JP3130920B2 - ２重単色光分光器 - Google Patents
２重単色光分光器Info
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- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 14
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- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 9
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
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- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
-
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
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- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
- G01J2003/1814—Double monochromator
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、光路を画成しかつ第１分散手段を通って中
間スリツトの平面内に描写される入口スリツト、出口ス
リツト、前記中間スリツトが前記出口スリツトの平面内
にそれを通って描写される第２分散手段、および放射方
向に見られるとき前記中間スリツトの前方で前記光路内
に移動可能である第一偏向ミラーを含む２重単色光分光
器に関するものである。
間スリツトの平面内に描写される入口スリツト、出口ス
リツト、前記中間スリツトが前記出口スリツトの平面内
にそれを通って描写される第２分散手段、および放射方
向に見られるとき前記中間スリツトの前方で前記光路内
に移動可能である第一偏向ミラーを含む２重単色光分光
器に関するものである。
［従来の技術］ ２重単色光分光器は、単一の単色光分光器によるよ
り、一定のスリツト幅によるより高いスペクトル解像度
を得るのに役立つ。加えて、迷光は２重単色光分光器に
おいて非常に減少される。
り、一定のスリツト幅によるより高いスペクトル解像度
を得るのに役立つ。加えて、迷光は２重単色光分光器に
おいて非常に減少される。
単一単色光分光器は光源および凹面ミラーを有する光
源ユニツトからなり、それにより光源は適切な単色光分
光器の入口スリツトに描写される。種々の波長、例え
ば、持続波の光がかかる単一単色光分光器において入口
スリツトに衝突する。この光は装置を通る想像的な理論
光路に沿ってのみ走行せず、それにより定義されたスペ
クトル帯域のみが出口スリツトを通過する。実際は、入
口スリツトを通って侵入した光の一定部分は、他の望ま
しくない波長の成分が出口スリツトで所望のスリツト帯
域の他に現れるように、スキヤツタリング等により他の
ルートによつて出口スリツトに達する。実際には、この
成分は多分かなり小さい。しかし、有用な信号対干渉信
号の比は走査された波長範囲の縁部での急速に傾斜する
側部を有する多くの光電受光器の不都合なランプ感度特
性により許容できない方法において低下することができ
る。
源ユニツトからなり、それにより光源は適切な単色光分
光器の入口スリツトに描写される。種々の波長、例え
ば、持続波の光がかかる単一単色光分光器において入口
スリツトに衝突する。この光は装置を通る想像的な理論
光路に沿ってのみ走行せず、それにより定義されたスペ
クトル帯域のみが出口スリツトを通過する。実際は、入
口スリツトを通って侵入した光の一定部分は、他の望ま
しくない波長の成分が出口スリツトで所望のスリツト帯
域の他に現れるように、スキヤツタリング等により他の
ルートによつて出口スリツトに達する。実際には、この
成分は多分かなり小さい。しかし、有用な信号対干渉信
号の比は走査された波長範囲の縁部での急速に傾斜する
側部を有する多くの光電受光器の不都合なランプ感度特
性により許容できない方法において低下することができ
る。
本質的に、所望の波長の光のみが２重単色光分光器の
入口側で単色光分光器の出口スリツトを通過する。迷光
は、再びこの迷光の一定部分のみがスキヤツタリング等
により出口に達するように、出口側で第２の単色光分光
器内で新たな分散を受ける。しかしこの迷光の成分は２
重単色光分光器を通過した後非常に小さい。加えて、有
用な光の新たな分散は、単色光分光器のスペクトル解像
度が一定のスリツト幅により改善されるように生じる。
入口側で単色光分光器の出口スリツトを通過する。迷光
は、再びこの迷光の一定部分のみがスキヤツタリング等
