JP3169037B2 - インクジェット記録ヘッドのノズルプレートの製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッドのノズルプレートの製造方法Info
- Publication number
- JP3169037B2 JP3169037B2 JP29418393A JP29418393A JP3169037B2 JP 3169037 B2 JP3169037 B2 JP 3169037B2 JP 29418393 A JP29418393 A JP 29418393A JP 29418393 A JP29418393 A JP 29418393A JP 3169037 B2 JP3169037 B2 JP 3169037B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- nozzle plate
- ink
- photosensitive resin
- resin material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 27
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 27
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 27
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 18
- 239000005871 repellent Substances 0.000 claims description 17
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 claims description 13
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims description 9
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims description 6
- 239000011800 void material Substances 0.000 claims description 4
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 claims description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 14
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 10
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 5
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 4
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 4
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 3
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N Butadiene Chemical compound C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001096 P alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- OFNHPGDEEMZPFG-UHFFFAOYSA-N phosphanylidynenickel Chemical compound [P].[Ni] OFNHPGDEEMZPFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 2
- 239000002952 polymeric resin Substances 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 2
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000521 B alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N Fumaric acid Chemical compound OC(=O)\C=C\C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930182556 Polyacetal Natural products 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 229920000297 Rayon Polymers 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001297 Zn alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N [Co].[Ni] Chemical compound [Co].[Ni] QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YWIHFOITAUYZBJ-UHFFFAOYSA-N [P].[Cu].[Sn] Chemical compound [P].[Cu].[Sn] YWIHFOITAUYZBJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000122 acrylonitrile butadiene styrene Polymers 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- QDWJUBJKEHXSMT-UHFFFAOYSA-N boranylidynenickel Chemical compound [Ni]#B QDWJUBJKEHXSMT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TVZPLCNGKSPOJA-UHFFFAOYSA-N copper zinc Chemical compound [Cu].[Zn] TVZPLCNGKSPOJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 1
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910001453 nickel ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000002964 rayon Substances 0.000 description 1
