected to the support base 210, respectively. The support shaft 230 is located above the transmission shaft 220 and has a groove 232. The support shaft 230 passes through the through hole 256 of the second roller 250. A plurality of first rollers 240 are fixed to the transmission shaft 220 at intervals, and are used to convey the substrate 260 positioned on the first roller 240 while rotating in synchronization with the transmission shaft 220. The second roller 250 is rotatably connected to the support shaft 230 so that the substrate 260 is sandwiched and conveyed between the first roller 240 and the second roller 250, and is attached to the upper surface of the substrate 260. Contact. The C-shaped hook 234 is placed between the grooves 232 and used to position the second roller 250. When the substrate 260 moves, the substrate 260 can be rotated by interlocking the second roller 250 between the two C-shaped hooks 234 by a frictional force. The distance D1 between the two C-shaped hooks 234 is slightly larger than the distance D2 of the length of the second roller 250. For example, the difference between the distance D2 and the distance D1 is about 0.5 millimeter.

本実施形態において、支持ベース２１０の１つは、連結器（ｃｏｕｐｌｉｎｇ）を介して伝動軸２２０の端部２２４に接続され、伝動軸２２０を連動させて回転させることができるモータ２１２を有する。支持ベース２１０は、伝動軸２２０の端部２２４が回転自在に結合される軸受け２１４を更に備える。固定デバイス２４２は、第１のローラー２４０を貫通して伝動軸２２０に接触し、且つ、伝動軸２２０が固定デバイス２４２と結合する凹み区域２２２を有するため、第１のローラー２４０は、伝動軸２２０の回転に伴って同期回転できる。 In the present embodiment, one of the support bases 210 is connected to the end 224 of the transmission shaft 220 via a coupling, and has a motor 212 that can rotate the transmission shaft 220 in conjunction with it. The support base 210 further includes a bearing 214 to which an end 224 of the transmission shaft 220 is rotatably coupled. Since the fixing device 242 has a recessed area 222 that passes through the first roller 240 and contacts the transmission shaft 220, and the transmission shaft 220 is coupled to the fixing device 242, the first roller 240 is connected to the transmission shaft 220. Can be rotated synchronously with rotation.

なお、第１のローラー２４０は、第１のスロット２４４を有する。第１のゴム輪２４６は、第１のスロット２４４に設けられて基板２６０の下表面に接触する。第２のローラー２５０の両端部分は、それぞれ、第２のスロット２５２を有する。第２のゴム輪２５４は、第２のスロット２５２に設けられて基板２６０の上表面に接触する。第１のゴム輪２４６と第２のゴム輪２５４は、基板２６０との間の摩擦力を増加できるほか、第１のローラー２４０と第２のローラー２５０が基板２６０に傷をつけることを避けることができる。 Note that the first roller 240 has a first slot 244. The first rubber ring 246 is provided in the first slot 244 and contacts the lower surface of the substrate 260. Each end portion of the second roller 250 has a second slot 252. The second rubber ring 254 is provided in the second slot 252 and contacts the upper surface of the substrate 260. The first rubber ring 246 and the second rubber ring 254 can increase the frictional force between the substrate 260 and also prevent the first roller 240 and the second roller 250 from scratching the substrate 260. Can do.

具体的には、基板搬送装置２００が基板２６０を搬送する場合に、支持ベース２１０におけるモータ２１２は、伝動軸２２０を連動させて回転させ、伝動軸２２０に固定された第１のローラー２４０を伝動軸２２０に伴って回転させる。この時、第１のローラー２４０の第１のスロット２４４における第１のゴム輪２４６が基板２６０の下表面に接触するため、第１のゴム輪２４６は、摩擦力によって、基板２６０を連動させて移動させることができる。基板２６０が移動する場合に、基板２６０の上表面が、摩擦力によって、２つのＣ形ホック２３４の間で第２のローラー２５０を連動させて回転させることができる。 Specifically, when the substrate transport apparatus 200 transports the substrate 260, the motor 212 in the support base 210 rotates the transmission shaft 220 in conjunction with the first roller 240 fixed to the transmission shaft 220. Rotate along axis 220. At this time, since the first rubber ring 246 in the first slot 244 of the first roller 240 is in contact with the lower surface of the substrate 260, the first rubber ring 246 causes the substrate 260 to interlock with the friction force. Can be moved. When the substrate 260 moves, the upper surface of the substrate 260 can rotate in conjunction with the second roller 250 between the two C-shaped hooks 234 by frictional force.

このような構成とすることで、第２のローラー２５０が自発動力を持たず、受動的に回転する受動輪となるため、基板２６０に対して、第２のローラー２５０は、基板２６０が方向ｚに向かって浮かぶことを抑える機能のみを有し、ｙ方向への剪断応力を発生させにくく、基板２６０に破片や裂け目が生じにくい。又、第２のローラー２５０は、支持軸２３０に固定するための固定デバイスを１つも有さず、第２のローラーの両側のＣ形ホック２３４のみによって位置決めされるので、第２のローラー２５０が支持軸２３０の変形によって剪断応力を発生させにくいため、支持軸２３０の使用寿命を延長できる。 By adopting such a configuration, the second roller 250 does not have a spontaneous power and becomes a passive wheel that passively rotates. Therefore, the second roller 250 has the substrate 260 in the direction z with respect to the substrate 260. Only has a function of suppressing the floating toward the surface, it is difficult to generate a shearing stress in the y direction, and fragments and tears are hardly generated on the substrate 260. In addition, the second roller 250 does not have any fixing device for fixing to the support shaft 230 and is positioned only by the C-shaped hooks 234 on both sides of the second roller. Since it is difficult to generate shear stress due to the deformation of the support shaft 230, the service life of the support shaft 230 can be extended.

一方、第２のローラー２５０が自発動力を持たず、受動的に回転する受動輪であるため、支持軸２３０は、回転できないように支持ベース２１０に固定されて接続されてよいし、回転可能に支持ベース２１０に接続されてもよい。回転できない例としては、支持軸２３０が支持ベース２１０に接着される方式である。回転可能な例としては、支持軸２３０が支持ベース２１０における軸受け２１４に回転自在に結合される方式である。支持軸２３０を支持ベース２１０に接続する方法は、前記２種の方式に限定されない。すなわち、第２のローラー２５０が、支持軸２３０において、基板２６０による摩擦力を受けて受動的に回転できればよい。 On the other hand, since the second roller 250 is a passive wheel that does not have spontaneous power and passively rotates, the support shaft 230 may be fixedly connected to the support base 210 so as not to rotate, or can rotate. The support base 210 may be connected. As an example in which the support shaft 230 cannot be rotated, the support shaft 230 is bonded to the support base 210. For example, the support shaft 230 is rotatably coupled to the bearing 214 in the support base 210. The method of connecting the support shaft 230 to the support base 210 is not limited to the above two types. That is, it is only necessary that the second roller 250 can passively rotate on the support shaft 230 under the frictional force of the substrate 260.

前記基板搬送装置２００は、太陽電池エッチング装置であってよく、第１のローラー２４０の材質は、耐化学性塗布剤で被覆された炭素繊維であってよく、その塗布剤の例としては、ポリフッ化ビニリデン（Ｐｏｌｙｖｉｎｙｌｉｄｅｎｅｆｌｕｏｒｉｄｅ；ＰＶＤＦ）又はポリエチレン（Ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ；ＰＥ）である。伝動軸２２０と支持軸２３０の材質は、ポリ塩化ビニル（Ｐｏｌｙｖｉｎｙｌｃｈｌｏｒｉｄｅ；ＰＶＣ）であってよい。基板２６０は、シリコンウェハーであってよい。Ｃ形ホック２３４の材質は、耐酸性と耐アルカリ性を有するポリプロピレン（Ｐｏｌｙｐｒｏｐｙｌｅｎｅ；ＰＰ）であってよい。固定デバイス２４２は、ねじ又は差し込みピンを備えてよい。支持ベース２１０は、歯車群を含んでもよい。 The substrate transport apparatus 200 may be a solar cell etching apparatus, and the material of the first roller 240 may be carbon fiber coated with a chemical-resistant coating agent. It is a vinylidene fluoride (Polyvinylidene fluoride; PVDF) or polyethylene (Polyethylene; PE). The material of the transmission shaft 220 and the support shaft 230 may be polyvinyl chloride (PVC). The substrate 260 may be a silicon wafer. The material of the C-shaped hook 234 may be polypropylene (Polypropylene; PP) having acid resistance and alkali resistance. The fixation device 242 may comprise a screw or a bayonet pin. The support base 210 may include a gear group.

以下の説明においては、前述したデバイスの相互連結関係についての説明は省き、基板搬送装置２００が基板２６０を搬送することに関わる技術内容について補充する。 In the following description, the description of the above-described device interconnection relationship will be omitted, and technical contents relating to the substrate transfer apparatus 200 transferring the substrate 260 will be supplemented.

図６は、図３に示す基板搬送装置２００が基板２６０を搬送する時の側面模式図を示す。図３と図６をともに参照すると、ユーザーは、基板搬送装置２００を用いて方向ｘに基板２６０を搬送しようとする場合に、支持ベース２１０のモータ２１２が伝動軸２２０を連動させて方向２７２に回転させるように設定すればよい。第１のローラー２４０は伝動軸２２０に固定されているため、伝動軸２２０の回転に伴って方向２７２に同期回転する。この時、基板２６０は、第１のローラー２４０の第１のゴム輪２４６によって方向ｘへ搬送される。ここで、方向ｘへ移動する基板２６０は、第２のローラー２５０の第２のゴム輪２５４に接触し、摩擦力によって、第２のローラー２５０を方向２７４に回転させる。このようにすることで、第２のローラー２５０は、基板２６０が方向ｚに向かって浮かぶことを抑える機能のみを有し、基板２６０に対して、方向ｙへの剪断応力を発生しないようになる。 FIG. 6 is a schematic side view when the substrate transfer apparatus 200 shown in FIG. Referring to FIG. 3 and FIG. 6, when the user attempts to transport the substrate 260 in the direction x using the substrate transport apparatus 200, the motor 212 of the support base 210 links the transmission shaft 220 in the direction 272. What is necessary is just to set so that it may rotate. Since the first roller 240 is fixed to the transmission shaft 220, the first roller 240 rotates synchronously in the direction 272 with the rotation of the transmission shaft 220. At this time, the substrate 260 is conveyed in the direction x by the first rubber ring 246 of the first roller 240. Here, the substrate 260 moving in the direction x comes into contact with the second rubber ring 254 of the second roller 250 and rotates the second roller 250 in the direction 274 by frictional force. By doing so, the second roller 250 has only a function of suppressing the substrate 260 from floating in the direction z, and does not generate a shear stress in the direction y with respect to the substrate 260. .

上述した本考案の実施形態は、従来の技術と比べて、下記のような長所を有する。 The above-described embodiment of the present invention has the following advantages over the prior art.

（１）第２のローラーは、自発動力を持たず、受動的に回転する受動輪であるため、基板に対して、基板の浮きを抑える機能のみを有し、基板の移動方向に垂直な（方向ｙ）剪断応力を発生しにくく、基板に破片や裂け目を引き起こしにくいこと。 (1) Since the second roller is a passive wheel that does not have spontaneous power and passively rotates, it has only a function of suppressing the floating of the substrate with respect to the substrate, and is perpendicular to the moving direction of the substrate ( Direction y) It is difficult to generate shear stress, and it is difficult to cause fragments and tears on the substrate.

（２）第２のローラーは、支持軸に固定するための固定デバイスを１つも有さず、第２のローラーの両側のＣ形ホックのみによって位置決めされるので、支持軸２３０の変形によって基板の移動方向に垂直な剪断応力を発生させにくいため、支持軸の使用寿命を延長できること。 (2) The second roller does not have any fixing device for fixing to the support shaft, and is positioned only by the C-shaped hooks on both sides of the second roller. Since it is difficult to generate shear stress perpendicular to the moving direction, the service life of the support shaft can be extended.

以上、本考案の好適な実施形態を開示したが、この実施形態は決して本考案を限定するものではなく、当業者であれば、本考案の精神と領域を離脱しない範囲内で、多様の変更や修飾を加えることができ、従って本考案の保護範囲は、実用新案登録請求の範囲で指定した内容を基準とする。 The preferred embodiments of the present invention have been disclosed above. However, the embodiments are not intended to limit the present invention, and various modifications can be made by those skilled in the art without departing from the spirit and scope of the present invention. Therefore, the protection scope of the present invention is based on the contents specified in the utility model registration request.

１００基板搬送装置
１１０支持ベース
１２０下伝動軸
１２２下ローラー
１２４差し込みピン
１２６ゴム輪
１３０上伝動軸
１３２上ローラー
１３４差し込みピン
１３６ゴム輪
１４０基板
１５２方向
１５４方向
２００基板搬送装置
２１０支持ベース
２１２モータ
２１４軸受け
２２０伝動軸
２２２凹み区域
２２４端部
２３０支持軸
２３２溝
２３４Ｃ形ホック
２３６端部
２４０第１のローラー
２４２固定デバイス
２４４第１のスロット
２４６第１のゴム輪
２５０第２のローラー
２５２第２のスロット
２５４第２のゴム輪
２５６貫通孔
２６０基板
２７２方向
２７４方向
Ｄ１距離
Ｄ２距離
ｘ方向
ｙ方向
ｚ方向 DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Substrate conveyance apparatus 110 Support base 120 Lower transmission shaft 122 Lower roller 124 Insertion pin 126 Rubber wheel 130 Upper transmission shaft 132 Upper roller 134 Insertion pin 136 Rubber ring 140 Substrate 152 Direction 154 Direction 200 Substrate conveyance device 210 Support base 212 Motor 214 Bearing 220 Transmission shaft 222 Recessed section 224 End 230 Support shaft 232 Groove 234 C-shaped hook 236 End 240 First roller 242 Fixing device 244 First slot 246 First rubber ring 250 Second roller 252 Second slot 254 Second rubber ring 256 Through hole 260 Substrate 272 direction 274 direction D1 distance D2 distance x direction y direction z direction

Claims

２つの支持ベースと、
前記支持ベースの間で回転するように、両端部分がそれぞれ前記支持ベースに接続される伝動軸と、
両端部分がそれぞれ前記支持ベースに接続され、前記伝動軸の上方に位置する支持軸と、
互いに間隔を置いて前記伝動軸に固定され、前記伝動軸と同期回転して、上に位置する基板を搬送することに用いられる複数の第１のローラーと、
前記第１のローラーとの間に前記基板が挟まれて搬送されるように、回転可能に前記支持軸に接続され、前記基板の上表面に接触する複数の第２のローラーと、
を備える基板搬送装置。 Two support bases;
A transmission shaft having both end portions connected to the support base so as to rotate between the support bases;
Both ends are connected to the support base, and a support shaft positioned above the transmission shaft;
A plurality of first rollers that are fixed to the transmission shaft at an interval from each other, are rotated synchronously with the transmission shaft, and are used to transport a substrate located above;
A plurality of second rollers that are rotatably connected to the support shaft and are in contact with the upper surface of the substrate so that the substrate is sandwiched and conveyed between the first roller and the first roller;
A substrate transfer apparatus comprising:

前記支持軸は、複数の溝を有する請求項１に記載の基板搬送装置。 The substrate transport apparatus according to claim 1, wherein the support shaft has a plurality of grooves.

前記溝に挟み置かれ、前記第２のローラーを位置決めすることに用いられる複数のＣ形ホックを更に備え、前記基板が前記第２のローラーを連動させて前記Ｃ形ホックの間で回転させる請求項２に記載の基板搬送装置。 And a plurality of C-shaped hooks sandwiched between the grooves and used for positioning the second roller, wherein the substrate rotates between the C-shaped hooks in conjunction with the second roller. Item 3. The substrate transfer apparatus according to Item 2.

前記支持ベースの１つは、前記伝動軸を連動させて回転させることに用いられるモータを備える請求項１に記載の基板搬送装置。 The substrate transfer apparatus according to claim 1, wherein one of the support bases includes a motor used for rotating the transmission shaft in conjunction with the motor.

それぞれが前記第１のローラーを貫通して前記伝動軸に接触する複数の固定デバイスを更に備え、前記伝動軸が、それぞれが前記固定デバイスと結合する複数の凹み区域を有する請求項１に記載の基板搬送装置。 2. The device of claim 1, further comprising a plurality of fixing devices each penetrating the first roller and contacting the transmission shaft, wherein the transmission shaft has a plurality of recessed areas each coupled to the fixing device. Substrate transfer device.

複数の前記第１のローラーそれぞれは、第１のスロットを有する請求項１に記載の基板搬送装置。 The substrate transfer apparatus according to claim 1, wherein each of the plurality of first rollers has a first slot.

複数の前記第１のローラーそれぞれは、前記第１のスロットに設けられる第１のゴム輪を更に備える請求項６に記載の基板搬送装置。 The substrate transfer apparatus according to claim 6, wherein each of the plurality of first rollers further includes a first rubber ring provided in the first slot.

複数の前記第２のローラーの両端部分それぞれは、第２のスロットを有する請求項１に記載の基板搬送装置。 The substrate transfer apparatus according to claim 1, wherein each of both end portions of the plurality of second rollers has a second slot.

複数の前記第２のローラーそれぞれは、それぞれが前記第２のスロットに設けられる２つの第２のゴム輪を更に備える請求項８に記載の基板搬送装置。 9. The substrate transfer apparatus according to claim 8, wherein each of the plurality of second rollers further includes two second rubber rings respectively provided in the second slot.

２つの前記支持ベースそれぞれは、前記伝動軸の前記端部が回転自在に結合される軸受けを備える請求項１に記載の基板搬送装置。 2. The substrate transfer apparatus according to claim 1, wherein each of the two support bases includes a bearing to which the end of the transmission shaft is rotatably coupled.