により出口に達するように、出口側で第２の単色光分光
器内で新たな分散を受ける。しかしこの迷光の成分は２
重単色光分光器を通過した後非常に小さい。加えて、有
用な光の新たな分散は、単色光分光器のスペクトル解像
度が一定のスリツト幅により改善されるように生じる。
1987年10月６日に許可された米国特許第4,697,924と
同種の、1985年10月３日に公告されたドイツ連邦共和国
公告特許出願第3,511,676号は第１分散手段により中央
スリツトの平面内に描写される入口スリツト、および出
口スリツトならびにそれにより中央スリツトが出口スリ
ツトの平面内に描写される第２分散手段を含む２重単色
光分光器の４つの構造を記載している。この２重単色光
分光器はまた単一単色光分光器として作動されることが
できる。このため、第１分散手段は、２重単色光分光器
機能に関して、第１分散手段がかつ単一単色光分光器機
能に関して、ミラーがそれぞれ２重単色光分光器の光路
内で枢動されるような方法において、凹面ミラーまたは
平面ミラーにすることができるミラーと共同して回転可
能なベースに配置される。単一単色光分光器機能の場合
においてミラー放射方向に見られるとき中央スリツトの
前方に配置される。
同種の、1985年10月３日に公告されたドイツ連邦共和国
公告特許出願第3,511,676号は第１分散手段により中央
スリツトの平面内に描写される入口スリツト、および出
口スリツトならびにそれにより中央スリツトが出口スリ
ツトの平面内に描写される第２分散手段を含む２重単色
光分光器の４つの構造を記載している。この２重単色光
分光器はまた単一単色光分光器として作動されることが
できる。このため、第１分散手段は、２重単色光分光器
機能に関して、第１分散手段がかつ単一単色光分光器機
能に関して、ミラーがそれぞれ２重単色光分光器の光路
内で枢動されるような方法において、凹面ミラーまたは
平面ミラーにすることができるミラーと共同して回転可
能なベースに配置される。単一単色光分光器機能の場合
においてミラー放射方向に見られるとき中央スリツトの
前方に配置される。
この公知の構造において、ミラーは単一単色光分光器
機能に関して光路内の第１分散手段にとつて代わる。し
たがつて、偏向ミラーの枢動運動はまた分散手段を枢動
しかつ該分散手段を関連の波長駆動手段から外すことを
要求する。
機能に関して光路内の第１分散手段にとつて代わる。し
たがつて、偏向ミラーの枢動運動はまた分散手段を枢動
しかつ該分散手段を関連の波長駆動手段から外すことを
要求する。
1988年６月１日に公告されたドイツ連邦共和国公告特
許出願第3,640,044号は、例えば、調整可能な赤外線レ
ーザの光路に関連して単一の単色光分光器を含んでいる
単色光分光器装置に関する。光路は入口ダイアフラムお
よび出口ダイアフラムを含んでいる偏向構体ハウジング
にたいして横方向に延在する。第１および第２偏向ミラ
ーはそれらの間に配置されかつ互いに垂直に配置され
る。第２偏向ミラーは光路に関連して第１ミラーから横
方向にずれている。第１偏向ミラーが到来ビームを単色
光分光器に偏向し、該単色光分光器が出口ビームを、検
出器に至る光路に、第２偏向ミラーにおいて偏向された
出口ビームを通すために出口ダイアフラムに続いて配置
されたさらに他の偏向ミラーに向ける。
許出願第3,640,044号は、例えば、調整可能な赤外線レ
ーザの光路に関連して単一の単色光分光器を含んでいる
単色光分光器装置に関する。光路は入口ダイアフラムお
よび出口ダイアフラムを含んでいる偏向構体ハウジング
にたいして横方向に延在する。第１および第２偏向ミラ
ーはそれらの間に配置されかつ互いに垂直に配置され
る。第２偏向ミラーは光路に関連して第１ミラーから横
方向にずれている。第１偏向ミラーが到来ビームを単色
光分光器に偏向し、該単色光分光器が出口ビームを、検
出器に至る光路に、第２偏向ミラーにおいて偏向された
出口ビームを通すために出口ダイアフラムに続いて配置
されたさらに他の偏向ミラーに向ける。
ドイツ連邦共和国公告特許出願第3,443,727号から、
像および波長走査用単色光分光器が知られている。その
中で、測定ダイアフラムは、走査のために、検出器に至
りかつレンズを含んでいる光路に対して横方向に移動可
能である。光学偏向手段は光路内に挿入されることがで
きかつ波長走査のために単一単色光分光器を通って延在
する光路上に到来光偏向するミラーを含むことができ
る。この装置は予め定めた光路から離してかつ単一単色
光分光器を通って光路上に戻して光を受けるために２つ
の移動可能に配置された偏向ミラーを利用する。
像および波長走査用単色光分光器が知られている。その
中で、測定ダイアフラムは、走査のために、検出器に至
りかつレンズを含んでいる光路に対して横方向に移動可
能である。光学偏向手段は光路内に挿入されることがで
きかつ波長走査のために単一単色光分光器を通って延在
する光路上に到来光偏向するミラーを含むことができ
る。この装置は予め定めた光路から離してかつ単一単色
光分光器を通って光路上に戻して光を受けるために２つ
の移動可能に配置された偏向ミラーを利用する。
1978年７月25日に付与されたアメリカ合衆国特許第4,
102,576号は第１分散手段により中央スリツトの平面内
に描写される入口スリツト、および出口スリツトならび
にそれにより中央スリツトが出口スリツトの平面内に描
写される第２分散手段を含む２重単色光分光器に関す
る。スリツトはクサビによつて相対的に移動可能である
２枚のスリツト板において形成されるそれぞれのスリツ
トジヨウによつて画成される。この方法において、各々
の２重単色光分光器用の最適な出口帯域幅が調整される
ことができる。
102,576号は第１分散手段により中央スリツトの平面内
に描写される入口スリツト、および出口スリツトならび
にそれにより中央スリツトが出口スリツトの平面内に描
写される第２分散手段を含む２重単色光分光器に関す
る。スリツトはクサビによつて相対的に移動可能である
２枚のスリツト板において形成されるそれぞれのスリツ
トジヨウによつて画成される。この方法において、各々
の２重単色光分光器用の最適な出口帯域幅が調整される
ことができる。
1979年７月26日に公告されたドイツ連邦共和国公告特
許出願第2,730,613号は屈折格子を含んでいる入力単色
光分光器および屈折格子を含んでいる主単色光分光器を
収容する２重単色光分光器に関する。入力単色光分光器
は主単色光分光器の入口スリツトにおいて光源を描写す
る。フイルタ輪は光源と入力単色光分光器との間に配置
される。屈折格子およびフイルタ輪は、とくに入力単色
光分光器の屈折格子が直線サーボ駆動装置によつて駆動
されることができるような方法において波長駆動装置に
結合される。
許出願第2,730,613号は屈折格子を含んでいる入力単色
光分光器および屈折格子を含んでいる主単色光分光器を
収容する２重単色光分光器に関する。入力単色光分光器
は主単色光分光器の入口スリツトにおいて光源を描写す
る。フイルタ輪は光源と入力単色光分光器との間に配置
される。屈折格子およびフイルタ輪は、とくに入力単色
光分光器の屈折格子が直線サーボ駆動装置によつて駆動
されることができるような方法において波長駆動装置に
結合される。
1983年12月１日に公告されたドイツ連邦共和国公告特
許出願第3,113,984号に記載された開発においては、第
２光源が設けられかつフイルタ輪が、入力単色光分光器
の光路に、第２光源によつて放出される反射光用平面ミ
ラーを収容するフイルタスライドとして構成される。
許出願第3,113,984号に記載された開発においては、第
２光源が設けられかつフイルタ輪が、入力単色光分光器
の光路に、第２光源によつて放出される反射光用平面ミ
ラーを収容するフイルタスライドとして構成される。
1982年１月12日に付与されたアメリカ合衆国特許第4,
310,244号はその第４図に関連して球状ミラーと協働す
る２つの屈折格子を収容する単一単色光分光器を記載し
ている。２つの予め定めた位置を取ることができるミラ
ーは屈折格子の中間に配置される。ミラーの第１位置に
おいて、球状ミラーから生じる光は第１屈折格子に導か
れかつミラーの第２位置においてこの光は第２屈折格子
に向けられる。ミラーの調節は単一単色光分光器が波長
範囲の制御に依存して第１または第２屈折格子を選択的
に使用して作動されるように波長駆動装置と結合され
る。
310,244号はその第４図に関連して球状ミラーと協働す
る２つの屈折格子を収容する単一単色光分光器を記載し
ている。２つの予め定めた位置を取ることができるミラ
ーは屈折格子の中間に配置される。ミラーの第１位置に
おいて、球状ミラーから生じる光は第１屈折格子に導か
れかつミラーの第２位置においてこの光は第２屈折格子
に向けられる。ミラーの調節は単一単色光分光器が波長
範囲の制御に依存して第１または第２屈折格子を選択的
に使用して作動されるように波長駆動装置と結合され
る。
２重単色光分光器の使用は迷光の量を減少しかつ単色
光分光器のスペクトル解像度を増大する。しかし２重単
色光分光器は光の損失を伴う。迷光の抑制および単色光
分光器のスペクトル解像度の増大が必須である場合があ
る。しかしまた単色光分光器を通過する光束の増加が高
いスペクトル解像度を犠牲にすることにより十分な信号
を発生するのに望まれる場合がある。
光分光器のスペクトル解像度を増大する。しかし２重単
色光分光器は光の損失を伴う。迷光の抑制および単色光
分光器のスペクトル解像度の増大が必須である場合があ
る。しかしまた単色光分光器を通過する光束の増加が高
いスペクトル解像度を犠牲にすることにより十分な信号
を発生するのに望まれる場合がある。
［発明の開示］ 本発明の目的は、簡単な方法においてかつスリツト幅
の再調整なしに、任意に迷光の良好な抑制および比較的
低い光束を受容する高いスペクトル解像度により、また
はより低い解像度を受容する増大された光束（最初に述