- 230000001846 repelling effect Effects 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-L terephthalate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)C1=CC=C(C([O-])=O)C=C1 KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1606—Coating the nozzle area or the ink chamber
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/162—Manufacturing of the nozzle plates
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1643—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by plating
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
ッドに適したノズルプレートの製造方法に関する。
記録媒体上に記録像を書込む形式のインクジェットプリ
ンタにおいては、ノズル回りの状態、つまり、ノズルの
周囲のインクの濡れによって、インク滴が飛翔方向にズ
レを生じるといった問題を抱えている。
7848号公報に開示されたノズルプレートは、スパッ
タリングによってノズルの内面とノズルプレートの表面
にフッ素樹脂等の撥インク性被膜を均一に形成して、ノ
ズル回りのインクの濡れを抑えるようにしたものであ
る。
生じないようにしているため、インク滴をノズルの軸線
方向に安定的に飛翔させることができる利点を有してい
るが、反面において、このものの撥インク性皮膜の形成
手法ではノズル内面への撥インク性皮膜の入り込み量が
一定しないため、入り込み量が大きすぎる場合には、メ
ニスカスの振動中心がその分ノズルプレートの表面から
離れてしまう結果、所要の量のインクを吐出させるため
に必要とするエネルギーが大きくなって吐出効率が悪く
なり、また入り込み量が少なすぎる場合には、メニスカ
スの振動中心がノズルプレートの表面近くになる結果、
インク滴が吐出した後のメニスカスの振動によりインク
滴が再吐出するという、いわゆるミスファイヤを起すな
ど、製品毎に大きなバラ付きが生じて信頼性を損ねてし
まうといった問題が生じる。
題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、
ノズル内面への撥インク性物質の入り込み量をある一定
の範囲に抑えて、インク滴吐出時の駆動エネルギの低減
を図りつつ、インク滴の安定的な吐出を実現させる記録
ヘッドに適したノズルプレートの製造方法を提案するこ
とにある。
ような課題を達成するために、感光性樹脂材をノズルプ
レートの裏面に圧接し、かつ該感光性樹脂材に熱を加え
て、吐出させる1発のインク滴のインク体積に対してノ
ズルプレートの表面からのノズル内空隙容積が0.05
乃至0.50となるような位置まで該感光性樹脂材の一
部をノズル内に入り込ませる工程と、該感光性樹脂材を
光により硬化させ、ついで硬化した該感光性樹脂材をマ
スキング材として少なくとも上記ノズルの内面と上記ノ
ズルプレートの表面に撥インク性の被覆層を形成する工
程と、を含む。
る。図1は、本発明の一実施例をなすノズルプレートの
製造工程、より詳しくはその表面処理工程について示し
たものであり、また、図2、図3は、この工程によって
形成されたノズルプレートについて示したものである。
は、金属、セラミックス、シリコン、ガラス、プラスチ
ック等で形成され、好ましくはチタン、クロム、鉄、コ
バルト、ニッケル、銅、亜鉛、スズ、金等の単一材、も
しくはニッケル−リン合金、スズ−銅−リン合金(リン
青銅)、銅−亜鉛合金、ステンレス鋼等の合金や、ポリ
カーボネイト、プリサルフォン、ABS樹脂(アクリル
ニトリル・ブタジエン・スチレン供重合)、ポリエチレ
ンテレフタレート、ポリアセタール及び各種の感光性樹
脂材で形成されていて、このノズルプレート1には、裏
面3側に大きく開口した漏斗状部分4aと、表面2側に
筒状に開口したオリフィス部分4bとからなる複数のノ
ズル孔4が設けられている。
めに、光により硬化する感光性樹脂フィルム5、一例と
して三菱レーヨン製ダイヤロンFRA305−38(商
品名)のドライフィルムレジストをラミネートし、つい
で、この感光性樹脂フィルム5に4.0kgf/cm2 の
圧力を加えつつ40〜70℃前後の温度で加熱して、ノ
ズル5の内部に、表面から5〜40μmの深さのところ
までフィルム5の一部を入り込ませる(図1(a))。
2から紫外線を照射して、ノズルプレート1の裏面3及
びノズル4内へ入り込んだ光感光性樹脂フィルム5全体
を硬化させる(同図(b))。
で共析メッキ層6をノズル4内へ入り込ませるその入り
込み量dを規制するための前処理工程として位置付けら
れる。
ために使用するこの感光性樹脂材は、一般にその粘度が
温度により大きく変化するため、所要のメッキ層入り込
み量d位置まで感光性樹脂フィルム5の一部をノズル4
内に入り込ませるには、加える圧力を一定にして、感光
性樹脂フィルム5に加える温度t、つまり加熱量を管理
するようにした方が得策である。
ト、つまり板厚Tが80μm、ノズル径Dが40μm、
ノズルの筒状部の長さlが35μmのノズルプレート1
を用い、この裏面3に肉厚が38μmの感光性樹脂フィ
ルム5を貼着して、これに4.0kgf/cm2 と5.0
kgf/cm2 の圧力を加えつつ種々の温度tで20秒間
加熱したところ、温度tと感光性樹脂フィルム5の入り
込み量fとの間に図5に示したような関係が得られた。
ための紫外線(波長365nm)の光量については、こ
の実施例の場合、750mJ/cm2 の露光量を要した。
ルイオンとポリテトラフルオロエチレン等の撥水性高分
子樹脂の粒子を電荷により分散させた電解液中に浸漬
し、液を攪拌しながらノズルプレート1の表面に共析メ
ッキ層6を形成する(同図(c))。
高分子材としては、ポリテトラフルオロエチレン、ポリ
バーフルオロアルコキシブタジエン、ポリフルオロビニ
リデン、ポリフルオロビニル、ポリジパーフルオロアル
キルフマレート等の樹脂を単独にあるいは混合したもの
として用いられる。
に制限はなく、ニッケル、銅、銀、亜鉛、錫等の適宜の
金属を選ぶことができるが、好ましくは、ニッケルやニ
ッケル−コバルト合金、ニッケル−リン合金、ニッケル
−ホウ素合金等の表面硬度が大で、しかも耐摩耗性に優
れたものが選定される。
の粒子は、ノズルプレート1の表面2と、表面2から与
えられた深さの点までノズル4の内周囲を均一に覆う。
ルプレート1の裏面3とノズル4内に入り込んだ感光性
樹脂フィルム5を溶解除去し、ついで、ノズルプレート
1に荷重を加えてその反りの発生を抑えつつ、これをポ
リテトラフルオロエチレンの融点以上の温度、例えば3
50℃以上の温度で加熱して、ノズルプレート1の表面
2と、与えられた深さの点までのノズルの内周面に硬度
の大なる撥インク性のメッキ層6を形成する(同図
(d))。
プレート1では、図2に示したように撥インク性メッキ
層6のノズル4内下縁がインクメニスカスの振動中心A
を決める重要な要素となる。
の振動中心Aまでのノズル内空隙容積をVm、ノズル4
の表面2から吐出直前のインクの前面Bまでの容積、つ
まり吐出させる1発のインク滴のインク体積をViとす
ると、メッキ層6の入り込み量dが小さい程Vm/Vi
も小さくなって、所望の吐出インク体積Viを得るため
のピエゾ駆動電圧を低く抑えることを可能となし、また
高価なドライバを不要にすることができるが、反面、入
り込み量dを小さくしすぎると、図6及び表1に見られ
るように飛行曲がりが発生する。
場合には、インク吐出後のメニスカスの引込み位置Cが
深くなって、ノズル4の前面からの気泡の引込みや、つ
ぎのインク滴吐出の際にインクの供給不足が生じて吐出
不良を惹起こす。
々に異ならせた板厚80μmのノズルプレート1を用意
し、これらをピエゾ駆動方式を採るオンデマンド型イン
クジェットプリンタに装着して、径が40μmのノズル
4から0.1μg/dotのインク滴を5KHzの応答
周波数で30秒間フルに吐出させる実験を100回行っ
てその際の飛行曲がり、吐出不良等をカウントしたとこ
ろ、下記の結果が得られた。
り、吐出させる1発のインク滴のインク体積Viに対す
るノズルプレート1の表面2からメニスカス形成面Aま
でのノズル4内空隙容積Vmの比が0.04を下回る
と、インク滴の飛行曲がりが急激に多くなり、またこの
比が0.50を越えると、急激に吐出不良が発生するこ
とが判った。
ィス部分4bを、裏面3側に大きく開口した漏斗状部分
4aを有するノズル4についての実験結果であるが、図
3に示したように、表面2側のオリフィス部分14bか
ら裏面3側へと緩やかにラッパ状に開口したノズル14
についても、実験の結果、同様の傾向を有することが明
らかになった。
04乃至0.50の範囲、より好ましくは0.05乃至
0.35の範囲になるようメッキ層6の入り込み量dを
定めればよいことが判った。
に関する本発明の第2の実施例を示したものである。
てゴム等の弾性板7をノズルプレート1の表面2に圧接
させて、その一部をノズル4内に所要の入り込み量dに
相当する量だけ入り込ませる。そしてつぎに、ノズル4
部分を含めてノズルプレート1の裏面3全体に、マスキ
ング材8としてドライフィルムレジストもしくは適宜の
可塑材8を塗布する(図4(a))。
ルムレジストを用いた場合には、裏面3から紫外線を照
射してこれを硬化させ、また、他の可塑材を用いた場合
には、加熱もしくは通常の乾燥処理によりこれを固化さ
せた上、ノズルプレート1の表面2から弾性材7を取除
く(図4(b))。
電荷により分散させた電解液中にこのノズルプレート1
を浸漬して、その表面2に共析メッキ層よりなる撥イン
ク性の被覆層9を形成するか、もしくは、スパッタリン
グ法もしくはディッピング法によりノズルプレート1の
表面2にフッ素系の高分子撥水剤を施して(図4
(c))、最後に適宜の処理液を用いてノズルプレート
1の裏面3からマスキング材8を溶解除去するようにす
る(図4(d))。
ルプレートの裏面からノズル内に入り込ませた感光性樹
脂材等をマスキング材としてノズルプレートの表面に撥
インク性被覆層を形成するようにしたので、メニスカス
の振動位置を規制する被覆層の入り込み量をこのマスキ
ング材により正しく管理して、製品毎のバラつきを生じ
させることなく、信頼性の高いノズルプレートを製造す
ることができる。
内に入り込ませた感光性樹脂材等をマスキング材として
ノズルプレートの表面に撥インク性被覆層を形成するよ
うにしたので、メニスカスの振動位置を規制する被覆層
の入り込み量をこのマスキング材により正しく管理する
ことができて、製品毎のバラつきを生じさせることな
く、信頼性の高いノズルプレートを形成することができ
る。
ズルプレートの成形工程を示した図である。
部の拡大断面図である。
要部の拡大断面図である。
ノズルプレートの成形工程を示した図である。
量との関係を示した図である。
回数の関係を示した図である。
のノズル内空隙容積 Vi 吐出させるインク滴の量
Claims (5)
- 【請求項1】 感光性樹脂材をノズルプレートの裏面に
圧接し、かつ該感光性樹脂材に熱を加えて、吐出させる
1発のインク滴のインク体積に対してノズルプレートの
表面からのノズル内空隙容積が0.05乃至0.50と
なるような位置まで該感光性樹脂材の一部をノズル内に
入り込ませる工程と、 該感光性樹脂材を光により硬化させ、ついで硬化した該
感光性樹脂材をマスキング材として少なくとも上記ノズ
ルの内面と上記ノズルプレートの表面に撥インク性の被
覆層を形成する工程と、 を含むインクジェット記録ヘッドのノズルプレートの製
造方法。 - 【請求項2】 上記感光性樹脂材のノズル内への入り込
み量を、圧力を一定にした上で温度を変えることにより
制御するようにしたことを特徴とする請求項1に記載の
インクジェット記録ヘッドのノズルプレートの製造方
法。 - 【請求項3】 ノズルプレートの表面に弾性材を積層
し、かつ該弾性材を加圧して、ノズルプレート表面から
の空間容積が、吐出させる1発のインク滴のインク体積
に対して0.05乃至0.50となる位置までノズル内
に該弾性材の一部をノズル内へ入り込ませる工程と、 少なくとも一部をノズル内の上記弾性材に突き当てるよ
うにして上記ノズルプレートの裏面にマスキング層を形
成する工程と、 上記弾性材を除去し、ついで上記マスキング層をマスキ
ング材としてして少なくとも上記ノズルの内面と上記ノ
ズルプレートの表面に撥インク性の被覆層を形成する工
程と、 からなるインクジェット記録ヘッドのノズルプレートの
製造方法。 - 【請求項4】 上記マスキング層を感光性樹脂材により
形成したことを特徴とする請求項3に記載のインクジェ
ット記録ヘッドのノズルプレートの製造方法。 - 【請求項5】 上記マスキング層を可塑材により形成し
たことを特徴とする請求項3に記載のインクジェット記
録ヘッドのノズルプレートの製造方法。
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29418393A JP3169037B2 (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | インクジェット記録ヘッドのノズルプレートの製造方法 |
FR9412950A FR2711577B1 (fr) | 1993-10-29 | 1994-10-28 | Plaque à buses pour imprimante à jets d'encre. |
IT94TO000869A IT1267477B1 (it) | 1993-10-29 | 1994-10-31 | Piastra ad ugelli per stampante a getto di inchiostro e procedimento per la sua fabbricazione. |
GB9422028A GB2283208B (en) | 1993-10-29 | 1994-10-31 | Nozzle plate for an ink jet printer and method of manufacturing said nozzle plate |
