JP3156248B2 - Machining table device applicable to wire electric discharge machine and small hole electric discharge machine - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は，工作物に所望の各種の加工を行うため，
工作物を設置したパレットをワイヤ放電加工機，細穴放
電加工機，型彫放電加工機，レーザ加工機，ウォータジ
ェット加工機等の加工機群の所定の加工機に対して自動
的に搬出入して工作物を加工するフレキシブルマニファ
クチャリングシステム（以下,FMSという）におけるワイ
ヤ放電加工機及び細穴放電加工機に適用できる加工台装
置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention is intended to perform various kinds of desired machining on a workpiece.
The pallet on which the workpiece is placed is automatically loaded and unloaded to and from the specified processing machines in the group of processing machines such as wire electric discharge machines, small hole electric discharge machines, die sinking electric discharge machines, laser machines, and water jet machines. The present invention relates to a machining table device which can be applied to a wire electric discharge machine and a small hole electric discharge machine in a flexible manufacturing system (hereinafter, referred to as FMS) for processing a workpiece.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

一般に、ワイヤ放電加工機は，ワイヤ電極の垂直方向
に走行する部分を使用し，工作物とワイヤ電極との間で
放電を発生させて放電エネルギーによって工作物を加工
する。ワイヤ電極は自動ワイヤ供給装置におけるテンシ
ョンローラ，ブレーキローラ等の各種ローラに案内され
且つ適宜のテンションを加えられてワイヤガイドを有す
るワイヤヘッドに供給されている。該ワイヤ放電加工機
では，工作物を取り付けたＸ−Ｙテーブルは,NC装置か
らの指令で工作物の加工状況に従ってＸ方向及びＹ方向
に移動し，両者の移動が合成されて，電極との間で加工
が進行し，加工中は電極及びＸ−Ｙテーブルはサーボ移
動を繰り返し，両者の相対的運動によって工作物は所定
の加工形状に放電加工される。2. Description of the Related Art Generally, a wire electric discharge machine uses a portion of a wire electrode that travels in a vertical direction, generates a discharge between a workpiece and the wire electrode, and processes a workpiece with discharge energy. The wire electrode is guided by various rollers such as a tension roller and a brake roller in an automatic wire feeder, and is supplied with an appropriate tension to a wire head having a wire guide. In the wire electric discharge machine, the XY table on which the workpiece is mounted moves in the X direction and the Y direction according to the processing state of the workpiece according to a command from the NC device, and the movements of the two are combined to form a connection with the electrode. During the machining, the electrodes and the XY table repeat servo movements during machining, and the workpiece is subjected to electric discharge machining into a predetermined machining shape by the relative movement of both.

また，細穴放電加工機は，工作物の所定の位置に対し
て細孔或いは細穴を放電加工をするか，或いは，工作物
をワイヤ放電加工機で放電加工するためワイヤ電極を貫
通させるスタートホールを工作物の所定の位置に放電加
工するものであり，工作物とパイプ電極との間で放電を
発生させて放電エネルギーによって工作物に細穴を加工
するものである。In addition, a small hole electric discharge machine is used to perform electric discharge machining of a fine hole or a small hole at a predetermined position of a workpiece or to penetrate a wire electrode for electric discharge machining of a workpiece by a wire electric discharge machine. In this method, a hole is subjected to electrical discharge machining at a predetermined position on a workpiece, a discharge is generated between the workpiece and a pipe electrode, and a small hole is machined in the workpiece by discharge energy.

また，型彫放電加工機は，工作物と棒状等の各種形状
の電極との間で放電を発生させて放電エネルギーによっ
て工作物を加工する。In addition, a die-sinking electric discharge machine generates a discharge between a workpiece and electrodes of various shapes such as rods, and processes the workpiece with discharge energy.

最近，放電加工機について，大物工作物の加工，順送
り型の加工，自動化による無人加工等の加工を達成する
ための各種の装置が開示している。このような放電加工
を自動的に行う場合に，放電加工を行っている走行中の
ワイヤ電極の切断或いは無くなった状態，パイプ電極或
いは棒状電極の消耗状態が発生すれば，ワイヤ電極，パ
イプ電極或いは型彫用電極を交換する電極交換装置が提
供されている。Recently, various types of electric discharge machines have been disclosed for achieving machining of large workpieces, progressive feed machining, unmanned machining by automation, and the like. When such electric discharge machining is performed automatically, if a running or cut-off state of the wire electrode during the electric discharge machining or a consumption state of the pipe electrode or the rod-shaped electrode occurs, the wire electrode, the pipe electrode or An electrode exchanging device for exchanging an engraving electrode is provided.

例えば，特開昭63−139616号公報にはワイヤ電極交換
装置，特開平２−145215号公報にはワイヤ放電加工機の
自動ワイヤ電極供給方法，及び特開平２−279216号公報
には工作物から中子即ち加工片を自動的に取り出すワイ
ヤ放電加工機が開示されている。また，細穴放電加工機
は，例えば，特開平１−246021号公報や実開平１−1433
21号公報等に開示されている。For example, Japanese Unexamined Patent Publication No. 63-139616 discloses a wire electrode exchanging apparatus, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2-145215 discloses an automatic wire electrode supply method of a wire electric discharge machine, and Japanese Unexamined Patent Publication No. 2-279216 discloses a method of supplying a workpiece. A wire electric discharge machine for automatically removing a core or a work piece is disclosed. In addition, for example, Japanese Unexamined Patent Publication No. 1-246021 and Japanese Utility Model Laid-Open No.
No. 21, for example.

また，特開平１−246021号公報に開示されたパイプ電
極交換装置は，回転スピンドルに固定したホルダ部，該
ホルダ部に係止手段によって着脱可能に取り付けた電極
を保持したチャック部，前記ホルダ部と前記チャック部
とを着脱する着脱手段，及びテーブルに近接して設置さ
れ且つ前記チャック部を指示する複数個の支持部を有す
るチャック用パレットから成り，前記ホルダ部は工作物
を放電加工する加工位置と前記チャック用パレットの前
記支持部との間を移動可能に構成されている。Also, a pipe electrode exchanging device disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-246021 has a holder section fixed to a rotating spindle, a chuck section holding an electrode detachably attached to the holder section by locking means, and the holder section. Attaching and detaching means for attaching and detaching the chuck and the chuck, and a pallet for chuck having a plurality of supporting parts installed near the table and pointing to the chuck, wherein the holder is a machine for electric discharge machining of a workpiece. It is configured to be movable between a position and the support portion of the chuck pallet.

更に，特開昭62−120960号公報に開示されたワイヤ放
電加工機のエフエムエスは，中央部に円形ワーク移動ス
テーションを設け，その周囲にワイヤカット放電加工ス
テーション，型彫放電加工ステーション，レーザ加工ス
テーション，放電被覆加工ステーション及びウォータジ
ェット加工ステーションの各種を設ける。エフエムエス
で加工を行う際，最初に最適な加工ステーションを選択
し，一連の作業をエフエムエス全体を一括して制御する
制御装置のコンピュータに入力したプログラムで行うも
のである。Furthermore, the FM of the wire electric discharge machine disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-120960 has a circular work moving station in the center, a wire cut electric discharge station, a die sinking electric discharge station, and a laser processing. Stations, electric discharge coating stations and water jet processing stations. When processing is performed by FMS, an optimum processing station is first selected, and a series of operations are performed by a program input to a computer of a control device that controls the entire FMS collectively.

また，特開平１−193125号公報に開示されたアンロー
ディング装置は，電磁石を用いてワイヤ放電加工機の加
工片の吸着時に変化するコイルのインダクタンスを検出
して吸着を確認し，該加工片を排出する装置であり，先
端部に被加工物を吸着する磁石を備えた旋回可能なアー
ムと，該アームを上下動させるスライド機構を有し，ア
ームの外周に絶縁物を介して装着された導電性材料から
なるバンパーと，該バンパーと機械本体との間に微小電
圧を印加し，上記バンパーが機械本体と接触した時に流
れる電流を検知する制御装置を備えている。Further, the unloading device disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-193125 detects the suction by detecting the inductance of a coil, which changes when a workpiece is attracted by a wire electric discharge machine, using an electromagnet, and confirms the attraction. This device has a pivotable arm with a magnet at its tip that attracts the workpiece, and a slide mechanism to move the arm up and down. A conductive device mounted on the outer periphery of the arm via an insulator A bumper made of a conductive material, and a control device for applying a minute voltage between the bumper and the machine body and detecting a current flowing when the bumper contacts the machine body.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

しかしながら，従来の上記各放電加工機では，工作物
を放電加工機におけるＸ−Ｙテーブルに自動的に設定し
て取り付けるものはなく，放電加工機を完全自動化する
については障害となっている。ワイヤ放電加工機，細穴
放電加工機等の各種の加工機群を配置し，工作物を収容
するラック等のストック場所から工作物を加工機群のい
ずれかの加工機へ自動的に搬入して設定し，該工作物を
加工し，更に該加工機から工作物を搬出する各工程を，
完全自動化し，昼夜を問わずに工作物に対して無人化で
各種の加工を連続して行うことが望まれている。However, none of the above-mentioned conventional electric discharge machines automatically sets and mounts a workpiece on an XY table of the electric discharge machine, and this is an obstacle to fully automatic electric discharge machines. Various types of processing machines such as wire electric discharge machines and small hole electric discharge machines are arranged, and a work is automatically loaded from a stocking place such as a rack for accommodating the work to one of the processing machines in the group of machines. Each step of processing the workpiece and unloading the workpiece from the processing machine
There is a demand for fully automated and continuous processing of various types of work on a workpiece regardless of day and night.

また，エフエムエスは，円形ステーションに搭載でき
る工作物の数量に限度があり，多数の工作物を用意する
には円形ステーションの径が大きくなり，エフエムエス
のための装置自体の専有床面積のロスがあり，各種加工
機におる加工時間が異なるため，行程待ち時間が発生
し，また，加工時間に余裕のある加工機が存在する時に
は，加工機への工作物の搭載に時間的なロスが発生し，
サイクル効率が低下するという問題を有し，特に，加工
機に対して工作物を自動的に且つ正確に位置決めすると
いう技術的思想を全く有していないものである。Also, FMS has a limit on the number of workpieces that can be mounted on a circular station. To prepare a large number of workpieces, the diameter of the circular station becomes large, and the loss of the floor space occupied by the equipment itself for FMS is reduced. There is a difference in the processing time between various types of processing machines, which results in a waiting time for the process. In addition, when there is a processing machine with sufficient processing time, there is a time loss in mounting the workpiece on the processing machine. Occurs,
It has a problem that the cycle efficiency is reduced, and in particular, has no technical idea of automatically and accurately positioning the workpiece with respect to the processing machine.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

この発明の目的は，上記の課題を解決することであ
り，ワイヤ放電加工機及び細穴放電加工機の加工台に中
間受け渡し装置等のパレット搬出入装置でパレットを搭
載し，該パレットを加工台に自動的に無人で且つ正確に
位置決め固定し，加工精度を向上させ，加工台上のパレ
ットをパレット搬出入装置で自動的に且つ無人で搬出す
る加工台装置を提供することであり，特に，工作物を予
め設定したパレットをワイヤ放電加工機，細穴放電加工
機，型彫細穴放電加工機等の各種の加工機（EDM）を多
数設置した加工機群とラック等のストック場所との間で
パレット走行系に沿って往復移動するスタッカクレーン
と該スタッカクレーンと加工機との間でパレットを受け
渡しする中間受け渡し装置とで搬出入し，工作物に対す
る各種の加工を完全自動化し，昼夜を問わずに工作物に
対して無人化で各種の加工を連続して行うことができる
加工機群におけるFMSに適用して極めて好ましいワイヤ
放電加工機及び細穴放電加工機の加工台装置を提供する
ことである。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems. A pallet is mounted on a work table of a wire electric discharge machine or a small hole electric discharge machine by a pallet loading / unloading device such as an intermediate transfer device, and the pallet is mounted on the work table. To automatically and unmannedly and accurately position and fix the workpiece, improve the processing accuracy, and automatically and unmannedly carry out the pallet on the working table by the pallet loading / unloading device. A pallet in which workpieces are set in advance is used to store a large number of EDMs, such as wire electric discharge machines, small-hole electric discharge machines, and die-cutting small-hole electric discharge machines. A stacker crane that reciprocates along a pallet traveling system between the stacker crane and an intermediate transfer device that transfers pallets between the stacker crane and the processing machine. In addition, it is highly suitable for wire electric discharge machines and small hole electric discharge machines to be applied to FMS in a machine group that can continuously perform various kinds of machining on a workpiece regardless of day and night. It is to provide a device.

更に，この加工台装置は，パレットを各加工機におけ
るＸ−Ｙテーブル等のテーブル上に加工基準となる加工
台を設け，該加工台に搬出入手段，基準設定手段，クラ
ンプ手段等を設け，該加工台上には工作物を自動的に所
定の位置に設定可能に構成し、前記テーブルに対する工
作物の設定を正確に且つ確実に行って設定精度の信頼性
を向上させ，工作物を順次加工して加工精度を向上さ
せ，工作物に対する加工後に該工作物を設定したパレッ
トを加工台からスタッカクレーン側へ自動的に搬出し，
上記各工程を繰り返すことによって工作物の搬入，設
定，加工及び排出の各工程を自動的に且つ無人で連続し
て行うことができるものである。Further, in this processing table apparatus, a processing table serving as a processing reference is provided on a table such as an XY table in each processing machine, and loading / unloading means, reference setting means, clamping means, and the like are provided on the processing table. On the worktable, a workpiece can be automatically set at a predetermined position, and the setting of the workpiece with respect to the table can be performed accurately and reliably to improve the reliability of setting accuracy. After processing the workpiece, the pallet on which the workpiece is set is automatically unloaded from the processing table to the stacker crane side,
By repeating the above steps, the steps of loading, setting, processing, and discharging the workpiece can be performed automatically and unattended continuously.

この発明は，テーブル上に取り付けられ且つ水平方向
の基準手段と高さ方向の基準手段とが設けられている加
工台，前記テーブル上に取り付けられた加工槽と該加工
槽に形成したパレット出入口を水平方向に開閉できるス
ライドカバーを備えた加工槽装置，工作物を工作物セッ
ト治具によって取替え自在に取り付けるための切抜き孔
を備えた工作物ホルダと前記工作物を所定の位置に予め
設定するため前記加工台の前記両基準手段に対応する取
付基準手段の基準面を備え且つ前記工作物ホルダを取り
付けるための切抜き孔を備えたパレット本体とから構成
されているパレット，前記パレットを前記加工台に載置
した状態で前記加工台に設けられた前記水平方向の基準
手段に前記パレットの側面に設けられた前記基準面を押
圧して水平方向の位置決めを行うパレット押圧装置，前
記パレットの下面に設けられた前記基準面を前記加工台
に設けられた前記高さ方向の基準手段に当接させて前記
パレットを前記加工台に固定するクランプ装置，及び前
記加工槽の前記スライドカバーの開放状態に応答して前
記パレットを前記加工台に対して搬出入する制御をする
コントローラから構成されていることから成るフレキシ
ブルマニファクチャリングシステムにおけるワイヤ放電
加工機及び細穴放電加工機に適用できる加工台装置に関
する。The present invention provides a processing table mounted on a table and provided with horizontal reference means and height reference means, a processing tank mounted on the table, and a pallet entrance formed in the processing tank. A processing tank device having a slide cover that can be opened and closed in a horizontal direction, a work holder having a cutout hole for mounting a work so that the work can be replaced by a work setting jig, and setting the work in a predetermined position. A pallet body including a reference surface of mounting reference means corresponding to the two reference means of the processing table, and a pallet body including a cutout hole for mounting the workpiece holder; In a state in which the pallet is placed, the reference surface provided on the side surface of the pallet is pressed against the horizontal reference means provided on the processing table so as to be positioned in the horizontal direction. A pallet pressing device for determining, a clamp device for fixing the pallet to the processing table by bringing the reference surface provided on the lower surface of the pallet into contact with the reference means in the height direction provided on the processing table; A wire electric discharge machine in a flexible manufacturing system, comprising: a controller configured to control the loading and unloading of the pallet to and from the processing table in response to an open state of the slide cover of the processing tank. The present invention relates to a machining table device applicable to a small hole electric discharge machine.

前記パレット押圧装置は，パレット後端面を押圧し且
つ前記加工台に回転可能に取り付けられた押圧アーム，
該押圧アームを回転自在に取り付けたピストンロッド及
び該ピストンロッドを伸縮させるアクチュエータから成
る前進方向押圧手段と，パレット側端面を押圧するピス
トンロッド及び該ピストンロッドを伸縮させるアクチュ
エータから成る横方向押圧手段とから構成されている。A pallet pressing device, which presses a rear end face of the pallet and is rotatably attached to the processing table;
Forward pressing means comprising a piston rod to which the pressing arm is rotatably mounted and an actuator for expanding and contracting the piston rod; lateral pressing means comprising a piston rod for pressing the pallet side end face and an actuator for expanding and contracting the piston rod; It is composed of

この加工台装置では，前記クランプ装置は前記加工台
に設けた連結バー，該連結バーに設けたクランプ及び前
記連結バーを上下動させるアクチュエータを有し，前記
アクチュエータは前記パレット押圧装置によって前記パ
レットを前記加工台に位置決めした状態で作動する。In this worktable device, the clamp device has a connection bar provided on the worktable, a clamp provided on the connection bar, and an actuator for moving the connection bar up and down. It operates while being positioned on the worktable.

この加工台装置は，多種多数の各加工機，前記パレッ
トの収納のための複数の棚を備えたラック，前記工作物
に防錆等の処理を施す処理ステーション及び前記パレッ
トの搬出入ステーション間を往復移動するパレット搬送
装置によって前記工作物を設定した前記パレットを前記
各加工機に対して位置決め状態を維持して受け渡し，前
記パレット上の前記工作物を前記各加工機で自動的に放
電加工するフレキシブルマニファクチャリングシステム
に適用される。This processing table device includes a plurality of processing machines, a rack having a plurality of shelves for storing the pallets, a processing station for performing a process such as rust prevention on the workpiece, and a loading / unloading station for the pallets. The pallet on which the workpiece is set is transferred to each of the processing machines while maintaining the positioning state by the reciprocating pallet transfer device, and the workpiece on the pallet is automatically subjected to electric discharge machining by each of the processing machines. Applied to flexible manufacturing systems.

この加工台装置は，上記のように構成されているの
で，加工台上に搬入されたパレットをパレット押圧装置
及びクランプ装置で加工基準部位に固定するだけで，加
工機の加工部位に工作物を正確に，迅速に且つ無人で設
定することができる。従って，パレット搬出入装置によ
ってパレットを前記加工機に搬入し，前記加工機の前記
加工台の所定の位置に確実に，迅速に且つ無人で工作物
を自動的に設定でき，また，工作物に対する加工後に自
動的に且つ無人で前記加工機からパレット搬出入装置に
よって加工機群から適宜の場所へ搬出することができ
る。Since this worktable device is configured as described above, simply fixing the pallet carried into the worktable to the work reference position with the pallet pressing device and the clamp device allows the work piece to be processed at the work site of the processing machine. It can be set accurately, quickly and unattended. Therefore, the pallet is loaded into the processing machine by the pallet loading / unloading device, and the workpiece can be automatically set at a predetermined position of the processing table of the processing machine quickly, unmannedly and automatically. After processing, the pallet can be unloaded from the processing machine group to an appropriate place by the pallet loading / unloading device automatically and unmannedly.

しかも，前記加工機に設けたパレット押圧装置によっ
て荷重の重い前記パレットを前記加工台の加工基準位置
に押圧して位置設定でき，且つ前記パレット押圧装置に
連動して前記クランプ装置を作動すれば，前記パレット
を前記加工台に対して位置設定するのに高度の精度を持
って自動的に，正確に且つ確実に設定することができ
る。Moreover, if the pallet with a heavy load is pressed by the pallet pressing device provided on the processing machine to the processing reference position of the processing table and the position can be set, and the clamp device is operated in conjunction with the pallet pressing device, The position of the pallet with respect to the worktable can be automatically, accurately and reliably set with a high degree of accuracy.

また，前記加工機の加工槽の出入口を開閉できる開閉
扉の作動に応答して，前記中間受け渡し装置及び前記加
工機の作動或いは稼動を制御すれば，搬出入作動及び加
工工程を所定の作動工程に従って正確に且つ確実に，し
かも極めて安全性に富んだ状態で各装置の作動を行うこ
とができる。従って，例えば，前記工作物に対する放電
加工を行う場合に，前記工作物の前記加工機への搬入，
設定，加工及び搬出の一連の作業工程を自動的に無人で
達成することができ，昼夜を問わず加工機を稼働でき
る。Further, by controlling the operation or operation of the intermediate transfer device and the processing machine in response to the operation of an opening / closing door that can open and close the entrance of the processing tank of the processing machine, the loading / unloading operation and the processing step can be performed in a predetermined operation step. Accordingly, the operation of each device can be performed accurately and reliably, and in an extremely safe state. Therefore, for example, when performing electrical discharge machining on the workpiece, loading the workpiece into the processing machine,
A series of operation steps of setting, processing and unloading can be automatically and unattended, and the processing machine can be operated day and night.

〔実施例〕〔Example〕

以下，図面を参照して，この発明によるFMSにおける
ワイヤ放電加工機及び細穴放電加工機に適用できる加工
台装置を利用したFMSの実施例を説明する。FMSの実施例
では，加工機群はワイヤ放電加工機，細穴放電加工機，
型彫放電加工機等の放電加工機群に適用したものである
が，加工機は，これらのに限らず，工作物を加工するレ
ーザ加工機，ウォータジェット加工機等の加工機に適用
できる。また，加工槽装置は，加工液を収容する加工
槽，加工液，加工屑等の飛散防止する加工槽カバー装
置，安全のためのガード等を含むものである。また，こ
こでいう工作物は，被加工物のみならず，加工が終了し
た加工物を指すものであり，加工機自体は，加工のみな
らず組み立て，最終仕上げ加工等を行うことができる。Hereinafter, an embodiment of an FMS using a machining table apparatus applicable to a wire electric discharge machine and a small hole electric discharge machine in an FMS according to the present invention will be described with reference to the drawings. In the embodiment of FMS, the machine group is a wire electric discharge machine, a small hole electric discharge machine,
The present invention is applied to a group of electric discharge machines such as a die-sinking electric discharge machine. However, the machine is not limited to these, and can be applied to a laser machine for processing a workpiece, a water jet machine, and the like. The processing tank device includes a processing tank for storing a processing liquid, a processing tank cover device for preventing scattering of the processing liquid and processing chips, a guard for safety, and the like. In addition, the workpiece here refers to not only the workpiece, but also the workpiece that has been processed, and the processing machine itself can perform not only processing but also assembly, final finishing processing, and the like.

まず，第１図及び第２図を参照して，この発明による
加工機群におけるFMSの一実施例の概略を説明する。FMS
は，図に示すように，ワイヤ放電加工機1,細穴放電加工
機２及び型彫放電加工機３を各々設置した加工機群，工
作物Ｗを所定の位置に設定したパレットＰを収容する複
数の棚19を備えたラック4,走行通路５に沿って往復移動
するスタッカクレーン6,及びスタッカクレーン６と前記
加工機群との間で往復移動する中間受け渡し装置７を有
するものである。更に,FMSは，パレットＰを搭載して位
置決めするパレット載置台11を備えた段取り割出し装置
9,工作物Ｗに防錆処理を施す防錆処理装置10,及び工作
物Ｗの表面に付着した加工液，異物，塵等の付着物を排
除する流体吹付け装置12を有している。First, an outline of an embodiment of an FMS in a group of processing machines according to the present invention will be described with reference to FIG. 1 and FIG. FMS
As shown in the figure, a group of processing machines in which a wire electric discharge machine 1, a small hole electric discharge machine 2 and a die sinking electric discharge machine 3 are installed, and a pallet P in which a workpiece W is set at a predetermined position are accommodated. It comprises a rack 4 having a plurality of shelves 19, a stacker crane 6 reciprocating along the traveling path 5, and an intermediate transfer device 7 reciprocating between the stacker crane 6 and the processing machine group. Furthermore, the FMS is a setup and indexing device equipped with a pallet mounting table 11 for mounting and positioning pallets P.
9, a rustproofing device 10 for performing rustproofing on the workpiece W, and a fluid spraying device 12 for removing foreign matter such as machining fluid, foreign matter and dust adhering to the surface of the workpiece W.

FMSにおいて，多種の加工機を多数設置した加工機（E
DM）として，第１図では，ワイヤ放電加工機1,細穴放電
加工機２及び型彫放電加工機３が１台ずつ示されてい
る。なお，各加工機には，加工機に使用する加工液を濾
過して清浄するため，それぞれ各加工機で機能が異なる
濾過装置21を有している。In FMS, a processing machine (E
FIG. 1 shows one wire electric discharge machine, one small hole electric discharge machine 2 and one die sinking electric discharge machine 3 as DM). In addition, each processing machine has a filtering device 21 having a different function in each processing machine in order to filter and clean a processing liquid used in the processing machine.

また,FMSにおいて，該システムをコントローラで制御
するため，段取り，割出し，防錆処理のための制御盤1
3,在庫管理機14,中継盤15,スイッチボックス16,加工機
1,2,3にそれぞれ設けた制御装置22等を備えている。制
御装置22は，上記コントローラに検出情報を入出力する
ことにより制御される。スタッカクレーン６の走行通路
５には，スタッカクレーン６が往復移動するモノレール
18,及び安全確保のための防護柵17が設けられている。In the FMS, a control panel for setup, indexing, and rust prevention is used to control the system with a controller.
3, inventory control machine 14, relay board 15, switch box 16, processing machine
The control device 22 is provided for each of 1, 2, and 3. The control device 22 is controlled by inputting and outputting detection information to and from the controller. A monorail on which the stacker crane 6 reciprocates is located in the traveling path 5 of the stacker crane 6.
18, and a protective fence 17 for security are provided.

更に，コントローラ（図示せず）には，段取り割出し
装置９を通じて搬出入されたパレットＰに如何なる工作
物Ｗが予め設定されているかの情報，段取り割出し装置
９を通じて搬出入されたパレットＰの搬出入順序の情
報，各棚19に収容したパレットＰの情報，加工機への搬
出入，加工中の工作物Ｗの情報等が記憶されている。コ
ントローラは，上記各情報をもとに，工作物Ｗに対して
如何なる加工機を用いて工作物Ｗに如何なる加工を行う
かの情報が予め入力されている。Further, a controller (not shown) has information on what kind of work W is set in advance on the pallet P carried in / out through the setup / indexing device 9 and information on the pallet P carried in / out through the setup / indexing device 9. Information on the order of loading and unloading, information on pallets P stored in each shelf 19, information on loading and unloading to and from a processing machine, information on a workpiece W being processed, and the like are stored. Based on the above information, the controller inputs in advance information on what kind of processing machine is to be used on the workpiece W to perform the processing on the workpiece W.