べた作動モードに比して）により作動するような方法に
おいて上述した型式の２重単色光分光器を設計すること
にある。
の再調整なしに、任意に迷光の良好な抑制および比較的
低い光束を受容する高いスペクトル解像度により、また
はより低い解像度を受容する増大された光束（最初に述
べた作動モードに比して）により作動するような方法に
おいて上述した型式の２重単色光分光器を設計すること
にある。
本発明によれば、この目的は、（ａ）第２偏向ミラー
が、第１および第２分散手段から独立して、放射方向に
見られるとき、第１偏向ミラーと共同してかつ出口スリ
ツトに続いて光路内に移動可能であり、そして（ｂ）追
加のスリツトが両偏向ミラー間に配置されることによつ
て達成される。
が、第１および第２分散手段から独立して、放射方向に
見られるとき、第１偏向ミラーと共同してかつ出口スリ
ツトに続いて光路内に移動可能であり、そして（ｂ）追
加のスリツトが両偏向ミラー間に配置されることによつ
て達成される。
この方法において入口側第１分散手段を備えた装置は
単一単色光分光器として使用されることができる。
単一単色光分光器として使用されることができる。
光路は中間スリツトの前方で偏向されかつ通常出口ス
リツトから出る光ビームの方向に出口スリツトの後ろで
偏向される。追加のスリツトはこの単一単色光分光器の
出口スリツトとして役立つ。かくして、増大した光束は
げんじられたスペクトル解像度を結果として生じる。偏
向ミラーが光路から移動されるとき、装置は通常の方法
において増大したスペクトル範囲および増大した迷光の
抑制を有するが減じられた光束を有する２重単色光分光
器として作動する。
リツトから出る光ビームの方向に出口スリツトの後ろで
偏向される。追加のスリツトはこの単一単色光分光器の
出口スリツトとして役立つ。かくして、増大した光束は
げんじられたスペクトル解像度を結果として生じる。偏
向ミラーが光路から移動されるとき、装置は通常の方法
において増大したスペクトル範囲および増大した迷光の
抑制を有するが減じられた光束を有する２重単色光分光
器として作動する。
本発明の好適な実施例において中間スリツトおよび出
口スリツトを通過する光ビームのビーム軸線が非平行で
ある。それはビーム軸線が幾何学的に平行であるが光ビ
ームの走行方向が互いに反対であることを意味する。光
路内で移動されることができる偏向ミラーの平面が直角
を形成する。それにより、光路内で移動されない偏向ミ
ラーにより、中間スリツトに向けられる光ビームが出口
スリツトを通過する光ビームの軸線に沿って反射され
る。好ましくは、光路に移動される偏向ミラーは光ビー
ムのビーム軸線と45゜の角度を形成する。出口スリツト
の後ろで光路内に移動される偏向ミラーは前記出口スリ
ツトを通過する光ビームのビーム軸線と135゜の角度を
形成する。偏向ミラーは、非平行光ビームの距離の半分
に等しい距離において、それぞれ中間スリツトの前方で
または前記出口スリツトの後ろで光路内に移動されるこ
とができる。追加のスリツトは非平行光ビーム間の中心
に配置される。中間スリツトの前方で光ビームは装置が
単一の単色光分光器として作動するとき90゜だけ偏向さ
れる。光ビームは追加のスリツトを通過する。この追加
のスリツトでのビームジオメトリは中間スリツトでのジ
オメトリと同一である。光ビームは再び第２偏向ミラー
によって90゜だけずらされる。その場合に光ビームは２
重単色光分光器作動において出口スリツトから出る光ビ
ームの軸線に沿って走行する。
口スリツトを通過する光ビームのビーム軸線が非平行で
ある。それはビーム軸線が幾何学的に平行であるが光ビ
ームの走行方向が互いに反対であることを意味する。光
路内で移動されることができる偏向ミラーの平面が直角
を形成する。それにより、光路内で移動されない偏向ミ
ラーにより、中間スリツトに向けられる光ビームが出口
スリツトを通過する光ビームの軸線に沿って反射され
る。好ましくは、光路に移動される偏向ミラーは光ビー
ムのビーム軸線と45゜の角度を形成する。出口スリツト
の後ろで光路内に移動される偏向ミラーは前記出口スリ
ツトを通過する光ビームのビーム軸線と135゜の角度を
形成する。偏向ミラーは、非平行光ビームの距離の半分
に等しい距離において、それぞれ中間スリツトの前方で
または前記出口スリツトの後ろで光路内に移動されるこ
とができる。追加のスリツトは非平行光ビーム間の中心
に配置される。中間スリツトの前方で光ビームは装置が
単一の単色光分光器として作動するとき90゜だけ偏向さ
れる。光ビームは追加のスリツトを通過する。この追加
のスリツトでのビームジオメトリは中間スリツトでのジ
オメトリと同一である。光ビームは再び第２偏向ミラー
によって90゜だけずらされる。その場合に光ビームは２
重単色光分光器作動において出口スリツトから出る光ビ
ームの軸線に沿って走行する。
第１および第２分散手段は同一の格子単色光分光器で
ある。これは追加のスリツトを通過しかつ偏向ミラーか
らずれている光ビームのビームジオメトリが２重単色光
分光器作動において出口スリツトから出る光ビームのビ
ームジオメトリと本質的に同一であることを保証する。
ある。これは追加のスリツトを通過しかつ偏向ミラーか
らずれている光ビームのビームジオメトリが２重単色光
分光器作動において出口スリツトから出る光ビームのビ
ームジオメトリと本質的に同一であることを保証する。
以下に、本発明の実施例を添付図面に基づき詳細に説
明する。
明する。
［実施例］ 光ビーム10は光源12から出る、光ビーム10は筒状ミラ
ー16および球状ミラー18を介して球状ミラー14によつて
入口スリツト20上に焦点合わせされる。入口スリツト20
を通過する光は光ビーム22を形成する。光ビーム22は球
状ミラー24によつて平行にされる。その方法において得
られた平行光ビーム26は格子28に衝突する。該格子28は
公知の方法において分散を行う。平行光ビームは格子28
に対して種々の角度でかつ種々の波長で形成される。か
かる平行光ビーム30のみが図面に示される。光ビーム30
は再び球状ミラー24に衝突する。球状ミラー24は中間ス
リツト34上で収束光ビーム32において平行光ビームの光
を焦点合わせする。球状ミラー24および格子28は、その
出口が中間スリツトによつて形成される第１格子単色光
分光器36を形成する。この第１格子単色光分光器は上述
された「第１分散手段」を示す。
ー16および球状ミラー18を介して球状ミラー14によつて
入口スリツト20上に焦点合わせされる。入口スリツト20
を通過する光は光ビーム22を形成する。光ビーム22は球
状ミラー24によつて平行にされる。その方法において得
られた平行光ビーム26は格子28に衝突する。該格子28は
公知の方法において分散を行う。平行光ビームは格子28
に対して種々の角度でかつ種々の波長で形成される。か
かる平行光ビーム30のみが図面に示される。光ビーム30
は再び球状ミラー24に衝突する。球状ミラー24は中間ス
リツト34上で収束光ビーム32において平行光ビームの光
を焦点合わせする。球状ミラー24および格子28は、その
出口が中間スリツトによつて形成される第１格子単色光
分光器36を形成する。この第１格子単色光分光器は上述
された「第１分散手段」を示す。
中間スリツト34を通過する光ビーム38は球状ミラー40
に衝突する。球状ミラー40は光ビーム38を平行にする。
該光ビーム38は平行光ビーム42として第２格子44に衝突
する。光の第２の球状分散が再び格子44において発生す
る。ここで観察される平行光ビーム46は再び球状ミラー
40に衝突する。球状ミラー40は、出口スリツト50に焦点
合わせされる収束光ビーム48を発生する。中間スリツト
34を貫通する光ビーム32および38、および光ビーム48の
ビーム軸線は52または54としてそれぞれ示される。ビー
ム軸線52および54は互いに非平行であり、すなわち、両
方のビーム軸線52および54は幾何学的に平行であるが、
両方のビーム軸線52および54に沿う光の走行方向は互い
に反対である。入口スリツト20、中間スリツト34および
出口スリツト50はビーム32,38または48のビーム軸線52
および54に対して垂直に延在する共通平面56内に配置さ
れる。
に衝突する。球状ミラー40は光ビーム38を平行にする。
該光ビーム38は平行光ビーム42として第２格子44に衝突
する。光の第２の球状分散が再び格子44において発生す
る。ここで観察される平行光ビーム46は再び球状ミラー
40に衝突する。球状ミラー40は、出口スリツト50に焦点
合わせされる収束光ビーム48を発生する。中間スリツト
34を貫通する光ビーム32および38、および光ビーム48の
ビーム軸線は52または54としてそれぞれ示される。ビー
ム軸線52および54は互いに非平行であり、すなわち、両
方のビーム軸線52および54は幾何学的に平行であるが、
両方のビーム軸線52および54に沿う光の走行方向は互い
に反対である。入口スリツト20、中間スリツト34および
出口スリツト50はビーム32,38または48のビーム軸線52
および54に対して垂直に延在する共通平面56内に配置さ
れる。
球状ミラー40および格子44は第２単色光分光器58を形
成する。この第２格子単色光分光器は「第２分散手段」
を形成する。
成する。この第２格子単色光分光器は「第２分散手段」
を形成する。
出口スリツト50を通過する分散光ビーム58は偏向ミラ
ー60によつて偏向されかつ分光光度計のサンプルおよび
検出器ユニツトに通る。このサンプルおよび検出器ユニ
ツトはそれ自体公知でありかつここでは詳細に例示され
ない。サンプルおよび検出器ユニツトは総括的に符号62
を備えている。
ー60によつて偏向されかつ分光光度計のサンプルおよび
検出器ユニツトに通る。このサンプルおよび検出器ユニ
ツトはそれ自体公知でありかつここでは詳細に例示され
ない。サンプルおよび検出器ユニツトは総括的に符号62
を備えている。
これまで説明された装置は本質的には公知である。
本発明によれば中間スリツト34の前方の第１偏向ミラ
ー64は移動手段65によって光路内に移動、例えば枢動さ
れることができる。同様な方法において、出口スリツト
50の後ろの第２偏向ミラー66が移動手段65によって光路
内に移動されることができる。偏向ミラー64は光ビーム
32のビーム軸線52と45゜の角度を形成する。それゆえ、
光ビーム32は中間スリツト34の前方において直角に偏向
される。次いで光ビームは第２偏向ミラー66に衝突す
る。第２偏向ミラー66は２重単色光分光器作動において
出口スリツト50を通過する光ビーム48のビーム軸線54と
135゜の角度を形成する。それにより、偏向された光ビ
ーム68は第２偏向ミラー66により90゜だけ再び偏光され
る。次いで光ビーム68は光ビーム48の軸線54に沿ってこ
れと同一方向に走行する。この方法において光ビームは
また偏向ミラー60により分光光度計のサンプルおよび検
出器ユニツト62に向けられる。追加のスリツト70が偏向
ミラー64および66との間に配置される。
ー64は移動手段65によって光路内に移動、例えば枢動さ
れることができる。同様な方法において、出口スリツト
50の後ろの第２偏向ミラー66が移動手段65によって光路
内に移動されることができる。偏向ミラー64は光ビーム
32のビーム軸線52と45゜の角度を形成する。それゆえ、
光ビーム32は中間スリツト34の前方において直角に偏向
される。次いで光ビームは第２偏向ミラー66に衝突す
る。第２偏向ミラー66は２重単色光分光器作動において
出口スリツト50を通過する光ビーム48のビーム軸線54と
135゜の角度を形成する。それにより、偏向された光ビ
ーム68は第２偏向ミラー66により90゜だけ再び偏光され
る。次いで光ビーム68は光ビーム48の軸線54に沿ってこ
れと同一方向に走行する。この方法において光ビームは
また偏向ミラー60により分光光度計のサンプルおよび検
出器ユニツト62に向けられる。追加のスリツト70が偏向
ミラー64および66との間に配置される。
第１偏向ミラー64は非平行光ビーム32および58の距離
の半分に対応する距離において中間スリツト34の前方で
光路内に移動されることができる。第２偏向ミラー66は
非平行光ビーム32および58の距離の半分に対応する距離
において出口スリツト50の後ろで光路内に移動されるこ
とができる。追加のスリツト70は非平行光ビーム32およ
び48間の中間に配置される。この方法においてサンプル
および検出器に向けられる光ビームのジオメトリは本質
的に単一単色光分光器作動におけると同様に２重単色光
分光器作動において同一である。
の半分に対応する距離において中間スリツト34の前方で
光路内に移動されることができる。第２偏向ミラー66は
非平行光ビーム32および58の距離の半分に対応する距離
において出口スリツト50の後ろで光路内に移動されるこ
とができる。追加のスリツト70は非平行光ビーム32およ
び48間の中間に配置される。この方法においてサンプル
および検出器に向けられる光ビームのジオメトリは本質
的に単一単色光分光器作動におけると同様に２重単色光
分光器作動において同一である。
第１図は２重単色光分光器または単一単色光分光器とし
て任意に使用されることができる２重単色光分光器の光
路を、作動モード「２重単色光分光器」において示す説
明図、 第２図は作動モード「単一単色光分光器」において第１
図の光路の１部分を示す説明図である。 図中、符号20は入口スリツト、32,38,48,53は光ビー
ム、34は中間スリツト、36,58は分散手段（格子単色光
分光器）、50は出口スリツト、56は平面、64,66は偏向
ミラー、70は追加のスリツトである。
て任意に使用されることができる２重単色光分光器の光
路を、作動モード「２重単色光分光器」において示す説
明図、 第２図は作動モード「単一単色光分光器」において第１
図の光路の１部分を示す説明図である。 図中、符号20は入口スリツト、32,38,48,53は光ビー
ム、34は中間スリツト、36,58は分散手段（格子単色光
分光器）、50は出口スリツト、56は平面、64,66は偏向
ミラー、70は追加のスリツトである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−165022（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−206734（ＪＰ，Ａ) 特開 昭51−78380（ＪＰ，Ａ) 実開 昭57−41133（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭34−8293（ＪＰ，Ｂ１) 特公 昭34−396（ＪＰ，Ｂ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01J 3/00 - 3/52 ＥＰＡＴ（ＱＵＥＳＴＥＬ) ＷＰＩ／Ｌ（ＱＵＥＳＴＥＬ)
Claims (5)
- 【請求項１】第１の入口スリット、第１の分散要素、第
１の出口スリット、および該第１の出口スリットを通過
する光ビームのビーム軸線を定める手段を備えた第１分
散手段と、 第２の入口スリット、第２の分散要素、第２の出口スリ
ット、および該第２の出口スリットを所定の光線通路に
沿って通過する光ビームのビーム軸線を定める手段を備
えた第２分散手段と、 前記第１分散手段と前記第２分散手段との中間に位置
し、前記第１の出口スリットおよび前記第２の入口スリ
ットに相当する中間スリットと、 第１偏向手段と、 第２偏向手段と、 前記第１偏向手段と前記第２偏向手段との間に配置され
た追加スリット手段と、 を備え、 前記第１偏向手段と前記第２偏向手段と前記追加スリッ
ト手段とがそれぞれ非稼動位置にあるとき、２重単色光
分光器となり、 前記第１偏向手段と前記第２偏向手段と前記追加スリッ
ト手段とがそれぞれ稼動位置にあるとき、前記中間スリ
ットに向かって放射される前記光ビームが前記第１偏向
手段により偏向され、前記追加スリット手段を通過し、
前記第２偏向手段により再び偏向されて前記第２分散手
段によって定められた前記所定の光線通路に沿って進む
単一単色分光器となり、 前記第１偏向手段と前記第２偏向手段と前記追加スリッ
ト手段とは、前記非稼動位置および前記稼動位置の間で
独立に移動可能であることを特徴とする２重単色光分光
器。 - 【請求項２】前記中間スリットを通過する光ビームと前
記第２の出口スリットを通過する光ビームとが互いに非
平行であり、それぞれ所定の距離を保ち、 前記第１偏向手段および前記第２偏向手段が互いに直角
に形成される平面偏向手段を備えたことを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の２重単色光分光器。 - 【請求項３】前記稼動位置で、 前記第１偏向手段が放射方向から見て前記中間スリット
に前に位置し、前記第２分散手段によって定められた前
記光ビームのビーム軸線と45度の角度をなし、 前記第２偏向手段が放射方向から見て前記第２の出口ス
リットの後ろに位置し、前記第２分散手段によって定め
られた前記光ビームのビーム軸線と45度の角度をなし、 前記第１偏向手段および前記第２偏向手段がそれぞれ前
記中間スリットの前および前記第２の出口スリットの後
ろに、前記非平行光ビームの前記所定の距離の半分の距
離で位置し、 前記追加スリットが前記非平行光ビーム間の中間に位置
したことを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の２重
単色光分光器。 - 【請求項４】前記中間スリットおよび前記第２の出口ス
リットが前記非平行光ビームのビーム軸に対して垂直な
平面内に位置されることを特徴とする特許請求の範囲第
３項記載の２重単色光分光器。 - 【請求項５】前記第１分散手段および前記第２分散手段
が独立に同一の格子単色光分光器であることを特徴とす
る特許請求の範囲第３項記載の２重単色光分光器。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3937599A DE3937599C2 (de) | 1989-11-11 | 1989-11-11 | Doppelmonochromator |
| DE3937599.4 | 1989-11-11 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03210435A JPH03210435A (ja) | 1991-09-13 |
| JP3130920B2 true JP3130920B2 (ja) | 2001-01-31 |
Family
ID=6393359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02302833A Expired - Lifetime JP3130920B2 (ja) | 1989-11-11 | 1990-11-09 | ２重単色光分光器 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5157456A (ja) |
| EP (1) | EP0427966A3 (ja) |
| JP (1) | JP3130920B2 (ja) |
| DE (1) | DE3937599C2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4410036B4 (de) * | 1994-03-23 | 2004-09-02 | Berthold Gmbh & Co. Kg | Zweistrahl-Polychromator |
| DE10205142B4 (de) * | 2002-02-07 | 2004-01-15 | Gesellschaft zur Förderung angewandter Optik, Optoelektronik, Quantenelektronik und Spektroskopie e.V. | Anordnung und Verfahren zur Wellenlängenkalibration bei einem Echelle-Spektrometer |
| EP1378734B1 (de) * | 2002-07-06 | 2004-12-15 | Acterna Germany GmbH | Optisches Spektrometer mit mehreren spektralen Bandbreiten |
| US20090040614A1 (en) * | 2007-08-07 | 2009-02-12 | Hammond Michael J | Dispersive Filter |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5267343A (en) * | 1975-10-27 | 1977-06-03 | Hitachi Ltd | Double spectroscope |
| DE2730613C3 (de) * | 1977-07-07 | 1980-04-03 | Bodenseewerk Perkin-Elmer & Co Gmbh, 7770 Ueberlingen | Doppelmonochromator |
| JPS54154386A (en) * | 1978-05-26 | 1979-12-05 | Hitachi Ltd | Double spectroscope |
| GB2043288B (en) * | 1979-03-02 | 1983-01-26 | Pye Electronic Prod Ltd | Ebert monochromator |
| JPS57161534A (en) * | 1981-03-31 | 1982-10-05 | Hitachi Ltd | Device for spectroscopic analysis |
| DE3143984A1 (de) * | 1981-11-05 | 1983-05-11 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Feuchtigkeits-fuehlelement. |
| JPS5887431A (ja) * | 1981-11-20 | 1983-05-25 | Hitachi Ltd | 複分光器 |
| JPS60207018A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-18 | Shimadzu Corp | モノクロメ−タ |
| DE3443727C2 (de) * | 1984-11-30 | 1990-08-02 | C. Reichert Optische Werke Ag, Wien | Mikroskopphotometer für Bildscanning und Wellenlängenscanning |
| DE3640044A1 (de) * | 1986-11-24 | 1988-06-01 | Fraunhofer Ges Forschung | Monochromatoranordnung |
| JPH02108928A (ja) * | 1988-10-18 | 1990-04-20 | Hitachi Ltd | 分光光度計 |
-
1989
- 1989-11-11 DE DE3937599A patent/DE3937599C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1990
- 1990-10-15 EP EP19900119716 patent/EP0427966A3/de not_active Withdrawn
- 1990-11-09 JP JP02302833A patent/JP3130920B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1990-12-10 US US07/625,277 patent/US5157456A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3937599A1 (de) | 1991-05-16 |
| EP0427966A2 (de) | 1991-05-22 |
| DE3937599C2 (de) | 2002-01-24 |
| JPH03210435A (ja) | 1991-09-13 |
| EP0427966A3 (en) | 1992-01-15 |
| US5157456A (en) | 1992-10-20 |
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