JP3123573B2 - インクジェット記録ヘッド - Google Patents
インクジェット記録ヘッドInfo
- Publication number
- JP3123573B2 JP3123573B2 JP15381292A JP15381292A JP3123573B2 JP 3123573 B2 JP3123573 B2 JP 3123573B2 JP 15381292 A JP15381292 A JP 15381292A JP 15381292 A JP15381292 A JP 15381292A JP 3123573 B2 JP3123573 B2 JP 3123573B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- nozzle
- flow path
- recording head
- ink jet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、基板の端部にノズルを
備えたインクジェット記録ヘッド、詳しくは、ノズルの
周囲の構造に関する。
備えたインクジェット記録ヘッド、詳しくは、ノズルの
周囲の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は、電気−機械変換手段の作用によ
り、インク吐出エネルギーを発生させるための圧力室
と、その圧力によりインクを吐出するためのノズルを基
板の端部に備えたドロップオンデマンド型のインクジェ
ットプリントヘッドの部分の斜視図である。
り、インク吐出エネルギーを発生させるための圧力室
と、その圧力によりインクを吐出するためのノズルを基
板の端部に備えたドロップオンデマンド型のインクジェ
ットプリントヘッドの部分の斜視図である。
【０００３】このプリントヘッドは、基板１に供給イン
ク室５Ａ、インク供給路５Ｂ、圧力室５Ｃが設けられ、
かつ、ａーａ’面に沿ってダイシングを行うことによ
り、インク吐出ノズル５Ｄが形成されている。圧力室５
Ｃの外部に電気−機械変換エネルギーを発生する圧電素
子７が設けられており、その圧電素子７に、パルス電圧
を供給することにより圧力室５Ｃにインク吐出圧を発生
させ、インクを吐出ノズル５Ｄより噴出させる。
ク室５Ａ、インク供給路５Ｂ、圧力室５Ｃが設けられ、
かつ、ａーａ’面に沿ってダイシングを行うことによ
り、インク吐出ノズル５Ｄが形成されている。圧力室５
Ｃの外部に電気−機械変換エネルギーを発生する圧電素
子７が設けられており、その圧電素子７に、パルス電圧
を供給することにより圧力室５Ｃにインク吐出圧を発生
させ、インクを吐出ノズル５Ｄより噴出させる。
【０００４】このようなドロップオンデマンド型インク
ジェットプリントヘッドにおいては、従来、インク吐出
ノズル５Ｄをダイシングによって形成する際、ノズルエ
ッジ部に欠けを生じたり、ノズル面１２に傷をつけやす
かった。また、そのノズル面１２はインク滴の吐出方向
が曲げられないように鏡面研磨あるいは撥水性処理が施
されているが、ノズル面１２を常に撥水状態に保つこと
は困難であり、ノズル面１２と記録用紙のとの接触によ
り撥水膜が剥がれたり、ノズル面に傷がつくことによっ
て、図７ａに示すようにノズル面２のノズル孔周囲にイ
ンク９が不均一に付着し、図７ｂに示すようにインク滴
１０がノズルから吐出される際、噴出方向が曲がるとい
う問題があった。
ジェットプリントヘッドにおいては、従来、インク吐出
ノズル５Ｄをダイシングによって形成する際、ノズルエ
ッジ部に欠けを生じたり、ノズル面１２に傷をつけやす
かった。また、そのノズル面１２はインク滴の吐出方向
が曲げられないように鏡面研磨あるいは撥水性処理が施
されているが、ノズル面１２を常に撥水状態に保つこと
は困難であり、ノズル面１２と記録用紙のとの接触によ
り撥水膜が剥がれたり、ノズル面に傷がつくことによっ
て、図７ａに示すようにノズル面２のノズル孔周囲にイ
ンク９が不均一に付着し、図７ｂに示すようにインク滴
１０がノズルから吐出される際、噴出方向が曲がるとい
う問題があった。
【０００５】このような問題を解消するため、図８に示
すように、ノズル開口５Ｆの周囲に、前記ノズル開口の
直径の数倍の直径を有し且つノズル開口と同心の凹部５
Ｅを設け、記録用紙がノズル面１２に直接接触するのを
防止して、インク吐出方向を安定させる記録ヘッドが提
案されている（特開平３−１６４２５６号公報）。
すように、ノズル開口５Ｆの周囲に、前記ノズル開口の
直径の数倍の直径を有し且つノズル開口と同心の凹部５
Ｅを設け、記録用紙がノズル面１２に直接接触するのを
