JP3073658B2 - Screen printing apparatus and screen printing method - Google Patents

Screen printing apparatus and screen printing method

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JP3073658B2
JP3073658B2 JP06216878A JP21687894A JP3073658B2 JP 3073658 B2 JP3073658 B2 JP 3073658B2 JP 06216878 A JP06216878 A JP 06216878A JP 21687894 A JP21687894 A JP 21687894A JP 3073658 B2 JP3073658 B2 JP 3073658B2
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H05K3/1216Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by screen printing or stencil printing

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、スクリーン印刷方法お
よびスクリーン印刷装置に関するもので、特に印刷され
るパターン形状の改善を可能とするスクリーン印刷方法
および装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a screen printing method and a screen printing apparatus, and more particularly, to a screen printing method and apparatus capable of improving a pattern shape to be printed.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のスクリーン印刷における印刷装置
は図6(a)の構成のものが使用されている。この図に
おいて、4はスクリーン版、13はスクリーン版4に描
かれている任意のパターン、5はスクリーン版4の下に
平行に置かれた印刷基板、6は印刷基板5を固定するた
めの基板テーブル、7はインキ、8はスクリーン版の骨
格となる版枠、12はインキを掻き取るためのゴム製の
板でスキージと呼ばれる。印刷装置には、スクリーン版
4を印刷基板5の上方数mmの位置に基板に平行に保持
する手段と、スキージ12でスクリーン版4を印刷基板
5にこすり付けながら移動させるための手段がある。
2. Description of the Related Art As a conventional screen printing apparatus, a printing apparatus having the structure shown in FIG. 6A is used. In this figure, 4 is a screen plate, 13 is an arbitrary pattern drawn on the screen plate 4, 5 is a printed board placed in parallel under the screen plate 4, and 6 is a board for fixing the printed board 5 A table, 7 is ink, 8 is a plate frame serving as a skeleton of a screen plate, and 12 is a rubber plate for scraping ink and is called a squeegee. The printing apparatus includes a means for holding the screen plate 4 at a position several mm above the print substrate 5 in parallel with the substrate, and a means for moving the screen plate 4 while rubbing the screen plate 4 with the squeegee 12.

【0003】スクリーン版4のさらに微細な構造を図6
(b)に示す。この図中、3は数十ミクロンオーダーの
太さの主として金属ワイヤー等で編まれたスクリーンメ
ッシュであって、図6(a)に示した版枠8に張力を加
えられた状態で固定されている。11はスクリーン版4
の印刷基板5と接触する側から任意のパターンをくり貫
いた平滑な乳剤膜である。
The finer structure of the screen plate 4 is shown in FIG.
(B). In this figure, reference numeral 3 denotes a screen mesh having a thickness of the order of several tens of microns, which is mainly knitted with metal wires or the like, and is fixed to the plate frame 8 shown in FIG. I have. 11 is screen version 4
Is a smooth emulsion film penetrating an arbitrary pattern from the side in contact with the printed substrate 5.

【0004】印刷基板5の上方数mmの位置に印刷基板
5に対して平行にスクリーン版4を固定し、スクリーン
版4にインキ7を薄く広げる。基板テーブル6に印刷基
板5を固定し、パターン13の端から端までスキージ1
2が移動するように印刷装置を動作させる。その際、ス
キージによって掻き取られたインキ7の一部はスクリー
ン版4の乳剤膜11がくり貫かれている部分を通過し、
印刷基板5にパターン13と同じ形状を転写して印刷が
行なわれる。
A screen plate 4 is fixed at a position several mm above the print substrate 5 in parallel with the print substrate 5, and the ink 7 is spread thinly on the screen plate 4. The printed board 5 is fixed to the board table 6, and the squeegee 1 is
The printing apparatus is operated so that 2 moves. At that time, a part of the ink 7 scraped off by the squeegee passes through the portion of the screen plate 4 where the emulsion film 11 is cut through,
The same shape as the pattern 13 is transferred to the print substrate 5 and printing is performed.

