JP3165987B2 - アライメント測定系及びその測定方法 - Google Patents
アライメント測定系及びその測定方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はアライメント測定系及び
その測定方法に関し、特に人工衛星の搭載機器に対する
セオドライトによるアライメント測定に関する。
その測定方法に関し、特に人工衛星の搭載機器に対する
セオドライトによるアライメント測定に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、セオドライトによるアライメント
測定としては、図２に示すように、搭載機器１が搭載さ
れた人工衛星１２を定盤１０及びロータリテーブル１１
等からなるアライメントドッグに載置し、セオドライト
１３，１４によって搭載機器１に取付けられたキューブ
ミラー２を直接コリメーションする方法がある。
測定としては、図２に示すように、搭載機器１が搭載さ
れた人工衛星１２を定盤１０及びロータリテーブル１１
等からなるアライメントドッグに載置し、セオドライト
１３，１４によって搭載機器１に取付けられたキューブ
ミラー２を直接コリメーションする方法がある。
【０００３】この方法の場合、人工衛星１２はアライメ
ントドッグに載置され、搭載機器１に取付けられたキュ
ーブミラー２に対してコリメーション軸８ｃ，８ｄに沿
ってセオドライト１３，１４から照明光を照射すること
で、キューブミラー２をセオドライト１３，１４によっ
て直接コリメーションするようになっている。
ントドッグに載置され、搭載機器１に取付けられたキュ
ーブミラー２に対してコリメーション軸８ｃ，８ｄに沿
ってセオドライト１３，１４から照明光を照射すること
で、キューブミラー２をセオドライト１３，１４によっ
て直接コリメーションするようになっている。
【０００４】すなわち、図３に示すように、セオドライ
ト１３から照射される照射光の十字線と、この照射光が
キューブミラー２のキューブミラー指向面２ｃで反射さ
れた反射光の十字線とが重なり合うようにセオドライト
１３からの照射光の角度を変えることで、セオドライト
１３によるキューブミラー指向面２ｃのコリメーション
が行われる。尚、セオドライト１３から照射される照射
光がコリメーション軸８ｃに一致すると、照射光の十字
線と反射光の十字線とが重なる。
ト１３から照射される照射光の十字線と、この照射光が
キューブミラー２のキューブミラー指向面２ｃで反射さ
れた反射光の十字線とが重なり合うようにセオドライト
１３からの照射光の角度を変えることで、セオドライト
１３によるキューブミラー指向面２ｃのコリメーション
が行われる。尚、セオドライト１３から照射される照射
光がコリメーション軸８ｃに一致すると、照射光の十字
線と反射光の十字線とが重なる。
【０００５】また、セオドライト１４から照射される照
射光の十字線と、この照射光がキューブミラー２のキュ
ーブミラー指向面２ｄで反射された反射光の十字線とが
重なり合うようにセオドライト１４からの照射光の角度
を変えることで、セオドライト１４によるキューブミラ
ー指向面２ｄのコリメーションが行われる。尚、セオド
ライト１４から照射される照射光がコリメーション軸８
ｄに一致すると、照射光の十字線と反射光の十字線とが
重なる。
射光の十字線と、この照射光がキューブミラー２のキュ
ーブミラー指向面２ｄで反射された反射光の十字線とが
重なり合うようにセオドライト１４からの照射光の角度
を変えることで、セオドライト１４によるキューブミラ
ー指向面２ｄのコリメーションが行われる。尚、セオド
ライト１４から照射される照射光がコリメーション軸８
ｄに一致すると、照射光の十字線と反射光の十字線とが
重なる。
【０００６】この場合、照射光の十字線と反射光の十字
線とが一致したときのセオドライト１３，１４の角度を
読むことで、座標軸９のＺ軸回りのアジマス（ＡＺ）角
及びＹ軸回りのエレベーション（ＥＬ）角が測定され
る。
線とが一致したときのセオドライト１３，１４の角度を
読むことで、座標軸９のＺ軸回りのアジマス（ＡＺ）角
及びＹ軸回りのエレベーション（ＥＬ）角が測定され
る。
【０００７】一方、図４に示すように、被測定物１５が
高所にある場合には中空柱状体１９に設けられた移動機
構部１６に取付けられたセオドライト（図示せず）によ
