JPH07128146A - 分光計 - Google Patents
分光計Info
- Publication number
- JPH07128146A JPH07128146A JP29890993A JP29890993A JPH07128146A JP H07128146 A JPH07128146 A JP H07128146A JP 29890993 A JP29890993 A JP 29890993A JP 29890993 A JP29890993 A JP 29890993A JP H07128146 A JPH07128146 A JP H07128146A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slit
- optical system
- light
- wave number
- focal length
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 波数分解能を積極的に可変するときにその波
数分解能に応じた波数範囲に制御し、波数分解能によら
ずスリット入射光量を有効に利用する。 【構成】 スリット10は制御系4からの制御でスリッ
ト幅可変機構11によってスリット幅が可変される。コ
リメート光学系12はスリット10を通過した観測光1
00を平行光に戻し、制御系4からの制御で分散素子回
転機構14によって回転される分散素子13に出射す
る。分散素子13で分光された観測光100は制御系4
からの制御で焦点距離可変機構16によって焦点距離が
可変される結像光学系15によって検出器17に結像さ
れる。 【効果】 スリット10のスリット幅及び結像光学系1
5の焦点距離を制御することで、波数分解能に応じた波
数範囲に制御し、波数分解能によらずスリット入射光量
を有効に利用することができる。
数分解能に応じた波数範囲に制御し、波数分解能によら
ずスリット入射光量を有効に利用する。 【構成】 スリット10は制御系4からの制御でスリッ
ト幅可変機構11によってスリット幅が可変される。コ
リメート光学系12はスリット10を通過した観測光1
00を平行光に戻し、制御系4からの制御で分散素子回
転機構14によって回転される分散素子13に出射す
る。分散素子13で分光された観測光100は制御系4
からの制御で焦点距離可変機構16によって焦点距離が
可変される結像光学系15によって検出器17に結像さ
れる。 【効果】 スリット10のスリット幅及び結像光学系1
5の焦点距離を制御することで、波数分解能に応じた波
数範囲に制御し、波数分解能によらずスリット入射光量
を有効に利用することができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は分光計に関し、特に分光
計の波数分解能の可変制御に関する。
計の波数分解能の可変制御に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、分光計においては、観測光を通過
させるスリット機構と、このスリット機構を通過した観
測光を平行光に変換するコリメート光学系と、平行光を
分光する分散素子と、分散素子で分光された観測光を結
像する結像光学系と、結像光学系によって結像された観
測光を測定する検出器とから構成されている。
させるスリット機構と、このスリット機構を通過した観
測光を平行光に変換するコリメート光学系と、平行光を
分光する分散素子と、分散素子で分光された観測光を結
像する結像光学系と、結像光学系によって結像された観
測光を測定する検出器とから構成されている。
【0003】この分光計においては、その波数分解能が
入射スリット幅とコリメート光学系の焦点距離と結像光
学系の焦点距離と検出器サイズとによって決定されるよ
うになっている。ここで、波数とは波長の逆数である。
入射スリット幅とコリメート光学系の焦点距離と結像光
学系の焦点距離と検出器サイズとによって決定されるよ
うになっている。ここで、波数とは波長の逆数である。
【0004】上記の分光計において波数走査を行う際
に、その波数によって波数分解能が変化することを補償
するために波数に応じてスリット機構のスリット幅を自
動的に可変する技術がある。
に、その波数によって波数分解能が変化することを補償
するために波数に応じてスリット機構のスリット幅を自
動的に可変する技術がある。
【0005】この場合、スリット幅を自動的に可変する
ことで所望の波数分解能が得られるようになっている
が、波数分解能を積極的に可変することを想定したもの
ではない。上記の技術については特開昭59−2206
20号公報に詳述されている。
ことで所望の波数分解能が得られるようになっている
が、波数分解能を積極的に可変することを想定したもの
ではない。上記の技術については特開昭59−2206
20号公報に詳述されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の分光計
では、コリメート光学系及び結像光学系の焦点距離を固
定し、スリット機構のスリット幅を調整することで所望
の波数分解能が得られるようにしているが、波数分解能
を積極的に可変することを想定していない。
では、コリメート光学系及び結像光学系の焦点距離を固
定し、スリット機構のスリット幅を調整することで所望
の波数分解能が得られるようにしているが、波数分解能
を積極的に可変することを想定していない。
【0007】また、アレイ検出器によって同時に複数の
波数を測定する分光計の場合、出射スリットに相当する
アレイ検出器の各素子の幅が一定である。そのため、こ
の分光計の波数分解能を入射スリットのみによって可変
しようとすると、分散素子の出射角の広がりによって検
出器サイズが制限される。
波数を測定する分光計の場合、出射スリットに相当する
アレイ検出器の各素子の幅が一定である。そのため、こ
の分光計の波数分解能を入射スリットのみによって可変
しようとすると、分散素子の出射角の広がりによって検
出器サイズが制限される。
【0008】すなわち、検出器サイズは分散素子の出射
角の広がりが、入射スリットが最小の場合の分散素子に
対する入射角の広がりと同程度か、小さくなるようなサ
イズとしなければならない。
角の広がりが、入射スリットが最小の場合の分散素子に
対する入射角の広がりと同程度か、小さくなるようなサ
イズとしなければならない。
【0009】上記の分光計を低波数分解能で用いた場
合、アレイ検出器で同時に測定できる波数範囲が上記の
分光計を高波数分解能で用いた場合と同じになってしま
うという問題がある。
合、アレイ検出器で同時に測定できる波数範囲が上記の
分光計を高波数分解能で用いた場合と同じになってしま
うという問題がある。
【0010】また、上記の分光計を低波数分解能で用い
た場合には、同一波数がアレイ検出器の検出面上で検出
器サイズ以上に広がって結像するため、アレイ検出器の
各素子がスリット入射光量を有効に利用できないという
問題もある。
た場合には、同一波数がアレイ検出器の検出面上で検出
器サイズ以上に広がって結像するため、アレイ検出器の
各素子がスリット入射光量を有効に利用できないという
問題もある。
【0011】そこで、本発明の目的は上記問題点を解消
し、波数分解能を積極的に可変するときにその波数分解
能に応じた波数範囲に制御することができ、波数分解能
によらずスリット入射光量を有効に利用することができ
る分光計を提供することにある。
し、波数分解能を積極的に可変するときにその波数分解
能に応じた波数範囲に制御することができ、波数分解能
によらずスリット入射光量を有効に利用することができ
る分光計を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明による分光計は、
スリット機構と、前記スリット機構を通過した観測光を
平行光に変換するコリメート光学系と、前記平行光を分
光する分散素子と、前記分散素子で分光された観測光を
結像する結像光学系と、前記結像光学系によって結像さ
れた観測光を測定する検出装置とを含む分光計であっ
て、前記平行光の前記分散素子に対する入射角の広がり
範囲を可変する入射角可変手段と、前記分散素子で分光
された観測光の出射角の広がり範囲を可変する出射角可
変手段とを備えている。
スリット機構と、前記スリット機構を通過した観測光を
平行光に変換するコリメート光学系と、前記平行光を分
光する分散素子と、前記分散素子で分光された観測光を
結像する結像光学系と、前記結像光学系によって結像さ
れた観測光を測定する検出装置とを含む分光計であっ
て、前記平行光の前記分散素子に対する入射角の広がり
範囲を可変する入射角可変手段と、前記分散素子で分光
された観測光の出射角の広がり範囲を可変する出射角可
変手段とを備えている。
【0013】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【0014】図1は本発明の一実施例の構成を示すブロ
ック図である。図において、観測光100は走査鏡2を
介して集光光学系3に入射し、集光光学系3によって分
光部1のスリット10上に集光される。
ック図である。図において、観測光100は走査鏡2を
介して集光光学系3に入射し、集光光学系3によって分
光部1のスリット10上に集光される。
【0015】スリット10は制御系4からの制御でその
スリット幅がスリット幅可変機構11によって可変され
るようになっている。
スリット幅がスリット幅可変機構11によって可変され
るようになっている。
【0016】スリット10を通過した観測光100はコ
リメート光学系12で平行光に戻され、制御系4からの
制御で分散素子回転機構14によって矢印Aの方向に回
転される分散素子13に入射する。
リメート光学系12で平行光に戻され、制御系4からの
制御で分散素子回転機構14によって矢印Aの方向に回
転される分散素子13に入射する。
【0017】ここで、分散素子13に入射する観測光1
00の入射角の広がりはスリット10のスリット幅とコ
リメート光学系12の焦点距離とによって決定される。
また、この入射角の広がりは、分散素子13で分光され
た波数の広がりとして観測される。
00の入射角の広がりはスリット10のスリット幅とコ
リメート光学系12の焦点距離とによって決定される。
また、この入射角の広がりは、分散素子13で分光され
た波数の広がりとして観測される。
【0018】分散素子13で分光された観測光100は
結像光学系15によって検出器17に結像される。この
場合、結像光学系15は制御系4からの制御で焦点距離
可変機構16によってスリット10のスリット幅に対応
した焦点距離となるように調整されている。
結像光学系15によって検出器17に結像される。この
場合、結像光学系15は制御系4からの制御で焦点距離
可変機構16によってスリット10のスリット幅に対応
した焦点距離となるように調整されている。
【0019】結像光学系15によって検出器17に結像
された観測光100は信号処理系5で電気信号に変換さ
れた後に、信号処理される。
された観測光100は信号処理系5で電気信号に変換さ
れた後に、信号処理される。
【0020】図2は図1の分光部1の構成を示す概略図
である。図において、分散素子13に対する入射角の広
がりは、分散素子13による分散方向(矢印Bの方向)
のスリット10のスリット幅wと、コリメート光学系1
2の焦点距離f1との比、つまりw/f1で規定され
る。
である。図において、分散素子13に対する入射角の広
がりは、分散素子13による分散方向(矢印Bの方向)
のスリット10のスリット幅wと、コリメート光学系1
2の焦点距離f1との比、つまりw/f1で規定され
る。
【0021】一方、分散素子13の出射角の広がりは、
分散素子13による分散方向の検出器17の素子サイズ
swと、結像光学系15の焦点距離f2との比、つまり
sw/f2で規定される。
分散素子13による分散方向の検出器17の素子サイズ
swと、結像光学系15の焦点距離f2との比、つまり
sw/f2で規定される。
【0022】そのため、w/f1=α(sw/f2)を
満足するように、スリット10のスリット幅wと結像光
学系15の焦点距離f2とを制御することによって、波
数分解能を積極的に可変するときにその波数分解能に応
じた波数範囲に制御することができ、波数分解能によら
ずスリット入射光量を有効に利用することができる。こ
こで、αは入射角の広がりと出射角の広がりとの関係を
示す係数である。
満足するように、スリット10のスリット幅wと結像光
学系15の焦点距離f2とを制御することによって、波
数分解能を積極的に可変するときにその波数分解能に応
じた波数範囲に制御することができ、波数分解能によら
ずスリット入射光量を有効に利用することができる。こ
こで、αは入射角の広がりと出射角の広がりとの関係を
示す係数である。
【0023】この場合、コリメート光学系12の焦点距
離f1と検出器17の素子サイズswとは固定であるた
め、例えばスリット10のスリット幅wを大きくして波
数分解能を低くした場合に結像光学系15の焦点距離f
2が小さくなり、同時に観測できる波数範囲が広くなる
とともに、同一波数が検出器17の素子サイズswより
も大きく広がるのを防ぐことができる。
離f1と検出器17の素子サイズswとは固定であるた
め、例えばスリット10のスリット幅wを大きくして波
数分解能を低くした場合に結像光学系15の焦点距離f
2が小さくなり、同時に観測できる波数範囲が広くなる
とともに、同一波数が検出器17の素子サイズswより
も大きく広がるのを防ぐことができる。
【0024】また、上記の構成の分光部1では分散素子
回転機構14によって所望の波数を検出器17の中心に
することも可能である。
回転機構14によって所望の波数を検出器17の中心に
することも可能である。
【0025】図3は本発明の他の実施例の構成を示すブ
ロック図である。図において、本発明の他の実施例によ
る分光部6はスリット10のスリット幅を固定し、コリ
メート光学系12の焦点距離を焦点距離可変機構18に
よって可変とした以外は図1に示す本発明の一実施例と
同様の構成となっており、同一構成要素には同一符号を
付してある。また、その動作も本発明の一実施例の動作
と同様である。
ロック図である。図において、本発明の他の実施例によ
る分光部6はスリット10のスリット幅を固定し、コリ
メート光学系12の焦点距離を焦点距離可変機構18に
よって可変とした以外は図1に示す本発明の一実施例と
同様の構成となっており、同一構成要素には同一符号を
付してある。また、その動作も本発明の一実施例の動作
と同様である。
【0026】本発明の他の実施例における分散素子13
に対する入射角の広がりは、本発明の一実施例と同様
に、分散素子13による分散方向のスリット10のスリ
ット幅wと、コリメート光学系12の焦点距離f1との
比、つまりw/f1で規定される。
に対する入射角の広がりは、本発明の一実施例と同様
に、分散素子13による分散方向のスリット10のスリ
ット幅wと、コリメート光学系12の焦点距離f1との
比、つまりw/f1で規定される。
【0027】一方、分散素子13の出射角の広がりも、
本発明の一実施例と同様に、分散素子13による分散方
向の検出器17の素子サイズswと、結像光学系15の
焦点距離f2との比、つまりsw/f2で規定される。
本発明の一実施例と同様に、分散素子13による分散方
向の検出器17の素子サイズswと、結像光学系15の
焦点距離f2との比、つまりsw/f2で規定される。
【0028】したがって、w/f1=α(sw/f2)
を満足するように、コリメート光学系12の焦点距離f
1と結像光学系15の焦点距離f2とを制御することに
よって、波数分解能を積極的に可変するときにその波数
分解能に応じた波数範囲に制御することができ、波数分
解能によらずスリット入射光量を有効に利用することが
できる。ここで、αは入射角の広がりと出射角の広がり
との関係を示す係数である。
を満足するように、コリメート光学系12の焦点距離f
1と結像光学系15の焦点距離f2とを制御することに
よって、波数分解能を積極的に可変するときにその波数
分解能に応じた波数範囲に制御することができ、波数分
解能によらずスリット入射光量を有効に利用することが
できる。ここで、αは入射角の広がりと出射角の広がり
との関係を示す係数である。
【0029】本発明の他の実施例では、スリット10の
スリット幅wが固定であるので、瞬時視野が波数分解能
に依存することなく、一定となる。
スリット幅wが固定であるので、瞬時視野が波数分解能
に依存することなく、一定となる。
【0030】このように、スリット幅可変機構11でス
リット10のスリット幅を可変するか、あるいは焦点距
離可変機構18でコリメート光学系12の焦点距離を可
変しかつ焦点距離可変機構16で結像光学系15の焦点
距離を可変することによって、波数分解能によらずスリ
ット入射光量を有効に検出器17で利用することができ
る。
リット10のスリット幅を可変するか、あるいは焦点距
離可変機構18でコリメート光学系12の焦点距離を可
変しかつ焦点距離可変機構16で結像光学系15の焦点
距離を可変することによって、波数分解能によらずスリ
ット入射光量を有効に検出器17で利用することができ
る。
【0031】また、焦点距離可変機構16で結像光学系
15の焦点距離を可変することによって、検出器17上
で同時得られる波数範囲を可変とすることができ、波数
分解能に応じた波数範囲に制御することができる。
15の焦点距離を可変することによって、検出器17上
で同時得られる波数範囲を可変とすることができ、波数
分解能に応じた波数範囲に制御することができる。
【0032】さらに、スリット10のスリット幅を固定
し、焦点距離可変機構18でコリメート光学系12の焦
点距離を可変しかつ焦点距離可変機構16で結像光学系
15の焦点距離を可変とすることによって、波数分解能
によらず瞬時視野を不変とすることができる。
し、焦点距離可変機構18でコリメート光学系12の焦
点距離を可変しかつ焦点距離可変機構16で結像光学系
15の焦点距離を可変とすることによって、波数分解能
によらず瞬時視野を不変とすることができる。
【0033】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ス
リット機構を通過した観測光をコリメート光学系で変換
した平行光の分散素子に対する入射角の広がり範囲を可
変とし、分散素子で分光された観測光の出射角の広がり
を可変することによって、波数分解能を積極的に可変す
るときにその波数分解能に応じた波数範囲に制御するこ
とができ、波数分解能によらずスリット入射光量を有効
に利用することができるという効果がある。
リット機構を通過した観測光をコリメート光学系で変換
した平行光の分散素子に対する入射角の広がり範囲を可
変とし、分散素子で分光された観測光の出射角の広がり
を可変することによって、波数分解能を積極的に可変す
るときにその波数分解能に応じた波数範囲に制御するこ
とができ、波数分解能によらずスリット入射光量を有効
に利用することができるという効果がある。
【図1】本発明の一実施例の構成を示すブロック図であ
る。
る。
【図2】図1の分光部の構成を示す概略図である。
【図3】本発明の他の実施例の構成を示すブロック図で
ある。
ある。
1,6 分光部 4 制御系 5 信号処理系 10 スリット 11 スリット幅可変機構 12 コリメート光学系 13 分散素子 14 分散素子回転機構 15 結像光学系 16,18 焦点距離可変機構 17 検出器
Claims (4)
- 【請求項1】 スリット機構と、前記スリット機構を通
過した観測光を平行光に変換するコリメート光学系と、
前記平行光を分光する分散素子と、前記分散素子で分光
された観測光を結像する結像光学系と、前記結像光学系
によって結像された観測光を測定する検出装置とを含む
分光計であって、前記平行光の前記分散素子に対する入
射角の広がり範囲を可変する入射角可変手段と、前記分
散素子で分光された観測光の出射角の広がり範囲を可変
する出射角可変手段とを有することを特徴とする分光
計。 - 【請求項2】 前記入射角可変手段は、前記スリット機
構のスリット幅を可変することで前記入射角の広がり範
囲を可変するよう構成されたことを特徴とする請求項1
記載の分光計。 - 【請求項3】 前記入射角可変手段は、前記コリメート
光学系の焦点距離を可変することで前記入射角の広がり
範囲を可変するよう構成されたことを特徴とする請求項
1記載の分光計。 - 【請求項4】 前記出射角可変手段は、前記結像光学系
の焦点距離を可変することで前記出射角の広がり範囲を
可変するよう構成されたことを特徴とする請求項1から
請求項3のいずれか記載の分光計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5298909A JP2630229B2 (ja) | 1993-11-04 | 1993-11-04 | 分光計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5298909A JP2630229B2 (ja) | 1993-11-04 | 1993-11-04 | 分光計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07128146A true JPH07128146A (ja) | 1995-05-19 |
JP2630229B2 JP2630229B2 (ja) | 1997-07-16 |
Family
ID=17865744
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5298909A Expired - Lifetime JP2630229B2 (ja) | 1993-11-04 | 1993-11-04 | 分光計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2630229B2 (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19651677A1 (de) * | 1996-12-12 | 1998-06-18 | Spectro Analytical Instr | Optisches Emmissionsspektrometer mit steuerbarer Blende |
EP1236981A1 (de) * | 2000-10-11 | 2002-09-04 | Acterna Eningen GmbH | Optisches Spektrometer mit variabler Bandbreite |
JP2005504313A (ja) * | 2001-10-01 | 2005-02-10 | ユーディー テクノロジー コーポレーション | 実時間ir分光法の装置および方法 |
JP2006106006A (ja) * | 2005-11-22 | 2006-04-20 | Ud Technology Corp | 実時間ir分光法の装置および方法 |
CN104200726A (zh) * | 2014-09-16 | 2014-12-10 | 江南大学 | 一种平行光管狭缝光线调控器 |
US10082426B2 (en) | 2014-07-23 | 2018-09-25 | Andor Technology Limited | Spectrometer |
CN109891294A (zh) * | 2016-10-25 | 2019-06-14 | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 | 光学组件、多点扫描显微镜和用于运行显微镜的方法 |
CN112105898A (zh) * | 2018-05-11 | 2020-12-18 | 索尼公司 | 分光测量装置和分光测量方法 |
CN112525344A (zh) * | 2020-11-11 | 2021-03-19 | 中国科学院空天信息创新研究院 | 一种色散型成像光谱仪的装调装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57138026U (ja) * | 1981-02-23 | 1982-08-28 | ||
JPH01213530A (ja) * | 1987-12-30 | 1989-08-28 | Hewlett Packard Co <Hp> | 分光計 |
JPH05281040A (ja) * | 1992-03-31 | 1993-10-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 分光測定装置 |
-
1993
- 1993-11-04 JP JP5298909A patent/JP2630229B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57138026U (ja) * | 1981-02-23 | 1982-08-28 | ||
JPH01213530A (ja) * | 1987-12-30 | 1989-08-28 | Hewlett Packard Co <Hp> | 分光計 |
JPH05281040A (ja) * | 1992-03-31 | 1993-10-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 分光測定装置 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19651677A1 (de) * | 1996-12-12 | 1998-06-18 | Spectro Analytical Instr | Optisches Emmissionsspektrometer mit steuerbarer Blende |
EP1236981A1 (de) * | 2000-10-11 | 2002-09-04 | Acterna Eningen GmbH | Optisches Spektrometer mit variabler Bandbreite |