SG1996004424A SG48968A1 (en) | 1993-10-29 | 1994-10-31 | Nozzle plate for an ink jet printer and method of manufacturing said nozzle plate |
DE4438956A DE4438956C2 (de) | 1993-10-29 | 1994-10-31 | Düsenplatte für Tintenstrahldrucker und Verfahren zur Beschichtung derselben |
US08/641,807 US5759421A (en) | 1993-10-29 | 1996-05-02 | Nozzle plate for ink jet printer and method of manufacturing said nozzle plate |
US08/879,521 US6126269A (en) | 1993-10-29 | 1997-06-20 | Nozzle plate for ink jet printer and method of manufacturing said nozzle plate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29418393A JP3169037B2 (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | インクジェット記録ヘッドのノズルプレートの製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001005225A Division JP2001187453A (ja) | 2001-01-12 | 2001-01-12 | ピエゾ駆動型インクジェット記録ヘッドのノズルプレート |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07125220A JPH07125220A (ja) | 1995-05-16 |
JP3169037B2 true JP3169037B2 (ja) | 2001-05-21 |
Family
ID=17804390
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29418393A Expired - Lifetime JP3169037B2 (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | インクジェット記録ヘッドのノズルプレートの製造方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5759421A (ja) |
JP (1) | JP3169037B2 (ja) |
DE (1) | DE4438956C2 (ja) |
FR (1) | FR2711577B1 (ja) |
GB (1) | GB2283208B (ja) |
IT (1) | IT1267477B1 (ja) |
SG (1) | SG48968A1 (ja) |
Families Citing this family (42)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3264971B2 (ja) * | 1991-03-28 | 2002-03-11 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
US6561623B1 (en) * | 1995-08-31 | 2003-05-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for producing ink jet recording head and ink jet recording head produced by same |
US6109728A (en) * | 1995-09-14 | 2000-08-29 | Ricoh Company, Ltd. | Ink jet printing head and its production method |
JPH10101829A (ja) * | 1996-10-01 | 1998-04-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラスチック基材およびその製造方法、並びにインクジェットプリンタ用ヘッドおよびその製造方法 |
JPH11129483A (ja) * | 1997-07-03 | 1999-05-18 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド用オリフィスプレートの製造方法、オリフィスプレート、該オリフィスプレートを有する液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
WO1999012740A1 (fr) * | 1997-09-10 | 1999-03-18 | Seiko Epson Corporation | Structure poreuse, tete d'enregistrement par jet d'encre, procedes de fabrication et dispositif d'enregistrement par jet d'encre |
US6511156B1 (en) * | 1997-09-22 | 2003-01-28 | Citizen Watch Co., Ltd. | Ink-jet head nozzle plate, its manufacturing method and ink-jet head |
JP3559697B2 (ja) * | 1997-12-01 | 2004-09-02 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
US6409931B1 (en) * | 1998-01-26 | 2002-06-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of producing ink jet recording head and ink jet recording head |
JP2000086948A (ja) * | 1998-09-08 | 2000-03-28 | Seiko Epson Corp | インクジェット記録用顔料インク |
US6179978B1 (en) | 1999-02-12 | 2001-01-30 | Eastman Kodak Company | Mandrel for forming a nozzle plate having a non-wetting surface of uniform thickness and an orifice wall of tapered contour, and method of making the mandrel |
JP2000336294A (ja) | 1999-03-24 | 2000-12-05 | Seiko Epson Corp | 色再現性に優れたインクセットおよびイエローインク組成物 |
JP2001018398A (ja) * | 1999-07-09 | 2001-01-23 | Konica Corp | インクジェットヘッドのノズルプレートの製造方法 |
US6561624B1 (en) | 1999-11-17 | 2003-05-13 | Konica Corporation | Method of processing nozzle plate, nozzle plate, ink jet head and image forming apparatus |
US6821330B1 (en) | 2000-02-08 | 2004-11-23 | Seiko Epson Corporation | Ink composition and method of recording a recording medium using this |
EP1125992B1 (en) | 2000-02-08 | 2005-04-27 | Seiko Epson Corporation | Ink composition and method of recording a recording medium using this |
US6783580B2 (en) * | 2000-03-30 | 2004-08-31 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Environmentally friendly, reliable, fast drying ink for point-of-sale thermal ink jet application |
SE0003293D0 (sv) * | 2000-09-15 | 2000-09-15 | Aamic Ab | Dispensing nozzle |
JP4087085B2 (ja) | 2001-07-06 | 2008-05-14 | 株式会社日立製作所 | インクジェットヘッド |
US6737109B2 (en) * | 2001-10-31 | 2004-05-18 | Xerox Corporation | Method of coating an ejector of an ink jet printhead |
JP2003205610A (ja) * | 2002-01-15 | 2003-07-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | インクジェットヘッド用ノズル板及びその製造方法並びに該ノズル板を用いたインクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置 |
US20030215046A1 (en) * | 2002-05-16 | 2003-11-20 | Hornkohl Jason L. | Pressure generating structure |
CN1298537C (zh) * | 2002-06-27 | 2007-02-07 | 飞赫科技股份有限公司 | 喷孔片及其制程 |
JP4385675B2 (ja) * | 2003-07-31 | 2009-12-16 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェットヘッドの製造方法 |
US7293359B2 (en) * | 2004-04-29 | 2007-11-13 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method for manufacturing a fluid ejection device |
JP4349273B2 (ja) | 2004-12-17 | 2009-10-21 | セイコーエプソン株式会社 | 成膜方法、液体供給ヘッドおよび液体供給装置 |
JP2006181725A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-13 | Seiko Epson Corp | 成膜方法、液体供給ヘッドおよび液体供給装置 |
JP2006224402A (ja) * | 2005-02-16 | 2006-08-31 | Fuji Photo Film Co Ltd | ノズル板の製造方法及び液滴吐出ヘッドの製造方法 |
EP1871606A4 (en) * | 2005-04-04 | 2009-12-30 | Silverbrook Res Pty Ltd | METHOD FOR HYDROFUGATING A PRINTING HEAD BY APPLYING A COATING |
JP2006326873A (ja) * | 2005-05-23 | 2006-12-07 | Fujifilm Holdings Corp | ノズルプレートの製造方法 |
US7377620B2 (en) * | 2005-05-26 | 2008-05-27 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Hydrophobic nozzle exit with improved micro fluid ejection dynamics |
US20060274116A1 (en) * | 2005-06-01 | 2006-12-07 | Wu Carl L | Ink-jet assembly coatings and related methods |
US7926177B2 (en) * | 2005-11-25 | 2011-04-19 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Method of forming hydrophobic coating layer on surface of nozzle plate of inkjet printhead |
JP4225328B2 (ja) | 2006-07-20 | 2009-02-18 | セイコーエプソン株式会社 | 液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置、並びに吐出制御方法 |
JP4832325B2 (ja) | 2007-02-02 | 2011-12-07 | 富士フイルム株式会社 | ノズルプレートおよび画像形成装置 |
TWI342364B (en) * | 2007-06-29 | 2011-05-21 | Univ Nat Taiwan | Jets device |
DE102007051487A1 (de) * | 2007-10-27 | 2009-04-30 | Thinxxs Microtechnology Ag | Düsen-, Filter- oder/und Positionierelement |
JP2009191221A (ja) * | 2008-02-18 | 2009-08-27 | The Inctec Inc | インクジェット記録用油性白色インク組成物およびその製造方法 |
JP5519112B2 (ja) * | 2008-02-18 | 2014-06-11 | 株式会社Dnpファインケミカル | インクジェット記録用油性白色分散液、その製造方法およびインクジェット記録用油性白色インク組成物 |
US9220852B2 (en) * | 2012-04-10 | 2015-12-29 | Boehringer Ingelheim Microparts Gmbh | Method for producing trench-like depressions in the surface of a wafer |
US9701119B2 (en) * | 2014-06-12 | 2017-07-11 | Funai Electric Co., Ltd. | Fluid ejection chip including hydrophilic and hydrophopic surfaces and methods of forming the same |
WO2021021136A1 (en) | 2019-07-30 | 2021-02-04 | Hewlett-Packard Development Company L.P. | Uniform print head surface coating |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2460131C3 (de) * | 1974-12-19 | 1979-01-04 | Olympia Werke Ag, 2940 Wilhelmshaven | Verfahren zum Beschichten der Berandung und der Durchführung einer Düse |
US4296421A (en) * | 1978-10-26 | 1981-10-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording device using thermal propulsion and mechanical pressure changes |
JPS5565564A (en) * | 1978-11-09 | 1980-05-17 | Canon Inc | Recording head |
JPS57107848A (en) * | 1980-12-26 | 1982-07-05 | Ricoh Co Ltd | Ink jet nozzle plate |
US4728392A (en) * | 1984-04-20 | 1988-03-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ink jet printer and method for fabricating a nozzle member |
JPS62242546A (ja) * | 1986-04-16 | 1987-10-23 | Ricoh Co Ltd | オンデマンドインクジエツトヘツド及びその製造金具 |
JPS6322660A (ja) * | 1986-07-16 | 1988-01-30 | Nec Corp | インクジエツトヘツド |
DE3787254T2 (de) * | 1986-11-13 | 1994-01-05 | Canon Kk | Verfahren zur Oberflächenbehandlung eines Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes. |
JPH0764061B2 (ja) * | 1988-07-05 | 1995-07-12 | テクトロニックス・インコーポレイテッド | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
US4915718A (en) * | 1988-09-28 | 1990-04-10 | On Target Technology, Inc. | Fabrication of ink jet nozzles and resulting product |
US5136310A (en) * | 1990-09-28 | 1992-08-04 | Xerox Corporation | Thermal ink jet nozzle treatment |
DE69227659T2 (de) * | 1991-02-04 | 1999-06-17 | Seiko Epson Corp., Tokio/Tokyo | Farbstrahldruckkopf und herstellungsverfahren |
JPH04294145A (ja) * | 1991-03-25 | 1992-10-19 | Seiko Epson Corp | インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置 |
JP3264971B2 (ja) * | 1991-03-28 | 2002-03-11 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
US5434606A (en) * | 1991-07-02 | 1995-07-18 | Hewlett-Packard Corporation | Orifice plate for an ink-jet pen |
JP3196796B2 (ja) * | 1992-06-24 | 2001-08-06 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット記録ヘッドのノズル形成方法 |
JP3169032B2 (ja) * | 1993-02-25 | 2001-05-21 | セイコーエプソン株式会社 | ノズルプレートとその表面処理方法 |
US5350616A (en) * | 1993-06-16 | 1994-09-27 | Hewlett-Packard Company | Composite orifice plate for ink jet printer and method for the manufacture thereof |
-
1993
- 1993-10-29 JP JP29418393A patent/JP3169037B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-10-28 FR FR9412950A patent/FR2711577B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1994-10-31 IT IT94TO000869A patent/IT1267477B1/it active IP Right Grant
- 1994-10-31 DE DE4438956A patent/DE4438956C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1994-10-31 SG SG1996004424A patent/SG48968A1/en unknown
- 1994-10-31 GB GB9422028A patent/GB2283208B/en not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-05-02 US US08/641,807 patent/US5759421A/en not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-06-20 US US08/879,521 patent/US6126269A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
SG48968A1 (en) | 1998-05-18 |
FR2711577A1 (fr) | 1995-05-05 |
GB9422028D0 (en) | 1994-12-21 |
DE4438956C2 (de) | 2003-09-18 |
ITTO940869A0 (it) | 1994-10-31 |
US6126269A (en) | 2000-10-03 |
IT1267477B1 (it) | 1997-02-05 |
GB2283208B (en) | 1997-02-26 |
GB2283208A (en) | 1995-05-03 |
ITTO940869A1 (it) | 1996-05-01 |
FR2711577B1 (fr) | 1997-05-30 |
US5759421A (en) | 1998-06-02 |
JPH07125220A (ja) | 1995-05-16 |
DE4438956A1 (de) | 1995-05-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3169037B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドのノズルプレートの製造方法 | |
JP3169032B2 (ja) | ノズルプレートとその表面処理方法 | |
JP3264971B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
JP3245193B2 (ja) | インクジェットプリンタの印字ヘッド | |
US7513602B2 (en) | Coating method, liquid supplying head and liquid supplying apparatus | |
WO1999015337A1 (fr) | Plaquette perforee de tete a jet d'encre, procede permettant de la produire et tete a jet d'encre obtenue | |
JP2001187453A (ja) | ピエゾ駆動型インクジェット記録ヘッドのノズルプレート | |
US5617631A (en) | Method of making a liquid ink printhead orifice plate | |
JPH10217483A (ja) | インクジェットプリンターヘッド用ノズル板の製造方法 | |
JP2006297688A (ja) | ノズル板の製造方法、そのノズル板の製造方法を用いたノズル板およびそのノズル板を用いたインクジェットヘッド | |
JP3093634B2 (ja) | インクジェットプリンターヘッド用ノズル板の表面処理方法 | |
JPH08309997A (ja) | インクジェットプリンターヘッド用ノズル板の表面処理方法 | |
US6000783A (en) | Nozzle plate for ink jet recording apparatus and method of preparing said nozzle plate | |
JP2001018398A (ja) | インクジェットヘッドのノズルプレートの製造方法 | |
JP2001187447A (ja) | インクジェット記録ヘッドのノズルプレート | |
JPH09131880A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
JPH11147316A (ja) | インクジェット記録ヘッド及びノズル板の製造方法 | |
JP3474368B2 (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法並びにインクジェット記録装置 | |
JPH09277537A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
JPH106494A (ja) | インクジェットヘッド | |
JP2006231783A (ja) | 液滴吐出ヘッド | |
JPH10305584A (ja) | インクジェットプリンターヘッド用ノズル板の製造方法 | |
JP3152606B2 (ja) | インク記録装置 | |
JP2003266703A (ja) | 吐出ヘッド及び製膜装置及び電子機器 | |
JP2000185399A (ja) | インクジェットヘッド |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010214 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080316 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090316 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090316 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100316 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100316 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110316 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120316 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120316 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130316 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140316 Year of fee payment: 13 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |