JP3129449B2 - 特に自動車技術用の圧力センサ・ユニット - Google Patents
特に自動車技術用の圧力センサ・ユニットInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 本発明は請求の範囲第１項のプリアンブルの特徴を有
する、特に自動車技術用の圧力センサ・ユニットに関す
る。多様な実施例の圧力センサ・ユニットが公知であ
り、自動車技術では例えばエンジンの油圧又は制動圧を
監視するためのセンサ素子として使用されている。
する、特に自動車技術用の圧力センサ・ユニットに関す
る。多様な実施例の圧力センサ・ユニットが公知であ
り、自動車技術では例えばエンジンの油圧又は制動圧を
監視するためのセンサ素子として使用されている。
このような圧力センサ・ユニットは、通常、圧力が監
視されるべき圧力媒体用の供給開口を有するハウジング
を備えている。圧力媒体は供給開口を経てハウジング内
に収納された圧力測定セルへと給送される。圧力センサ
・ユニットのハウジングは例えば前部の領域に雄ねじを
有し、その雄ねじは、例えばエンジン・ブロックのよう
な監視されるべき装置内の雌ねじを有する適宜の凹部部
材に圧力センサ・ユニットをねじ止めさせえる作用をす
る。
視されるべき圧力媒体用の供給開口を有するハウジング
を備えている。圧力媒体は供給開口を経てハウジング内
に収納された圧力測定セルへと給送される。圧力センサ
・ユニットのハウジングは例えば前部の領域に雄ねじを
有し、その雄ねじは、例えばエンジン・ブロックのよう
な監視されるべき装置内の雌ねじを有する適宜の凹部部
材に圧力センサ・ユニットをねじ止めさせえる作用をす
る。
特に自動車技術では腐食性の媒体と厳しい環境条件に
対する耐性を伴った長期の安定性が必要であるため、こ
の分野では主として、圧力が監視されるべき圧力媒体が
センサ素子自体とは接触しないいわゆる媒体分離式の圧
力センサ・ユニットが使用されている。そのために、セ
ンサ素子を圧力測定セルの測定セル・ハウジング内に実
装し、センサ・ユニットのハウジング内の圧力測定セル
を分離薄膜を用いて供給開口に対して密閉することが公
知である。その際に圧力媒体は分離薄膜を経て分離薄膜
の別の側に薄膜とセンサ素子との間に取付けられた圧力
伝達媒体に作用する。このような圧力センサ・ユニット
は例えば補足的に基準圧測定装置として構成されている
ドイツ特許公報第29511996 U1号から公知である。
対する耐性を伴った長期の安定性が必要であるため、こ
の分野では主として、圧力が監視されるべき圧力媒体が
センサ素子自体とは接触しないいわゆる媒体分離式の圧
力センサ・ユニットが使用されている。そのために、セ
ンサ素子を圧力測定セルの測定セル・ハウジング内に実
装し、センサ・ユニットのハウジング内の圧力測定セル
を分離薄膜を用いて供給開口に対して密閉することが公
知である。その際に圧力媒体は分離薄膜を経て分離薄膜
の別の側に薄膜とセンサ素子との間に取付けられた圧力
伝達媒体に作用する。このような圧力センサ・ユニット
は例えば補足的に基準圧測定装置として構成されている
ドイツ特許公報第29511996 U1号から公知である。
しかし、このような公知の圧力センサ・ユニットの欠
点は、単数又は複数のハウジング部品と、ハウジング内
に実装されているセンサ素子とからなる圧力測定セルそ
のものの組立てが比較的高価である点にある。その理由
は特に、圧力センサ素子を当該の支持要素上に組立てる
こと、及びセンサ素子の接続部の接触を確保することに
ある。
点は、単数又は複数のハウジング部品と、ハウジング内
に実装されているセンサ素子とからなる圧力測定セルそ
のものの組立てが比較的高価である点にある。その理由
は特に、圧力センサ素子を当該の支持要素上に組立てる
こと、及びセンサ素子の接続部の接触を確保することに
ある。
センサ素子には測定されるべき圧力が常に作用してい
なければならないので、圧力センサの接続部を支持要素
の作用媒体とは反対側に導出する必要がある。このこと
は公知の圧力センサ・ユニットでは困難であるが、その
理由は高圧で発生する高い圧縮力を受け、それを圧力セ
ンサ・ユニットのハウジングに伝達するために支持要素
は通常は金属製であるからである。この場合、センサの
接続接点を支持要素を介して絶縁して支持要素の背面に
導出する必要があり、それに対応してコストがかかる。
（例えばドイツ特許公報第29511996 U1号） 従って出願人は既に、未公開の旧ドイツ特許出願第19
637763号に記載されている圧力センサ・ユニットを開発
している。この圧力センサ・ユニットは測定セル・ハウ
ジングが圧力センサ・ユニットのハウジング内に保持さ
れている測定セルを具備している。測定セル・ハウジン
グは中央の切欠きを有しており、その裏側からトランジ
スタ・ハウジング（TO−Gehuse）内に実装された圧力
センサ素子が据付けられる。その後トランジスタ・ハウ
ジングを例えば溶接によって測定セル・ハウジングと密
閉的に連結することができる。トランジスタ・ハウジン
グを使用することによって、センサ素子自体を事前に接
触された測定セル・ハウジング内に据付け、これと連結
