JP3038692B2 - バイモルフ振動子及び圧電形加速度センサ - Google Patents
バイモルフ振動子及び圧電形加速度センサInfo
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Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はバイモルフ振動子
と、板状圧電素子を片持ち保持した圧電形加速度センサ
に関する。
と、板状圧電素子を片持ち保持した圧電形加速度センサ
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、バイモルフ振動子による板状圧電
素子を用いた圧電形加速度センサに係る発明として、実
公平６−２１２０号公報「圧電式振動センサ」に開示さ
れるものが知られている。この先行技術は、両面に電極
を設けて分極を行い、分極軸を貼り合わせて短冊状圧電
バイモルフ振動子とし、この短冊状圧電バイモルフ振動
子を、金属製管に封入されているステムの２本のリード
線の先端に半田または導電性接着剤で電気的に接続固定
している。
素子を用いた圧電形加速度センサに係る発明として、実
公平６−２１２０号公報「圧電式振動センサ」に開示さ
れるものが知られている。この先行技術は、両面に電極
を設けて分極を行い、分極軸を貼り合わせて短冊状圧電
バイモルフ振動子とし、この短冊状圧電バイモルフ振動
子を、金属製管に封入されているステムの２本のリード
線の先端に半田または導電性接着剤で電気的に接続固定
している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記センサは、振動子
の一端を半田または導電性接着剤で固定しただけのリー
ド線のみで固定しているため、リード線にねじり方向や
曲げ方向の応力が作用すると外れてしまうおそれがあ
る。また、端部がしっかり固定されていないため、高い
周波数領域での応答を得ることができない。
の一端を半田または導電性接着剤で固定しただけのリー
ド線のみで固定しているため、リード線にねじり方向や
曲げ方向の応力が作用すると外れてしまうおそれがあ
る。また、端部がしっかり固定されていないため、高い
周波数領域での応答を得ることができない。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本願の第１発明に係るバイモルフ振動子は、両面に電
極がそれぞれ形成された2枚の圧電セラミックを揃えて
貼り合わせて構成した圧電素子の自由端に導電性部材か
らなる断面コ字状の折曲片を嵌め込んで、前記圧電素子
の厚み方向の両端面に電路を形成した。
に本願の第１発明に係るバイモルフ振動子は、両面に電
極がそれぞれ形成された2枚の圧電セラミックを揃えて
貼り合わせて構成した圧電素子の自由端に導電性部材か
らなる断面コ字状の折曲片を嵌め込んで、前記圧電素子
の厚み方向の両端面に電路を形成した。
【０００５】本願の第２発明に係る圧電形加速度センサ
は、端面に嵌合孔を有すると共に前記端面の芯線孔を介
してケーブルの芯線が導出される筒状のケーブル保持部
材と、絶縁材からなり一端に小径部が突出形成されると
共に側面に長さ方向の溝を形成してこの溝に前記板状圧
電素子の一端を嵌め込んで固定した柱状ベースとで構成
され、前記板状圧電素子に前記芯線を接続すると共に前
記小径部を前記嵌合孔に差込んで形成した。
は、端面に嵌合孔を有すると共に前記端面の芯線孔を介
してケーブルの芯線が導出される筒状のケーブル保持部
材と、絶縁材からなり一端に小径部が突出形成されると
共に側面に長さ方向の溝を形成してこの溝に前記板状圧
電素子の一端を嵌め込んで固定した柱状ベースとで構成
され、前記板状圧電素子に前記芯線を接続すると共に前
記小径部を前記嵌合孔に差込んで形成した。
【０００６】本願の第３発明に係る圧電形加速度センサ
は、端面に嵌合孔を有すると共に前記端面の芯線孔を介
してケーブルの芯線が導出される筒状のケーブル保持部
材と、絶縁材からなり一端に小径部が突出形成されると
共に軸方向に沿い且つ端面から見た切り込み角度が互い
に異なる溝を２本形成し、この２本の溝のそれぞれに前
記板状圧電素子の一端を嵌め込んで固定した柱状ベース
とで構成され、前記板状圧電素子に前記芯線を接続する
と共に前記小径部を前記嵌合孔に差込んで形成した。
は、端面に嵌合孔を有すると共に前記端面の芯線孔を介
してケーブルの芯線が導出される筒状のケーブル保持部
材と、絶縁材からなり一端に小径部が突出形成されると
共に軸方向に沿い且つ端面から見た切り込み角度が互い
に異なる溝を２本形成し、この２本の溝のそれぞれに前
記板状圧電素子の一端を嵌め込んで固定した柱状ベース
とで構成され、前記板状圧電素子に前記芯線を接続する
と共に前記小径部を前記嵌合孔に差込んで形成した。
【０００７】本願の第４発明に係る圧電形加速度センサ
は、前記板状圧電素子がバイモルフ振動子であると共に
前記圧電形加速度センサは絶縁材からなる柱状ベースの
側面に長さ方向の溝を形成し、この溝に前記板状圧電素
子の一端を嵌め込んで固定され、前記板状圧電素子の他
端には導電性部材からなる断面コ字状の折曲片が固定さ
れてなる。
は、前記板状圧電素子がバイモルフ振動子であると共に
前記圧電形加速度センサは絶縁材からなる柱状ベースの
側面に長さ方向の溝を形成し、この溝に前記板状圧電素
子の一端を嵌め込んで固定され、前記板状圧電素子の他
端には導電性部材からなる断面コ字状の折曲片が固定さ
れてなる。
【０００８】本願の第5発明に係る圧電形加速度センサ
は、前記板状圧電素子がバイモルフ振動子であると共に
前記圧電形加速度センサは絶縁材からなる柱状ベースの
側面に軸方向に沿い且つ端面から見た切り込み角度が互
いに異なる溝を２本形成し、この２本の溝のそれぞれに
板状圧電素子の一端を嵌め込んで固定され、前記板状圧
電素子の他端には導電性部材からなる断面コ字状の折曲
片が固定されてなる。
は、前記板状圧電素子がバイモルフ振動子であると共に
前記圧電形加速度センサは絶縁材からなる柱状ベースの
側面に軸方向に沿い且つ端面から見た切り込み角度が互
いに異なる溝を２本形成し、この２本の溝のそれぞれに
板状圧電素子の一端を嵌め込んで固定され、前記板状圧
電素子の他端には導電性部材からなる断面コ字状の折曲
片が固定されてなる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて説明する。図１は本発明に係る加速度セ
ンサの外観を示す斜視図であり、加速度センサ１は加速
度センサ本体１０とプロテクトチューブ５０とからな
る。
図面に基づいて説明する。図１は本発明に係る加速度セ
ンサの外観を示す斜視図であり、加速度センサ１は加速
度センサ本体１０とプロテクトチューブ５０とからな
る。
【００１０】加速度センサ本体１０は、耐熱金属、例え
ばインコネルからなる円筒状のケーブル保持部材１１の
両端に円筒状のカバー１２、１３を配設し、それぞれの
カバー１２、１３の先端に円筒状のガイド部１４，１５
をそれぞれ備える。
ばインコネルからなる円筒状のケーブル保持部材１１の
両端に円筒状のカバー１２、１３を配設し、それぞれの
カバー１２、１３の先端に円筒状のガイド部１４，１５
をそれぞれ備える。
【００１１】プロテクトチューブ５０は、加速度センサ
本体１０からケーブル保持部材１１のケーブル孔１１ｂ
を介して導出されるＭＩケーブル１７，１８の周囲を被
覆し、ＭＩケーブル１７，１８の外力に起因する損傷を
防止するためのものである（図２参照）。
本体１０からケーブル保持部材１１のケーブル孔１１ｂ
を介して導出されるＭＩケーブル１７，１８の周囲を被
覆し、ＭＩケーブル１７，１８の外力に起因する損傷を
防止するためのものである（図２参照）。
【００１２】なお、上記ＭＩケーブルは、金属性のシー