防止して、インク吐出方向を安定させる記録ヘッドが提
案されている（特開平３−１６４２５６号公報）。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、プリン
ター使用環境下で生じるインク滴の吐出不良の際行うク
リーニング動作において、ワイピング機構のブレードに
より、ノズル開口５Ｆ近傍の紙粉等のゴミやインク残り
を排除する際、ゴムブレードがノズル開口５Ｆ近傍に到
達し難く、また凹部５Ｅの壁が垂直であるため、ブレー
ドに付着したインクが壁で削がれる等によりゴミを凹部
５Ｅから排除することが難しいという問題点があった。
なお、このような問題を解消するため、特開昭６１−３
７４３９号公報に見られるように、ノズルプレートの面
にノズルを形成した記録ヘッドにおいては、ノズルの周
囲に断面円形のラッパ状の凹部を形成することが提案さ
れているが、基板の端部にノズルが形成された記録ヘッ
ドには、加工技術上適用が困難である。
ター使用環境下で生じるインク滴の吐出不良の際行うク
リーニング動作において、ワイピング機構のブレードに
より、ノズル開口５Ｆ近傍の紙粉等のゴミやインク残り
を排除する際、ゴムブレードがノズル開口５Ｆ近傍に到
達し難く、また凹部５Ｅの壁が垂直であるため、ブレー
ドに付着したインクが壁で削がれる等によりゴミを凹部
５Ｅから排除することが難しいという問題点があった。
なお、このような問題を解消するため、特開昭６１−３
７４３９号公報に見られるように、ノズルプレートの面
にノズルを形成した記録ヘッドにおいては、ノズルの周
囲に断面円形のラッパ状の凹部を形成することが提案さ
れているが、基板の端部にノズルが形成された記録ヘッ
ドには、加工技術上適用が困難である。
【０００７】本発明は、このような問題に鑑みてなされ
たもので、その目的とするところはワイピング機構によ
り、基板の端部に形成されたノズル開口の周囲に形成さ
れた凹部から確実にゴミを排除することができるインク
ジェット記録ヘッドを提供することである。
たもので、その目的とするところはワイピング機構によ
り、基板の端部に形成されたノズル開口の周囲に形成さ
れた凹部から確実にゴミを排除することができるインク
ジェット記録ヘッドを提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このような課題を達成す
るために本発明においては、圧力室に設けられた加圧手
段により加圧されたインクを吐出するノズルを流路基板
の端面に備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、前
記ノズルの周囲に、ブレードによるワイピング方向に平
行な２つの面と、前記ワイピング方向に対して交差し、
かつインク吐出方向に拡大するように傾斜した２つの面
とからなる凹部が形成されている。
るために本発明においては、圧力室に設けられた加圧手
段により加圧されたインクを吐出するノズルを流路基板
の端面に備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、前
記ノズルの周囲に、ブレードによるワイピング方向に平
行な２つの面と、前記ワイピング方向に対して交差し、
かつインク吐出方向に拡大するように傾斜した２つの面
とからなる凹部が形成されている。
【０００９】
【作用】凹部を構成する壁のうち、ブレードの移動方向
に交差する面が、インク吐出方向に拡大するように傾斜
しているので、ブレードが拡大している壁の傾斜にガイ
ドされて凹部に進入しやすく、また凹部から後退する場
合にもブレードに付着したインクが掻取られ難い。
に交差する面が、インク吐出方向に拡大するように傾斜
しているので、ブレードが拡大している壁の傾斜にガイ
ドされて凹部に進入しやすく、また凹部から後退する場
合にもブレードに付着したインクが掻取られ難い。
【００１０】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に
説明する。図１に示すように、ガラス、セラミック、プ
ラスチックなど、適当な基板１上に、薄い金属層８を形
成した後、この金属層上に８０℃から１５０℃程度に加
温された感光性のドライフィルムレジスト２（膜厚、約
２５μ〜２００μ）を１０〜１００ｍｍ／ｍｉｎの速
度、１〜３Kg/cm2の加圧条件下でラミネートをする。
説明する。図１に示すように、ガラス、セラミック、プ
ラスチックなど、適当な基板１上に、薄い金属層８を形
成した後、この金属層上に８０℃から１５０℃程度に加
温された感光性のドライフィルムレジスト２（膜厚、約
２５μ〜２００μ）を１０〜１００ｍｍ／ｍｉｎの速
度、１〜３Kg/cm2の加圧条件下でラミネートをする。
【００１１】次に、基板１に設けたドライフィルムレジ
スト２上にノズル５Ｄおよびインク供給路５Ｂを持たな
いインク流路パターンを有するフォトレジストマスク３
を通して光源４にり露光する。このとき、インク流路パ
ターンの領域は光の照射を受けないので、パターン３Ｐ
で覆われている領域のドライフィルムレジスト２は露光
されていない。
スト２上にノズル５Ｄおよびインク供給路５Ｂを持たな
いインク流路パターンを有するフォトレジストマスク３
を通して光源４にり露光する。このとき、インク流路パ
ターンの領域は光の照射を受けないので、パターン３Ｐ
で覆われている領域のドライフィルムレジスト２は露光
されていない。
【００１２】次に再び、ドライフィルムレジスト２をラ
ミネートし、供給インク供給室５Ａ、インク供給部５
Ｂ、圧力室５Ｃ、ノズル５Ｄ、凹部５Ｅを有するフォト
レジストマスク３により露光を行なう。以上のごとく露
光を行うと、パターン外のドライフィルムレジスト２が
重合反応を起こして硬化し、パターンに対応した部分は
溶解可溶性のまま残る。露光後、ドライフィルムレジス
ト２を揮発性有機溶剤、例えば、トリクロロエタン中に
浸積して、未重合（未硬化）のレジストを溶解排除、い
わゆる現像を行うと、図２に示しめしたように、基板１
上には硬化レジスト壁２Ｈが残る。これによってインク
流路の一部（図では下部）が形成される。その後、硬化
レジスト壁２Ｈによって形成されたインク流路の下面部
を形成している金属層８を、所定のエッチング液によっ
て剥離すると、インク流路の一部は硬化レジスト壁２
Ｈ、及び基板１によって構成される。
ミネートし、供給インク供給室５Ａ、インク供給部５
Ｂ、圧力室５Ｃ、ノズル５Ｄ、凹部５Ｅを有するフォト
レジストマスク３により露光を行なう。以上のごとく露
光を行うと、パターン外のドライフィルムレジスト２が
重合反応を起こして硬化し、パターンに対応した部分は
溶解可溶性のまま残る。露光後、ドライフィルムレジス
ト２を揮発性有機溶剤、例えば、トリクロロエタン中に
浸積して、未重合（未硬化）のレジストを溶解排除、い
わゆる現像を行うと、図２に示しめしたように、基板１
上には硬化レジスト壁２Ｈが残る。これによってインク
流路の一部（図では下部）が形成される。その後、硬化
レジスト壁２Ｈによって形成されたインク流路の下面部
を形成している金属層８を、所定のエッチング液によっ
て剥離すると、インク流路の一部は硬化レジスト壁２
Ｈ、及び基板１によって構成される。
【００１３】つぎに、図３に示すように、振動板６に、
基板と同様に薄い金属層を形成した後、金属層上に前述
と同様にドライフィルムレジスト２をラミネートし、上
記の手順にしたがって、基板上の第１ラミネート層に用
いたインク流路パターンマスクにより、露光及び現像を
行い、硬化レジスト壁２Ｐを形成する。
基板と同様に薄い金属層を形成した後、金属層上に前述
と同様にドライフィルムレジスト２をラミネートし、上
記の手順にしたがって、基板上の第１ラミネート層に用
いたインク流路パターンマスクにより、露光及び現像を
行い、硬化レジスト壁２Ｐを形成する。
【００１４】その後、上記パターンが形成された基板１
側にして、振動板６を上記硬化レジスト壁２Ｈに積層す
る。その後、基板側の硬化レジスト壁２Ｈと振動板の硬
化レジスト壁２Ｐを接着する目的で、積層した図１と同
様に、光源４によって再露光を行う。上記インク流路形
成硬化レジスト壁２Ｐおよび２Ｈは、現像段階では、完
全硬化しておらず、自己接着作用を有するから、再露光
を行うことにより、レジスト壁２Ｐと２Ｈが密着し硬化
して接着される。このとき、レジスト壁２Ｐと２Ｈを接
着するに加え、耐溶剤性を向上させるために、高エネル
ギー露光（紫外線照射１０〜３０j/cm2） を行うか、熱
重合（１３０℃〜１６０℃の温度で１０分程度、加熱す
る）処理を行うか、これら２つの処理を併用するのがよ
い。
側にして、振動板６を上記硬化レジスト壁２Ｈに積層す
る。その後、基板側の硬化レジスト壁２Ｈと振動板の硬
化レジスト壁２Ｐを接着する目的で、積層した図１と同
様に、光源４によって再露光を行う。上記インク流路形
成硬化レジスト壁２Ｐおよび２Ｈは、現像段階では、完
全硬化しておらず、自己接着作用を有するから、再露光
を行うことにより、レジスト壁２Ｐと２Ｈが密着し硬化
して接着される。このとき、レジスト壁２Ｐと２Ｈを接
着するに加え、耐溶剤性を向上させるために、高エネル
ギー露光（紫外線照射１０〜３０j/cm2） を行うか、熱
重合（１３０℃〜１６０℃の温度で１０分程度、加熱す
る）処理を行うか、これら２つの処理を併用するのがよ
い。
【００１５】以上のようにして、図４に示されるよう
に、光硬化ドライフィルムが側壁となり、かつ、上面お
よび下面が、それぞれ、振動板６の下面、基板１の上面
からなるインク流路が形成される。このインク流路は、
共通インク供給室５Ａ、インク供給部５Ｂ、圧力室５
Ｃ、インク吐出用のノズル５Ｄ、ノズル５Ｄを取囲むよ
うに形成された凹部５Ｅとからなり、圧力室５Ｃに位置
する振動板６上には、インク吐出エネルギー発生体であ
る圧電素子７が接着されている。
に、光硬化ドライフィルムが側壁となり、かつ、上面お
よび下面が、それぞれ、振動板６の下面、基板１の上面
からなるインク流路が形成される。このインク流路は、
共通インク供給室５Ａ、インク供給部５Ｂ、圧力室５
Ｃ、インク吐出用のノズル５Ｄ、ノズル５Ｄを取囲むよ
うに形成された凹部５Ｅとからなり、圧力室５Ｃに位置
する振動板６上には、インク吐出エネルギー発生体であ
る圧電素子７が接着されている。
【００１６】このようにしてインク流路を形成した基板
１に振動板６が接合された後、図４のＯ−Ｏ’線に沿っ
て切断する。これは、凹部５Ｅの深さｈを最適化するた
めに行うものであり、本実施例では深さｈをノズル面１
３が記録用紙と接触しなり程度で、かつワイピング機構
のゴムブレードにより凹部５Ｅ内の紙ケバ等が排除でき
る程度の、１０μｍ乃至５０μｍに設定されている。ま
た、凹部５Ｅの幅ｗは、１００μｍ≦ｗ≦１０００μｍ
が適している。
１に振動板６が接合された後、図４のＯ−Ｏ’線に沿っ
て切断する。これは、凹部５Ｅの深さｈを最適化するた
めに行うものであり、本実施例では深さｈをノズル面１
３が記録用紙と接触しなり程度で、かつワイピング機構
のゴムブレードにより凹部５Ｅ内の紙ケバ等が排除でき
る程度の、１０μｍ乃至５０μｍに設定されている。ま
た、凹部５Ｅの幅ｗは、１００μｍ≦ｗ≦１０００μｍ
が適している。
【００１７】図５（ａ）、（ｂ）は、ノズル５Ｄの周囲
に形成された凹部５Ｅの拡大して示すものであって、図
５ａに示した実施例は、凹部５Ｅがインク吐出方法に向
かって広がる形状となるように、凹部５Ｅの深さ方向に
斜面が形成されており、また斜面は、平面ばかりでなく
図５ｂに示したように所定の曲率半径を持った曲面Ｒと
して構成することもできる。
に形成された凹部５Ｅの拡大して示すものであって、図
５ａに示した実施例は、凹部５Ｅがインク吐出方法に向
かって広がる形状となるように、凹部５Ｅの深さ方向に
斜面が形成されており、また斜面は、平面ばかりでなく
図５ｂに示したように所定の曲率半径を持った曲面Ｒと
して構成することもできる。
【００１８】このようにゴムブレードによるワイピング
方向（図中、Ｘ方向）の面を拡開させることにより、ブ
レードが斜面に沿って浸入しやく、また退出時にも垂直
壁に比較して掻取られる量も少ないので、ワイピングに
よるプリンター使用環境下でノズル５Ｄの近傍に付着し
た紙粉等のゴミ、クリーニングの際のノズル面のインク
残り容易に排除することができる。
方向（図中、Ｘ方向）の面を拡開させることにより、ブ
レードが斜面に沿って浸入しやく、また退出時にも垂直
壁に比較して掻取られる量も少ないので、ワイピングに
よるプリンター使用環境下でノズル５Ｄの近傍に付着し
た紙粉等のゴミ、クリーニングの際のノズル面のインク
残り容易に排除することができる。
【００１９】この際、凹部５Ｅの深さ５０μｍ以下で、
ノズル５Ｄが形成されている面との角度θは、２０°〜
７０°が適当であり、かつ、曲率半径Ｒは、凹部５Ｅの
深さをｈとすると、ｈ≦Ｒ≦３ｈの範囲が適当である。
ノズル５Ｄが形成されている面との角度θは、２０°〜
７０°が適当であり、かつ、曲率半径Ｒは、凹部５Ｅの
深さをｈとすると、ｈ≦Ｒ≦３ｈの範囲が適当である。
【００２０】そして、ノズル５Ｄの周囲の凹部５Ｅは、
前述のインク流路を形成するフォトレジストマスクパタ
ーンにより、流路を構成する層に厚み方向には開放され
た断面台形状の切欠き部を形成して、開放されている側
を基体１と振動板６で覆うことにより構成できる。
前述のインク流路を形成するフォトレジストマスクパタ
ーンにより、流路を構成する層に厚み方向には開放され
た断面台形状の切欠き部を形成して、開放されている側
を基体１と振動板６で覆うことにより構成できる。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように発明においては、圧
力室に設けられた加圧手段により加圧されたインクを吐
出するノズルを流路基板の端面に備えたインクジェット
記録ヘッドにおいて、ノズルの周囲に、ブレードによる
ワイピング方向に平行な２つの面と、ワイピング方向に
