JP3151699B2 - 光回路部品の作製方法 - Google Patents
光回路部品の作製方法Info
- Publication number
- JP3151699B2 JP3151699B2 JP11971595A JP11971595A JP3151699B2 JP 3151699 B2 JP3151699 B2 JP 3151699B2 JP 11971595 A JP11971595 A JP 11971595A JP 11971595 A JP11971595 A JP 11971595A JP 3151699 B2 JP3151699 B2 JP 3151699B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- optical waveguide
- circuit
- optical fiber
- independent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Description
などの分野で利用される光回路部品の作製方法に関する
ものである。この光回路部品は、光導波回路の単純な構
造の独立な光導波路と、この光導波路に対応した光ファ
イバアレイ部品の光ファイバとを調心して接続すること
により、光導波回路の所定の機能を有する光導波路群
と、この光導波路群に対応した光ファイバアレイ部品の
光ファイバとの光軸も同時に調心して接続できることか
ら、光導波回路と光ファイバアレイ部品とを高精度かつ
簡便に接続するように構成したものである。
て、種々の光部品が開発されている。これらの光部品の
1つとして、光導波路から形成される光導波回路があ
る。この光導波回路は、高集積かつ高機能な光回路を構
成できるという特徴を有している。光導波回路への光の
入出力を効率的に行うには、光ファイバを用いることが
有効であり、そのためには、高精度かつ簡便な光ファイ
バの接続技術を用いて光導波回路と光ファイバを接続す
る必要がある。
1は光導波回路、2は前記光導波回路1を構成する光導
波路、3および6は前記光導波回路1に接続した光ファ
イバアレイ部品、4および7は前記光ファイバアレイ部
品を構成する光ファイバ、5および8は前記光ファイバ
アレイ部品を構成する光ファイバ固定部品である。θは
調心軸である。光ファイバは、光導波回路の有する機能
(ここでは、1×8分合波機能)に関係する光導波路に
のみ接続されている。光ファイバと光導波路の調心は、
光導波回路中で作用を受けた(分合波された)光を用い
て行われる。
術では、光導波回路の光分合波機能が多心化した場分合
波された光強度は、分波による原理損失のため小さくな
る。例えば、1×64分合波器の場分合波による原理損
失は18dBである。このような低強度の光を用いて調
心する場合、光を検出する際にS/N比が劣化するため
調心精度が悪くなるという問題がある。また、光導波回
路と光ファイバアレイ部品との調心は、x,y,z方向
およびθ方向に対して行う必要がある。1本の光導波路
と光ファイバとを接続する場合、x,y,z方向の調心
は、光導波路からの光出力を検出することにより行われ
る。しかし、θ方向の面合わせは、前記光出力を用いて
行うことができず、接続面を実際に見ながら面を合わせ
ており、時間がかかるという問題がある。さらに、光導
波回路が光路切替あるいは光波長選択などの機能を有し
た場合、調心の際に光路の切り替えあるいは波長の選定
を行うことが必要となり、調心装置あるいは調心方法が
複雑になるという問題が生じる。この発明の目的は、光
導波回路の多心化または高機能化に伴い、光導波回路と
光ファイバとの接続の際に生じる調心精度の劣化および
複雑化を解決して、高精度かつ簡便に光導波回路と光フ
ァイバとを接続する光回路部品の作製方法を提供するこ
とにある。
な課題を解決するため、光導波回路と光ファイバアレイ
とを接続して、光回路部品を作製する方法であって、少
なくとも3本の光導波路から構成される光導波回路のう
ち、少なくとも1本は所定の機能を有する光導波路であ
り、2本は前記所定の機能に関与しない独立な光導波路
であり、これらの2本の独立な光導波路は所定間隔を置
いて隣り合うように、かつ、前記光導波回路の片端に並
ぶように配置して、これらの2本の独立な光導波路を前
記所定の機能を有する光導波路が位置する部分に対して
直線状に分離することができるようにした光導波回路を
作製する段階と、2本の1心光ファイバを含む光ファイ
バアレイは、これらの2本の1心光ファイバの位置を、
前記独立な光導波路の位置と対応させて所定間隔を置い
て隣り合うように、かつ、前記光ファイバアレイの片端
に並ぶように配置して、V溝部品に固定した光ファイバ
