JP3166863B2 - Surface acoustic wave propagation device - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明はフィルタや遅延線など
として用いられる弾性表面波伝搬装置に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface acoustic wave propagation device used as a filter or a delay line.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図９は、例えば文献IEEE Trans.Sonics
and Ultrasonics,Vol.SU-21,No.1,1974,pp7-11に示され
た従来のこの種の弾性表面波伝搬装置の構成図である。
図９において、９１は圧電体基板、９２は入力電気信号
を弾性表面波に変換する入力側すだれ状電極、９３は逆
に上記弾性表面波を出力電気信号に変換する出力側すだ
れ状電極、９４は入力側すだれ状電極９２への入力側端
子、９５は出力側すだれ状電極９３からの出力側端子で
ある。入力側すだれ状電極９２と出力側すだれ状電極９
３は圧電体基板９１上に配置されている。2. Description of the Related Art FIG. 9 shows, for example, the document IEEE Trans. Sonics.
and FIG. 7 is a configuration diagram of a conventional surface acoustic wave propagation device of this type shown in U.S.A. and Ultrasonics, Vol. SU-21, No. 1, 1974, pp7-11.
9, reference numeral 91 denotes a piezoelectric substrate; 92, an input-side interdigital electrode for converting an input electric signal into a surface acoustic wave; 93, an output-side interdigital electrode for converting the surface acoustic wave into an output electric signal; Is an input side terminal to the input side interdigital electrode 92, and 95 is an output side terminal from the output side interdigital electrode 93. Input-side interdigital electrode 92 and output-side interdigital electrode 9
3 is arranged on the piezoelectric substrate 91.
【０００３】次に、動作について説明する。入力側端子
９４に入力された入力電気信号は、入力側すだれ状電極
９２により弾性表面波に変換され、圧電体基板９１上を
伝搬する。出力側すだれ状電極９３に到達した弾性表面
波は、出力側すだれ状電極９３において、再び電気信号
に変換され、出力側端子９５から出力電気信号として取
り出される。弾性表面波伝搬装置の入力電気信号に対す
る出力電気信号の周波数特性は、入力側すだれ状電極９
２と、出力側すだれ状電極９３の、各々の変換効率の周
波数特性により決定される。入力側すだれ状電極９２お
よび出力側すだれ状電極９３における電気信号と弾性表
面波との変換効率は、入力側すだれ状電極９２および出
力側すだれ状電極９３に施される重み付けの形状により
決定される。Next, the operation will be described. An input electric signal input to the input terminal 94 is converted into a surface acoustic wave by the input interdigital electrode 92 and propagates on the piezoelectric substrate 91. The surface acoustic wave that reaches the output-side interdigital electrode 93 is converted again into an electric signal at the output-side interdigital electrode 93, and is extracted from the output-side terminal 95 as an output electric signal. The frequency characteristic of the output electric signal with respect to the input electric signal of the surface acoustic wave propagation device depends on the input interdigital transducer 9.
2 and the frequency characteristics of the respective conversion efficiencies of the output-side interdigital electrodes 93. The conversion efficiency between an electric signal and a surface acoustic wave at the input interdigital transducer 92 and the output interdigital transducer 93 is determined by the weighting shape applied to the input interdigital transducer 92 and the output interdigital transducer 93. .
【０００４】図９では、入力側すだれ状電極９２に重み
付けを施さない正規形電極を、出力側すだれ状電極９３
に電極指の交差幅を場所ごとに変化させて重み付けを施
した、いわゆる励振有効開口長を変えるアポダイズ電極
を用いている。しかし、図９に示したアポダイズ電極を
用いた場合、圧電体基板９１の長手方向から見た見かけ
上の交差幅が小さい電極指から励振された弾性表面波が
回折、散乱され、所要の特性を得ることが困難である。
特に、弾性表面波の通過帯域と阻止帯域との間の遷移帯
域が狭く、帯域外減衰量の大きい周波数特性を得ようと
した場合、非常に小さな重み付けが多く必要となり、交
差幅が小さい電極指が多く存在してしまう。したがっ
て、所要の特性を得ることがさらに困難となる。In FIG. 9, a normal electrode in which the input interdigital transducer 92 is not weighted is replaced with an output interdigital transducer 93.
A so-called apodized electrode that changes the effective opening length of the excitation, which is weighted by changing the cross width of the electrode finger for each location, is used. However, when the apodized electrode shown in FIG. 9 is used, the surface acoustic wave excited from the electrode finger whose apparent cross width is small when viewed from the longitudinal direction of the piezoelectric substrate 91 is diffracted and scattered, and the required characteristics are reduced. Difficult to obtain.
In particular, when the transition band between the pass band and the stop band of the surface acoustic wave is narrow, and an attempt is made to obtain frequency characteristics with a large out-of-band attenuation, a very small weight is required, and the electrode finger having a small intersection width is required. Many exist. Therefore, it becomes more difficult to obtain required characteristics.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】上述したような従来の
弾性表面波伝搬装置では、例えば出力側すだれ状電極に
アポダイズ電極を用いているため、特に遷移帯域が狭
く、帯域外減衰量の大きい周波数特性を得ようとした場
合、所要の周波数特性を得ることが非常に困難になると
いう問題点があった。In the conventional surface acoustic wave propagation device as described above, for example, an apodized electrode is used for the output-side interdigital electrode, so that the transition band particularly has a narrow transition band and a large amount of out-of-band attenuation. When trying to obtain characteristics, there is a problem that it is very difficult to obtain required frequency characteristics.
