JP3114009B2 - 高耐食性ベローズ - Google Patents
高耐食性ベローズInfo
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- JP3114009B2 JP3114009B2 JP08282536A JP28253696A JP3114009B2 JP 3114009 B2 JP3114009 B2 JP 3114009B2 JP 08282536 A JP08282536 A JP 08282536A JP 28253696 A JP28253696 A JP 28253696A JP 3114009 B2 JP3114009 B2 JP 3114009B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は耐食性と耐久性に優
れたベローズに関するものであり、特に腐食性ガスや腐
食性化学薬液の供給系のバルブやフレキシブル継ぎ手に
利用して有効である。
れたベローズに関するものであり、特に腐食性ガスや腐
食性化学薬液の供給系のバルブやフレキシブル継ぎ手に
利用して有効である。
【０００２】
【従来の技術】従来、耐食性を必要とするベローズの材
料として、ＳＵＳ３１６Ｌ、インコネル７１８、ハステ
ロイ合金等が使用されていた。
料として、ＳＵＳ３１６Ｌ、インコネル７１８、ハステ
ロイ合金等が使用されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】例えば、半導体製造に
使用する腐食性の非常に強いハロゲン系ガス等のような
特殊ガスの供給系や、腐食性の非常に強い化学薬液のプ
ラント等のバルブやフレキシブル継ぎ手に用いられるベ
ローズに対しては、それらのガスや薬液に侵されない高
耐食性と耐久性が要求される。また、各種ポンプやバル
ブ等において、往復作動するスピンドルの流体封止用パ
ッキングやＯリング等からの内部流体漏れを完全に防ぐ
ためにも、耐久性に優れたベローズが要求される。さら
に、真空機器分野においても、変形量が大きく取れて耐
久性に優れたベローズが要求される。近年、これらの要
求は益々高まっているが、従来使用の材料ではこれらの
要求を十分に満足するベローズを作成することはでき
ず、耐食性に優れ、機械的強度と疲労強度が高くて高応
力の繰り返し負荷に対しても疲労破壊し難く、さらに、
薄肉の複雑な形状への成形加工ができる加工性を有し、
溶接性も良いベローズ用材料が求められていた。
使用する腐食性の非常に強いハロゲン系ガス等のような
特殊ガスの供給系や、腐食性の非常に強い化学薬液のプ
ラント等のバルブやフレキシブル継ぎ手に用いられるベ
ローズに対しては、それらのガスや薬液に侵されない高
耐食性と耐久性が要求される。また、各種ポンプやバル
ブ等において、往復作動するスピンドルの流体封止用パ
ッキングやＯリング等からの内部流体漏れを完全に防ぐ
ためにも、耐久性に優れたベローズが要求される。さら
に、真空機器分野においても、変形量が大きく取れて耐
久性に優れたベローズが要求される。近年、これらの要
求は益々高まっているが、従来使用の材料ではこれらの
要求を十分に満足するベローズを作成することはでき
ず、耐食性に優れ、機械的強度と疲労強度が高くて高応
力の繰り返し負荷に対しても疲労破壊し難く、さらに、
薄肉の複雑な形状への成形加工ができる加工性を有し、
溶接性も良いベローズ用材料が求められていた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、耐食性に優れ、機械的強度が高く、疲労強度が高
く、加工性、溶接性も良い、加工硬化性と時効硬化性を
有するＣｏ基合金またはＣｏ−Ｎｉ基合金を用いた。
に、耐食性に優れ、機械的強度が高く、疲労強度が高
く、加工性、溶接性も良い、加工硬化性と時効硬化性を
有するＣｏ基合金またはＣｏ−Ｎｉ基合金を用いた。
【０００５】
【発明の実施の形態】前述のＣｏ基合金とは、例えば、
組成が重量比で少なくとも、Ｃｏ３６〜４６％、Ｎｉ１
４〜２８％、Ｃｒ１０〜２２％、Ｍｏ３〜８％、Ｍｎ、
Ｓｉ、Ｔｉ、Ａｌの１種以上各０．１〜３．０％、Ｆｅ
４〜２６％、Ｃ≦０．２％、及び不可避不純物から成る
合金を示す。これらに、強化元素として、Ｗ、Ｎｂ、Ｃ
ｕ、Ｂｅ等を加えても良い。次に、組成範囲をこのよう
に限定した理由を述べる。
組成が重量比で少なくとも、Ｃｏ３６〜４６％、Ｎｉ１
４〜２８％、Ｃｒ１０〜２２％、Ｍｏ３〜８％、Ｍｎ、
Ｓｉ、Ｔｉ、Ａｌの１種以上各０．１〜３．０％、Ｆｅ
４〜２６％、Ｃ≦０．２％、及び不可避不純物から成る
合金を示す。これらに、強化元素として、Ｗ、Ｎｂ、Ｃ
ｕ、Ｂｅ等を加えても良い。次に、組成範囲をこのよう
に限定した理由を述べる。
【０００６】Ｃｏはそれ自体加工硬化能が大きく、切り
欠け脆さを減じ、疲労強度を高め、高温強度を高める効
果がある。Ｃｏが３６％未満ではその効果が弱く、４６
％を越えると硬くなり冷間加工性が低下し不適当である
ため、３６〜４６％とした。Ｃｒ１０〜２２％、Ｍｏ３
〜８％の理由は、Ｃｏを含有した条件において耐食性と
加工性を有する最適範囲を示し、この下限未満では耐食
性が不十分で、この上限を越えると冷間加工において硬
くなり加工困難になるため不適当である。
欠け脆さを減じ、疲労強度を高め、高温強度を高める効
果がある。Ｃｏが３６％未満ではその効果が弱く、４６
％を越えると硬くなり冷間加工性が低下し不適当である
ため、３６〜４６％とした。Ｃｒ１０〜２２％、Ｍｏ３
〜８％の理由は、Ｃｏを含有した条件において耐食性と
加工性を有する最適範囲を示し、この下限未満では耐食
性が不十分で、この上限を越えると冷間加工において硬
くなり加工困難になるため不適当である。
【０００７】Ｎｉは加工性を維持し、耐食性を高める。
１４〜２８％で好ましい結果が得られた。Ｆｅは廉価材
料であり、コストを安くするには多い方が良いが、多す
ぎると耐食性が低下する。４〜２６％で好ましい結果が
得られた。
１４〜２８％で好ましい結果が得られた。Ｆｅは廉価材
料であり、コストを安くするには多い方が良いが、多す
ぎると耐食性が低下する。４〜２６％で好ましい結果が
得られた。
【０００８】Ｍｎは脱酸、脱硫の効果、及び溶体化処理
に際してマトリクスの軟化を助けるが、多すぎると耐食
性を劣化させる。０．１〜３．０％で好ましい結果が得
られた。Ａｌ、Ｓｉは脱酸の効果及び機械的強度を高め
る効果がある。０．１〜３．０％で好ましい結果が得ら
れた。
に際してマトリクスの軟化を助けるが、多すぎると耐食
性を劣化させる。０．１〜３．０％で好ましい結果が得
られた。Ａｌ、Ｓｉは脱酸の効果及び機械的強度を高め
る効果がある。０．１〜３．０％で好ましい結果が得ら
れた。
【０００９】Ｔｉは脱酸の効果、結晶粒微細化の効果、
及び機械的強度を高める効果がある。０．１〜３．０％
で好ましい結果が得られた。Ｃはマトリクスに固溶する
ほか、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｎｂ等と炭化物を形成し、機械
的強度を高めるが、多すぎると靱性の低下、耐食性の劣
化の原因となる。０．２％以下で好ましい結果が得られ
た。
及び機械的強度を高める効果がある。０．１〜３．０％
で好ましい結果が得られた。Ｃはマトリクスに固溶する
ほか、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｎｂ等と炭化物を形成し、機械
的強度を高めるが、多すぎると靱性の低下、耐食性の劣
化の原因となる。０．２％以下で好ましい結果が得られ
た。
【００１０】また、Ｃｏ−Ｎｉ基合金とは、例えば、組
成は重量比で少なくとも、Ｃｏ２８〜４０％、Ｎｉ２６
〜４５％、Ｃｒ１８〜２５％、Ｍｏ７〜１２％、Ｍｎ、
Ｔｉの１種以上各０．１〜１．０％、Ｆｅ１．１〜３．
０％、Ｎｂ０．５〜２．０％、Ｃ≦０．０５％、及び不
可避不純物より成る合金を示す。これらに、熱間加工性
を良くするために、ミッシュメタル、Ｂ等を加えても良
い。次に、組成範囲をこのように限定した理由を述べ
る。
成は重量比で少なくとも、Ｃｏ２８〜４０％、Ｎｉ２６
〜４５％、Ｃｒ１８〜２５％、Ｍｏ７〜１２％、Ｍｎ、
Ｔｉの１種以上各０．１〜１．０％、Ｆｅ１．１〜３．
０％、Ｎｂ０．５〜２．０％、Ｃ≦０．０５％、及び不
可避不純物より成る合金を示す。これらに、熱間加工性
を良くするために、ミッシュメタル、Ｂ等を加えても良
い。次に、組成範囲をこのように限定した理由を述べ
る。
【００１１】Ｃｏはそれ自体加工硬化能が大きく、切り
欠け脆さを減じ、疲労強度を高め、高温強度を高める効
果があるが、２８％未満ではその効果が弱く、４０％を
越えるとマトリクスが硬くなり過ぎて加工困難となるた
め、２８〜４０％とした。Ｎｉは加工性を維持し、耐食
性を高める効果があり、２６〜４５％で好ましい結果が
得られた。
欠け脆さを減じ、疲労強度を高め、高温強度を高める効
果があるが、２８％未満ではその効果が弱く、４０％を
越えるとマトリクスが硬くなり過ぎて加工困難となるた
め、２８〜４０％とした。Ｎｉは加工性を維持し、耐食
性を高める効果があり、２６〜４５％で好ましい結果が
得られた。
【００１２】Ｃｒは耐食性を確保するのに不可欠の成分
である。１８％未満では優れた耐食性を得る効果が弱
く、２５％を越えると加工性と靱性が低下することか
ら、１８〜２５％とした。Ｍｏはマトリクスに固溶して
これを強化する効果、及びＣｒとの共存において耐食性
を高める効果があるが、７％未満では所望する効果が得
られず、１２％を越えると加工性が急激に低下するこ
と、及び脆いσ相が生成しやすくなることから、７〜１
２％とした。
である。１８％未満では優れた耐食性を得る効果が弱
く、２５％を越えると加工性と靱性が低下することか
ら、１８〜２５％とした。Ｍｏはマトリクスに固溶して
これを強化する効果、及びＣｒとの共存において耐食性
を高める効果があるが、７％未満では所望する効果が得
られず、１２％を越えると加工性が急激に低下するこ
と、及び脆いσ相が生成しやすくなることから、７〜１
２％とした。
【００１３】Ｎｂはマトリクスに固溶してこれを強化す
る効果があるが、０．５％未満ではこの効果が弱く、
２．０％を越えると硬くなり過ぎ加工性が低下すること
から、０．％〜２．０％とした。Ｍｎは脱酸、脱硫の効
果、及び溶体化に際してマトリクスの軟化を助ける効果
があるが、多過ぎると耐食性を劣化させる。０．１〜
１．０％で好ましい結果が得られた。
る効果があるが、０．５％未満ではこの効果が弱く、
２．０％を越えると硬くなり過ぎ加工性が低下すること
から、０．％〜２．０％とした。Ｍｎは脱酸、脱硫の効
果、及び溶体化に際してマトリクスの軟化を助ける効果
があるが、多過ぎると耐食性を劣化させる。０．１〜
１．０％で好ましい結果が得られた。
【００１４】Ｔｉは脱酸の効果、結晶粒微細化の効果、
及び機械的強度を高める効果がある。０．１〜１．０％
で好ましい結果が得られた。Ｆｅは廉価材料でありコス
トを安くするためには多い方よいが、多過ぎると耐食性
が劣化する。１．１〜３．０％で好ましい結果が得られ
た。
及び機械的強度を高める効果がある。０．１〜１．０％
で好ましい結果が得られた。Ｆｅは廉価材料でありコス
トを安くするためには多い方よいが、多過ぎると耐食性
が劣化する。１．１〜３．０％で好ましい結果が得られ
た。
【００１５】Ｃはマトリクスに固溶するほか、Ｃｒ、Ｍ
ｏ、Ｎｂ等と炭化物を形成するが、０．０５％を越える
と耐食性劣化の原因なるので、０．０５％以下とした。
これらのＣｏ基合金あるいはＣｏ−Ｎｉ基合金を用いて
薄板に冷間圧延する。冷間圧延した薄板は、必要に応じ
て焼鈍してもよい。この薄板をベローズに加工するが、
その際、冷間で塑性変形を受けるため、加工硬化して機
械的強度が高くなる。その後、おおよそ６００℃で時効
処理することにより、機械的強度及び疲労強度はさらに
高くなる。Ｃｏ基合金の代表的合金Ａ、及びＣｏ−Ｎｉ
基合金の代表的合金Ｂの冷間加工率と引張強さの関係を
夫々図３、図４に示す。また、合金Ａ、合金Ｂの冷間加
工率と疲労強度の関係を図５に示す。これらの合金Ａ、
Ｂは、冷間加工率が高くなるに従い、機械的強度が著し
く向上し、時効処理することにより機械的強度はさらに
向上し、疲労強度も向上することがわかる。
ｏ、Ｎｂ等と炭化物を形成するが、０．０５％を越える
と耐食性劣化の原因なるので、０．０５％以下とした。
これらのＣｏ基合金あるいはＣｏ−Ｎｉ基合金を用いて
薄板に冷間圧延する。冷間圧延した薄板は、必要に応じ
て焼鈍してもよい。この薄板をベローズに加工するが、
その際、冷間で塑性変形を受けるため、加工硬化して機
械的強度が高くなる。その後、おおよそ６００℃で時効
処理することにより、機械的強度及び疲労強度はさらに
高くなる。Ｃｏ基合金の代表的合金Ａ、及びＣｏ−Ｎｉ
基合金の代表的合金Ｂの冷間加工率と引張強さの関係を
夫々図３、図４に示す。また、合金Ａ、合金Ｂの冷間加
工率と疲労強度の関係を図５に示す。これらの合金Ａ、
Ｂは、冷間加工率が高くなるに従い、機械的強度が著し
く向上し、時効処理することにより機械的強度はさらに
向上し、疲労強度も向上することがわかる。
【００１６】
【実施例】以下実施例に基づいて詳細に説明する。 （実施例１）Ｃｏ基合金の合金例である、合金Ａ、Ｃ、
Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ、及びＣｏ−Ｎｉ基合金の合金例であ
る、合金Ｂ、Ｈ、Ｉ、Ｊ、Ｋ、Ｌの組成と、比較材とし
て、ＳＵＳ３１６Ｌ、ハステロイ合金、インコネル７１
８の組成を、表１、表２、表３に重量比で示す。
Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ、及びＣｏ−Ｎｉ基合金の合金例であ
る、合金Ｂ、Ｈ、Ｉ、Ｊ、Ｋ、Ｌの組成と、比較材とし
て、ＳＵＳ３１６Ｌ、ハステロイ合金、インコネル７１
８の組成を、表１、表２、表３に重量比で示す。
【００１７】
【表１】
【００１８】
【表２】
【００１９】
【表３】 これらのＣｏ基合金、及びＣｏ−Ｎｉ基合金を用いて、
冷間圧延で厚さ０．３ｍｍの薄板にした後、造管加工に
より外径２５ｍｍ、肉厚０．１５ｍｍ、の素管に仕上げ
た。その素管を用いて、エラストマー成形法により図１
のようなＵタイプ成形ベローズを作成した。苛酷な冷間
加工にもかかわらず成形性は良好であった。その後、真
空熱処理炉で時効処理した。最後に、ベローズの両端に
フランジを溶接して取りつけた。溶接性も良好であっ
た。これらのベローズを、以下本発明Ｕタイプベローズ
と称する。また、比較材のＳＵＳ３１６Ｌ、ハステロイ
合金、インコネル７１８でも同一寸法のベローズを作成
した。これらのベローズを、以下比較Ｕタイプベローズ
と称する。
冷間圧延で厚さ０．３ｍｍの薄板にした後、造管加工に
より外径２５ｍｍ、肉厚０．１５ｍｍ、の素管に仕上げ
た。その素管を用いて、エラストマー成形法により図１
のようなＵタイプ成形ベローズを作成した。苛酷な冷間
加工にもかかわらず成形性は良好であった。その後、真
空熱処理炉で時効処理した。最後に、ベローズの両端に
フランジを溶接して取りつけた。溶接性も良好であっ
た。これらのベローズを、以下本発明Ｕタイプベローズ
と称する。また、比較材のＳＵＳ３１６Ｌ、ハステロイ
合金、インコネル７１８でも同一寸法のベローズを作成
した。これらのベローズを、以下比較Ｕタイプベローズ
と称する。
【００２０】本発明Ｕタイプベローズと比較Ｕタイプベ
ローズを用いて、耐久試験を行った。耐久試験は、ベロ
ーズに内圧を加えながら、圧縮方向と引張方向に所定の
変位量の伸縮を繰り返し、破損するまでの繰り返し数を
調べた。表４に耐久試験結果を示す。
ローズを用いて、耐久試験を行った。耐久試験は、ベロ
ーズに内圧を加えながら、圧縮方向と引張方向に所定の
変位量の伸縮を繰り返し、破損するまでの繰り返し数を
調べた。表４に耐久試験結果を示す。
【００２１】
【表４】 本発明Ｕタイプベローズの破損するまでの伸縮繰り返し
数は、１１８〜３５８万回であり、比較Ｕタイプベロー
ズの４〜９２万回に比べ、遥かに耐久性に優れているこ
とがわかる。
数は、１１８〜３５８万回であり、比較Ｕタイプベロー
ズの４〜９２万回に比べ、遥かに耐久性に優れているこ
とがわかる。
【００２２】（実施例２）Ｃｏ基合金の合金Ａ、Ｃ、
Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ、及びＣｏ−Ｎｉ基合金の合金Ｂ、Ｈ、
Ｉ、Ｊ、Ｋ、Ｌを用いて、冷間圧延で厚さ０．１２ｍｍ
の薄板にした素材を、金型でリング状に打ち抜き、プレ
ス加工で波形に成形した。このリングを溶接して繋ぎ、
図２ようなＹタイプ溶接ベローズを作成した。これらの
ベローズを、以下本発明Ｙタイプ溶接ベローズと称す
る。また、比較材のインコネル７１８でも同一寸法のベ
ローズを作成した。このベローズを、以下比較Ｙタイプ
溶接ベロズと称する。
Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ、及びＣｏ−Ｎｉ基合金の合金Ｂ、Ｈ、
Ｉ、Ｊ、Ｋ、Ｌを用いて、冷間圧延で厚さ０．１２ｍｍ
の薄板にした素材を、金型でリング状に打ち抜き、プレ
ス加工で波形に成形した。このリングを溶接して繋ぎ、
図２ようなＹタイプ溶接ベローズを作成した。これらの
ベローズを、以下本発明Ｙタイプ溶接ベローズと称す
る。また、比較材のインコネル７１８でも同一寸法のベ
ローズを作成した。このベローズを、以下比較Ｙタイプ
溶接ベロズと称する。
【００２３】本発明Ｙタイプ溶接ベローズと比較Ｙタイ
プ溶接ベローズを用いて、耐久試験を行った。耐久試験
は、４００℃の温度下で圧縮を繰り返し、破損するまで
の繰り返し数を調べた。表５に耐久試験結果を示す。
プ溶接ベローズを用いて、耐久試験を行った。耐久試験
は、４００℃の温度下で圧縮を繰り返し、破損するまで
の繰り返し数を調べた。表５に耐久試験結果を示す。
【００２４】
【表５】 本発明Ｙタイプ溶接ベローズの破損するまでの圧縮繰り
返し数は、１０１〜３３５万回であり、比較Ｙタイプ溶
接ベローズの７８万回に比べ、遥かに高温下での耐久性
に優れていることがわかる。
返し数は、１０１〜３３５万回であり、比較Ｙタイプ溶
接ベローズの７８万回に比べ、遥かに高温下での耐久性
に優れていることがわかる。
【００２５】また、合金Ａ〜Ｌ、及びＳＵＳ３１６Ｌ、
ハステロイ合金、インコネル７１８の薬液中（液温６０
℃）での腐食減量（ｍｇ／ｃｍ2 ・Ｈｒ）を表６に示
す。
ハステロイ合金、インコネル７１８の薬液中（液温６０
℃）での腐食減量（ｍｇ／ｃｍ2 ・Ｈｒ）を表６に示
す。
【００２６】
【表６】 合金Ａ〜Ｌいずれも比較材に比べて腐食減量が少なく、
耐食性に優れていることがわかる。
耐食性に優れていることがわかる。
【００２７】
【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され、以下に記載されるような効果を奏する。本発明
ベローズは耐食性に優れ、機械的強度が高く、疲労強度
が高くて耐久性に優れているため、例えば、半導体製造
に使用する腐食性ガスの供給系や、腐食性化学薬液のプ
ラント等のバルブやフレキシブル継ぎ手に使用するベロ
ーズとして最適である。また、本発明ベローズは、高負
荷に耐えることから、自由長に対する変形量が従来より
も大きくとることが可能なので、ベローズをコンパクト
にすることができる。さらに、本発明ベローズを使用す
る各機器の長寿命化によるメンテナンスフリー化が可能
となる。
施され、以下に記載されるような効果を奏する。本発明
ベローズは耐食性に優れ、機械的強度が高く、疲労強度
が高くて耐久性に優れているため、例えば、半導体製造
に使用する腐食性ガスの供給系や、腐食性化学薬液のプ
ラント等のバルブやフレキシブル継ぎ手に使用するベロ
ーズとして最適である。また、本発明ベローズは、高負
荷に耐えることから、自由長に対する変形量が従来より
も大きくとることが可能なので、ベローズをコンパクト
にすることができる。さらに、本発明ベローズを使用す
る各機器の長寿命化によるメンテナンスフリー化が可能
となる。
【００２８】なお、本発明の実施例として、Ｕタイプ成
形ベローズとＹタイプ溶接ベローズの例を記述したが、
本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、Ω
（オメガ）タイプ成形ベローズや平形溶接ベローズ等、
他のタイプのベローズを用いても、同様の優れた効果を
奏することは上記より明らかである。
形ベローズとＹタイプ溶接ベローズの例を記述したが、
本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、Ω
（オメガ）タイプ成形ベローズや平形溶接ベローズ等、
他のタイプのベローズを用いても、同様の優れた効果を
奏することは上記より明らかである。
【図１】Ｕタイプ成形ベローズの断面図である。
【図２】Ｙタイプ溶接ベローズの断面図である。
【図３】合金Ａ圧延材の冷間加工率と引張強さの関係を
示す図である。
示す図である。
【図４】合金Ｂ圧延材の冷間加工率と引張強さの関係を
示す図である。
示す図である。
【図５】合金Ａ、合金Ｂ夫々の圧延材の冷間加工率と疲
労強度の関係を示す図である。
労強度の関係を示す図である。
１ ベローズ本体 ２ フランジ ３ ベローズ本体 ４ フランジ ５ 冷間加工のままの圧延方向の引張強さ ６ 冷間加工のままの圧延直角方向の引張強さ ７ ５００℃で時効処理後の圧延方向の引張強さ ８ ５００℃で時効処理後の圧延直角方向の引張強さ ９ 冷間加工のままの圧延方向の引張強さ １０ 冷間加工のままの圧延直角方向の引張強さ １１ ５００℃で時効処理後の圧延方向の引張強さ １２ ５００℃で時効処理後の圧延直角方向の引張強さ １３ 合金Ａの冷間加工のままの疲労限 １４ 合金Ａの５００℃で時効処理後の疲労限 １５ 合金Ｂの冷間加工のままの疲労限 １６ 合金Ｂの５００℃で時効処理後の疲労限
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−228188（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−279811（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−126783（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−271849（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−252751（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−33090（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C22C 19/07 C22C 30/00 F16J 3/04
Claims (6)
- 【請求項１】 ベローズの組成は重量比で少なくとも、
Ｃｏ３６〜４６％、Ｎｉ１４〜２８％、Ｃｒ１０〜２２
％、Ｍｏ３〜８％、Ｍｎ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ａｌの１種以上
各０．１〜３．０％、Ｆｅ４〜２６％、Ｃ≦０．２％、
及び不可避不純物から成るＣｏ基合金を用いることを特
徴とするベローズ。 - 【請求項２】 ベローズの組成は重量比で、Ｃｏ３８．
０〜３９．４％、Ｎｉ１６．０〜１７．０％、Ｃｒ１
１．６〜１２．２％、Ｍｏ３．８〜４．２％、Ｍｎ０．
５〜１．１％、Ｓｉ０．８〜１．０５％、Ｔｉ０．４〜
０．８％、Ａｌ０．０４〜０．１２％、Ｗ３．８５〜
４．１５％、Ｆｅ２０．０〜２５．０％、Ｃ≦０．０３
％から成るＣｏ基合金を用いることを特徴とするベロー
ズ。 - 【請求項３】 組成は重量比で少なくとも、Ｃｏ３６〜
４６％、Ｎｉ１４〜２８％、Ｃｒ１０〜２２％、Ｍｏ３
〜８％、Ｍｎ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ａｌの１種以上各０．１〜
３．０％、Ｆｅ４〜２６％、Ｃ≦０．２％、及び不可避
不純物から成るＣｏ基合金を用いることを特徴とするベ
ローズ。 - 【請求項４】 組成は重量比で、Ｃｏ３８．０〜３９．
４％、Ｎｉ１６．０〜１７．０％、Ｃｒ１１．６〜１
２．２％、Ｍｏ３．８〜４．２％、Ｍｎ０．５〜１．１
％、Ｓｉ０．８〜１．０５％、Ｔｉ０．４〜０．８％、
Ａｌ０．０４〜０．１２％、Ｗ３．８５〜４．１５％、
Ｆｅ２０．０〜２５．０％、Ｃ≦０．０３％から成るＣ
ｏ基合金を用いることを特徴とするベローズ。 - 【請求項５】 組成は重量比で少なくとも、Ｃｏ２８〜
４０％、Ｎｉ２６〜４５％、Ｃｒ１８〜２５％、Ｍｏ７
〜１２％、Ｍｎ、Ｔｉの１種以上各０．１〜１．０％、
Ｆｅ１．１〜３．０％、Ｎｂ０．５〜２．０％、Ｃ≦
０．０５％、及び不可避不純物から成るＣｏ-Ｎｉ基合
金を用いることを特徴とするベローズ。 - 【請求項６】 組成は重量比で、Ｃ≦０．０３％、ミッ
シュメタル０．０１〜０．０２％、Ｍｎ０．１〜０．５
％、Ｎｉ３１．４〜３３．４％、Ｃｒ１９．５〜２０．
５％、Ｍｏ９．５〜１０．５％、Ｎｂ０．８〜１．２
％、Ｔｉ０．３〜０．７％、Ｃｏ３０．９〜３７．２
％、Ｆｅ１．１〜２．１％から成るＣｏ−Ｎｉ基合金を
用いることを特徴とするベローズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08282536A JP3114009B2 (ja) | 1995-10-24 | 1996-10-24 | 高耐食性ベローズ |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7-276033 | 1995-10-24 | ||
| JP27603395 | 1995-10-24 | ||
| JP08282536A JP3114009B2 (ja) | 1995-10-24 | 1996-10-24 | 高耐食性ベローズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09176766A JPH09176766A (ja) | 1997-07-08 |
| JP3114009B2 true JP3114009B2 (ja) | 2000-12-04 |
Family
ID=26551715
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08282536A Expired - Fee Related JP3114009B2 (ja) | 1995-10-24 | 1996-10-24 | 高耐食性ベローズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3114009B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4482404B2 (ja) * | 2004-08-30 | 2010-06-16 | セイコーインスツル株式会社 | 耐食性パイプとその製造方法及び耐食性パイプを用いたマスフローセンサ。 |
| US7708028B2 (en) * | 2006-12-08 | 2010-05-04 | Praxair Technology, Inc. | Fail-safe vacuum actuated valve for high pressure delivery systems |
| EP2169690B1 (en) | 2008-09-24 | 2012-08-29 | ABB Technology AG | Pressure compensator |
| JP2012093107A (ja) * | 2010-10-25 | 2012-05-17 | Yokogawa Electric Corp | 圧力センサ |
| CN102230120B (zh) * | 2011-06-20 | 2013-01-02 | 丹阳市龙鑫合金有限公司 | 航空高压舱用高性能弹性合金材料及其生产方法 |
| JP5854409B2 (ja) * | 2014-07-03 | 2016-02-09 | セイコーインスツル株式会社 | ダイヤフラム、圧力センサ、及びダイヤフラムの製造方法 |
| CN106498147B (zh) * | 2016-12-14 | 2019-01-01 | 四川德胜集团钒钛有限公司 | 一种轧钢加热炉滑块的制备工艺 |
-
1996
- 1996-10-24 JP JP08282536A patent/JP3114009B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09176766A (ja) | 1997-07-08 |
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