することができる。公知のセンサ・ユニットと比較し
て、この手続きは組立てが容易になるという利点が達成
される。
なければならないので、圧力センサの接続部を支持要素
の作用媒体とは反対側に導出する必要がある。このこと
は公知の圧力センサ・ユニットでは困難であるが、その
理由は高圧で発生する高い圧縮力を受け、それを圧力セ
ンサ・ユニットのハウジングに伝達するために支持要素
は通常は金属製であるからである。この場合、センサの
接続接点を支持要素を介して絶縁して支持要素の背面に
導出する必要があり、それに対応してコストがかかる。
（例えばドイツ特許公報第29511996 U1号） 従って出願人は既に、未公開の旧ドイツ特許出願第19
637763号に記載されている圧力センサ・ユニットを開発
している。この圧力センサ・ユニットは測定セル・ハウ
ジングが圧力センサ・ユニットのハウジング内に保持さ
れている測定セルを具備している。測定セル・ハウジン
グは中央の切欠きを有しており、その裏側からトランジ
スタ・ハウジング（TO−Gehuse）内に実装された圧力
センサ素子が据付けられる。その後トランジスタ・ハウ
ジングを例えば溶接によって測定セル・ハウジングと密
閉的に連結することができる。トランジスタ・ハウジン
グを使用することによって、センサ素子自体を事前に接
触された測定セル・ハウジング内に据付け、これと連結
することができる。公知のセンサ・ユニットと比較し
て、この手続きは組立てが容易になるという利点が達成
される。
しかし、これは、センサ素子自体をトランジスタ・ハ
ウジング内に据付け、かつトランジスタ・ハウジングを
測定セル・ハウジングと固定して、密閉的に連結するこ
とは、コストがかかることが欠点である。
ウジング内に据付け、かつトランジスタ・ハウジングを
測定セル・ハウジングと固定して、密閉的に連結するこ
とは、コストがかかることが欠点である。
従って本発明の目的は、安い経費で、ひいては低コス
トで製造できる、特に自動車技術用の圧力センサ・ユニ
ットを製造することにある。
トで製造できる、特に自動車技術用の圧力センサ・ユニ
ットを製造することにある。
本発明は上記の目的を請求の範囲１に記載の特徴で達
成するものである。センサ素子の接触に必要な少なくと
も２個の導電体を測定セル・ハウジングに射出成形する
ことによって、測定セルもしくは圧力センサ・ユニット
の製造コストが極めて安くなるという利点が得られる。
成するものである。センサ素子の接触に必要な少なくと
も２個の導電体を測定セル・ハウジングに射出成形する
ことによって、測定セルもしくは圧力センサ・ユニット
の製造コストが極めて安くなるという利点が得られる。
例えば半導体チップ上に形成される本来のセンサ素子
は測定セル・ハウジング上に直接、もしくはハウジング
内部に配置することができる。圧力センサの電気接続部
は例えば接着により導電体の接点端末と接続することが
でき、前記の導電体は測定セル・ハウジングの、圧力媒
体、もしくは圧力伝達媒体が作用する側に突出してい
る。
は測定セル・ハウジング上に直接、もしくはハウジング
内部に配置することができる。圧力センサの電気接続部
は例えば接着により導電体の接点端末と接続することが
でき、前記の導電体は測定セル・ハウジングの、圧力媒
体、もしくは圧力伝達媒体が作用する側に突出してい
る。
それによって測定セルを簡単に、また低コストで製造
することができるとともに、圧力センサ・ユニットのハ
ウジング内に簡単に取付けることができる。
することができるとともに、圧力センサ・ユニットのハ
ウジング内に簡単に取付けることができる。
本発明の好適な実施例では、導電体は打ち抜き格子と
して形成され、その打ち抜き格子は、射出成形プロセス
の前、ないしその最中に所望の形状に曲折される。
して形成され、その打ち抜き格子は、射出成形プロセス
の前、ないしその最中に所望の形状に曲折される。
本発明の好適な実施例では、打ち抜き格子は対応する
接点端子が接着により圧力センサの対応する接続部と接
続可能であるように構成されている。そのためには打ち
抜き格子の接続接点端子が研磨され、又は少なくとも研
磨された領域を備えていることが必要である。更に、製
造プロセス全体を通して、前記の領域が汚れないように
しなければならない。その際に特に、押し出し成形プロ
セスのためには分離媒体の使用を断念しなければならな
い。従って場合によっては、押し出し成形された構成部
分の成形を容易にするためにより強い勾配が必要であ
る。
接点端子が接着により圧力センサの対応する接続部と接
続可能であるように構成されている。そのためには打ち
抜き格子の接続接点端子が研磨され、又は少なくとも研
磨された領域を備えていることが必要である。更に、製
造プロセス全体を通して、前記の領域が汚れないように
しなければならない。その際に特に、押し出し成形プロ
セスのためには分離媒体の使用を断念しなければならな
い。従って場合によっては、押し出し成形された構成部
分の成形を容易にするためにより強い勾配が必要であ
る。
測定セル・ハウジングの圧力側とは反対側に突起して
いる導電体の接点端末は、センサ信号を評価し、もしく
は処理するための電子回路、又は回線の機械的保持手段
としての役割を、同時に果たすことができる。すなわ
ち、接点と支持要素の機能を同時に果たすのである。そ
のために、測定セル・ハウジングの形状は、据付けられ
或いは接触された電子配線、もしくは電子回路が測定セ
ル・ハウジング内の切欠き部に収納されるように構成す
ることができる。
いる導電体の接点端末は、センサ信号を評価し、もしく
は処理するための電子回路、又は回線の機械的保持手段
としての役割を、同時に果たすことができる。すなわ
ち、接点と支持要素の機能を同時に果たすのである。そ
のために、測定セル・ハウジングの形状は、据付けられ
或いは接触された電子配線、もしくは電子回路が測定セ
ル・ハウジング内の切欠き部に収納されるように構成す
ることができる。
電子配線、もしくは電子回路に対するセンサ端子の接
点は、導電体の対応する接点端子を、差し込み接点又は
刃先接点（Steck−odel Schneidkontakte）を形成し、
その差し込み又は刃先接点は、電子配線又は電子回路に
備えられた別の対向する要素を構成する他の差し込み接
点又は刃先接点とそれぞれ共同することができる。
点は、導電体の対応する接点端子を、差し込み接点又は
刃先接点（Steck−odel Schneidkontakte）を形成し、
その差し込み又は刃先接点は、電子配線又は電子回路に
備えられた別の対向する要素を構成する他の差し込み接
点又は刃先接点とそれぞれ共同することができる。
本発明の好適な実施例では、チップとして構成された
圧力センサを測定セル・ハウジングの凹部の内壁にじか
に接着することが有利である。それによって圧力測定セ
ルの構造が著しく簡単になる。例えば極めて温度安定性
が高い圧力センサ・ユニット用の本発明の別の実施例で
は、圧力センサを測定セル・ハウジングに接して、又は
その内部に備えられた、好適にはセラミック製の硬い要
素の表面上に取付けることもできる。それによって、特
に温度変化によって発生する、測定セル・ハウジング内
の応力が敏感なセンサ素子に伝達することがない。従っ
て測定ミス、ましてやセンサ素子の破壊は確実に防止さ
れる。
圧力センサを測定セル・ハウジングの凹部の内壁にじか
に接着することが有利である。それによって圧力測定セ
ルの構造が著しく簡単になる。例えば極めて温度安定性
が高い圧力センサ・ユニット用の本発明の別の実施例で
は、圧力センサを測定セル・ハウジングに接して、又は
その内部に備えられた、好適にはセラミック製の硬い要
素の表面上に取付けることもできる。それによって、特
に温度変化によって発生する、測定セル・ハウジング内
の応力が敏感なセンサ素子に伝達することがない。従っ
て測定ミス、ましてやセンサ素子の破壊は確実に防止さ
れる。
特に測定圧力が高い場合に適した本発明の別の実施例
では、測定セル・ハウジングの裏側に補強板を備えるこ
とができる。この補強板はセンサの接続接点を通すため
の開口部を備えることができ、また測定セル・ハウジク
に接して、又はその内部に射出成形又は押し出し成形す
ることもできる。
では、測定セル・ハウジングの裏側に補強板を備えるこ
とができる。この補強板はセンサの接続接点を通すため
の開口部を備えることができ、また測定セル・ハウジク
に接して、又はその内部に射出成形又は押し出し成形す
ることもできる。
本発明のその他の実施例は従属クレームに記載されて
いる。
いる。
次に本発明の実施例を図面を参照しつつ詳細に説明す
る。
る。
図１は、本発明に基づく、特に高圧用の圧力センサ・
ユニットの実施例の断面図である。
ユニットの実施例の断面図である。
図２は、本発明に基づく、特に低圧及び中程度の圧力
向けに使用される、圧力センサ・ユニットの別の実施例
の下部ハウジング部の透視図である。
向けに使用される、圧力センサ・ユニットの別の実施例
の下部ハウジング部の透視図である。
図３は、本発明に基づく、特に低圧及び中程度の圧力
向けの別の実施例である。
向けの別の実施例である。
図１に示した第１の実施例の圧力センサ・ユニット１
は、圧力測定セル５を内部に配置された２片のハウジン
グ３からなってる。ハウジング３は金属製又は高強度の
プラスチックで作られてもよい。
は、圧力測定セル５を内部に配置された２片のハウジン
グ３からなってる。ハウジング３は金属製又は高強度の
プラスチックで作られてもよい。
圧力測定セル５は取付け用の凹部７を有する下部の第
１ハウジング要素3a内に取り付けられている。凹部７は
例えば、少なくとも下部の内径が、好適には円板形に形
成された測定セル・ハウジング９の外径とほぼ対応する
穴の形式で形成することができる。
１ハウジング要素3a内に取り付けられている。凹部７は
例えば、少なくとも下部の内径が、好適には円板形に形
成された測定セル・ハウジング９の外径とほぼ対応する
穴の形式で形成することができる。
この第１ハウジング要素3aはその下部領域にほぼ円筒
形の延長部11を備えており、延長部はこれに設けられた
雄ねじ13によって、例えば制動系統のシリンダ又はエン
ジン・ブロック内の組立て部位の対応するねじ穴内にね
じ込むことができる。
形の延長部11を備えており、延長部はこれに設けられた
雄ねじ13によって、例えば制動系統のシリンダ又はエン
ジン・ブロック内の組立て部位の対応するねじ穴内にね
じ込むことができる。
圧力を検出すべき圧力媒体を給送するために、第１ハ
ウジング部3aの延長部11の端面から始まって、圧力媒体
を圧力測定セルまで給送されるための供給開口15が設け
られている。
ウジング部3aの延長部11の端面から始まって、圧力媒体
を圧力測定セルまで給送されるための供給開口15が設け
られている。
圧力測定セルはその測定セル・ハウジング９内に、本
来の圧力センサ19を収納する凹部17を備えている。圧力
センサは例えばピエゾ抵抗性の集積半導体抵抗を有する
シリコン薄膜として形成することができる。
来の圧力センサ19を収納する凹部17を備えている。圧力
センサは例えばピエゾ抵抗性の集積半導体抵抗を有する
シリコン薄膜として形成することができる。
測定セル・ハウジング９は、本発明によれば、プラス
チック構成部分を備えており、その構成部分には少なく
とも２つの導電体21が導入される。それによって、好適
には便宜に曲折した打ち抜き格子として形成されている
導電体21は、測定セル・ハウジング９を介して密閉的に
かつ電気的に絶縁されて、測定セル・ハウジングの作用
圧とは反対側に導出されるという利点が得られる。
チック構成部分を備えており、その構成部分には少なく
とも２つの導電体21が導入される。それによって、好適
には便宜に曲折した打ち抜き格子として形成されている
導電体21は、測定セル・ハウジング９を介して密閉的に
かつ電気的に絶縁されて、測定セル・ハウジングの作用
圧とは反対側に導出されるという利点が得られる。
測定セル・ハウジング９の圧力側とは反対側に出てい
る接点端末の接触は、これを電子配線25の端子ラグ23と
相互に作用する刃先接点として構成することによって簡
単に行われる。
る接点端末の接触は、これを電子配線25の端子ラグ23と
相互に作用する刃先接点として構成することによって簡
単に行われる。
電子配線25は、図１に示した実施例では、ハウジング
３の上部の第２のハウジング要素3b内に保持されてい
る。そのために電子回路25のプレート25aは側部の凹部
が設けてあり、この中にハウジング３の上部ハウジング
要素3bと連結された保持アーム27が嵌合している。この
ようにして、電子回路25の端子ラグ23と導電体すなわち
打ち抜き格子21の対応する接点端末との間の電気的接続
は、双方のハウジング要素3aと3bを相互に差し込むこと
によって簡単に行われる。そのために図１に示すよう
に、下部ハウジング要素3aは上部ハウジング要素3bの端
面用のストッパとして肩部を有する収納部分29を備え、
かつ上部ハウジング要素3bを下部ハウジング要素3aに差
し込んだ後に、ショルダ33を越えて上部ハウジング要素
3aの下側に突起する上部ハウジング壁31を備えることが
できる。この壁は双方のハウジング要素3a、3bを互いに
差し込んだ後、ハウジング部3a、3bを固く連結するため
に縁曲げすることができる。
３の上部の第２のハウジング要素3b内に保持されてい
る。そのために電子回路25のプレート25aは側部の凹部
が設けてあり、この中にハウジング３の上部ハウジング
要素3bと連結された保持アーム27が嵌合している。この
ようにして、電子回路25の端子ラグ23と導電体すなわち
打ち抜き格子21の対応する接点端末との間の電気的接続
は、双方のハウジング要素3aと3bを相互に差し込むこと
によって簡単に行われる。そのために図１に示すよう
に、下部ハウジング要素3aは上部ハウジング要素3bの端
面用のストッパとして肩部を有する収納部分29を備え、
かつ上部ハウジング要素3bを下部ハウジング要素3aに差
し込んだ後に、ショルダ33を越えて上部ハウジング要素
3aの下側に突起する上部ハウジング壁31を備えることが
できる。この壁は双方のハウジング要素3a、3bを互いに
差し込んだ後、ハウジング部3a、3bを固く連結するため
に縁曲げすることができる。
上部ハウジング要素3b内には差し込み接続領域に外部
の接続接点35が備えられ、これを介して圧力センサ・ユ
ニット１はプラグ（図示せず）によって接触可能であ
る。接続接点35は例えば接続線37によって上部ハウジン
グ要素3b内に保持された電子回路25と接続可能である。
しかし、外部の接続接点35と電子回路との接点のために
プラグ接続を使用することも勿論可能である。
の接続接点35が備えられ、これを介して圧力センサ・ユ
ニット１はプラグ（図示せず）によって接触可能であ
る。接続接点35は例えば接続線37によって上部ハウジン
グ要素3b内に保持された電子回路25と接続可能である。
しかし、外部の接続接点35と電子回路との接点のために
プラグ接続を使用することも勿論可能である。
図１に示した実施例では、測定セル・ハウジング９は
補足的に圧力側とは反対側の背面に備えられた補強部材
39を含んでいる。これは例えば、導電体もしくは打ち抜
き格子21の接続接点がそれを通って導出される開口41を
設けた金属板の形式で実施することができる。補強部材
39は圧力センサ・ユニットの組立ての際に、円板として
測定セル・ハウジング９のプラスチック成形構成部分に
緩く載置するか、又はプラスチックの射出成形された部
片上に予め押し込まれるか、又はその内部に注入するこ
とができる。
補足的に圧力側とは反対側の背面に備えられた補強部材
39を含んでいる。これは例えば、導電体もしくは打ち抜
き格子21の接続接点がそれを通って導出される開口41を
設けた金属板の形式で実施することができる。補強部材
39は圧力センサ・ユニットの組立ての際に、円板として
測定セル・ハウジング９のプラスチック成形構成部分に
緩く載置するか、又はプラスチックの射出成形された部
片上に予め押し込まれるか、又はその内部に注入するこ
とができる。
圧力測定セル５をハウジング３内に据付けるには、先
ず凹部17を圧力伝達媒体で充填しなければならない。と
いうのは、図１に示した実施例は媒体と分離された圧力
センサ・ユニットを含むからである。凹部17を充填した
後、測定セル・ハウジング９を分離薄膜43とともに下部
ハウジング要素3aの凹部７内に据付ける。測定セル・ハ
ウジング９を切欠き部７の床側に押圧することによっ
て、周囲溝内に備えたシールリング45と連携して、密閉
状態が生ずるので、圧力伝達媒体が凹部17と分離薄膜43
とで画成される空隙から漏れることはない。
ず凹部17を圧力伝達媒体で充填しなければならない。と
いうのは、図１に示した実施例は媒体と分離された圧力
センサ・ユニットを含むからである。凹部17を充填した
後、測定セル・ハウジング９を分離薄膜43とともに下部
ハウジング要素3aの凹部７内に据付ける。測定セル・ハ
ウジング９を切欠き部７の床側に押圧することによっ
て、周囲溝内に備えたシールリング45と連携して、密閉
状態が生ずるので、圧力伝達媒体が凹部17と分離薄膜43
とで画成される空隙から漏れることはない。
図１に示すように、測定セル５の固定は、剥離プロセ
スによって凹部７の側部の内壁の単数又は複数の領域、
又はその周囲領域が、測定セル・ハウジングの背部を押
さえる位置に置かれることによって達成される。このよ
うにして、組立てプロセス中、及びそのプロセスを経て
剥離プロセスの終了後も基本的に維持される測定セル・
ハウジング９に適宜の圧力を発生させることが可能であ
る。
スによって凹部７の側部の内壁の単数又は複数の領域、
又はその周囲領域が、測定セル・ハウジングの背部を押
さえる位置に置かれることによって達成される。このよ
うにして、組立てプロセス中、及びそのプロセスを経て
剥離プロセスの終了後も基本的に維持される測定セル・
ハウジング９に適宜の圧力を発生させることが可能であ
る。
このような剥離プロセスの代わりに、測定セル・ハウ
ジングは、好適には金属製のハウジング要素3aを先細に
することによっても固定することができる。そのために
は、ハウジング要素3aは嵌め込まれた測定セル・ハウジ
ングの上端部の上でほぼ半径方向に圧搾される。
ジングは、好適には金属製のハウジング要素3aを先細に
することによっても固定することができる。そのために
は、ハウジング要素3aは嵌め込まれた測定セル・ハウジ
ングの上端部の上でほぼ半径方向に圧搾される。
図１に示すように、本来の圧力センサ19自体を測定セ
ル・ハウジング９内の凹部17の内壁に接して、例えばセ
ラミック製の小板の形式のデカップリング素子（Entkop
pelements）47上に配置することができる。セラミック
製の小板47自体は切欠き部17の内側に接着するか、又は
予め測定セル・ハウジング９のプラスチックの成形構成
部分内に一緒に成形することができる。このようなデカ
ップリング素子を使用することによって、例えば温度の
変化又は測定セル・ハウジング９への据付けプロセス中
に生ずるたとがある、敏感なセンサ19への応力を防止す
ることができる。
ル・ハウジング９内の凹部17の内壁に接して、例えばセ
ラミック製の小板の形式のデカップリング素子（Entkop
pelements）47上に配置することができる。セラミック
製の小板47自体は切欠き部17の内側に接着するか、又は
予め測定セル・ハウジング９のプラスチックの成形構成
部分内に一緒に成形することができる。このようなデカ
ップリング素子を使用することによって、例えば温度の
変化又は測定セル・ハウジング９への据付けプロセス中
に生ずるたとがある、敏感なセンサ19への応力を防止す
ることができる。
しかし場合によっては、適当なプラスチック又は混合
材料を使用することによって上記のようなデカップリン
グ素子47を使用しなくてもよい。
材料を使用することによって上記のようなデカップリン
グ素子47を使用しなくてもよい。
図１に示した圧力センサ・ユニットは特に高圧を測定
するのに適しているが、明らかに簡略化された図２に示
した実施例は低圧及び中程度の圧力用に使用することが
できる。
するのに適しているが、明らかに簡略化された図２に示
した実施例は低圧及び中程度の圧力用に使用することが
できる。
図２は実施例のハウジング３の下部ハウジング要素3a
だけを一部を破断した透視図で示したものである。
だけを一部を破断した透視図で示したものである。
下部ハウジング要素3aの凹部７の床には図１に示した
測定セルと基本的に対応する測定セル５が嵌め込まれて
いる。勿論、低圧及び中程度の圧力用に使用できる図２
に示した実施例の場合、補強板39は省くことができる。
測定セルと基本的に対応する測定セル５が嵌め込まれて
いる。勿論、低圧及び中程度の圧力用に使用できる図２
に示した実施例の場合、補強板39は省くことができる。
この場合も測定セル・ハウジング９は、導電体21が内
部に成形され得るプラスチックの成形構成部分からなっ
ている。この実施例では、この場合も打ち抜き格子とし
て形成できる導電体21は、測定セル・ハウジング９が同
時に導電板の機能をも果たし得るように、導電体が測定
セル・ハウジング９の圧力側とは反対側に誘導されるよ
うに構成されている。
部に成形され得るプラスチックの成形構成部分からなっ
ている。この実施例では、この場合も打ち抜き格子とし
て形成できる導電体21は、測定セル・ハウジング９が同
時に導電板の機能をも果たし得るように、導電体が測定
セル・ハウジング９の圧力側とは反対側に誘導されるよ
うに構成されている。
導電体21のこのような構成では、例えば特にASICであ
る集積回路のような電子構成要素を導電体21上に直接溶
接することができる。
る集積回路のような電子構成要素を導電体21上に直接溶
接することができる。
電子構成要素と上部ハウジング要素（図示せず）内に
配置された外部の接続接点との接触は、測定セル・ハウ
ジング９から垂直に上部ハウジング要素の方向に延びる
接続接点端子21aによって行われる。接点端子21aを接触
させるために、上部ハウジング要素から適宜の対向接点
が下方に延びている。
配置された外部の接続接点との接触は、測定セル・ハウ
ジング９から垂直に上部ハウジング要素の方向に延びる
接続接点端子21aによって行われる。接点端子21aを接触
させるために、上部ハウジング要素から適宜の対向接点
が下方に延びている。
勿論、主として当該の実施例の説明にのみ示した電子
配線もしくは電子回路の構成、及びセンサ19もしくは外
部の接続接点35との接触はそれぞれ別の実施例にも転用
できる。
配線もしくは電子回路の構成、及びセンサ19もしくは外
部の接続接点35との接触はそれぞれ別の実施例にも転用
できる。
図３は測定セル・ハウジング９がその上側で上部ハウ
ジング部3bの半径方向内側に延びる肩部50によって押圧
される、特に低圧及び中程度の圧力用に適した別の実施
例を示している。従って、双方のハウジング要素3a、3b
を組合わせ、下部ハウジング要素3aの壁31を縁曲げする
ことによって、測定セル５がハウジング内に固定され
る。それによって製造、及び組立てコストが更に節減さ
れる。
ジング部3bの半径方向内側に延びる肩部50によって押圧
される、特に低圧及び中程度の圧力用に適した別の実施
例を示している。従って、双方のハウジング要素3a、3b
を組合わせ、下部ハウジング要素3aの壁31を縁曲げする
ことによって、測定セル５がハウジング内に固定され
る。それによって製造、及び組立てコストが更に節減さ
れる。
このような措置は勿論、センサ・ユニットを構成する
ための従来の構造の測定セルにも適用できる。
ための従来の構造の測定セルにも適用できる。
更に、この実施例ではセンサ19のための補足的な電
気、又は電子構成要素が省略されている。例えば必要な
電子部品の全部をセンサ21内に集積することができ、又
は信号の評価をセンサ・ユニットの外部で行うこともで
きる。従って測定セル・ハウジング９内に射出成形され
た導体21を接続接点35と一体に形成することができ、も
しくは導体21の端部を接続接点35として測定セル・ハウ
ジング９の上側に導出することができる。このような手
段によっても製造及び組立てコストが更に節減される。
気、又は電子構成要素が省略されている。例えば必要な
電子部品の全部をセンサ21内に集積することができ、又
は信号の評価をセンサ・ユニットの外部で行うこともで
きる。従って測定セル・ハウジング９内に射出成形され
た導体21を接続接点35と一体に形成することができ、も
しくは導体21の端部を接続接点35として測定セル・ハウ
ジング９の上側に導出することができる。このような手
段によっても製造及び組立てコストが更に節減される。
それでもなおその他の電気、又は電子構成要素が必要
である場合は、接続接点35も測定セル・ハウジング９内
に成形し、導体21と同様に部品用の機械的な保持手段と
しても同時に役立てることができる。
である場合は、接続接点35も測定セル・ハウジング９内
に成形し、導体21と同様に部品用の機械的な保持手段と
しても同時に役立てることができる。
図示しない実施例では、上部ハウジング要素3bも測定
セル・ハウジング９と一体に形成することができるの
で、センサを除けば、センサ・ユニットの構成にわずか
２つの部品を組立てるだけでよい。
セル・ハウジング９と一体に形成することができるの
で、センサを除けば、センサ・ユニットの構成にわずか
２つの部品を組立てるだけでよい。
総じて、予め内部にセンサの接触用の電気接点が射出
成形される測定セル・ハウジング９の少なくとも重要な
構成部品としてプラスチック成形部分を使用することに
よって、公知の圧力センサ・ユニットと比較して圧力測
定セルの製造のみならず、圧力センサ・ユニットのハウ
ジングへの圧力測定セルの据付けも明らかな簡略化が達
成される。
成形される測定セル・ハウジング９の少なくとも重要な
構成部品としてプラスチック成形部分を使用することに
よって、公知の圧力センサ・ユニットと比較して圧力測
定セルの製造のみならず、圧力センサ・ユニットのハウ
ジングへの圧力測定セルの据付けも明らかな簡略化が達
成される。
個々の実施例について記載した特徴は勿論、他の実施
例とも有意義に組合わせることができる。
例とも有意義に組合わせることができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 スコフルヤネック，ローベルト ドイツ連邦共和国デー―78345 バンク ホルツェン，シュタイナーヴェーク 13 アー (56)参考文献 特開 平10−111198（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−292118（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−175537（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−243926（ＪＰ，Ａ) 実開 平７−16134（ＪＰ，Ｕ) 欧州特許出願公開677727（ＥＰ，Ａ ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01L 19/00 G01L 9/04 101
Claims (11)
- 【請求項１】ａ）圧力測定セル（５）が内部に配置され
ているハウジング（３）を有し、その圧力測定セルにハ
ウジングの供給開口（15）を経て圧力媒体を導入可能で
あり、かつ圧力測定セルがハウジング内部から外側に案
内された外部の接続接点（35）を備え、 ｂ）圧力測定セル（５）は測定セル・ハウジング（９）
を含んでおり、圧力媒体の作用を受けることが可能な圧
力センサ（19）がその測定セル・ハウジング内部に、又
はこれと接して配置され、 ｃ）圧力センサ（19）の電気接点が電子配線（25）又は
電子回路の外部の接続接点（35）又は接続部（23）と連
結されている形式の、特に自動車技術用の圧力センサ・
ユニットにおいて、 ｃ）測定セル・ハウジング（９）は、少なくとも２つの
導電体（21）が内部に突出成形されたプラスチックの成
形構成部分であり、 ｄ）導電体（21）がそれぞれ少なくとも１つの第１の接
点端末と共に圧力センサ（19）を収容する領域内に突出
し、かつ圧力センサ（19）の電気接続部とそれぞれ連結
されており、 ｅ）導電体（21）のそれぞれの少なくとも１つの第２の
接点端末が測定セル・ハウジングの圧力媒体、又は圧力
伝達媒体によって作用を受けない領域内に突起し、かつ
電子配線又は電子回路の外部の接続接点（35）又は接続
部（23）と連結されており、 ｆ）圧力の作用方向に関して、測定セル・ハウジング
（９）の圧力を受ける側とは逆の側においてハウジング
（３）内に固定された好適には金属製の補強板（39）を
備えたことを特徴とする圧力センサ・ユニット。 - 【請求項２】導電体（21）を打ち抜き格子として形成し
たことを特徴とする請求の範囲１に記載の圧力センサ・
ユニット。 - 【請求項３】圧力センサ（19）を半導体チップ上に形成
したことを特徴とする請求の範囲１又は２に記載の圧力
センサ・ユニット。 - 【請求項４】半導体チップ上に処理及び評価用の電子部
品の少なくとも一部を配置したことを特徴とする請求の
範囲３に記載の圧力センサ・ユニット。 - 【請求項５】打ち抜き格子の少なくとも１つの第１の接
点端末を圧力センサ（19）の対応する接続部と接着によ
り連結したことを特徴とする請求の範囲２から４の１つ
に記載の圧力センサ・ユニット。 - 【請求項６】導電体（21）の第２の接点端末を、電子配
意線（25）又は電子回路用の機械的支持体として形成し
たことを特徴とする前記請求の範囲の１つに記載の圧力
センサ・ユニット。 - 【請求項７】導電体（21）の第２の接点端末を、導電体
の対応する接点端末を、差し込み接点又は刃先接点を形
成し、電子配線（25）又は電子回路に備えられた対向す
る要素（23）を形成する差し込み接点又は刃先接点と相
互に作用することを特徴とする前記請求の範囲の１つに
記載の圧力センサ・ユニット。 - 【請求項８】圧力センサ（19）を測定セル・ハウジング
（９）の壁にじかに接着することを特徴とする前記請求
の範囲の１つに記載の圧力センサ・ユニット。 - 【請求項９】圧力センサ（19）の測定セル・ハウジング
に接して、又はその内部に備えられた、好適にはセラミ
ック製のデカップリング素子（47）の表面上に取付けた
ことを特徴とする請求の範囲１から８の１つに記載の圧
力センサ・ユニット。 - 【請求項１０】デカップリング素子（47）を測定セル・
ハウジング（９）内に射出成形したことを特徴とする請
求の範囲９に記載の圧力センサ・ユニット。 - 【請求項１１】補強板（39）を測定セル・ハウジング
（９）に接して、又はその内部に射出成形したことを特
徴とする請求の範囲10に記載の圧力センサ・ユニット。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19723615.4 | 1997-06-05 | ||
| DE19723615A DE19723615A1 (de) | 1997-06-05 | 1997-06-05 | Drucksensoreinheit, insbesondere für die Kraftfahrzeugtechnik |
| PCT/DE1998/001259 WO1998055845A1 (de) | 1997-06-05 | 1998-05-05 | Drucksensoreinheit, insbesondere für die kraftfahrzeugtechnik |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000505205A JP2000505205A (ja) | 2000-04-25 |
| JP3129449B2 true JP3129449B2 (ja) | 2001-01-29 |
Family
ID=7831509
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11501249A Expired - Fee Related JP3129449B2 (ja) | 1997-06-05 | 1998-05-05 | 特に自動車技術用の圧力センサ・ユニット |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6209399B1 (ja) |
| EP (1) | EP0935743B1 (ja) |
| JP (1) | JP3129449B2 (ja) |
| KR (1) | KR100342987B1 (ja) |
| BR (1) | BR9806038A (ja) |
| DE (2) | DE19723615A1 (ja) |
| WO (1) | WO1998055845A1 (ja) |
Families Citing this family (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| DE19916087A1 (de) * | 1999-04-09 | 2000-10-26 | Lucas Ind Plc | Anordnung zur Messung eines Fluiddrucks |
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-
1997
- 1997-06-05 DE DE19723615A patent/DE19723615A1/de not_active Ceased
-
1998
- 1998-05-05 JP JP11501249A patent/JP3129449B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1998-05-05 KR KR1019997000921A patent/KR100342987B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1998-05-05 WO PCT/DE1998/001259 patent/WO1998055845A1/de active IP Right Grant
- 1998-05-05 DE DE59807310T patent/DE59807310D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-05-05 EP EP98933460A patent/EP0935743B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-05-05 BR BR9806038A patent/BR9806038A/pt unknown
- 1998-05-05 US US09/230,705 patent/US6209399B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20000068043A (ko) | 2000-11-25 |
| JP2000505205A (ja) | 2000-04-25 |
| WO1998055845A1 (de) | 1998-12-10 |
| EP0935743A1 (de) | 1999-08-18 |
| KR100342987B1 (ko) | 2002-07-05 |
| BR9806038A (pt) | 1999-08-24 |
| DE59807310D1 (de) | 2003-04-03 |
| DE19723615A1 (de) | 1998-12-10 |
| EP0935743B1 (de) | 2003-02-26 |
| US6209399B1 (en) | 2001-04-03 |
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