JP3154264U - プローブピン及び基板検査用プローブユニット - Google Patents
プローブピン及び基板検査用プローブユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JP3154264U JP3154264U JP2009004561U JP2009004561U JP3154264U JP 3154264 U JP3154264 U JP 3154264U JP 2009004561 U JP2009004561 U JP 2009004561U JP 2009004561 U JP2009004561 U JP 2009004561U JP 3154264 U JP3154264 U JP 3154264U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- spring
- probe head
- substrate
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
簡単な構造で安価であり、組み立て易く、電気特性検査の信頼性が高いプローブピン及び基板検査用プローブユニットを提供する。【解決手段】導体の棒材であるプローブヘッド16と、コイル形状の金属材であって、その始端部分がプローブヘッド16の胴部外周に接合されて接合部を形成したスプリング32とで構成されたプローブ部28を有する。電気信号を引き出すリード線34と、リード線34の始端に一体に設けられた大径の導体ブロック36とで構成された信号引出部30を備える。プローブ部28と信号引き出し部30とが所定の収容部26aに収容された状態で、プローブ部28のプローブヘッド16の先端が収容部26aの一方の端部に形成された透孔22aから外方に突出した状態で位置する。【選択図】図3
Description
この考案は、電子機器等の所定部分に接触して電気信号を取り出すプローブピン、及び被検査基板の電気特性を検査するため等に用いられる基板検査用プローブユニットに関する。
従来から、電子機器の製造工程の検査等において、回路上の所定箇所に接触して電気信号を取り出すための工具であるプローブピンが使用されている。この種の検査は、基板に電子部品が実装された回路基板としての回路動作の検査の他、基板単体で配線パターン上の欠陥を検出するために行われる場合もある。特に基板単体の検査の場合、独立した全ての配線パターンについて検査を行うため、複数本のプローブピンを組み合わせて構成した基板検査用のプローブユニットが使用される。
近年、電子機器用の基板は、配線パターンのファインピッチ化や基材の多様化が進み、基板検査用のプローブユニットについても様々な改良が行われている。
従来、この種のプローブユニットに用いられるプローブピンとして、例えば特許文献1に開示されているように、先端が被検査基板上の電極に接触するプローブヘッドと、プローブヘッドの後端に一端が接続されプローブヘッドを電極に押し当てるスプリングと、プローブヘッドの後端側及びスプリングを内部に収容し、プローブヘッドを電極に押し当てる方向に案内するスリーブと、スリーブの下端に固定され、スプリングの他の一端を係止する端子とを備えたプローブピンがある。このプローブピンは、被検査基板上の電極から端子への電気的な導通は、プローブヘッド、スリーブ(又はスプリング)、端子の経路で行われ、端子に発生した電気信号をリード線を介して所定の検査装置に送り、被検査基板の電気特性を検査する。このとき、スプリングは、超弾性合金で形成され、被検査基板の基材(例えばガラス等)を破損しないように、プローブヘッドを電極に押し当てるときの押圧力を調節する働きをする。
また、特許文献2に開示されているように、3枚の絶縁板が積層されて成り、積層方向に貫通する保持孔が設けられた保持板と、側方から見て先端が凸形状に加工されたプローブヘッド(プローブピン)と、一端がプローブヘッドの後端に当接してプローブヘッドを電極に押し当てるスプリングと、リード線の一端に取り付けられた大径の導体球とを備えたプリント配線基板検査用治具がある。この検査用治具は、保持孔の上側開口からプローブヘッドの凸形状の小径部が突出し、保持孔の下側開口からリード線が引き出されている。そして、スプリングの伸び方向の付勢力によって、スプリングの他端と導体球とが当接し、プローブヘッドの凸形状の大径部が保持孔の上側開口の周縁に設けられた段部に係止され、導体球が下側開口の周縁に設けた段部に係止されている。また、被検査基板上の電極から導体球への電気的な導通は、プローブヘッド、スプリング、導体球の経路で行われ、導体球に発生した電気信号をリード線を介して所定の検査装置に送り、被検査基板の電気特性を検査する。このとき、スプリングは、プローブヘッドを電極に押し当てるときの押圧力を調節すると共に、自身が電気的な導通の経路として機能する。