【0005】また、1つの層の形成は1回の印刷で行な
われるのが普通であり、特殊な用途に用いるものについ
て2回以上の印刷が行なわれる場合もあるが、1回目と
2回目でスクリーン版4と印刷基板5の相対位置は変え
ずに、常に同じパターンが同じ位置に重ねて印刷され
る。
[0005] Further, the formation of one layer is usually carried out by one printing, and printing for a special purpose may be carried out two or more times. The same pattern is always printed over the same position without changing the relative position between the screen plate 4 and the printing substrate 5.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のスクリーン印刷においては、インキ7が転写
される時、スクリーンメッシュ3を構成するワイヤー、
特にその編み目部分はインキ7の通過を妨げる。スクリ
ーンメッシュ3は等間隔で編まれていることから、イン
キ7の通過を妨げる編み目部分は周期的に存在する(例
えば図6(b)においては、上下方向では23で示した
間隔が周期となる)。従って、印刷されたパターン13
において、スクリーンメッシュ3によりインキ7の通過
が妨げられたところでは、インキ7の印刷基板5への転
移量が少ない部分がスクリーンメッシュ3の交点部分
(編み目)に対応して周期的に現れる。また、スクリー
ン版4は印刷基板5に押し付けられるので、印刷基板5
に転移したインキにはスクリーンメッシュ3が押し付け
られる。従って、スキージ12が通過した後、スクリー
ン版4は元の位置に戻るが、インキ7にはスクリーンメ
ッシュ3に由来する跡が残る。そのため、少なくとも線
パターンが平行に並んでいる、あるいは短冊状のパター
ンが長手方向を揃って並んでいるパターンを印刷した時
に、その部分がうねりを持ったり、表面にスクリーンメ
ッシュの跡が残って凹凸が生じるという欠点があった。
However, in such conventional screen printing, when the ink 7 is transferred, a wire constituting the screen mesh 3 is not used.
In particular, the stitches hinder the passage of the ink 7. Since the screen meshes 3 are knitted at equal intervals, stitches that obstruct the passage of the ink 7 are periodically present (for example, in FIG. 6B, the interval indicated by 23 in the up-down direction is the period) ). Therefore, the printed pattern 13
In the area where the passage of the ink 7 is hindered by the screen mesh 3, a portion where the transfer amount of the ink 7 to the printed board 5 is small appears periodically corresponding to the intersection (the stitch) of the screen mesh 3. Also, since the screen plate 4 is pressed against the printed board 5, the printed board 5
The screen mesh 3 is pressed against the transferred ink. Therefore, after the squeegee 12 has passed, the screen plate 4 returns to its original position, but the ink 7 has traces derived from the screen mesh 3. Therefore, when printing a pattern in which at least line patterns are arranged in parallel or strip-shaped patterns are aligned in the longitudinal direction, the part has undulations, and the surface of the screen mesh marks remains Disadvantageously occurs.

【0007】特に、パターン13を微細化していくと
(すなわち、印刷するパターンの幅が狭くなると)、乳
剤膜11のくり貫き部分に対するスクリーンメッシュ3
のワイヤーの面積が占める割合は大きくなっていくこと
から、その欠点がより顕著になり、最悪の場合、エッジ
のうねったパターンから細い部分が切れて島状のパター
ンとなることがある。特に、使用するインキが高粘度の
ものである場合は、いわゆるダンゴ状のパターンとなっ
て、配線基板を印刷する場合などは、その部分で断線が
起こるという問題があった。
In particular, when the pattern 13 is made finer (that is, when the width of the pattern to be printed becomes narrower), the screen mesh 3 for the hollow portion of the emulsion film 11 is formed.
Since the area occupied by the wire increases, the defect becomes more remarkable. In the worst case, a thin portion may be cut off from the undulating pattern to form an island-like pattern. In particular, when the ink used has a high viscosity, a so-called dango-shaped pattern is formed, and when a wiring board is printed, for example, there has been a problem that disconnection occurs at that portion.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、1回目の印刷
後に、印刷面上方から見たスクリーン版と印刷基板の相
対位置を、所定の方向に、スクリーンメッシュの交点周
期の(2n+1)/2倍(nはゼロ以上の整数)あるい
は印刷されたパターンのエッジのうねりの周期の(2n
+1)/2倍だけずらして1回目の印刷と同様の印刷を
1回以上行なうスクリーン印刷方法を提供する。
According to the present invention, after the first printing, the relative position between the screen plate and the printing substrate as viewed from above the printing surface is determined in a predetermined direction by (2n + 1) / intersection period of the screen mesh. Double (n is an integer equal to or greater than zero) or (2n) of the period of the undulation of the edge of the printed pattern
The present invention provides a screen printing method in which the same printing as the first printing is performed one or more times by shifting by +1) / 2 times.

【0009】また本発明は、スクリーン版を固定する版
枠、印刷基板を設置する印刷基板テーブル、該印刷基板
に平行に対向配置された該スクリーンを押圧して該スク
リーン上に塗布されたインキを該印刷基板に転写するた
めのスキージを少なくとも有してなるスクリーン印刷機
において、印刷面上方から見たスクリーン版と印刷基板
の相対位置を変更する相対位置変更手段を有することを
特徴とするスクリーン印刷機を提供する。
[0009] The present invention also provides a plate frame for fixing a screen plate, a printing substrate table on which a printing substrate is installed, and pressing the screen, which is arranged parallel to and facing the printing substrate, to remove the ink applied on the screen. In a screen printing machine having at least a squeegee for transferring to a printing substrate, screen printing characterized by having relative position changing means for changing a relative position between the screen plate and the printing substrate viewed from above the printing surface. Offer machine.

【0010】図1に、本発明の1実施態様を示した。同
図において、4は線パターン1(この図ではデフォルメ
して表示している)を有するスクリーン版、9は印刷面
上方から見たスクリーン版と印刷基板との相対位置をず
らすための相対位置変更手段(この図ではダイヤルゲー
ジ)であり、24はスクリーン版4の下にスクリーン面
に対して平行に置かれた基板であり、14は印刷によっ
て形成されたパターンである。
FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. In the figure, reference numeral 4 denotes a screen plate having a line pattern 1 (deformed in this figure), and 9 denotes a relative position change for shifting a relative position between the screen plate and the printed board viewed from above the printing surface. A means (a dial gauge in this figure) is a substrate placed below the screen plate 4 in parallel with the screen surface, and 14 is a pattern formed by printing.

【0011】この装置を用いてスクリーン印刷を行なう
場合、印刷実施の前に予めスクリーン版4のパターン
(この場合は線パターン)1の開口部の印刷走査方向
(この場合、線パターンの長手方向)に存在するスクリ
ーンメッシュ3の交点の周期(以下、交点周期と称す
る)2dを計算によって求めておく。
When screen printing is performed using this apparatus, the printing scanning direction (in this case, the longitudinal direction of the line pattern) of the opening of the pattern (line pattern in this case) 1 of the screen printing plate 4 before printing is performed. The period (hereinafter referred to as the period of the intersection) 2d of the intersection of the screen meshes 3 existing in the above is obtained by calculation.

【0012】基板24を基板テーブル6に固定し、スク
リーン版4を基板24に平行に所定の間隔を保持して設
置する。スクリーン版4にインキ7を広げ、スキージ1
2によってスクリーン版を基板24に押し付けながら1
回目のスクリーン印刷を行なう。
The substrate 24 is fixed to the substrate table 6, and the screen plate 4 is set in parallel with the substrate 24 at a predetermined interval. Spread ink 7 on screen plate 4 and squeegee 1
2 while pressing the screen plate against the substrate 24
Perform the second screen printing.

【0013】次に、スクリーン版4を相対位置変更手段
9により、予め求めておいた交点周期の1/2の距離d
だけ線パターン1の長手方向に移動させ、同じ基板24
に1回目と同様にスクリーン印刷する。ただしその操作
は、1回目の印刷パターンにおけるうねりの解消が目的
であるので、移動させる距離はdに限定されるものでは
なく、(2n+1)dの一般形(nはゼロ以上の整数)
で表される距離としてもよい。
Next, the screen plate 4 is moved by the relative position changing means 9 to a distance d which is 1/2 of the intersection cycle previously obtained.
Is moved in the longitudinal direction of the line pattern 1 and the same substrate 24 is moved.
Screen printing in the same manner as the first time. However, since the operation is intended to eliminate the undulation in the first print pattern, the distance to be moved is not limited to d, but is a general form of (2n + 1) d (n is an integer of zero or more).
The distance may be represented by:

【0014】次に、本発明の別の実施態様を図3を用い
て説明する。この図において、20は基板24の中心、
21はスクリーン版のパターンの中心、22は回転手段
(相対位置変更手段)を有する基板テーブルである。
Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In this figure, 20 is the center of the substrate 24,
Reference numeral 21 denotes the center of the pattern of the screen plate, and reference numeral 22 denotes a substrate table having rotating means (relative position changing means).

【0015】この装置において、スクリーン印刷を行な
う前に、予め走査方向での交点周期2dを求めておく。
その基板テーブルの回転中心と印刷されたパターンの中
心とを、予め求めておいた交点周期2dの(2m+1)
/4倍だけ(mはゼロ以上の整数であり、図3ではm=
0の場合を示してある)、線パターン1の長手方向(印
刷走査方向)にずらして印刷基板5を固定する。
In this apparatus, before performing screen printing, an intersection cycle 2d in the scanning direction is obtained in advance.
The center of rotation of the substrate table and the center of the printed pattern are set to (2m + 1) of the intersection cycle 2d, which is obtained in advance.
/ 4 times (m is an integer greater than or equal to zero; in FIG. 3, m =
0), the printing substrate 5 is fixed while being shifted in the longitudinal direction of the line pattern 1 (printing scanning direction).

【0016】1回目のスクリーン印刷後、基板テーブル
16を180°回転し、印刷基板5を交点周期の1/2
であるdだけ移動させる。その後、2回目の印刷を行な
う。本発明において、印刷回数は上述のように2回に限
定されるものではなく、場合に応じて3回以上の任意の
回数実施してもよい。また、印刷基板の材質や使用する
インキについては、通常のスクリーン印刷で使用される
ものであれば特に制限はない。
After the first screen printing, the substrate table 16 is rotated by 180 °, and the printed substrate 5 is moved to a half of the intersection cycle.
Is moved by d. Thereafter, the second printing is performed. In the present invention, the number of times of printing is not limited to two times as described above, and may be performed three or more times as needed. The material of the printed board and the ink used are not particularly limited as long as they are used in ordinary screen printing.

【0017】また、スクリーン版と基板との間の相対位
置の変更は、図に示したダイヤルゲージによって行なう
方法に限定されるものではなく、TVカメラによる画像
処理装置を用いて肉眼によりスクリーン版を観察しなが
ら手動で操作する手法、あるいはスクリーンメッシュの
周期を求めてスクリーン版を移動する操作を自動化して
もよい。さらに、交点周期2dを求める方法としては、
上記のように計算によるだけではなく、1回目の印刷を
行なって、そのパターンを観察することによって実測
し、その実測値を用いて相対位置の変更を行なって、2
回目以降の印刷を行なうこともできる。
Further, the change of the relative position between the screen plate and the substrate is not limited to the method performed by using the dial gauge shown in the figure, and the screen plate is visually recognized using an image processing apparatus with a TV camera. A method of manually operating while observing, or an operation of moving the screen plate by obtaining the screen mesh cycle may be automated. Further, as a method of obtaining the intersection period 2d,
In addition to the calculation as described above, the first printing is performed, the actual measurement is performed by observing the pattern, and the relative position is changed by using the actual measurement value.
The subsequent printing can also be performed.

【0018】以上のようにしてスクリーン印刷を実施す
ると、2回目の印刷では、1回目の印刷で形成された印
刷パターンのエッジで凸部であったところに凹部を、凹
部であったところに凸部を印刷することになり、結果的
に得られた印刷パターンのうねりの振幅を1回目で形成
されたパターンの1/2以下とすることができ、また厚
さ方向の凹凸を小さくして、印刷パターン形状を改良す
ることができる。
When screen printing is performed as described above, in the second printing, a concave portion is formed where a convex portion is formed at the edge of the print pattern formed in the first printing, and a convex portion is formed where a concave portion is formed. Part of the printed pattern, the amplitude of the undulation of the resulting printed pattern can be reduced to の or less of the pattern formed in the first time, and the unevenness in the thickness direction can be reduced. The print pattern shape can be improved.

【0019】本発明の印刷装置および印刷方法は多くの
分野において利用可能であるが、特に、印刷によって電
気配線を形成する場合には、断線等の問題を大きく低減
することができ、非常に有効である。
Although the printing apparatus and printing method of the present invention can be used in many fields, especially when forming electric wiring by printing, problems such as disconnection can be greatly reduced, which is very effective. It is.

【0020】[0020]

【実施例】【Example】

(実施例1)図1の装置を用いてスクリーン印刷を以下
のように実施した。この場合、スクリーン版4は100
μmラインアンドスペースの線パターンを有するもの
で、1インチ当たり300本のステンレスワイヤーによ
って平織りされたスクリーンメッシュをバイアス45°
で張ったものを用いた。スクリーン印刷実施前に測定し
た交点周期から求めたdは約200μmであった。
(Example 1) Screen printing was performed as follows using the apparatus of FIG. In this case, screen version 4 is 100
A screen mesh having a line pattern of μm line and space, which is plain woven with 300 stainless wires per inch, and a bias of 45 °
Was used. The d obtained from the intersection cycle measured before the screen printing was performed was about 200 μm.

【0021】次に、ガラス基板24を基板テーブル6に
固定し、スクリーン版4をガラス基板24に平行に1m
mの間隔を保持して設置した。スクリーン版4にAgペ
ースト7を薄く広げ、スキージ12によってスクリーン
版4をガラス基板24に押し付けながら1回目のスクリ
ーン印刷を行なった。他の印刷条件は、スキージ速度1
10mm/sec、スキージの押し込み1.0mm、印
圧1.5kg/cm2であった。
Next, the glass substrate 24 is fixed to the substrate table 6, and the screen plate 4 is set in parallel with the glass substrate 24 for 1 m.
It was installed with an interval of m. The Ag paste 7 was spread thinly on the screen plate 4, and the first screen printing was performed while the screen plate 4 was pressed against the glass substrate 24 by the squeegee 12. Other printing conditions are squeegee speed 1
The pressure was 10 mm / sec, the squeegee was pushed 1.0 mm, and the printing pressure was 1.5 kg / cm 2 .

【0022】その後、スクリーン版4をダイヤルゲージ
9によって線パターン1の長手方向にdだけ移動させ、
同じガラス基板24に1回目と同様に2回目のスクリー
ン印刷を行なった。
Thereafter, the screen plate 4 is moved by d in the longitudinal direction of the line pattern 1 by the dial gauge 9,
A second screen printing was performed on the same glass substrate 24 as in the first screen printing.

【0023】その結果、1回目の印刷で形成された印刷
パターン14のエッジで凸部であったところに凹部を、
凹部であったところに凸部を印刷することができ、うね
りの振幅を半分以下とすることができ、1回目の印刷の
みで形成したパターンより印刷パターン形状を改良する
ことができた。
As a result, the concave portion is replaced with the concave portion at the edge of the print pattern 14 formed by the first printing.
Protrusions could be printed in place of the depressions, the amplitude of the undulations could be reduced to half or less, and the print pattern shape could be improved from the pattern formed only by the first printing.

【0024】(実施例2)実施例1と同様に1回目のス
クリーン印刷を行なった。得られた印刷パターンの微小
部分を図2に模式的に示す。図2において、16はその
1回目の印刷によって形成されたパターン、15はその
パターン16のエッジのうねりの周期(2d)、18は
印刷パターン16のエッジのうねりの振幅である。
Example 2 A first screen printing was performed in the same manner as in Example 1. FIG. 2 schematically shows a minute portion of the obtained print pattern. In FIG. 2, reference numeral 16 denotes a pattern formed by the first printing, reference numeral 15 denotes an undulation cycle (2d) of the edge of the pattern 16, and reference numeral 18 denotes an undulation amplitude of the edge of the print pattern 16.

【0025】顕微鏡によってその印刷パターンを観察し
て、線パターンのうねりの周期15を測定した。その実
測値に基づき、その周期の1/2だけ(d)スクリーン
版4を線パターン1の長手方向にダイヤルゲージによっ
て移動し、2回目のスクリーン印刷を行なった。
The printed pattern was observed with a microscope, and the undulation period 15 of the line pattern was measured. Based on the measured values, the screen plate 4 was moved by a dial gauge in the longitudinal direction of the line pattern 1 by の of the period, and the second screen printing was performed.

【0026】その結果、図2に示したように、2回目の
印刷によるパターンでは、印刷パターンは17のように
なり、2回の印刷後のうねりの振幅は19のようになっ
て1回目の印刷パターンより小さいものとなった。
As a result, as shown in FIG. 2, in the pattern by the second printing, the printing pattern becomes like 17 and the amplitude of the undulation after the second printing becomes like 19 as shown in FIG. It became smaller than the print pattern.

【0027】(実施例3)実施例1と同様のスクリーン
版を用い、その交点周期2dを計算で求めた。そのスク
リーン版およびガラス基板を図3(a)に示した回転手
段を有する基板テーブル上に設置した。ただし、図3
(a)のように、ガラス基板の中心20とパターン中心
21を前記で求めた交点周期の1/4に相当するd/2
だけずらしておいた。
(Embodiment 3) Using the same screen plate as in Embodiment 1, the intersection period 2d was obtained by calculation. The screen plate and the glass substrate were set on a substrate table having rotating means shown in FIG. However, FIG.
As shown in (a), the center 20 of the glass substrate and the center 21 of the pattern are d / 2 corresponding to 1 / of the intersection cycle obtained above.
Just staggered.

【0028】1回目の印刷を実施例1と同様の条件およ
び手順で行ない、印刷後、基板テーブル22をその回転
手段によって180°回転して図3(b)のような配置
とした。
The first printing was performed under the same conditions and procedures as those of the first embodiment. After printing, the substrate table 22 was rotated by 180 ° by its rotating means to form an arrangement as shown in FIG.

【0029】次に、1回目と同様の条件で2回目の印刷
を行なったところ、1回目のパターンの上に、1回目の
パターンとdだけずれて2回目のパターンが印刷され、
実施例1同様に、うねりの振幅の小さい良好な印刷パタ
ーンを得ることができた。
Next, when the second printing is performed under the same conditions as the first printing, a second pattern is printed on the first pattern by being shifted from the first pattern by d.
As in Example 1, a good print pattern with small undulation amplitude could be obtained.

【0030】(実施例4)図4に本発明の方法をセラミ
ックヒーターの製造に適用した例を示す。同図におい
て、44は200μmラインアンドスペースの線パター
ン41(図中ではデフォルメして表示している)を有す
るスクリーン版、49はスクリーン版44を移動させる
ためのダイヤルゲージ、42はスクリーン版44の下に
平行に置かれたセラミック基板である。スクリーン版4
4の構成と印刷条件および方法は実施例1と同様とし
た。
(Embodiment 4) FIG. 4 shows an example in which the method of the present invention is applied to the manufacture of a ceramic heater. In the figure, 44 is a screen plate having a line pattern 41 of 200 μm line and space (deformed in the figure), 49 is a dial gauge for moving the screen plate 44, and 42 is a screen gauge of the screen plate 44. A ceramic substrate placed parallel below. Screen version 4
The configuration, printing conditions and method of Example 4 were the same as those in Example 1.

【0031】本実施例ではセラミックヒーターの形成を
示す。形成するパターンは図4のように200μm線パ
ターン41が200μmの間隔を開けてジグザグに並ん
でいて、折り返しから折り返しまでの距離は10cm
で、ラインが250本並んでいる。
This embodiment shows the formation of a ceramic heater. The pattern to be formed has a 200 μm line pattern 41 arranged in a zigzag pattern at intervals of 200 μm as shown in FIG. 4, and the distance from the turn to the turn is 10 cm.
There are 250 lines.

【0032】スクリーン印刷を行う前に、あらかじめス
クリーン版44の線パターン41の開口部の長手方向に
存在するスクリーンメッシュの交点の周期2dを計算に
より求めておく。本実施例の場合、d=約200μmで
ある。
Before performing screen printing, a period 2d of intersections of screen meshes existing in the longitudinal direction of the opening of the line pattern 41 of the screen plate 44 is calculated in advance. In the case of the present embodiment, d = about 200 μm.

【0033】セラミック基板42を基板テーブルに固定
し、1度目のスクリーン印刷を行った。その後、スクリ
ーン版44をダイヤルゲージ49によりあらかじめ求め
ておいた交点の周期の半分の距離dだけ線パターン41
の長手方向に移動させ、同じセラミック基板42に同様
に2度目のスクリーン印刷を行う。これにより、1度目
の印刷で形成された印刷パターンのエッジで凸部であっ
たところに凹部を、凹部であったところに凸部を印刷す
ることになり、うねりの振幅を半分以下にすることがで
き、印刷パターン形状を改良することができた。
The ceramic substrate 42 was fixed on a substrate table, and the first screen printing was performed. Thereafter, the screen plate 44 is moved to the line pattern 41 by a distance d which is half the period of the intersection determined in advance by the dial gauge 49.
And the second screen printing is performed on the same ceramic substrate 42 in the same manner. As a result, a concave portion is printed where a convex portion is formed at the edge of a print pattern formed in the first printing, and a convex portion is printed where a concave portion is formed. And the print pattern shape could be improved.

【0034】図5に形成された印刷パターンを示す。こ
の図において、2度目の印刷で新たに形成された部分を
斜線部で示した。これにより、配線の波状の部分をなく
すことができ、ヒーターを動作させたときの細線部での
断線や温度分布の面で良好な成績が得られた。
FIG. 5 shows the formed print pattern. In this drawing, a portion newly formed by the second printing is indicated by a hatched portion. As a result, the corrugated portion of the wiring could be eliminated, and good results were obtained in terms of disconnection and temperature distribution in the thin wire portion when the heater was operated.

【0035】[0035]

【発明の効果】以上説明したように、印刷パターンの歪
みが周期的であることに着目し、スクリーン版と印刷基
板との相対位置をその歪みの周期の1/2だけパターン
長手方向にずらすことによって、印刷パターンのエッジ
部分のうねりや厚さ方向の凹凸を低減させることができ
る。
As described above, noting that the distortion of the print pattern is periodic, the relative position between the screen plate and the print substrate is shifted in the longitudinal direction of the pattern by half of the period of the distortion. Accordingly, it is possible to reduce the undulation and unevenness in the thickness direction of the edge portion of the print pattern.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施例1のスクリーン印刷の手順を示す模式的
平面図であり、(a)は1回目の印刷、(b)は2回目
の印刷における配置を示す図である。
FIGS. 1A and 1B are schematic plan views illustrating a procedure of screen printing according to a first embodiment, in which FIG. 1A illustrates an arrangement in a first printing, and FIG. 1B illustrates an arrangement in a second printing.

【図2】実施例2のスクリーン印刷で形成された印刷パ
ターンの微細部分の模式図である。
FIG. 2 is a schematic diagram of a fine portion of a print pattern formed by screen printing in Example 2.

【図3】実施例3のスクリーン印刷の手順を示す模式的
平面図であり、(a)は1回目の印刷、(b)は2回目
の印刷における配置を示す図である。
3A and 3B are schematic plan views illustrating a procedure of screen printing according to a third embodiment, in which FIG. 3A illustrates an arrangement in a first printing, and FIG. 3B illustrates an arrangement in a second printing.

【図4】実施例4のスクリーン印刷の手順を示す模式的
平面図であり、(a)は1回目の印刷、(b)は2回目
の印刷における配置を示す図である。
4A and 4B are schematic plan views illustrating a procedure of screen printing according to a fourth embodiment, in which FIG. 4A illustrates an arrangement in a first printing, and FIG. 4B illustrates an arrangement in a second printing.

【図5】実施例4の印刷で得られたセラミックヒーター
用印刷パターンの図である。
FIG. 5 is a view of a printing pattern for a ceramic heater obtained by printing in Example 4.

【図6】従来のスクリーン印刷を説明する図であり、
(a)はスクリーン印刷機の要部の分解斜視図、(b)
はスクリーンの線パターンの微細部分を示す図である。
FIG. 6 is a diagram for explaining conventional screen printing.
(A) is an exploded perspective view of a main part of the screen printing machine, (b)
FIG. 3 is a view showing a fine portion of a line pattern on a screen.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 線パターン 2 スクリーンメッシュ 4 スクリーン版 5 印刷基板 6 基板テーブル 7 インキ 8 版枠 9 ダイヤルゲージ 10 ワイヤー 11 乳剤膜 12 スキージ 13 任意のパターン 14 印刷パターン 15 うねりの周期(2d) 16 1回目の印刷パターン 17 2回目の印刷パターン 18 1回目の印刷によるうねりの振幅 19 2回目の印刷後のうねりの振幅 20 ガラス基板の中心 21 スクリーン版のパターン中心 22 回転手段を有するテーブル 23 スクリーンメッシュの交点間隔 24 基板 41 線パターン 42 セラミック基板 44 スクリーン版 49 ダイヤルゲージ Reference Signs List 1 line pattern 2 screen mesh 4 screen plate 5 printed board 6 substrate table 7 ink 8 plate frame 9 dial gauge 10 wire 11 emulsion film 12 squeegee 13 optional pattern 14 print pattern 15 swell cycle (2d) 16 first print pattern 17 Second print pattern 18 Amplitude of undulation by first printing 19 Amplitude of undulation after second printing 20 Center of glass substrate 21 Pattern center of screen plate 22 Table with rotating means 23 Intersection interval of screen mesh 24 Substrate 41 line pattern 42 ceramic substrate 44 screen plate 49 dial gauge

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B41M 1/12 B41F 15/08 303 B41F 15/26 B41F 15/36 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) B41M 1/12 B41F 15/08 303 B41F 15/26 B41F 15/36

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 1回目の印刷後に、印刷面上方から見た
スクリーン版と印刷基板の相対位置を、所定の方向に、
スクリーンメッシュの交点周期の(2n+1)/2倍
(nはゼロ以上の整数)だけずらして1回目の印刷と同
様の印刷を1回以上行なうスクリーン印刷方法。
1. After the first printing, the relative position between the screen plate and the printing substrate as viewed from above the printing surface is changed in a predetermined direction.
A screen printing method in which the same printing as the first printing is performed one or more times with a shift of (2n + 1) / 2 times (n is an integer equal to or greater than zero) the screen mesh intersection cycle.
【請求項2】 スクリーン版と印刷基板の相対位置の変
更を、該スクリーン版と該印刷基板のうちの少なくとも
一方を所定の方向に直線的に移動させることによって行
なう請求項1記載のスクリーン印刷方法。
2. The screen printing method according to claim 1, wherein the relative position between the screen plate and the printing substrate is changed by linearly moving at least one of the screen plate and the printing substrate in a predetermined direction. .
【請求項3】 予め求めておいた印刷の走査方向におけ
るスクリーンメッシュの交点周期の(2m+1)/4倍
(mはゼロ以上の整数)だけ該スクリーン版のパターン
中心と印刷基板の中心をずらして該スクリーンと該基板
を設置し、1回目の印刷終了後に該スクリーンと該基板
のうちの一方を180°回転することによってスクリー
ン版と印刷基板の相対位置の変更を行なう請求項1記載
のスクリーン印刷方法。
3. The pattern center of the screen plate and the center of the printing substrate are shifted by (2m + 1) / 4 times (m is an integer of 0 or more) of the intersection point of the screen mesh in the scanning direction of printing determined in advance. The screen printing according to claim 1, wherein the screen and the substrate are installed, and after the first printing, the relative position between the screen plate and the printed substrate is changed by rotating one of the screen and the substrate by 180 °. Method.
【請求項4】 1回目の印刷後に、印刷面上方から見た
スクリーン版と印刷基板の相対位置を、所定の方向に、
1回目の印刷によって得られた印刷パターンのエッジの
うねりの周期の実測値の(2n+1)/2倍(nはゼロ
以上の正の整数)だけずらして1回目の印刷と同様の印
刷を1回以上行なうことを特徴とするスクリーン印刷方
法。
4. After the first printing, the relative position between the screen plate and the printing substrate as viewed from above the printing surface is set in a predetermined direction.
The same printing as the first printing is performed once with a shift of (2n + 1) / 2 times (n is a positive integer equal to or more than zero) of the actually measured value of the waviness period of the edge of the print pattern obtained by the first printing. A screen printing method characterized by performing the above.
【請求項5】 印刷基板が回路用基板であり、印刷パタ
ーンが配線パターンである請求項1ないし4のいずれか
1項に記載のスクリーン印刷方法。
5. The screen printing method according to claim 1, wherein the printed board is a circuit board, and the printed pattern is a wiring pattern.
【請求項6】 スクリーン版を固定する版枠、印刷基板
を設置する印刷基板テーブル、該印刷基板に平行に対向
配置された該スクリーンを押圧して該スクリーン上に塗
布されたインキを該印刷基板に転写するためのスキージ
を少なくとも有してなるスクリーン印刷機において、印
刷面上方から見たスクリーン版と印刷基板の相対位置を
変更する相対位置変更手段を有することを特徴とするス
クリーン印刷機。
6. A printing frame for fixing a screen plate, a printing board table on which a printing board is installed, and pressing the screen, which is disposed in parallel to the printing board, to apply ink applied on the screen to the printing board. 1. A screen printing machine comprising at least a squeegee for transferring to a printing plate, the screen printing machine comprising relative position changing means for changing a relative position between a screen plate and a printing substrate as viewed from above a printing surface.
【請求項7】 相対位置変更手段が、印刷基板テーブル
側面に取り付けられたダイヤルゲージである請求項6記
載のスクリーン印刷機。
7. The screen printing machine according to claim 6, wherein the relative position changing means is a dial gauge attached to a side surface of the printed circuit board table.
【請求項8】 相対位置変更手段が、印刷基板テーブル
を回転させる回転手段である請求項6記載のスクリーン
印刷機。
8. The screen printing machine according to claim 6, wherein the relative position changing means is a rotating means for rotating the printed board table.
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