FMSの作動において，例えば，計画スケジュールから
段取りスケジュールが作成されるまでの工程としては，
第53図に示すように構成されている。まず，上位コンピ
ュータにおいて計画スケジュールを作成すると共に，更
に，次の計画スケジュールを作成する。上位コンピュー
タで作成された計画スケジュールは，上記コンピュータ
からFMSにおける制御コンピュータへ送信される。制御
コンピュータに受信された計画スケジュールは，ディス
プレイ等に表示されるが，該計画スケジュールに対して
計画の変更或いは追加設定が行われる。次いで，例え
ば，計画スケジュールから一日単位のスケジュールを作
成する。ここで，シミュレーションとして，一日単位の
スケジュールのシミュレーションを行い，各加工機1,2,
3の負荷率，加工機別スケジュール，段取りスケジュー
ルを作成し，作業指示書を作成する。上記の各処理を行
った後，段取り割出し装置９において段取り割出し作業
を開始する。In the operation of FMS, for example, as a process from the planning schedule to the creation of the setup schedule,
It is configured as shown in FIG. First, a plan schedule is created in the host computer, and further the next plan schedule is created. The plan schedule created by the host computer is transmitted from the computer to the control computer in the FMS. The plan schedule received by the control computer is displayed on a display or the like, and the plan is changed or added to the plan schedule. Next, for example, a daily schedule is created from the planned schedule. Here, as a simulation, a simulation of the schedule on a daily basis was performed, and the processing machines 1, 2,
Create a load factor, a processing machine-specific schedule, and a setup schedule in step 3, and create work instructions. After performing each of the above processes, the setup indexing device 9 starts the setup indexing operation.

次に，第３図を参照して，この加工台装置を利用した
FMSの別の例の概略を説明する。FMSの実施例では，上記
FMSの実施例と比較して，加工機群におけるワイヤ放電
加工機1,細穴放電加工機２及び型彫放電加工機３の設置
数及びそれらの加工機のレイアウト，並びに各装置のレ
イアウトが相違する以外は，同様の機能を果たすシステ
ムである。この実施例では，パイプ電極PEで工作物Ｗに
所定のスタートホールを加工する細穴放電加工機２は，
段取り割出し装置９に対向した位置に１台が設置されて
いる。これに対して，工作物Ｗに形成したスタートホー
ルにワイヤ電極WEを貫通させて工作物Ｗを所定の加工形
状に加工するワイヤ放電加工機１は，図では５台が設置
されている。また，棒状等の各種形状の型彫電極REで工
作物Ｗを加工する型彫放電加工機３は，図では４台が設
置されている。即ち，細穴放電加工機２で工作物Ｗにス
タートホールを加工する所要時間は短時間で行われるの
に対して，ワイヤ放電加工機１で工作物Ｗのスタートホ
ールにワイヤ電極WEを貫通させて所定の加工形状を加工
する所要時間は長時間かかる。また，型彫放電加工機３
での加工に要する時間は，ワイヤ放電加工機１ほどでは
ないが，ある程度時間がかかる。そこで，各種の加工機
による工作物Ｗに対する加工に要する所要時間に合わせ
て台数を設置することによって，加工機への工作物Ｗの
搬入取付け時から工作物Ｗの取外し搬出時までのサイク
ル時間を短縮し，加工機の工程待ち時間を短縮でき，サ
イクル効率を向上できる。Next, referring to FIG. 3, the processing table apparatus was used.
The outline of another example of FMS will be described. In the embodiment of FMS,
Compared to the embodiment of FMS, the number of wire EDMs 1, small hole EDMs 2, and die sinking EDMs 3 in the machine group and the layout of those machines and the layout of each device are different. A system that performs a similar function except that In this embodiment, a small-hole electric discharge machine 2 that forms a predetermined start hole in a workpiece W with a pipe electrode PE is:
One unit is installed at a position facing the setup indexing device 9. On the other hand, five wire electric discharge machines 1 for machining the workpiece W into a predetermined machining shape by penetrating the wire electrode WE through a start hole formed in the workpiece W are provided in the figure. In the figure, four die-sinking electrical discharge machines 3 for processing a workpiece W with various shapes such as rods are used. That is, while the time required to machine the start hole in the workpiece W by the small-hole electric discharge machine 2 is short, the wire electrode WE is passed through the start hole of the workpiece W by the wire electric discharge machine 1. It takes a long time to process a predetermined processing shape. In addition, die sinking electric discharge machine 3
The time required for the machining in the step is not as long as that of the wire electric discharge machine 1, but takes a certain amount of time. Therefore, by setting the number of units in accordance with the time required for processing the workpiece W by various types of processing machines, the cycle time from the time when the workpiece W is loaded and mounted on the processing machine to the time when the workpiece W is removed and unloaded is reduced. It is possible to shorten the process waiting time of the processing machine and improve the cycle efficiency.

ここで，この発明によるワイヤ放電加工機及び合に適
用できる加工台装置の説明を分かり易くするため，この
加工台装置を説明するのに先立って，この加工台装置に
使用して好ましいパレットＰの一例について，第４図，
第５図及び第６図を参照して説明する。Here, in order to make the description of the wire electric discharge machine according to the present invention and the working table apparatus applicable to the present invention easy to understand, prior to describing the working table apparatus, a preferred pallet P used for the working table apparatus is described. For one example, FIG.
This will be described with reference to FIGS. 5 and 6.

FMSにおいて，パレットＰは，種々の工作物Ｗを所定
の位置に予め設定しておくものであり，機械的剛性，導
電性及び耐錆性に富んだステンレススチール等の材料で
製作されており，各種の加工機1,2,3に対して共通の基
準面を有する基準金具等の取付基準手段及び凹部等の係
止手段を備えている。In the FMS, the pallet P is for setting various workpieces W at predetermined positions in advance, and is made of a material such as stainless steel having high mechanical rigidity, conductivity and rust resistance. A mounting reference means such as a reference metal fitting having a common reference surface for various types of processing machines 1, 2, and 3 and a locking means such as a concave portion are provided.

パレットＰは，ワイヤ電極WEを走行させるためワイヤ
放電加工機１の加工領域よりも広い切抜き孔24をパレッ
ト本体８の中央部に有する。パレット本体８の切抜き孔
24には，工作物Ｗを所定の位置に設定できる固定手段で
ある工作物ホルダ25が嵌合している。工作物ホルダ25
は，多数準備されており，それらの工作物ホルダ25には
中央に工作物Ｗの形状に整合する種々の切抜き孔34が形
成されている。工作物ホルダ25の切抜き孔34には，工作
物セット治具26を取替え可能に取り付けることができ
る。従って，工作物ホルダ25の切抜き孔34に工作物Ｗを
嵌合した後に，工作物セット治具26に設けたクランプ27
で締付けることで，工作物ＷをパレットＰに固定するこ
とができる。工作物セット治具26は，工作物Ｗの形状に
整合する種々の形状のものが準備されている。The pallet P has a cutout hole 24 at the center of the pallet main body 8 which is wider than the machining area of the wire electric discharge machine 1 for running the wire electrode WE. Cutout hole in pallet body 8
A work holder 25, which is fixing means for setting the work W at a predetermined position, is fitted to the work 24. Workpiece holder 25
The workpiece holder 25 has various cutout holes 34 formed in the center thereof to conform to the shape of the workpiece W. In the cutout hole 34 of the workpiece holder 25, the workpiece setting jig 26 can be mounted in a replaceable manner. Accordingly, after the workpiece W is fitted into the cutout hole 34 of the workpiece holder 25, the clamp 27 provided on the workpiece setting jig 26
The workpiece W can be fixed to the pallet P by tightening. The workpiece setting jig 26 is prepared in various shapes that match the shape of the workpiece W.

パレットＰのパレット本体８に設けた取付基準手段
は，各加工機1,2,3のＸ−Ｙテーブル上の加工台に設け
た基準面に対して高さ方向即ちＺ方向及び水平方向即ち
Ｘ方向とＹ方向にパレットＰを所定の位置に設定するた
めに機能するものであり，例えば，高さ方向としてパレ
ット本体８の下面両側に形成した２箇所の基準面の仕上
面28,また，水平方向としてパレット本体８の前端面29F
に設けた基準金具29と一側面30Sに設けた基準金具30か
ら構成できる。各仕上面28は，互いに平行であり且つ同
一高さに形成されている。更に，基準金具29,30は，セ
ラミックス，超硬材等の耐防錆性材料で且つ耐摩耗性に
富む材料で製作することが好ましく，パレット本体８に
対して取り替え可能に取り付けられている。前端面29F
に設けた基準金具29の基準面29Kと一側面30Sに設けた基
準金具30の基準面30Kとは互いに直交し，且つ該各基準
面29K,30Kと各仕上面28とは互いに直交している。ま
た，貫通孔24の回転中心軸は，各仕上面28と互いに直交
している。例えば，ワイヤ放電加工機１に対向する側の
パレット本体８の前端面29Fには，加工台上の水平方向
の所定の位置に設定するため，ワイヤ放電加工機１に設
けた加工基準位置決め手段として基準面を有する位置決
めストッパに合致する基準手段としての基準面29Kが形
成されている。なお，加工機群1,2,3に設けた各位置決
めストッパは，セラミックス，超硬材等の耐防錆性材料
で且つ耐摩耗性に富む材料で製作することが好ましく，
加工台に対して取り替え可能に取り付けられている。The mounting reference means provided on the pallet main body 8 of the pallet P is arranged in a height direction, ie, a Z direction and a horizontal direction, ie, X direction, with respect to a reference surface provided on a processing table on the XY table of each of the processing machines 1, 2, 3. The pallet P functions to set the pallet P at a predetermined position in the Y direction and the pallet P. For example, the finishing surface 28 of two reference surfaces formed on both sides of the lower surface of the pallet body 8 as the height direction, and the horizontal direction. Front end face 29F of pallet body 8 as direction
And a reference metal fitting 30 provided on one side surface 30S. Each finishing surface 28 is formed parallel to each other and at the same height. Further, the reference fittings 29 and 30 are preferably made of a rust-resistant material such as ceramics and cemented carbide and have a high abrasion resistance, and are replaceably attached to the pallet body 8. Front end face 29F
The reference surface 29K of the reference fitting 29 provided on the side surface and the reference surface 30K of the reference fitting 30 provided on one side surface 30S are orthogonal to each other, and the reference surfaces 29K, 30K and the finishing surfaces 28 are orthogonal to each other. . The rotation center axis of the through hole 24 is orthogonal to each of the finishing surfaces 28. For example, the front end face 29F of the pallet body 8 on the side facing the wire electric discharge machine 1 is used as a machining reference positioning means provided in the wire electric discharge machine 1 so as to be set at a predetermined horizontal position on the machining table. A reference surface 29K is formed as reference means that matches a positioning stopper having a reference surface. The positioning stoppers provided in the processing machine groups 1, 2, and 3 are preferably made of a rust-resistant material such as ceramics and cemented carbide, and a material with high wear resistance.
It is exchangeably attached to the worktable.

パレットＰの係止手段は，パレット本体８の裏面に形
成された複数の凹部である。即ち，複数（図では,2個）
の凹部31は，スタッカクレーン６のフォークに設けた共
通の係止ピンが係合するものである。複数（図では,2
個）の凹部33はピン穴であり，中間受け渡し装置７のリ
フタに設けた共通の作動ピンが係合するものであり，該
作動ピンがピン穴に係合することによって，パレットＰ
を各加工機1,2,3に押し込んだり或いは引き出したりで
きる。また，複数（図では,2個）の凹部32には，段取り
割出し装置9,防錆処理装置10及び中間受け渡し装置７に
設けた共通の係止ピンが係合する。The locking means of the pallet P is a plurality of recesses formed on the back surface of the pallet body 8. That is, multiple (two in the figure)
Of the stacker crane 6 is engaged with a common locking pin provided on the fork of the stacker crane 6. Multiple (in the figure, 2
) Is a pin hole, which is engaged with a common operation pin provided on the lifter of the intermediate transfer device 7.
Can be pushed into or pulled out of each processing machine 1, 2, 3. In addition, a common locking pin provided in the setup indexing device 9, the rust prevention treatment device 10, and the intermediate transfer device 7 is engaged with the plurality of (two in the figure) concave portions 32.

次に，この発明によるワイヤ放電加工機及び細穴放電
加工機の加工台装置について，第７図〜第16図を参照し
て説明する。Next, a machining table apparatus for a wire electric discharge machine and a small hole electric discharge machine according to the present invention will be described with reference to FIGS.

FMSにおいて，ワイヤ放電加工機１は，従来のものと
同様に，自動ワイヤ電極供給装置，ワイヤ電極交換装
置，工作物から中子即ち加工片を自動的に取り出す加工
片取除き装置（第44図及び第45図）等を設けることがで
きる。FMSにおけるワイヤ放電加工機１は，従来のもの
と比較して，加工第75上にパレットＰを搬出入する機
構，加工第75へのパレットＰの固定機構及び加工槽76に
ついて相違する以外はほぼ同一の構成であるので，特
に，上記相違するものについて説明する。In the FMS, the wire electric discharge machine 1 includes an automatic wire electrode supply device, a wire electrode exchange device, and a work piece removal device for automatically removing a core, that is, a work piece from a workpiece (FIG. 44). And FIG. 45). The wire electric discharge machine 1 in the FMS is almost the same as the conventional one except that the mechanism for carrying the pallet P in and out of the machining 75, the mechanism for fixing the pallet P to the machining 75 and the machining tank 76 are different. Since they have the same configuration, the differences will be described.

ワイヤ放電加工機１の加工作業は，例えば，第56図に
示すように行うことができる。ワイヤ放電加工機１の加
工準備が整うと，コントローラは,NCプログラムへ信号
を発すると共にスタッカクレーン６に指令を発し，スタ
ッカクレーン６によってワイヤ放電加工機１へラック４
の棚19に収容されているスタートホールの加工が終了し
た工作物Ｗを設定したパレットP,或いは細穴放電加工機
２でスタートホールの加工が終了した工作物Ｗを設定し
ないパレットＰを搬入する作業を行う。ワイヤ放電加工
機１にパレットＰが設定されると，ワイヤ放電加工機１
が作動して工作物Ｗに対して所定の加工形状に放電加工
する。工作物Ｗに対してワイヤ放電加工せう了すると，
工作物Ｗを搭載したパレットＰは，スタッカクレーン６
によってラック４の所定の棚19に収容されるか，或いは
ベース即ち段取りステーション36へ搬出される。The machining operation of the wire electric discharge machine 1 can be performed, for example, as shown in FIG. When the wire electric discharge machine 1 is ready for machining, the controller issues a signal to the NC program and issues a command to the stacker crane 6, and the stacker crane 6 sends the rack 4 to the wire electric discharge machine 1.
A pallet P in which a workpiece W for which the processing of the start hole is completed, which is accommodated in the rack 19, or a pallet P in which the workpiece W for which the processing of the start hole has been completed in the small-hole electric discharge machine 2 is not set, is loaded. Do the work. When the pallet P is set in the wire electric discharge machine 1, the wire electric discharge machine 1
Operates to perform electric discharge machining on the workpiece W into a predetermined machining shape. After completing the wire electric discharge machining for the workpiece W,
The pallet P on which the workpiece W is mounted is a stacker crane 6
Is stored in a predetermined shelf 19 of the rack 4 or carried out to a base or setup station 36.

ワイヤ放電加工機１において，工作物Ｗは各パレット
Ｐに予め設定され，パレットＰはＸ−Ｙテーブル上に電
気的に絶縁状態に取り付けた治具ベーク74に固定した加
工台75上に中間受け渡し装置７によって自動的に搬出入
されるものである。ワイヤ放電加工機１には，放電加工
中に使用する加工液を濾過するための濾過装置21,パレ
ットＰを中間受け渡し装置７から加工台75に搬入して押
込んで設定するためのパレット押圧装置77,パレットＰ
を加工台75上に固定するため加工台75に設けたクランプ
装置78,及び治具ベース74に取り付けた加工槽76に設け
た加工液の飛散防止のための開閉可能な開閉扉であるス
ライドカバー80付き加工槽カバー装置79が設けられてい
る。ワイヤ放電加工機１におけるＸ−Ｙテーブル上には
治具ベース74が電気的に遮断状態で固定され，治具ベー
ス74に加工槽76が取り付けられ，加工槽76内には加工槽
カバー装置79が設けられている。治具ベース74の上面に
は，位置基準手段となる一対の加工台75が固定されてい
る。加工台75には，治具ベース74の両側に位置し，クラ
ンプ装置78及びパレット押圧装置77が取り付けられてい
る。In the wire electric discharge machine 1, a workpiece W is set in advance on each pallet P, and the pallet P is intermediately transferred on a machining table 75 fixed to a jig bake 74 which is electrically insulated on an XY table. It is automatically carried in and out by the device 7. The wire electric discharge machine 1 has a filtering device 21 for filtering the machining fluid used during the electric discharge machining, and a pallet pressing device 77 for carrying the pallet P from the intermediate transfer device 7 into the machining table 75 and pushing it in for setting. , Pallet P
A slide cover which is an openable and closable door for preventing the scattering of the machining liquid provided in a machining tank 76 attached to the jig base 74 and a clamping device 78 provided on the machining table 75 for fixing the workpiece on the machining table 75. A processing tank cover device 79 with 80 is provided. A jig base 74 is fixed on the XY table in the wire electric discharge machine 1 in an electrically interrupted state, and a processing tank 76 is attached to the jig base 74. Is provided. On the upper surface of the jig base 74, a pair of processing tables 75 serving as position reference means is fixed. The worktable 75 is provided with a clamp device 78 and a pallet pressing device 77 located on both sides of the jig base 74.

次に，第７図〜第12図を参照して，ワイヤ放電加工機
１における加工台75を説明する。Next, the machining table 75 in the wire electric discharge machine 1 will be described with reference to FIG. 7 to FIG.

加工台75は，パレットＰの両端部を支持できるよう
に，パレットＰの両端部に対応してそれぞれ伸びて治具
ベース74に固定されている。加工台75と治具ベース74と
の取付構造については，特に限定されるものではない。
加工台75は,NC装置によってサーボ移動するテーブルの
水平方向の移動と共に移動するように構成され，しかも
ワイヤ電極WEが走行する走行路に対して位置関係が予め
決定されているものである。加工台75の出入口部位には
ガイドローラ83Aが設けられている。加工台75に対して
上下移動可能に加工台75に取り付けた両側の連結バー82
には，パレットＰの押圧時にパレットＰをガイドするた
め，パレットＰの両側面に対向した多数のガイドローラ
83が回転自在に固定されている。ガイドローラ83は，加
工台75に対してパレットＰをスムースに移動させる機能
を果たす。即ち，連結バー82は，両端部に設けられたガ
イド86Aに支持されてシリンダ78Cの作動で上下方向に移
動することができる。また，加工台75の上端部には，位
置決め部材である基準金具81が設定されている。基準金
具81の上面は，基準面81Sとして機能する。パレットＰ
の搬出入時には，シリンダ78Cの作動によって連結バー8
2は上方に移動すると共に，ガイドローラ83の上面が基
準金具81の基準面81Sより上方に突き出し，パレットＰ
の搬出入時のガイドを行う。The processing table 75 is fixed to the jig base 74 so as to extend along the both ends of the pallet P so as to support both ends of the pallet P. The mounting structure between the processing table 75 and the jig base 74 is not particularly limited.
The processing table 75 is configured to move with the horizontal movement of the table that is servo-moved by the NC device, and the positional relationship with the traveling path on which the wire electrode WE travels is determined in advance. A guide roller 83A is provided at the entrance of the processing table 75. Connecting bars 82 on both sides attached to the worktable 75 so that it can move up and down
In order to guide the pallet P when the pallet P is pressed, a large number of guide rollers are
83 is rotatably fixed. The guide roller 83 has a function of moving the pallet P smoothly with respect to the processing table 75. That is, the connecting bar 82 is supported by the guides 86A provided at both ends and can move in the vertical direction by the operation of the cylinder 78C. At the upper end of the processing table 75, a reference metal fitting 81 as a positioning member is set. The upper surface of the reference fitting 81 functions as a reference surface 81S. Pallet P
When loading and unloading, the connecting bar 8 is operated by the operation of the cylinder 78C.
2 moves upward, the upper surface of the guide roller 83 protrudes above the reference surface 81S of the reference fitting 81, and the
Guides when loading and unloading.

更に，パレットＰに取り付けた基準金具29,30の各基
準面29K,30Kは，パレット押圧装置77,77Aによって加工
台75に設けた基準手段の位置決めストッパ84,87に押し
付けられる。ワイヤ放電加工機１において，パレットＰ
を加工台75の前進方向の所定に位置し押し付けるパレッ
ト押圧装置77は，パレットＰの基準面29Kを加工台75に
設けた位置決めストッパ84に押し付けるため，加工台75
の両側に加工台75に設けたシリンダ86を有する。また，
パレットＰを加工台75の側面方向の所定の位置に押し付
けるパレット押圧装置77Aは，パレットＰの側面の基準
面30Kを加工台75に設けた位置決めストッパ87に押し付
けるため，加工台75の前後方向に加工台75に設けたシリ
ンダ88を有している。シリンダ86,88は，複製シリンダ
であり，シリンダ内で往復運動するピストンの両側には
流体室が形成され，何れかの側の流体室に流体が導入さ
れることによってピストンがシリンダ86,88内を往復移
動する。Further, the respective reference surfaces 29K, 30K of the reference fittings 29, 30 attached to the pallet P are pressed by the pallet pressing devices 77, 77A against the positioning stoppers 84, 87 of the reference means provided on the processing table 75. In the wire electric discharge machine 1, the pallet P
The pallet pressing device 77 for pressing the pallet P at a predetermined position in the forward direction of the processing table 75 presses the reference surface 29K of the pallet P against the positioning stopper 84 provided on the processing table 75.
Have cylinders 86 provided on the processing table 75 on both sides of the cylinder. Also,
The pallet pressing device 77A, which presses the pallet P to a predetermined position in the side direction of the processing table 75, presses the reference surface 30K on the side surface of the pallet P against the positioning stopper 87 provided on the processing table 75, so that the pallet pressing device 77A It has a cylinder 88 provided on the processing table 75. The cylinders 86 and 88 are duplicating cylinders. Fluid chambers are formed on both sides of a piston that reciprocates in the cylinder, and the piston is inserted into the cylinders 86 and 88 by introducing fluid into the fluid chamber on either side. To reciprocate.

パレットＰの前端部を加工台75の位置決めストッパ84
に押圧するパレット押圧装置77において，シリンダ86の
一端を加工台75に枢支点86Pで回動可能に取り付け，シ
リンダ86内のピストンに固定したピストンロッド90の端
部には，押圧アーム91が回転軸65を中心に回転自在に取
り付けられている。また、押圧アーム91は，加工台75に
取り付けた回転軸66に回転自在に取り付けられている。
従って，ピストンロッド90がシリンダ86から伸び出せ
ば，第26図に実線で示すように，押圧アーム91の端部94
は回転軸66を中心に上方へ旋回し，パレットＰの端部を
押圧することになる。これに対して，ピストンロッド90
がシリンダ86に引っ込めば，第26図に鎖線で示すよう
に，押圧アーム91の端部94は回転軸66を中心に下方へ旋
回し，パレットＰの搬出入が可能な状態になる。Position the front end of the pallet P with the positioning stopper 84 of the worktable 75.
In the pallet pressing device 77 that presses the cylinder 86, one end of the cylinder 86 is rotatably mounted on the worktable 75 at the pivot point 86P, and the pressing arm 91 is rotated on the end of the piston rod 90 fixed to the piston in the cylinder 86. It is attached so as to be rotatable around the shaft 65. Further, the pressing arm 91 is rotatably attached to a rotating shaft 66 attached to the processing table 75.
Therefore, when the piston rod 90 extends from the cylinder 86, as shown by the solid line in FIG.
Turns upward about the rotation shaft 66 and presses the end of the pallet P. On the other hand, the piston rod 90
When the pallet P is retracted into the cylinder 86, the end 94 of the pressing arm 91 pivots downward about the rotary shaft 66 as shown by a chain line in FIG.

また，パレットＰの側端部を加工台75の位置決めスト
ッパ87に押圧するパレット押圧装置77Aにおいて，シリ
ンダ88内のピストンに固定したピストンロッド89の端部
は，パレットＰの一側面の当接可能に構成されている。
従って，シリンダ88が作動してピストンロッド89が伸び
出せば，ピストンロッド89の先端面はパレットＰの側面
に当接し，パレットＰを側面方向に押圧し，パレットＰ
の側面に設けた基準金具30の基準面30Kを加工台75に設
けた位置決めストッパ87に当接させ，パレットＰを側方
の所定の位置に位置設定できる。In the pallet pressing device 77A for pressing the side end of the pallet P against the positioning stopper 87 of the processing table 75, the end of the piston rod 89 fixed to the piston in the cylinder 88 can contact one side of the pallet P. Is configured.
Therefore, when the cylinder 88 operates and the piston rod 89 extends, the tip end surface of the piston rod 89 comes into contact with the side surface of the pallet P and presses the pallet P in the side direction.
The pallet P can be set at a predetermined lateral position by contacting the reference surface 30K of the reference metal fitting 30 provided on the side surface of the pallet with the positioning stopper 87 provided on the processing table 75.

また，パレットＰの下面の仕上面即ち基準面28を，加
工台75の基準金具81の基準面81Sに当接させて，パレッ
トＰを加工台75上に位置設定する時には，シリンダ78C
を上記とは逆方向に作動させて連結バー82を下方に移動
させ，ガイドローラ83の上面が基準金具81の基準面81S
より下方に下げ，ガイドローラ83が位置決めの障害にな
らないようにする。従って，パレットＰの下面の仕上面
即ち基準面28は，基準金具81の基準面81Sに当接して，
パレットＰは加工台75に対して所定の高さ方向に正確に
且つ確実に位置設定されることになる。When the finishing surface of the lower surface of the pallet P, that is, the reference surface 28 is brought into contact with the reference surface 81S of the reference metal fitting 81 of the processing table 75, and the position of the pallet P is set on the processing table 75, the cylinder 78C is used.
Is operated in the reverse direction to move the connecting bar 82 downward, and the upper surface of the guide roller 83 is moved to the reference surface 81S of the reference metal fitting 81.
Lower the guide roller 83 so that it does not hinder positioning. Therefore, the finishing surface of the lower surface of the pallet P, that is, the reference surface 28 abuts on the reference surface 81S of the reference fitting 81, and
The pallet P is accurately and reliably positioned in the predetermined height direction with respect to the processing table 75.