対して交差し、かつインク吐出方向に拡大するように傾
斜した２つの面とからなる凹部が形成されているので、
ブレードが拡大する壁にガイドされて凹部に進退しやす
く、また凹部から退避する場合にもブレードに付着した
インクの掻取り量が少ないため、印字品質を低下させる
ことなく、記録用紙とノズルとの接触を確実に防止する
ことができる。
力室に設けられた加圧手段により加圧されたインクを吐
出するノズルを流路基板の端面に備えたインクジェット
記録ヘッドにおいて、ノズルの周囲に、ブレードによる
ワイピング方向に平行な２つの面と、ワイピング方向に
対して交差し、かつインク吐出方向に拡大するように傾
斜した２つの面とからなる凹部が形成されているので、
ブレードが拡大する壁にガイドされて凹部に進退しやす
く、また凹部から退避する場合にもブレードに付着した
インクの掻取り量が少ないため、印字品質を低下させる
ことなく、記録用紙とノズルとの接触を確実に防止する
ことができる。
【図１】本発明のインクジェットヘッドの製造方法を示
した説明図である。
した説明図である。
【図２】本発明のインクジェットヘッドの製造方法を示
した説明図である。
した説明図である。
【図３】本発明のインクジェットヘッドの製造方法を示
した説明図である。
した説明図である。
【図４】本発明のインクジェットヘッドの要部を示す斜
視図。
視図。
【図５】図（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の実施例の
インクジェットヘッドのノズルの拡大斜視図である。
インクジェットヘッドのノズルの拡大斜視図である。
【図６】従来例のインクジェットヘッドの部分斜視図で
ある。
ある。
【図７】図（ａ）、（ｂ）は、それぞれ従来のヘッドに
おける問題点を説明するための模式図である。
おける問題点を説明するための模式図である。
【図８】従来例のインクジェットヘッドのノズルの近傍
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
１ 基板 ５Ａ 共通インク室 ５Ｂ インク供給部 ５Ｃ 圧力室 ５Ｄ ノズル ５Ｅ 凹部 ６ 振動板 ７ 圧電素子
Claims (2)
- 【請求項１】 圧力室に設けられた加圧手段により加圧
されたインクを吐出するノズルを流路基板の端面に備え
たインクジェット記録ヘッドにおいて、前記ノズルの周
囲に、ブレードによるワイピング方向に平行な２つの面
と、前記ワイピング方向に対して交差し、かつインク吐
出方向に拡大するように傾斜した２つの面とからなる凹
部が形成されているインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項２】 前記流路基板が、２枚の基板の間に流路
を形成する層を設けて構成され、前記流路を形成する層
に、前記ワイピング方向に対して交差し、かつインク吐
出方向に拡大するように傾斜した２つの面が形成され、
また前記２枚の基板により前記ワイピング方向に平行な
２つの面が形成されている請求項１に記載のインクジェ
ット記録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15381292A JP3123573B2 (ja) | 1992-06-12 | 1992-06-12 | インクジェット記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15381292A JP3123573B2 (ja) | 1992-06-12 | 1992-06-12 | インクジェット記録ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05338162A JPH05338162A (ja) | 1993-12-21 |
| JP3123573B2 true JP3123573B2 (ja) | 2001-01-15 |
Family
ID=15570647
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15381292A Expired - Fee Related JP3123573B2 (ja) | 1992-06-12 | 1992-06-12 | インクジェット記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3123573B2 (ja) |
-
1992
- 1992-06-12 JP JP15381292A patent/JP3123573B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05338162A (ja) | 1993-12-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1768848B1 (en) | Liquid discharge head manufacturing method, and liquid discharge head obtained using this method | |
| JP4834426B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| JPH0645242B2 (ja) | 液体噴射記録ヘツドの製造方法 | |
| JP3290495B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| JPH0952371A (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
| JP4374811B2 (ja) | インクジェットプリンタ用ノズルプレートの製造方法 | |
| JP3123573B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
| JP4669138B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| JP2006281715A (ja) | 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 | |
| JP2007261169A (ja) | 液体噴射ヘッド | |
| JP7146532B2 (ja) | 液体吐出ヘッドとその製造方法 | |
| JPH05330046A (ja) | 液体記録ヘッド及び液体記録ヘッドの製造方法 | |
| JP2010260233A (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
| JP2007055007A (ja) | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 | |
| EP1008452B1 (en) | Ink-jet recording head and method of manufacturing the same | |
| JP3224299B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP2003089209A (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法、および液体吐出ヘッド | |
| JP3122195B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド、その製造方法および前記インクジェット記録ヘッドを備えたインクジェット記録装置 | |
| JPH07137263A (ja) | 液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法 | |
| JP3592014B2 (ja) | 液体噴射記録ヘッドの製造方法、該方法によって製造される液体噴射記録ヘッド及び該記録ヘッドを具備する記録装置 | |
| JP2002219797A (ja) | インクジェット記録ヘッド及び製造方法 | |
| JP2004025657A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JPH03184869A (ja) | 液体噴射記録ヘッドの製造方法 | |
| JPH09300628A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JPH07314681A (ja) | 液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000927 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081027 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091027 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101027 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |