JP3152963U - 液処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2a スピンチャック(基板保持部)
11a,11b,11c 現像処理部のカップ
12a,12b,12c リンス液ノズルアーム
13 リンス液ノズル
14 現像液ノズルアーム
15 現像液ノズル
16 現像液ノズル待機容器
16a 開口部
31 気密部材
32 通気部
33a,33b 弾性部材
35 廃液管
36 貯留槽(貯留部)
38 排気管
41 エジェクター
44 ミストトラップタンク
47 制御部
T1 前排気
T2 本排気
T3 後排気
50 ノズル通気部
51 ノズルスペーサ(筒状体)
52 整流板
53 傾斜板
55a,55b,55c,55d 通気孔
Claims (6)
- 保持された基板の上方に液ノズルを移動させて所定の液処理を行なう液処理装置であって、
基板を収容するカップの中央で基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部に保持された基板の表面を液処理するための液ノズルと、
前記液ノズルを挿入するための開口部を備え、液ノズルを待機させて仮吐出動作を行なう時の液を液受けする液ノズル待機容器と、
前記液ノズル待機容器の開口部の周囲に設けられ、前記開口部内に前記液ノズルを挿入した時に開口部を封止して密閉するための気密部材と、
前記液ノズル待機容器の側方面に設けられ内部の雰囲気を排気する排気管と、
前記液ノズル待機容器に設けられ、前記排気管の他方に設けられ前記排気に対応して大気を内部に流入させるための通気部と、
前記仮吐出に同期して排気する時間に、前記仮吐出の開始前に所定時間排気する時間と、前記仮吐出の完了後に所定時間排気する時間との少なくとも一方の排気する時間を設定して動作させる制御装置と、
を具備することを特徴とする液処理装置。 - 前記液ノズル待機容器は、この液ノズル待機容器の内部に仮吐出された液を排出する廃液管と、この廃液管が差し込まれ、排出される廃液を溜める貯留部とを更に有し、前記貯留部に溜まった廃液により前記廃液管が封止した状態で前記排気がされることを特徴とする請求項1に記載の液処理装置。
- 前記液ノズル待機容器の開口部に液ノズルの長さと略同じ長さかそれよりも多少長い程度に高さ方向に設けられた筒状体を備え、前記筒状体の内側に前記通気部を設けていることを特徴とする請求項1乃至2のいずれかに記載の液処理装置。
- 前記液ノズル待機容器の内部には、前記排気される雰囲気の気流を整流するための整流板が設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の液処理装置。
- 前記液ノズル待機容器は、弾性部材にて保持されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の液処理装置。
- 前記カップは横方向に複数設けられ、この複数のカップの間に前記液ノズル待機容器がそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項1に記載の液処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009003835U JP3152963U (ja) | 2009-06-08 | 2009-06-08 | 液処理装置 |
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JP2009003835U JP3152963U (ja) | 2009-06-08 | 2009-06-08 | 液処理装置 |
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JP3152963U true JP3152963U (ja) | 2009-08-20 |
Family
ID=54857239
Family Applications (1)
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JP2009003835U Expired - Lifetime JP3152963U (ja) | 2009-06-08 | 2009-06-08 | 液処理装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP3152963U (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011043584A (ja) * | 2009-08-19 | 2011-03-03 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 基板の洗浄装置及び洗浄方法 |
JP2017073553A (ja) * | 2014-10-07 | 2017-04-13 | 大日本印刷株式会社 | インプリント装置およびその制御方法 |
KR20180123607A (ko) * | 2017-05-08 | 2018-11-19 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 홈포트 배기 방법 |
KR20220097680A (ko) * | 2020-12-30 | 2022-07-08 | 세메스 주식회사 | 노즐 대기 포트와 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 이를 이용한 노즐 세정 방법 |
-
2009
- 2009-06-08 JP JP2009003835U patent/JP3152963U/ja not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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