また，ワイヤ放電加工機１において，パレットＰは，
ワイヤ放電加工機１の加工台75にクランプ装置78の複数
個のクランプ85によって固定されるが，クランプ85によ
って押圧される両側部の縁部を有する。クランプ装置78
は，特に，第８図，第９図，第11図及び第12図に示され
ている。In the wire electric discharge machine 1, the pallet P
It is fixed to the worktable 75 of the wire electric discharge machine 1 by the plurality of clamps 85 of the clamp device 78, and has edges on both sides pressed by the clamps 85. Clamping device 78
Is shown in particular in FIGS. 8, 9, 11 and 12.

クランプ装置78は，各加工台75の側方にブラケット78
Bを介してそれぞれ取り付けられ，パレットＰの両側面
にそれぞれ対向位置してパレットＰを加工台75上に固定
する機能を有している。クランプ装置78は，連結バー82
の中央部側方に配置され且つブラケット78Bで加工台75
に固定されたシリンダ78C,シリンダ78Cの作動で上下運
動するピストン78Pに固定したピストンロッド78R,及び
ピストンロッド78Rの上端部に取り付け且つ連結バー82
の上方に位置するクランプ85を有している。The clamping device 78 is provided with a bracket 78 on the side of each processing table 75.
The pallet P is mounted on the processing table 75 by being attached to each of the pallets P via a pair B. The clamping device 78 includes a connecting bar 82.
Of the machining table 75
A piston 78P fixed to a piston 78P that moves up and down by the operation of the cylinder 78C, and a connecting bar 82 attached to the upper end of the piston rod 78R.
Has a clamp 85 located above.

更に，クランプ装置78には，シリンダ78Cが作動して
パレットＰを加工台75上に固定又は解放したことを検出
するため，図示してないが，パレット固定センサ及びパ
レット解放センサが設けられている。ピストンロッド78
Rの上端部はクランプ85に設けた貫通孔85Hを貫通し，ピ
ストンロッド78Rの上端部に形成したねじ部にナット85N
を螺入することによって，クランプ85をピストンロッド
78Rに固定している。従って，シリンダ78Cに流体通路を
通じて流体を導入すれば，ピストン78Pは下方に移動し
てピストンロッド78Rは下方に移動する。それ故，ピス
トンロッド78Rに固定したクランプ85は下方に移動す
る。クランプ85の下方への移動は，パレットＰを加工台
75上に押し付けて，パレットＰを加工台75に固定する。
また，クランプ装置78のクランプ85を上方に移動させ
て，パレットＰの加工台75への固定を解除するには，シ
リンダ78Cを逆方向に作動させることによって達成でき
る。Further, the clamp device 78 is provided with a pallet fixing sensor and a pallet release sensor (not shown) for detecting that the cylinder 78C is operated to fix or release the pallet P on the worktable 75. . Piston rod 78
The upper end of R penetrates through the through hole 85H provided in the clamp 85, and a nut 85N is formed on the thread formed on the upper end of the piston rod 78R.
, The clamp 85 is inserted into the piston rod.
Fixed to 78R. Therefore, when fluid is introduced into the cylinder 78C through the fluid passage, the piston 78P moves downward and the piston rod 78R moves downward. Therefore, the clamp 85 fixed to the piston rod 78R moves downward. To move the clamp 85 downward, the pallet P
The pallet P is fixed to the processing table 75 by pressing it on the work table 75.
In order to release the fixing of the pallet P to the worktable 75 by moving the clamp 85 of the clamp device 78 upward, the cylinder 78C can be operated in the reverse direction.

ワイヤ放電加工機１において，加工槽カバー装置79に
ついては，特に，第13図，第14図，第15図及び第16図に
示されている。In the wire electric discharge machine 1, the machining tank cover device 79 is particularly shown in FIG. 13, FIG. 14, FIG. 15, and FIG.

加工槽カバー装置79は，ワイヤ放電加工機１のＸ−Ｙ
テーブル上の治具ベース74に取り付けた加工槽76内に配
置され，工作物Ｗをワイヤ放電加工する際に加工液，加
工屑等の飛散を防止，或いは安全性のためのガードとし
て機能するものである。加工槽カバー装置79は，エアシ
リンダ92,加工槽76に取り付けたカバー93,カバー93の側
面に配置し且つカバー93に枢着した手動開閉カバー94C,
及びカバー93に対して摺動可能に且つパレットＰの搬出
入口を構成するスライドカバー80から構成されている。
加工槽カバー装置79は，工作物Ｗを設定したパレットＰ
の出入口を開閉するためのスライドカバー80を摺動させ
るアクチュエータであるエアシリンダ92を備えている。
エアシリンダ92は，複動シリンダであり，該シリンダは
非磁性材料で構成されている。エアシリンダ92のシリン
ダ内には磁性材料から成るピストン95が配置され，ピス
トン95はエアシリンダ92内のピストン95の何れかの側に
エアが供給されることによってエアシリンダ92内を往復
移動するものである。加工槽カバー装置79のスライドカ
バー80は，中間受け渡し装置７のパレット搬出入側に対
向した面に位置している。スライドカバー80の往復移動
の機構は，加工槽カバー装置79の下方にエアシリンダ9
2,エアシリンダ92内を往復移動するピストン95が配置さ
れ，ピストン95の往復移動は，エアシリンダ92の両端部
に設けられたエア通路97の何れか一方にエアが供給され
ることによって達成される。カバー93には、カバーガイ
ド96が固定され，カバーガイド96にはガイドローラ98が
取り付けられている。また，スライドカバー80にはガイ
ドレール99が固定されており，ガイドレール99にガイド
ローラ98が嵌合する。更に，スライドカバー80の下端部
にはブラケット80Bが固定されており，ブラケット80Bの
端部には磁石から成るブラケット80Mが固定されてい
る。このブラケット80Bは，エアシリンダ92内を往復移
動する磁性材料から成るピストン95を吸着し且つエアシ
リンダ92の外面に沿って往復移動する。従って，ピスト
ン95がシリンダ内を往復移動すると，ピストン95を吸着
しているブラケット80Mはピストン95の移動に従って移
動する。ブラケット80Mが往復移動すれば，ブラケット8
0Bが往復移動する。ブラケット80Bの往復移動は，スラ
イドカバー80がカバーガイド96に設けたガイドローラ98
に案内されて往復移動する。The machining tank cover device 79 is an X-Y of the wire electric discharge machine 1.
It is arranged in the machining tank 76 attached to the jig base 74 on the table, and functions to prevent scattering of machining fluid, machining debris, etc. when performing wire electric discharge machining of the workpiece W, or to function as a guard for safety. It is. The processing tank cover device 79 includes an air cylinder 92, a cover 93 attached to the processing tank 76, a manual opening / closing cover 94C arranged on the side of the cover 93 and pivotally attached to the cover 93.
And a slide cover 80 slidable with respect to the cover 93 and constituting a carry-in / out port for the pallet P.
The processing tank cover device 79 is a pallet P on which the workpiece W is set.
An air cylinder 92 which is an actuator for sliding a slide cover 80 for opening and closing an entrance of the vehicle is provided.
The air cylinder 92 is a double-acting cylinder, which is made of a non-magnetic material. A piston 95 made of a magnetic material is arranged in the cylinder of the air cylinder 92. The piston 95 reciprocates in the air cylinder 92 by supplying air to either side of the piston 95 in the air cylinder 92. It is. The slide cover 80 of the processing tank cover device 79 is located on the surface of the intermediate transfer device 7 facing the pallet loading / unloading side. The reciprocating mechanism of the slide cover 80 is provided with an air cylinder 9 below the work tank cover device 79.
2. A piston 95 that reciprocates in the air cylinder 92 is disposed, and the reciprocation of the piston 95 is achieved by supplying air to one of air passages 97 provided at both ends of the air cylinder 92. You. A cover guide 96 is fixed to the cover 93, and a guide roller 98 is attached to the cover guide 96. A guide rail 99 is fixed to the slide cover 80, and a guide roller 98 is fitted to the guide rail 99. Further, a bracket 80B is fixed to a lower end of the slide cover 80, and a bracket 80M made of a magnet is fixed to an end of the bracket 80B. The bracket 80B adsorbs a piston 95 made of a magnetic material that reciprocates in the air cylinder 92, and reciprocates along the outer surface of the air cylinder 92. Therefore, when the piston 95 reciprocates in the cylinder, the bracket 80M holding the piston 95 moves in accordance with the movement of the piston 95. If the bracket 80M reciprocates, the bracket 8
0B reciprocates. When the bracket 80B reciprocates, the slide cover 80 is provided with a guide roller 98 provided on the cover guide 96.
Reciprocating guided.

加工槽カバー装置79において，スライドカバー80の開
閉状態を検出するため，スライドカバー80の開放状態を
検出する開端センサ80F及びスライドカバー80の開放状
態を検出する閉端センサ89Eを備えている。開端センサ8
0F及び閉端センサ80Eは，カバー93,スライドカバー80,
或いは図示のように，エアシリンダ92に対して設けるこ
とができる。そこで，開端センサ80Fによってスライド
カバー80が開放状態になっていることを検出し，コント
ローラは該検出信号を受けて，中間受け渡し装置７に位
置するパレットＰをワイヤ放電加工機１の加工台75上に
移動させるように制御し，或いは，加工台75上のパレッ
トＰを加工台75から中間受け渡し装置７に移動させる制
御を行う。また，スライドカバー80の閉鎖状態を閉端セ
ンサ80Eで検出し，コントローラは該検出信号を受けて
ワイヤ放電加工機の稼働を行うように制御する。The processing tank cover device 79 includes an open end sensor 80F for detecting the open state of the slide cover 80 and a closed end sensor 89E for detecting the open state of the slide cover 80 to detect the open / close state of the slide cover 80. Open end sensor 8
0F and the closed end sensor 80E are the cover 93, the slide cover 80,
Alternatively, it can be provided for the air cylinder 92 as shown. Then, the controller detects that the slide cover 80 is open by the open end sensor 80F, and the controller receives the detection signal and places the pallet P located in the intermediate transfer device 7 on the machining table 75 of the wire electric discharge machine 1. Or the control of moving the pallet P on the processing table 75 from the processing table 75 to the intermediate transfer device 7 is performed. In addition, the closed state of the slide cover 80 is detected by the closed end sensor 80E, and the controller receives the detection signal and controls the operation of the wire electric discharge machine.

更に,FMSにおけるワイヤ放電加工機１は，特に，加工
台75上に配置した位置決め部材である基準金具81の上面
である基準面81S,パレットＰのパレット本体８の裏面に
形成された仕上面である基準面28,パレット本体８の前
端面に配置した基準金具29の基準面29F,パレット本体８
の側端面に配置した基準金具30の基準面30K,及び加工台
75に設けた位置決めストッパ即ち基準金具84,87に形成
した基準面84S,87Sを清掃するため，基準面清掃装置が
設けられている。基準面清掃装置は，清掃面に対して水
を吹きつける水噴射ノズル及びエアを吹きつけるエア吹
付けノズルから構成でき，ワイヤ放電加工機１によるワ
イヤ放電加工時に発生した微細な加工屑を排除する。従
って，各基準面はパレットＰの設定毎に或いは所定期間
毎に常に清掃できるので，パレットＰの加工台75に対す
る設定は常に信頼性に富み，加工精度に悪影響を及ぼす
ことがない。Further, the wire electric discharge machine 1 in the FMS has a reference surface 81S which is an upper surface of a reference metal fitting 81 which is a positioning member disposed on the machining table 75, and a finishing surface formed on the back surface of the pallet main body 8 of the pallet P. A reference surface 28, a reference surface 29F of a reference metal fitting 29 arranged on the front end surface of the pallet body 8, a pallet body 8
Reference surface 30K of reference metal fitting 30 arranged on the side end face of
A reference surface cleaning device is provided to clean the positioning stoppers provided at 75, that is, the reference surfaces 84S and 87S formed on the reference fittings 84 and 87. The reference surface cleaning device can be composed of a water spray nozzle for spraying water to the cleaning surface and an air spray nozzle for blowing air, and removes fine machining chips generated during wire electric discharge machining by the wire electric discharge machine 1. . Accordingly, since each reference surface can be cleaned at every setting of the pallet P or at every predetermined period, the setting of the pallet P on the processing table 75 is always reliable and does not adversely affect the processing accuracy.

上記のように，ワイヤ放電加工機１における加工台75
へのパレットＰの位置決め装置は構成されているので，
次のように作動できる。As described above, the machining table 75 in the wire electric discharge machine 1
Pallet P positioning device is configured
It can operate as follows.

ワイヤ放電加工機１に設けた加工槽カバー装置79のス
ライドカバー80を開放し，クランプ装置78のシリンダ78
Cを作動してクランプ85を上昇させると共に，シリンダ8
6Aを作動して連結バー82を上昇させる。連結バー82の上
昇はガイドローラ83を上昇させる。この状態で，後述の
中間受け渡し装置７のリフタ100によって加工台75上へ
パレットＰを送り込む。この時，ガイドローラ83の上面
レベルは，後述の中間受け渡し装置７のリフタ100に設
けた各ローラの上面レベルと同一レベルになることが好
ましい。その後，リフタ100の押込引出アーム101が作動
して前進し，パレットＰを加工台75上に押し込む。次い
で，中間受け渡し装置７のリフタ100が僅かに下降し，
押込引出アーム101が備えた作動ピン170がパレットＰに
形成した凹部33から離脱し，次いで，押込引出アーム10
1を引っ込める。この時，コントローラの指令でシリン
ダ86Aのソレノイドバルブが中立位置になり，パレット
Ｐの自重で降下すると共に，連結バー82及びガイドロー
ラ83がパレットＰの荷重で降下する。それによって，パ
レットＰの下面は加工台75の基準金具81の基準面81Sに
当接状態に載置した状態になる。The slide cover 80 of the machining tank cover device 79 provided in the wire electric discharge machine 1 is opened, and the cylinder 78 of the clamp device 78 is opened.
Activate C to raise clamp 85 and cylinder 8
Activate 6A to raise connecting bar 82. The rise of the connecting bar 82 raises the guide roller 83. In this state, the pallet P is sent onto the processing table 75 by the lifter 100 of the intermediate transfer device 7 described later. At this time, it is preferable that the upper surface level of the guide roller 83 is the same as the upper surface level of each roller provided in the lifter 100 of the intermediate transfer device 7 described later. Thereafter, the push-in / draw-out arm 101 of the lifter 100 operates to move forward, and pushes the pallet P onto the processing table 75. Next, the lifter 100 of the intermediate transfer device 7 is slightly lowered,
The operating pin 170 of the push-pull arm 101 is disengaged from the recess 33 formed in the pallet P.
Withdraw one. At this time, the solenoid valve of the cylinder 86A is set to the neutral position by the command of the controller, and falls by its own weight of the pallet P, and the connecting bar 82 and the guide roller 83 descend by the load of the pallet P. As a result, the lower surface of the pallet P is placed in a state of contact with the reference surface 81S of the reference metal fitting 81 of the processing table 75.

この状態で，パレット押圧装置77を作動して押圧アー
ム91を回転軸66を中心に回転させ，第22図の実線で示す
ように，押圧アーム91でパレットＰの後端部を押圧して
加工台74の位置決めストッパ84の基準面84Sに押し付け
る。パレットＰの前端面をパレット押圧装置77の作用で
位置設定し，次いで，パレット押圧装置77Aのシリンダ8
8を作動してピストンロッド89でパレットＰの側端面を
側方へ押し込み，パレットＰの側端面を加工台75に設け
た基準金具30の基準面30Kに押し付け，パレットＰの側
端面を加工台75上で位置設定する。このようにパレット
Ｐを加工台75上に位置設定した後，クランプ装置78を作
動してパレットＰを押し付け，パレットＰの下面の基準
面28を加工台75の基準金具81の基準面81Sに押圧状態に
当接させ，パレットＰを加工台75上に固定すれば，パレ
ットＰを加工台75の予め決められた所定の加工位置に設
定することができる。勿論，これらの作動工程は，全て
各センサの各検出信号をコントローラに入力し，該入力
信号に基づいてコントローラは次の工程の作動信号を発
し，所定の装置を作動させるように構成されている。次
に，加工台75へのパレットＰの位置設定が完了すると，
加工槽カバー装置79のスライドカバー80が摺動してパレ
ットＰの搬出入口を閉鎖する。In this state, the pallet pressing device 77 is operated to rotate the pressing arm 91 about the rotation shaft 66, and the rear end portion of the pallet P is pressed by the pressing arm 91 as shown by the solid line in FIG. The table 74 is pressed against the reference surface 84S of the positioning stopper 84. The front end face of the pallet P is set by the action of the pallet pressing device 77, and then the cylinder 8 of the pallet pressing device 77A is set.
8 is operated to push the side end surface of the pallet P sideways with the piston rod 89, and the side end surface of the pallet P is pressed against the reference surface 30K of the reference fitting 30 provided on the processing table 75, and the side end surface of the pallet P is Set the position on 75. After the position of the pallet P is set on the processing table 75 in this way, the clamping device 78 is operated to press the pallet P, and the reference surface 28 on the lower surface of the pallet P is pressed against the reference surface 81S of the reference fitting 81 of the processing table 75. When the pallet P is brought into contact with the state and the pallet P is fixed on the processing table 75, the pallet P can be set at a predetermined processing position on the processing table 75. Of course, in these operation steps, each detection signal of each sensor is input to the controller, and based on the input signal, the controller issues an operation signal of the next step to operate a predetermined device. . Next, when the position setting of the pallet P on the processing table 75 is completed,
The slide cover 80 of the processing tank cover device 79 slides to close the loading / unloading port of the pallet P.

この状態で，ワイヤ放電加工機１が作動してパレット
Ｐに予め設定した工作物に対して，ワイヤ自動供給装置
がワイヤを挿通した後，ワイヤ放電加工が開始される。
工作物Ｗに対して放電加工が行われ，工作物Ｗに所定の
加工形状が加工され，放電加工が終了すると，ワイヤ自
動供給装置がワイヤを切断した後，加工槽カバー装置79
が作動してスライドカバー80が摺動し，パレットＰの搬
出入口を開放する。次いで，パレット押圧装置77を逆方
向に作動して押圧アーム91を第26図の鎖線で示すように
後退させると共に，パレット押圧装置77Aを非作動状態
にしてピストンロッド89の押圧力を無くする。更に，ク
ランプ装置78を作動してクランプ85を上昇させ，ガイド
ローラ83を上昇させてパレットＰをガイドローラ83に搭
載した状態にする。次いで，中間受け渡し装置７が作動
してパレットＰを加工台75から中間受け渡し装置７へ移
動させる。In this state, the wire electric discharge machine 1 is operated, and after the wire is automatically inserted into the workpiece set on the pallet P by the automatic wire feeder, the wire electric discharge machining is started.
The electric discharge machining is performed on the workpiece W, a predetermined machining shape is processed on the workpiece W, and when the electric discharge machining is completed, the automatic wire feeder cuts the wire, and then the machining tank cover device 79 is cut.
The slide cover 80 slides to open the carry-in / out port of the pallet P. Next, the pallet pressing device 77 is operated in the reverse direction to retreat the pressing arm 91 as shown by the dashed line in FIG. Further, the clamp device 78 is operated to raise the clamp 85, and the guide roller 83 is raised, so that the pallet P is mounted on the guide roller 83. Next, the intermediate transfer device 7 operates to move the pallet P from the processing table 75 to the intermediate transfer device 7.

次に，このFMSの上記各例において利用できる各装
置，即ち，ラック4,スタッカクレーン6,段取り割出し装
置9,防錆処理装置10,流体吹付け装置12,中間受け渡し装
置7,細穴放電加工機２のパイプ電極交換装置2C,ワイヤ
放電加工機１の加工台片取除き装置130及び加工槽装置7
9,並びに型彫放電加工機３の加工台装置及び加工槽装置
79K等について各例を説明する。Next, the equipment that can be used in each of the above examples of the FMS, namely, the rack 4, the stacker crane 6, the setup and indexing device 9, the rust prevention treatment device 10, the fluid spraying device 12, the intermediate transfer device 7, and the fine hole discharge Pipe electrode exchanging device 2C of processing machine 2, processing table piece removing device 130 and processing tank device 7 of wire electric discharge machine 1.
9, and machining table equipment and machining tank equipment of the die sinking electric discharge machine 3
Each example will be described for 79K and the like.

このFSMには，ラック４が設けられている。ラック４
は，スタッカクレーン６の走行通路５の長手方向に沿っ
てパレットＰの出入のための多数の開口部20を有してお
り，該開口部20内にはパレットＰ或いは工作物Ｗを予め
設定したパレットＰを格納しておく多数の棚19が上下方
向に配置されている。従って，パレットＰはスタッカク
レーン６の作動によって棚19に格納され、或いは棚19か
らスタッカクレーン６へ取り出される。ラック４の適宜
の開口部20には，防錆処理装置10及び流体吹付け装置12
が配置されている。ラック４の上部から走行通路５側へ
突き出したフレームには，スタッカクレーン６の上部を
ガイドするため上部レール48が取り付けられている。The FSM is provided with a rack 4. Rack 4
Has a number of openings 20 for the entry and exit of pallets P along the longitudinal direction of the traveling path 5 of the stacker crane 6, in which pallets P or workpieces W are set in advance. A number of shelves 19 for storing the pallets P are vertically arranged. Accordingly, the pallet P is stored in the shelf 19 by the operation of the stacker crane 6, or is taken out from the shelf 19 to the stacker crane 6. An appropriate opening 20 of the rack 4 is provided with a rust prevention device 10 and a fluid spray device 12.
Is arranged. An upper rail 48 is attached to a frame protruding from the upper part of the rack 4 toward the traveling passage 5 to guide the upper part of the stacker crane 6.

更に，このFMSには，第17図，第18図及び第19図に示
すように，段取り割出し装置９が段取りステーションの
ベース36上に設けられている。Further, as shown in FIGS. 17, 18, and 19, the FMS is provided with a setup indexing device 9 on a base 36 of the setup station.

この段取りステーションでは，第55図に示すように，
段取り割出し作業として，段取りスケジュールを作成
し，パレットＰにワーク即ち工作物Ｗを取り付ける段取
りを開始する。まず，スタッカクレーン６を作動してラ
ック４の棚19から空のパレットＰを段取りステーション
へ出庫し，パレットＰに工作物Ｗを取り付ける。パレッ
トＰに工作物Ｗを所定の位置に設定する取り付け作業が
終了すると，再びスタッカクレーン６を作動して工作物
Ｗを設定したパレットＰを所定のラック４の棚19へ入庫
する。次いで，工作物Ｗを取り付けたパレットＰは，ス
タッカクレーンの作動で所定の加工機1,2,3に搬入され
て放電加工が施される。放電加工の終了した工作物Ｗを
取り付けたパレットＰは，スタッカクレーン６の作動で
再び所定のラック４の棚19へ入庫されるか，或いは段取
りステーションへ搬出される。段取りステーションで
は，所定の棚19に収容されている放電加工の終了した工
作物Ｗを取り付けたパレットＰに対しては出庫の指令を
出し，スタッカクレーン６を作動してパレットＰを段取
りステーションへ搬出する。パレットＰから工作物Ｗを
取り外す作業が行われ，取り外した工作物Ｗ即ち製品は
所定の場所へ運びだされるが，工作物Ｗを取り外したパ
レットＰは，再びスタッカクレーン６を作動してラック
４の棚19へ収納される。段取りステーションでは，上記
作業が繰り返されるものである。In this setup station, as shown in Fig. 55,
As a setup indexing work, a setup schedule is created, and setup for mounting a workpiece, that is, a workpiece W on the pallet P is started. First, the stacker crane 6 is operated to take out an empty pallet P from the shelf 19 of the rack 4 to the setup station, and the workpiece W is mounted on the pallet P. When the mounting operation for setting the workpiece W on the pallet P at a predetermined position is completed, the stacker crane 6 is operated again and the pallet P on which the workpiece W is set is stored in the shelf 19 of the predetermined rack 4. Next, the pallet P to which the workpiece W is attached is carried into predetermined processing machines 1, 2, and 3 by the operation of the stacker crane and subjected to electric discharge machining. The pallet P to which the workpiece W on which the electric discharge machining has been completed is mounted on the shelf 19 of the predetermined rack 4 again by the operation of the stacker crane 6, or carried out to the setup station. At the setup station, a command for unloading is issued to the pallet P to which the workpiece W, which has been subjected to the electric discharge machining and stored in the predetermined shelf 19, is attached, and the stacker crane 6 is operated to carry out the pallet P to the setup station. I do. The work of removing the workpiece W from the pallet P is performed, and the removed workpiece W, that is, the product is carried out to a predetermined place. The pallet P from which the workpiece W has been removed is operated again by the stacker crane 6 to operate the rack. 4 is stored in the shelf 19. In the setup station, the above operation is repeated.

上記各作業を達成するため，段取り割出し装置９は，
工作物ＷをパレットＰに搭載して位置決めし，スタッカ
クレーン６に対してパレットＰを所定の位置決め状態で
搬出入可能にしたものである。段取り割出し装置９は，
図では２台設けられており，例えば，一方の段取り割出
し装置９のパレットＰの搬入専用に構成し，また他方の
段取り割出し装置９をパレットＰの搬出専用に構成する
ことができる。段取り割出し装置９の走行台車37は，ス
タッカクレーン６が走行する走行通路５のモノレール18
に対して直角方向に配置されたレール35上を移動装置41
によって往復移動する。移動装置41は，図では，モー
タ，減速機，ベース36に固定されたスプロケット41S,ス
プロケット41Sに掛かるチェーン41C等から構成されてい
るが，これに限らず油圧シリンダ等で構成することもで
きる。走行台車37上には，周囲部に配置された回転自在
なローラ40上を介してパレット搭載台11が回転軸43が中
心に回転可能に配置されている。パレット搭載台11は，
ローラ40上を旋回する円形の軌道部材と該軌道部材上の
支柱部材から成り，ローラ40上を360゜にわたって旋回
することができる。更に，パレット搭載台11の回転運動
は，手動割出し或いは自動割出しにより４等分に回転で
きるように構成し，該回転運動の原点をリミットスイッ
チ等により確認するように構成する。また，走行台車37
上にはストッパピン39が設けられ，ストッパピン39はパ
レット搭載台11に設けた係止部材42に係止可能に構成さ
れている。従って，ストッパピン39が係止部材42に係止
すれば，走行台車37上でのパレット搭載台11の回転運動
を停止させることができる。パレット搭載台11には係止
ピンが設けられており，係止ピンはパレットＰに形成し
た凹部32と係合し，従って，パレット搭載台11とパレッ
トＰとの位置関係が所定の位置に位置決めされる。パレ
ット搭載台11上には受台38を介してパレットＰが搭載さ
れる。パレットＰには，予め決められた位置に所定の工
作物Ｗが設定されている。In order to accomplish each of the above operations, the setup indexing device 9
The workpiece W is mounted and positioned on the pallet P, and the pallet P can be carried in and out of the stacker crane 6 in a predetermined positioning state. The setup indexing device 9
In the figure, two units are provided. For example, one of the setup and indexing devices 9 can be configured to exclusively carry in the pallets P, and the other can be configured to be dedicated to unloading the pallets P. The traveling carriage 37 of the setup indexing device 9 is a monorail 18 of the traveling passage 5 on which the stacker crane 6 travels.
Moving device 41 on rails 35 arranged at right angles to
Reciprocate by In the drawing, the moving device 41 includes a motor, a speed reducer, a sprocket 41S fixed to the base 36, a chain 41C hanging on the sprocket 41S, and the like, but is not limited thereto, and may include a hydraulic cylinder or the like. On the traveling carriage 37, the pallet mounting base 11 is disposed rotatably about a rotation shaft 43 via a rotatable roller 40 disposed at the periphery. The pallet mounting table 11
It is composed of a circular track member that rotates on the roller 40 and a column member on the track member, and can rotate 360 degrees on the roller 40. Further, the rotational movement of the pallet mounting table 11 is configured so that it can be rotated into four equal parts by manual indexing or automatic indexing, and the origin of the rotational movement is confirmed by a limit switch or the like. In addition, traveling cart 37
A stopper pin 39 is provided on the upper side, and the stopper pin 39 is configured to be able to be locked by a locking member 42 provided on the pallet mounting table 11. Therefore, when the stopper pin 39 is locked by the locking member 42, the rotational movement of the pallet mounting table 11 on the traveling carriage 37 can be stopped. A lock pin is provided on the pallet mounting table 11, and the locking pin engages with the concave portion 32 formed on the pallet P, so that the positional relationship between the pallet mounting table 11 and the pallet P is positioned at a predetermined position. Is done. The pallet P is mounted on the pallet mounting table 11 via the receiving table 38. On the pallet P, a predetermined workpiece W is set at a predetermined position.

段取り割出し装置９は，上記のように構成されている
ので，パレット搭載台11上にパレットＰをフォークリフ
ト等で搭載し，人手或いは適宜の回転装置でパレット搭
載台11を走行台車37上で回転させれば，パレット搭載台
11を走行台車37に対して所定の位置まで回転させ，パレ
ット搭載台11の係止部材42が走行台車37のストッパピン
39に係止し，パレット搭載台11は走行台車37の所定の位
置に停止することになる。次いで，移動装置41を駆動し
て走行台車37の走行通路５側へ移動させる。そこで，走
行台車37は待機し，スタッカクレーン６が走行通路５を
移動して段取りステーションに来れば，パレット搭載台
11上のパレットＰはスタッカクレーン６のフォークによ
って搬入される。Since the setup indexing device 9 is configured as described above, the pallet P is mounted on the pallet mounting table 11 by a forklift or the like, and the pallet mounting table 11 is rotated on the traveling carriage 37 manually or by an appropriate rotating device. If you do, pallet loading table
11 is rotated to a predetermined position with respect to the traveling carriage 37, and the locking member 42 of the pallet mounting platform 11 is
The pallet mounting base 11 stops at a predetermined position of the traveling carriage 37. Next, the moving device 41 is driven to move the traveling carriage 37 to the traveling passage 5 side. Then, the traveling cart 37 stands by, and when the stacker crane 6 moves along the traveling path 5 and comes to the setup station, the pallet loading platform is moved.
The pallet P on 11 is carried in by the fork of the stacker crane 6.

FMSは，走行通路５のモノレール18上を往復移動する
スタッカクレーン６を有している。スタッカクレーン６
は，従来使用されているものと比較してフォークの構造
以外についてはほぼ同一の構造を有しているので，走行
台車，該走行台車の駆動装置，巻上装置等の従来と同一
の点についての説明は省略する。以下，第20図〜第29図
を参照して，スタッカクレーン６について説明する。The FMS has a stacker crane 6 that reciprocates on a monorail 18 in the travel path 5. Stacker crane 6
Has almost the same structure except for the structure of the fork as compared with the conventionally used ones. Is omitted. Hereinafter, the stacker crane 6 will be described with reference to FIGS.

第20図及び第21図に示すように，スタッカクレーン６
は，走行装置57の駆動によって走行通路５の両端にスト
ッパ6Sを設けたモノレール18上を往復移動する走行台車
44,走行台車44の前後方向に立設したマスト45,マスト45
の両上端部に掛け渡した上部サドル46及びマスト45に取
り付けた巻上装置47を有している。ラック４に設けた上
部レール48には，スタッカクレーン６の上部サドル46の
振れを防止するため，上部サドル46の前後左右に設けた
ガイドローラ49がガイドされる（第22図）。As shown in FIGS. 20 and 21, the stacker crane 6
Is a traveling truck that reciprocates on a monorail 18 provided with stoppers 6S at both ends of the traveling passage 5 by driving of a traveling device 57.
44, mast 45 standing in the front-rear direction of the traveling carriage 44, mast 45
And a hoisting device 47 attached to the mast 45. Guide rollers 49 provided at the front, rear, left and right of the upper saddle 46 are guided by the upper rail 48 provided on the rack 4 in order to prevent the upper saddle 46 of the stacker crane 6 from swinging (FIG. 22).

更に，第23図及び第25図に示すように，スタッカクレ
ーン６の走行台車44上には，走行通路５の左右側に伸縮
可能に作動し且つパレットＰを載置するフォーク装置50
が設けられている。フォーク装置50はフォークベース51
上に配置され，フォークベース51にはキャレッジ52が前
後方向に立設されている。キャレッジ52の上部にはガイ
ドローラ55が回転自在に取り付けられ，ガイドローラ55
にチェーン54がそれぞれ掛けられている。第22図及び第
23図に示すように，キャレッジ52の上部にはガイドロー
ラ56が回転自在に取り付けられ，ガイドローラ56はマス
ト45上でガイドされ，キャレッジ52の上下運動でキャレ
ッジ52が振れるのを防止する。チェーン54は，巻上装置
47で巻上げ巻戻しが行われ，上部サドル46に一端に取り
付けると共に上部サドル46に取り付けたガイドローラ53
でガイドされる。従って，巻上装置47の作動でチェーン
54が巻上げ或いは巻戻されると，キャレッジ52が上下移
動し，フォークベース51上のフォーク装置50が上下方向
に移動することになる。Further, as shown in FIGS. 23 and 25, a fork device 50 is provided on the traveling carriage 44 of the stacker crane 6 so as to extend and contract on the left and right sides of the traveling passage 5 and to place the pallets P thereon.
Is provided. Fork device 50 is fork base 51
The fork base 51 has a carriage 52 erected in the front-rear direction. A guide roller 55 is rotatably mounted on the upper portion of the carriage 52.
The chain 54 is hung on each. FIG. 22 and FIG.
As shown in FIG. 23, a guide roller 56 is rotatably mounted on the upper portion of the carriage 52, and the guide roller 56 is guided on the mast 45 to prevent the carriage 52 from swinging due to the vertical movement of the carriage 52. Chain 54 is a hoisting device
Winding and rewinding is performed at 47, and is attached to one end of the upper saddle 46 and a guide roller 53 attached to the upper saddle 46.
Guided by. Therefore, the operation of the hoisting device 47
When the wire 54 is wound or unwound, the carriage 52 moves up and down, and the fork device 50 on the fork base 51 moves up and down.

次に，主として第26図〜第29図を参照してフォーク装
置50を説明する。Next, the fork device 50 will be described mainly with reference to FIGS. 26 to 29.

フォーク装置50は，パレットＰを載置して搬出入する
ため伸縮自在の構造に構成されている。フォーク装置50
は，フォークベース51に固定された基端フォーク58,基
端フォーク58上で摺動可能な中間フォーク59,中間フォ
ーク上で摺動可能な先端フォーク60及び中間フォーク59
と先端フォーク60とを伸縮自在に摺動させる駆動装置63
を有している。フォーク装置50は，特に，先端フォーク
60の両端部位に係止ピン67A及び支持ピン67Bを設けたこ
とである。係止ピン67AはパレットＰに形成した凹部31
に係合すると共に，支持ピン67Bはパレット下面を支持
してパレットＰの水平状態を維持する。先端フォーク60
の係止ピン67AがパレットＰの凹部31に係合することに
よって，パレットＰをスタッカクレーン６の先端フォー
ク60に正確に且つ確実に位置決めすることができる。従
って，スタッカクレーン６におけるフォーク装置50の上
下運動及び伸縮運動の際に，パレットＰは先端フォーク
60上で移動することなく正確に且つ確実に位置決めされ
た状態を維持して，先端フォーク60と共に所定の位置へ
移動できる。The fork device 50 has a telescopic structure so that the pallet P can be placed and carried in and out. Fork device 50
A fork 58 fixed to the fork base 51, an intermediate fork 59 slidable on the proximal fork 58, a distal fork 60 and an intermediate fork 59 slidable on the intermediate fork.
Drive device 63 that allows the fork 60 to extend and contract freely
have. The fork device 50 is, in particular, a tip fork.
That is, a locking pin 67A and a support pin 67B are provided at both ends of the 60. The locking pin 67A is a recess 31 formed in the pallet P.
, And the support pins 67B support the lower surface of the pallet to maintain the pallet P in a horizontal state. Tip fork 60
The pallet P can be accurately and reliably positioned on the tip fork 60 of the stacker crane 6 by engaging the locking pin 67A with the concave portion 31 of the pallet P. Therefore, when the fork device 50 in the stacker crane 6 moves up and down and expands and contracts, the pallet P is moved to the fork end.
It is possible to move to a predetermined position together with the tip fork 60 while maintaining the accurately and securely positioned state without moving on the top 60.

また，基端フォーク58には，前進側チェーン受け部材
62F及び後退側チェーン受け部材62Rがそれぞれ固定され
ている。前進側チェーン受け部材62Fに前進側チェーン6
4Fの一端を且つ後退側チェーン受け部材62Rに後退側チ
ェーン64Rの一端をそれぞれ固定する。前進側チェーン6
4Fは中間フォーク59の先端に設けた前進側スプロケット
65Fに掛けられ，前進側チェーン64Fの他端は先端フォー
ク60の基端側端部66Fに固定されている。また，後退側
チェーン64Rは中間フォーク59の先端に設けた後退側ス
プロケット65Rに掛けられ，後退側チェーン64Rの他端は
先端フォーク60の先端側端部66Rに固定されている。駆
動装置63は，伝動装置71を通じてフォークベース51に回
転可能に取り付けたピニオン70を回転駆動する。中間フ
ォーク59の下面には，ラック61が長手方向に伸長する状
態で固定されている。ラック61には，フォークベース51
に取り付けたピニオン70が噛み合っている。中間フォー
ク59の両側面には，ガイド溝72,73が形成されている。
先端フォーク60にはガイドローラ68が回転自在に取り付
けられ，基端フォーク58にはガイドローラ69が回転自在
に取り付けられている。ガイドローラ68はガイド溝72に
遊嵌してガイドローラ68をガイド溝72でガイドするの
で，先端フォーク60は中間フォーク59に対してスムース
に伸縮運動する。また，ガイドローラ69はガイド溝73に
遊嵌してガイドローラ69をガイド溝73でガイドするの
で，中間フォーク59は基端フォーク58に対してスムース
に伸縮運動する。In addition, the proximal end fork 58 includes a forward side chain receiving member.
62F and the retreat-side chain receiving member 62R are fixed respectively. The forward side chain 6 is attached to the forward side chain receiving member 62F.
One end of 4F and one end of the retreat-side chain 64R are fixed to the retreat-side chain receiving member 62R. Forward chain 6
4F is the forward sprocket provided at the tip of the intermediate fork 59
The other end of the forward side chain 64F is fixed to the proximal end 66F of the distal end fork 60. Further, the retreat-side chain 64R is hung on a retreat-side sprocket 65R provided at the tip of the intermediate fork 59, and the other end of the retreat-side chain 64R is fixed to the tip-side end 66R of the tip fork 60. The driving device 63 rotationally drives a pinion 70 rotatably attached to the fork base 51 through a transmission 71. A rack 61 is fixed to the lower surface of the intermediate fork 59 so as to extend in the longitudinal direction. The rack 61 has a fork base 51
The pinion 70 attached to is engaged. Guide grooves 72 and 73 are formed on both side surfaces of the intermediate fork 59.
A guide roller 68 is rotatably mounted on the distal fork 60, and a guide roller 69 is rotatably mounted on the proximal fork 58. Since the guide roller 68 is loosely fitted in the guide groove 72 and guides the guide roller 68 through the guide groove 72, the tip fork 60 smoothly expands and contracts with respect to the intermediate fork 59. Since the guide roller 69 is loosely fitted in the guide groove 73 and guides the guide roller 69 in the guide groove 73, the intermediate fork 59 smoothly expands and contracts with respect to the proximal end fork 58.

フォーク装置50は，以上のように構成されており，次
のように作動する。The fork device 50 is configured as described above, and operates as follows.

まず，第28図に示すように，フォーク装置50の先端フ
ォーク60を伸長させる場合には，駆動装置63を一方の方
向に回転駆動させ，伝動装置71を通じてピニオン70を前
進側方向に回転運動させる。ピニオン70の回転運動はラ
ック61を長手方向の前進側へ移動させることになる。ラ
ック61が長手方向の前進側へ移動すれば，中間フォーク
59は前進側即ち基端フォーク58に対して伸び出す側へ移
動する。中間フォーク59の伸び出しは中間フォーク59に
取り付けたスプロケット65Fをチェーン64Fによって回転
させ，それによって前進側チェーン受け部材62Fとスプ
ロケット65Fとの距離が長くなり，スプロケット65Fと基
端側端部66Fとの距離が短くなる。従って，先端フォー
ク60が中間フォーク59に対して前進側即ち伸び出す側へ
移動する。それ故，フォーク装置50は先端フォーク60を
伸長させることになる。First, as shown in FIG. 28, when the tip fork 60 of the fork device 50 is extended, the driving device 63 is driven to rotate in one direction, and the pinion 70 is rotated through the transmission 71 in the forward direction. . The rotational movement of the pinion 70 moves the rack 61 to the forward side in the longitudinal direction. If the rack 61 moves to the longitudinal advance side, the intermediate fork
59 moves to the forward side, that is, the side extending with respect to the proximal end fork 58. The extension of the intermediate fork 59 rotates the sprocket 65F attached to the intermediate fork 59 by the chain 64F, thereby increasing the distance between the forward-side chain receiving member 62F and the sprocket 65F. Distance becomes shorter. Therefore, the tip fork 60 moves toward the forward side, that is, the side extending from the intermediate fork 59. Therefore, the fork device 50 extends the tip fork 60.

また，第29図に示すように，フォーク装置50の先端フ
ォーク60を収縮させる場合には，駆動装置63を上記とは
逆方向に回転駆動させ，伝動装置71を通じてピニオン70
を後退側方向に回転駆動させる。ピニオン70の回転運動
はラック61の長手方向の後退側へ移動させることにな
る。ラック61が長手方向の後退側へ移動すれば，中間フ
ォーク59は後退側即ち基端フォーク58に対して引き込む
側へ移動する。中間フォーク59の引き込みは中間フォー
ク59に取り付けたスプロケット65Rをチェーン64Rによっ
て回転させ，それによって後退側チェーン受け部材62R
とスプロケット65Rとの距離が長くなり，スプロケット6
5Rと基端側端部66Rとの距離が短くなる。従って，先端
フォーク60が中間フォーク59に対して後退側即ち引き込
み側へ移動する。それ故，フォーク装置50は先端フォー
ク60を収縮させることになる。As shown in FIG. 29, when the tip fork 60 of the fork device 50 is contracted, the driving device 63 is driven to rotate in the opposite direction to the above, and the pinion 70 is transmitted through the transmission 71.
Is driven to rotate in the backward direction. The rotational movement of the pinion 70 moves the rack 61 to the retreating side in the longitudinal direction. When the rack 61 moves to the retreating side in the longitudinal direction, the intermediate fork 59 moves to the retreating side, that is, the retreating side with respect to the base end fork 58. The retracting of the intermediate fork 59 causes the sprocket 65R attached to the intermediate fork 59 to be rotated by the chain 64R, and thereby the retreat-side chain receiving member 62R.
And the distance between the sprocket 65R and the
The distance between 5R and the proximal end 66R is reduced. Therefore, the tip fork 60 moves to the retreating side, that is, the retraction side with respect to the intermediate fork 59. Therefore, the fork device 50 causes the tip fork 60 to contract.

それ故に，スタッカクレーン６において，走行通路５
の一側面に対して伸縮運動するフォーク装置50と他側面
に対して伸縮運動するフォーク装置50とを設けておけ
ば，スタッカクレーン６は走行通路５の両側方に対して
伸縮運動できるフォーク装置50を備えることになる。或
いは，スタッカクレーン６について，上記２つの伸縮運
動するフォーク装置50を設ける代わりに，図示していな
いが，フォークベース51上で回転するフォーク装置を設
けることによって１つのフォーク装置50で両方向だけで
なく，所望の方向にフォーク装置を方向付けることもで
きる。Therefore, in the stacker crane 6, the traveling path 5
If a fork device 50 that expands and contracts on one side and a fork device 50 that expands and contracts on the other side is provided, the stacker crane 6 can fork the device 50 that can expand and contract on both sides of the travel path 5. Will be provided. Alternatively, for the stacker crane 6, instead of providing the two telescopic fork devices 50, not shown, by providing a fork device that rotates on a fork base 51, one fork device 50 can be used in both directions. , The fork device can be oriented in a desired direction.

従って，スタッカクレーン６は，巻上装置47によって
フォーク装置50を上下移動させると共に，走行通路５の
左右方向に伸縮運動するフォーク装置50を有することに
よって，フォーク装置50の先端フォーク60を所定の場所
に存在するパレットＰの下方まで伸び出させ，次いで先
端フォーク60を僅かに上昇させれば，パレットＰの凹部
31に先端フォーク60の係止ピン67Aが係合すると共に，
パレットＰ下面が支持ピン67B上に載置状態になる。そ
の状態で先端フォーク60を収縮させれば，パレットＰを
フォークベース51上に位置させることができる。次い
で，スタッカクレーン６の走行台車44を走行装置57を駆
動し，コントローラの指令で所定の位置，例えば，段取
り割出し装置9,各種加工機1,2,3の各中間受け渡し装置
7,防錆処理装置10,流体吹付け装置12或いはラック４の
棚19へと移動させる。再び，フォーク装置50を作動して
先端フォーク60を伸長させ，パレットＰを載置する部位
へと移動させる。先端フォーク60がパレットＰの載置部
位まで伸長した時，先端フォーク60を僅かに下方へ移動
させると，パレットＰの凹部31に係合していた先端フォ
ーク60の係止ピン67Aが離脱する。その状態で，先端フ
ォーク60を引き込み，フォーク装置50を第29図に示す状
態に収縮させて，次の目的の場所へとスタッカクレーン
６を移動させる。Therefore, the stacker crane 6 moves the fork device 50 up and down by the hoisting device 47 and has the fork device 50 that expands and contracts in the left-right direction of the traveling passage 5. When the tip fork 60 is slightly lifted up to below the pallet P existing at
The locking pin 67A of the tip fork 60 engages with 31 and
The lower surface of the pallet P is placed on the support pins 67B. If the tip fork 60 is contracted in this state, the pallet P can be positioned on the fork base 51. Next, the traveling unit 44 of the stacker crane 6 is driven by the traveling unit 57, and a predetermined position, for example, the setup indexing unit 9, and each intermediate transfer unit of the various processing machines 1, 2, and 3 is commanded by the controller.
7. Move to the rust prevention treatment device 10, the fluid spraying device 12 or the shelf 19 of the rack 4. Again, the fork device 50 is operated to extend the tip fork 60 and move it to the position where the pallet P is placed. If the tip fork 60 is slightly moved downward when the tip fork 60 is extended to the mounting position of the pallet P, the locking pin 67A of the tip fork 60 engaged with the recess 31 of the pallet P is released. In this state, the tip fork 60 is retracted, the fork device 50 is contracted to the state shown in FIG. 29, and the stacker crane 6 is moved to the next destination.

従って，スタッカクレーン６は，段取り割出し装置９
で受け取ったパレットＰを防錆処理装置10,流体吹付け
装置12,ラック４或いは各種加工機1,2,3の中間受け渡し
装置７へと搬入する機能を果たすことができる。或い
は，スタッカクレーン６は，各種機構機1,2,3から搬出
されたパレットＰを受け取った中間受け渡し装置７から
のパレットＰを受け取り，別の加工機の中間受け渡し装
置７へ搬入したり，或いはラック４又は段取り割出し装
置９へ搬出する機能を果たすことができる。Therefore, the stacker crane 6 is provided with the setup indexing device 9.
The function of carrying the pallet P received by the above into the rust prevention treatment device 10, the fluid spraying device 12, the rack 4 or the intermediate transfer device 7 of the various processing machines 1, 2, and 3 can be achieved. Alternatively, the stacker crane 6 receives the pallets P from the intermediate delivery device 7 that has received the pallets P unloaded from the various mechanism machines 1, 2, 3 and carries them into the intermediate delivery device 7 of another processing machine, or The function of carrying out to the rack 4 or the setup indexing device 9 can be achieved.

また,FMSにおいて，防錆処理装置10は，工作物Ｗに防
錆処理を施すためパレット走行系中に設けた防錆ステー
ションに設置されている。防錆ステーションは，パレッ
ト走行系のいずれの場所に設置してもよいが，図では，
ラック４の２つの開口部20に２台設けられている。Further, in the FMS, the rust prevention treatment device 10 is installed at a rust prevention station provided in a pallet traveling system for performing a rust prevention treatment on the workpiece W. The rust prevention station may be installed anywhere on the pallet traveling system.
Two racks 4 are provided in two openings 20.

主として第２図，第30図及び第31図を参照して防錆処
理装置10を説明する。The rust prevention treatment apparatus 10 will be described mainly with reference to FIGS. 2, 30, and 31.

防錆処理装置10は，ラック４内に設置された支柱4Pに
ガイドされて上下動するパレット支持部材23を有し，パ
レット支持部材23はスタッカクレーン６からのパレット
Ｐが所定の位置決め状態を維持できるようにパレットＰ
に設けた係止手段と係合する係止手段を備えている。支
柱4Pの上部にはフレーム4Fが固定され，フレーム4F上に
パレット支持部材23を上下動させる駆動装置10Dが設定
されている。また，ラック４の下部には，上方を開口す
るタンク10Tが配置され，タンク10T内には防錆処理を行
うための溶液が入っている。例えば，一方のタンク10T
には工作物Ｗに発生している錆を落とす錆落とし溶液を
入れ，また，他方のタンク10Tには工作物Ｗに錆が発生
するのを防止する防錆溶液が入っている。また，錆落と
し溶液を入れたタンク10T内には，錆落とし効果を促進
するため，例えば，溶液に超音波振動を与える手段を設
けることが好ましい。パレット支持部材23のガイドロー
ラ23Gは，防錆ステーションの支柱4Pに設けたガイド手
段にガイドされて上下移動される。The rust prevention device 10 has a pallet support member 23 that moves up and down while being guided by a support 4P installed in the rack 4. The pallet support member 23 maintains the pallet P from the stacker crane 6 in a predetermined positioning state. Pallet P to be able to
And locking means for engaging with the locking means provided in. A frame 4F is fixed to the upper part of the support 4P, and a driving device 10D that moves the pallet support member 23 up and down is set on the frame 4F. Further, a tank 10T having an upper opening is disposed below the rack 4, and the tank 10T contains a solution for performing a rust prevention treatment. For example, one tank 10T
Is filled with a rust removing solution for removing rust generated on the workpiece W, and the other tank 10T contains a rust preventing solution for preventing rust from being generated on the workpiece W. Further, it is preferable to provide, for example, means for applying ultrasonic vibration to the solution in the tank 10T containing the rust removing solution in order to promote the rust removing effect. The guide roller 23G of the pallet support member 23 is moved up and down by being guided by guide means provided on the support 4P of the rust prevention station.

また,FMSにおいて，流体吹付け装置12が工作物Ｗの表
面に付着した加工液，異物，塵等の付着物を，高圧エア
或いは高温の水等の流体を吹き付けて排除するためパレ
ット走行系通に設けられている。流体吹付け装置12は、
いずれの場所に設けられてもよいが，図では，防錆処理
装置10の隣のラック４の開口部20に設けられている。流
体吹付け装置12は,FMSに搬入された工作物Ｗに防錆処理
或いは放電加工を行うのに十分に清掃した状態にするも
のである，高圧エア或いは高温の水等の流体を吹き出す
手段が設けられているから，該流体が飛散するのを防止
するため，開口部20を閉鎖するシャッタ手段を設けるこ
とが好ましい。該シャッタ手段は，コントローラの指令
で作動するように制御されている。スタッカクレーン６
からパレットＰが流体吹付け装置12に搬入される時，シ
ャッタ手段が作動してシャッタが開放し，パレットＰが
流体吹付け装置12内に設けたパレット支持部材25Pに載
置される。パレット支持部材25Pには，パレットＰが所
定の位置決め状態を維持できるようにパレットＰに設け
た係止手段と係合する係止手段を備えている。パレット
支持部材25PにパレットＰが載置されると，シャッター
が閉鎖し，次いで，流体吹付け装置12の流体吹出しノズ
ル12Nから流体が吹き出され，工作物Ｗに対して清掃処
理が行われる。工作物Ｗに対する清掃処理が終了する
と，再びシャッターが開放し，スタッカクレーン６によ
ってパレット支持部材25PからパレットＰが搬出され
る。Further, in the FMS, the fluid spraying device 12 sprays a fluid such as high-pressure air or high-temperature water to remove a deposit such as a machining fluid, a foreign matter, or dust adhering to the surface of the workpiece W, so that a pallet traveling system is used. It is provided in. The fluid spraying device 12
Although it may be provided at any place, in the figure, it is provided at the opening 20 of the rack 4 next to the rust prevention treatment device 10. The fluid spraying device 12 is a means for blowing a fluid such as high-pressure air or high-temperature water into a state in which the workpiece W carried into the FMS is sufficiently cleaned to perform rust prevention treatment or electric discharge machining. Since it is provided, it is preferable to provide a shutter means for closing the opening 20 in order to prevent the fluid from scattering. The shutter means is controlled to operate according to a command from a controller. Stacker crane 6
When the pallet P is carried into the fluid spraying device 12 from above, the shutter means is operated to open the shutter, and the pallet P is placed on the pallet support member 25P provided in the fluid spraying device 12. The pallet support member 25P is provided with locking means for engaging with locking means provided on the pallet P so that the pallet P can maintain a predetermined positioning state. When the pallet P is placed on the pallet support member 25P, the shutter is closed, and then the fluid is blown out from the fluid blowing nozzle 12N of the fluid spraying device 12, and the workpiece W is cleaned. When the cleaning process for the workpiece W is completed, the shutter is opened again, and the pallet P is carried out of the pallet support member 25P by the stacker crane 6.

上記のように，防錆処理装置10及び流体吹付け装置12
は一例として構成されているが，該装置10,12の作用
は，例えば，スタッカクレーン６から防錆処理装置10の
パレット支持部材23に搬入されたパレットＰを駆動装置
10Dを作動して錆落とし溶液を入れたタンク10Tに投入
し，工作物Ｗに発生した錆を落とす。次いで，パレット
Ｐをスタッカクレーン６によって該防錆処理装置10から
流体吹付け装置12へ移動させ，流体吹付け装置12によっ
て工作物Ｗの表面に高圧エアを吹き付けて該表面に付着
した錆落とし溶液を吹き飛ばす。再び，パレットＰをス
タッカクレーン６によって流体吹付け装置12から防錆処
理装置10へ移動させ，防錆処理装置10の防錆溶液を入れ
たタンク10Tに投入し，工作物Ｗに対して防錆処理を行
う。この場合に，工作物Ｗに対する防錆処理後，直ちに
放電加工を行う時には，パレットＰをスタッカクレーン
６によって該防錆処理装置10から流体吹付け装置12へ移
動させ，該流体吹付け装置12によって工作物Ｗの表面に
高圧エアを吹き付けて該表面に付着した防錆溶液を吹き
飛ばし，スタッカクレーン６によって加工機群の中間受
け渡し装置７へ搬送する。或いは，防錆処理後に，防錆
処理を行った工作物Ｗを設置したパレットＰをスタッカ
クレーン６によってラック４の棚19に収容するか，或い
は加工機1,2,3に搬入する。As described above, the rust prevention treatment device 10 and the fluid spray device 12
Is configured as an example, but the operation of the devices 10 and 12 is, for example, that the pallet P carried from the stacker crane 6 to the pallet support member 23 of the rust prevention treatment device 10 is driven by a driving device.
10D is operated and put into the tank 10T containing the rust removing solution to remove the rust generated on the workpiece W. Next, the pallet P is moved from the rust prevention treatment device 10 to the fluid spraying device 12 by the stacker crane 6, and high-pressure air is sprayed on the surface of the workpiece W by the fluid spraying device 12 to remove the rust removing solution attached to the surface. Blow off. Again, the pallet P is moved by the stacker crane 6 from the fluid spraying device 12 to the rust-preventive treatment device 10, and is put into the tank 10T in which the rust-preventive solution of the rust-preventive treatment device 10 is stored. Perform processing. In this case, when electric discharge machining is to be performed immediately after the rust prevention treatment on the workpiece W, the pallet P is moved from the rust prevention treatment device 10 to the fluid spraying device 12 by the stacker crane 6, and the pallet P is moved by the fluid spraying device 12. High-pressure air is blown against the surface of the workpiece W to blow off the rust-preventive solution attached to the surface, and is conveyed by the stacker crane 6 to the intermediate transfer device 7 of the processing machine group. Alternatively, after the rust-prevention treatment, the pallet P on which the workpiece W subjected to the rust-prevention treatment is set is stored in the shelf 19 of the rack 4 by the stacker crane 6, or is carried into the processing machines 1, 2, and 3.

また，ワイヤ放電加工機１は，工作物Ｗに対してワイ
ヤ放電加工を行った場合に，工作物Ｗから切り離される
加工屑或いは加工形状に加工された製品が発生する。こ
れらの加工片は，ワイヤ放電加工機１での放電加工では
自動的に取り除く処理を行わなければ，引き続く放電加
工を行うことができなくなる。ここでは，加工片取除き
装置の一例を，第44図及び第45図を参照して説明する。Further, in the wire electric discharge machine 1, when wire electric discharge machining is performed on the workpiece W, machining waste separated from the workpiece W or a product processed into a machining shape is generated. If these pieces are not automatically removed by electric discharge machining in the wire electric discharge machine 1, subsequent electric discharge machining cannot be performed. Here, an example of the work piece removing apparatus will be described with reference to FIGS. 44 and 45.

加工片取除き装置130は，ワイヤ放電加工機１のヘッ
ド1Hに上部取付部材131と下部取付部材132によって固定
されている。上部取付部材131には，上下移動するボー
ルねじロッド135を貫通させてガイドするドグ133が取り
付けられている。ボールねじロッド135には，ボールス
プライン溝141とねじ142が形成されている。下部取付部
材132には，ボールスプライン溝141と噛み合って回転方
向に固定され且つ上下方向に摺動する摺動部材62が設け
られている。摺動部材62にはギヤ145が固定されてい
る。ギヤ145にはそれに噛み合ってギヤ145の外周を270
度にわたって旋回するギヤ146が噛み合っている。ギヤ1
46は，下部取付部材132に取り付けた支持部材147に回転
可能に支持した回転軸148に固定されている。回転軸148
の回転は，第２サーボモータであるサーボモータ137の
作動によって行われる。従って，サーボモータ137によ
って回転軸148が回転すると，ギヤ146がギヤ145に噛み
合ってギヤ145の周囲を回転運動するか，又はギヤ146の
回転によってギヤ145を回転させてボールねじロッド135
を回転させる。The work piece removing device 130 is fixed to the head 1H of the wire electric discharge machine 1 by an upper mounting member 131 and a lower mounting member 132. The upper mounting member 131 is provided with a dog 133 that guides the ball screw rod 135 that moves up and down so as to pass therethrough. The ball screw rod 135 has a ball spline groove 141 and a screw 142 formed therein. The lower attachment member 132 is provided with a sliding member 62 that is engaged with the ball spline groove 141 and is fixed in the rotation direction and slides in the up-down direction. A gear 145 is fixed to the sliding member 62. The outer periphery of the gear 145 is
The gear 146 which turns over degrees is engaged. Gear 1
46 is fixed to a rotation shaft 148 rotatably supported by a support member 147 attached to the lower attachment member 132. Rotary shaft 148
Is performed by the operation of the servomotor 137 as the second servomotor. Therefore, when the rotary shaft 148 is rotated by the servomotor 137, the gear 146 meshes with the gear 145 to rotate around the gear 145, or the rotation of the gear 146 rotates the gear 145 to rotate the ball screw rod 135.
To rotate.

また，下部取付部材132には，ねじ142と噛み合うボー
ルねじ143が取り付けられている。下部取付部材132に取
り付け且つ摺動部材62に固定したナット回転支持ホルダ
53にはナット149が固定され，該ナット149にはウォーム
ホイール144がねじ141に噛み合って固定されている。ウ
ォームホイール144は，下部取付部材132に取り付けた第
１サーボモータであるサーボモータ136の作動によって
回転運動する。従って，サーボモータ136の作動でウォ
ームホイール144が回転すると，摺動部材62がボールね
じロッド135を上下動させることになる。更に，サーボ
モータ137及びサーボモータ136が作動し，ギヤ145とウ
ォームホイール144とが同期して回転すると，両者の回
転移動は打ち消し合って停止状態になり，ボールねじロ
ッド135のみが回転運動するようになる。A ball screw 143 that meshes with the screw 142 is attached to the lower attachment member 132. Nut rotation support holder attached to lower attachment member 132 and fixed to sliding member 62
A nut 149 is fixed to 53, and a worm wheel 144 is fixed to the nut 149 by meshing with a screw 141. The worm wheel 144 rotates by the operation of a servomotor 136 that is a first servomotor attached to the lower attachment member 132. Therefore, when the worm wheel 144 is rotated by the operation of the servo motor 136, the sliding member 62 moves the ball screw rod 135 up and down. Further, when the servomotor 137 and the servomotor 136 are operated and the gear 145 and the worm wheel 144 rotate in synchronization, the rotational movements of the two cancel each other and stop, so that only the ball screw rod 135 rotates. become.

更に，ボールねじロッド135の下端部には，電磁ホル
ダケース138が取り付けられている。電磁ホルダケース1
38には，ボールねじ150が取り付けられ，ボールねじ150
と噛み合うねじ151を備えた第２ボールねじロッドであ
るボールねじロッド139が貫通している。ボールねじロ
ッド139にはボールスプライン152が形成されている。更
に，電磁ホルダケース138には，ボールねじ150に取り付
けたウォームホイールを回転させるため，第３サーボモ
ータであるサーボモータ153が設けられている。従っ
て，サーボモータ153が作動してボールねじ159のウォー
ムホイールが回転すると，電磁ホルダケース138に対し
てボールねじロッド139が水平方向に往復移動する。ボ
ールねじロッド139の先端には電磁ホルダ140が取り付け
られ，電磁ホルダ140には電磁石等の磁石が取り付けら
れている。Further, an electromagnetic holder case 138 is attached to the lower end of the ball screw rod 135. Electromagnetic holder case 1
The ball screw 150 is attached to 38, and the ball screw 150
A ball screw rod 139, which is a second ball screw rod provided with a screw 151 that meshes with the rod, penetrates. A ball spline 152 is formed on the ball screw rod 139. Further, the electromagnetic holder case 138 is provided with a servomotor 153 as a third servomotor for rotating a worm wheel attached to the ball screw 150. Accordingly, when the servo motor 153 operates and the worm wheel of the ball screw 159 rotates, the ball screw rod 139 reciprocates in the horizontal direction with respect to the electromagnetic holder case 138. An electromagnetic holder 140 is attached to the tip of the ball screw rod 139, and a magnet such as an electromagnet is attached to the electromagnetic holder 140.

加工片取除き装置130は，上記のように構成されてい
るので，上下移動と回転運動を行うボールねじロッド13
5の下端部に取り付けたボールねじロッド139はボールね
じロッド135と一体的に上下移動と回転運動を行うこと
ができ，ボールねじロッド139自体はボールねじロッド1
35に対して水平方向に移動できるので，ボールねじロッ
ド139の先端に取り付けた電磁ホルダ140は三次元の空間
を移動できるようになる。Since the work piece removing device 130 is configured as described above, the ball screw rod 13 that moves up and down and rotates.
The ball screw rod 139 attached to the lower end of 5 can move up and down and rotate integrally with the ball screw rod 135.
Since it can move in the horizontal direction with respect to 35, the electromagnetic holder 140 attached to the tip of the ball screw rod 139 can move in a three-dimensional space.

従って，加工片取除き装置130の電磁ホルダ140に取り
付けた電磁石は，加工片取除き装置130から突出状態に
なるように構成しておけば，ワイヤ放電加工機１のパレ
ットＰに位置設定された工作物Ｗの上面に対して当接す
ることができるようになる。それ故に，コントローラの
指令によって工作物Ｗから加工片が切り離される直前
に，加工片取除き装置130を作動して電磁石を加工片に
当接させて該加工片を吸着させれば，加工片は落下する
ことなく，次いで，電磁石140に吸着した加工片を上方
へ移動させて所定の加工片収容場所へ収容することがで
き，工作物Ｗから切り離される加工片が加工面を傷付け
ることもなく，該加工片を排除できる。Therefore, if the electromagnet attached to the electromagnetic holder 140 of the workpiece removing device 130 is configured to protrude from the workpiece removing device 130, the electromagnet is positioned on the pallet P of the wire electric discharge machine 1. It can come into contact with the upper surface of the workpiece W. Therefore, immediately before the work piece is separated from the workpiece W by the command of the controller, the work piece removal device 130 is operated to bring the electromagnet into contact with the work piece and attract the work piece. Without dropping, the workpiece adsorbed by the electromagnet 140 can be moved upward to be stored in a predetermined workpiece storage location, and the workpiece separated from the workpiece W does not damage the processing surface. The work piece can be eliminated.

次に，第32図〜第36図を参照して，加工機群における
細穴放電加工機２について説明する。Next, the small hole electric discharge machine 2 in the group of machine tools will be described with reference to FIGS.

細穴放電加工機２は，ワイヤ放電加工機１と比較して
パイプ電極PEを使用してパレットＰに予め設定した工作
物Ｗに細穴，細孔，ワイヤ放電加工のためワイヤ電極WE
を貫通させるためのスタートホールを加工するものであ
り，加工台へのパレットＰの位置設定のための装置及び
加工槽カバー装置は，ワイヤ放電加工機１と同様の装置
を利用できるものである。従って，ここでは重複する上
記装置の構成及び作用についての説明を省略し，パイプ
電極PEの交換装置及びパイプ電極PEの設定装置について
のみ説明する。また,FMSには，パイプ電極交換装置は前
掲特開平１−246021号公報に開示したものを利用するこ
とが可能であるが，以下で説明するパイプ電極交換装置
が好ましいものである。Compared to the wire electric discharge machine 1, the small hole electric discharge machine 2 uses a pipe electrode PE to form a small hole, a small hole, and a wire electrode WE for wire electric discharge machining on a work W previously set on a pallet P.
In this case, a device similar to the wire electric discharge machine 1 can be used as a device for setting the position of the pallet P on the machining table and a machining tank cover device. Therefore, the description of the configuration and operation of the above-described apparatus will not be repeated here, and only the pipe electrode PE replacement apparatus and the pipe electrode PE setting apparatus will be described. For the FMS, the pipe electrode exchange apparatus disclosed in the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-246021 can be used, but the pipe electrode exchange apparatus described below is preferable.

細穴放電加工機２の加工作業は，例えば，第55図に示
すように行うことができる。細穴放電加工機２の加工準
備が整うと，コントローラは,NCプログラムへ信号を発
すると共にスタッカクレーン６に指令を発し，スタッカ
クレーン６によって細穴放電加工機２へラック４の棚19
に収容されているワイヤ放電加工で所定の加工形状を行
う工作物Ｗを搭載したパレットＰをスタートホールの加
工のために，細穴放電加工機２に搬入する作業を行う。
細穴放電加工機２にパレットＰが設定されると，細穴放
電加工機２が作動して工作物Ｗに対して所定の箇所に細
孔の放電加工をする。工作物Ｗに対してスタートホール
の放電加工の終了すると，工作物Ｗを搭載したパレット
Ｐは，スタッカクレーン６によってラック４の所定の棚
19に収容されるか、或いはワイヤ放電加工機１へ搬入さ
れる。The machining operation of the small hole electric discharge machine 2 can be performed, for example, as shown in FIG. When the preparation for machining of the small hole electric discharge machine 2 is completed, the controller issues a signal to the NC program and also issues a command to the stacker crane 6, and the stacker crane 6 sends the signal to the small hole electric discharge machine 2 to the rack 19 of the rack 4.
In order to machine a start hole, a pallet P loaded with a workpiece W having a predetermined machining shape by wire electric discharge machining accommodated in a small hole electric discharge machine 2 is carried out.
When the pallet P is set in the small-hole electric discharge machine 2, the small-hole electric discharge machine 2 operates to perform electric discharge machining of a fine hole at a predetermined position on the workpiece W. When the electric discharge machining of the start hole is completed for the workpiece W, the pallet P on which the workpiece W is mounted is moved by the stacker crane 6 to a predetermined shelf of the rack 4.
19 or carried into the wire electric discharge machine 1.

細穴放電加工機２は，パイプ電極交換装置2Cを備えた
ものである。パイプ電極交換装置2Cは，従来使用されて
いるパイプ電極PEを用いることができ，多数のパイプ電
極PEを割り出すため,1個の割出確認切欠き102Cを形成し
たインデックステーブル102及びパイプ電極PEを支持す
るチャック用パレット105を有している。チャック用パ
レット105は，インデックステーブル102に対して取り替
え可能に構成されている。チャック用パレット105に
は，パレット電極PEのチャック部PECを支持する支持孔1
03が回転中心点から同心円周上に周方向等距離に形成さ
れている。支持孔103には，パイプ電極PEを出入させる
ため切欠き溝104を半径方向外向きに開口している。支
持孔103の切欠き溝104は，チャック用パレット105の中
心点と支持孔103の中心点を結ぶ線から振り分け状態に
形成されている。支持孔13の直径は，パイプ電極PEの袋
ナットPENの外径よりも大きく形成されている。チャッ
ク用パレット105には，該中心部にチャック用パレット1
05をインデックステーブル102に取り付ける取付基準孔1
08,その外周にチャック用パレット105をインデックステ
ーブル102に締め付ける等分割された締付孔106（図では
４個），及びパイプ電極PEの割り出し原点を確認するた
めの割出原点確認孔107が形成されている。チャック用
パレット105の中心点と支持孔103の中心点を結ぶ線上
に,1個の締付孔106と割出原点確認孔107が位置してい
る。割出原点確認孔107は，インデックステーブル102の
割出確認切欠き102Cと符号することで，割出原点が確認
されるように構成されている。The small hole electric discharge machine 2 is provided with a pipe electrode exchange device 2C. The pipe electrode exchange device 2C can use a conventionally used pipe electrode PE. In order to determine a large number of pipe electrodes PE, an index table 102 and a pipe electrode PE having one indexing notch 102C are used. It has a chuck pallet 105 for support. The chuck pallet 105 is configured to be replaceable with respect to the index table 102. The pallet for chuck 105 has a support hole 1 for supporting the chuck part PEC of the pallet electrode PE.
03 is formed on the concentric circle at the same distance in the circumferential direction from the rotation center point. In the support hole 103, a cutout groove 104 is opened radially outward to allow the pipe electrode PE to enter and exit. The notch groove 104 of the support hole 103 is formed so as to be distributed from a line connecting the center point of the chuck pallet 105 and the center point of the support hole 103. The diameter of the support hole 13 is formed larger than the outer diameter of the cap nut PEN of the pipe electrode PE. The pallet for chuck 105 has a pallet for chuck 1 at the center.
Mounting reference hole 1 for attaching 05 to index table 102
08, Equally divided tightening holes 106 (four in the figure) for tightening the chuck pallet 105 to the index table 102 and an indexing origin confirmation hole 107 for confirming the indexing origin of the pipe electrode PE are formed on the outer periphery thereof. Have been. One fastening hole 106 and an index origin confirmation hole 107 are located on a line connecting the center point of the chuck pallet 105 and the center point of the support hole 103. The index origin confirmation hole 107 is configured so that the index origin is confirmed by coding the index confirmation notch 102C of the index table 102.

パイプ電極交換装置2Cは，チャック用パレット105を
割り出す割出機構を有している。該割出機構は，ステッ
ピングモータ109及びステッピングモータ109とチャック
用パレット105との間に組み込んだ減速伝動装置110から
構成されている。更に，細穴放電加工機２は，主軸111
にチャック用パレット105の支持孔103に支持されるパイ
プ電極PEの電極ホルダを挿入する機構，及び支持孔103
の待機位置から細穴放電加工機２の主軸111の中心位置
まで移動する機構を有している。主軸111の中心はパイ
プ電極PEの中心であり且つ加工時の中心となる点であ
る。上記挿入機構は，パイプ電極交換装置2Cに設けたチ
ャック用パレット105を上下移動させる上下動シリンダ1
12から成る。また，チャック用パレット105を主軸111の
中心位置へ移動させる移動機構は，前後移動シリンダ11
3から成る。前後移動シリンダ113は，割り出したパイプ
電極PEを前進端で主軸111の中心位置に移動させ，ま
た，後退端で待機位置までチャック用パレット105を後
退させる機能を有する。更に，パイプ電極交換装置2C
は，チャック用パレット105の割出原点確認手段及び支
持孔103にパイプ電極PEが存在するか否かの確認を行う
有無確認手段を有している。割出原点確認手段は，ステ
ッピングモータ109を支持するフレーム116に取り付けた
光電スイッチ114で構成されている。また，有無確認手
段は，ステッピングモータ109を支持するフレーム116に
取り付け且つ主軸111の中心に対向した支持孔103にパイ
プ電極PEが支持されているか否かを検出する光電スイッ
チ115で構成されている。The pipe electrode exchanging device 2C has an indexing mechanism for indexing the chuck pallet 105. The indexing mechanism includes a stepping motor 109 and a reduction gear transmission 110 incorporated between the stepping motor 109 and the chuck pallet 105. Further, the small hole electric discharge machine 2 is
Mechanism for inserting the electrode holder of the pipe electrode PE supported by the support hole 103 of the chuck pallet 105
From the standby position to the center position of the main shaft 111 of the small hole electric discharge machine 2. The center of the main shaft 111 is a point that is the center of the pipe electrode PE and the center during processing. The above-mentioned insertion mechanism includes a vertically moving cylinder 1 for vertically moving a pallet 105 for chuck provided in a pipe electrode exchanging device 2C.
Consists of twelve. The moving mechanism for moving the chuck pallet 105 to the center position of the spindle 111 is a front-rear moving cylinder 11.
Consists of three. The forward / backward moving cylinder 113 has a function of moving the indexed pipe electrode PE to the center position of the main shaft 111 at the forward end, and retreating the chuck pallet 105 to the standby position at the retreat end. In addition, pipe electrode exchange device 2C
Has a means for checking the index origin of the chuck pallet 105 and a means for checking whether or not the pipe electrode PE exists in the support hole 103. The index origin confirmation means is constituted by a photoelectric switch 114 attached to a frame 116 supporting a stepping motor 109. The presence / absence confirming means is constituted by a photoelectric switch 115 attached to the frame 116 supporting the stepping motor 109 and detecting whether or not the pipe electrode PE is supported in the support hole 103 facing the center of the main shaft 111. .

上記のように，パイプ電極交換装置2Cは構成されてい
るので，次のように作動できる。細穴放電加工機２の主
軸中心111にパイプ電極PEを取り付ける場合には，ステ
ッピングモータ109を作動してチャック用パレット105を
回転させ，割出原点確認手段である光電スイッチ114で
パイプ電極PEを支持する支持孔103を割り出す。次い
で，有無確認手段である光電スイッチ115によって主軸
中心111に対向した支持孔103にパイプ電極PEが支持され
ていることを確認し，支持孔103にパイプ電極PEが存在
すれば，前後移動シリンダ113の作動でパイプ電極PEを
主軸中心111の位置に移動させる。細穴放電加工機２の
主軸にはパイプ電極ホルダが設けられているので，上下
動シリンダ112を作動してチャック用パレット105の割り
出されたパイプ電極PEを上昇させ，主軸111のパイプ電
極PEホルダ2Hに挿入する。パイプ電極PEホルダ2Hにパイ
プ電極PEを挿入すれば，パイプ電極PEはパイプ電極ホル
ダ2Hに自動的に保持される。パイプ電極PEをパイプ電極
ホルダ2Hに挿入固定した後，上下動シリンダ112を作動
してチャック用パレット105を下降させ，次いでチャッ
ク用パレット105を前後移動シリンダ113を作動してパイ
プ電極交換装置2Cの待機位置へと後退させる。As described above, since the pipe electrode exchange device 2C is configured, it can operate as follows. When the pipe electrode PE is mounted on the center 111 of the main shaft of the small hole electric discharge machine 2, the stepping motor 109 is operated to rotate the chuck pallet 105, and the photoelectric switch 114 serving as the index origin confirmation means is used to connect the pipe electrode PE. The supporting hole 103 to be supported is determined. Next, it is confirmed that the pipe electrode PE is supported in the support hole 103 facing the center 111 of the main shaft by the photoelectric switch 115 as the presence / absence confirmation means. Moves the pipe electrode PE to the position of the spindle center 111. Since the pipe electrode holder is provided on the main shaft of the small hole electric discharge machine 2, the vertical cylinder 112 is operated to raise the indexed pipe electrode PE of the chuck pallet 105, and the pipe electrode PE of the main shaft 111 is moved. Insert into holder 2H. If the pipe electrode PE is inserted into the pipe electrode PE holder 2H, the pipe electrode PE is automatically held in the pipe electrode holder 2H. After inserting and fixing the pipe electrode PE to the pipe electrode holder 2H, the vertical cylinder 112 is operated to lower the pallet 105 for chuck, and then the pallet 105 for chuck is operated by the cylinder 113 for forward and backward movement to change the position of the pipe electrode exchanging device 2C. Retract to the standby position.

また，パイプ電極PEが工作物Ｗに対してスタートホー
ルを加工してパイプ電極PEが消耗した時，消耗したパイ
プ電極PEを細穴放電加工機２の主軸111から取り外す場
合には，チャック用パレット105の支持孔103にパイプ電
極PEが存在しないことを有無確認手段である光電スイッ
チ115で確認し，支持孔103を主軸111の中心へと移動さ
せて支持孔103の中心と主軸111の中心とを一致させ，支
持孔103に消耗したパイプ電極PEを受け取る。この時，
電極ホルダPEHに残っているパイプ電極PEを支持孔103の
切欠き溝104を通し，支持孔103をパイプ電極PEの下方に
位置させる。次いで，主軸111の電極ホルダPEHの保持状
態を解放し，電極ホルダPEHを支持孔103へと落下させ
る。次いで，パイプ電極交換装置2Cのチャック用パレッ
ト105を待機位置へ後退させる。細穴放電加工機２で
は，上記のパイプ電極交換作動を自動的に繰り返し行っ
てチャック用パレット105に装填された多数のパイプ電
極PEを消耗パイプ電極PEと交換して順次に使用し，細穴
放電加工機２におけるパイプ電極PEを常に新しいものと
交換し，工作物Ｗに対して細穴放電加工を自動的に且つ
連続して行うことができる。Also, when the pipe electrode PE is used to machine a start hole on the workpiece W and the pipe electrode PE is consumed, when the consumed pipe electrode PE is removed from the main shaft 111 of the small hole electric discharge machine 2, a chuck pallet is used. The absence of the pipe electrode PE in the support hole 103 of 105 is confirmed by a photoelectric switch 115 as a means for confirming the presence or absence, and the support hole 103 is moved to the center of the main shaft 111 to move the center of the support hole 103 and the center of the main shaft 111. Are received, and the pipe electrode PE consumed in the support hole 103 is received. At this time,
The pipe electrode PE remaining in the electrode holder PEH is passed through the cutout groove 104 of the support hole 103, and the support hole 103 is positioned below the pipe electrode PE. Next, the holding state of the electrode holder PEH of the spindle 111 is released, and the electrode holder PEH is dropped into the support hole 103. Next, the chuck pallet 105 of the pipe electrode exchanging device 2C is retracted to the standby position. In the small-hole electric discharge machine 2, the above-mentioned pipe electrode exchange operation is automatically repeated, and a large number of pipe electrodes PE loaded on the pallet for chuck 105 are exchanged for consumable pipe electrodes PE and are used successively. The pipe electrode PE in the electric discharge machine 2 is always replaced with a new one, and the small hole electric discharge machining can be automatically and continuously performed on the workpiece W.

また，細穴放電加工機２におけるパイプ電極ホルダと
パイプ電極PEとの自動取付け取外し機構は，従来のパイ
プ電極交換機構を利用できるものであるが，例えば，実
開平１−143321号公報に開示されたパイプ電極保持装置
を利用すると好ましいものである。該パイプ電極保持装
置は，実開平１−143321号公報に詳述されているのでこ
こではその説明を省略する。A mechanism for automatically attaching and detaching the pipe electrode holder and the pipe electrode PE in the small hole electric discharge machine 2 can use a conventional pipe electrode replacement mechanism. It is preferable to use a pipe electrode holding device. The pipe electrode holding device is described in detail in Japanese Utility Model Laid-Open Publication No. 1-143321, and the description thereof is omitted here.

次に，第37図〜第43図を参照して,FMSにおける加工機
群のうち型彫放電加工機３について説明する。Next, the die sinking electric discharge machine 3 of the group of processing machines in the FMS will be described with reference to FIGS. 37 to 43.

FMSにおいて，型彫放電加工機３は，従来のものと同
様に，自動電極交換装置等を設けることができるもので
ある。FMSにおける型彫放電加工機３は，従来のものと
比較して，加工台上にパレットＰを搬出入する機構，加
工台へのパレットＰの固定機構及び加工槽について相違
する以外はほぼ同一の構成であるので，上記相違する装
置について説明する。また，図面において，型彫放電加
工機３に付した符号は，ワイヤ放電加工機１と比較して
同一の機能を有する部品には同一の符号を付している。In the FMS, the die sinking electric discharge machine 3 can be provided with an automatic electrode changing device and the like, similarly to the conventional one. The die sinking electric discharge machine 3 in the FMS is almost the same as the conventional one except that the mechanism for carrying the pallet P in and out of the processing table, the mechanism for fixing the pallet P to the processing table, and the processing tank are different. Because of the configuration, the different device will be described. Further, in the drawings, the reference numerals given to the die sinking electric discharge machine 3 denote the same parts as those of the wire electric discharge machine 1 having the same functions.

型彫放電加工機３の加工作業は，例えば，第57図に示
すように行うことができる。型彫放電加工機３の加工準
備が整うと，コントローラは,NCプログラムへ信号を発
すると共にスタッカクレーン６に指令を発し，スタッカ
クレーン６によって型彫放電加工機３へラック４の棚19
に収容されている工作物Ｗを設定したパレットP,或いは
ワイヤ放電加工機１で加工が終了した工作物Ｗを設定し
たパレットＰを搬入する作業を行う。型彫放電加工機３
にパレットＰが設定されると，型彫放電加工機３が作動
して工作物Ｗに対して所定の加工形状に放電加工する工
作物Ｗに対して型彫放電加工の終了すると，工作物Ｗを
搭載したパレットＰは，スタッカクレーン６によってラ
ック４の所定の棚19に収容されるか，或いは段取りステ
ーション36へ搬出される。The machining operation of the die sinking electric discharge machine 3 can be performed, for example, as shown in FIG. When the preparation for machining of the die sinking machine 3 is completed, the controller issues a signal to the NC program and also issues a command to the stacker crane 6, and the stacker crane 6 sends the signal to the die sinking EDM 3 to the shelf 19 of the rack 4.
The work of loading the pallet P in which the workpiece W stored in the pallet P is set or the pallet P in which the workpiece W processed by the wire electric discharge machine 1 is set is carried out. Die-sinking electric discharge machine 3
When the pallet P is set on the workpiece W, the die-sinking electric discharge machine 3 is operated, and when the die-sinking electric discharge machining is completed for the workpiece W for performing the electric discharge machining on the workpiece W into a predetermined machining shape, the work W The pallet P loaded with is stored in a predetermined shelf 19 of the rack 4 by the stacker crane 6 or carried out to the setup station 36.

型彫放電加工機３において，工作物Ｗは各パレットＰ
に予め設定されているが，パレットＰは,X−Ｙテーブル
上に電気的に絶縁状態に取り付けた治具ベース74に固定
した加工台75に対して中間受け渡し装置７及び昇降装置
122によって自動的に搬出入されるものである。型彫放
電加工機３には，放電加工中に使用する加工液を濾過す
るための加工液を循環させて濾過する濾過装置21,中間
受け渡し装置７からのパレットＰを支持するパレット支
持部材120,パレット支持部材120を加工槽76K内で昇降さ
せてパレットＰを上下移動させる昇降装置122,パレット
Ｐをパレット支持部材120上に固定するため昇降装置122
に設けたクランプ装置78,昇降装置122で下降したパレッ
トＰを加工台75に載置してパレットＰの端部を押圧して
位置設定するパレット押圧装置77,77A,及び治具ベース7
4に取り付けた加工槽76Kに設けた加工液を収容するため
の開閉可能な開閉扉80Dを有する加工槽装置79Kが設けら
れている。型彫放電加工機３におけるＸ−Ｙテーブル上
には治具ベース74が電気的に遮断状態で固定され，治具
ベース74に加工槽76Kが取り付けられている。また，治
具ベース74或いは底面壁76Bの上面には，位置基準手段
となる一対の加工台75が固定されている。治具ベース74
には，加工台75の両側に位置するクランプ装置78が設け
られている。加工台75には，搬入されたパレットＰを所
定の位置に固定するためパレット押圧装置77,77Aが取り
付けられている。パレット支持部材120は，シリンダ121
内を上下移動するピストンロッド82Pに固定された連結
バー82に取り付けた支持ローラ（図では両側にそれぞれ
３個を示す）である。各連結バー82には，パレットＰを
パレット押圧装置77,77Aで位置決めする際にパレットＰ
の側面及び上面をガイドするため，ガイドローラ126が
設けられている。In the die-sinking electric discharge machine 3, the workpiece W is
Although the pallet P is set in advance, the intermediate transfer device 7 and the elevating device are mounted on a processing table 75 fixed to a jig base 74 mounted on the XY table in an electrically insulated state.
It is automatically loaded and unloaded by 122. The die sinking electric discharge machine 3 includes a filtering device 21 for circulating and filtering a machining fluid for filtering a machining fluid used during electrical discharge machining, a pallet support member 120 for supporting the pallet P from the intermediate transfer device 7, An elevating device 122 for moving the pallet P up and down by moving the pallet supporting member 120 up and down in the processing tank 76K, and an elevating device 122 for fixing the pallet P on the pallet supporting member 120.
Pallet pressing devices 77 and 77A for setting the position of the pallet P lowered by the clamp device 78, the elevating device 122 on the processing table 75 and pressing the end of the pallet P, and the jig base 7
A processing tank device 79K having an openable and closable door 80D for storing a processing liquid provided in a processing tank 76K attached to 4 is provided. A jig base 74 is fixed on the XY table of the die sinking electric discharge machine 3 in an electrically interrupted state, and a machining tank 76K is attached to the jig base 74. Further, a pair of processing tables 75 serving as position reference means are fixed to the upper surface of the jig base 74 or the bottom wall 76B. Jig base 74
Are provided with clamping devices 78 located on both sides of the processing table 75. Pallet pressing devices 77 and 77A are attached to the processing table 75 to fix the loaded pallet P at a predetermined position. The pallet support member 120 is a cylinder 121
There are support rollers (three on each side shown in the figure) attached to a connecting bar 82 fixed to a piston rod 82P that moves up and down inside. Each connecting bar 82 has a pallet P when the pallet P is positioned by the pallet pressing devices 77 and 77A.
A guide roller 126 is provided to guide the side surface and the upper surface.

型彫放電加工機３における加工台75は，パレットＰの
両端部を支持できるように，パレットＰの両端部に対応
してそれぞれ伸びて治具ベース74に固定されている。加
工台75と治具ベース74との取付構造については，特に限
定されるものではない。加工台75は,NC装置によってサ
ーボ移動するテーブルの水平方向の移動と共に水平方向
に移動するように構成され，しかも型彫電極REが上下に
移動する走行路に対して位置関係が予め決定されてい
る。加工台75に対して上下移動可能に昇降装置122に取
り付けた両側の連結バー82には，パレットＰの押圧時に
パレットＰを加工台75上に固定するため，パレット10の
両側面に対向したクランプ85が上下動可能にそれぞれ固
定されている。The working table 75 in the die sinking electric discharge machine 3 is fixed to a jig base 74 so as to extend along the both ends of the pallet P so as to support both ends of the pallet P. The mounting structure between the processing table 75 and the jig base 74 is not particularly limited. The processing table 75 is configured to move in the horizontal direction together with the horizontal movement of the table that is servo-moved by the NC device, and furthermore, the positional relationship is determined in advance with respect to the traveling path on which the die sinking electrode RE moves up and down. I have. The connecting bars 82 on both sides attached to the elevating device 122 so as to be able to move up and down with respect to the worktable 75 have clamps opposed to both sides of the pallet 10 in order to fix the pallet P on the worktable 75 when the pallet P is pressed. 85 are fixed so that they can move up and down.

昇降装置122は，前後方向に２個及び左右方向に２個
ずつ設けたシリンダ121を有している。両側の各シリン
ダ121には，両側部に配置された各連結バー82がブラケ
ット82Bを介して取り付けられている。各連結バー82
は，両端部に設けられたシリンダ121の作動によって上
下方向に移動することができる。連結バー82の上下方向
のストロークは，大きく構成され，中間受け渡し装置７
に対するパレットＰの搬出入高さから加工台75上に設定
される型彫加工の高さまでである。連結バー82の後部に
は，シャフト82Sがブラケット82Cを介して連結バー82に
回転自在に取り付けられている。シャフト82Sの両端に
はピニオン124が取り付けられている。他方，両側に上
方に伸長する加工台75の両ベースには，ラック82Rが設
けられている。各ラック82Rには，上下動するピニオン1
24が噛み合っている。従って,4個のシリンダ121の作動
による連結バー82の上下運動は，ピニオン124がラック8
2R上を噛み合って上下移動するので,4個のシリンダ121
の作動で上下動するブラケット82Bは同期して作動し，
連結バー82が水平状態で上下動できるようになる。The elevating device 122 has two cylinders 121 provided in the front-rear direction and two in the left-right direction. Each connecting bar 82 arranged on both sides is attached to each cylinder 121 on both sides via a bracket 82B. Each connecting bar 82
Can be moved up and down by the operation of cylinders 121 provided at both ends. The vertical stroke of the connecting bar 82 is configured to be large, and
From the loading / unloading height of the pallet P to the height of the engraving process set on the processing table 75. At the rear of the connecting bar 82, a shaft 82S is rotatably attached to the connecting bar 82 via a bracket 82C. Pinions 124 are attached to both ends of the shaft 82S. On the other hand, racks 82R are provided on both bases of the processing table 75 extending upward on both sides. Each rack 82R has a pinion 1
24 are engaged. Therefore, the vertical movement of the connecting bar 82 due to the operation of the four cylinders 121 is caused by the pinion 124
The two cylinders move up and down as they mesh
The bracket 82B which moves up and down by the operation of
The connecting bar 82 can be moved up and down in a horizontal state.

型彫放電加工機３において，パレットＰの搬出入時に
は，シリンダ121の作動によって連結バー82は上方に僅
かに移動してクランプ85のパレットＰの固定状態を解放
して中間受け渡し装置７で搬出できる状態になったり，
中間受け渡し装置７からのパレットＰが搬入できる状態
にする。更に，加工台75の上端部即ちベース上には，位
置決めストッパである上下方向位置設定用の基準金具81
が取り付けられている（第38図）。基準金具81の上面
は，基準面81Sとして機能する。パレットＰを昇降装置1
22で加工台75上に下降させてパレットＰの下面の基準面
28を，加工台75の基準金具81の基準面81Sに当接させ
て，パレットＰを加工台75上に位置設定する時には，シ
リンダ121を作動してクランプ装置78を作動してクラン
プ85でパレットＰを下方へ押圧する。従って，パレット
Ｐの下面の仕上面即ち基準面28は，基準金具81の基準面
81Sに当接して，パレットＰは加工台75に対して所定の
高さ方向に正確に且つ確実に位置設定されることにな
る。また，基準面28の近くの連結バー部分には，スプリ
ングのばね力でパレットＰ側へ加圧され，前進方向押圧
時にばね力に抗して沈み込むことができるマグネット12
5が取り付けられている。マグネット125はシリンダ121
を作動してクランプ装置78が作動する時，パレットＰの
位置が異動するのを防止する機能を有する。When the pallet P is carried in and out of the die sinking electric discharge machine 3, the connection bar 82 is slightly moved upward by the operation of the cylinder 121 to release the fixed state of the pallet P of the clamp 85 and can be carried out by the intermediate transfer device 7. To be in a state,
The state where the pallet P from the intermediate transfer device 7 can be carried in is set. Further, on the upper end portion of the processing table 75, that is, on the base, a reference metal fitting 81 for setting a vertical position, which is a positioning stopper, is provided.
Is attached (Fig. 38). The upper surface of the reference fitting 81 functions as a reference surface 81S. Pallet P lifting device 1
Lowered on the worktable 75 at 22 and the reference surface of the lower surface of the pallet P
When the pallet P is positioned on the processing table 75 by bringing the pallet 28 into contact with the reference surface 81S of the reference metal fitting 81 of the processing table 75, the cylinder 121 is operated to operate the clamping device 78, and the clamp 85 is used to operate the pallet. Press P down. Therefore, the finishing surface of the lower surface of the pallet P, that is, the reference surface 28 is the reference surface of the reference fitting 81.
By contacting the pallet 81S, the pallet P is accurately and reliably positioned in the predetermined height direction with respect to the processing table 75. Further, the connecting bar portion near the reference surface 28 is pressed against the pallet P by the spring force of the spring, and can be sunk against the spring force when pressed in the forward direction.
5 is installed. Magnet 125 is cylinder 121
Is operated to prevent the position of the pallet P from changing when the clamping device 78 is operated.

更に，型彫放電加工機３において，パレットＰの基準
面29K,30Kは，パレット押圧装置77,77Aによって加工台7
5に設けた位置決めストッパ84,87に押し付けられる。パ
レットＰを加工台75の前進方向の所定の位置に押し付け
るパレット押圧装置77は，パレットＰの基準面29を加工
台75に設けた位置決めストッパ即ち基準金具84の基準面
84Sに押し付けるため，加工台75の両側に加工台75に設
けたシリンダ86Cを有する。また，パレットＰを加工台7
5の側面方向の所定の位置に押し付けるパレット押圧装
置77Aは，パレットＰの側面の基準面30Kを加工台75に設
けた位置決めストッパ即ち基準金具87の基準面87Sに押
し付けるため，加工台75の前後方向に加工台75に設けた
シリンダ88を有している。シリンダ86C,88は，シリンダ
内で往復運動するピストンの両側には流体室が形成さ
れ，何れかの側の流体室に流体が導入されることによっ
てピストンがシリンダ86C,88内を往復移動する。Further, in the die-sinking electric discharge machine 3, the reference surfaces 29K and 30K of the pallet P are moved by the pallet pressing devices 77 and 77A.
It is pressed against the positioning stoppers 84 and 87 provided in 5. A pallet pressing device 77 for pressing the pallet P to a predetermined position in the forward direction of the processing table 75 is provided with a reference surface 29 of the pallet P on a positioning stopper provided on the processing table 75, that is, a reference surface of a reference metal fitting 84.
It has cylinders 86C provided on the working table 75 on both sides of the working table 75 for pressing against the 84S. In addition, the pallet P is
The pallet pressing device 77A, which presses the pallet P at a predetermined position in the lateral direction, presses the reference surface 30K of the side surface of the pallet P against the positioning stopper provided on the processing table 75, that is, the reference surface 87S of the reference metal fitting 87. It has a cylinder 88 provided on the processing table 75 in the direction. In the cylinders 86C and 88, fluid chambers are formed on both sides of the piston reciprocating in the cylinder, and the piston reciprocates in the cylinders 86C and 88 by introducing a fluid into the fluid chamber on either side.

パレットＰの側端部を加工台75の基準金具84に押圧す
るパレット押圧装置77において，シリンダ86C内のピス
トンに固定したピストンロッド90の端部は，パレットＰ
の一側面に当接可能に構成されている。従って，シリン
ダ86Cが作動してピストンロッド90が伸び出せば，ピス
トンロッド90の先端面はパレットＰの後端面に当接し，
パレットＰを前面方向に押圧し，パレットＰの前面に設
けた基準金具29の基準面29Sを加工台75に設けた基準金
具84の基準面84Sに当接させ，パレットＰを前方の所定
の位置に位置設定できる。In the pallet pressing device 77 for pressing the side end of the pallet P against the reference metal fitting 84 of the processing table 75, the end of the piston rod 90 fixed to the piston in the cylinder 86C is connected to the pallet P
It is configured to be able to contact one side. Therefore, when the cylinder 86C operates and the piston rod 90 extends, the front end surface of the piston rod 90 contacts the rear end surface of the pallet P,
The pallet P is pressed in the front direction, and the reference surface 29S of the reference metal fitting 29 provided on the front surface of the pallet P is brought into contact with the reference surface 84S of the reference metal fitting 84 provided on the processing table 75. You can set the position.

また，パレットＰの側端部の基準面30Kを加工台75の
位置決めストッパ即ち基準金具87に押圧させるパレット
押圧装置77Aにおいて，シリンダ88内のピストンに固定
したピストンロッド89の端部は，パレットＰの一側面の
当接可能に構成されている。従って，シリンダ88が作動
してピストンロッド89が伸び出せば，ピストンロッド89
の先端面はパレットＰの側面に当接し，パレットＰを側
面方向に押圧し，パレットＰの側面に設けた基準金具30
の基準面30Kを加工台75に設けた位置決めストッパ87に
当接させ，パレットＰを側方の所定の位置に位置設定で
きる。In the pallet pressing device 77A for pressing the reference surface 30K at the side end of the pallet P against the positioning stopper of the processing table 75, that is, the reference fitting 87, the end of the piston rod 89 fixed to the piston in the cylinder 88 is connected to the pallet P. Is configured to be able to contact one side. Therefore, if the cylinder 88 operates and the piston rod 89 extends, the piston rod 89
Abuts against the side surface of the pallet P, and presses the pallet P in the side direction.
The pallet P can be set at a predetermined position on the side by bringing the reference surface 30K into contact with a positioning stopper 87 provided on the processing table 75.

また，型彫放電加工機３において，パレットＰは，型
彫放電加工機３の加工台75にクランプ装置78の複数個の
クランプ85によって固定されるが，クランプ85によって
押圧される両側部の縁部を有している。クランプ装置78
は,4個のシリンダ121,シリンダ121の作動で上下動する
ピストンロッド82P,ピストンロッド82Pに取り付けたブ
ラケット82Bを介して固定した両側の連結バー82及び連
結バー82の中央部に取り付けたクランプ85から構成され
ている。また，連結バー82の上下動をスムースに行うた
め，ガイド支柱82Gが加工台75に固定されている。クラ
ンプ装置78には，シリンダ121が作動してパレットＰを
加工台75上に固定又は解放したことを検出するため，図
示してないが，パレット固定センサ及びパレット解放セ
ンサが設けられている。In the electric discharge machine 3, the pallet P is fixed to the work table 75 of the electric discharge machine 3 by a plurality of clamps 85 of a clamping device 78. Part. Clamping device 78
Are the four cylinders 121, the piston rod 82P which moves up and down by the operation of the cylinder 121, the connecting bars 82 fixed on both sides via the bracket 82B attached to the piston rod 82P, and the clamp 85 attached to the center of the connecting bar 82. It is composed of Further, a guide column 82G is fixed to the processing table 75 in order to smoothly move the connecting bar 82 up and down. The clamp device 78 is provided with a pallet fixing sensor and a pallet release sensor (not shown) for detecting that the cylinder 121 is operated to fix or release the pallet P on the processing table 75.

パレットＰをクランプ85によって加工台75の基準金具
81上に固定するには，シリンダ121に流体通路を通じて
流体を導入してピストンを下方に移動させれば，ピスト
ンロッド82Pは下方に移動する。それ故，ブラケット82B
及び連結バー82を介してピストンロッド82Pに取り付け
たクランプ85は下方に移動する。クランプ85の下方への
移動は，パレットＰを加工台75上に押し付けて，パレッ
トＰを加工台75に固定する。また，クランプ装置78のク
ランプ85を上方に移動させて，パレットＰの加工台75へ
の固定を解除するには，シリンダ121を逆方向に作動さ
せることによって達成できる。Pallet P is clamped by clamp 85 and reference metal fitting of processing table 75
In order to fix the piston on the cylinder 81, the fluid is introduced into the cylinder 121 through the fluid passage to move the piston downward, and the piston rod 82P moves downward. Therefore, bracket 82B
And the clamp 85 attached to the piston rod 82P via the connecting bar 82 moves downward. The downward movement of the clamp 85 presses the pallet P onto the processing table 75 and fixes the pallet P to the processing table 75. In order to release the fixing of the pallet P to the worktable 75 by moving the clamp 85 of the clamp device 78 upward, the cylinder 121 can be operated in the reverse direction.

型彫放電加工機３において，加工槽装置79Kについて
は，主として第40図，第41図，第42図及び第43図に示さ
れている。In the die-sinking electric discharge machine 3, the machining tank device 79K is mainly shown in FIGS. 40, 41, 42 and 43.

加工槽装置79Kは，型彫放電加工機３のＸ−Ｙテーブ
ル上の治具ベース74に取り付けた加工槽76Kを有し，工
作物Ｗを型彫放電加工する際に加工液を満たしておくも
のである。加工槽76Kは，加工液を充填しておくため密
閉構造に形成され，上部は開口した状態であり，上部に
工作物Ｗを設定したパレットＰの搬出入のため切欠き開
口部80Aを有する前面壁76F,後面壁76R,両側面壁76S及び
治具ベース74に取り付けたサブベースである底面壁76B
から構成されている。前面壁76Fの切欠き部80Aは，開閉
可能な開閉扉80Dによって閉鎖されるように構成されて
いる。加工槽装置79Kは，加工槽76Kを形成する上記各壁
体，前面壁76FにパレットＰの搬出入のため形成した開
口部80A,該開口部80Aを密閉又は開放するため前面壁76F
に対して開放時に下方へ移動可能な開閉扉80D,開閉扉80
Dを上下動させるためのシリンダ92A,及びシリンダ92Aの
作動で開閉扉80Dを上下動させる上下動機構を有してい
る。加工槽装置79Kにおいて，開閉扉80Dの上下動機構
は，開口部80Aを開閉するための開閉扉80D,開閉扉80Dの
両側に設け且つ前面壁76Fに固定したガイド支柱127,ガ
イド支柱127の上端部に取り付けたシリンダ92A,シリン
ダ92A内を上下方向に往復運動するピストンに固定した
ピストンロッド95,及びピストンロッド95Pの下端部に取
り付け且つ開閉扉80Dの下部に固定したブラケット92Bか
ら構成されている。即ち，シリンダ92A及びピストンロ
ッド95Pは，開閉扉80Dを上下動させるアクチュエータと
して機能する。The machining tank device 79K has a machining tank 76K attached to a jig base 74 on an XY table of the die sinking electric discharge machine 3, and is filled with a machining fluid when the workpiece W is die sinked. Things. The processing tank 76K is formed in a closed structure to fill the processing liquid, has an open upper part, and has a notched opening 80A for carrying in and out a pallet P on which a workpiece W is set. Bottom wall 76B which is a sub base attached to wall 76F, rear wall 76R, both side walls 76S, and jig base 74
It is composed of The notch 80A of the front wall 76F is configured to be closed by an openable and closable door 80D. The processing tank device 79K includes an opening 80A formed for carrying the pallet P in and out of the front wall 76F and the walls forming the processing tank 76K, and a front wall 76F for closing or opening the opening 80A.
Door 80D, 80 that can move downward when opened
It has a cylinder 92A for vertically moving D, and a vertical movement mechanism for vertically moving the door 80D by the operation of the cylinder 92A. In the processing tank device 79K, the vertical movement mechanism of the opening / closing door 80D includes an opening / closing door 80D for opening / closing the opening 80A, a guide column 127 provided on both sides of the opening / closing door 80D and fixed to the front wall 76F, and an upper end of the guide column 127. A cylinder 92A attached to the part, a piston rod 95 fixed to a piston reciprocating vertically in the cylinder 92A, and a bracket 92B attached to the lower end of the piston rod 95P and fixed to the lower part of the door 80D. . That is, the cylinder 92A and the piston rod 95P function as an actuator for moving the door 80D up and down.

更に，開閉扉80Dの上下動機構において，ガイド支柱1
27は開閉扉80Dのガイドの機能を果たし，ガイド支柱127
に形成したガイド溝118には，開閉扉80Dの両側面の上下
部に設けたガイドローラ117が係合している（第43
図）。また，ガイド支柱127にはブラケット76Bが固定さ
れ，ブラケット76Bにはピストンロッド80Pを作動するシ
リンダ80Cが固定されている（第42図）。シリンダ80Cの
作動でピストンロッド80Pが突き出る時には，ピストン
ロッド80Pの先端は開閉扉80Dを前面壁76Fに押し付ける
機能を果たす。即ち，シリンダ92Aの作動で開閉扉80Dを
上昇させ，前面壁76Fの開口部80Aを開閉扉80Dで閉鎖し
た時には，シリンダ80Cを作動してピストンロッド80Pで
開閉扉80Dを前面壁76Fの正面に押し付ける。また，開閉
扉80Dと前面壁76Fとの間にはシール材80Sが配置され，
開閉扉80Dと前面壁76Fとは密閉状態で当接するので，加
工槽76K内の加工液の飛散，或いは加工液の漏洩を防止
することができる。In addition, in the vertical movement mechanism of the door 80D,
27 functions as a guide for the opening / closing door 80D, and guide posts 127
Guide rollers 117 provided on the upper and lower sides of both sides of the opening / closing door 80D are engaged with the guide grooves 118 formed at (43).
Figure). A bracket 76B is fixed to the guide column 127, and a cylinder 80C that operates the piston rod 80P is fixed to the bracket 76B (FIG. 42). When the piston rod 80P protrudes due to the operation of the cylinder 80C, the tip of the piston rod 80P functions to press the opening / closing door 80D against the front wall 76F. That is, when the opening and closing door 80D is raised by the operation of the cylinder 92A and the opening 80A of the front wall 76F is closed by the opening and closing door 80D, the cylinder 80C is operated to move the opening and closing door 80D to the front of the front wall 76F with the piston rod 80P. Press. In addition, a sealing material 80S is disposed between the door 80D and the front wall 76F.
Since the opening / closing door 80D and the front wall 76F abut on each other in a closed state, it is possible to prevent scattering of the processing liquid in the processing tank 76K or leakage of the processing liquid.

加工槽装置79Kにおいて，開閉扉80Dの開閉状態を検出
するため，開閉扉80Dの開放状態を検出する開端センサ
及び開閉扉80Dの閉鎖状態を検出する閉端センサを備え
ている。開端センサ及び閉端センサは，前面壁76F,開閉
扉80D,或いはシリンダ92A等に対して設けることができ
る。そこで，開端センサによって開閉扉80Dが開放状態
になっていることを検出し，コントローラは該検出信号
を受けて，中間受け渡し装置７に位置するパレットＰを
型彫放電加工機３のパレット支持部材120上に移動させ
るように制御し，或いは加工台75上のパレットＰをパレ
ット支持部材120から中間受け渡し装置７に移動させる
制御を行う。また，開閉扉80Dの閉鎖状態を閉端センサ
で検出し，コントローラは該検出信号を受けて加工槽76
Kに加工液を注入し，型彫放電加工機３の稼働を行うこ
とに制御する。The processing tank device 79K includes an open end sensor for detecting the open state of the open / close door 80D and a closed end sensor for detecting the closed state of the open / close door 80D in order to detect the open / close state of the open / close door 80D. The open end sensor and the closed end sensor can be provided for the front wall 76F, the door 80D, the cylinder 92A, or the like. Then, the controller detects that the opening / closing door 80D is in the open state by the open end sensor, and the controller receives the detection signal and moves the pallet P located in the intermediate transfer device 7 to the pallet support member 120 of the die sinking electric discharge machine 3. Control is performed to move the pallet P on the processing table 75 from the pallet support member 120 to the intermediate transfer device 7. Further, the closed state of the opening / closing door 80D is detected by the closed end sensor, and the controller receives the detection signal and receives the detection signal.
A machining fluid is injected into K, and the die sinking electric discharge machine 3 is controlled to operate.

上記のように，型彫放電加工機３における加工台75へ
のパレットＰの位置決め装置は構成されているので，次
のように作動できる。As described above, since the device for positioning the pallet P on the machining table 75 in the die sinking electric discharge machine 3 is constituted, it can be operated as follows.

型彫放電加工機３に設けた加工槽装置79Kの開閉扉80D
を開放するため，シリンダ92Aを作動しピストンロッド9
5Pを下方へ伸長させ，開閉扉80Dを下降させて開口部80A
を開放する。他方，昇降装置122を作動してパレット支
持部材120を上昇させるため，クランプ装置78のシリン
ダ121を作動してピストンロッド82Pを伸長させ，連結バ
ー82を上昇させる。連結バー82の上昇は，パレットＰを
加工台75の上方に位置するパレット支持部材120に搬入
可能な状態にする。中間受け渡し装置７のリフタ100に
よってパレット支持部材120上へパレットＰを送り込
む。リフタ100の押込引出アーム101が作動して前進し，
パレットＰをパレット支持部材120上に押し込む。次い
で，中間受け渡し装置７のリフタ100が僅かに下降し，
押込引出アーム101が備えた係止ピン7PがパレットＰに
形成した凹部33から離脱し，次いで，リフタ100の押込
引出アーム101を中間受け渡し装置７側へ引っ込める。
その後，昇降装置122のシリンダ121を作動してパレット
Ｐを搭載したパレット支持部材120を加工台75上へ下降
させる。パレット支持部材120の上下動の際には，連結
バー82に取り付けたマグネット125がスプリングのばね
力でパレットＰ側へ飛び出し，パレットＰのパレット支
持部材120上での移動を阻止する。それによって，パレ
ットＰの下面に形成した基準面28は加工台75の基準金具
81の基準面81Sに当接状態に載置した状態になる。Opening / closing door 80D of the machining tank device 79K provided in the die sinking electric discharge machine 3
Cylinder 92A to release piston rod 9
5P is extended downward, and door 80D is lowered to open 80A.
To release. On the other hand, in order to raise the pallet support member 120 by operating the elevating device 122, the cylinder 121 of the clamp device 78 is operated to extend the piston rod 82P and raise the connecting bar 82. When the connecting bar 82 is raised, the pallet P can be carried into the pallet support member 120 located above the processing table 75. The pallet P is sent onto the pallet support member 120 by the lifter 100 of the intermediate transfer device 7. The push-in / draw-out arm 101 of the lifter 100 operates to move forward,
The pallet P is pushed onto the pallet support member 120. Next, the lifter 100 of the intermediate transfer device 7 is slightly lowered,
The locking pin 7P of the push-pull arm 101 is disengaged from the recess 33 formed in the pallet P, and then the push-pull arm 101 of the lifter 100 is retracted to the intermediate transfer device 7 side.
Thereafter, the cylinder 121 of the elevating device 122 is operated to lower the pallet supporting member 120 on which the pallet P is mounted onto the processing table 75. When the pallet supporting member 120 moves up and down, the magnet 125 attached to the connecting bar 82 jumps out to the pallet P side by the spring force of the spring, and prevents the pallet P from moving on the pallet supporting member 120. Thereby, the reference surface 28 formed on the lower surface of the pallet P is
It is placed in a state of contact with the 81 reference surface 81S.

この状態で，パレット押圧装置77を作動してピストン
ロッド90を伸長させ，パレットＰの後端部を押圧して加
工台75の位置決めストッパー即ち基準金具84の基準面84
Sに押し付ける。パレットＰの前端面をパレット押圧装
置77の作用で位置設定する。次いで，パレット押圧装置
77Aのシリンダ88を作動してピストンロッド89でパレッ
トＰの側端面を側方へ押し込み，パレットＰの側端面の
基準金具30の基準面30Sを，加工台75に設けた基準金具8
7の基準面87Sに押し付け，パレットＰの側端面を加工台
75上で位置設定する。このようにパレットＰを加工台75
上に位置設定した後，クランプ装置78を作動してクラン
プ85を僅かに下降させ，該クランプ85でパレットＰを加
工台75に押し付け，パレットＰの下面の基準面28を加工
台75の基準金具81の基準面81Sに押圧状態に当接させ，
パレットＰを加工台75上に固定する。従って，パレット
Ｐを加工台75の予め決められた所定の加工位置に設定す
ることができる。勿論，これらの作動工程は，全て各セ
ンサの各検出信号をコントローラに入力し，該入力信号
に基づいてコントローラは次の工程の作動信号を発し，
所定の装置を作動させるように構成されている。次に，
加工台75へのパレットＰの位置設定が完了すると，加工
槽装置79Aのシリンダ92Aが作動して開閉扉80Dが上昇
し，開閉扉80Dで前面壁76Fの開口部80Aを閉鎖し，パレ
ットＰの搬出入口を閉鎖する。In this state, the pallet pressing device 77 is operated to extend the piston rod 90, and the rear end of the pallet P is pressed so that the positioning stopper of the processing table 75, that is, the reference surface 84 of the reference fitting 84 is pressed.
Press on S. The position of the front end face of the pallet P is set by the action of the pallet pressing device 77. Next, the pallet pressing device
The cylinder 88 of 77A is operated to push the side end face of the pallet P sideways with the piston rod 89, and the reference surface 30S of the reference fitting 30 on the side end face of the pallet P is moved to the reference fitting 8 provided on the worktable 75.
7 against the reference surface 87S, and the side end surface of the pallet P
Set the position on 75. In this way, the pallet P is
After the position is set to the upper position, the clamp device 78 is operated to lower the clamp 85 slightly, and the pallet P is pressed against the worktable 75 by the clamp 85, and the reference surface 28 on the lower surface of the pallet P is set to the reference metal fitting of the worktable 75. Abut against the 81 reference surface 81S in a pressed state,
The pallet P is fixed on the processing table 75. Accordingly, the pallet P can be set at a predetermined processing position on the processing table 75. Of course, in all of these operation steps, each detection signal of each sensor is input to the controller, and based on the input signal, the controller issues an operation signal of the next step,
It is configured to operate a predetermined device. next,
When the position setting of the pallet P on the processing table 75 is completed, the cylinder 92A of the processing tank device 79A operates and the opening / closing door 80D is raised, and the opening 80A of the front wall 76F is closed by the opening / closing door 80D, and Close the loading / unloading entrance.

この状態で，加工槽76K内に加工液が満たされると共
に，型彫放電加工機３が作動してパレットＰに予め設定
した工作物Ｗに対して型彫放電加工が開始される。工作
物Ｗに対して放電加工が行われ，工作物Ｗに所定の加工
形状が加工され，放電加工が終了すると，加工槽76K内
の加工液を排出した後，加工槽装置79Kのシリンダ92Aが
作動して開閉扉80Dを下降し，開口部80Aを開放してパレ
ットＰの搬出入口を開放する。次いで，パレット押圧装
置77,77Aのピストンロッド90,89を非作動状態にして後
退させる。更に，昇降装置122のシリンダ121を作動して
パレット支持部材120を上昇させ，パレットＰを上昇さ
せる。次いで，中間受け渡し装置７のリフタ100が作動
してパレットＰをパレット支持部材120から中間受け渡
し装置７側へ移動させる。In this state, the machining tank 76K is filled with the machining fluid, and the die sinking electric discharge machine 3 is operated to start the die sinking electric discharge machining for the workpiece W preset on the pallet P. The electric discharge machining is performed on the workpiece W, a predetermined machining shape is machined on the workpiece W, and when the electric discharge machining is completed, the machining fluid in the machining tank 76K is discharged, and then the cylinder 92A of the machining tank device 79K is operated. When the door 80D is activated, the door 80D is lowered, the opening 80A is opened, and the loading / unloading port of the pallet P is opened. Next, the piston rods 90, 89 of the pallet pressing devices 77, 77A are made inoperative and retracted. Further, the pallet P is raised by operating the cylinder 121 of the lifting device 122 to raise the pallet support member 120. Next, the lifter 100 of the intermediate transfer device 7 operates to move the pallet P from the pallet support member 120 to the intermediate transfer device 7 side.

次に，この加工機群におけるFMSにおいて，各加工機
1,2,3とスタッカクレーン６との間でパレットＰの受け
渡し作動を行うために，各加工機1,2,3にそれぞれ設け
た中間受け渡し装置７について，第46図〜第52図を参照
して説明する。Next, in the FMS in this machine group,
Refer to FIGS. 46 to 52 for the intermediate transfer device 7 provided for each of the processing machines 1, 2, and 3 in order to perform the transfer operation of the pallet P between 1, 2, 3 and the stacker crane 6. Will be explained.

中間受け渡し装置７は，主として，ベース160上に敷
設したスライドレール161を往復移動できるローラ162付
きの台車163,台車163のフレーム164に設けられたリフタ
100及びリフタ100に設けられた押込引出アーム101を有
する。台車163のフレーム164の上端部には，前端側にパ
レットＰに形成した凹部32に係合する係止ピン168且つ
後端側にパレットＰの下面が着座するパレット等座部16
8Sが設けられている。The intermediate transfer device 7 mainly includes a truck 163 with a roller 162 capable of reciprocating on a slide rail 161 laid on a base 160, and a lifter provided on a frame 164 of the truck 163.
100 and a push-pull arm 101 provided on the lifter 100. At the upper end of the frame 164 of the trolley 163, a locking pin 168 that engages with the concave portion 32 formed on the pallet P at the front end and a pallet seat 16 at which the lower surface of the pallet P sits at the rear end
8S is provided.

ベース160には，ベース160に固定された台車163の駆
動装置となるシリンダ159,シリンダ159内を往復移動す
るピストンロッド172,ピストンロッド172に固定したロ
ーラ付き台車163及び該台車163がシリンダ159の作動で
走行するためベース160上に敷設したスライドレール161
が設けられている。スライドレール161は，スタッカク
レーン６の走行通路５即ち走行方向に対して直角水平方
向に伸長している。The base 160 includes a cylinder 159 serving as a driving device of a cart 163 fixed to the base 160, a piston rod 172 reciprocating in the cylinder 159, a cart 163 with rollers fixed to the piston rod 172, and the cart 163 Slide rail 161 laid on base 160 to run by operation
Is provided. The slide rail 161 extends in a horizontal direction perpendicular to the traveling path 5 of the stacker crane 6, that is, the traveling direction.

台車163には，ベース160上を往復移動する台車フレー
ム164,台車フレーム164の上面に形成したパレットＰの
受け部材173,受け部材173の上面に突出した係止ピン168
及び該フレーム上に搭載された上下動できるリフタ100
を有している。受け部材173は，スライドレール161に対
して上方に平行に２本配置されている。各受け部材173
の上面は，仕上げ加工が施され，各受け部材173で形成
する面は同一レベルになるように構成され，スライドレ
ール161が形成され移動面に対しても平行になるように
構成されている。The carriage 163 includes a carriage frame 164 reciprocating on the base 160, a receiving member 173 of the pallet P formed on the upper surface of the carriage frame 164, and a locking pin 168 protruding from the upper surface of the receiving member 173.
And a lifter 100 capable of moving up and down mounted on the frame
have. The two receiving members 173 are arranged in parallel with the slide rail 161 in an upward direction. Each receiving member 173
The upper surface is finished, and the surfaces formed by the respective receiving members 173 are configured to be at the same level. The slide rails 161 are formed so as to be parallel to the moving surface.

リフタ100には，受け部材173の間に配置され，フレー
ム164に固定されたシリンダ166,シリンダ166内を往復移
動するピストンロッド169,ピストンロッド169に固定さ
れたリフタフレーム165及びリフタフレーム165に搭載さ
れた押込引出アーム101を有している。従って，押込引
出アーム101は，シリンダ166の作動によってリフタ100
のベース即ちリフタフレーム165に対してスライドレー
ル180によってフォーク状アーム171が前後往復移動可能
に構成されたスライド機構を提供する。The lifter 100 has a cylinder 166 fixed between the receiving member 173 and the frame 164, a piston rod 169 reciprocating in the cylinder 166, a lifter frame 165 fixed to the piston rod 169, and mounted on the lifter frame 165. The push-in / pull-out arm 101 is provided. Therefore, the push-in / draw-out arm 101 moves the lifter 100 by the operation of the cylinder 166.
A slide mechanism in which the fork-shaped arm 171 can reciprocate back and forth by the slide rail 180 with respect to the base, that is, the lifter frame 165.

リフタ100における押込引出アーム101は，リフタフレ
ーム165に固定されたシリンダ167,シリンダ167内を往復
移動するピストンロッド172及びピストンロッド172に固
定したフォーク状アーム171を有している。押込引出ア
ーム101のフォーク状アーム171の先端即ち加工機1,2,3
側の先端部には，パレットＰの凹部33に係合する作動ピ
ン170が両側に形成されている。The push-pull arm 101 of the lifter 100 includes a cylinder 167 fixed to the lifter frame 165, a piston rod 172 reciprocating in the cylinder 167, and a fork-shaped arm 171 fixed to the piston rod 172. The tip of the fork-shaped arm 171 of the push-in / draw-out arm 101, that is, the processing machine 1, 2, 3
An operating pin 170 that engages with the concave portion 33 of the pallet P is formed on both sides at the tip of the side.

中間受け渡し装置７は，上記のように構成され，次の
ように作動する。中間受け渡し装置７において，台車16
3のスライドレール161上の往復移動の作動はシリンダ15
9,リフタ100の上下動の作動はシリンダ166及び押込引出
アーム101の前後方向の作動はシリンダ167の各駆動装置
で行われるが，それぞれの駆動に対してはインタロック
が施されている。まず，シリンダ159が作動して台車163
をスタッカクレーン６側即ち走行通路５側へ移動させ
る。所定のパレットＰを搭載したスタッカクレーン６が
中間受け渡し装置７に対向する側に停止する。スタッカ
クレーン６のフォーク装置50の作動で，フォーク装置50
の先端フォーク60が中間受け渡し装置７上へ伸長し，先
端フォーク60に載置したパレットＰを中間受け渡し装置
７における台車163のフレーム164の上端部に設けた係止
ピン168にパレットＰの凹部32が係合するように載置す
る。The intermediate transfer device 7 is configured as described above, and operates as follows. In the intermediate transfer device 7, the carriage 16
The reciprocating operation on the slide rail 161 of the third cylinder 15
9, the vertical movement of the lifter 100 is performed by the cylinder 166 and the push-pull arm 101 in the front-rear direction by the respective driving devices of the cylinder 167, and the respective drives are interlocked. First, the cylinder 159 operates and the bogie 163
Is moved to the stacker crane 6 side, that is, the traveling passage 5 side. The stacker crane 6 on which the predetermined pallet P is mounted stops on the side facing the intermediate transfer device 7. The operation of the fork device 50 of the stacker crane 6 causes the fork device 50 to operate.
Of the pallet P placed on the tip fork 60 extends into the locking pin 168 provided at the upper end of the frame 164 of the carriage 163 in the intermediate delivery device 7. Are placed so that they engage.

次いで，中間受け渡し装置７のリフタ100のシリンダ1
66が作動し，リフタフレーム165が上昇し，リフタ100に
設けた押込引出アーム101に形成した作動ピン170がパレ
ットＰに設けた凹部33に係合する。更に，リフタ100が
上昇することによって，フレーム164の上端部に設けた
係止ピン168がパレットＰの凹部32から離脱する。従っ
て，パレットＰは押込引出アーム101上に作動ピン170と
凹部33とが係合して載置された状態になり，この状態で
シリンダ167が作動し，押込引出アーム101が加工機1,2,
3側へと前進する。押込引出アーム101の前進によって，
パレットＰが加工機1,2,3の加工台75上のパレット支持
部材へと搬入される。シリンダ166の作動でリフタ100を
僅かに下降させ，押込引出アーム101に設けた作動ピン1
70がパレットＰの凹部33から離脱する。ここで，シリン
ダ167を作動して押込引出アーム101を中間受け渡し装置
７側へ引っ込めて後退させる。中間受け渡し装置７にお
ける台車163は，加工機1,2,3で工作物Ｗに対する放電加
工が終了するまで加工機1,2,3側で待機する。Next, the cylinder 1 of the lifter 100 of the intermediate transfer device 7
66 operates, the lifter frame 165 is raised, and the operating pin 170 formed on the push-in / draw-out arm 101 provided on the lifter 100 is engaged with the concave portion 33 provided on the pallet P. Further, as the lifter 100 is raised, the locking pin 168 provided at the upper end of the frame 164 is detached from the recess 32 of the pallet P. Accordingly, the pallet P is placed on the push-in / pull-out arm 101 with the operating pin 170 engaged with the recess 33. In this state, the cylinder 167 is operated, and the push-in / pull-out arm 101 is moved to the processing machine 1, 2. ,
Go forward to the third side. As the push-in / draw-out arm 101 advances,
The pallet P is carried into the pallet support member on the processing table 75 of the processing machine 1, 2, 3. The lifter 100 is slightly lowered by the operation of the cylinder 166, and the operating pin 1
70 comes off from the concave portion 33 of the pallet P. At this point, the cylinder 167 is operated to retract the push-in / draw-out arm 101 to the intermediate transfer device 7 side and to retract. The bogie 163 in the intermediate delivery device 7 waits on the machining machines 1, 2, and 3 until the electric discharge machining on the workpiece W is completed by the machining machines 1, 2, and 3.

次いで，加工機1,2,3での工作物Ｗに対する放電加工
が終了すると，コントローラからの該加工終了の信号を
受けて,EDMの開閉扉であるスライドカバー80,開閉扉80D
が完全に開放した後，押込引出アーム101のシリンダ167
が作動し，押込引出アーム101が加工機1,2,3側へ前進す
る。押込引出アーム101がパレットＰの下方に挿入され
ると，リフタ100のシリンダ166が作動してリフタ100に
搭載した押込引出アーム101を上昇させる。パレットＰ
の凹部33に押込引出アーム101の作動ピン170が係合し，
パレットＰは押込引出アーム101上の搭載された状態に
なる。ここで，シリンダ167が作動して押込引出アーム1
01が中間受け渡し装置７側へ引っ込んで後退する。押込
引出アーム101が中間受け渡し装置７の台車フレーム164
の所定の位置に到達すると，シリンダ166が作動してリ
フタ100が下降する。リフタ100の下降によって押込引出
アーム101が下降し，押込引出アーム101に搭載したパレ
ットＰが下降してパレットＰの凹部32に台車フレーム16
4に設けた係止ピン168が係合し，パレットＰは台車フレ
ーム164上に載置された状態になると共に，押込引出ア
ーム101の作動ピン170がパレットＰの凹部33から離脱す
る。押込引出アーム101が更に下降して押込引出アーム1
01は台車フレーム164の所定の下部位置に停止する。Next, when the electric discharge machining for the workpiece W in the machining machines 1, 2, 3 is completed, a signal indicating the completion of the machining from the controller is received, and the slide cover 80, which is the opening / closing door of the EDM, the opening / closing door 80D.
When the cylinder 167 of the push-in / draw-out arm 101 is completely
Operates, and the push-in / draw-out arm 101 moves forward to the processing machines 1, 2, and 3. When the push-in / pull-out arm 101 is inserted below the pallet P, the cylinder 166 of the lifter 100 operates to raise the push-in / pull-out arm 101 mounted on the lifter 100. Pallet P
The operating pin 170 of the push-in / draw-out arm 101 engages with the concave portion 33 of
The pallet P is mounted on the push-in / draw-out arm 101. At this point, the cylinder 167 is activated and the push-in / pull-out arm 1
01 retracts to the intermediate delivery device 7 side and retreats. The push-in / draw-out arm 101 is mounted on the bogie frame 164 of the intermediate transfer device 7.
When the predetermined position is reached, the cylinder 166 operates and the lifter 100 descends. When the lifter 100 is lowered, the push-in / pull-out arm 101 is lowered, and the pallet P mounted on the push-in / pull-out arm 101 is lowered, and the bogie frame 16 is inserted into the concave portion 32 of the pallet P.
The engaging pin 168 provided on the pallet 4 is engaged, the pallet P is placed on the carriage frame 164, and the operating pin 170 of the push-in / pull-out arm 101 is separated from the concave portion 33 of the pallet P. Push-in / draw-out arm 101 further descends and push-in / draw-out arm 1
01 stops at a predetermined lower position of the bogie frame 164.

更に，シリンダ159が作動して台車163はレール161上
をスタッカクレーン６側へ移動する。スタッカクレーン
６のフォーク装置50が作動して先端フォーク60が伸び出
し，先端フォーク60がパレットＰの下方に位置する。先
端フォーク60が僅かに上昇することで，先端フォーク60
はパレットＰを持ち上げ，先端フォーク60に設けた係止
ピン67AがパレットＰの凹部31に係合し，パレットＰの
下面が支持ピン67Bに載置され，パレットＰの凹部32か
ら台車フレーム164の係止ピン168が離脱する。フォーク
装置50が作動して先端フォーク60が引っ込みスタッカク
レーン６上にパレットＰを移動させる。Further, the cylinder 159 is operated, and the bogie 163 moves on the rail 161 to the stacker crane 6 side. The fork device 50 of the stacker crane 6 operates to extend the tip fork 60, and the tip fork 60 is located below the pallet P. When the tip fork 60 rises slightly, the tip fork 60
Lifts the pallet P, the locking pin 67A provided on the tip fork 60 engages with the concave portion 31 of the pallet P, the lower surface of the pallet P is placed on the support pin 67B, and the bogie frame 164 is moved from the concave portion 32 of the pallet P. The locking pin 168 comes off. The fork device 50 is operated and the tip fork 60 retracts to move the pallet P onto the stacker crane 6.

更に，この加工機群におけるFMSは，上記のように構
成されているが,FMSにおける各シリンダを作動する流体
回路は，例えば，次のように構成されている。ワイヤ放
電加工機１と中間受け渡し装置７との各シリンダの一例
について説明すると，ワイヤ放電加工機１側に関して
は，ポンプ等の流体圧供給源からの流体は，流体圧調節
装置，流体切換バルブ等を通じて各シリンダ78C,86,88,
92（なお，スライドカバー80のシリンダ92はエアシリン
ダでも良い）に流体圧が供給される。また，中間受け渡
し装置７側に関しては，ポンプ等の流体圧供給源からの
流体は，流体圧調節装置，流体切換バルブ等を通じて各
シリンダ159,166,167に流体圧が供給される。上記各シ
リンダに流体が供給され，各シリンダ内のピストンが往
復移動することによって各シリンダの作動状態が各セン
サで検出される。各センサで検出された検出信号はコン
トローラに入力され，該コントローラは各検出信号に応
答してシーケンスとして予め入力されている作動工程に
応じて指令を発し，ワイヤ放電加工機１及び中間受け渡
し装置７を作動し，パレット10をワイヤ放電加工機１に
搬出入し，また，中間受け渡し装置７に搬出入する。Further, the FMS in this group of processing machines is configured as described above, and the fluid circuit that operates each cylinder in the FMS is configured as follows, for example. An example of each cylinder of the wire electric discharge machine 1 and the intermediate transfer device 7 will be described. On the wire electric discharge machine 1 side, fluid from a fluid pressure supply source such as a pump is supplied by a fluid pressure adjusting device, a fluid switching valve, and the like. Through each cylinder 78C, 86,88,
Fluid pressure is supplied to 92 (the cylinder 92 of the slide cover 80 may be an air cylinder). On the side of the intermediate transfer device 7, fluid from a fluid pressure supply source such as a pump is supplied to each cylinder 159, 166, 167 through a fluid pressure adjusting device, a fluid switching valve, and the like. The fluid is supplied to each of the cylinders, and the pistons in each of the cylinders reciprocate, whereby the operating state of each of the cylinders is detected by each of the sensors. The detection signal detected by each sensor is input to a controller, and the controller issues a command in response to each detection signal in accordance with an operation process which is input in advance as a sequence, and the wire electric discharge machine 1 and the intermediate transfer device 7 Is operated, and the pallet 10 is carried in and out of the wire electric discharge machine 1, and is carried in and out of the intermediate transfer device 7.

上記はワイヤ放電加工機１及び中間受け渡し装置７に
ついての流体回路の一例について説明したが，スタッカ
クレーン6,細穴放電加工機2,型彫放電加工機3,防錆処理
装置10及び流体吹付け装置12においても同様な流体回路
を適用できる。In the above, an example of the fluid circuit of the wire electric discharge machine 1 and the intermediate transfer device 7 has been described. A similar fluid circuit can be applied to the device 12.

なお，この加工機群におけるFMSにおいて，前記各加
工台の基準部材の基準面とパレットＰの基準面とを清掃
するための基準清掃装置を設けることもできる。該基準
面清掃装置を設けると，パレットＰを設定する前記各加
工台の基準面，パレットＰの基準面をパレット設定毎に
或いは所定期間毎に清掃でき，パレットＰを常に正確に
且つ確実に前記各加工台にセットでき，工作物に対する
加工の精度を向上できる。In the FMS of this processing machine group, a reference cleaning device for cleaning the reference surface of the reference member of each processing table and the reference surface of the pallet P may be provided. By providing the reference surface cleaning device, the reference surface of each of the processing tables for setting the pallet P and the reference surface of the pallet P can be cleaned every pallet setting or every predetermined period. It can be set on each processing table, and the processing accuracy for the workpiece can be improved.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

この発明によるFMSにおけるワイヤ放電加工機及び細
穴放電加工機における加工台装置は，上記のように構成
されているので，加工台上に搬入されたパレットをパレ
ット押圧装置及びクランプ装置で加工基準部位に固定す
るだけで，加工機の加工部位に前記工作物を正確に，迅
速に且つ無人で設定することができる。従って，パレッ
ト搬出入装置によってパレットを加工機に搬入し，加工
機の加工台の所定の位置に確実に，迅速に且つ無人で工
作物を自動的に設定でき，また，工作物に対する加工後
に自動的に且つ無人で前記加工機からパレット搬出入装
置によって加工機群から適宜の場所へ搬出することがで
きる。Since the machining table device in the wire electric discharge machine and the small hole electric discharge machine in the FMS according to the present invention is configured as described above, the pallet carried on the machining table is processed by the pallet pressing device and the clamping device to the machining reference portion. By simply fixing the workpiece, the workpiece can be set accurately, quickly, and unattended at a processing portion of the processing machine. Therefore, the pallet is loaded into the processing machine by the pallet loading / unloading device, and the workpiece can be automatically set at a predetermined position on the processing table of the processing machine quickly, unmannedly, and automatically after processing the workpiece. The pallet can be unloaded from the group of processing machines to an appropriate place by the pallet loading / unloading device from the processing machine in an unmanned manner.

しかも，前記加工機に設けたパレット押圧装置によっ
て荷重の重い前記パレットを前記加工台の加工基準位置
に押圧して位置設定でき，且つ前記パレット押圧装置に
連動して前記クランプ装置を作動すれば，前記パレット
を前記加工台に対して位置設定するのに高度の精度を持
って自動的に，正確に且つ確実に設定することができ
る。Moreover, if the pallet with a heavy load is pressed by the pallet pressing device provided on the processing machine to the processing reference position of the processing table and the position can be set, and the clamp device is operated in conjunction with the pallet pressing device, The position of the pallet with respect to the worktable can be automatically, accurately and reliably set with a high degree of accuracy.

また，前記加工機の加工槽の出入口を開閉できる開閉
扉の作動に応答して，前記中間受け渡し装置及び前記加
工機の作動或いは稼動を制御すれば，搬出入作動及び加
工工程を所定の作動工程に従って正確に且つ確実に，し
かも極めて安全性に富んだ状態で各装置の作動を行うこ
とができる。従って，例えば，前記工作物に対する放電
加工を行う場合に，前記工作物の前記加工機への搬入，
設定，加工及び搬出の一連の作業工程を自動的に無人で
達成することができ，昼夜を問わず加工機を稼働でき
る。Further, by controlling the operation or operation of the intermediate transfer device and the processing machine in response to the operation of an opening / closing door that can open and close the entrance of the processing tank of the processing machine, the loading / unloading operation and the processing step can be performed in a predetermined operation step. Accordingly, the operation of each device can be performed accurately and reliably, and in an extremely safe state. Therefore, for example, when performing electrical discharge machining on the workpiece, loading the workpiece into the processing machine,
A series of operation steps of setting, processing and unloading can be automatically and unattended, and the processing machine can be operated day and night.

前記パレット押圧装置は，パレット後端面を押圧し且
つ前記加工台に回転可能に取り付けた押圧アーム，該押
圧アームを回転自在に取り付けたピストンロッド及び該
ピストンロッドを伸縮させるアクチュエータから成る前
進方向押圧手段と，パレット側端面を押圧するピストン
ロッド及び該ピストンロッドを伸縮させるアクチュエー
タから成る横方向押圧手段とから構成し，また，前記ク
ランプ装置は，前記加工台に設けた連結バー，該連結バ
ーに設けたクランプ及び前記連結バーの上下動させるア
クチュエータを有し，該アクチュエータは前記パレット
押圧装置によって前記パレットを前記加工台に位置決め
した状態で作動するので，前記パレット押圧装置によっ
て前記パレットを前記加工台の加工基準位置に押圧する
ことで位置設定ができ，且つ前記パレット押圧装置に連
動して前記クランプ装置を作動すれば，前記パレットを
前記加工台に対して位置設定するのに高度の精度を持っ
て自動的に，確実に且つ正確に位置設定することができ
る。The pallet pressing device includes a pressing arm that presses a rear end surface of the pallet and is rotatably mounted on the processing table, a piston rod that rotatably mounts the pressing arm, and an actuator that pushes the piston rod in a forward direction. And a lateral pressing means comprising a piston rod for pressing the end face on the pallet side and an actuator for expanding and contracting the piston rod, and the clamping device is provided on a connection bar provided on the processing table, and on the connection bar. The pallet is moved by the pallet pressing device so that the pallet is moved to the working table by the pallet pressing device. Pressing to the machining reference position will set the position. If the clamping device is operated in conjunction with the pallet pressing device, the pallet is automatically, reliably and accurately set with a high degree of accuracy in setting the position of the pallet with respect to the processing table. be able to.

また，前記加工槽の前記スライドカバーの開放状態に
応答して前記パレットを前記加工台に対して搬出入し且
つ前記スライドカバーの閉鎖状態に応答して稼働するコ
ントローラを有するので，搬出入作動及び加工工程を所
定の作動工程に従って正確に且つ確実に，しかも極めて
安全性に富んだ状態で作動を行うことができる。従っ
て，例えば，前記工作物に対する放電加工を行う場合
に，前記工作物の前記加工機への搬入，設定，加工及び
搬出の一連の作業工程を自動的に無人で達成することが
でき，昼夜を問わず加工機を稼働できる。In addition, a controller is provided for loading / unloading the pallet to / from the processing table in response to the open state of the slide cover of the processing tank and operating in response to the closed state of the slide cover. The working process can be performed accurately and reliably in accordance with a predetermined working process, and in an extremely safe state. Therefore, for example, when performing electrical discharge machining on the workpiece, a series of work steps of loading, setting, machining, and unloading the workpiece to the processing machine can be automatically and unattended, and day and night can be achieved. Regardless of the operation of the processing machine.

特に，この加工台装置は，多種多数の各加工機，パレ
ット収納のための複数の棚を備えたラック，工作物に防
錆等の処理を施す処理ステーション及びパレットの搬出
入ステーション間を往復移動するパレット搬送装置によ
って工作物を設定したパレットを前記各加工機に対して
位置決め状態を維持して受け渡し，前記パレット上の工
作物を前記各加工機で自動的に放電加工するフレキシブ
ルマニファクチャリングシステムに適用したので，加工
機のＸ−Ｙテーブル上に加工基準手段を備えた加工台を
配置し，加工基準手段を備えたパレット上には工作物を
予め決められた位置に設定しておけば，前記加工台上に
搬入された前記パレットをクランプ装置で加工基準部位
に固定するだけで，加工機の加工部位に前記工作物を正
確に，迅速に且つ無人で設定することができる。従っ
て，例えば，スタッカクレーン及び中間受け渡し装置に
よってパレットを前記加工機に搬入し，前記加工機の前
記加工台の所定の中間受け渡し装置に確実に迅速に且つ
無人で工作物を自動的に設定でき，工作物に対する加工
後に自動的に且つ無人で前記加工機から前記中間受け渡
し装置，次いで前記スタッカクレーンによって搬出する
ことができる。In particular, this processing table device reciprocates between a large number of various processing machines, a rack having a plurality of shelves for storing pallets, a processing station for performing processing such as rust prevention on a workpiece, and a pallet loading / unloading station. Flexible manufacturing system for automatically transferring a pallet on which a workpiece is set to each of the processing machines while maintaining the positioning state of the pallet by the pallet transfer device, and automatically processing the workpiece on the pallet by each of the processing machines. Therefore, it is possible to arrange a processing table provided with processing reference means on an XY table of a processing machine, and to set a workpiece at a predetermined position on a pallet provided with processing reference means. By simply fixing the pallet carried on the worktable to a working reference position with a clamping device, the work piece can be accurately, quickly and non-exposed to the work site of the processing machine. In can be set. Therefore, for example, a pallet is carried into the processing machine by a stacker crane and an intermediate transfer device, and the workpiece can be automatically set to the predetermined intermediate transfer device of the processing table of the processing machine quickly and unmannedly, The work piece can be automatically and unmannedly unloaded from the machine by the intermediate transfer device and then by the stacker crane.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第１図はこの発明による加工機群におけるFMSの一実施
例を示す概略平面図，第２図は第１図の概略正面図，第
３図はこの発明による加工機群におけるFMSの別の実施
例を示す概略平面図，第４図はこのFMSに共通して使用
できるパレットの一例を示す平面図，第５図は第４図の
線Ｖ−Ｖにおける断面図，第６図は第４図の線VI−VIに
おける断面図，第７図はワイヤ放電加工機の加工台部位
の一側面図，第８図は第７図の正面図，第９図はワイヤ
放電加工機の加工台部位の平面図，第10図は第９図の一
部平面図，第11図はワイヤ放電加工機の加工台部位の他
側面図，第12図はクランプ装置の一部断面図，第13図は
加工槽カバー装置の斜視図，第14図は第13図の断面図，
第15図は加工槽カバー装置の平面図，第16図は第15の側
面図，第17図はFMSに利用できる段取り割出し装置の一
例を示す平面図，第18図は第17図の正面図，第19図は第
17図の前端側面図，第20図はスタッカクレーンを全体的
に示す概略正面図，第21図は第20図の側面図，第22図は
スタッカクレーンの概略を示す斜視図，第23図はスタッ
カクレーンに搭載されるフォークベースの概略を示す斜
視図，第24図はスタッカクレーンの下部を示す正面図，
第25図はスタッカクレーンの上部を示す正面図，第26図
はスタッカクレーンのフォーク装置の伝達機構を示す断
面図，第27図はフォーク装置の正面図，第28図はフォー
ク装置が伸長した状態を示す説明図，第29図はフォーク
装置が収縮した状態を示す説明図，第30図はFMSに利用
できる防錆処理装置の正面図，第31図は第30図の側面
図，第32図は細穴放電加工機とパイプ電極交換装置の平
面図，第33図はパイプ電極交換装置の側面図，第34図は
第32図の線IIIX−IIIXにおける断面図，第35図はインデ
ックステーブルの平面図，第36図は第35図の線Ｂ−Ｂに
おける断面図，第37図は型彫放電加工機の加工台部位の
平面図，第38図は第37図の正面図，第39図は型彫放電加
工機の加工台部位の側面図，第40図は加工槽装置の平面
図，第41図は第40図の平面図，第42図は第40図の加工槽
の壁体の一部を示す断面図，第43図は第40図の加工槽の
開閉扉の機構の一部を示す説明図，第44図はワイヤ放電
加工機に取り付けた加工片取除き装置の一例を示す概略
正面図，第45図は第44図の側面図，第46図は中間受け渡
し装置を全体的に示す正面図，第47図は第46図の側面
図，第48図は中間受け渡し装置の上部の正面図，第49図
は第48図の平面図，第50図は第48図の側面図，第51図は
中間受け渡し装置の下部の正面図，第52図は第51図の平
面図，第53図はFMSにおいて計画スケジュールから段取
りスケジュールの作成までの一例を示すブロック図，第
54図はFMSにおいて段取り作業の一例を示すブロック
図，第55図はFMSにおいて細穴放電加工機の加工の一部
を示すブロック図，第56図はFMSにおいてワイヤ放電加
工機の加工の一例を示すブロック図，及び第57図はFMS
において型彫放電加工機の加工の一例を示すブロック図
である。 １……ワイヤ放電加工機,2……細穴放電加工機,3……型
彫放電加工機,4……ラック,5……走行通路,6……スタッ
カクレーン,7……中間受け渡し装置,8……パレット本
体,79A……加工槽装置,9……段取り割出し装置,10……
防錆処理装置,12……流体吹付け装置,19……棚,20……
開口部,24……切抜き孔,29,30……基準金具,28,29K,30
K,81S,84S,87S……基準面,31,32,33……凹部（係止手
段）,74……治具ベース（テーブル）,75……加工台,76
……加工槽,77,77A……パレット押圧装置,78……クラン
プ装置,79……加工槽カバー装置（加工槽装置）,80……
スライドカバー,81……基準金具（基準手段）,82……連
結バー,84,87……位置決めストッパ（基準手段）,85…
…クランプ,86,121……シリンダ（アクチュエータ）,8
9,90……ピストンロッド,91……押圧アーム,P……パレ
ット,W……工作物,WE……ワイヤ電極,PE……パイプ電
極,RE……型彫電極。1 is a schematic plan view showing one embodiment of an FMS in a group of processing machines according to the present invention, FIG. 2 is a schematic front view of FIG. 1, and FIG. 3 is another embodiment of an FMS in a group of processing machines according to the present invention. FIG. 4 is a schematic plan view showing an example, FIG. 4 is a plan view showing an example of a pallet that can be used in common with this FMS, FIG. 5 is a sectional view taken along line VV in FIG. 4, and FIG. 7 is a side view of a machining table portion of the wire electric discharge machine, FIG. 8 is a front view of FIG. 7, and FIG. 9 is a diagram of a machining table portion of the wire electric discharge machine. Plan view, Fig. 10 is a partial plan view of Fig. 9, Fig. 11 is another side view of the machining table part of the wire electric discharge machine, Fig. 12 is a partial sectional view of the clamp device, Fig. 13 is machining FIG. 14 is a perspective view of the tank cover device, FIG. 14 is a sectional view of FIG.
FIG. 15 is a plan view of a processing tank cover device, FIG. 16 is a 15th side view, FIG. 17 is a plan view showing an example of a setup indexing device usable for FMS, and FIG. 18 is a front view of FIG. Fig. 19 and Fig. 19
17 is a front view of the front end, FIG. 20 is a schematic front view showing the entire stacker crane, FIG. 21 is a side view of FIG. 20, FIG. 22 is a perspective view showing the outline of the stacker crane, and FIG. FIG. 24 is a perspective view schematically showing a fork base mounted on the stacker crane, FIG. 24 is a front view showing a lower portion of the stacker crane,
FIG. 25 is a front view showing the upper part of the stacker crane, FIG. 26 is a cross-sectional view showing the transmission mechanism of the fork device of the stacker crane, FIG. 27 is a front view of the fork device, and FIG. FIG. 29 is an explanatory view showing a state in which the fork device is contracted, FIG. 30 is a front view of a rust prevention treatment device usable for FMS, FIG. 31 is a side view of FIG. 30, and FIG. Is a plan view of the small hole electric discharge machine and the pipe electrode changing device, FIG. 33 is a side view of the pipe electrode changing device, FIG. 34 is a sectional view taken along line IIIX-IIIX in FIG. 32, and FIG. 36 is a plan view, FIG. 36 is a sectional view taken along line BB of FIG. 35, FIG. 37 is a plan view of a machining table portion of the die sinking electric discharge machine, FIG. 38 is a front view of FIG. 37, FIG. Is a side view of the machining table part of the die sinking electric discharge machine, FIG. 40 is a plan view of the machining tank device, FIG. 41 is a plan view of FIG. 40, and FIG. Sectional view showing a part of the wall of the machining tank in FIG. 0, FIG. 43 is an explanatory view showing a part of the mechanism of the opening / closing door of the machining tank in FIG. 40, and FIG. 44 is attached to a wire electric discharge machine. FIG. 45 is a schematic front view showing an example of a work piece removing device, FIG. 45 is a side view of FIG. 44, FIG. 46 is a front view of the entire intermediate transfer device, FIG. 47 is a side view of FIG. 48 is a front view of the upper part of the intermediate transfer device, FIG. 49 is a plan view of FIG. 48, FIG. 50 is a side view of FIG. 48, FIG. FIG. 51 is a plan view of FIG. 51, and FIG. 53 is a block diagram showing an example of the FMS from the planning schedule to the preparation of the setup schedule.
Fig. 54 is a block diagram showing an example of setup work in FMS. Fig. 55 is a block diagram showing a part of machining of a small hole electric discharge machine in FMS. Fig. 56 is an example of machining of a wire electric discharge machine in FMS. The block diagram shown and Fig. 57 shows FMS
FIG. 2 is a block diagram showing an example of machining by a die-sinking electric discharge machine. 1 ... wire electric discharge machine, 2 ... small hole electric discharge machine, 3 ... die sinking electric discharge machine, 4 ... rack, 5 ... travel path, 6 ... stacker crane, 7 ... intermediate transfer device, 8 …… Pallet body, 79A …… Processing tank device, 9 …… Setup indexing device, 10 ……
Rust prevention equipment, 12 …… Fluid spraying equipment, 19 …… Shelves, 20 ……
Opening, 24 ... Cutout hole, 29, 30 ... Reference bracket, 28, 29K, 30
K, 81S, 84S, 87S …… Reference plane, 31,32,33 …… Recess (locking means), 74 …… Jig base (table), 75 …… Working table, 76
…… Processing tank, 77, 77A …… Pallet pressing device, 78 …… Clamping device, 79 …… Processing tank cover device (processing tank device), 80 ……
Slide cover, 81 …… Reference fitting (reference means), 82 …… Connection bar, 84,87 …… Positioning stopper (reference means), 85…
… Clamp, 86, 121 …… Cylinder (actuator), 8
9,90 ... Piston rod, 91 ... Pressing arm, P ... Pallet, W ... Workpiece, WE ... Wire electrode, PE ... Pipe electrode, RE ... Sculpture electrode.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 脇野 守幸 福岡県粕屋郡古賀町大字久保868番地の １ 西部電機株式会社内 (72)発明者 田中 準治 福岡県粕屋郡古賀町大字久保868番地の １ 西部電機株式会社内 (72)発明者 福崎 裕二 福岡県粕屋郡古賀町大字久保868番地の １ 西部電機株式会社内 (72)発明者 光安 隆 福岡県粕屋郡古賀町大字久保868番地の １ 西部電機株式会社内 (72)発明者 小松 達司 福岡県粕屋郡古賀町大字久保868番地の １ 西部電機株式会社内 (72)発明者 宮城 清隆 福岡県粕屋郡古賀町大字久保868番地の １ 西部電機株式会社内 (72)発明者 野田 容徳 福岡県粕屋郡古賀町大字久保868番地の １ 西部電機株式会社内 (72)発明者 渡辺 勉 福岡県粕屋郡古賀町大字久保868番地の １ 西部電機株式会社内 (56)参考文献 特開 平２−30427（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−84843（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−306129（ＪＰ，Ａ) 実開 昭59−191236（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−158730（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B23H 7/00 B23Q 41/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Moriyuki Wakino 1 at 868 Kubo, Oga, Koga-cho, Kasuya-gun, Fukuoka Prefecture (72) Inventor Junji Tanaka 868, Kubo-cho, Koga-cho, Kasuya-gun, Fukuoka (1) Inside Western Electric Co., Ltd. (72) Inventor Yuji Fukusaki, 868 Kubo, Oga, Koga-machi, Kasuya-gun, Fukuoka Prefecture Inside of Western Electric Co., Ltd. 1 Within Seibu Electric Co., Ltd. (72) Inventor Tatsushi Komatsu 1 at 868 Kubo, Oga-ku, Koga-cho, Kasuya-gun, Fukuoka Prefecture Within 1-72 Seibu Electric Co., Ltd. Inside Electric Machinery Co., Ltd. (72) Inventor Yodoku Noda 868 Kubo, Koga-cho, Kasuya-gun, Fukuoka Prefecture Inside 1 Seibu Electric Machinery Co., Ltd. No. 868, Kubo, Koga-cho, Kasuya-gun, Oka Pref. Within Saibu Electric Co., Ltd. (56) References JP-A-2-30427 (JP, A) JP-A-63-84843 (JP, A) JP-A-1-306129 (JP, A) Fully open sho 59-191236 (JP, U) Fully open sho 63-158730 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. ⁷ , DB name) B23H 7/00 B23Q 41 / 00

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】テーブル上に取り付けられ且つ水平方向の
基準手段と高さ方向の基準手段とが設けられている加工
台，前記テーブル上に取り付けられた加工槽と該加工槽
に形成したパレット出入口を水平方向に開閉できるスラ
イドカバーを備えた加工槽装置，工作物を工作物セット
治具によって取替え自在に取り付けるための切抜き孔を
備えた工作物ホルダと前記工作物を所定の位置に予め設
定するため前記加工台の前記両基準手段に対応する取付
基準手段の基準面を備え且つ前記工作物ホルダを取り付
けるための切抜き孔を備えたパレット本体とから構成さ
れているパレット，前記パレットを前記加工台に載置し
た状態で前記加工台に設けられた前記水平方向の基準手
段に前記パレットの側面に設けられた前記基準面を押圧
して水平方向の位置決めを行うパレット押圧装置，前記
パレットの下面に設けられた前記基準面を前記加工台に
設けられた前記高さ方向の基準手段に当接させて前記パ
レットを前記加工台に固定するクランプ装置，及び前記
加工槽の前記スライドカバーの開放状態に応答して前記
パレットを前記加工台に対して搬出入する制御をするコ
ントローラから構成されていることから成るフレキシブ
ルマニファクチャリングシステムにおけるワイヤ放電加
工機及び細穴放電加工機に適用できる加工台装置。1. A processing table mounted on a table and provided with horizontal reference means and height reference means, a processing tank mounted on the table, and a pallet entrance formed in the processing tank. A work tank device provided with a slide cover capable of opening and closing the work in a horizontal direction, a work holder provided with a cutout hole for allowing a work to be interchangeably mounted by a work set jig, and the work being preset at a predetermined position. A pallet body comprising a reference surface of mounting reference means corresponding to the two reference means of the processing table, and a pallet body having a cutout hole for mounting the workpiece holder. The horizontal reference means provided on the side surface of the pallet is pressed against the horizontal reference means provided on the processing table while being placed on the work table. A pallet pressing device for determining, a clamp device for fixing the pallet to the processing table by bringing the reference surface provided on the lower surface of the pallet into contact with the reference means in the height direction provided on the processing table; A wire electric discharge machine in a flexible manufacturing system, comprising: a controller configured to control the loading and unloading of the pallet to and from the processing table in response to an open state of the slide cover of the processing tank. Machining table device applicable to small hole electric discharge machine. 【請求項２】前記パレット押圧装置は，パレット後端面
を押圧し且つ前記加工台に回転可能に取り付けられた押
圧アーム，該押圧アームを回転自在に取り付けたピスト
ンロッド及び該ピストンロッドを伸縮させるアクチュエ
ータから成る前進方向押圧手段と，パレット側端面を押
圧するピストンロッド及び該ピストンロッドを伸縮させ
るアクチュエータから成る横方向押圧手段とから構成さ
れている請求項１に記載のフレキシブルマニファクチャ
リングシステムにおけるワイヤ放電加工機及び細穴放電
加工機に適用できる加工台装置。2. The pallet pressing device according to claim 1, wherein the pallet pressing device presses a rear end surface of the pallet and is rotatably mounted on the processing table, a piston rod having the pressing arm rotatably mounted thereon, and an actuator that expands and contracts the piston rod. 2. A wire discharge in a flexible manufacturing system according to claim 1, further comprising a forward pressing means comprising: a forward pressing means comprising: a piston rod for pressing an end surface on a pallet side; and a lateral pressing means comprising an actuator for expanding and contracting the piston rod. Processing table equipment applicable to processing machines and small hole electric discharge machines. 【請求項３】前記クランプ装置は前記加工台に設けた連
結バー，該連結バーに設けたクランプ及び前記連結バー
を上下動させるアクチュエータを有し，前記アクチュエ
ータは前記パレット押圧装置によって前記パレットを前
記加工台に位置決めした状態で作動することから成る請
求項１に記載のフレキシブルマニファクチャリングシス
テムにおけるワイヤ放電加工機及び細穴放電加工機に適
用できる加工台装置。3. The clamping device has a connecting bar provided on the processing table, a clamp provided on the connecting bar, and an actuator for moving the connecting bar up and down, and the actuator moves the pallet by the pallet pressing device. 2. A machining table apparatus applicable to a wire electric discharge machine and a small hole electric discharge machine in the flexible manufacturing system according to claim 1, which operates in a state of being positioned on the machining table. 【請求項４】多種多数の各加工機，前記パレットの収納
のための複数の棚を備えたラック，前記工作物に防錆等
の処理を施す処理ステーション及び前記パレットの搬出
入ステーション間を往復移動するパレット搬送装置によ
って前記工作物を設定した前記パレットを前記各加工機
に対して位置決め状態を維持して受け渡し，前記パレッ
ト上の前記工作物を前記各加工機で自動的に放電加工す
るフレキシブルマニファクチャリングシステムに適用さ
れることから成る請求項１に記載のフレキシブルマニフ
ァクチャリングシステムにおけるワイヤ放電加工機及び
細穴放電加工機に適用できる加工台装置。4. A reciprocating machine between a multiplicity of processing machines, a rack having a plurality of shelves for storing the pallets, a processing station for performing a process such as rust prevention on the workpiece, and a pallet loading / unloading station. Flexible in which the pallet on which the workpiece is set by the moving pallet transfer device is transferred to the respective processing machines while maintaining the positioning state, and the workpiece on the pallet is automatically subjected to electric discharge machining by the respective processing machines. The machining table device applicable to a wire electric discharge machine and a small hole electric discharge machine in the flexible manufacturing system according to claim 1, which is applied to a manufacturing system.