JP3158809B2 - 超音波センサ - Google Patents
超音波センサInfo
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H11/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties
- G01H11/06—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by electric means
- G01H11/08—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by electric means using piezoelectric devices
-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K9/00—Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers
- G10K9/12—Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers electrically operated
- G10K9/122—Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers electrically operated using piezoelectric driving means
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- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Measurement Of Velocity Or Position Using Acoustic Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電振動板を利用して
超音波を検出する超音波センサに関し、特に、圧電振動
板に超音波を導く構造が改良された超音波センサに関す
る。
超音波を検出する超音波センサに関し、特に、圧電振動
板に超音波を導く構造が改良された超音波センサに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】例えば自動車の盗難防止用装置として、
窓ガラスの破壊を検出する超音波センサが知られてい
る。上記超音波センサの一例を、図１を参照して説明す
る。
窓ガラスの破壊を検出する超音波センサが知られてい
る。上記超音波センサの一例を、図１を参照して説明す
る。
【０００３】この超音波センサは、下面に開口を有する
ケース本体１と、該開口を閉成するように取り付けられ
たベース２とを有する。ケース本体１の上面には、複数
の貫通孔１ａが形成されており、該貫通孔１ａを通し
て、超音波がケース１本体内に導かれる。
ケース本体１と、該開口を閉成するように取り付けられ
たベース２とを有する。ケース本体１の上面には、複数
の貫通孔１ａが形成されており、該貫通孔１ａを通し
て、超音波がケース１本体内に導かれる。
【０００４】他方、ベース２の上面には、支持部２ａが
ベース２に一体に設けられている。支持部２ａの上端に
は、圧電振動板３が固定されている。圧電振動板３は、
金属板４の下面に圧電セラミック板５を貼り付けた構造
を有し、従って、ユニモルフ型の圧電振動板として構成
されている。
ベース２に一体に設けられている。支持部２ａの上端に
は、圧電振動板３が固定されている。圧電振動板３は、
金属板４の下面に圧電セラミック板５を貼り付けた構造
を有し、従って、ユニモルフ型の圧電振動板として構成
されている。
【０００５】圧電セラミック板５の下面には、電極６が
形成されている。電極６は、リード線７ａにより端子８
に電気的に接続されている。他方、金属板４が、リード
線７ｂにより端子９に電気的に接続されている。
形成されている。電極６は、リード線７ａにより端子８
に電気的に接続されている。他方、金属板４が、リード
線７ｂにより端子９に電気的に接続されている。
【０００６】なお、圧電振動板３の中央には、超音波を
受信する側に別の振動体としてのイコライザー１０が接
合されている。イコライザー１０は、超音波が受信する
側に向かって開いたコーン型の形状を有する剛性材料に
より構成されている。
受信する側に別の振動体としてのイコライザー１０が接
合されている。イコライザー１０は、超音波が受信する
側に向かって開いたコーン型の形状を有する剛性材料に
より構成されている。
【０００７】上記超音波センサでは、端子８，９から電
圧を印加して圧電振動板３を振動させ、それによって超
音波を発し、被検出物体で反射されてきた超音波が圧電
振動板３を変位させる。この変位に基づく電圧が、端子
８，９から取り出され、超音波を検出することが可能と
されている。
圧を印加して圧電振動板３を振動させ、それによって超
音波を発し、被検出物体で反射されてきた超音波が圧電
振動板３を変位させる。この変位に基づく電圧が、端子
８，９から取り出され、超音波を検出することが可能と
されている。
【０００８】ところで、前述した自動車盗難防止用の超
音波センサでは、すべての窓ガラスの破損に起因する超
音波を検出することを可能とするために、広い指向性を
有することが要求されている。また、窓ガラスの種類や
割れ方によって反射してくる超音波が異なるため、超音
波センサは、その感度周波数帯域が広いことも要求され
る。
音波センサでは、すべての窓ガラスの破損に起因する超
音波を検出することを可能とするために、広い指向性を
有することが要求されている。また、窓ガラスの種類や
割れ方によって反射してくる超音波が異なるため、超音
波センサは、その感度周波数帯域が広いことも要求され
る。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記超音波センサにお
いて指向性を広げるには、圧電振動板３として面積の小
さなものを用いればよい。しかしながら、圧電振動板３
の面積を小さくした場合には、圧電振動板３の共振周波
数がその寸法によっても決定されるため、感度周波数帯
域が、様々な窓ガラスの割れを検出し得る周波数帯域か
らずれることになる。また、圧電振動板とコーン状イコ
ライザ１０の結合振動の２種類のモードが離れるため、
所定の感度レベルの帯域幅が狭くなる。すなわち、十分
な感度周波数帯域を得ることができなくなる。
いて指向性を広げるには、圧電振動板３として面積の小
さなものを用いればよい。しかしながら、圧電振動板３
の面積を小さくした場合には、圧電振動板３の共振周波
数がその寸法によっても決定されるため、感度周波数帯
域が、様々な窓ガラスの割れを検出し得る周波数帯域か
らずれることになる。また、圧電振動板とコーン状イコ
ライザ１０の結合振動の２種類のモードが離れるため、
所定の感度レベルの帯域幅が狭くなる。すなわち、十分
な感度周波数帯域を得ることができなくなる。
【００１０】また、圧電振動板３の面積を小さくする
と、振巾が小さくなるため、感度が低下する。本発明の
目的は、圧電振動板の大きさを小さくすることなく、広
い指向性を得ることができ、従って広い指向性と広い感
度周波数帯域の双方を実現し得る超音波センサを提供す
ることにある。
と、振巾が小さくなるため、感度が低下する。本発明の
目的は、圧電振動板の大きさを小さくすることなく、広
い指向性を得ることができ、従って広い指向性と広い感
度周波数帯域の双方を実現し得る超音波センサを提供す
ることにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、超音波を送受
信する側の面に少なくとも１つの貫通孔が形成されたケ
ースと、ケース内に配置された圧電振動板と、圧電振動
板の超音波を送受信する側の面に接合されており、前記
圧電振動板と共に振動する振動体と、振動体からケース
外にまたは、前記振動体に超音波を導くために、ケース
内において該振動体の前方に配置された筒状部材とを備
える超音波センサである。
信する側の面に少なくとも１つの貫通孔が形成されたケ
ースと、ケース内に配置された圧電振動板と、圧電振動
板の超音波を送受信する側の面に接合されており、前記
圧電振動板と共に振動する振動体と、振動体からケース
外にまたは、前記振動体に超音波を導くために、ケース
内において該振動体の前方に配置された筒状部材とを備
える超音波センサである。
【００１２】なお、上記振動体とは、例えばコーン型の
イコライザーのように、圧電振動板と共に振動し、超音
波の送信効率または受信効率を高めるための振動体を意
味し、前述したコーン型の他、種々の形状のものを含む
ものとする。
イコライザーのように、圧電振動板と共に振動し、超音
波の送信効率または受信効率を高めるための振動体を意
味し、前述したコーン型の他、種々の形状のものを含む
ものとする。
【００１３】
【作用】本発明の超音波センサでは、圧電振動板及び上
記振動体の前方に、筒状部材が配置されており、それに
よって超音波センサの指向性が高められる。この理由
を、図２を参照して説明する。
記振動体の前方に、筒状部材が配置されており、それに
よって超音波センサの指向性が高められる。この理由
を、図２を参照して説明する。
【００１４】圧電振動板及び上記振動部からなる受信部
１１に対して、音源Ａから超音波が図示のように到達し
ているとする。この場合、筒状部材１２が配置されてい
ない場合には、経路Ｂ1 と、経路Ｂ2 とを通る超音波に
おいて位相差が生じ、この位相差が半波長の整数倍の場
合に超音波同士の打ち消し合いが起こる。従って、指向
性が低下する。
１１に対して、音源Ａから超音波が図示のように到達し
ているとする。この場合、筒状部材１２が配置されてい
ない場合には、経路Ｂ1 と、経路Ｂ2 とを通る超音波に
おいて位相差が生じ、この位相差が半波長の整数倍の場
合に超音波同士の打ち消し合いが起こる。従って、指向
性が低下する。
【００１５】これに対して、筒状部材１２が配置されて
いる場合には、音源Ａから輻射される超音波は、経路Ｂ
1 とＢ3 との間で筒状部材１２内に導かれることにな
る。よって、受信部１１の面積を小さくすることなく音
源Ａからの超音波の受信を確実に行うことができ、その
分だけ指向性を広げることができる。
いる場合には、音源Ａから輻射される超音波は、経路Ｂ
1 とＢ3 との間で筒状部材１２内に導かれることにな
る。よって、受信部１１の面積を小さくすることなく音
源Ａからの超音波の受信を確実に行うことができ、その
分だけ指向性を広げることができる。
【００１６】また、筒状部材１２の壁面で反射された超
音波も受信部１１に到達することになるため、筒状部材
１２を設けたことにより、感度の低下も防止され得る。
さらに、受信部１１の面積を小さくする必要がないた
め、用途に応じて適宜の大きさの圧電振動板及び振動体
を用いることにより、感度周波数帯域を狭めることな
く、上記のような広指向性を実現することができる。
音波も受信部１１に到達することになるため、筒状部材
１２を設けたことにより、感度の低下も防止され得る。
さらに、受信部１１の面積を小さくする必要がないた
め、用途に応じて適宜の大きさの圧電振動板及び振動体
を用いることにより、感度周波数帯域を狭めることな
く、上記のような広指向性を実現することができる。
【００１７】なお、以上は受信センサの場合を例にとり
説明したが送信センサの場合も同様である。
説明したが送信センサの場合も同様である。
【００１８】
【実施例】図３は、本発明の一実施例にかかる超音波セ
ンサを示す断面図である。本実施例の超音波センサ２１
は、一面が開口されたケース本体２２とベース２３とを
有する。ベース２３は、ケース本体２２の開口を閉成す
るようにケース本体２２に取り付けられている。ケース
本体２２及びベース２３は、例えば合成樹脂もしくは金
属等の適宜の剛性材料により構成され得る。
ンサを示す断面図である。本実施例の超音波センサ２１
は、一面が開口されたケース本体２２とベース２３とを
有する。ベース２３は、ケース本体２２の開口を閉成す
るようにケース本体２２に取り付けられている。ケース
本体２２及びベース２３は、例えば合成樹脂もしくは金
属等の適宜の剛性材料により構成され得る。
【００１９】ケース本体２２の上面には、複数の貫通孔
２２ａが形成されている。複数の貫通孔２２ａは、超音
波をケース本体２２内に導くために設けられている。ま
た、ケース本体２２の上記超音波を受信する面の内面側
には、円筒状の筒状部材２４が取り付けられている。筒
状部材２４は、合成樹脂もしくは金属等の剛性を有する
材料で構成されており、貫通孔２２ａから進入してきた
超音波を後述の圧電振動板及び振動体に導くために設け
られている。
２２ａが形成されている。複数の貫通孔２２ａは、超音
波をケース本体２２内に導くために設けられている。ま
た、ケース本体２２の上記超音波を受信する面の内面側
には、円筒状の筒状部材２４が取り付けられている。筒
状部材２４は、合成樹脂もしくは金属等の剛性を有する
材料で構成されており、貫通孔２２ａから進入してきた
超音波を後述の圧電振動板及び振動体に導くために設け
られている。
【００２０】他方、ベース２３の上面には、ベース２３
と一体に支持部２３ａが設けられている。支持部２３ａ
は、ベース２３と別体の部材で構成されていてもよい。
支持部２３ａの上端には、圧電振動板２５が固定されて
いる。圧電振動板２５は、本実施例では、金属板２６の
下面に圧電セラミック板２７を貼り合わせた構造を有す
る。
と一体に支持部２３ａが設けられている。支持部２３ａ
は、ベース２３と別体の部材で構成されていてもよい。
支持部２３ａの上端には、圧電振動板２５が固定されて
いる。圧電振動板２５は、本実施例では、金属板２６の
下面に圧電セラミック板２７を貼り合わせた構造を有す
る。
【００２１】圧電セラミック板２７の下面には、電極２
８が形成されている。電極２８は、リード線２９ａを介
してリード端子３０に、金属板２６はリード線２９ｂを
介してリード端子３１に電気的に接続されている。従っ
て、リード端子３０，３１から電圧を印加することによ
り、圧電振動板２５は屈曲モードで振動するように構成
されている。また、この屈曲振動モードの振動を実現す
るために、上記支持部２３ａ，２３ａの上端は、圧電振
動板２６の振動のノード点に接合されている。
８が形成されている。電極２８は、リード線２９ａを介
してリード端子３０に、金属板２６はリード線２９ｂを
介してリード端子３１に電気的に接続されている。従っ
て、リード端子３０，３１から電圧を印加することによ
り、圧電振動板２５は屈曲モードで振動するように構成
されている。また、この屈曲振動モードの振動を実現す
るために、上記支持部２３ａ，２３ａの上端は、圧電振
動板２６の振動のノード点に接合されている。
【００２２】他方、圧電振動板２５の上面には、圧電振
動板２５と共に振動する振動体３２が接合されている。
本実施例では、振動体３２は、図示のようにコーン型の
形状を有するイコライザーで構成されている。該振動体
３２は、金属等の適宜の剛性部材で構成され、該振動体
３２により、超音波の受信感度及び感度周波数帯域が広
げられている。
動板２５と共に振動する振動体３２が接合されている。
本実施例では、振動体３２は、図示のようにコーン型の
形状を有するイコライザーで構成されている。該振動体
３２は、金属等の適宜の剛性部材で構成され、該振動体
３２により、超音波の受信感度及び感度周波数帯域が広
げられている。
【００２３】なお、上記筒状部材２４の内径は、コーン
形状の振動体３２の最大径部分よりも大きく、例えば該
最大径の１．２〜１．５倍程度とされることが好まし
く、かつケース２２の内径よりも小さくされている。
形状の振動体３２の最大径部分よりも大きく、例えば該
最大径の１．２〜１．５倍程度とされることが好まし
く、かつケース２２の内径よりも小さくされている。
【００２４】また、振動体３２としては、図示のコーン
型のものに限らず、上記作用を果たし得る限り、適宜の
形状のものを用いることができる。本実施例の超音波セ
ンサ２１では、リード端子３０，３１から交流電圧を印
加することにより圧電振動板２５が屈曲モードで振動
し、それに伴って振動体３２も前後に振動する。その結
果、超音波がケース本体２２の貫通孔２２ａから放射さ
れ、被検知物体に輻射される。被検知物体で反射された
超音波は、貫通孔２２ａを通してケース本体２２内に導
かれ、さらに筒状部材２４によって導かれて上記振動体
３２及び圧電振動板２５に伝えられる。そして、伝達し
てきた超音波により圧電振動板２５が屈曲モードで変位
し、該変位に基づく電圧がリード端子３０，３１から取
り出され、超音波を検出することが可能とされている。
型のものに限らず、上記作用を果たし得る限り、適宜の
形状のものを用いることができる。本実施例の超音波セ
ンサ２１では、リード端子３０，３１から交流電圧を印
加することにより圧電振動板２５が屈曲モードで振動
し、それに伴って振動体３２も前後に振動する。その結
果、超音波がケース本体２２の貫通孔２２ａから放射さ
れ、被検知物体に輻射される。被検知物体で反射された
超音波は、貫通孔２２ａを通してケース本体２２内に導
かれ、さらに筒状部材２４によって導かれて上記振動体
３２及び圧電振動板２５に伝えられる。そして、伝達し
てきた超音波により圧電振動板２５が屈曲モードで変位
し、該変位に基づく電圧がリード端子３０，３１から取
り出され、超音波を検出することが可能とされている。
【００２５】本実施例では、上記筒状部材２４が振動体
３２の前方に配置されているため、前述したように受信
すべき超音波に対する指向性を広げることが可能とされ
ている。しかも、筒状部材２４の作用により指向性を広
げることが可能とされているため、圧電振動板２５につ
いては、その面積を特に小さくする必要がない。従っ
て、感度周波数帯域を維持したまま、指向性が拡大され
た超音波センサを提供することができる。
３２の前方に配置されているため、前述したように受信
すべき超音波に対する指向性を広げることが可能とされ
ている。しかも、筒状部材２４の作用により指向性を広
げることが可能とされているため、圧電振動板２５につ
いては、その面積を特に小さくする必要がない。従っ
て、感度周波数帯域を維持したまま、指向性が拡大され
た超音波センサを提供することができる。
【００２６】図３に示した実施例では、筒状部材２４
は、ケース本体２２の天板の内面に別途用意された円筒
状の部材を接合することにより構成されていたが、図４
に示すように、筒状部３４ａの上端側にフランジ部３４
ｂを有する筒状部材３４を用い、該フランジ部３４ｂを
ケース本体２２の天板内面に貼り合わせることにより、
筒状部材３４をケース本体２２内に構成してもよい。
は、ケース本体２２の天板の内面に別途用意された円筒
状の部材を接合することにより構成されていたが、図４
に示すように、筒状部３４ａの上端側にフランジ部３４
ｂを有する筒状部材３４を用い、該フランジ部３４ｂを
ケース本体２２の天板内面に貼り合わせることにより、
筒状部材３４をケース本体２２内に構成してもよい。
【００２７】また、図３及び図４に示した実施例におい
て、筒状部材２４，３４は、ケース本体２２と同一材料
により一体に形成されていてもよい。さらに、図５に示
した変形例のように、ケース本体２２の超音波受信側で
ある天板の内側に、ケース本体２２の側壁２２ｂにも至
る肉厚の筒状部材２４を貼り付けてもよい。この場合、
筒状部材４４は、上述した実施例の場合と同様に、ケー
ス本体２２と一体に構成されていてもよい。
て、筒状部材２４，３４は、ケース本体２２と同一材料
により一体に形成されていてもよい。さらに、図５に示
した変形例のように、ケース本体２２の超音波受信側で
ある天板の内側に、ケース本体２２の側壁２２ｂにも至
る肉厚の筒状部材２４を貼り付けてもよい。この場合、
筒状部材４４は、上述した実施例の場合と同様に、ケー
ス本体２２と一体に構成されていてもよい。
【００２８】図４及び図５に示した変形例においても、
筒状部材３４，４４の作用により、指向性が広げられ
る。従って、図３に示した実施例の場合と同様に、感度
周波数帯域を狭めることなく指向性を広げることができ
る。
筒状部材３４，４４の作用により、指向性が広げられ
る。従って、図３に示した実施例の場合と同様に、感度
周波数帯域を狭めることなく指向性を広げることができ
る。
【００２９】図６は、図３に示した実施例における指向
性を説明するための図である。図６において、実線Ａは
実施例により得られた指向特性を示す曲線であり、破線
Ｂは筒状部材２４を設けていない従来の超音波センサの
指向特性を示す曲線である。実線Ａ及び破線Ｂの比較か
ら明らかなように、筒状部材２４を設けたことにより指
向性が著しく広げられることがわかる。
性を説明するための図である。図６において、実線Ａは
実施例により得られた指向特性を示す曲線であり、破線
Ｂは筒状部材２４を設けていない従来の超音波センサの
指向特性を示す曲線である。実線Ａ及び破線Ｂの比較か
ら明らかなように、筒状部材２４を設けたことにより指
向性が著しく広げられることがわかる。
【００３０】本願発明者の実験によれば、超音波センサ
の正面に対して±３０°の範囲における感度の減衰量
は、従来の超音波センサにおいて−１６ｄＢであったの
に対し、上記筒状部材２４を設けた実施例では、−２ｄ
Ｂと著しく低減され、かつ感度周波数特性については、
従来例と上記筒状部材２４を設けた実施例とで差がない
ことが確かめられた。
の正面に対して±３０°の範囲における感度の減衰量
は、従来の超音波センサにおいて−１６ｄＢであったの
に対し、上記筒状部材２４を設けた実施例では、−２ｄ
Ｂと著しく低減され、かつ感度周波数特性については、
従来例と上記筒状部材２４を設けた実施例とで差がない
ことが確かめられた。
【００３１】なお、図示の実施例では、圧電振動板とし
てユニモルフ型の圧電振動板を示したが、圧電振動板は
バイモルフ型の振動板で構成されていてもよい。また、
上記実施例は、受信センサに適用したものであるが、本
発明は送信用センサにも適用することができる。
てユニモルフ型の圧電振動板を示したが、圧電振動板は
バイモルフ型の振動板で構成されていてもよい。また、
上記実施例は、受信センサに適用したものであるが、本
発明は送信用センサにも適用することができる。
【００３２】
【発明の効果】本発明では、圧電振動板及び振動体の前
方に超音波を導くための筒状部材が配置されているた
め、該筒状部材を設けたことにより指向性が著しく広げ
られる。筒状部材の作用により指向性を広げるものであ
るため、使用する圧電振動板の面積を小さくする必要が
ない。従って、感度周波数特性を維持したまま、広い指
向性の送信用もしくは受信用超音波センサを提供するこ
とができる。
方に超音波を導くための筒状部材が配置されているた
め、該筒状部材を設けたことにより指向性が著しく広げ
られる。筒状部材の作用により指向性を広げるものであ
るため、使用する圧電振動板の面積を小さくする必要が
ない。従って、感度周波数特性を維持したまま、広い指
向性の送信用もしくは受信用超音波センサを提供するこ
とができる。
【００３３】よって、本発明により、広指向性及び広帯
域の双方を満たす超音波センサを提供することができ、
例えば自動車盗難防止用のガラス破壊検知装置等のよう
に、様々な方向に配置されている被検知物質からの超音
波を検出する必要がある場合、並びに種々の周波数の超
音波を検出する必要がある場合に最適な超音波センサを
提供することが可能となる。
域の双方を満たす超音波センサを提供することができ、
例えば自動車盗難防止用のガラス破壊検知装置等のよう
に、様々な方向に配置されている被検知物質からの超音
波を検出する必要がある場合、並びに種々の周波数の超
音波を検出する必要がある場合に最適な超音波センサを
提供することが可能となる。
【図１】従来の超音波センサを示す断面図。
【図２】本発明の原理を説明するための模式図。
【図３】実施例の超音波センサの断面図。
【図４】図３に示した実施例の変形例を示す断面図。
【図５】図３の実施例の超音波センサの他の変形例を示
す断面図。
す断面図。
【図６】実施例及び従来例の超音波センサの指向特性を
説明するための図。
説明するための図。
２１…超音波センサ ２２…ケース ２３…ベース ２４…筒状部材 ２５…圧電振動板 ３２…振動体 ３４…筒状部材 ４４…筒状部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01H 11/08
Claims (1)
- 【請求項１】 超音波を送受信する側の面に少なくとも
１つの貫通孔が形成されたケースと、 前記ケース内に配置された圧電振動板と、 前記圧電振動板の超音波を送受信する側の面に接合され
ており、前記圧電振動板と共に振動する振動体と、 超音波を振動体から前記ケース外に、または前記振動体
及び圧電振動板に超音波を導くために、前記ケース内に
おいて該振動体の前方に配置された筒状部材とを備え
る、超音波センサ。
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|---|---|---|---|
| JP24174993A JP3158809B2 (ja) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | 超音波センサ |
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| ITRM940617A IT1274935B (it) | 1993-09-28 | 1994-09-27 | Sensore ultrasonico |
| DE4434692A DE4434692C2 (de) | 1993-09-28 | 1994-09-28 | Ultraschallsensor |
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|---|---|
| JPH0798245A JPH0798245A (ja) | 1995-04-11 |
| JP3158809B2 true JP3158809B2 (ja) | 2001-04-23 |
Family
ID=17078971
Family Applications (1)
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| JP24174993A Expired - Lifetime JP3158809B2 (ja) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | 超音波センサ |
Country Status (4)
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| JP (1) | JP3158809B2 (ja) |
| DE (1) | DE4434692C2 (ja) |
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| DE4114180C2 (de) * | 1991-05-01 | 2003-04-03 | Microsonic Ges Fuer Mikroelekt | Ultraschallwandler |
-
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- 1993-09-28 JP JP24174993A patent/JP3158809B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
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- 1994-09-26 US US08/311,923 patent/US5495766A/en not_active Expired - Lifetime
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