JP3139479B2 - 情報記録媒体、情報記録媒体の製造方法、情報の記録・再生方法、及び、情報の消去方法 - Google Patents

情報記録媒体、情報記録媒体の製造方法、情報の記録・再生方法、及び、情報の消去方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光を用いて情報を
記録し、記録された情報を再生または消去する情報記録
媒体、情報記録媒体の製造方法、情報の記録・再生方
法、及び、情報の消去方法に関し、特に、高密度な情報
の記録を可能にする情報記録媒体、情報記録媒体の製造
方法、情報の記録・再生方法、及び、情報の消去方法に
関する。
【0002】
【従来の技術】光を用いて情報を記録し、記録された情
報を再生し、消去する情報記録媒体としては、光磁気デ
ィスクやDVD−RAMが知られている。従来の情報記
録媒体は、情報を記録する記録領域(ランド部)と、ラ
ンド部と隣接するランド部とを分離する分離領域(グル
ーブ部)とから構成され、このランド部とグルーブ部の
凹凸形状を有する透明基板上に、この凹凸形状に沿って
保護膜、記録膜、保護膜、反射膜が順に積層されて形成
される。情報の記録、再生、消去にはレーザービームを
使用し、記録領域に相当する記録膜の部分に、記録マー
クを付けて情報を記録する。
【0003】また、より多くの情報を記録するためにラ
ンド部とグルーブ部の間隔を詰めることによって、記録
される情報が高密度化されている。しかし、従来の情報
記録媒体では、ランド部とグルーブ部の間隔を詰めてよ
り多くの情報を記録しようとすると、記録した情報の記
録マークがランド部からグルーブ部にはみ出す場合があ
る。記録マークがランド部からグルーブ部にはみ出す
と、情報を消去するときに記録マークの消し残りが生
じ、再生時に隣接するランド部に記録されている情報を
同時に読んでしまう(クロストークと呼ぶ)という不都
合が起きる。
【0004】特開平9−190649号公報に開示され
た情報記録媒体は、記録領域の前の領域(ヘッダ領域)
に形成されるプリピットの位置を、ランド部の中心位置
に対して内周側に偏移させることにより、ヘッダ領域か
らのクロストークを低減している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】従来の情報記録媒体で
クロストークが生じるということは、記録される情報を
高密度化する場合に避けられない問題である。特開平9
−190649号公報に開示された情報記録媒体では、
ヘッダ領域からのクロストークは低減されるが、記録領
域からのクロストークは低減されない。
【0006】従って、本発明は、情報の再生時に生じる
クロストークを低減し、高密度な情報を記録することを
可能にする情報記録媒体、情報記録媒体の製造方法、情
報の記録・再生方法、及び、情報の消去方法を提供する
ことを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の第1の観点にかかる情報記録媒体は、情報
を記録する記録膜と、前記記録膜上に形成され、情報の
記録、再生、及び、消去を行うための光を反射する反射
膜と、前記記録膜と前記反射膜の間に形成され、情報記
録媒体の反射率が、情報を記録する記録領域では、前記
記録膜が情報を記録しているか否かによって異なり、記
録領域と隣接する記録領域とを分離する分離領域では、
前記記録膜が情報を記録しているか否かに関わらず実質
的に等しくなるような膜厚を有する保護膜と、を備え
前記記録膜の表面は平坦であり、前記保護膜は、前記記
録領域と前記分離領域に対応した凹凸形状を有し、前記
反射膜は、前記保護膜と実質的に同一の凹凸形状を有す
る、ことを特徴とする。
【0008】この発明によれば、記録領域では、情報の
記録状態と未記録状態とがはっきりと区別され、分離領
域では、情報の記録状態と未記録状態とが区別されない
ように、保護膜が構成される。これにより、隣接する記
録領域の情報も同時に読んでしまうクロストークを大き
く低減することができ、情報の記録密度を向上すること
ができる。
【0009】
【0010】本発明の第2の観点にかかる情報記録媒体
は、情報を記録する記録膜と、前記記録膜上に形成さ
れ、情報の記録、再生、及び、消去を行うための光を反
射する反射膜と、前記記録膜と前記反射膜の間に形成さ
れ、情報記録媒体の反射率が、情報を記録する記録領域
では、前記記録膜が情報を記録しているか否かによって
異なり、記録領域と隣接する記録領域とを分離する分離
領域では、前記記録膜が情報を記録しているか否かに関
わらず実質的に等しくなるような膜厚を有する保護膜
と、を備え、前記記録膜は、前記記録領域と前記分離領
域に対応した凹凸形状を有し、前記保護膜は、前記記録
膜の凹凸形状を埋め、平らな表面を有し、前記反射膜
は、平坦である、ことを特徴とする。
【0011】本発明の第3の観点にかかる情報記録媒体
は、情報を記録する記録膜と、前記記録膜上に形成さ
れ、情報の記録、再生、及び、消去を行うための光を反
射する反射膜と、前記記録膜と前記反射膜の間に形成さ
れ、情報記録媒体の反射率が、情報を記録する記録領域
では、前記記録膜が情報を記録しているか否かによって
異なり、記録領域と隣接する記録領域とを分離する分離
領域では、前記記録膜が情報を記録しているか否かに関
わらず実質的に等しくなるような膜厚を有する保護膜
と、を備え、前記保護膜は、前記記録領域と前記分離領
域に対応した凹凸形状を有し、第1の波長の光を使用し
た場合、前記凹凸形状の凹部では、前記記録膜に情報が
記録されているか否かに関わらず、光の反射率が実質的
に等しくなり、凸部では、前記記録膜に情報が記録され
ているか否かによって、光の反射率が異なり、第2の波
長の光を使用した場合、該凹凸形状の凸部では、前記記
録膜に情報が記録されているか否かに関わらず、光の反
射率が実質的に等しくなり、凹部では、前記記録膜に情
報が記録されているか否かによって、光の反射率が異な
るような膜厚を有する、ことを特徴とする
【0012】本発明の第の観点にかかる情報記録媒体
は、円状のトラックに情報を記録する記録媒体であっ
て、同心円状に形成された複数の第1のトラックと、隣
接する前記第1のトラックの間に配置された第2のトラ
ックと、から構成され、第1の波長の光に対して、前記
第1のトラックは、情報の記録の有無に対応する反射率
を有し、前記第2のトラックは情報の記録の有無にかか
わらず実質的に等しい反射率を有し、前記第1の波長と
異なる第2の波長の光に対して、前記第2のトラック
は、情報の記録の有無に対応する反射率を有し、第1の
トラックは情報の記録の有無にかかわらず実質的に等し
い反射率を有し、前記第1のトラックに対して前記第2
のトラックが、情報を記録する記録領域と隣接する記録
領域とを分離する分離領域として機能し、第2のトラッ
クに対して第1のトラックが分離領域として機能する、
ことを特徴とする。
【0013】この発明によれば、第1の波長の光を使用
した場合の分離領域を、第2の波長の光に対する記録領
域とすることができる。従って、1つの波長の光だけを
使用する場合に比べて、2倍の情報を記録することがで
きる。即ち、記録する情報の高密度化が可能になる。
【0014】前記第1及び第2のトラックは、情報を記
録する記録膜と、保護膜と、光を反射する反射膜と、か
ら構成され、前記保護膜は、前記第1の波長の光に対し
て、前記第1のトラックが、情報の記録の有無に対応す
る反射率を有し、前記第2のトラックが情報の記録の有
無にかかわらず実質的に等しい反射率を有し、前記第1
の波長と異なる第2の波長の光に対して、前記第2のト
ラックが、情報の記録の有無に対応する反射率を有し、
第1のトラックが情報の記録の有無にかかわらず実質的
に等しい反射率を有するような膜厚を有してもよい。
【0015】本発明の第の観点にかかる情報記録媒体
の製造方法は、情報を記録する記録膜を形成する記録膜
形成工程と、前記記録膜上に、情報の記録、再生、及
び、消去を行うための光を反射する反射膜を形成する反
射膜形成工程と、情報記録媒体の反射率が、情報を記録
する記録領域では、前記記録膜が情報を記録しているか
否かによって異なり、記録領域と隣接する記録領域とを
分離する分離領域では、前記記録膜が情報を記録してい
るか否かに関わらず実質的に等しくなるような膜厚を有
する保護膜を、前記記録膜と前記反射膜の間に形成する
保護膜形成工程と、を備え、前記記録膜形成工程は、前
記記録領域と前記分離領域に対応した凹凸形状を有する
記録膜を形成する工程を備え、前記保護膜形成工程は、
前記記録膜の凹凸形状を埋め、平らな表面を有する保護
膜を形成する工程を備え、前記反射膜形成工程は、平坦
な反射膜を形成する工程を備える、ことを特徴とする。
【0016】この発明によっても、記録領域では、情報
の記録状態と未記録状態とがはっきりと区別され、分離
領域では、情報の記録状態と未記録状態とが区別されな
いように、保護膜の厚さを設定できる。これにより、隣
接する記録領域の情報も同時に読んでしまうクロストー
クを大きく低減することができ、情報の記録密度を向上
することができる。
【0017】
【0018】
【0019】
【0020】
【0021】本発明の第6の観点にかかる情報の記録・
再生方法は、情報記録媒体に光を照射して情報の記録、
再生を行う記録・再生方法において、前記情報記録媒体
は、情報を記録する記録膜と、前記記録膜上に形成さ
れ、情報の記録及び再生を行うための光を反射する反射
膜と、前記記録膜と前記反射膜の間に形成され、凹凸形
状を有し、第1の波長の光を使用した場合、該凹凸形状
の凹部では、前記記録膜に情報が記録されているか否か
に関わらず、光の反射率が実質的に等しくなり、凸部で
は、前記記録膜に情報が記録されているか否かによっ
て、光の反射率が異なり、第2の波長の光を使用した場
合、該凹凸形状の凸部では、前記記録膜に情報が記録さ
れているか否かに関わらず、光の反射率が実質的に等し
くなり、凹部では、前記記録膜に情報が記録されている
か否かによって、光の反射率が異なるような膜厚を有す
る保護膜と、を備え、前記情報の記録・再生方法は、前
記保護膜が有する凹凸形状の凸部に相当する部分の情報
の記録、再生には、前記第1の波長の光を使用し、該凹
凸形状の凹部に相当する部分の情報の記録、再生には、
前記第2の波長の光を使用する、ことを特徴とする。
【0022】この発明によれば、前記保護膜の凹凸形状
の凹部、凸部のそれぞれで、波長が異なる光を使用し、
凹部、凸部の両方に、情報を記録することができる。ま
た、情報の再生時には、前記保護膜の凹凸形状の凹部、
凸部のそれぞれで、情報が記録されているか否かによっ
て、反射率がはっきりと異なる光を使用し、クロストー
クを大きく低減することができる。さらに、情報の再生
時に、前記第1及び第2の波長の光を両方使用すること
によって、前記保護膜の凹部、凸部に記録されている情
報を同時に読み出すことができる。
【0023】本発明の第7の観点にかかる情報の消去方
法は、情報記録媒体に光を照射して情報を消去する消去
方法において、前記情報記録媒体は、情報を記録する記
録膜と、前記記録膜上に形成され、情報を消去するため
の光を反射する反射膜と、前記記録膜と前記反射膜の間
に形成され、凹凸形状を有し、情報が記録されているか
否かに関わらず、第1の波長の光を使用した場合には、
該凹凸形状の凹部での光の反射率が実質的に等しくな
り、第2の波長の光を使用した場合、該凹凸形状の凸部
での光の反射率が実質的に等しくなるような膜厚を有す
る保護膜と、を備え、前記情報の消去方法は、前記保護
膜が有する凹凸形状の凹部に相当する部分の情報の消去
には、前記第1の波長の光を使用し、該凹凸形状の凸部
に相当する部分の情報の消去には、前記第2の波長の光
を使用する、ことを特徴とする。
【0024】この発明によれば、前記保護膜の凹凸形状
の凹部、凸部のそれぞれで、情報が記録されているか否
かに関わらず、反射率が実質的に等しい光を使用してい
るので、前記記録膜に例えば相変化材を使用した場合、
光によって該記録膜に与えられる熱が均一になる。従っ
て、情報の消し残りが少ないオーバーライトが可能とな
る。
【0025】
【発明の実施の形態】次に、本発明の第1の実施の形態
にかかる情報記録媒体について図面を参照して説明す
る。図1は、情報記録媒体を、その中心を通り、その表
面に垂直に切断したときの断面の一部を示している。情
報記録媒体は、透明基板11と、保護膜12と、記録膜
13と、保護膜14と、反射膜15と、保護膜16とが
順に積層されて形成されている。
【0026】透明基板11は、光学的に透明で、表面が
平坦である。そして、その外形はたとえば円盤状であ
り、その材質はポリカーボネイトである。保護膜12
は、透明基板11上に形成され、その材質はたとえばZ
nS−SiO(硫化亜鉛と二酸化ケイ素の化合物)で
ある。記録膜13は、情報を記録する膜であり、保護膜
12上に形成される。記録膜13の材質は、光相変化
材、例えばGe−Sb−Te(ゲルマニウムとアンチモ
ンとテルルの化合物)である。記録膜13にレーザが照
射されると、その照射された部分の記録膜13が、レー
ザの熱によって相変化する。この相変化した部分が記録
マークとなり、情報が記録される。
【0027】保護膜14は、記録膜13上に形成され、
その表面は凹凸形状を有する。この保護膜14は、保護
膜12と共に記録膜13を挟み、記録膜13を情報の記
録、再生、及び、消去時の熱的ダメージから守り、さら
に腐食から守る。保護膜14の材質はたとえばSiO
(二酸化ケイ素)である。なお、表面の凹凸形状は、情
報を記録する記録領域と、記録領域と隣接する記録領域
とを分離する分離領域に対応している。この記録領域に
対応する部分が凸部(保護膜14が厚い部分)であり、
記録トラックと呼ばれ、分離領域に対応する部分が凹部
(保護膜14が薄い部分)である。情報は、上記したよ
うに、レーザによって記録膜13に記録マークが付され
ることで記録され、この記録マークは、記録膜13の記
録領域に実質的に対応する部分にのみ記録される。
【0028】反射膜15は、保護膜14上に形成され、
薄膜の多重反射を利用して光ディスクの反射と、吸収
と、透過とを制御すると共に、熱伝導の調整を行う。反
射膜15の材質は、例えばAl(アルミニウム)であ
る。保護膜16は、反射膜15上に形成され、凹凸形状
を埋め、平らな表面を有する。保護膜16の材質は紫外
線硬化樹脂である。この凹凸形状を埋めて表面を平坦に
する技術としては、バイアススパッタ法、CVD(Chem
ical Vapor Deposition)法、CMP(Chemical Mechan
ical Polishing)法等が用いられる。
【0029】情報記録媒体に情報を記録する場合、上記
したように、レーザによって記録膜13を相変化させ、
情報を消去する場合、レーザを照射し、レーザの熱によ
って相変化を元に戻す。また、情報の再生では、情報の
記録、再生時よりも弱いレーザを照射し、記録マークが
存在することによって生じるレーザの反射率の変化を検
出し、情報を読み出す。さらに、上記構成の情報記録媒
体では、透明基板11から反射膜15の方向(図1中の
矢印17の方向)に照射されたレーザの反射率と吸収率
は、保護膜14の厚さに依存している。従って、記録領
域(凸部)では、記録膜13が情報を記録しているか否
かによって反射率がはっきりと区別され、分離領域(凹
部)では、記録膜13が情報を記録しているか否かにか
かわらず反射率が区別されないように保護膜14の厚さ
を設定する。これにより、記録マークが記録領域から分
離領域にはみ出した状態で記録されても、分離領域の記
録マークは信号として検知されず、記録領域の記録マー
クのみが検知される。即ち、記録されている情報の信号
の幅が狭くなり、記録密度の向上が可能となると共に、
良好な信号を得ることができる。
【0030】次に、上記保護膜14の厚さを設定する方
法について説明する。以下では、図1に示した情報記憶
媒体において、保護膜12にZnS−SiO を、記録
膜13にGe−Sb−Teを、反射膜15にAlを使用
し、それぞれの膜厚を、60nm、15nm、80nm
とした場合について説明する。なお、保護膜14の材質
は、SiOである。図2は、図1に示した情報記録媒
体に、図1中の矢印17の方向から、波長640nmの
レーザを照射し、保護膜14の厚さを変化させたときの
光の反射率と、吸収率の計算結果を示している。
【0031】図2に示すように、保護膜14の厚さが2
5nmのとき、情報を記録している状態としていない状
態での反射率が等しくなる。また、保護膜14の厚さが
50〜190nmの範囲にある場合、情報を記録してい
る状態としていない状態での反射率は10〜40%の差
がある。従って、保護膜14の厚さを、分離領域では2
5nmに設定し、記録領域では50〜190nmの間の
何れかに設定する。
【0032】次に、以上のような情報記録媒体の製造方
法について説明する。図3に示すように、表面が平らな
透明基板11上に、膜厚60nmのZnS−SiO
保護膜12として形成し、ついで膜厚15nmのGe−
Sb−Te膜を記録膜13として形成する。その後、記
録膜13上に、膜厚25nmのZnS−SiOを保護
膜14の基礎となる保護膜14aとして形成する。
【0033】次に、図4(a)に示すように、保護膜1
4a上にフォトレジスト液をスピンコート法により膜厚
が100nm程度になるよう塗布し、図4(b)に示す
ように、保護膜14の凹凸形状を形成するための保護膜
14bを形成する。次に、図5(a)に示すように、分
離領域と記録領域のパターンを有するフォトマスク18
を通して露光ビームを照射し、保護膜14bに凹凸形状
の潜像を形成する。そして、図5(b)に示すように、
現像することで保護膜14bに凹凸形状を形成する。こ
の保護膜14bと保護膜14aで図1に示した保護膜1
4を形成する。
【0034】次に、図6(a)に示すように、凹凸形状
が形成された保護膜14上に膜厚80nmのAl膜を反
射膜15として形成する。そして、図6(b)に示すよ
うに、反射膜15上に紫外線硬化樹脂をスピンコート法
により塗布すし、紫外線を照射して保護膜16を形成
し、図1に示した情報記録媒体の製造を完了する。
【0035】以上のようにして、記録領域(凸部)に対
応する部分に記録されている記録マークのみが信号とし
て検出される。従って、情報の再生時に生じるクロスト
ークを防止し、さらに情報記録媒体に記録する情報の記
録密度を向上することができる。
【0036】また、上記反射率の差は、ピックアップや
再生装置の性能にもよるが、例えば6%以上、望ましく
は9%以上であり、この場合に、情報が記録されている
か否かによって反射率がはっきりと区別される。なお、
反射率の差が大きいほど、情報の記録状態と未記録状態
とを区別しやすくなる。
【0037】また、上記のように、記録領域では保護膜
14が厚く、分離領域では保護膜14が薄い。このた
め、情報の記録、再生、消去時に発生する熱が、反射膜
15との距離が遠い記録領域ではゆっくりと解放され、
記録マークの記録感度が向上する。一方、反射膜15と
の距離が近い分離領域では、上記熱が早く解放され、隣
接する記録領域への熱の流入が小さくなり、隣接する記
録領域の情報(記録マーク)を消去してしまうクロスイ
レーズが大きく改善される。
【0038】次に、本発明の第2の実施の形態にかかる
情報記録媒体について図面を参照して説明する。図7
は、情報記録媒体を、その中心を通り、その表面に垂直
に切断したときの断面の一部を示している。情報記録媒
体は、透明基板21と、保護膜22と、記録膜23と、
保護膜24と、反射膜25と、保護膜26とが積層され
て形成されている。
【0039】透明基板21は、光学的に透明であり、そ
の片側の表面は凹凸形状を有する。そして、その外形は
たとえば円盤状であり、その材質はポリカーボネイトで
ある。なお、表面の凹凸形状は、情報を記録する記録領
域と、記録領域と隣接する記録領域とを分離する分離領
域に対応している。この記録領域に対応する部分が凹部
(保護膜24が厚い部分)であり、記録トラックと呼ば
れ、分離領域に対応する部分が凸部(保護膜24が薄い
部分)である。情報は記録膜13に光によって記録マー
クが付されることで記録され、この記録マークは、実質
的に記録膜13の記録領域に対応する部分にのみ記録さ
れる。
【0040】保護膜22は、透明基板21の凹凸のある
面上に形成され、その材質は例えばZnS−SiO
(硫化亜鉛と二酸化ケイ素の化合物)である。記録膜
23は、情報を記録する膜であり、保護膜22上に形成
される。記録膜23の材質は、相変化材、例えばGe−
Sb−Te(ゲルマニウムとアンチモンとテルルの化合
物)である。記録膜23にレーザが照射されると、その
照射された部分の記録膜23が、レーザの熱によって相
変化する。この相変化した部分が記録マークとなり、情
報が記録される。
【0041】保護膜24は、記録膜23上に形成され、
凹凸を埋め、平らな表面を有し、保護膜22と共に記録
膜23を挟み、記録膜23を情報の記録、再生、消去時
の熱的ダメージから守り、さらに腐食から守る。保護膜
24の材質は例えばSiO(二酸化ケイ素)である。
凹凸を埋めて表面を平坦にする技術としては、バイアス
スパッタ法、CVD法、CMP法等が用いられる。反射
膜25は、保護膜24上に形成され、薄膜の多重反射を
利用して光ディスクの反射と、吸収と、透過とを制御す
ると共に、熱伝導の調整を行う。反射膜25の素材は、
例えばAl(アルミニウム)である。保護膜26は、反
射膜25上に形成され、その材質は紫外線硬化樹脂であ
る。
【0042】情報記録媒体に情報を記録する場合は、第
1の実施の形態と同様に、レーザによって記録膜23を
相変化させ、情報を消去する場合、レーザを照射し、レ
ーザの熱によって相変化を元に戻す。また、情報の再生
では、情報の記録、再生時よりも弱いレーザを照射し、
記録マークが存在することによって生じるレーザの反射
率の変化を検出し、情報を読み出す。さらに、上記構成
の情報記録媒体では、透明基板21から反射膜25の方
向(図7中の矢印27の方向)に照射されたレーザの反
射率と吸収率は、保護膜24の厚さに依存している。従
って、記録領域(凹部)では、記録膜23が情報を記録
しているか否かによって反射率がはっきりと区別され、
分離領域(凸部)では、記録膜23が情報を記録してい
るか否かに関わらず反射率が区別されないように保護膜
24の厚さを設定する。これにより、記録マークが記録
領域から分離領域にはみ出した状態で記録されても、分
離領域の記録マークは信号として検知されず、記録領域
の記録マークのみが検知される。即ち、記録されている
情報の信号の幅が狭くなり、記録密度の向上が可能とな
ると共に、良好な信号を得ることができる。
【0043】次に、上記保護膜24の厚さを設定する方
法について説明する。以下では、図7に示した情報記憶
媒体において、保護膜22にZnS−SiO を、記録
膜23にGe−Sb−Teを、反射膜25にアルミニウ
ム膜を使用し、それぞれの膜厚を、170nm、15n
m、80nmとした場合について説明する。なお、保護
膜24の材質は、SiOである。図8は、図7に示し
た情報記録媒体に、図7中の矢印27の方向から、波長
640nmのレーザを照射し、保護膜24の厚さを変化
させたときの光の反射率と、吸収率の計算結果を示して
いる。
【0044】図8に示すように、保護膜24の厚さが5
5nmのとき、情報を記録している状態としていない状
態での反射率が等しくなる。また、保護膜24の厚さが
80〜190nmの範囲にある場合、情報を記録してい
る状態としていない状態での反射率は10〜38%の差
がある。従って、保護膜24の厚さを、分離領域では5
5nmに、記録トラックでは80〜190nmの間の何
れかに設定する。
【0045】次に、以上のような情報記録媒体の製造方
法について説明する。図9に示すように、表面に凹凸形
状を有する透明基板21上に、膜厚170nmのZnS
−SiOを保護膜22として形成する。このとき、透
明基板21の凹凸形状は、凸部(分離領域)の高さが2
5〜135nmの範囲にあるようにする。ついで膜厚1
5nmのGe−Sb−Te膜を、保護膜22上に記録膜
23として形成する。
【0046】次に、図10(a)に示すように、記録膜
23上に凸部での膜厚が55nmとなるようにシリカ液
(二酸化ケイ素の溶液)をスピンコート法により塗布
し、図10(b)に示すように、保護膜24を形成す
る。次に、図11に示すように、保護膜24上に膜厚8
0nmのAl膜を反射膜25として形成する。
【0047】次に、図12に示すように、反射膜25上
に紫外線硬化樹脂をスピンコート法により塗布し、紫外
線を照射して保護膜26を形成し、図7に示した情報記
録媒体の製造を完了する。
【0048】以上のようにして、記録領域(凹部)に対
応する部分に記録されている記録マークのみが信号とし
て検出される。従って、情報の再生時に生じるクロスト
ークを防止し、さらに情報記録媒体に記録する情報の記
録密度を向上することができる。
【0049】また、上記反射率の差は、ピックアップや
再生装置の性能にもよるが、例えば6%以上、望ましく
は9%以上であり、この場合に、情報が記録されている
か否かによって反射率がはっきりと区別される。なお、
反射率の差が大きいほど、情報の記録状態と未記録状態
とを区別しやすくなる。
【0050】また、上記のように、記録領域では保護膜
24が厚く、分離領域では保護膜24が薄い。このた
め、情報の記録、再生、消去時に発生する熱が、反射膜
25との距離が遠い記録領域ではゆっくりと解放され、
記録マークの記録感度が向上する。一方、反射膜25と
の距離が近い分離領域では、上記熱が早く解放され、隣
接する記録領域への熱の流入が小さくなり、隣接する記
録領域の情報(記録マーク)を消去してしまうクロスイ
レーズが大きく改善される。
【0051】次に、本発明の第3の実施の形態にかかる
情報記録媒体について図面を参照して説明する。情報記
録媒体の構成、各膜の材質、製造方法等は、第1、第2
の実施の形態で示した情報記録媒体と同様である。
【0052】このような情報記録媒体で、例えば、波長
λ1のレーザを使用した場合、凹凸形状の凹部が記録領
域に対応し、凸部が分離領域に対応するように設定し、
波長λ2のレーザを使用した場合、凹凸形状の凹部が分
離領域に対応し、凸部が記録領域に対応するように設定
する。即ち、使用するレーザの波長が異なると、記録領
域と分離領域が入れ替わるように保護膜14、24の厚
さを設定する。このように保護膜14,24の厚さを設
定すると、凹凸形状の凹部、凸部の両方を記録領域とし
て使用することができる。
【0053】以下では、第2の実施の形態で示した情報
記録媒体において、保護膜24の厚さを設定する方法に
ついて説明する。なお、図7に示した情報記録媒体にお
いて、保護膜22にZnS−SiOを、記録膜23に
Ge−Sb−Teを、反射膜25にアルミニウム膜を使
用し、それぞれの膜厚を、150nm、15nm、80
nmとした場合について説明する。なお、保護膜24の
材質は、SiOである。
【0054】図13は、情報記録媒体に、図7中の矢印
27の方向から、波長650nmのレーザを照射し、保
護膜24の厚さを変化させたときの光の反射率と吸収
率、及び、入射光と反射光との位相差の計算結果を示し
ている。また、図14は、情報記録媒体に、図7中の矢
印27の方向から、波長780nmのレーザを照射し、
保護膜24の厚さを変化させたときの光の反射率と吸収
率、及び、入射光と反射光との位相差の計算結果を示し
ている。
【0055】図13に示すように、保護膜24の厚さが
200〜230nmの範囲にあるとき、情報を記録して
いる状態としていない状態での反射率がほぼ等しくな
り、位相差がほぼ0度となる。また、保護膜24の厚さ
が245〜255nmの範囲にあるとき、情報を記録し
ている状態としていない状態での反射率が約30%異な
る。一方、図14では、保護膜24の厚さが245〜2
55nmの範囲にあるとき、情報を記録している状態と
していない状態での反射率がほぼ等しくなり、位相差が
ほぼ0度となる。また、保護膜24の厚さが200〜2
30nmの範囲にあるとき、情報を記録している状態と
していない状態での反射率が約25%異なる。
【0056】以上の計算結果から、保護膜24の厚さ
を、凹部に対応する部分では245〜255nmの範囲
内に設定し、凸部に対応する部分では200〜230n
mの範囲内に設定する。上記のように保護膜24の厚さ
を設定すると、波長650nmのレーザを使用する場
合、凸部が分離領域に対応し、凹部が記録領域に対応す
る。そして、波長780nmのレーザを使用する場合、
凹部が分離領域に対応し、凸部が記録領域に対応する。
即ち、レーザ波長を650nmから780nmに変える
と、分離領域と記録領域の位置が入れ替わる。
【0057】また、図13に示すように、波長650n
mのレーザを使用した場合、記録領域(凹部)におい
て、情報を記録する前の反射率は高く、情報を記録した
後の反射率は低い。一方、図14に示すように、波長7
80nmのレーザを使用した場合、記録領域(凸部)に
おいて、情報を記録する前の反射率は低く、情報を記録
した後の反射率は高い。即ち、情報を記録する前後での
光の反射率の変化の仕方は、波長650nmと780n
mとでは、逆になるということである。従って、波長6
50nmと780nmのレーザを使用した場合、反射率
の変化の仕方によって、それぞれの記録領域を容易に判
別することができる。
【0058】以上のようにして、凹凸形状の凹部、凸部
の両方を記録領域として使用することができ、凹部と凸
部の一方にのみ情報を記録する場合と比べて、2倍の情
報を記録することができる。また、波長650nmのレ
ーザを使用した場合、凹部(波長650nmでの記録領
域)に対応する部分に記録されているマークのみが信号
として検出され、波長780nmのレーザを使用した場
合、凸部(波長780nmでの記録領域)に対応する部
分に記録されているマークのみが信号として検出され
る。従って、情報の再生時に、波長650nmと780
nmの2つのレーザを同時に照射することによって、凹
部と凸部のそれぞれに記録されている情報を同時に読み
出すことができる。これにより、凹部と凸部の一方にの
み情報を記録する場合と同じ再生時間で、2倍の情報を
読み出すことができる。以上のようにして、情報の再生
時に生じるクロストークを防止し、さらに情報記録媒体
に記録する情報の記録密度を向上することができる。た
だし、上記のように、2つの波長のレーザを同時に照射
する場合は、ピックアップや再生装置に各波長の光のみ
を選択的に通過させるフィルタ等を設置しなければなら
ない。
【0059】また、情報の記録及び再生と、情報の消去
には、それぞれ異なる波長のレーザを使用してもよい。
例えば、波長650nmのレーザを使用して凹部(波長
650nmでの記録領域)に情報を記録し、波長650
nmのレーザを使用して凹部の情報を再生する。そし
て、波長780nmのレーザを使用して凹部の情報を消
去する。凹部で波長780nmのレーザを使用した場
合、その吸収率と反射率は、それぞれ情報が記録されて
いるか否かに関わらずほぼ等しくなる。即ち、記録膜3
3に加わる熱が、情報が記録されているか否かに関わら
ずほぼ等しくなり、記録膜23の結晶を均一にすること
ができる。従って、情報(記録マーク)の消し残りが少
ないオーバーライトが可能となる。
【0060】なお、第1の実施の形態で示した情報記録
媒体を使用する場合も、例えば、波長λ1のレーザを使
用した場合、凹凸形状の凹部と凸部がそれぞれ記録領
域、分離領域に対応し、波長λ2のレーザを使用した場
合、凹凸形状の凹部と凸部がそれぞれ分離領域、記録領
域に対応するように保護膜14の膜厚を設定すれば、上
記と同様の効果が得られる。
【0061】なお、上記した保護膜12、22、記録膜
13、23、保護膜14、24、反射膜15、25の素
材は、上記したものに限定されず、上記と同様の機能を
有するものであれば他の素材でもよい。例えば、保護膜
は、酸化アルミニウム、酸化チタン、窒化チタン、窒化
シリコン、酸化シリコン、酸化イットリウム等の透明誘
電体、フォトレジスト、紫外線硬化樹脂等のレジストお
よび、それらの組み合わせでもよい。また、記録膜は、
In−Sb−Te(インジウムとアンチモンとテルルの
化合物)、Ge−Te(ゲルマニウムとテルルの化合
物)等でもよい。また、反射膜は、金、銀、銅等でもよ
い。
【0062】また、第1の実施の形態で示した情報記録
媒体の製造方法は、上記以外でもよい。例えば、第1の
透明基板上に保護膜12と、記録膜13と、保護膜14
を順に形成し、同時に記録領域と分離領域に対応した凹
凸形状を有する第2の透明基板上に、その凹凸形状に沿
って保護膜16と、反射膜15を順に形成し、保護膜1
4と反射膜15とを接着剤の役割をする保護膜で貼り合
わせてもよい。
【0063】また、第2の実施の形態で示した情報記録
媒体の製造方法は、上記以外でもよい。例えば、記録領
域と分離領域に対応した凹凸形状を有する第1の透明基
板上に保護膜22と、記録膜23と、保護膜24を順に
形成し、同時に平坦な第2の透明基板上に、保護膜26
と、反射膜25を順に形成し、保護膜24と反射膜25
とを接着剤の役割をする保護膜で貼り合わせてもよい。
【0064】第1の実施の形態では、保護膜14の凹凸
形状を現像して形成したが、ドライエッチングにより凹
凸形状を形成してもよい。
【0065】また、第2の実施の形態では、凹凸形状を
有する透明基板21上に保護膜22を形成したが、透明
基板21に表面が平坦なものを使用し、その上に形成さ
れる保護膜22にフォトレジスト等のレジストを使用
し、ドライエッチングにより凹凸形状を形成してもよ
い。
【0066】また、第1及び第2の実施の形態では、保
護膜14、24が厚い部分(それぞれ凸部、凹部)を記
録領域としたが、保護膜14、24が薄い部分(それぞ
れ凹部、凸部)を記録領域としてもよい。ただし、情報
が記録されている状態といない状態とで、記録領域では
光の反射率がほぼ等しくなり、分離領域では光の反射率
がはっきりと異なるように、保護膜14、24の厚さを
設定しなければならない。
【0067】また、照射するレーザの波長は情報記録媒
体に記録される情報を扱うのに適したものであれば何で
もよい。ただし、保護膜14、24の厚さは、上記した
ように、情報が記録されているときの反射率と記録され
ていないときの反射率が、記録領域でははっきりと区別
され、分離領域では区別されないように、実験や理論計
算等によって決定されなければならない。
【0068】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
記録領域と分離領域のそれぞれに対応する部分で、保護
膜の厚さを設定する。従って、記録領域では、情報を記
録している状態と記録していない状態がはっきりと区別
され、分離領域では、区別されないように、保護膜の厚
さを設定できる。これにより、隣接する記録領域の情報
も同時に読んでしまうクロストークを低減することがで
き、情報の記録密度を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施の形態にかかる情報記録媒体の構成
を示す概略断面図である。
【図2】図1の情報記録媒体を構成する保護膜14の膜
厚に対する光の反射率と吸収率の計算結果を示してい
る。
【図3】図1の情報記録媒体の製造方法の一工程を説明
するための図である。
【図4】図1の情報記録媒体の製造方法の一工程を説明
するための図である。
【図5】図1の情報記録媒体の製造方法の一工程を説明
するための図である。
【図6】図1の情報記録媒体の製造方法の一工程を説明
するための図である。
【図7】第2の実施の形態にかかる情報記録媒体の構成
を示す概略断面図である。
【図8】図7の情報記録媒体を構成する保護膜24の膜
厚に対する光の反射率と吸収率の計算結果を示してい
る。
【図9】図7の情報記録媒体の製造方法の一工程を説明
するための図である。
【図10】図7の情報記録媒体の製造方法の一工程を説
明するための図である。
【図11】図7の情報記録媒体の製造方法の一工程を説
明するための図である。
【図12】図7の情報記録媒体の製造方法の一工程を説
明するための図である。
【図13】図7の情報記録媒体に波長650nmのレー
ザを照射した場合の、保護膜24の膜厚に対する光の反
射率と吸収率、及び、入射光と反射光の位相差を示す図
である。
【図14】図7の情報記録媒体に波長780nmのレー
ザを照射した場合の、保護膜24の膜厚に対する光の反
射率と吸収率、及び、入射光と反射光の位相差を示す図
である。
【符号の説明】
11、21 透明基板 12、22 保護膜 13、23 記録膜 14、24 保護膜 14a 保護膜 14b 保護膜 15、25 反射膜 16、26 保護膜 17、27 レーザを照射する方向を示す矢印 18 フォトマスク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI G11B 7/26 531 G11B 7/26 531

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】情報を記録する記録膜と、 前記記録膜上に形成され、情報の記録、再生、及び、消
    去を行うための光を反射する反射膜と、 前記記録膜と前記反射膜の間に形成され、情報記録媒体
    の反射率が、情報を記録する記録領域では、前記記録膜
    が情報を記録しているか否かによって異なり、記録領域
    と隣接する記録領域とを分離する分離領域では、前記記
    録膜が情報を記録しているか否かに関わらず実質的に等
    しくなるような膜厚を有する保護膜と、 を備え 前記記録膜の表面は平坦であり、 前記保護膜は、前記記録領域と前記分離領域に対応した
    凹凸形状を有し、 前記反射膜は、前記保護膜と実質的に同一の凹凸形状を
    有する、 ことを特徴とする情報記録媒体。
  2. 【請求項2】情報を記録する記録膜と、 前記記録膜上に形成され、情報の記録、再生、及び、消
    去を行うための光を反射する反射膜と、 前記記録膜と前記反射膜の間に形成され、情報記録媒体
    の反射率が、情報を記録する記録領域では、前記記録膜
    が情報を記録しているか否かによって異なり、記録領域
    と隣接する記録領域とを分離する分離領域では、前記記
    録膜が情報を記録しているか否かに関わらず実質的に等
    しくなるような膜厚を有する保護膜と、 を備え 前記記録膜は、前記記録領域と前記分離領域に対応した
    凹凸形状を有し、 前記保護膜は、前記記録膜の凹凸形状を埋め、平らな表
    面を有し、 前記反射膜は、平坦である、 ことを特徴とする情報記録媒体。
  3. 【請求項3】情報を記録する記録膜と、 前記記録膜上に形成され、情報の記録、再生、及び、消
    去を行うための光を反射する反射膜と、 前記記録膜と前記反射膜の間に形成され、情報記録媒体
    の反射率が、情報を記録する記録領域では、前記記録膜
    が情報を記録しているか否かによって異なり、記録領域
    と隣接する記録領域とを分離する分離領域では、前記記
    録膜が情報を記録しているか否かに関わらず実質的に等
    しくなるような膜厚を有する保護膜と、 を備え 前記保護膜は、前記記録領域と前記分離領域に対応した
    凹凸形状を有し、第1の波長の光を使用した場合、前記
    凹凸形状の凹部では、前記記録膜に情報が記録されてい
    るか否かに関わらず、光の反射率が実質的に等しくな
    り、凸部では、前記記録膜に情報が記録されているか否
    かによって、光の反射率が異なり、第2の波長の光を使
    用した場合、該凹凸形状の凸部では、前記記録膜に情報
    が記録されているか否かに関わらず、光の反射率が実質
    的に等しくなり、凹部では、前記記録膜に情報が記録さ
    れているか否かによって、光の反射率が異なるような膜
    厚を有する、 ことを特徴とする情報記録媒体。
  4. 【請求項4】円状のトラックに情報を記録する記録媒体
    であって、 同心円状に形成された複数の第1のトラックと、 隣接する前記第1のトラックの間に配置された第2のト
    ラックと、から構成され、 第1の波長の光に対して、前記第1のトラックは、情報
    の記録の有無に対応する反射率を有し、前記第2のトラ
    ックは情報の記録の有無にかかわらず実質的に等しい反
    射率を有し、 前記第1の波長と異なる第2の波長の光に対して、前記
    第2のトラックは、情報の記録の有無に対応する反射率
    を有し、第1のトラックは情報の記録の有無にかかわら
    ず実質的に等しい反射率を有し、 前記第1のトラックに対して前記第2のトラックが、情
    報を記録する記録領域と隣接する記録領域とを分離する
    分離領域として機能し、第2のトラックに対して第1の
    トラックが分離領域として機能する、 ことを特徴とする情報記録媒体。
  5. 【請求項5】前記第1及び第2のトラックは、情報を記
    録する記録膜と、保護膜と、光を反射する反射膜と、か
    ら構成され、 前記保護膜は、前記第1の波長の光に対して、前記第1
    のトラックが、情報の記録の有無に対応する反射率を有
    し、前記第2のトラックが情報の記録の有無にかかわら
    ず実質的に等しい反射率を有し、前記第1の波長と異な
    る第2の波長の光に対して、前記第2のトラックが、情
    報の記録の有無に対応する反射率を有し、第1のトラッ
    クが情報の記録の有無にかかわらず実質的に等しい反射
    率を有するような膜厚を有することを特徴とする請求項
    に記載の情報記録媒体。
  6. 【請求項6】情報を記録する記録膜を形成する記録膜形
    成工程と、 前記記録膜上に、情報の記録、再生、及び、消去を行う
    ための光を反射する反射膜を形成する反射膜形成工程
    と、 情報記録媒体の反射率が、情報を記録する記録領域で
    は、前記記録膜が情報を記録しているか否かによって異
    なり、記録領域と隣接する記録領域とを分離する分離領
    域では、前記記録膜が情報を記録しているか否かに関わ
    らず実質的に等しくなるような膜厚を有する保護膜を、
    前記記録膜と前記反射膜の間に形成する保護膜形成工程
    と、 を備え 前記記録膜形成工程は、前記記録領域と前記分離領域に
    対応した凹凸形状を有する記録膜を形成する工程を備
    え、 前記保護膜形成工程は、前記記録膜の凹凸形状を埋め、
    平らな表面を有する保護膜を形成する工程を備え、 前記反射膜形成工程は、平坦な反射膜を形成する工程を
    備える、 ことを特徴とする情報記録媒体の製造方法。
  7. 【請求項7】情報記録媒体に光を照射して情報の記録、
    再生を行う記録・再生方法において、 前記情報記録媒体は、 情報を記録する記録膜と、 前記記録膜上に形成され、情報の記録及び再生を行うた
    めの光を反射する反射膜と、 前記記録膜と前記反射膜の間に形成され、凹凸形状を有
    し、第1の波長の光を使用した場合、該凹凸形状の凹部
    では、前記記録膜に情報が記録されているか否かに関わ
    らず、光の反射率が実質的に等しくなり、凸部では、前
    記記録膜に情報が記録されているか否かによって、光の
    反射率が異なり、第2の波長の光を使用した場合、該凹
    凸形状の凸部では、前記記録膜に情報が記録されている
    か否かに関わらず、光の反射率が実質的に等しくなり、
    凹部では、前記記録膜に情報が記録されているか否かに
    よって、光の反射率が異なるような膜厚を有する保護膜
    と、を備え、 前記情報の記録・再生方法は、 前記保護膜が有する凹凸形状の凸部に相当する部分の情
    報の記録、再生には、前記第1の波長の光を使用し、該
    凹凸形状の凹部に相当する部分の情報の記録、再生に
    は、前記第2の波長の光を使用する、ことを特徴とする
    情報の記録・再生方法。
  8. 【請求項8】情報記録媒体に光を照射して情報を消去す
    る消去方法において、 前記情報記録媒体は、 情報を記録する記録膜と、 前記記録膜上に形成され、情報を消去するための光を反
    射する反射膜と、 前記記録膜と前記反射膜の間に形成され、凹凸形状を有
    し、情報が記録されているか否かに関わらず、第1の波
    長の光を使用した場合には、該凹凸形状の凹部での光の
    反射率が実質的に等しくなり、第2の波長の光を使用し
    た場合、該凹凸形状の凸部での光の反射率が実質的に等
    しくなるような膜厚を有する保護膜と、を備え、 前記情報の消去方法は、 前記保護膜が有する凹凸形状の凹部に相当する部分の情
    報の消去には、前記第1の波長の光を使用し、該凹凸形
    状の凸部に相当する部分の情報の消去には、前記第2の
    波長の光を使用する、 ことを特徴とする情報の消去方法。
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