JP2005504313A (ja) * | 2001-10-01 | 2005-02-10 | ユーディー テクノロジー コーポレーション | 実時間ir分光法の装置および方法 |
JP2006106006A (ja) * | 2005-11-22 | 2006-04-20 | Ud Technology Corp | 実時間ir分光法の装置および方法 |
US10082426B2 (en) | 2014-07-23 | 2018-09-25 | Andor Technology Limited | Spectrometer |
CN104200726A (zh) * | 2014-09-16 | 2014-12-10 | 江南大学 | 一种平行光管狭缝光线调控器 |
CN109891294A (zh) * | 2016-10-25 | 2019-06-14 | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 | 光学组件、多点扫描显微镜和用于运行显微镜的方法 |
CN109891294B (zh) * | 2016-10-25 | 2021-11-12 | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 | 光学组件、多点扫描显微镜和用于运行显微镜的方法 |
US11531193B2 (en) | 2016-10-25 | 2022-12-20 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Optical arrangement, multi-spot scanning microscope and method for operating a microscope |
CN112105898A (zh) * | 2018-05-11 | 2020-12-18 | 索尼公司 | 分光测量装置和分光测量方法 |
CN112525344A (zh) * | 2020-11-11 | 2021-03-19 | 中国科学院空天信息创新研究院 | 一种色散型成像光谱仪的装调装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2630229B2 (ja) | 1997-07-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3385164B2 (ja) | 分光装置の操作方法 | |
AU2005252809B2 (en) | Echelle spectrometer with improved use of the detector by means of two spectrometer arrangements | |
US6687007B1 (en) | Common path interferometer for spectral image generation | |
US4060327A (en) | Wide band grating spectrometer | |
EP0083573B1 (fr) | Dispositif de spectrométrie | |
US4997281A (en) | Grating spectrometer | |
US8873048B2 (en) | Spectrometer arrangement | |
US4575243A (en) | Monochromator | |
US4930892A (en) | Photodiode array spectrometer | |
CN110006528B (zh) | 光谱仪装置、产生二维光谱的方法和光学部件组 | |
US5285254A (en) | Rapid-scanning monochromator with moving intermediate slit | |
US4455087A (en) | Monochromatic imaging apparatus | |
JP2630229B2 (ja) | 分光計 | |
JPH0584451B2 (ja) | ||
US3658423A (en) | Echelle spectrometer | |
US7167249B1 (en) | High efficiency spectral imager | |
JP3095167B2 (ja) | マルチチャネルフーリエ変換分光装置 | |
JP3125688B2 (ja) | 回折格子分光計 | |
US4391523A (en) | Scannable detector system for echelle grating spectrometers | |
JP3593559B2 (ja) | 高速分光観測装置 | |
JP2001296181A (ja) | 分光器 | |
US3567323A (en) | High spectral purity and image quality monochromator | |
JPH1062248A (ja) | 凹面回折分光器 | |
JPH06129907A (ja) | 2次元像分光装置 | |
JPH0666635A (ja) | 2次元像分光光学系および装置 |