【０００６】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、遷移帯域幅が狭く、帯域外減衰
量の大きい周波数特性を得ることができる弾性表面波伝
搬装置を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a surface acoustic wave propagation device capable of obtaining a frequency characteristic having a narrow transition bandwidth and a large out-of-band attenuation. With the goal.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】この発明に係る弾性表面
波伝搬装置は、平行を保って対向する第１，第２電極を
有し、かつ上記各電極より反対方向の電極方向に延長す
るとともに互いに限定した対面距離だけ対面した電極指
を備え、入力電気信号を弾性表面波に変換する入力側す
だれ状電極と、上記入力側すだれ状電極とほぼ同一構成
となって、上記弾性表面波を出力電気信号に変換する出
力側すだれ状電極とを圧電体基板上に配置してなる弾性
表面波伝搬装置において、連立チェビシェフ特性を有す
る重み付け関数を上記電極指の配列周期に対応する周期
でサンプリングして得られる重み付け量を、ｉを通し番
号としてｈ ｉ とし、ｍを２以上の整数、Ｍを２以上の整
数としたとき、ｈ １ ，ｈ ｍ＋１ ，ｈ ２ｍ＋１ ，・・・，
ｈ Ｍｍ＋１ を係数にもちＺを変数とした次の多項式、Ｈ
（Ｚ）＝ｈ １ Ｚ Ｍ ＋ｈ ｍ＋１ Ｚ Ｍ−１ ＋ｈ ２ｍ＋１ Ｚ
Ｍ−２ ＋・・・＋ｈ Ｍｍ＋１ において、Ｈ（Ｚ）＝０と
なる根Ｚ １ ，Ｚ ２ ，Ｚ ３ ，・・・，Ｚ Ｍ を求め、これら
の根を、ほほ同じ個数で、かつ、それぞれにおいて結果
として得られる重み付け量の形状が非対称となるように
第１の組と第２の組との２つの組に分割し、上記第１の
組における根を、Ｎを整数として、Ｚ Ａ１ ，Ｚ Ａ２ ，Ｚ
Ａ３ ，・・・、Ｚ ＡＮ とし、上記第２の組における根を
Ｚ Ｂ１ ，Ｚ Ｂ２ ，Ｚ Ｂ３ ，・・・、Ｚ Ｂ（Ｍ−Ｎ） とし
たとき、上記第１の組に関して次式で規定する多項式、
Ｈ（Ｚ）＝ｈ Ａ１ （Ｚ−Ｚ Ａ１ ）（Ｚ−Ｚ Ａ２ ）（Ｚ−
Ｚ Ａ３ ）・・・（Ｚ−Ｚ ＡＮ ）＝ｈ Ａ１ Ｚ Ｎ ＋ｈ
Ａｍ＋１ Ｚ Ｎ−１ ＋ｈ Ａ２ｍ＋１ Ｚ Ｎ−２ ＋・・・＋ｈ
ＡＮｍ＋１ における係数ｈ Ａ１ ，ｈ Ａｍ＋１ ，ｈ
Ａ２ｍ＋１ ，・・・，ｈ ＡＮｍ＋１ から、関数ｓｉｎ
（Ｘ）／Ｘに基づいた補間により上記電極指の配列周期
に対応する周期での第１の重み付け量ｈ Ａｉ を求め、一
方、上記第２の組に関して次式で規定する多項式、Ｈ
（Ｚ）＝ｈ Ｂ１ （Ｚ−Ｚ Ｂ１ ）（Ｚ−Ｚ Ｂ２ ）（Ｚ−Ｚ
Ｂ３ ）・・・（Ｚ−Ｚ Ｂ（Ｍ−Ｎ） ）＝ｈ Ｂ１ Ｚ
（Ｍ−Ｎ） ＋ｈ Ｂｍ＋１ Ｚ （Ｍ−Ｎ）−１ ＋ｈ
Ｂ２ｍ＋１ Ｚ （Ｍ−Ｎ）−２ ＋・・・＋
ｈＢ（Ｍ−Ｎ）ｍ＋１ における係数ｈ Ｂ１ ，
ｈ Ｂｍ＋１ ，ｈ Ｂ２ｍ＋１ ，・・・，ｈ
Ｂ（Ｍ−Ｎ）ｍ＋１ から、関数ｓｉｎ（Ｘ）／Ｘに基づ
いた補間により上記電極指の配列周期に対応する周期で
の第２の重み付け量ｈ Ｂｉ を求め、上記第１ の重み付け
量ｈ Ａｉ と上記第２の重み付け量ｈ Ｂｉ をそれぞれ間引
き近似することにより得られる非対称な形状を有する第
１の間引き重み付け量と第２の間引き重み付け量とを、
それぞれ、上記入力側すだれ状電極１２と上記出力側す
だれ状電極１３に適用することにより、上記入力側すだ
れ状電極１２と上記出力側すだれ状電極１３を非対称な
形状となるようになし、さらに、入力側すだれ状電極１
２の各電極指ｃ間の対面距離ｌと出力側すだれ状電極１
３の各電極指ｃ間の対面距離ｌがそれぞれ一定となるよ
うに電極指ｃを間引くようにしたものである。A surface acoustic wave propagation device according to the present invention has first and second electrodes which are opposed to each other while being parallel to each other, and extend in an electrode direction opposite to each of the above electrodes. An input interdigital transducer for converting an input electric signal into a surface acoustic wave, and having substantially the same configuration as the input interdigital transducer, comprising: A surface acoustic wave propagation device in which an output interdigital transducer for converting an electric signal is arranged on a piezoelectric substrate has a simultaneous Chebyshev characteristic.
A weighting function corresponding to the period corresponding to the arrangement period of the electrode fingers.
The weighting amount obtained by sampling with
And h i as No. 2 or more integer m, 2 or more integer of M
When expressed as numbers, h 1 , hm + 1 , h 2m + 1 ,.
The following polynomial with h Mm + 1 as a coefficient and Z as a variable, H
(Z) = h 1 Z M + h m + 1 Z M-1 + h 2m + 1 Z
M−2 +... + H In Mm + 1 , H (Z) = 0 and
Root Z 1, Z 2, Z 3 made,..., Asked the Z M, these
Roots are almost the same number and in each case
So that the shape of the weights obtained as
Dividing into two sets, a first set and a second set,
Z A1 , Z A2 , Z
A3 ,..., ZAN, and the root in the second set
Z B1, Z B2, Z B3 , ···, and Z B (M-N)
Then, a polynomial defined by the following equation for the first set:
H (Z) = h A1 (Z−Z A1 ) (Z−Z A2 ) (Z−
Z A3 ) ... (Z−Z AN ) = h A1 Z N + h
Am + 1 Z N-1 + h A2m + 1 Z N-2 + ··· + h
Coefficients h A1 , h Am + 1 , h in ANm + 1
A2m + 1 ,..., H From ANm + 1 , the function sin
(X) / The arrangement period of the electrode fingers by interpolation based on / X
Obtains a first weighting amount h Ai in a period corresponding to one
On the other hand, a polynomial defined by the following equation for the second set, H
(Z) = h B1 (Z-Z B1 ) (Z-Z B2 ) (Z-Z
B3) ··· (Z-Z B (M-N)) = h B1 Z
(M-N) + h Bm + 1 Z (M-N) -1 + h
B2m + 1 Z (M-N ) -2 + ··· +
coefficient h B1 at hB (M−N) m + 1 ,
h Bm + 1 , h B2m + 1 ,..., h
From B (M−N) m + 1 , based on the function sin (X) / X
By the interpolation corresponding to the cycle corresponding to the arrangement cycle of the electrode fingers.
Obtains a second weighting amount h Bi of the first weighting
The quantity h Ai and the second weighting quantity h Bi are thinned out, respectively.
The second one having an asymmetric shape obtained by approximation
The first thinning weight and the second thinning weight are
By applying to the input-side interdigital transducer 12 and the output-side interdigital transducer 13, respectively, the input-side interdigital transducer 12 and the output-side interdigital transducer 13 are formed into an asymmetric shape. Input side interdigital transducer 1
2 and the output interdigital electrode 1
3, the electrode fingers c are thinned out so that the facing distance 1 between the electrode fingers c is constant.
【０００８】[0008]
【作用】電極指の配列周期に対応する周期での第１の重
み付け量ｈ Ａｉ と第２の重み付け量ｈ Ｂｉ をそれぞれ間
引き近似することにより得られる非対称な形状を有する
第１の間引き重み付け量と第２の間引き重み付け量と
を、それぞれ、上記入力側すだれ状電極１２と上記出力
側すだれ状電極１３に適用することにより、上記入力側
すだれ状電極１２と上記出力側すだれ状電極１３を非対
称な形状となるようになし、さらに、入力側すだれ状電
極１２の各電極指ｃ間の対面距離ｌと出力側すだれ状電
極１３の各電極指ｃ間の対面距離ｌがそれぞれ一定とな
るように電極指ｃを間引いたことにより、弾性表面波は
回析、散乱の影響を受けにくく、さらに帯域外の弾性表
面波の減衰量は大きくなる。また、入力側すだれ状電極
および出力側すだれ状電極それぞれに独立に「連立チェ
ビシェフ特性を有する重み付け」を適用する場合に比
べ、弾性表面波伝搬装置全体の所要な周波数特性を効率
的に与えることができ、同等の帯域外減衰量を得るため
の全体の電極指の本数を少なくできる。 The first weight in the cycle corresponding to the arrangement cycle of the electrode fingers is provided.
During seen with weight h Ai and the second weighting amount h Bi respectively
Has an asymmetric shape obtained by pull approximation
The first thinning weight and the second thinning weight
Are applied to the input interdigital transducer 12 and the output interdigital transducer 13 , respectively, so that the input interdigital transducer 12 and the output interdigital transducer 13 have an asymmetric shape, Further, the electrode fingers c are thinned out so that the facing distance 1 between the electrode fingers c of the input interdigital transducer 12 and the facing distance l between the electrode fingers c of the output interdigital transducer 13 are constant. The surface acoustic wave is hardly affected by diffraction and scattering, and the attenuation of the surface acoustic wave outside the band is large. Also, it is possible to efficiently provide the required frequency characteristics of the entire surface acoustic wave propagation device compared to a case where “weighting having simultaneous Chebyshev characteristics” is applied independently to the input-side interdigital electrodes and the output-side interdigital electrodes. It is possible to reduce the total number of electrode fingers for obtaining the same out-of-band attenuation.
【０００９】[0009]
【実施例】図１はこの発明の一実施例に係る弾性表面波
伝搬装置の構成図である。図１において、１１は圧電体
基板、１２は入力側端子１４からの入力電気信号を弾性
表面波に変換する入力側すだれ状電極であり、平行な第
１，第２電極ａ，ｂを有し、第１電極ａより第２電極ｂ
方向、第２電極ｂより第１電極ａ方向に延長するととも
に互いに平行に対面する如く延長し、対面距離ｌが所定
の大きさに設定された複数本の電極指ｃを備える。１３
は逆にその弾性表面波を出力電気信号に変換して出力側
端子１５へ出力する出力側すだれ状電極であり、上記入
力側すだれ状電極１２とほぼ同一構成である。入力側す
だれ状電極１２および出力側すだれ状電極１３は圧電体
基板１１上に配置されている。入力側すだれ状電極１２
の各電極指ｃ間の対面距離ｌと出力側すだれ状電極１３
の各電極指ｃ間の対面距離ｌの圧電体基板１１上の長手
方向から見た見かけ上の大きさがそれぞれ一定で、入力
側すだれ状電極１２と出力側すだれ状電極１３は電極指
ｃを間引いた間引き電極となるように構成され、さら
に、その間引きピッチは両電極１２，１３間において互
いに異なっており、これにより入力側すだれ状電極１２
と出力側すだれ状電極１３はともに非対称な形状となっ
ている。FIG. 1 is a configuration diagram of a surface acoustic wave propagation device according to one embodiment of the present invention. In FIG. 1, reference numeral 11 denotes a piezoelectric substrate, 12 denotes an input interdigital transducer for converting an input electric signal from an input terminal 14 into a surface acoustic wave, and has parallel first and second electrodes a and b. From the first electrode a to the second electrode b
And a plurality of electrode fingers c extending in the direction from the second electrode b to the first electrode a and extending in parallel to each other and having a facing distance 1 set to a predetermined size. 13
Is an output interdigital transducer for converting the surface acoustic wave into an output electric signal and outputting the output electric signal to the output terminal 15, and has substantially the same configuration as the input interdigital transducer 12. The input side interdigital electrode 12 and the output side interdigital electrode 13 are arranged on the piezoelectric substrate 11. Input side IDT 12
And the output-side interdigital electrode 13
The apparent size of the facing distance l between the electrode fingers c on the piezoelectric substrate 11 as viewed from the longitudinal direction is constant, and the input-side interdigital transducer 12 and the output-side interdigital transducer 13 are connected to the electrode fingers c. It is configured to be a thinned-out thinning electrode, and the thinning pitch is different between the two electrodes 12 and 13 so that the input side interdigital electrode 12
And the output side interdigital electrode 13 are both asymmetrical.
【００１０】次に上記実施例の動作について説明する。
入力側端子１４に入力された入力電気信号は、入力側す
だれ状電極１２により弾性表面波伝搬装置に変換され
て、出力側すだれ状電極１３に向かって伝搬する。出力
側すだれ状電極１３は、弾性表面波を受信し電気信号に
変換する。変換された電気信号は出力側端子１５から出
力電気信号として取り出される。Next, the operation of the above embodiment will be described.
The input electric signal input to the input terminal 14 is converted by the input interdigital transducer 12 into a surface acoustic wave propagation device and propagates toward the output interdigital transducer 13. The output-side interdigital electrode 13 receives a surface acoustic wave and converts it into an electric signal. The converted electric signal is extracted from the output terminal 15 as an output electric signal.
【００１１】つづいて、この実施例を図２から図７まで
を参照しながら説明する。図２はこの実施例において重
み付けを示す図、図３はこの実施例の効果を説明するた
めの周波数特性図、図４はこの実施例において重み付け
を示す図、図５および図６はこの実施例の効果を説明す
るための周波数特性図、図７はこの実施例において重み
付けを説明するための図である。Next, this embodiment will be described with reference to FIGS. 2 is a diagram showing weighting in this embodiment, FIG. 3 is a frequency characteristic diagram for explaining the effect of this embodiment, FIG. 4 is a diagram showing weighting in this embodiment, and FIGS. 5 and 6 are diagrams of this embodiment. FIG. 7 is a diagram for explaining the weighting in this embodiment.
【００１２】図２において、横軸は電極指の通し番号を
示し、縦軸は重み付けの相対値を示す。この重み付け
を、ｉを電極指の通し番号とし、以下、ｈiで表す。図
２の重み付け量ｈi は、一例として、通過電力特性の通
過帯域内リップルが０．３ｄＢ、帯域外減衰量の相対値
が５０ｄＢであり、通過帯域と阻止帯域との間の遷移帯
域幅が中心周波数の約０．２％の連立チェビシェフ特性
を得るのに要求される重み付けを示したものである。こ
れにより振幅の小さい重み付け量が多数必要なことがわ
かる。In FIG. 2, the horizontal axis indicates the serial number of the electrode finger, and the vertical axis indicates the relative value of the weight. This weighting is represented by h i, where i is the serial number of the electrode finger. Weighting amount h i in FIG. 2, as an example, pass-band ripple 0.3dB pass power characteristic is a relative value 50dB of out-of-band attenuation, transition bandwidth between the passband and the stopband It shows the weighting required to obtain a simultaneous Chebyshev characteristic of about 0.2% of the center frequency. This shows that a large number of weights with small amplitudes are required.
【００１３】したがって、図２の重み付けを電極指の交
差幅を場所ごとに変化させた従来のアポダイズ電極で実
現すると、交差幅の小さい電極指が多数存在し、これら
の交差幅の小さい電極指から励振された弾性表面波は、
著しく回析、散乱されるので、所要の特性を得るのが困
難である。Therefore, if the weighting of FIG. 2 is realized by a conventional apodized electrode in which the intersection width of the electrode fingers is changed for each location, there are a large number of electrode fingers having a small intersection width. The excited surface acoustic wave is
It is difficult to obtain required characteristics because it is remarkably diffracted and scattered.
【００１４】一方、回析、散乱による上記悪影響を避け
るため、図２の重み付けを、電極指交差幅を一定とした
１つの間引き電極に適用することが考えられるが、図２
に示したような振幅の小さい重み付け量が多数存在する
場合、１つの間引き電極で所要の重み付けを近似するに
は、近似度が悪いという問題点がある。On the other hand, in order to avoid the above-mentioned adverse effects due to diffraction and scattering, it is conceivable to apply the weighting of FIG. 2 to one thinning electrode having a fixed electrode finger intersection width.
In the case where there are a large number of weightings having small amplitudes as shown in (1), there is a problem that the degree of approximation is poor in approximating the required weighting with one thinning electrode.
【００１５】図３は、図２の重み付けを、１つの間引き
電極に適用した場合の周波数特性である。帯域外減衰量
が５０ｄＢ必要なのに対し、３７ｄＢしか得られていな
いことがわかる。FIG. 3 shows frequency characteristics when the weighting of FIG. 2 is applied to one thinning electrode. It can be seen that while the out-of-band attenuation is 50 dB, only 37 dB is obtained.
【００１６】図４（ａ）および（ｂ）は、図２の重み付
けｈi を、ほぼ等しい長さの２つの重み付け量ｈAiおよ
びｈBiの畳み込みで表すように分割したときの各重み付
けｈAiおよびｈBiを示したものである。図４（ａ）およ
び（ｂ）において、振幅の小さい重み付けが、図２に比
べて少なくなっていることがわかる。したがって、図４
（ａ）および（ｂ）の重み付けを、それぞれ、間引き電
極に適用すると、図２の重み付けを間引き電極に適用し
た場合に比べ、近似度が向上する。[0016] FIGS. 4 (a) and (b), the weighting h Ai when the weighting h i in Figure 2, is divided as represented by the convolution of the two weighting amount h Ai and h Bi of approximately equal length And h Bi are shown. In FIGS. 4A and 4B, it can be seen that the weighting with a small amplitude is smaller than that in FIG. Therefore, FIG.
When the weights (a) and (b) are applied to the thinning electrodes, the degree of approximation is improved as compared with the case where the weighting of FIG. 2 is applied to the thinning electrodes.
【００１７】ここで、２つに分割する場合、各重み付け
ｈAiおよびｈBiとも、対称な形となるように分割するや
り方と、非対称となるように分割するやり方が考えられ
るが、我々は、図４（ａ）および（ｂ）に示したよう
に、後者の方が、より優れた特性を実現できることを見
出した。Here, in the case of dividing into two parts, a method of dividing each of the weights hAi and hBi into a symmetrical form and a method of dividing them into an asymmetrical form can be considered. As shown in (a) and (b), it has been found that the latter can realize more excellent characteristics.
【００１８】図５は、図４（ａ）の重み付けを１つの間
引き電極に適用し、図４（ｂ）の重み付けを他の間引き
電極に適用し、前者を入力側すだれ状電極１２とし、後
者を出力側すだれ状電極１３とした場合の周波数特性で
ある。図５に示すように所要の帯域外減衰量５０ｄＢが
得られている。この周波数特性は、文献（「表面波デバ
イスとその応用」：電子材料工業会編、日刊工業新聞社
発刊、昭和５３年１２月発行）の第３７頁から第４１頁
に示されているＳｍｉｔｈの等価回路を用いて計算した
ものである。圧電体基板１１には、温度特性の優れたＳ
Ｔカット水晶を用いた。FIG. 5 shows the case where the weighting of FIG. 4A is applied to one thinning electrode, and the weighting of FIG. 4B is applied to another thinning electrode. Is the frequency characteristic when the output side interdigital electrode 13 is used. As shown in FIG. 5, the required attenuation outside the band of 50 dB is obtained. This frequency characteristic is described in Smith, page 37 to page 41 of a document ("Surface wave device and its application", edited by Electronic Materials Industry Association, published by Nikkan Kogyo Shimbun, published December 1983). This is calculated using an equivalent circuit. The piezoelectric substrate 11 has S which has excellent temperature characteristics.
T-cut quartz was used.
【００１９】図６は、図２の重み付けを対称な形を有す
る２つの重み付けに分割し、一方を１つの間引き電極に
適用し、他方を他の間引き電極に適用し、前者を入力側
すだれ状電極１２とし、後者を出力側すだれ状電極１３
とした場合について、図５と同様にして求めた周波数特
性である。図６と図５を比較すると、図５の方が帯域内
のリップルが小さく優れている。FIG. 6 divides the weighting of FIG. 2 into two weightings having a symmetrical shape, one applied to one thinning electrode, the other applied to the other thinning electrode, and the former to the input side interdigital. An electrode 12 and the latter an output IDT 13
Is the frequency characteristic obtained in the same manner as in FIG. When FIG. 6 and FIG. 5 are compared, FIG. 5 is superior in that the ripple in the band is small.
【００２０】図２の重み付けを、ほぼ同じ長さの対称な
２つの重み付けに分割する場合と非対称な２つの重み付
けに分割する場合とについて、いく通りか試してみた
が、全て非対称に分割する方が帯域内の特性が優れてい
ることがわかった。実験によっても、図２の重み付けを
非対称に分割すれば、優れた特性が得られた。The weighting of FIG. 2 was divided into two symmetrical weights having substantially the same length and two asymmetrical weightings, and some attempts were made. Was found to have excellent in-band characteristics. According to the experiment, excellent characteristics were obtained by dividing the weighting of FIG. 2 asymmetrically.
【００２１】なお、図２の重み付けのほぼ長さが等しい
２つの非対称な重み付けへの分割には、次の手順にした
がって行った。図２の重み付けは、ｉの最大値が数千と
大きいので、数百（以下ｍで表す）個おきにサンプリン
グし、サンプリングして得られた重み付け量ｈ1 ，ｈ
m+1 ，ｈ2m+1，・・・，ｈMm+1を係数にもつ次の多項式
Ｈ（Ｚ）を求めた。The division into two asymmetrical weights having substantially the same length in FIG. 2 was performed according to the following procedure. In the weighting of FIG. 2, since the maximum value of i is as large as several thousands, sampling is performed every several hundreds (hereinafter, represented by m), and weighting amounts h 1 and h obtained by sampling are obtained.
The following polynomial H (Z) having coefficients m + 1 , h2m + 1 ,..., hMm + 1 was obtained.
【００２２】[0022]
【数１】 (Equation 1)
【００２３】次に、Ｈ（Ｚ）が零になる根Ｚ1 ，Ｚ2 ，
Ｚ3 ，・・・，ＺM を求めた。これらの根は一般に複素
数となる。図７に、丸印で、根Ｚ1 ，Ｚ2 ，Ｚ3 ，・・
・，ＺM の一例を示す。次に、図７に黒丸印と白丸印で
示すように、千鳥状に、ほぼ同じ個数の２つの組Ａおよ
びＢに分割した。次に、組Ａについて、次の多項式ＨA
（Ｚ）を求めた。Next, the roots Z 1 , Z 2 , and H (Z) become zero.
Z 3 ,..., Z M were determined. These roots are generally complex numbers. In FIG. 7, the circles indicate the roots Z 1 , Z 2 , Z 3 ,.
- shows an example of the Z M. Next, as shown by the black circles and the white circles in FIG. 7, the two groups A and B were divided in a zigzag pattern with substantially the same number. Next, for the set A, the following polynomial H A
(Z) was determined.
【００２４】[0024]
【数２】 ここで、ＺA1，ＺA2，ＺA3，・・・，ＺANは、図７の組
Ａの根を示す。(Equation 2) Here, Z A1 , Z A2 , Z A3 ,..., Z AN indicate the roots of the set A in FIG.
【００２５】このようにして求まったＺの多項式の係数
ｈA1，ｈAm+1，ｈA2m+1 ，・・・，ｈANm+1 から補間に
より、図４（ａ）に示した重み付けｈAiをもとめた。補
間には、ｓｉｎ（Ｘ）／Ｘの関数を用いた。図４（ｂ）
の重み付けｈBiも、図７の組Ｂから同様にして求めた。
このようにして求めた２つの重み付けｈAiおよびｈBiを
用いれば、最小の電極指数で、所要の周波数特性を実現
できる。The coefficients h A1 polynomial of the thus been obtained was Z, h Am + 1, h A2m + 1, ···, by interpolation from h ANm + 1, weighting h Ai shown in FIGS. 4 (a) I sought. For the interpolation, a function of sin (X) / X was used. FIG. 4 (b)
Is also obtained in the same manner from the set B in FIG.
By using the two weightings h Ai and h Bi obtained in this way, required frequency characteristics can be realized with the minimum electrode index.
【００２６】なお、図７を用いて説明した上記手順に従
わずに、入力側すだれ状電極１２および出力側すだれ状
電極１３のそれぞれに、個々に求めた連立チェビシェフ
特性を有する重み付けを対称な間引き電極として適用し
て、弾性表面波伝搬装置を構成した場合でも、入力側す
だれ状電極１２に帯域外減衰量αｄＢを与え、出力側す
だれ状電極１３に帯域外減衰量βｄＢを与えることによ
り、周波数特性における帯域外減衰量が（α＋β）ｄＢ
である弾性表面波伝搬装置を得ることができる。In addition, without following the above-described procedure described with reference to FIG. 7, the input interdigital transducer 12 and the output interdigital transducer 13 are each symmetrically thinned by weighting having individually determined simultaneous Chebyshev characteristics. Even when the surface acoustic wave propagation device is configured as an electrode, the input interdigital transducer 12 is provided with an out-of-band attenuation αdB, and the output interdigital transducer 13 is provided with an out-of-band attenuation βdB. Out-of-band attenuation in characteristics is (α + β) dB
Thus, a surface acoustic wave propagation device can be obtained.
【００２７】しかし、この場合、周波数特性におけるサ
イドロ−ブの大きさは等レベルとはならず、帯域外減衰
量が（α＋β）ｄＢよりも小さくなる周波数帯が生じ
る。これは、入力側すだれ状電極１２の周波数特性にお
ける零点および出力側すだれ状電極１３の周波数特性に
おける零点が、帯域外減衰量を（α＋β）ｄＢとした場
合の連立チェビシェフ特性の零点とは異なるためであ
る。このため、弾性表面波伝搬装置の周波数特性が、も
はや連立チェビシェフ特性とはならなくなる。このよう
な場合、（α＋β）ｄＢの帯域外減衰量をもつ１つの連
立チェビシェフ特性から図７を用いて説明した手順に従
って、入力側すだれ状電極１２および出力側すだれ状電
極１３の構成を決めた上記実施例の場合に比べて、入力
側すだれ状電極１２および出力側すだれ状電極１３を構
成する電極指の本数がより多く必要となる。However, in this case, the magnitude of the side lobe in the frequency characteristics does not become the same level, and a frequency band occurs in which the out-of-band attenuation is smaller than (α + β) dB. This is because the zero point in the frequency characteristic of the input-side interdigital electrode 12 and the zero point in the frequency characteristic of the output-side interdigital electrode 13 are different from the zero point of the simultaneous Chebyshev characteristic when the out-of-band attenuation is (α + β) dB. It is. Therefore, the frequency characteristics of the surface acoustic wave propagation device no longer become the simultaneous Chebyshev characteristics. In such a case, the configuration of the input-side interdigital electrode 12 and the output-side interdigital electrode 13 is determined from one simultaneous Chebyshev characteristic having an out-of-band attenuation of (α + β) dB according to the procedure described with reference to FIG. As compared with the above embodiment, the number of electrode fingers constituting the input-side interdigital transducer 12 and the output-side interdigital transducer 13 is required to be larger.
【００２８】したがって、上記実施例は、入力側すだれ
状電極１２および出力側すだれ状電極１３のそれぞれ
に、個々に求めた連立チェビシェフ特性を有する重み付
けを対称な間引き電極として適用して、弾性表面波伝搬
装置を構成した場合に比べ、より少ない本数の電極指で
同等の帯域外減衰量が得られるという利点がある。Therefore, in the above embodiment, the weighting having the simultaneously obtained Chebyshev characteristic is applied to each of the input-side interdigital electrode 12 and the output-side interdigital electrode 13 as a symmetrical thinning electrode, and the surface acoustic wave There is an advantage that the same amount of out-of-band attenuation can be obtained with a smaller number of electrode fingers as compared with the case where the propagation device is configured.
【００２９】また、入力側すだれ状電極１２と出力側す
だれ状電極１３をともに、同一の連立チェビシェフ特性
を有する重み付けを対称な間引き電極として適用して、
弾性表面波伝搬装置を構成した場合でも、個々の帯域外
減衰量γｄＢを与えることにより、周波数特性における
帯域外減衰量が２γｄＢである弾性表面波伝搬装置を得
ることができる。しかし、この場合にも、入力側すだれ
状電極１２の周波数特性における零点と出力側すだれ状
電極１３の周波数特性における零点が一致し二重零点と
なるため、帯域外減衰量を２γｄＢとした場合の連立チ
ェビシェフ特性の零点とは異なってしまい、やはり、上
記実施例の場合に比べて、電極指の本数がより多く必要
となる。Further, both the input-side IDT electrodes 12 and the output-side IDT electrodes 13 are applied with weights having the same simultaneous Chebyshev characteristics as symmetrical thinning-out electrodes.
Even when a surface acoustic wave propagation device is configured, a surface acoustic wave propagation device in which the out-of-band attenuation in frequency characteristics is 2γ dB can be obtained by giving individual out-of-band attenuations γ dB. However, also in this case, since the zero point in the frequency characteristic of the input-side interdigital electrode 12 and the zero point in the frequency characteristic of the output-side interdigital electrode 13 coincide with each other and become a double zero, the out-of-band attenuation is set to 2γdB. This is different from the zero point of the simultaneous Chebyshev characteristic, and again requires more electrode fingers than in the above embodiment.
【００３０】したがって、上記実施例は、入力側すだれ
状電極１２および出力側すだれ状電極１３のそれぞれ
に、同一の連立チェビシェフ特性を有する重み付けを対
称な間引き電極として適用して、弾性表面波伝搬装置を
構成した場合に比べても、より少ない本数の電極指で同
等の帯域外減衰量が得られる。Therefore, in the above-described embodiment, the weighting having the same simultaneous Chebyshev characteristic is applied to each of the input-side interdigital electrodes 12 and the output-side interdigital electrodes 13 as symmetrical thinned-out electrodes, and the surface acoustic wave propagation device is used. The same amount of out-of-band attenuation can be obtained with a smaller number of electrode fingers as compared with the case where is configured.
【００３１】図８は、この発明の他の実施例に係る弾性
表面波伝搬装置の構成図である。図８において、８１は
圧電体基板、８２は入力側すだれ状電極、８３は出力側
すだれ状電極、８４は入力側端子、８５は出力側端子で
ある。図８では、図１とは異なり、入力側すだれ状電極
８２および出力側すだれ状電極８３の電極指を間引いた
部分に、弾性表面波の励振や受信に寄与しないダミー電
極８６および８７を配置している。この場合も、図１の
実施例と同様な効果が得られることは明らかである。さ
らにこの場合、ダミー電極８６，８７を配置することに
より、入力側すだれ状電極８２および出力側すだれ状電
極８３において、弾性表面波が伝搬する部分の形状が均
一になる。したがって、弾性表面波の散乱による周波数
特性の劣化をより一層低減できる利点がある。FIG. 8 is a configuration diagram of a surface acoustic wave propagation device according to another embodiment of the present invention. In FIG. 8, 81 is a piezoelectric substrate, 82 is an input interdigital electrode, 83 is an output interdigital electrode, 84 is an input terminal, and 85 is an output terminal. In FIG. 8, unlike FIG. 1, dummy electrodes 86 and 87 that do not contribute to the excitation or reception of the surface acoustic wave are arranged at portions where the electrode fingers of the input-side interdigital electrode 82 and the output-side interdigital electrode 83 are thinned out. ing. In this case, it is apparent that the same effect as that of the embodiment of FIG. 1 can be obtained. Further, in this case, by arranging the dummy electrodes 86 and 87, the shape of the portion where the surface acoustic wave propagates in the input side interdigital electrode 82 and the output side interdigital electrode 83 becomes uniform. Therefore, there is an advantage that deterioration of frequency characteristics due to scattering of surface acoustic waves can be further reduced.
【００３２】以上説明したように上記各実施例の弾性表
面波伝搬装置では、入力側すだれ状電極および出力側す
だれ状電極を、ともに、見かけ上の交差幅が一定の非対
称な電極指間引き電極としたことにより、帯域内のリッ
プルが小さく、遷移帯域幅が狭く、帯域外減衰量の大き
い周波数特性を実現できるという効果が得られる。As described above, in the surface acoustic wave propagation device of each of the above embodiments, both the input-side interdigital transducer and the output-side interdigital transducer are provided with an asymmetric electrode finger thinning electrode having a constant apparent cross width. As a result, the effect that the ripple in the band is small, the transition bandwidth is narrow, and the frequency characteristic in which the attenuation outside the band is large can be realized.
【００３３】なお、上記各実施例では、入力側すだれ状
電極および出力側すだれ状電極を構成する電極指をシン
グル電極で図示しているが、入力側すだれ状電極および
出力側すだれ状電極に、電極指を２本ずつ組にしたいわ
ゆるダブル電極を用いても構わない。さらに、この発明
は、入力側すだれ状電極および出力側すだれ状電極の個
数の少なくともどちらかを２以上としたいわゆる多電極
構成の弾性表面波伝搬装置に適用しても構わない。[0033] In the above embodiments, the electrode fingers that constitute the input-side interdigital transducer and the output interdigital electrodes are illustrated with a single electrode, the input-side interdigital transducer and the output interdigital transducer Alternatively, a so-called double electrode in which two electrode fingers are grouped may be used. Furthermore, the present invention may be applied to a surface acoustic wave propagation device having a so-called multi-electrode configuration in which at least one of the number of input-side interdigital electrodes and the number of output-side interdigital electrodes is two or more.
【００３４】[0034]
【発明の効果】以上のように本発明の請求項１に係る弾
性表面波伝搬装置によれば、弾性表面波は回析、散乱の
影響を受けにくくなり、したがって帯域内のリップルが
小さく、遷移帯域幅が狭く、帯域外減衰量の大きい周波
数特性を実現できるという効果が得られる。また、入力
側すだれ状電極および出力側すだれ状電極それぞれに独
立に「連立チェビシェフ特性を有する重み付け」を適用
する場合に比べ、電極指の本数を少なくできるので、装
置を小さくできる。よって、電極指の本数を少なくして
小形で上記所要の特性を実現できるようになる。 As described above, according to the surface acoustic wave propagation device according to the first aspect of the present invention, the surface acoustic wave is less susceptible to diffraction and scattering. This has the effect of achieving frequency characteristics with a narrow bandwidth and a large amount of out-of-band attenuation. In addition, the number of electrode fingers can be reduced as compared with a case where “weighting having simultaneous Chebyshev characteristics” is applied independently to the input-side interdigital electrodes and the output-side interdigital electrodes. Therefore, reduce the number of electrode fingers
The required characteristics described above can be realized with a small size.
【図１】この発明の一実施例に係る弾性表面波伝搬装置
の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of a surface acoustic wave propagation device according to one embodiment of the present invention.
【図２】この実施例における重み付けを示す図である。FIG. 2 is a diagram showing weighting in this embodiment.
【図３】この実施例の効果を説明するための周波数特性
を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing frequency characteristics for explaining the effect of this embodiment.
【図４】この実施例における重み付けを示す図である。FIG. 4 is a diagram showing weighting in this embodiment.
【図５】この実施例の効果を説明するための周波数特性
を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing frequency characteristics for explaining the effect of this embodiment.
【図６】この実施例の効果を説明するための周波数特性
を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing frequency characteristics for explaining the effect of this embodiment.
【図７】この実施例における重み付けを説明するための
図である。FIG. 7 is a diagram for explaining weighting in this embodiment.
【図８】この発明の他の実施例に係る弾性表面波伝搬装
置の構成図である。FIG. 8 is a configuration diagram of a surface acoustic wave propagation device according to another embodiment of the present invention.
【図９】従来の弾性表面波伝搬装置の構成図である。FIG. 9 is a configuration diagram of a conventional surface acoustic wave propagation device.
１１，８１ 圧電体基板 １２，８２ 入力側すだれ状電極 １３，８３ 出力側すだれ状電極 １４，８４ 入力側端子 １５，８５ 出力側端子 ａ 第１電極 ｂ 第２電極 ｃ 電極指 ｌ 対面距離 11, 81 Piezoelectric substrate 12, 82 Input-side interdigital electrode 13, 83 Output-side interdigital electrode 14, 84 Input-side terminal 15, 85 Output-side terminal a First electrode b Second electrode c Electrode finger l Face-to-face distance
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三須 幸一郎 鎌倉市大船五丁目１番１号 三菱電機株 式会社 電子システム研究所内 (72)発明者 木村 友則 鎌倉市大船五丁目１番１号 三菱電機株 式会社 電子システム研究所内 (56)参考文献 特開 昭63−253712（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−221022（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−178006（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−81517（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−158738（ＪＰ，Ｕ) 特公 平２−5046（ＪＰ，Ｂ２) 特公 昭56−51536（ＪＰ，Ｂ２) 特表 平５−503611（ＪＰ，Ａ) ”Ｓｕｒｆａｃｅ−Ｗａｖｅ Ｄｅｖ ｉｃｅｓ ｆｏｒ Ｓｉｇｎａｌ Ｐｒ ｏｃｅｓｓｉｎｇ”（1985）Ｅｌｓｅｖ ｉｅｒ Ｓｃｉｅｎｃｅ Ｐｕｂｌｉｓ ｈｅｒｓ ＢＶ（オランダ）ｐ．184− 192 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing from the front page (72) Inventor Koichiro Misu 5-1-1, Ofuna, Kamakura-shi Mitsubishi Electric Corporation In-System Research Laboratory (72) Inventor Tomonori Kimura 5-1-1, Ofuna, Kamakura-shi Mitsubishi Electric (56) References JP-A-63-253712 (JP, A) JP-A-59-221022 (JP, A) JP-A-62-178006 (JP, A) JP-A 64-64 81517 (JP, A) JP-A 61-1558738 (JP, U) JP 2-5046 (JP, B2) JP 56-51536 (JP, B2) JP 5-503611 (JP, A) "Surface-Wave Devices for Signal Processing" (1985) Elsevier Science Publishing publishers BV (Oran ) P. 184−192
Claims (1)
有し、かつ上記各電極より反対方向の電極方向に延長す
るとともに互いに限定した対面距離だけ対面した電極指
を備え、入力電気信号を弾性表面波に変換する入力側す
だれ状電極と、上記入力側すだれ状電極とほぼ同一構成
となって、上記弾性表面波を出力電気信号に変換する出
力側すだれ状電極とを圧電体基板上に配置してなる弾性
表面波伝搬装置において、連立チェビシェフ特性を有する重み付け関数を上記電極
指の配列周期に対応する周期でサンプリングして得られ
る重み付け量を、ｉを通し番号としてｈ ｉ とし、ｍを２
以上の整数、Ｍを２以上の整数としたとき、ｈ １ ，ｈ
ｍ＋１ ，ｈ ２ｍ＋１ ，・・・，ｈ Ｍｍ＋１ を係数にもち
Ｚを変数とした次の多項式、Ｈ（Ｚ）＝ｈ １ Ｚ Ｍ ＋ｈ
ｍ＋１ Ｚ Ｍ−１ ＋ｈ ２ｍ＋１ Ｚ Ｍ−２ ＋・・・＋ｈ
Ｍｍ＋１ において、Ｈ（Ｚ）＝０となる根Ｚ １ ，Ｚ ２ ，
Ｚ ３ ，・・・，Ｚ Ｍ を求め、これらの根を、ほほ同じ個
数で、かつ、それぞれにおいて結果として得られる重み
付け量の形状が非対称となるように第１の組と第２の組
との２つの組に分割し、上記第１の組における根を、Ｎ
を整数として、Ｚ Ａ１ ，Ｚ Ａ２ ，Ｚ Ａ３ ，・・・、Ｚ
ＡＮ とし、上記第２の組における根をＺ Ｂ１ ，Ｚ Ｂ２ ，
Ｚ Ｂ３ ，・・・、Ｚ Ｂ（Ｍ−Ｎ） としたとき、 上記第１の組に関して次式で規定する多項式、 Ｈ（Ｚ）＝ｈ Ａ１ （Ｚ−Ｚ Ａ１ ）（Ｚ−Ｚ Ａ２ ）（Ｚ−
Ｚ Ａ３ ）・・・（Ｚ−Ｚ ＡＮ ）＝ｈ Ａ１ Ｚ Ｎ ＋ｈ
Ａｍ＋１ Ｚ Ｎ−１ ＋ｈ Ａ２ｍ＋１ Ｚ Ｎ−２ ＋・・・＋ｈ
ＡＮｍ＋１ における係数ｈ Ａ１ ，ｈ Ａｍ＋１ ，ｈ Ａ２ｍ＋１ ，・・
・，ｈ ＡＮｍ＋１ から、関数ｓｉｎ（Ｘ）／Ｘに基づい
た補間により上記電極指の配列周期に対応する周期での
第１の重み付け量ｈ Ａｉ を求め、 一方、上記第２の組に関して次式で規定する多項式、 Ｈ（Ｚ）＝ｈ Ｂ１ （Ｚ−Ｚ Ｂ１ ）（Ｚ−Ｚ Ｂ２ ）（Ｚ−
Ｚ Ｂ３ ）・・・（Ｚ−Ｚ Ｂ（Ｍ−Ｎ） ）＝ｈ Ｂ１ Ｚ
（Ｍ−Ｎ） ＋ｈ Ｂｍ＋１ Ｚ （Ｍ−Ｎ）−１ ＋ｈ
Ｂ２ｍ＋１ Ｚ （Ｍ−Ｎ）−２ ＋・・・＋
ｈＢ（Ｍ−Ｎ）ｍ＋１ における係数ｈ Ｂ１ ，ｈ Ｂｍ＋１ ，ｈ Ｂ２ｍ＋１ ，・・
・，ｈ Ｂ（Ｍ−Ｎ）ｍ＋１ から、関数ｓｉｎ（Ｘ）／Ｘ
に基づいた補間により上記電極指の配列周期に対応する
周期での第２の重み付け量ｈ Ｂｉ を求め、 上記第１の重み付け量ｈ Ａｉ と上記第２の重み付け量ｈ
Ｂｉ をそれぞれ間引き近似することにより得られる非対
称な形状を有する第１の間引き重み付け量と第２の間引
き重み付け量とを、 それぞれ、上記入力側すだれ状電極
と上記出力側すだれ状電極に適用することにより、上記
入力側すだれ状電極と上記出力側すだれ状電極を非対称
な形状となるようになし、さらに、上記入力側すだれ状
電極の各電極指間の対面距離と上記出力側すだれ状電極
の各電極指間の対面距離がそれぞれ一定となるように電
極指を間引くようにしたことを特徴とする弾性表面波伝
搬装置。1. The first and second electrodes facing each other while being parallel to each other
And extend in the electrode direction opposite to the above-mentioned electrodes.
Electrode fingers facing each other for a limited facing distance
And an input side for converting an input electric signal into a surface acoustic wave.
Almost the same configuration as the interdigital transducer and the input interdigital transducer above
Output the surface acoustic wave into an output electrical signal.
Elasticity with force side interdigital electrodes and piezoelectric substrate
In a surface wave propagation device,A weighting function having simultaneous Chebyshev characteristics
Sampled at a period corresponding to the finger arrangement period
The weighting amount is h i And m is 2
When M is an integer of 2 or more, h 1 , H
m + 1 , H 2m + 1 , ..., h Mm + 1 With the coefficient
The following polynomial with Z as a variable, H (Z) = h 1 Z M + H
m + 1 Z M-1 + H 2m + 1 Z M-2 + ... + h
Mm + 1 At the root Z where H (Z) = 0 1 , Z 2 ,
Z 3 , ..., Z M Seeking these roots, almost the same
The resulting weights in numbers and in each case
The first set and the second set so that the shape of the weight is asymmetric.
And the roots in the first set are denoted by N
Is an integer, Z A1 , Z A2 , Z A3 , ..., Z
AN And the roots in the second set are Z B1 , Z B2 ,
Z B3 , ..., Z B (M-N) And when A polynomial defined by the following equation for the first set: H (Z) = h A1 (Z-Z A1 ) (Z-Z A2 ) (Z-
Z A3 ) ... (ZZ AN ) = H A1 Z N + H
Am + 1 Z N-1 + H A2m + 1 Z N-2 + ... + h
ANm + 1 Coefficient h in A1 , H Am + 1 , H A2m + 1 , ...
・, H ANm + 1 From the function sin (X) / X
Of the electrode fingers in the cycle corresponding to the
First weight h Ai , On the other hand, a polynomial defined by the following equation with respect to the second set, H (Z) = h B1 (Z-Z B1 ) (Z-Z B2 ) (Z-
Z B3 ) ... (ZZ B (M-N) ) = H B1 Z
(M-N) + H Bm + 1 Z (MN) -1 + H
B2m + 1 Z (MN) -2 + ... +
hB (M−N) m + 1 Coefficient h in B1 , H Bm + 1 , H B2m + 1 , ...
・, H B (M−N) m + 1 From the function sin (X) / X
Corresponding to the arrangement period of the electrode fingers by interpolation based on
The second weight h in the cycle Bi , The first weight h Ai And the second weight h
Bi Are obtained by thinning approximation of
A first thinning weight having a nominal shape and a second thinning weight
Weighting amount and Each of the above-mentioned input interdigital transducers
And by applying to the output side interdigital transducer,
Asymmetric input and output interdigital electrodes
Shape, and the input side
Face-to-face distance between each electrode finger and the output side interdigital
So that the face-to-face distance between each electrode finger is constant.
Surface acoustic wave propagation characterized by thinning out the extreme fingers
Transport device.
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- 1991-02-20 JP JP06094391A patent/JP3166863B2/en not_active Expired - Fee Related
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