しかし、特許文献1のプローブピンは、端子にリード線を半田付け等によって接続する必要があり、配線作業が煩雑である。また、プローブヘッドがスリーブ内を摺動する動作を繰り返すと、当該摺接面が摩耗することによって接触抵抗が不安定となり易い。従って、耐久性が低く、頻繁にメンテナンスを行う必要があった。また、スリーブを備えているため、プローブピン同士の間隔を狭くして配置することができず、基板のファインピッチ化に対応するプローブユニットを構成することができなかった。
特許文献2のプリント配線基板検査用治具は、プローブヘッドが保持孔の内部を移動するとき、プローブヘッドとスプリングとの当接部分の接触抵抗が不安定になり易い。従って、特許文献1のプローブピンと同様に、頻繁にメンテナンスを行う必要があった。また、組み立て時、保持孔の内部に各部材を収容するとき、小さな部品であるプローブヘッドとスプリングとを分離して取り扱うため、組み立てにくいという問題もあった。また、このプローブヘッドのような凸形状の金属ピンを製作する場合、一定の外径を有する金属棒を所定の長さに切断し、プレスによって凸形状に塑性変形させる等の塑性加工を施す必要があり、これらの複雑な加工によってコストアップが生じる。さらに、当該加工の歩留まりや加工後の強度の観点から、凸形状の大径部の外径をあまり小さくすることができず、特許文献1のプローブピンと同様に、プローブピン同士の間隔を狭くして配置することができなかった。
この考案は、上記背景技術に鑑みて成されたもので、簡単な構造で安価で組み立て易く、電気特性検査の信頼性が高いプローブピン、及びファインピッチの基板にも対応可能な基板検査用プローブユニットを提供することを目的とする。
本考案は、電子機器の所定部分にプローブヘッドを当接させて電気信号を取り出すプローブピンにおいて、金属等の導体の棒材であるプローブヘッドと、コイル形状の金属材であって、その始端部分が前記プローブヘッドの胴部外周に接合されて接合部を形成したスプリングとで構成されたプローブ部と、電気信号を引き出すリード線と、前記リード線の始端に一体に設けられた大径の導体ブロックとで構成された信号引出部とを備え、前記プローブ部と前記信号引き出し部とが所定の収容部に収容された状態で、前記プローブ部の前記プローブヘッドの先端が前記収容部の一方の端部に形成された透孔から外方に突出した状態で位置し、前記信号引出部の前記リード線が前記収容部の他方の端部に形成された透孔から外方に引き出され、検査を行っていないときは、前記スプリングの伸び方向の付勢力によって、前記スプリングの前記接合部が前記一方の透孔の周縁の段部に係止され、前記スプリングの終端が前記導体ブロックに当接するとともに前記ブロック部が前記他方の透孔の周縁の段部に係止されるプローブピンである。
前記信号引出部の前記導体ブロックは、前記リード線の始端部分を変形させて形成したものでも良い。
またこの発明は、電子機器の所定部分にプローブヘッドを当接させて電気信号を取り出すプローブピンにおいて、金属等の導体の棒材であるプローブヘッドと、コイル形状を有し、その始端部分が前記プローブヘッドの胴部外周に接合されて接合部を形成したスプリングとで構成されたプローブ部と、前記プローブヘッドが延設された部分であって、前記スプリングの内側を通って前記スプリングの終端部分から突出し、電気信号を引き出す信号引出部とを備え、前記プローブ部と前記信号引き出し部とが所定の収容部に収容された状態で、前記プローブ部の前記プローブヘッドの先端が前記収容部の一方の端部に形成された透孔から外方に突出した状態で位置し、前記信号引出部が前記収容部の他方の端部に形成された透孔から外方に引き出され、検査を行っていないときは、前記スプリングの伸び方向の付勢力によって、前記スプリングの前記接合部が前記一方の透孔の周縁の段部に係止され、前記スプリングの終端が前記他方の透孔の周縁の段部に係止されるプローブピンである。
またこの発明は、被検査基板上に設けられた電極にプローブピンのプローブヘッドを当接させ、前記被検査基板の電気特性を検査する基板検査用プローブユニットにおいて、前記プローブピンは、金属等の導体の棒材であるプローブヘッドと、コイル形状の金属材であって、その始端部分が前記プローブヘッドの胴部外周に接合されて接合部を形成したスプリングとで構成されたプローブ部と、電気信号を引き出すリード線と、前記リード線の始端に一体に設けられた大径の導体ブロックとで構成された信号引出部とを備え、前記収容部が形成され、複数本の前記プローブピンが収容された保持部材が設けられ、前記プローブ部と前記信号引き出し部とが前記収容部に収容された状態で、前記プローブ部の前記プローブヘッドの先端が前記収容部の一方の端部に形成された透孔から外方に突出した状態で位置し、前記信号引出部の前記リード線が前記収容部の他方の端部に形成された透孔から外方に引き出され、検査を行っていないときは、前記スプリングの伸び方向の付勢力によって、前記スプリングの前記接合部が前記一方の透孔の周縁の段部に係止され、前記スプリングの終端が前記導体ブロックに当接するとともに前記ブロック部が前記他方の透孔の周縁の段部に係止される基板検査用プローブユニットである。