アレイ部品を作製する段階と、前記光導波回路と前記光
ファイバアレイ部品を、前記独立な光導波路とこの独立
な光導波路に対応する光ファイバとを用いて調心する段
階と、前記光導波回路と前記光ファイバアレイ部品とを
固定する段階と、前記独立な光導波路とこの光導波路に
対応する光ファイバとを除去する段階とを含んで構成さ
れるこ とを特徴とする光回路部品の作製方法としたもの
である。
する機能、または、波長を選択する機能、または、光路
を切り替える機能のいずれか一つであることを特徴とす
る請求項1に記載の光回路部品の作製方法としたもので
ある。
回路の単純な構造の独立な光導波路と、この光導波路に
対応した光ファイバアレイ部品の光ファイバとを調心し
て接続することにより、光導波回路の所定の機能を有す
る光導波路群と、この光導波路群に対応した光ファイバ
アレイ部品の光ファイバとの光軸も同時に調心して接続
できることから、光導波回路と光ファイバアレイ部品と
を高精度かつ簡便に接続した光回路部品を提供すること
ができる。さらに、前記2本の独立な光導波路と、この
独立な光導波路に対応する調心用の1心光ファイバと
が、各々片端にまとめられたことで、前記2本の独立な
光導波路とこの独立な導波路に対応する調心用光ファイ
バとを除去すべき基板の面積が拡大して前記両者が配置
した基板を除去することがより容易になり、かつ、前記
2本の独立な光導波路とこの独立な導波路に対応する調
心用光ファイバとを除去する際に、前記所定の機能を有
する光導波路に与える影響をより少なくして前記両者が
配置した基板を除去することが可能となる。また、前記
光導波回路の単純な構造の独立な光導波路は、光導波回
路の所定の機能を有する光導波路群に依存することなく
配置できるため、自由な設計が可能である。さらに、光
軸を中心とした回転方向の面合わせ光出力を用いて行う
ことが可能である。したがって、この発明の目的である
高精度かつ簡便に光導波回路と光ファイバアレイ部品の
光ファイバとを接続する光回路部品の作製方法が、前記
光導波回路と光ファイバアレイ部品のうち不要な部分の
除去を、より簡便に、しかも前記所定の機能を有する光
導波路の安全性を確保して達成される。
いて詳細に説明する。図1はこの発明の光回路部品の実
施例の構成を示す斜視図である。この図において、45
は波長選択機能を有する光導波回路、46は独立な光導
波路、47は波長選択フィルタを構成する光導波路、4
8は3dB方向性結合器、49は波長選択反射器、50
はガラス板、51は4本の1心光ファイバ52を有する
光ファイバアレイ部品、53は1心光ファイバ52を整
列するためのガイドとなるV溝部品、54は1心光ファ
イバ52をV溝部品53の溝に固定するための抑え蓋、
a−a′は切断線である。
ィルタを構成する光導波路47と2本の独立な光導波路
46から構成した。前記波長選択フィルタは、3dB方
向性結合器48と波長選択反射器49から構成される。
前記波長選択フィルタの動作を簡単に説明する。前記波
長選択反射器49は、特定の波長λ1 の光を反射するも
のとする。波長λ1 の光を前記波長選択フィルタの1つ
のポートから入力すると、前記光は3dB方向性結合器
48を介して波長選択反射器49で反射され、再び前記
3dB方向性結合器48を通って、もう一方のポートか
ら出力する。波長λ1 以外の光は、前記波長選択反射器
49で反射することなく、反対側の端面から出射する。
て、前記光導波回路45はシリコン基板上に火炎堆積法
を用いて形成した。前記両光導波路46,47の断面は
6×6μmの矩形とした。前記光導波回路45の入力端
には、紫外線硬化型接着剤を用いてガラス板50を接着
した。さらに、前記光導波回路45の入出力端は、端面
からの反射戻り光を制御するために斜め8度研磨した。
前記光ファイバアレイ部品51は、4本の1心光ファイ
バ52をV溝部品53に配置し、抑え蓋54で固定した
後に、紫外線硬化型接着剤を用いて固定して作製した。
前記光導波回路45と光ファイバアレイ部品51とは、
独立な光導波路46を用いて調心した後に、紫外線硬化
型接着剤を用いて固定した。最後に切断線a−a′にそ
って切断して独立な光導波路46を除去した。
mのレーザ光を使用した。前記レーザ光を独立な光導波
路46の光の入力端P1 ,P2 に入射し、光の出力端P
1 ′,P2 ′からの出力を用いて調心した。調心の際の
光出力は、−3.5dBmであり、調心を安定かつ簡便
に行うために十分な光強度であった。従来技術では、波
長λ1 の光を用いて調心を行う場合に、前記光の入出力
端は同一端であることから、θ方向の面合わせを行った
後でなければ、調心をするこが不可能であった。したが
って、波長λ1 以外の光を用いて調心する必要があっ
た。
ことにより、波長λ1 の光を利用した調心を可能とし
た。また、波長選択フィルタを構成する光導波路47と
1心光ファイバ52との接続は、軸ズレによる過剰損失
が全ポートの平均として0.5dB以下で、精度良く行
われた。したがって、この発明の光回路部品の作製方法
は、高精度かつ簡便に光導波回路45と光ファイバアレ
イ部品51を接続することが可能であることが明らかと
なった。この光回路部品の作製方法の実施例は、波長選
択フィルタを構成する光導波回路に関するものであった
が、光の入出力端が同一端である他の機能を有する光導
波回路に対してもこの発明は有効である。また、この実
施例は、作製した光導波回路の大きさを小さくするた
め。独立な光導波路部分を切断除去したが、除去しなく
ても同様の効果を有する。
部品の作製方法では、少なくとも3本の光導波路から構
成される光導波回路のうち、少なくとも1本は所定の機
能を有する光導波路であり、2本は前記所定の機能に関
与しない独立な光導波路であり 、これらの2本の独立な
光導波路は所定間隔を置いて隣り合うように、かつ、前
記光導波回路の片端に並ぶように配置して、これらの2
本の独立な光導波路を前記所定の機能を有する光導波路
が位置する部分に対して直線状に分離することができる
ようにした光導波回路を作製する段階と、2本の1心光
ファイバを含む光ファイバアレイは、これらの2本の1
心光ファイバの位置を、前記独立な光導波路の位置と対
応させて所定間隔を置いて隣り合うように、かつ、前記
光ファイバアレイの片端に並ぶように配置して、V溝部
品に固定した光ファイバアレイ部品を作製する段階と、
前記光導波回路と前記光ファイバアレイ部品を、前記独
立な光導波路とこの独立な光導波路に対応する光ファイ
バとを用いて調心する段階と、前記光導波回路と前記光
ファイバアレイ部品とを固定する段階と、前記独立な光
導波路とこの光導波路に対応する光ファイバとを除去す
る段階とを含んで構成したことにより、光導波回路の単
純な構造の独立な光導波路と、この光導波路に対応した
光ファイバアレイ部品の光ファイバとを調心して接続し
て、光導波回路の所定の機能を有する光導波路群と、こ
の光導波路群に対応した光ファイバアレイ部品の光ファ
イバとの光軸も同時に調心して接続できることから、光
導波回路と光ファイバアレイ部品とを高精度かつ簡便に
接続した光回路部品を提供することができる。 さらに、
前記2本の独立な光導波路と、この独立な光導波路に対
応する調心用の1心光ファイバとが、各々片端にまとめ
られたことで、前記2本の独立な光導波路とこの独立な
導波路に対応する調心用光ファイバとを除去すべき基板
の面積が拡大して前記両者が配置した基板を除去するこ
とがより容易になり、かつ、前記2本の独立な光導波路
とこの独立な導波路に対応する調心用光ファイバとを除
去する際に、前記所定の機能を有する光導波路に与える
影響をより少なくして前記両者が配置した基板を除去す
ることが可能となる。また、前記光導波回路の単純な構
造の独立な光導波路は、光導波回路の所定の機能を有す
る光導波路群に依存することなく配置できるため、自由
な設計が可能である。さらに、光軸を中心とした回転方
向の面合わせ光出力を用いて行うことが可能である。す
なわち、本発明に係る光回路部品の作製方法によれば、
所期の目的である高 精度かつ簡便に光導波回路と光ファ
イバアレイ部品の光ファイバとを接続する光回路部品の
作製方法が、前記光導波回路と光ファイバアレイ部品の
うち不要な部分の除去を、より簡便に、しかも前記所定
の機能を有する光導波路の安全性を確保して達成される
という効果を奏する。
Claims (2)
- 【請求項1】 光導波回路と光ファイバアレイとを接続
して、光回路部品を作製する方法であって、少なくとも3本の光導波路から構成される光導波回路の
うち、少なくとも1本は所定の機能を有する光導波路で
あり、2本は前記所定の機能に関与しない独立な光導波
路であり、 これらの2本の独立な光導波路は所定間隔を置いて隣り
合うように、かつ、前記光導波回路の片端に並ぶように
配置して、これらの2本の独立な光導波路を前記所定の
機能を有する光導波路が位置する部分に対して直線状に
分離することができるようにした光導波回路を作製する
段階と 、2本の1心光ファイバを含む光ファイバアレイは、これ
らの2本の1心光ファイバの位置を、前記独立な光導波
路の位置と対応させて所定間隔を置いて隣り合うよう
に、かつ、前記光ファイバアレイの片端に並ぶように配
置して、V溝部品に固定した光ファイバアレイ部品を作
製する段階と 、前記光導波回路と前記光ファイバアレイ部品を、前記独
立な光導波路とこの独立な光導波路に対応する光ファイ
バとを用いて調心する段階と 、前記光導波回路と前記光ファイバアレイ部品とを固定す
る段階と 、前記独立な光導波路とこの光導波路に対応する光ファイ
バとを除去する段階とを含んで構成されることを特徴と
する光回路部品の作製方法 。 - 【請求項2】 前記所定の機能は、光出力を分合波する
機能、または、波長を選択する機能、または、光路を切
り替える機能のいずれか一つであることを特徴とする請
求項1に記載の光回路部品の作製方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11971595A JP3151699B2 (ja) | 1995-05-18 | 1995-05-18 | 光回路部品の作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11971595A JP3151699B2 (ja) | 1995-05-18 | 1995-05-18 | 光回路部品の作製方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08313744A JPH08313744A (ja) | 1996-11-29 |
JP3151699B2 true JP3151699B2 (ja) | 2001-04-03 |
Family
ID=14768324
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11971595A Expired - Lifetime JP3151699B2 (ja) | 1995-05-18 | 1995-05-18 | 光回路部品の作製方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3151699B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11125731A (ja) * | 1997-10-22 | 1999-05-11 | Nec Corp | 単芯アレイ変換光装置 |
KR100357852B1 (ko) * | 2000-12-26 | 2002-10-25 | 삼성전자 주식회사 | 부가 도파로를 이용한 광 도파로열 격자 소자의 측정 및정렬 방법 및 그 광 도파로열 격자 소자 |
KR100389837B1 (ko) * | 2001-07-24 | 2003-07-02 | 삼성전자주식회사 | 광도파로 소자의 패키징 장치 |
KR100416983B1 (ko) * | 2001-10-31 | 2004-02-05 | 삼성전자주식회사 | 평면 광도파로 소자 모듈의 정렬 장치 |
JP2003149494A (ja) * | 2001-11-14 | 2003-05-21 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光導波回路モジュール |
JP2004021038A (ja) * | 2002-06-18 | 2004-01-22 | Fujikura Ltd | 導波路型光部品、光クロスコネクト装置及び導波路型光部品の製造方法 |
KR100513013B1 (ko) * | 2002-07-09 | 2005-09-05 | 삼성전자주식회사 | 광파워 분할기 |
KR100483619B1 (ko) * | 2002-12-06 | 2005-04-18 | 삼성전기주식회사 | 광 도파로의 정렬 위치 검사방법 |
WO2006004031A1 (ja) | 2004-07-02 | 2006-01-12 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | 光機能回路 |
JP6554071B2 (ja) * | 2016-06-27 | 2019-07-31 | 日本電信電話株式会社 | マルチチップ接続用導波路チップ |
JP6585578B2 (ja) | 2016-11-07 | 2019-10-02 | Nttエレクトロニクス株式会社 | 光デバイス、およびアライメント方法 |
JPWO2022249313A1 (ja) * | 2021-05-26 | 2022-12-01 |
-
1995
- 1995-05-18 JP JP11971595A patent/JP3151699B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH08313744A (ja) | 1996-11-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100389837B1 (ko) | 광도파로 소자의 패키징 장치 | |
EP0309102B1 (en) | Micro-optical building block system and method of making same | |
US6647184B2 (en) | Optical waveguide device and method of manufacturing the same | |
US7885493B2 (en) | Broadband wavelength multiplexing and demultiplexing filter and optical splitter with optical signal multiplexing and demultiplexing function | |
EP0722101B1 (en) | Optical fiber ferrule and optical coupler constructed using the optical fiber ferrule | |
JPH116928A (ja) | アレイ導波路格子型波長合分波器 | |
JP3287773B2 (ja) | 光導波路デバイスの製造方法 | |
JP3151699B2 (ja) | 光回路部品の作製方法 | |
EP1271197A2 (en) | Wavelength division multiplexer using planar lightwave circuit | |
JPH10123373A (ja) | 導波路型光モジュール | |
JPH10227936A (ja) | ハイブリッド平面型光回路とその作製方法 | |
JP2003004992A (ja) | 光送受信モジュールとその製造方法 | |
EP0463779A1 (en) | Fibre optic waveguide beam splitter | |
US6807354B2 (en) | Waveguide optical device | |
KR100357852B1 (ko) | 부가 도파로를 이용한 광 도파로열 격자 소자의 측정 및정렬 방법 및 그 광 도파로열 격자 소자 | |
JP2002131566A (ja) | 光導波路間隔変換部を有する光部品、光回路及び光回路製造方法 | |
US20040086221A1 (en) | Low cost, hybrid integrated dense wavelength division multiplexer/demultiplexer for fiber optical networks | |
US6128428A (en) | Single-type array optical conversion apparatus | |
JPH1138240A (ja) | 光導波路及びその製造方法 | |
JPH10186165A (ja) | 光分波器または光分岐器 | |
KR100416983B1 (ko) | 평면 광도파로 소자 모듈의 정렬 장치 | |
KR100487216B1 (ko) | 정렬성이 향상된 온도 무의존형 파장분할 다중화/역다중화장치 및 그 정렬방법 | |
EP0947861A1 (en) | Hybrid waveguiding optical device | |
JP3138516B2 (ja) | 光機能素子結合部材およびその製造方法 | |
US20030012494A1 (en) | Compact optical beam separator and method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090126 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090126 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100126 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110126 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110126 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120126 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130126 Year of fee payment: 12 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |