JP3171268U - 研磨機構 - Google Patents

Abstract

【課題】作業ステップを削減可能であり、研磨ホイールの位置を簡単に調整可能な研磨機構を提供する。【解決手段】研磨機構は、回転体１０と、第１研磨ホイール１３と、第２研磨ホイール１４と、第１固定手段３１と、第２固定手段３２と、スペーサーアセンブリ１５とを備える。第１固定手段３１は、第１本体部１３１を貫通し、回転体内に締結する。第２研磨ホイールは、第２本体部１４１及び第２研磨部を有する。第１及び第２研磨部は、互いに異なる直径を有し、互いに軸方向に離隔し、且つ、異なる研磨密度を有する。スペーサーアセンブリは、第１研磨ホイールと第２研磨ホイールとの間に介在する。第２固定手段は、第２本体部及びスペーサーアセンブリを貫通し、第１本体部内に締結して、第２本体部及び前記スペーサーアセンブリを、第１研磨ホイールの前記第１本体部に対して押圧すると共に、前記第１本体部上に固定する。【選択図】図２

Description

本考案は、研磨機構に関し、特には、研磨ホイールの位置調整機能を有する研磨機構に関する。

現在、研磨設備が広く採用されており、特には、研磨ワークピースの表面を研磨及び平滑化するように、研磨ホイール（例えば、サンドホイール又はブラシホイール）の使用を製造工場において見ることができる。したがって、研磨ホイールは、一般消費者により広く受け入れられている。

従来のサンドホイールでは、サンドホイールの研磨粒は、ほぼ同じ等級（グレード）である。したがって、ワークピースの鏡面研磨を実施しようとする場合、作業者は、所望の研磨ワークピースを得るように、粗研磨工程、それから、細研磨工程を順番に実行する必要がある。換言すると、様々な等級の研磨粒のサンドホイール又は細研磨工程のためのブラシホイールでの各作業工程が必要である。従来の構成（設計）では、異なる仕様の２つのサンドホイールを研磨装置の２つの駆動装置に搭載する。例えば、従来の研磨装置は、図１に示すとおり、異なるモータ３、４にそれぞれ駆動される２つのサンドホイール１、２を有する。

しかしながら、上記作業工程を実行する作業者にとってそれはより厄介である。（目が）粗い研磨ホイール及び（目が）細かい研磨ホイール（ブラシホイール）が同じ駆動装置を使用したとしても、研磨ホイール／ブラシホイールの取り付け及び取り外しのステップが不可欠である。この場合、作業者は研磨ホイールの取り付け及び取り外し時に、動的バランス、同心度、真円度等のような問題を考慮する必要がある。これらの問題を考慮することは、非常に時間の無駄である。

本考案の目的は、研磨機構を提供することにあり、一方では、作業ステップを削減可能であり、他方では、研磨ホイールの位置を簡単に調整可能である。

この目的を達成するために、本考案の研磨機構は、回転体と、第１研磨ホイールと、第２研磨ホイールと、少なくとも１つの第１固定（締結）手段と、少なくとも１つの第２固定（締結）手段と、スペーサーアセンブリ（組立体）とを備え、スペーサーアセンブリが第１研磨ホイールと第２研磨ホイールとの間に介在している。

本考案によれば、第１研磨ホイールは、第１本体部及び第１研磨部を含み、他方、第２研磨ホイールは、第２本体部及び第２研磨部を含む。第１及び第２研磨部は、互いに異なる直径を有し、互いに軸方向に離隔し、且つ、異なる研磨密度を有する。

少なくとも１つの第１固定（締結）手段は、第１本体部を貫通し、第１本体部を回転体に対して押圧すると共に回転体上に固定するように、回転体内に螺子式に締結（螺着）する。少なくとも１つの第２固定（締結）手段は、第２本体部及びスペーサーアセンブリを貫通し、第２本体部及びスペーサーアセンブリを第１研磨ホイールの第１本体部に対して押圧すると共に第１本体部上に固定するように、第１本体部内に螺子式に締結する。

上記固定を通して、１つの駆動装置を使用して２つの研磨ホイールを駆動するだけで、
エネルギー及び設備コストを節約できるだけでなく、１回の研磨工程で粗研磨及び細研磨を完遂可能である。その上、２つの研磨ホイール間の間隙の調整が非常に簡単である。

第１研磨ホイールは、サンドホイールに関し、他方、第２研磨ホイールはブラシホイールに関する。特には、例えばウエハ研磨する、高研磨密度が必要とされるところの機会に、このようなアセンブリを採用可能である。少なくとも１つの第１及び第２研磨手段の両方は、ボルトに係る。

さらに、本考案によれば、スペーサーアセンブリは、少なくとも１つの弾性シート（例えば、ゴム弾性シート）からなり、２つの研磨ホイール間の間隙の微調整を容易にし、固定手段により受けるストレスを吸収する。

さらに、本考案によれば、回転体には、研磨スラリーを流すためのスラリー溝が内部に設けられている。

本考案の別の目的、利点、及び新規な特徴は、添付の図面と併せて以下の詳細な説明からさらに明らかなるであろう。

従来の２つのサンドホイールを有する研磨装置の斜視図。 本考案の研磨機構を示す断面図。 本考案の研磨機構を示す分解図。

図２及び３は、本考案の研磨機構の断面図及び分解図を表し、当該研磨機構は、回転体１０と、第１研磨ホイール１３と、第２研磨ホイール１４と、スペーサーアセンブリ１５と、複数の第１固定（締結）手段３１と、複数の第２固定（締結）手段３２とを備える。本考案によれば、回転体１０はモータスピンドル１１とフランジ１２とからなり、フランジ１２及びモータスピンドル１１が同軸上に配置されて同期して回転するように、フランジ１２はボルト３０でモータスピンドル１１の一端に螺子式に係合される。回転体１０には、研磨スラリーを流すためのスラリー溝１２１が内部に設けられている。

本考案によれば、カップ状のサンドホイールに係る第１研磨ホイール１３は、第１本体部１３１、及び、研磨粒を有する第１研磨部１３２を含み、第１本体部１３１及び第１研磨部１３２が１つに固定されている。カップ上のブラシホイールに係る第２研磨ホイール１４は、第２本体部１４１及び剛毛を有する第２研磨部１４２を含み、第２本体部１４１及び第２研磨部１４２は１つに固定されている。

第１研磨ホイール１３の第１本体部１３１は、例えばボルトである第１固定手段３１でフランジ１２の端面に螺子式に固定されている。スペーサーアセンブリ１５は、同じ又は異なる材質の複数のスペーサー１５１からなる。本考案では、スペーサー１５１は、少なくとも１つの弾性シートに関し、特には、ゴム弾性シートである。

例えばボルトである第２固定手段３２は、第２研磨ホイール１４の第２本体部１４１及びスペーサーアセンブリ１５の両方を貫通し、第１研磨ホイール１３の第１本体部１３１内に螺子式に固定され、第２研磨ホイール１４及びスペーサーアセンブリ１５を第１研磨ホール１３に固定して取り付けることが可能である。

本考案によれば、サンドホイールである第１研磨ホイール１３は、ワークピースの粗研磨に採用される。他方、ブラシホイールである第２研磨ホイール１４は、ワークピースの細研磨に利用される。換言すると、第２研磨ホール１４はより高い研磨密度を有する。さらに、第１研磨ホイール１３は、第２研磨ホイール１４の直径よりも大きい直径を有するので、第１研磨部１３２は、第２研磨部１４２より、さらに回転体１０の軸Ｘから離れている。第２研磨部１４２は、第１研磨部１３２よりも、軸方向の下方にさらに延びており、これらの間隙ｈは、利用時の必要性によって決定される。間隙ｈは、第１研磨部１３２の最外端面（自由端面）から、第２研磨部１４２の最外端面までの距離を表す。

上記構造を通して、研磨機構がワークピース研磨を実行するときに、外側に位置する第１研磨部１３２が最初に採用されてワークピースに粗研磨を実行し、そして、剛毛を有する第２研磨部１４２が細研磨のために続く。したがって、１の研磨ストロークにおいて、粗研磨及び細研磨の両方のステップを完遂可能である。これにより、時間及び工数を著しく節約可能であり、その上、より精密な研磨結果を得ることができる。

研磨部１３２、１４２が摩耗して交換が必要であるとき、２つの研磨部１３２、１４２間の間隙ｈを再調整又は再設定する必要があるところ、第２固定手段３２を最初に取り外す必要があり、そして、スペーサーアセンブリ１５の厚さを、スペーサー１５１の数を増減させることにより変更する。したがって、スペーサー１５１の厚さが、どの程度、間隙ｈを調整するかについて決定する。つまり、スペーサー１５１を薄くするほど、調整の範囲が広くなる。

特には、本考案の実施形態に採用された弾性シート（スペーサー１５１）は、いくつかの利点を有する。つまり、これらの弾性特徴は、間隙ｈの微調整を容易とするだけでなく、固定手段３１、３２により受けるストレスを吸収する。

本考案を好適な実施形態に関して説明したが、請求される本考案の技術的範囲から外れることなく、他の多くの可能な改変、変更が実施可能であることは理解されよう。

Claims (9)

1. 回転体と、
   第１本体部及び第１研磨部を含む第１研磨ホイールと、
   前記第１本体部を貫通し、前記回転体内に螺子式に締結して、前記第１本体部を前記回転体に対して押圧すると共に前記回転体上に固定する、少なくとも１つの第１固定手段と、
   第２本体部及び第２研磨部を含む第２研磨ホイールであって、前記第１及び前記第２研磨部が、互いに異なる直径を有し、互いに軸方向に離隔し、及びに、異なる研磨密度を有する、第２研磨ホイールと、
   前記第１研磨ホイールと前記第２研磨ホイールとの間に介在するスペーサーアセンブリと、
   前記第２本体部及び前記スペーサーアセンブリを貫通し、前記第１本体部内に締結して、前記第２本体部及び前記スペーサーアセンブリを、前記第１研磨ホイールの前記第１本体部に対して押圧すると共に、前記第１本体部上に固定する、少なくとも１つの第２固定手段と、
   を備えることを特徴とする研磨機構。
2. 前記第１研磨ホイールは、サンドホイールに関することを特徴とする請求項１に記載の研磨機構。
3. 前記第２研磨ホイールは、ブラシホイールに関することを特徴とする請求項２に記載の研磨機構。
4. 前記第２研磨ユニットは、ブラシホイールに関することを特徴とする請求項１に記載の研磨機構。
5. 前記スペーサーアセンブリは、少なくとも１つの弾性シートからなることを特徴とする請求項１に記載の研磨機構。
6. 前記少なくとも１つの弾性シートは、ゴム弾性シートであることを特徴とする請求項５に記載の研磨機構。
7. 前記少なくとも１つの第１固定手段は、ボルトに関することを特徴とする請求項１に記載の研磨機構。
8. 前記少なくとも１つの第２固定手段は、ボルトに関することを特徴とする請求項１に記載の研磨機構。
9. 前記回転体には、研磨スラリーを流すためのスラリー溝が内部に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の研磨機構。

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