またこの発明は、被検査基板上に設けられた電極にプローブピンのプローブヘッドを当接させ、前記被検査基板の電気特性を検査する基板検査用プローブユニットにおいて、前記プローブピンは、金属等の導体の棒材であるプローブヘッドと、コイル形状を有し、その始端部分が前記プローブヘッドの胴部外周に接合されて接合部を形成したスプリングとで構成されたプローブ部と、前記プローブヘッドが延設された部分であって、前記スプリングの内側を通って前記スプリングの終端部分から突出し、電気信号を引き出す信号引出部とを備え、前記収容部が形成され、複数本の前記プローブピンが収容された保持部材が設けられ、前記プローブ部と前記信号引き出し部とが前記収容部に収容された状態で、前記プローブ部の前記プローブヘッドの先端が前記収容部の一方の端部に形成された透孔から外方に突出した状態で位置し、前記信号引出部が前記収容部の他方の端部に形成された透孔から外方に引き出され、検査を行っていないときは、前記スプリングの伸び方向の付勢力によって、前記スプリングの前記接合部が前記一方の透孔の周縁の段部に係止され、前記スプリングの終端が前記他方の透孔の周縁の段部に係止される基板検査用プローブユニットである。
前記保持部材は、このプローブユニットが設けられた筐体が兼用すると良い。前記収容部は、内壁が円筒状に形成された側壁部が一体に設けられ、前記側壁部の両端部に天板部及び底板部を備え、前記天板部と底板部に各々前記透孔と段部が設けられた筺体に形成されているものである。
また、前記保持部材は、第一及び第二の外板とその間に挟まれた内板とが積層された積層体であり、前記収容部は、前記第一の外板、前記内板及び前記第二の外板を積層方向に連通して設けられ、前記天板部は前記第一の外板で構成され、前記底板部は前記第二の外板で構成されたものでも良い。
本考案のプローブピン及び基板検査用プローブユニットは、従来、接触抵抗が不安定になり易かったプローブヘッドと他部材(スリーブ又はスプリング)との接触部分を、プローブヘッドとスプリングの端部を接合して安定化するので、長期間に亘って信頼性の高い検査を行うことができ、メンテナンスも容易である。
また、小径で細いプローブヘッドを選択し、さらに保持部材をプローブユニットのハウジング等の筺体と兼用すれば、プローブピン同士の間隔をより狭くして配置することが可能になり、基板のファインピッチ化に対応したプローブユニットを構成することができる。
また、プローブピンとして単純な形状の金属等の棒材を使用することができ、また、導体ブロックをリード線の始端部を変形させて一体物として形成すれば、該当する部材のコストを低減することができる。また、組み立てるとき、あらかじめプローブピンとスプリングを接合した後で収容部に収容すれば、作業時のハンドリングが容易になり組み立て易い。
以下、この考案のプローブピン及び基板検査用プローブユニットの第一の実施形態について、図1、図2に基づいて説明する。この実施形態の基板検査用プローブユニット10は、プローブピン12と保持部材14とで構成され、プローブヘッド16の先端を被検査基板18上に形成されたランドである電極18aに接触させることによって電気信号を取り出し、被検査基板18に形成された図示しない配線パターンに欠陥があるか否かを検査するユニットである。
プローブピン12は、内壁が略円筒状に形成された側壁部20と、側壁部20内の空間を上下から塞ぐ天板部22及び底板部24を有した絶縁筺体26を備えている。さらに、天板部22と底板部24は、中央部に内壁の直径よりも小さい内径の透孔22a,24aが同心状に設けられている。
絶縁筺体26の内側空間である収容部26aには、後述するプローブ部28と信号引出部30が収容される。絶縁筺体26の素材としては、プローブ部28及び信号引出部30との電気的な絶縁性を確保するため、フェノール樹脂等の合成樹脂を使用することが好ましい。
プローブ部28は、棒材であるプローブヘッド16と、コイル形状のスプリング32で構成されている。プローブヘッド16は、一定の強度と導電性を備えた金属棒で、例えば、炭素工具鋼、真鍮、タングステン等の素材が好ましく、直径は、絶縁筺体26の透孔22aよりも小さく、長さは収容部26aの長さの約2分の1程度である。プローブヘッド16は、特許文献2の凸形状のプローブヘッドのように複雑な形状ではないので、面倒な加工が必要なく、直径が一定の細長い金属棒でプローブヘッド16を構成することができる。
また、スプリング32は、プローブヘッド16が被検査基板18の電極18aに当接した時の押圧力を調節又は吸収するための弾性と、電気信号を伝達する導電性を備えたコイルばねであれば良い。素材は一般的なバネ鋼等で、コイル部分の内周径はプローブヘッド16の直径とほぼ等しければ良く、多少コイル径が小さくても弾性的に挿入すればよい。
スプリング32の始端部は、プローブヘッド16胴部の外周に接合され、プローブヘッド16よりも大きな外径の接合部32aを形成する。接合部32aは、抵抗溶接、半田付け、ロウ付け、超音波接合等の方法で形成され、機械的な固定と電気的な接続が良好に行われている。
信号引出部30は、電気信号を引き出すリード線34と、リード線34の始端に一体に取り付けられた球状の導体ブロック36とで構成されている。リード線34の直径は、絶縁筺体26の透孔24aよりも小さく、導体ブロック36の外径は、透孔24bよりも大きい。
絶縁筺体26の収容部26aにプローブ部28と信号引出部30が収容されると、プローブ部28は、プローブヘッド16の先端が天板部22の透孔22aから外側に突出し、信号引出部30は、リード線34の終端側が底板部24の透孔24aから外に引き出された状態になる。そして、スプリング32の伸び方向の付勢力によって、スプリング32の終端と導体ブロック36とが当接し、スプリング32の接合部32aが透孔22a周縁の段部22bに係止され、さらに、導体ブロック36が透孔24a周縁の段部24bに係止されている。
なお、信号引出部30の導体ブロック36は、図2(a)に示す球形状、図2(b)に示す円柱形状、その他円錐形状等であってもよい。すなわち、導体ブロック36とスプリング32終端が当接したとき、その当接部の導通が安定するような構造を自由に設定することができる。また、信号引出部30は、導体ブロック36をリード線34と別個に製作し、後で取り付ける方法でもよい。より簡単な方法としては、リード線34の始端部を塑性加工等によって変形させることによって導体ブロック36を形成することもできる。
基板検査用プローブユニット10は、2本のプローブピン12を保持部材14で保持している。保持部材14は、所定の強度を備えた絶縁材料であり、例えば、フェノール樹脂等の合成樹脂が使用されている。保持部材14は、図1に示すように、プローブピン12の絶縁筺体26の長さ寸法とほぼ同一の厚み寸法を有し、厚み方向に貫通した2つの貫通孔14aが設けられている。そして、貫通孔14a内にプローブピン12が挿入され、絶縁筺体26の外壁が貫通孔14aの内壁によって保持されている。
2つのプローブピン12は、プローブヘッド16の先端が、被検査基板18の対応する電極18aの位置に配置されている。上述したようにプローブピン12のプローブヘッド16は非常に細い金属棒なので、プローブピン12の絶縁筺体26の外形もコンパクトになっている。従って、2つのプローブピンを狭い間隔で配置することができ、ファインピッチの被検査基板18にも対応することが可能である。また、2つの電極18aは同一平面上にあるので、プローブヘッド16の先端の高さも同一になるように配置されている。
次に、プローブピン12及び基板検査用プローブユニット10の動作を説明する。まず、被検査基板18が基板検査用プローブユニット10と対向させてセットされ、2つのプローブヘッド16を対応する2つの電極18aに各々押圧することにより、被検査基板18自体にはほとんどストレスを与えない程度の圧力でプローブヘッド16が電極18aに当接する。そして、電極18aの電気信号は、プローブヘッド16、接合部32a、スプリング32、導体ブロック36、リード線34の導通経路を介して伝達され、図示しない検査装置に出力される。検査装置は、送られてきた電気信号を所定の基準値と比較し、基準値を満たす場合は被検査基板18が良品であると判定し、基準値を逸脱する場合は何らかの欠陥がある不良品であると判定する。そして、当該被検査基板18の検査が終了すると、次の被検査基板18が基板検査用プローブユニットにセットされ、同様の検査を繰り返す。
このように、プローブヘッド16とスプリング32との接触部分が、プローブピン12では接合部32aでしっかりと固定されているので、電気的な接続状態が非常に安定であり、長期間に亘って信頼性の高い検査を行うことができ、メンテナンスも容易である。
また、プローブヘッド16は、単純な形状の金属性の棒材を使用することができる。従って、先端を凸形状に加工する等の面倒な追加工が必要なく、部材コストを大幅に低減することができる。また、組み立てるとき、あらかじめプローブヘッド16とスプリング32を接合した後で絶縁筺体26の収容部26aに収容するようにすれば、作業時のハンドリングが容易になり、組み立てコストも低減することができる。
さらに、プローブヘッド16を細い金属棒で構成することができるので、複数のプローブピン12を狭い間隔で配置することが可能となり、ファインピッチ化された基板に対応した基板検査用プローブユニット10を実現することができる。
次に、この考案の基板検査用プローブユニットの第二の実施形態について、図3に基づいて説明する。ここで、上記の基板検査用プローブユニット10と同様の構成は、同一の符号を付して説明を省略する。この実施形態の基板検査用プローブユニット40は、上述の実施形態の基板検査用プローブユニット10の絶縁筺体26及び保持部材14を、フェノール樹脂製の第一の外板44、内板46及び第二の外板48で構成した保持部材42に置き換えたものであり、その他の構成は同様である。
前記保持部材42は、第一及び第二の外板44,48とその間に挟まれた内板46とが積層された積層体であり、保持部材42の一部が絶縁筺体としての役割も果たしている。すなわち、上記の基板検査用プローブユニット10のように、独立した部材である絶縁筺体26を備えていない。そして、絶縁筺体26の内側の収容部26aは、第一の外板44、内板46及び第二の外板48に形成された開口部が積層方向に連通することにより設けられている。また、天板部22、透孔22a及び段部22bは、第一の外板44に構成されている。同様に、底板部24、透孔24a及び段部24bは、第二の外板48に構成されている。絶縁筺体26から置き換えられた各部分の機能や動作は同様である。
基板検査用プローブユニット40は、絶縁筺体26を使用しない構成のため、2本のプローブヘッド16の間隔をより狭めて配置することが可能であり、配線パターンがよりファインピッチ化された基板であっても、容易に対応することができる。また、組み立て方法についても、3枚の板材を積層して保持部材42が構成されているので、容易に組み立てることができる。
次に、この考案のプローブピン及び基板検査用プローブユニットの第三の実施形態について、図4に基づいて説明する。ここで、上記のプローブピン12及び基板検査用プローブユニット10と同様の構成は、同一の符号を付して説明を省略する。この実施形態の基板検査用プローブユニット50は、プローブピン12に代えて、絶縁筺体26内の構成が異なるプローブピン52が使用されている。その他の構成は、基板検査用プローブユニット10と同様である。
プローブピン52は、プローブピン12と同様の絶縁筺体26を備えているが、収容部26aには、プローブ部28及び信号引出部30に代えて、プローブ部54及び信号引出部56が収容されている。
プローブ部54は、棒材であるプローブヘッド16と、コイル形状のスプリング58で構成されている。プローブヘッド16は、一定の強度と導電性を備えた金属棒で、例えば、炭素工具鋼、真鍮、タングステン等の素材が好ましく、外径は、絶縁筺体26の透孔22aよりも小さく、長さは収容部26aの長さよりも長く、下側部分が後述する信号引出部56となる。
また、スプリング58は、プローブヘッド16が被検査基板18の電極18aに当接した時の押圧力を調節又は吸収するための弾性を備えたコイルばねであって、ここでは必ずしも導電性は必要ないが、一般的なバネ鋼やピアノ線等が使用可能である。また、スプリング58のコイル部分の内周径は、プローブヘッド16の直径とほぼ等しければ良く、多少コイル径が小さくても弾性的に挿入すればよい。
スプリング58の始端部は、プローブヘッド16胴部の外周に接合され、プローブヘッド16よりも大きな外径の接合部58aを形成する。接合部58aは、溶接やその他熱による溶着、接着剤による接着等の方法で形成され、機械的な固定が良好に行われている。なお、ここでは、プローブヘッド16胴部に、スプリング58の始端部の位置決めをするための鍔部59が設けてある。なお、接合部58aを設けるときの方法や接合装置の構造に鑑みて、不要であれば鍔部59は設けなくてもよく、逆に安全性等に鑑みて、上述の実施形態のプローブヘッド16に鍔部59を取り付けても良い。
信号引出部56は、プローブヘッド16の下側を長く延ばした部分であり、スプリング58の内側を通って終端部分から突出し、電気信号を引き出すリード線としての役割を果たす。
絶縁筺体26の収容部26aにプローブ部54と信号引出部56が収容されると、プローブ部54は、プローブヘッド16の先端が天板部22の透孔22aから外側に突出し、信号引出部56は、その終端側が底板部24の透孔24aから外に引き出された状態になる。そして、スプリング58の伸び方向の付勢力によって、接合部58a上側の鍔部59が透孔22a周縁の段部22bに係止され、さらに、スプリング58の終端部が透孔24a周縁の段部24bに係止されている。
基板検査用プローブユニット50は、2本のプローブピン52を保持部材14で保持している。保持部材14は、図4に示すように、プローブピン52の絶縁筺体26の長さとほぼ同一の厚みを有し、厚み方向に貫通した2つの貫通孔14aが設けられている。そして、貫通孔14a内にプローブピン52が挿入され、絶縁筺体26の外壁が貫通孔14aの内壁によって保持されている。このとき、プローブヘッド16の配置方法は、基板検査用プローブユニット10と同様である。
次に、プローブピン52及び基板検査用プローブユニット50の動作を説明する。まず、被検査基板18が基板検査用プローブユニット50と対向させてセットされ、2つのプローブヘッド16を、対応する2つの電極18aに各々一定以下の圧力で当接させる。そして、電極18aの電気信号は、プローブヘッド16及びプローブヘッド16が延設された信号引出部56を通じて伝達され、図示しない検査装置に出力される。検査装置は、送られてきた電気信号を所定の基準値と比較し、基準値を満たす場合は被検査基板18が良品であると判定し、基準値を逸脱する場合は何らかの欠陥がある不良品であると判定する。そして、当該被検査基板18の検査が終了すると、次の被検査基板18が基板検査用プローブユニットにセットされ、同様の検査を繰り返す。
このように、プローブピン52及び基板検査プローブユニット50によれば、被測定基板18の電極18aに発生している電気信号を伝達する信頼性を、前述の実施形態のプローブピン12や基板検査プローブユニット10よりも一層高めることができる。すなわち、プローブピン12及び基板検査プローブユニット10の場合には、長期間使用すると、スプリング32と導体ブロック36が当接する部分の接触抵抗が変化する可能性があるが、プローブピン52又は基板検査プローブユニット50の場合は、電気信号の経路に接触抵抗のような不安定要素が存在しないので、非常に信頼性の高い信号伝達を行うことができる。
次に、この考案の基板検査用プローブユニットの第四の実施形態について、図5に基づいて説明する。ここで、上記の基板検査用プローブユニット40,50と同様の構成は、同一の符号を付して説明を省略する。この基板検査用プローブユニット60は、基板検査用プローブユニット50の絶縁筺体26及び保持部材14を、フェノール樹脂製の第一の外板44、内板46及び第二の外板48で構成した保持部材42に置き換えたものであり、その他の構成は同様である。
基板検査用プローブユニット60は、絶縁筺体26を使用しない構成のため、2本のプローブヘッド16の間隔を、基板検査用プローブユニット50よりもさらに狭めて配置することが可能であり、配線パターンが一層ファインピッチ化された基板であっても、容易に対応することができる。
また、組み立て方法についても、3枚の板材を積層して保持部材42が構成されているので、容易に組み立てることができる。
なお、この考案は、上記実施形態に限定されるものではなく、プローブヘッドと被検査基板の電極が当接したときに、互いの電気的な接続をより確実にするため、プローブヘッドの先端を尖らせたり、簡単なキザを有した形状にしてもよい。さらに、絶縁筐体は、一対のプローブピンが短絡しない状態であれば、金属等の導体の材料で形成しても良い。
また、被検査基板に電子部品が実装され、基板上のランドと電子部品の電極の上面のように高さの異なる電極の電気信号を取り出して検査を行う場合等は、プローブヘッド先端の高さを個々の電極の高さに対応させる必要がある。しかし、基板検査用プローブユニットの保持部材の形状を適宜調整すれば、容易に対応することができる。例えば、第一及び第二の外板及び内板で保持部材を構成するときでも、個々の板材を高さ方向に凸凹を有した形状にすればよい。
10,40,50,60 基板検査用プローブユニット
12,52 プローブピン
14,42 保持部材
14a 貫通孔
16 プローブヘッド
20 側壁部
22 天板部
22a,24a 透孔
22b,24b 段部
24 底板部
26 絶縁筺体
26a 収容部
28,54 プローブ部
30,56 信号引出部
32,58 スプリング
32a 接合部
34 リード線
36 導体ブロック
44 第一の外板
46 内板
48 第二の外板
12,52 プローブピン
14,42 保持部材
14a 貫通孔
16 プローブヘッド
20 側壁部
22 天板部
22a,24a 透孔
22b,24b 段部
24 底板部
26 絶縁筺体
26a 収容部
28,54 プローブ部
30,56 信号引出部
32,58 スプリング
32a 接合部
34 リード線
36 導体ブロック
44 第一の外板
46 内板
48 第二の外板
Claims (8)
- 電子機器の所定部分にプローブヘッドを当接させて電気信号を取り出すプローブピンにおいて、
導体の棒材であるプローブヘッドと、コイル形状の金属材であって、その始端部分が前記プローブヘッドの胴部外周に接合されて接合部を形成したスプリングとで構成されたプローブ部と、
電気信号を引き出すリード線と、前記リード線の始端に一体に設けられた大径の導体ブロックとで構成された信号引出部とを備え、
前記プローブ部と前記信号引き出し部とが所定の収容部に収容された状態で、前記プローブ部の前記プローブヘッドの先端が前記収容部の一方の端部に形成された透孔から外方に突出した状態で位置し、前記信号引出部の前記リード線が前記収容部の他方の端部に形成された透孔から外方に引き出され、
検査を行っていないときは、前記スプリングの伸び方向の付勢力によって、前記スプリングの前記接合部が前記一方の透孔の周縁の段部に係止され、前記スプリングの終端が前記導体ブロックに当接するとともに前記ブロック部が前記他方の透孔の周縁の段部に係止されることを特徴とするプローブピン。 - 前記信号引出部の前記導体ブロックは、前記リード線の始端部分を変形させて形成したものである請求項1記載のプローブピン。
- 電子機器の所定部分にプローブヘッドを当接させて電気信号を取り出すプローブピンにおいて、
導体の棒材であるプローブヘッドと、コイル形状を有し、その始端部分が前記プローブヘッドの胴部外周に接合されて接合部を形成したスプリングとで構成されたプローブ部と、
前記プローブヘッドが延設された部分であって、前記スプリングの内側を通って前記スプリングの終端部分から突出し、電気信号を引き出す信号引出部とを備え、
前記プローブ部と前記信号引き出し部とが所定の収容部に収容された状態で、前記プローブ部の前記プローブヘッドの先端が前記収容部の一方の端部に形成された透孔から外方に突出した状態で位置し、前記信号引出部が前記収容部の他方の端部に形成された透孔から外方に引き出され、
検査を行っていないときは、前記スプリングの伸び方向の付勢力によって、前記スプリングの前記接合部が前記一方の透孔の周縁の段部に係止され、前記スプリングの終端が前記他方の透孔の周縁の段部に係止されることを特徴とするプローブピン。 - 被検査基板上に設けられた電極にプローブピンのプローブヘッドを当接させ、前記被検査基板の電気特性を検査する基板検査用プローブユニットにおいて、
前記プローブピンは、
導体の棒材であるプローブヘッドと、コイル形状の金属材であって、その始端部分が前記プローブヘッドの胴部外周に接合されて接合部を形成したスプリングとで構成されたプローブ部と、
電気信号を引き出すリード線と、前記リード線の始端に一体に設けられた大径の導体ブロックとで構成された信号引出部とを備え、
前記収容部が形成され、複数本の前記プローブピンが収容された保持部材が設けられ、
前記プローブ部と前記信号引き出し部とが前記収容部に収容された状態で、前記プローブ部の前記プローブヘッドの先端が前記収容部の一方の端部に形成された透孔から外方に突出した状態で位置し、前記信号引出部の前記リード線が前記収容部の他方の端部に形成された透孔から外方に引き出され、
検査を行っていないときは、前記スプリングの伸び方向の付勢力によって、前記スプリングの前記接合部が前記一方の透孔の周縁の段部に係止され、前記スプリングの終端が前記導体ブロックに当接するとともに前記ブロック部が前記他方の透孔の周縁の段部に係止されることを特徴とする基板検査用プローブユニット。 - 被検査基板上に設けられた電極にプローブピンのプローブヘッドを当接させ、前記被検査基板の電気特性を検査する基板検査用プローブユニットにおいて、
前記プローブピンは、
導体の棒材であるプローブヘッドと、コイル形状を有し、その始端部分が前記プローブヘッドの胴部外周に接合されて接合部を形成したスプリングとで構成されたプローブ部と、
前記プローブヘッドが延設された部分であって、前記スプリングの内側を通って前記スプリングの終端部分から突出し、電気信号を引き出す信号引出部とを備え、
前記収容部が形成され、複数本の前記プローブピンが収容された保持部材が設けられ、
前記プローブ部と前記信号引き出し部とが前記収容部に収容された状態で、前記プローブ部の前記プローブヘッドの先端が前記収容部の一方の端部に形成された透孔から外方に突出した状態で位置し、前記信号引出部が前記収容部の他方の端部に形成された透孔から外方に引き出され、
検査を行っていないときは、前記スプリングの伸び方向の付勢力によって、前記スプリングの前記接合部が前記一方の透孔の周縁の段部に係止され、前記スプリングの終端が前記他方の透孔の周縁の段部に係止されることを特徴とする基板検査用プローブユニット。 - 前記保持部材は、このプローブユニットが設けられた筐体である請求項4又は5記載のプローブユニット。
- 前記収容部は、内壁が円筒状に形成された側壁部が一体に設けられ、前記側壁部の両端部に天板部及び底板部を備え、前記天板部と底板部に各々前記透孔と段部が設けられた筺体に形成されている請求項4又は5記載のプローブユニット。
- 前記保持部材は、第一及び第二の外板とその間に挟まれた内板とが積層された積層体であり、
前記収容部は、前記第一の外板、前記内板及び前記第二の外板を積層方向に連通して設けられ、前記天板部は前記第一の外板で構成され、前記底板部は前記第二の外板で構成された請求項6記載の基板検査用プローブユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009004561U JP3154264U (ja) | 2009-07-02 | 2009-07-02 | プローブピン及び基板検査用プローブユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009004561U JP3154264U (ja) | 2009-07-02 | 2009-07-02 | プローブピン及び基板検査用プローブユニット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP3154264U true JP3154264U (ja) | 2009-10-15 |
Family
ID=54858425
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009004561U Expired - Fee Related JP3154264U (ja) | 2009-07-02 | 2009-07-02 | プローブピン及び基板検査用プローブユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3154264U (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011117767A (ja) * | 2009-12-01 | 2011-06-16 | Unitechno Inc | コンタクトプローブ及びそれを備えた検査用プローバ |
JP2012057995A (ja) * | 2010-09-07 | 2012-03-22 | Hideo Nishikawa | 検査治具及び接触子 |
JP2016164491A (ja) * | 2015-03-06 | 2016-09-08 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置検査用治具 |
CN114487518A (zh) * | 2021-12-13 | 2022-05-13 | 渭南高新区木王科技有限公司 | 一种可以独立调节弹簧阻力的双头双动探针 |
-
2009
- 2009-07-02 JP JP2009004561U patent/JP3154264U/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011117767A (ja) * | 2009-12-01 | 2011-06-16 | Unitechno Inc | コンタクトプローブ及びそれを備えた検査用プローバ |
JP2012057995A (ja) * | 2010-09-07 | 2012-03-22 | Hideo Nishikawa | 検査治具及び接触子 |
JP2016164491A (ja) * | 2015-03-06 | 2016-09-08 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置検査用治具 |
CN114487518A (zh) * | 2021-12-13 | 2022-05-13 | 渭南高新区木王科技有限公司 | 一种可以独立调节弹簧阻力的双头双动探针 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7772858B2 (en) | Probe card | |
EP2239587B1 (en) | Probe unit | |
JP4769538B2 (ja) | 電子部品用コンタクタ及びコンタクト方法 | |
JP5426161B2 (ja) | プローブカード | |
KR101315806B1 (ko) | 콘택트 프로브 및 소켓, 튜브상 플런저의 제조 방법, 및 콘택트 프로브의 제조 방법 | |
JP2006023271A (ja) | 半導体検査用プローブカード | |
JPWO2011162362A1 (ja) | コンタクトプローブおよびプローブユニット | |
JP5982372B2 (ja) | 接触構造体ユニット | |
WO2011132613A1 (ja) | 検査用接触子及び検査用治具 | |
JP2007198835A (ja) | 高周波特性測定治具 | |
JP3154264U (ja) | プローブピン及び基板検査用プローブユニット | |
JP6283929B2 (ja) | 検査用治具及び検査用治具の製造方法 | |
WO2009102030A1 (ja) | プローブユニット | |
JP2010122057A (ja) | プローブユニット | |
JP4667253B2 (ja) | 四探針測定用同軸プローブ及びこれを備えたプローブ治具 | |
JP5345598B2 (ja) | 検査治具及び接触子 | |
JP2012073213A5 (ja) | ||
JP2008157681A (ja) | 回路基板の検査装置 | |
JPH11108954A (ja) | コンタクトプローブ | |
KR20040007691A (ko) | 도전성 접촉자 및 전기 프로브 유닛 | |
JP2008051563A (ja) | プリント配線基板検査用治具 | |
JP4660864B2 (ja) | 導通検査装置 | |
JP2010216991A (ja) | プローブカード | |
JP2002277501A (ja) | 導通検査治具及びその製造方法 | |
JP2017181477A (ja) | コンタクトプローブ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120916 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |