JP3129080B2

JP3129080B2 - インク噴射装置の製造方法

Info

Publication number: JP3129080B2
Application number: JP6740494A
Authority: JP
Inventors: 高橋　　義和
Original assignee: Brother Industries Ltd
Current assignee: Brother Industries Ltd
Priority date: 1994-04-05
Filing date: 1994-04-05
Publication date: 2001-01-29
Anticipated expiration: 2016-01-29
Also published as: JPH07276648A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インク噴射装置の製造
方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】今日、これまでのインパクト方式の印字
装置にとってかわり、その市場を大きく拡大しつつある
ノンインパクト方式の印字装置のなかで、原理が最も単
純で、かつ多階調化やカラー化が容易であるものとし
て、インクジェット方式の印字装置が上げられる。なか
でも印字に使用するインク滴のみを噴射するドロップ・
オン・デマンド型が、噴射効率の良さ、ランニングコス
トの安さなどから急速に普及している。

【０００３】ドロップ・オン・デマンド型として特公昭
５３−１２１３８号公報に開示されているカイザー型、
あるいは特公昭６１−５９９１４号公報に開示されてい
るサーマルジェット型がその代表的な方式としてある。
このうち、前者は小型化が難しく、後者は高熱をインク
に加えるためにインクの耐熱性に対する要求が必要とさ
れ、それぞれに非常に困難な問題を抱えている。

【０００４】以上のような欠陥を同時に解決する新たな
方式として提案されたのが、特開昭６３−２４７０５１
号公報、特開昭６３−２５２７５０号公報及び特開平２
−１５０３５５号公報に開示されている圧電セラミック
スを利用したせん断モード型である。

【０００５】以下、インク噴射装置のアクチュエータ部
の断面図を示す図６（ａ）によって、従来例の構成を具
体的に説明する。複数の溝１５（図７）及び該溝１５を
隔てる側壁１１を有し、かつ矢印６の方向に分極処理を
施された圧電セラミックスプレート２と、セラミックス
材料からなるカバープレート３とを、エポキシ系接着剤
等からなる接合層４を介して接合することで、アクチュ
エータ部１が構成され、溝１５（図７）は横方向に互い
に間隔を有する複数のインク液室１２となる。インク液
室１２は長方形断面の細長い形状であり、側壁１１はイ
ンク液室１２の全長にわたって伸びている。側壁１１の
接着層４付近の側壁１１上部から側壁１１中央部までの
両表面には、駆動電界印加用の電極１３が形成されてい
る。

【０００６】次に、インク噴射装置のアクチュエータ部
１の断面図を示す図６（ｂ）によって、従来例の動作を
説明する。該インク噴射装置において、所望の印字デー
タに従って例えばインク液室１２ｂが選択されると、電
極１３ｄと１３ｅに正の駆動電圧が印加され、電極１３
ｃと１３ｆは接地される。これにより側壁１１ｂには矢
印１４ｂの方向の駆動電界が、側壁１１ｃには矢印１４
ｃの方向の駆動電界が作用する。このとき駆動電界方向
１４ｂ及び１４ｃと分極方向６とが直交しているため、
側壁１１ｂ及び１１ｃは、圧電すべり効果によってイン
ク液室１２ｂの外部方向に変形する。この変形によって
インク液室１２ｂの容積が増加してインク液室１２ｂの
インク圧力が減少し、インク供給口２１（図７）からマ
ニホールド２２（図７）を通してインク液室１２ｂ内に
インクが供給される。また、駆動電圧の印加を停止する
と、側壁１１ｂおよび１１ｃが変形前の位置（図６
（ａ）参照）に戻るためインク液室１２ｂ内のインク圧
力が急速に増加し、圧力波が発生して、インク液室１２
ｂに連通するノズル３２（図７）からインク液滴が噴射
される。

【０００７】従来例では、隣接する２つのインク液室に
連通する２つのノズルから同時にインク液滴を噴射する
ことができないため、例えば、左端から奇数番目のイン
ク液室１２に連通するノズル３２（図７）からインク液
滴を噴射した後、偶数番目のインク液室１２に連通する
ノズル３２（図７）からインク液滴を噴射し、次に再び
奇数番目からインク液滴を噴射するというように、イン
ク液室１２を複数のグループに分割してインク液滴の噴
射を行う。

【０００８】次に、インク噴射装置の斜視図を示す図７
によって、従来例の構成及び製造法を説明する。分極処
理を施した圧電セラミックスプレート２に、薄い円盤状
のダイヤモンドブレードを使用した切削加工などによっ
て、前記の形状のインク液室１２を形成する溝１５を作
製する。溝１５は圧電セラミックスプレート２のほぼ全
域で同じ深さの平行な溝であるが、端面１７に近づくに
つれて徐々に浅くなり、端面１７付近では浅く平行な浅
溝１８となるように作製される。この溝１５及び浅溝１
８の内面には、前記電極１３がスパッタリング等によっ
て形成される。溝１５の内面にはその側面の上半分のみ
に電極１３が形成されるが、浅溝１８の内面にはその側
面及び底面全体に電極１３が形成される。また、セラミ
ックス材料からなるカバープレート３に、研削または切
削加工などによって、インク導入口２１及びマニホール
ド２２を作製する。

【０００９】次に、圧電セラミックスプレート２の溝１
５加工側の面とカバープレート３のマニホールド２２加
工側の面とを、エポキシ系接着剤等によって、各々の溝
１５が前記インク液室１２を形成するように接着し、ア
クチュエータ部１を作製する。次に、圧電セラミックス
プレート２及びカバープレート３の端面１６に、各イン
ク液室１２の位置に対応した位置にノズル３２が設けら
れたノズルプレート３１を接着する。また、圧電セラミ
ックスプレート２の溝１５加工側と反対側の面には、各
インク液室１２の位置に対応した位置に導電層のパター
ン４２が設けられた基板４１を、エポキシ系接着剤など
によって接着する。そして、浅溝１８の底面の電極１３
と導電層のパターン４２とを、周知のワイヤボンディン
グによって導線４３で接続する。

【００１０】次に、制御部のブロック図を示す図８によ
って、従来例の制御部の構成を説明する。基板４１に設
けられた導電層のパターン４２は各々個々にＬＳＩチッ
プ５１に接続され、クロックライン５２、データライン
５３、電圧ライン５４及びアースライン５５もＬＳＩチ
ップ５１に接続されている。ＬＳＩチップ５１は、クロ
ックライン５２から供給された連続するクロックパルス
に基づいて、データライン５３上に現れるデータから、
どのノズル３２からインク液滴の噴射を行うべきかを判
断する。そして、ＬＳＩチップ５１は、駆動するインク
液室１２内の電極１３に導通する導電層のパターン４２
に、電圧ライン５４の電圧Ｖを印加し、前記インク液室
１２以外の電極１３に導通する導電層のパターン４２に
アースライン５５を接続して接地する。

【００１１】次に、プリンタの斜視図を示す図９によっ
て、従来例の構成及び動作を説明する。アクチュエータ
部１及びノズルプレート３１は、図６、図７で説明した
構成、動作をもつものである。アクチュエータ部１はキ
ャリッジ６２上に固定され、インク供給チューブ６３は
インク供給口２１（図７）に連通し、ＬＳＩチップ５１
（図８）はキャリッジ６２に内蔵され、フレキシブルケ
ーブル６４は図８に示したクロックライン５２、データ
ライン５３、電圧ライン５４及びアースライン５５に対
応している。キャリッジ６２はスライダ６６に沿って矢
印６５方向に記録紙７１の全幅にわたって往復運動し、
アクチュエータ部１はキャリッジ６２が移動している時
にプラテンローラ７２に保持された記録紙７１に対し
て、ノズルプレート３１に設けられたノズル３２（図
７）からインク液滴を噴射し、記録紙７１上にインク液
滴を付着させる。

【００１２】また、記録紙７１はアクチュエータ部１が
インク液滴を噴射しているときは静止しているが、キャ
リッジ６２が往復動作の度に紙送りローラ７３及び７４
によって矢印７５方向に一定量ずつ移送される。これに
よって、アクチュエータ部１は記録紙７１の全面に所望
の文字や画像を形成することが可能となる。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た構成のインク噴射装置では、ノズル３２を形成したノ
ズルプレート３１を、該ノズル３２がインク液室１２に
対応するようにアクチュエータ部１に接着剤で接着して
いるので、接着時に接着剤の余剰分がノズル３２内に流
れ込んでしまって、インク液滴の飛翔方向に影響を与え
たり、ノズル３２を塞いでしまってインク液滴が噴射さ
れなくなったりする危険性があった。また、ノズル３２
やインク液室１２の大きさ及びピッチは極めて小さいの
で、各ノズル３２と各インク液室１２とを対応させた位
置でノズルプレート３１とアクチュエータ部１とを接着
するには、画像処理装置を有するカメラを備えた高価な
位置決め装置を必要とするのでコストが上がってしま
う。

【００１４】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、製造コストを低減し、ノズルに
接着剤が流れ込むことがないインク噴射装置の製造方法
を提示することを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の請求項１では、インクが充填される複数のイ
ンク液室と、前記インク液室に連通するノズルが形成さ
れるノズルプレートとを有するインク噴射装置の製造方
法において、前記複数のインク液室に連通する連通孔が
設けられたノズルプレート補助部材に、ノズルが形成さ
れていない前記ノズルプレートを接着する工程と、前記
ノズルプレート補助部材の連通孔を通して前記ノズルプ
レートにレーザ光を照射して、前記ノズルプレートにノ
ズルを加工する工程と、前記ノズルプレート補助部材の
連通孔と前記インク液室とが連通するように接合する工
程とからなることを特徴とする。

【００１６】請求項２では、前記ノズルプレート補助部
材に形成された前記連通孔の前記インク液室側における
開口の大きさは、前記インク液室の大きさより小さいこ
とを特徴とする。

【００１７】請求項３では、前記ノズルプレート補助部
材に形成された前記連通孔は、前記インク液室に連通す
る側の方が、前記ノズルに連通する側よりも大きく開口
していることを特徴とする。

【００１８】請求項４では、前記ノズルプレート補助部
材が、レーザ光のマスクとなることを特徴とする。

【００１９】請求項５では、インクが充填される複数の
インク液室が設けられたヘッド部と、前記ヘッド部の前
記インク液室に連通するノズルが形成されるノズルプレ
ートとを有するインク噴射装置の製造方法において、前
記ヘッド部の前記インク液室の開口面に、ノズルが形成
されていない前記ノズルプレートを接着する工程と、前
記ヘッド部の前記インク液室にほぼ直交するように切断
して、前記ノズルプレートが接着されたノズルプレート
補助部材と、インクを噴射するためのエネルギーを発生
するアクチュエータ部材とを加工する工程と、前記ノズ
ルプレート補助部材のインク液室を通して、前記ノズル
プレートにレーザ光を照射して、前記ノズルプレートに
ノズルを加工する工程と、前記ノズルプレート補助部材
の前記インク液室と、前記アクチュエータ部材のインク
液室とが連通するように接合する工程とからなることを
特徴とする。

【００２０】

【作用】上記の構成を有する本発明の請求項１のインク
噴射装置の製造方法では、前記複数のインク液室に連通
する連通孔が設けられたノズルプレート補助部材に、ノ
ズルが形成されていない前記ノズルプレートが接着さ
れ、前記ノズルプレート補助部材の連通孔を通して前記
ノズルプレートにレーザ光が照射されて、前記ノズルプ
レートにノズルが加工された後、前記ノズルプレート補
助部材の連通孔と前記インク液室とが連通するように接
合されることによって、ノズルに接着剤が入り込んでい
ないインク噴射装置が製造される。

【００２１】請求項５のインク噴射装置の製造方法で
は、前記ヘッド部の前記インク液室の開口面に、ノズル
が形成されていない前記ノズルプレートが接着され、前
記ヘッド部が前記インク液室にほぼ直交するように切断
されることによって、前記ノズルプレートが接着された
ノズルプレート補助部材と、インクを噴射するためのエ
ネルギーを発生するアクチュエータ部材とが加工され
る。そして、前記ノズルプレート補助部材のインク液室
を通して、前記ノズルプレートにレーザ光が照射され
て、前記ノズルプレートにノズルが加工された後、前記
ノズルプレート補助部材の前記インク液室と、前記アク
チュエータ部材のインク液室とが連通するように接合さ
れることによって、ノズルに接着剤が入り込んでいない
インク噴射装置が製造される。

【００２２】

【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図面を
参照して説明する。尚、従来例と同一の部材には同一の
符号を付し、その説明を省略する。

【００２３】まず、インク噴射装置の斜視図を示す図１
によって、本発明の一実施例の構成を具体的に説明す
る。

【００２４】図１に示すように、インク噴射装置のアク
チュエータ部１０１は、圧電セラミックスプレート１０
２とカバープレート１０３とから構成されている。

【００２５】その圧電セラミックスプレート１０２は、
チタン酸ジルコン酸鉛系（ＰＺＴ）のセラミックス材料
で形成され、圧電セラミックスプレート１０２には、ダ
イヤモンドブレード等により切削加工され、複数の溝１
１５が形成されている。また、その溝１１５の側面とな
る側壁１１１は矢印１０６の方向に分極されている。そ
れらの溝１１５は同じ深さであり、かつ平行である。そ
れら溝１１５の深さは、圧電セラミックスプレート１０
２の一端面１１７に近づくにつれて徐々に浅くなって、
浅溝１１８が形成されている。そして、溝１１５の内面
には、その両側面の上半分に電極１１３がスパッタリン
グ等によって形成されている。また、浅溝１１８の内面
には、その側面及び底面に電極１１３がスパッタリング
等によって形成されている。これにより、溝１１５の両
側面に形成された電極１１３は浅溝１１８に形成された
電極１１３によって電気的に接続される。

【００２６】次に、カバープレート１０３は、圧電セラ
ミックスプレート１０２と同種または異種のセラミック
ス材料で形成されている。そのカバープレート１０３に
は、マニホールド１２１とインク供給口１２１が形成さ
れている。

【００２７】そして、圧電セラミックスプレート１０２
の溝１１５加工側の面とカバープレート１０３とがエポ
キシ系接着剤層１０４（図５）を介して接着され、溝１
１５は横方向に互いに間隔を有する複数のインク液室１
１２となる。

【００２８】圧電セラミックスプレート１０２及びカバ
ープレート１０３の端面１１６には、各インク液室１１
２の位置に対応した位置に連通孔１５３が設けられたノ
ズルプレート補助部材１０５が接合され、さらに、該ノ
ズルプレート補助部材１０５の前面には、各連通孔１５
３に対応した位置にノズル１３２が設けられるノズルプ
レート１３１が図２（ａ）に示すように接合されてい
る。

【００２９】このノズルプレート補助部材１０５は、セ
ラミックスまたは樹脂材料からなり、図３（ａ）に示す
ようにインク液室１１２に対応する同じ深さ、且つ同じ
幅の複数の溝を有する溝部品１５１とカバー部品１５２
とを接着剤によって接合し、図３（ｂ）に示すように切
断面１６０にて所定の厚さ（例えば１ｍｍ）に切断して
なる。

【００３０】前記ノズルプレート１３１は、ポリアルキ
レン（例えばエチレン）テレフタレート、ポリイミド、
ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテ
ルスルホン、ポリカーボネイト、酢酸セルロース等のプ
ラスチックからなり、ノズルが形成されていないノズル
プレート１３１を前記ノズルプレート補助部材１０５に
接着剤によって接着した後で、図３（ｃ）に示すよう
に、マスク（図示せず）を通過し、かつ該ノズルプレー
ト補助部材１０５の連通孔１５３を通過したレーザビー
ム１７０により、ノズル１３２を形成する。

【００３１】ノズルプレート１３１を接合し、ノズルプ
レート１３１にノズル１３２を形成した前記ノズルプレ
ート補助部材１０５を、圧電セラミックスプレート１０
２及びカバープレート１０３の端面１１６に接合する。
従来、ノズルを形成したノズルプレートを、該ノズルが
インク液室に対応するようにアクチュエータ部に位置決
めして接合するときに、画像処理装置を有するカメラを
備えた高価な位置決め装置を必要としていたのに対し、
本実施例のインク噴射装置では、圧電セラミックスプレ
ート１０２とノズルプレート補助部材１０５の側面を共
通面に合わせた後、接合するなどの簡単な方法でノズル
１３２とインク液室１１２とが対応した位置に配置され
るので、生産性が高く、接合工程の低コスト化が図れ
る。また、ノズルプレート１３１をノズルプレート補助
部材１０５に接合した後でノズル１３２を形成するた
め、従来のようにノズル内に接着剤が流れ込んでノズル
が塞がる危険性が全くなく、歩留まりが向上する。

【００３２】圧電セラミックスプレート１０２の溝１１
５加工側の裏側には、パターン４２が形成された基板４
１が接着されており、パターン４２は導線４３によって
浅溝１１８の電極１１３に接続されている。

【００３３】次に制御部のブロック図を示す図８をもち
いて制御部の構成を説明する。基板４１に設けられた導
電層のパターン４２は各々個々にＬＳＩチップ５１に接
続され、クロックライン５２、データライン５３、電圧
ライン５４及びアースライン５５もＬＳＩチップ５１に
接続されている。ＬＳＩチップ５１は、クロックライン
５２から供給された連続するクロックパルスに基づい
て、データライン５３上に現れるデータから、どのノズ
ル１３２からインク液滴の噴射を行うべきかを判断し、
駆動するインク液室１１２内の電極１１３に導通する導
電層のパターン４２に、電圧ライン５４の電圧Ｖを印加
する。また、駆動するインク液室１１２以外の電極１１
３に導通する導電層のパターン４２をアースライン５５
に接続する。

【００３４】次に、本実施例のインク噴射装置のアクチ
ュエータ部１０１の動作を説明する。図５（ｂ）のイン
ク液室１１２ｂからインク液滴を噴射するために、当該
インク液室１１２ｂに対し電圧パルスを与える（ここ
で、あるインク液室１１２ｂに対して電圧を与えること
は、そのインク液室１１２ｂに面する電極１１３ｄ、１
１３ｅに電圧を印加し、指示しないインク液室１１２に
面する電極１１３を接地することを言う）。すると、側
壁１１１ｂには矢印１１４ｂ方向の電界が発生し、側壁
１１１ｃには矢印１１４ｃ方向の電界が発生し、側壁１
１１ｂと１１１ｃとが圧電厚みすべり効果により、互い
に離れるように動く。インク液室１１２ｂの容積が増え
て、ノズル１３２付近を含むインク液室１１２ｂ内の圧
力が減少する。この状態をＬ／ａで示される時間だけ維
持する。すると、その間図示しないインク供給源からマ
ニホールド１２１を介してインクが供給される。

【００３５】なお、上記Ｌ／ａは、インク液室１１２内
の圧力波が、インク液室１１２の長手方向（マニホール
ド１２１からノズルプレート１３１まで、またはその
逆）に対して、片道伝播するに必要な時間であり、イン
ク液室１１２の長さＬとインク中での音速ａによって決
まる。

【００３６】圧力波の伝播理論によると、前記の立ち上
げからちょうどＬ／ａの時間経つとインク液室１１２ｂ
内の圧力が逆転し、正の圧力に転じるが、このタイミン
グに合わせてインク液室１１２ｂに印加されている電圧
を０Ｖに戻す。すると、側壁１１１ｂと１１１ｃは変形
前の状態（図５（ａ））に戻り、インクに圧力が加えら
れる。その時、前記正に転じた圧力と、側壁１１１ｂ、
１１１ｃが変形前の状態に戻って発生した圧力とが足し
合わされ、比較的高い圧力がインク液室１１２ｂ内のイ
ンクに与えられて、インク液滴がノズル１３２から噴出
される。

【００３７】前記実施例においては、まず駆動電圧をイ
ンク液室１１２ｂの容積が増加する方向に印加し、次に
駆動電圧の印加を停止しインク液室１１２ｂの容積を自
然状態に減少してインク液室１１２ｂからインク液滴を
噴射していたが、まず駆動電圧をインク液室１１２ｂの
容積が減少するように印加してインク液室１１２ｂから
インク液滴を噴射し、次に駆動電圧の印加を停止してイ
ンク液室１１２ｂの容積を前記減少状態から自然状態へ
と増加させてインク室１１２ｂ内にインクを供給しても
よい。

【００３８】尚、前記実施例ではインク液室１１２と同
じ溝深さの連通孔１５３を有するノズルプレート補助部
材１０５を用いたが、図２（ｂ）に示すようにインク液
室１１２よりも溝深さの浅い溝を有する溝部品１５４と
カバー部品１５５とを接合して、インク液室１１２より
も溝深さの浅い連通孔１５６を構成してもよく、このよ
うにすればインクのノズルプレート１３１面での抵抗を
緩和できる。

【００３９】また、図２（ｃ）に示すように前記ノズル
プレート補助部材１０５に形成された連通孔１５９の前
記インク液室１１２側における開口部が、前記ノズルプ
レート１３１側における開口部よりも広くなるように構
成しても、インクのノズルプレート１３１面での抵抗を
さらに緩和できる。このとき図４（ａ）に示すように、
深さが傾斜した溝部品１５７とカバー部品１５８とを接
合して連通孔１５９を形成し、その連通孔１５９の開口
の小さい方の面に、ノズルが形成されていないノズルプ
レート１３１を接合した後、図４（ｂ）に示すように前
記連通孔１５９の開口の大きい方の面からレーザビーム
１７０をマスクを介さずに直接照射すると、ノズルプレ
ート補助部材１０５がレーザビーム１７０のマスクとし
て機能し、ノズル１３２が加工される。このため、レー
ザ加工時のレーザビームを加工する所望の大きさにする
ためのマスクが不要となるので、マスクの位置決めが不
要となり、生産性が向上する。

【００４０】また、アクチュエータ部１０１の圧電セラ
ミックスプレート１０２及びカバープレート１０３の端
面１１６に、ノズルが形成されていないノズルプレート
１３１を接着剤によって接着した後、そのアクチュエー
タ部１０１をインク液室１１２とほぼ直交するように切
断して、ノズルプレート１３１が接着された部分と、他
の部分とを形成し、ノズルプレート１３１が接着された
部分のインク液室を通してノズルプレート１３１にレー
ザビームを照射してノズル１３２を加工して、ノズル１
３２が加工されたノズルプレート１３１が接着された部
分と、前記他の部分とのインク液室が連通するようにそ
れらを接合させてもよい。このようにすれば、アクチュ
エータ部１０１の切断によってノズルプレート１３１が
接着された部分と、他の部分とが形成されるので、それ
ら２つの部材の接合時に行なう、互いのインク液室を連
通させるための位置決めが、側面を揃えるなどによって
行えるためきわめて容易である。

【００４１】また、前記実施例においては、全ての溝１
１５をインク液室１１２としていたため、隣り合うイン
ク液室を同時に噴射することができなかったが、インク
噴射をしない空気室（図示しない）とインク液室１１５
とを交互に設けて、隣り合うのインク液室が同時に噴射
できるようにしても良い。さらに前記実施例ではインク
に圧力を与える手段として、圧電すべり効果を用いてい
たが、圧電縦効果、圧電横効果など他の圧電モードを用
いてもよく、圧電効果に限らず、電気熱変換素子による
バブルジェット方式などの他の圧力発生方法を用いた噴
射装置で構成してもよい。

【００４２】また、前記実施例では圧電セラミックスプ
レート１０２の片側の面に溝１１５を加工していたが、
圧電セラミックスプレートの厚さを厚くして、両側の面
に溝を形成して、インク液室列を上下に２列設けてもよ
い。

【００４３】さらに前記実施例では、側壁１１１の上半
分に電極１１３を形成して、側壁１１１の上半分の圧電
厚みすべり変形によって、側壁１１１の下半分を駆動し
ていたが、分極方向が互いに反対方向であるプレートに
溝を形成し、その溝の側面全面に電極を形成して、側壁
の上部及び下部に圧電厚みすべり変形させて、インクを
噴射してもよい。

【００４４】

【発明の効果】以上説明したことから明かなように、本
発明の請求項１のインク噴射装置の製造方法によれば、
前記複数のインク液室に連通する連通孔が設けられたノ
ズルプレート補助部材に、ノズルが形成されていない前
記ノズルプレートを接着し、前記ノズルプレート補助部
材の連通孔を通して前記ノズルプレートにレーザ光を照
射して、前記ノズルプレートにノズルを加工した後、前
記ノズルプレート補助部材の連通孔と前記インク液室と
が連通するように接合するので、従来のようにノズル内
に接着剤が流れ込んでノズルが塞がる危険性が全くな
く、歩留まりが向上する。また、ノズルプレートの接着
時には、ノズルが形成されていないので、その接着の位
置決めが容易に行え、更にインク噴射装置本体とノズル
プレート補助部材の側面を共通面に合わせて接合するな
どの、簡単な方法でノズルプレート補助部材の連通孔と
インク液室との位置決め接合ができ、かつ生産性も高い
ため接合工程の低コスト化が図れる。

【００４５】請求項５のインク噴射装置の製造方法によ
れば、前記ヘッド部の前記インク液室の開口面に、ノズ
ルが形成されていない前記ノズルプレートを接着し、前
記ヘッド部を前記インク液室にほぼ直交するように切断
することによって、前記ノズルプレートが接着されたノ
ズルプレート補助部材と、インクを噴射するためのエネ
ルギーを発生するアクチュエータ部材とを加工し、前記
ノズルプレート補助部材のインク液室を通して、前記ノ
ズルプレートにレーザ光を照射して、前記ノズルプレー
トにノズルを加工した後、前記ノズルプレート補助部材
の前記インク液室と、前記アクチュエータ部材のインク
液室とが連通するように接合するので、従来のようにノ
ズル内に接着剤が流れ込んでノズルが塞がる危険性が全
くなく、歩留まりが向上する。また、ノズルプレートの
接着時には、ノズルが形成されていないので、その接着
の位置決めが容易に行え、更にヘッド部材を切断するこ
とによって、ノズルプレート補助部材とアクチュエータ
部材とを形成しているので、ノズルプレート補助部材と
アクチュエータ部材との側面を共通面に合わせて接合す
るなどの、簡単な方法でノズルプレート補助部材のイン
ク液室とアクチュエータ部材のインク液室との正確な位
置決め接合ができ、かつ生産性も高いため接合工程の低
コスト化が図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例のインク噴射装置を示す斜視
図である。

【図２】本発明の前記実施例のインク噴射装置の断面図
である。

【図３】本発明に前記実施例のノズルプレート補助部材
及びノズルの形成工程を示す説明図である。

【図４】本発明の他の実施例のノズルの形成工程を示す
説明図である。

【図５】本発明の前記実施例のインク噴射装置の動作を
示す断面図である。

【図６】従来のインク噴射装置の動作を示す断面図であ
る。

【図７】従来のインク噴射装置を示す斜視図である。

【図８】従来及び本発明の前記実施例のインク噴射装置
の制御部を示すブロック図である。

【図９】従来のプリンタの構成を示す斜視図である。

【符号の説明】

１０１アクチュエータ部１０５ノズルプレート補助部材１１２インク液室１３１ノズルプレート１３２ノズル１５１溝部品１５２カバー部品１５３連通孔１５４溝部品１５５カバー部品１５６連通孔１５７溝部品１５８カバー部品１５９連通孔

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B41J 2/16 B41J 2/045 B41J 2/055 B41J 2/135

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】インクが充填される複数のインク液室
と、前記インク液室に連通するノズルが形成されるノズ
ルプレートとを有するインク噴射装置の製造方法におい
て、前記複数のインク液室に連通する連通孔が設けられたノ
ズルプレート補助部材に、ノズルが形成されていない前
記ノズルプレートを接着する工程と、前記ノズルプレート補助部材の連通孔を通して前記ノズ
ルプレートにレーザ光を照射して、前記ノズルプレート
にノズルを加工する工程と、前記ノズルプレート補助部材の連通孔と前記インク液室
とが連通するように接合する工程とからなることを特徴
とするインク噴射装置の製造方法。
【請求項２】前記ノズルプレート補助部材に形成され
た前記連通孔の前記インク液室側における開口の大きさ
は、前記インク液室の大きさより小さいことを特徴とす
る請求項１記載のインク噴射装置の製造方法。
【請求項３】前記ノズルプレート補助部材に形成され
た前記連通孔は、前記インク液室に連通する側の方が、
前記ノズルに連通する側よりも大きく開口していること
を特徴とする請求項１記載のインク噴射装置の製造方
法。
【請求項４】前記ノズルプレート補助部材が、レーザ
光のマスクとなることを特徴とする請求項１記載のイン
ク噴射装置の製造方法。
【請求項５】インクが充填される複数のインク液室が
設けられたヘッド部と、前記ヘッド部の前記インク液室
に連通するノズルが形成されるノズルプレートとを有す
るインク噴射装置の製造方法において、前記ヘッド部の前記インク液室の開口面に、ノズルが形
成されていない前記ノズルプレートを接着する工程と、前記ヘッド部の前記インク液室にほぼ直交するように切
断して、前記ノズルプレートが接着されたノズルプレー
ト補助部材と、インクを噴射するためのエネルギーを発
生するアクチュエータ部材とを加工する工程と、前記ノズルプレート補助部材のインク液室を通して、前
記ノズルプレートにレーザ光を照射して、前記ノズルプ
レートにノズルを加工する工程と、前記ノズルプレート補助部材の前記インク液室と、前記
アクチュエータ部材のインク液室とが連通するように接
合する工程とからなることを特徴とするインク噴射装置
の製造方法。