JP3049618B2 - 水切り用エアーナイフ装置 - Google Patents
水切り用エアーナイフ装置Info
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
板の表面に付着した水分を除去するエアーナイフ装置に
関する。例えばシリコンウェハ、LCD用ガラス基板な
どの製造において、これら基板(含む、ウェハ)の湿式
処理(エッチング、洗浄、レジスト剥離など)後に、そ
の表面に付着した水分(含む、薬液)を除去することが
必要である。本発明はこのような水切り作業に用いられ
るエアーナイフに関するものである。
示す如きエアーナイフが用いられている。同図におい
て、例えばころ(ローラ)11により湿式処理ステーシ
ョンから水切りステーションSに運ばれてきた基板10
(板状部品)は水切りステーションSに設けられたエア
ーナイフ13により表面に付着した水分を取り除かれ
る。即ち、エアーナイフ13は板状部品10の幅に略相
当する幅のスリット状ノズル15を有し、このノズル1
5からエアーが高速で板状部品10の表面に吹きつけら
れ、その結果板状部品10の表面に残っていた水分が吹
き飛ばされる。
ある場合には、エアーの代わりに例えば窒素ガス
(N2 )が用いられる。水切りステーションは搬送路の
途中に設けられる板状部品10の入口21、出口23を
有する筺体25により形成され、この筺体25内におい
て板状部品10にエアーがエアーナイフ13から強く吹
き付けられる。
従来のエアーナイフ構造にあっては板状部品10の表面
から吹き飛ばされた水分はミストとなって筺体25内に
飛散する。この飛沫はエアーノズル15から吹き出され
たエアーが板状部品10に衝突することにより生じる強
い乱気流に乗り、エアーナイフ13の下流に周りこみ、
水分を除去された板状部品10の表面に再付着する可能
性がある。
な板状部品への飛沫の再付着を防止して完全な水切りを
行うことにある。係る目的を達成するために、搬送路を
送られてくる板状部品の少なくとも一方の板面上にスリ
ット状ノズルから噴出される気体を吹き付けて基板面に
付着している液分を除去する水切り用エアーナイフ装置
において、該スリット状ノズルの上流において搬送路上
が開放されてなると共に、該スリット状ノズルの下流に
おいて搬送路上の前記板状部品の板面を覆うカバー板を
設けてなることを構成上の特徴とする。
おいてカバー板の下方には搬送路上の板状部品を乾燥す
る加熱気体雰囲気が形成される。
開口が形成され、該開口を介してカバー板の下方に加熱
気体雰囲気用の加熱気体が導入される。更に、上記カバ
ー板に加熱気体雰囲気用の気体を加熱するヒータを設け
てもよい。
られてくる板状部品の出入り口を備えた筺体を搬送路内
に設けると共に、該筺体内に板状部品の少なくとも一方
の板面上に気体を吹き付けて基板面に付着している液分
を除去するスリット状ノズルを設けた水切りステーショ
ンにおいて、板状部品の進行方向に見て、上記スリット
状ノズルを筺体の上部並びに左右側面に隙間無く取り付
けると共に、該スリット状ノズルの上流において搬送路
上が開放されてなることを構成上の特徴とする。
ばカバー板の形状をした再付着防止手段が設けられるの
で、エアーノズルから噴出されたエアーが板状部品に衝
突して飛沫となって飛散しても、その飛沫が水切りの済
んだ板状部品表面に再付着する恐れはない。
ことにより、板状部品の水切り(乾燥)を一層完全なも
のとすることができる。加熱手段としてはカバー板にヒ
ーターを設けてその雰囲気を直接加熱したり、あるいは
この雰囲気中に加熱気体を送り込むようにしてもよい。
また、エアノズルを筐体に隙間なく取り付けることによ
り、飛沫はエアノズルの下流に最早周り込むことは出来
なくなる。
き図1乃至図7を参照して詳細に説明する。図1は本発
明の第1の実施例を示す。同図において、矢印Aで示す
搬送路は例えば多数のころ(ローラ)11により形成さ
れ、その途中に本発明に係る水切りステーションSが設
けられる。
により形成され、その前方には板状部品10の入口21
が形成され、またその後方には板状部品10の出口23
が形成される。従って、板状部品10は湿式ステーショ
ン(図示せず)から矢印A方向に送られてこの水切りス
テーション(筐体25)を通過する。
向から清浄エア(またはN2 等) を噴出するスリット状
ノズル15を有するエアーナイフ13が設けられる。エ
アーナイフ13はその下方に向かって幅が狭まりその先
端でスリット状のノズル15を形成する。エアーナイフ
13はチューブ31を介して清浄エア源(図示せず)に
連結される。尚、特に図示はしないが、一般にはエアー
ナイフ13は板状部品10の上下表面を同時に水切り
(乾燥)すべく板状部品10を挟んで対称的に2箇所設
けられる。また、筐体25にはノズル15から吹き出さ
れたエアを排出するための1個または適当な数のダクト
穴33が設けられている。
ば、エアーナイフ13の下流には再付着防止手段を形成
するカバー板35が設けられる。カバー板35は好まし
くは筐体25の両側面に固着され、板状部品10と平行
な平面内に横たわる。その結果、エアーノズル15から
吹き出されたエアーにより板状部品10の表面に付着し
ていた水分(含む、薬液)が吹き飛ばされ、それがミス
トとなって飛散してエアーナイフ13の下流に周り込ん
でも、カバー板35により板状部品10の表面に再付着
することはない。
(少なくとも1つ)の開口37を形成し、これら開口を
チューブ39を介して図示しない加熱気体源(加熱エ
ア、加熱窒素ガス等)に連結する。その結果、カバー板
35の下方には加熱気体による加熱雰囲気が形成され、
従って、ここを通過する板状部品10の乾燥が更に促進
される。
ための3つの異なる実施例を示すもので、図3において
はチューブ39の途中にヒーター41が巻装され、チュ
ーブ39内を通過するエア又は窒素ガスを加熱する。
又、図4においてはヒーター43がカバー板35の上に
設けられ、このヒーターによりカバー板35の下方雰囲
気を加熱する。
外線セラミックヒーター45が用いられ、これをカバー
板35の下面に固着してある。尚、図3、図4における
ヒーター41、43は通常のニクロム線ヒーターを想定
しているが、ヒーターの構成自体はこれに何ら限定され
ない。要は、エアーノズル13の下流域に加熱雰囲気を
設けることにより板状部品10の水切り(乾燥)を一層
促進できればよい。
すもので、この実施例は、エアーナイフ13を筐体25
に隙間なく取付けるという構想に立脚するものである。
即ち、エアーノズル13の上端を筐体25の上面25a
に密着させるとともに、板状部品10の送り方向からみ
てエアーノズル13の左右両側を同様に筐体25の左右
両側面25b、25bに密着させる。
7に示す如く進行方向Aに対して傾斜して設けられる
が、エアーノズル13の幅が筐体25の幅より小さい場
合には図7に示す如くエアーノズル13の両側面と筐体
25の両側面の間にスペーサ50を介在させるようにし
てもよい。要は、エアーノズルと筐体との間に隙間をな
くすことにより前述の飛沫ミストがエアーノズル13の
下流域に入り込むのを防止することが出来ればよい。
エアーノズルの下流又は近傍に飛沫ミストが乾燥(水切
り)後の板状部品に再付着するのを防止する手段を設け
たので、一旦乾燥(水切り)された板状部品に飛沫ミス
トが再び付着することはなくなる。
Claims (5)
- 【請求項1】 搬送路を送られてくる板状部品(10)
の少なくとも一方の板面上にスリット状ノズル(15)
から噴出される気体を吹き付けて基板面に付着している
液分を除去する水切り用エアーナイフ装置において、該スリット状ノズルの上流において搬送路上が開放され
てなると共に、該スリット状ノズルの下流において搬送
路上の前記板状部品の板面を覆うカバー板(35)を設
けてなる ことを特徴とする水切り用エアーナイフ装置。 - 【請求項2】 上記スリット状ノズル下流においてカバ
ー板の下方には搬送路上の板状部品の周囲に加熱気体雰
囲気が形成されることを特徴とする請求項1に記載の水
切り用エアーナイフ装置。 - 【請求項3】 上記カバー板(35)には加熱気体源に
連結される開口(37)が形成され、該開口を介してカ
バー板の下方に加熱気体雰囲気用の加熱気体が導入され
ることを特徴とする請求項2に記載の水切り用エアーナ
イフ装置。 - 【請求項4】 上記カバー板(35)には気体源に連結
される開口(37)が形成され、該開口を介してカバー
板の下方に加熱気体雰囲気用の気体が導入され、更に、
上記カバー板にはこの加熱気体雰囲気用の気体を加熱す
るヒータ(43、45)が付設されることを特徴とする
請求項2に記載の水切り用エアーナイフ装置。 - 【請求項5】 搬送路を送られてくる板状部品(10)
の出入り口(21、23)を備えた筺体(25)を搬送
路内に設けると共に、該筺体内に板状部品の少なくとも
一方の板面上に気体を吹き付けて基板面に付着している
液分を除去するスリット状ノズル(15)を設けた水切
りステーションにおいて、 板状部品の進行方向に見て、上記スリット状ノズルを筺
体の上部並びに左右側面に隙間無く取り付けると共に、
該スリット状ノズルの上流において搬送路上が開放され
てなることを特徴とする水切りステーション。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3052594A JP3049618B2 (ja) | 1991-03-18 | 1991-03-18 | 水切り用エアーナイフ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3052594A JP3049618B2 (ja) | 1991-03-18 | 1991-03-18 | 水切り用エアーナイフ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04288830A JPH04288830A (ja) | 1992-10-13 |
JP3049618B2 true JP3049618B2 (ja) | 2000-06-05 |
Family
ID=12919112
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3052594A Expired - Lifetime JP3049618B2 (ja) | 1991-03-18 | 1991-03-18 | 水切り用エアーナイフ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3049618B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115540553B (zh) * | 2022-09-15 | 2024-05-31 | 深圳市沃尔热缩有限公司 | 干燥装置和扁管生产线 |
-
1991
- 1991-03-18 JP JP3052594A patent/JP3049618B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH04288830A (ja) | 1992-10-13 |
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