って被測定物１５をコリメーションしている。
高所にある場合には中空柱状体１９に設けられた移動機
構部１６に取付けられたセオドライト（図示せず）によ
って被測定物１５をコリメーションしている。
【０００８】この場合、セオドライトから照射された照
射光が被測定物１５で反射されると、その反射光はコリ
メーション軸８に沿って中空柱状体１９内に入射し、反
射ミラー１７，１８を介してのぞきレンズ２０から出射
される。
射光が被測定物１５で反射されると、その反射光はコリ
メーション軸８に沿って中空柱状体１９内に入射し、反
射ミラー１７，１８を介してのぞきレンズ２０から出射
される。
【０００９】したがって、操作者はセオドライトから照
射される照射光の十字線と反射光内の十字線とが重なり
合うようにセオドライトを移動させることで、被測定物
１５のコリメーションが行われる。この技術について
は、実開昭６４−１０６１２号公報のマイクロフィルム
に詳述されている。
射される照射光の十字線と反射光内の十字線とが重なり
合うようにセオドライトを移動させることで、被測定物
１５のコリメーションが行われる。この技術について
は、実開昭６４−１０６１２号公報のマイクロフィルム
に詳述されている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のセオド
ライトによるアライメント測定方法では、アライメント
ドッグに載置された人工衛星の搭載機器に取付けられた
キューブミラーをセオドライトによって直接コリメーシ
ョンする方法の場合、アライメントドッグによってキュ
ーブミラーとセオドライトとの間が遮られると、アライ
メント測定が不可能になるという問題がある。
ライトによるアライメント測定方法では、アライメント
ドッグに載置された人工衛星の搭載機器に取付けられた
キューブミラーをセオドライトによって直接コリメーシ
ョンする方法の場合、アライメントドッグによってキュ
ーブミラーとセオドライトとの間が遮られると、アライ
メント測定が不可能になるという問題がある。
【００１１】また、キューブミラーの指向面が上方を向
いている場合には、キューブミラーの指向面をセオドラ
イトで直接コリメーションすることが難しくなり、アラ
イメント測定が不可能になるという問題がある。
いている場合には、キューブミラーの指向面をセオドラ
イトで直接コリメーションすることが難しくなり、アラ
イメント測定が不可能になるという問題がある。
【００１２】さらに、被測定物が高所にあるときに、中
空柱状体に設けられた移動機構部にセオドライトが取付
けられたアライメント装置を用いて被測定物のコリメー
ションを行う場合、より高い位置にある被測定物をコリ
メーションしょうとすると、アライメント装置を大型化
しなければならない。
空柱状体に設けられた移動機構部にセオドライトが取付
けられたアライメント装置を用いて被測定物のコリメー
ションを行う場合、より高い位置にある被測定物をコリ
メーションしょうとすると、アライメント装置を大型化
しなければならない。
【００１３】したがって、アライメント装置の大型化に
伴って、その規模に比例して輸送及び移動等における振
動の影響を受けやすくなり、振動等の影響で測定精度が
損なわれるという問題がある。
伴って、その規模に比例して輸送及び移動等における振
動の影響を受けやすくなり、振動等の影響で測定精度が
損なわれるという問題がある。
【００１４】そこで、本発明の目的は上記の問題点を解
消し、測定設備や人工衛星の形状等の影響を受けること
なく、被測定物のあらゆる指向面の測定が可能となるア
ライメント測定系及びその測定方法を提供することにあ
る。
消し、測定設備や人工衛星の形状等の影響を受けること
なく、被測定物のあらゆる指向面の測定が可能となるア
ライメント測定系及びその測定方法を提供することにあ
る。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明によるアライメン
ト測定系は、人工衛星に搭載された被測定物の取付方向
を示すミラー指向面に対してセオドライトのコリメーシ
ョンを行うことで前記人工衛星の基準座標軸に対する前
記ミラー指向面の法線軸の角度ずれを測定するアライメ
ント測定系であって、前記セオドライトからの測定光を
前記ミラー指向面に反射しかつ前記ミラー指向面からの
前記測定光による反射光を前記セオドライトに反射する
リファレンスミラーと、前記リファレンスミラーを介し
て前記ミラー指向面に対するコリメーションを行う第１
のセオドライトと、前記リファレンスミラーに対するコ
リメーションを行う第２のセオドライトとを備えてい
る。
ト測定系は、人工衛星に搭載された被測定物の取付方向
を示すミラー指向面に対してセオドライトのコリメーシ
ョンを行うことで前記人工衛星の基準座標軸に対する前
記ミラー指向面の法線軸の角度ずれを測定するアライメ
ント測定系であって、前記セオドライトからの測定光を
前記ミラー指向面に反射しかつ前記ミラー指向面からの
前記測定光による反射光を前記セオドライトに反射する
リファレンスミラーと、前記リファレンスミラーを介し
て前記ミラー指向面に対するコリメーションを行う第１
のセオドライトと、前記リファレンスミラーに対するコ
リメーションを行う第２のセオドライトとを備えてい
る。
【００１６】本発明によるアライメント測定方法は、人
工衛星に搭載された被測定物の取付方向を示すミラー指
向面に対してセオドライトのコリメーションを行うこと
で前記人工衛星の基準座標軸に対する前記ミラー指向面
の法線軸の角度ずれを測定するアライメント測定方法で
あって、前記セオドライトからの測定光を前記ミラー指
向面に反射しかつ前記ミラー指向面からの前記測定光に
よる反射光を前記セオドライトに反射するリファレンス
ミラーを設置する第１のステップと、前記リファレンス
ミラーに前記測定光を照射する第１のセオドライトに前
記人工衛星の基準座標軸に対応する座標軸を設定する第
２のステップと、前記リファレンスミラーを介して前記
ミラー指向面に対して前記第１のセオドライトのコリメ
ーションを行う第３のステップと、前記リファレンスミ
ラーに対して第２のセオドライトのコリメーションを行
う第４のステップと、前記第３及び第４のステップで得
た前記第１及び第２のセオドライトのコリメーションの
結果を基に前記ミラー指向面の法線軸の角度ずれを算出
する第５のステップとからなっている。
工衛星に搭載された被測定物の取付方向を示すミラー指
向面に対してセオドライトのコリメーションを行うこと
で前記人工衛星の基準座標軸に対する前記ミラー指向面
の法線軸の角度ずれを測定するアライメント測定方法で
あって、前記セオドライトからの測定光を前記ミラー指
向面に反射しかつ前記ミラー指向面からの前記測定光に
よる反射光を前記セオドライトに反射するリファレンス
ミラーを設置する第１のステップと、前記リファレンス
ミラーに前記測定光を照射する第１のセオドライトに前
記人工衛星の基準座標軸に対応する座標軸を設定する第
２のステップと、前記リファレンスミラーを介して前記
ミラー指向面に対して前記第１のセオドライトのコリメ
ーションを行う第３のステップと、前記リファレンスミ
ラーに対して第２のセオドライトのコリメーションを行
う第４のステップと、前記第３及び第４のステップで得
た前記第１及び第２のセオドライトのコリメーションの
結果を基に前記ミラー指向面の法線軸の角度ずれを算出
する第５のステップとからなっている。
【００１７】
【実施例】次に、本発明の一実施例について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【００１８】図１は本発明の一実施例を示す構成図であ
る。図において、搭載機器１にはその機能を満たす方向
に対応するキューブミラー指向面２ａ，２ｂを有するキ
ューブミラー２が一体的に取付けられている。
る。図において、搭載機器１にはその機能を満たす方向
に対応するキューブミラー指向面２ａ，２ｂを有するキ
ューブミラー２が一体的に取付けられている。
【００１９】搭載機器１の周囲にはセオドライト６から
の照射光をキューブミラー指向面２ｂに反射するリファ
レンスミラー３と、キューブミラー２のキューブミラー
指向面を直接コリメーションするためのセオドライト
４，５と、キューブミラー指向面２ｂをリファレンスミ
ラー３を介してコリメーションするためのセオドライト
６と、リファレンスミラー３をコリメーションするセオ
ドライト７とが配設されている。
の照射光をキューブミラー指向面２ｂに反射するリファ
レンスミラー３と、キューブミラー２のキューブミラー
指向面を直接コリメーションするためのセオドライト
４，５と、キューブミラー指向面２ｂをリファレンスミ
ラー３を介してコリメーションするためのセオドライト
６と、リファレンスミラー３をコリメーションするセオ
ドライト７とが配設されている。
【００２０】尚、８はコリメーション軸であり、９は搭
載機器１を搭載する人工衛星（図示せず）の座標軸であ
る。また、セオドライト４〜７は夫々本発明の一実施例
によるアライメント測定系に配置された通常の装備品で
ある。
載機器１を搭載する人工衛星（図示せず）の座標軸であ
る。また、セオドライト４〜７は夫々本発明の一実施例
によるアライメント測定系に配置された通常の装備品で
ある。
【００２１】この図１を用いて本発明の一実施例のアラ
イメント測定動作について説明する。まず、セオドライ
ト５でキューブミラー指向面２ａをコリメーションし、
予めセオドライト５の位置決めを行う。
イメント測定動作について説明する。まず、セオドライ
ト５でキューブミラー指向面２ａをコリメーションし、
予めセオドライト５の位置決めを行う。
【００２２】その後に、セオドライト４に予め設定され
ている人工衛星の座標軸９をセオドライト５に移し、セ
オドライト５によってキューブミラー指向面２ａを再コ
リメーションし、キューブミラー指向面２ａのアライメ
ント測定を行う。
ている人工衛星の座標軸９をセオドライト５に移し、セ
オドライト５によってキューブミラー指向面２ａを再コ
リメーションし、キューブミラー指向面２ａのアライメ
ント測定を行う。
【００２３】次に、セオドライト６からの照射光をキュ
ーブミラー指向面２ｂに反射可能な位置にリファレンス
ミラー３を設置した後に、リファレンスミラー３を介し
てセオドライト６によってキューブミラー指向面２ｂを
コリメーションし、セオドライト６の位置決めを行う。
ーブミラー指向面２ｂに反射可能な位置にリファレンス
ミラー３を設置した後に、リファレンスミラー３を介し
てセオドライト６によってキューブミラー指向面２ｂを
コリメーションし、セオドライト６の位置決めを行う。
【００２４】その後に、セオドライト５に設定されてい
る人工衛星の座標軸９をセオドライト６に移し、リファ
レンスミラー３を介してセオドライト６によってキュー
ブミラー指向面２ｂを再コリメーションし、キューブミ
ラー指向面２ｂのアライメント測定を行う。
る人工衛星の座標軸９をセオドライト６に移し、リファ
レンスミラー３を介してセオドライト６によってキュー
ブミラー指向面２ｂを再コリメーションし、キューブミ
ラー指向面２ｂのアライメント測定を行う。
【００２５】このリファレンスミラー３のアライメント
測定を行うために、セオドライト７によってリファレン
スミラー３をコリメーションし、セオドライト７の位置
決めを行う。
測定を行うために、セオドライト７によってリファレン
スミラー３をコリメーションし、セオドライト７の位置
決めを行う。
【００２６】その後に、セオドライト５に設定されてい
る人工衛星の座標軸９をセオドライト７に移し、セオド
ライト７によってリファレンスミラー３を再コリメーシ
ョンし、リファレンスミラー３のアライメント測定を行
う。
る人工衛星の座標軸９をセオドライト７に移し、セオド
ライト７によってリファレンスミラー３を再コリメーシ
ョンし、リファレンスミラー３のアライメント測定を行
う。
【００２７】上記のリファレンスミラー３を介したセオ
ドライト６によるキューブミラー指向面２ｂのコリメー
ションの測定結果と、セオドライト７によるリファレン
スミラー３のコリメーションの測定結果とを基に、座標
軸９のＺ軸回り及びＹ軸回りに対するキューブミラー指
向面２ｂの指向角の角度ずれが算出される。
ドライト６によるキューブミラー指向面２ｂのコリメー
ションの測定結果と、セオドライト７によるリファレン
スミラー３のコリメーションの測定結果とを基に、座標
軸９のＺ軸回り及びＹ軸回りに対するキューブミラー指
向面２ｂの指向角の角度ずれが算出される。
【００２８】セオドライト６による測定結果であるＺ軸
回り測定値をα1 、Ｙ軸回りの測定角をβ1 とし、セオ
ドライト７による測定結果であるＺ軸回り測定値をα2
、Ｙ軸回りの測定角をβ2 とすると、キューブミラー
指向面２ｂの指向角、つまり最終的なアジマス角ＡＺ及
びエレベーション角ＥＬは、 ＡＺ＝−［ｔａｎ-1（Ｃ0 ／Ｂ0 ）］ ……（１） ＥＬ＝ｃｏｓ-1Ａ0 −９０° ……（２） から算出することができる。
回り測定値をα1 、Ｙ軸回りの測定角をβ1 とし、セオ
ドライト７による測定結果であるＺ軸回り測定値をα2
、Ｙ軸回りの測定角をβ2 とすると、キューブミラー
指向面２ｂの指向角、つまり最終的なアジマス角ＡＺ及
びエレベーション角ＥＬは、 ＡＺ＝−［ｔａｎ-1（Ｃ0 ／Ｂ0 ）］ ……（１） ＥＬ＝ｃｏｓ-1Ａ0 −９０° ……（２） から算出することができる。
【００２９】ここで、Ａ0 ，Ｂ0 ，Ｃ0 は、 Ａ0 ＝Ａｎ×（Ｂ／Ｂｎ）−Ａｒ ……（３） Ｂ0 ＝Ｂ−Ｂｒ ……（４） Ｃ0 ＝Ｃｎ×（Ｂ0 ＋Ｂｒ）／Ｂｎ−Ｃｒ ……（５） である。
【００３０】また、Ａｒ，Ａｎ，Ｂ，Ｂｒ，Ｂｎ，Ｃ
ｒ，Ｃｎは、 Ａｒ＝−ｃｏｓβ1 ……（６） Ａｎ＝−ｃｏｓβ2 ……（７） Ｂ＝２×Ｂｎ×（Ａｒ×Ａｎ＋Ｃｒ×Ｃｎ）＋２×Ｂｒ×Ｂｎ2 ……（８） Ｂｒ＝ｓｉｎβ1 ×ｃｏｓα1 ……（９） Ｂｎ＝ｓｉｎβ2 ×ｃｏｓα2 ……（１０） Ｃｒ＝ｓｉｎβ1 ×ｓｉｎα1 ……（１１） Ｃｎ＝ｓｉｎβ2 ×ｓｉｎα2 ……（１２） である。
ｒ，Ｃｎは、 Ａｒ＝−ｃｏｓβ1 ……（６） Ａｎ＝−ｃｏｓβ2 ……（７） Ｂ＝２×Ｂｎ×（Ａｒ×Ａｎ＋Ｃｒ×Ｃｎ）＋２×Ｂｒ×Ｂｎ2 ……（８） Ｂｒ＝ｓｉｎβ1 ×ｃｏｓα1 ……（９） Ｂｎ＝ｓｉｎβ2 ×ｃｏｓα2 ……（１０） Ｃｒ＝ｓｉｎβ1 ×ｓｉｎα1 ……（１１） Ｃｎ＝ｓｉｎβ2 ×ｓｉｎα2 ……（１２） である。
【００３１】このように、通常装備のセオドライト４〜
７とリファレンスミラー３とを用い、リファレンスミラ
ー３を介してセオドライト６により搭載機器１のキュー
ブミラー２のキューブミラー指向面２ｂをコリメーショ
ンした結果と、セオドライト７によりリファレンスミラ
ー３をコリメーションした結果とを基にキューブミラー
指向面２ｂの指向角を算出することによって、測定設備
や人工衛星の形状等の影響を受けることなく、被測定物
のあらゆる指向面の測定を可能とすることができる。
７とリファレンスミラー３とを用い、リファレンスミラ
ー３を介してセオドライト６により搭載機器１のキュー
ブミラー２のキューブミラー指向面２ｂをコリメーショ
ンした結果と、セオドライト７によりリファレンスミラ
ー３をコリメーションした結果とを基にキューブミラー
指向面２ｂの指向角を算出することによって、測定設備
や人工衛星の形状等の影響を受けることなく、被測定物
のあらゆる指向面の測定を可能とすることができる。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように本発明のアライメン
ト測定系によれば、セオドライトからの測定光をミラー
指向面に反射しかつミラー指向面からの測定光による反
射光をセオドライトに反射するリファレンスミラーと、
リファレンスミラーを介してミラー指向面に対するコリ
メーションを行う第１のセオドライトと、リファレンス
ミラーに対するコリメーションを行う第２のセオドライ
トとを備えることによって、測定設備や人工衛星の形状
等の影響を受けることなく、被測定物のあらゆる指向面
の測定を可能とすることができるという効果がある。
ト測定系によれば、セオドライトからの測定光をミラー
指向面に反射しかつミラー指向面からの測定光による反
射光をセオドライトに反射するリファレンスミラーと、
リファレンスミラーを介してミラー指向面に対するコリ
メーションを行う第１のセオドライトと、リファレンス
ミラーに対するコリメーションを行う第２のセオドライ
トとを備えることによって、測定設備や人工衛星の形状
等の影響を受けることなく、被測定物のあらゆる指向面
の測定を可能とすることができるという効果がある。
【００３３】また、本発明のアライメント測定方法によ
れば、セオドライトからの測定光をミラー指向面に反射
しかつミラー指向面からの測定光による反射光をセオド
ライトに反射するリファレンスミラーを設置し、リファ
レンスミラーに測定光を照射する第１のセオドライトに
人工衛星の基準座標軸に対応する座標軸を設定してから
リファレンスミラーを介してミラー指向面に対してコリ
メーションを行い、第２のセオドライトによりリファレ
ンスミラーに対してコリメーションを行ってそれらのコ
リメーションの結果を基にミラー指向面の法線軸の角度
ずれを算出することによって、測定設備や人工衛星の形
状等の影響を受けることなく、被測定物のあらゆる指向
面の測定を可能とすることができるという効果がある。
れば、セオドライトからの測定光をミラー指向面に反射
しかつミラー指向面からの測定光による反射光をセオド
ライトに反射するリファレンスミラーを設置し、リファ
レンスミラーに測定光を照射する第１のセオドライトに
人工衛星の基準座標軸に対応する座標軸を設定してから
リファレンスミラーを介してミラー指向面に対してコリ
メーションを行い、第２のセオドライトによりリファレ
ンスミラーに対してコリメーションを行ってそれらのコ
リメーションの結果を基にミラー指向面の法線軸の角度
ずれを算出することによって、測定設備や人工衛星の形
状等の影響を受けることなく、被測定物のあらゆる指向
面の測定を可能とすることができるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図２】従来例を示す構成図である。
【図３】従来例の測定動作を示す図である。
【図４】従来例を示す構成図である。
１ 搭載機器 ２ キューブミラー ２ａ，２ｂ キューブミラー指向面 ３ リファレンスミラー ４〜７ セオドライト ８ コリメーション軸 ９ 座標軸
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01C 15/00 - 15/14 G01C 1/00 - 1/14 G01B 11/00 - 11/30 102
Claims (2)
- 【請求項１】 人工衛星に搭載された被測定物の取付方
向を示すミラー指向面に対してセオドライトのコリメー
ションを行うことで前記人工衛星の基準座標軸に対する
前記ミラー指向面の法線軸の角度ずれを測定するアライ
メント測定系であって、前記セオドライトからの測定光
を前記ミラー指向面に反射しかつ前記ミラー指向面から
の前記測定光による反射光を前記セオドライトに反射す
るリファレンスミラーと、前記リファレンスミラーを介
して前記ミラー指向面に対するコリメーションを行う第
１のセオドライトと、前記リファレンスミラーに対する
コリメーションを行う第２のセオドライトとを有するこ
とを特徴とするアライメント測定系。 - 【請求項２】 人工衛星に搭載された被測定物の取付方
向を示すミラー指向面に対してセオドライトのコリメー
ションを行うことで前記人工衛星の基準座標軸に対する
前記ミラー指向面の法線軸の角度ずれを測定するアライ
メント測定方法であって、前記セオドライトからの測定
光を前記ミラー指向面に反射しかつ前記ミラー指向面か
らの前記測定光による反射光を前記セオドライトに反射
するリファレンスミラーを設置する第１のステップと、
前記リファレンスミラーに前記測定光を照射する第１の
セオドライトに前記人工衛星の基準座標軸に対応する座
標軸を設定する第２のステップと、前記リファレンスミ
ラーを介して前記ミラー指向面に対して前記第１のセオ
ドライトのコリメーションを行う第３のステップと、前
記リファレンスミラーに対して第２のセオドライトのコ
リメーションを行う第４のステップと、前記第３及び第
４のステップで得た前記第１及び第２のセオドライトの
コリメーションの結果を基に前記ミラー指向面の法線軸
の角度ずれを算出する第５のステップとからなることを
特徴とするアライメント測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31072793A JP3165987B2 (ja) | 1993-12-10 | 1993-12-10 | アライメント測定系及びその測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31072793A JP3165987B2 (ja) | 1993-12-10 | 1993-12-10 | アライメント測定系及びその測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07159168A JPH07159168A (ja) | 1995-06-23 |
| JP3165987B2 true JP3165987B2 (ja) | 2001-05-14 |
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