ス（チューブ）内に、金属導線を挿通し、導線とシース
間に鉱物質絶縁物、例えばＭｇＯ（酸化マグネシウム）
等の粉末を詰め固めた耐熱高絶縁を有するケーブルであ
り、高温雰囲気中で使用するケーブル部材（リード線）
として好適なものである。
ス（チューブ）内に、金属導線を挿通し、導線とシース
間に鉱物質絶縁物、例えばＭｇＯ（酸化マグネシウム）
等の粉末を詰め固めた耐熱高絶縁を有するケーブルであ
り、高温雰囲気中で使用するケーブル部材（リード線）
として好適なものである。
【００１３】図２は本発明に係る加速度センサの断面図
であり、ケーブル保持部材１１の一端はケーブル孔１１
ｂを介して複数（ここでは２本）のＭＩケーブル１７，
１８を並列に挿通しており、ケーブル孔１１ｂの端部周
縁はＭＩケーブル１７，１８の外周に蝋付け１９、例え
ば銀蝋付けによって気密に固着されている。ここで、１
７ａ、１７ｂ、１８ａ、18ｂはＭＩケーブル１７，１８
の芯線であり、例えばステンレス線が使用される。
であり、ケーブル保持部材１１の一端はケーブル孔１１
ｂを介して複数（ここでは２本）のＭＩケーブル１７，
１８を並列に挿通しており、ケーブル孔１１ｂの端部周
縁はＭＩケーブル１７，１８の外周に蝋付け１９、例え
ば銀蝋付けによって気密に固着されている。ここで、１
７ａ、１７ｂ、１８ａ、18ｂはＭＩケーブル１７，１８
の芯線であり、例えばステンレス線が使用される。
【００１４】また、ケーブル保持部材１１の他端は分配
部材２２および位置決め部材３１をそれぞれ内部および
端部に耐熱性接着剤で固定し、ＭＩケーブル１７，１８
の端末を分配部材２２で区画される空間Ｓ内に密閉して
おり、この空間Ｓから両部材２２，３１にそれぞれ形成
した４つの芯線孔（図では、２つづつの芯線孔２２ａ、
２２ｂおよび３１ａ、３１ｂが見える）を介して２本の
ＭＩケーブル１７，１８のそれぞれの芯線１７ａ、１７
ｂおよび１８ａ、18ｂをカバー１２内に配置される振動
検知部３０へ導出し、それらの先端をベース３２によっ
て片持ち保持されている圧電素子３３，３４に接続して
いる。
部材２２および位置決め部材３１をそれぞれ内部および
端部に耐熱性接着剤で固定し、ＭＩケーブル１７，１８
の端末を分配部材２２で区画される空間Ｓ内に密閉して
おり、この空間Ｓから両部材２２，３１にそれぞれ形成
した４つの芯線孔（図では、２つづつの芯線孔２２ａ、
２２ｂおよび３１ａ、３１ｂが見える）を介して２本の
ＭＩケーブル１７，１８のそれぞれの芯線１７ａ、１７
ｂおよび１８ａ、18ｂをカバー１２内に配置される振動
検知部３０へ導出し、それらの先端をベース３２によっ
て片持ち保持されている圧電素子３３，３４に接続して
いる。
【００１５】図３は振動検知部の分解斜視図であり、振
動検知部３０はベース位置決め部材３１、ベース３２お
よび圧電素子３３，３４を備え、ベース位置決め部材３
１はその中央且つ芯線孔３１ａ〜３１ｄと平行に所定直
径および深さの嵌合穴３１ｅを形成している。
動検知部３０はベース位置決め部材３１、ベース３２お
よび圧電素子３３，３４を備え、ベース位置決め部材３
１はその中央且つ芯線孔３１ａ〜３１ｄと平行に所定直
径および深さの嵌合穴３１ｅを形成している。
【００１６】ベース３２はセラミックで丸棒形状に形成
されるとともに一端の中央に前記嵌合穴３１ｅに差込み
可能な小径部３２ａを突出形成している。このベース３
２はその側面に所定の幅を有する第１の溝３２ｂと、こ
の第１の溝３２ｂの切込み方向と直交する切込み方向を
有するとともに第１の溝３２ｂと略々同一の幅を有する
第２の溝３２ｃがそれぞれ高さ方向に形成されている。
尚、溝３２ｂ、３２ｃは必ずしも直交させなくともよく
端面から見た切込み角度が互いに異なっていればよい。
されるとともに一端の中央に前記嵌合穴３１ｅに差込み
可能な小径部３２ａを突出形成している。このベース３
２はその側面に所定の幅を有する第１の溝３２ｂと、こ
の第１の溝３２ｂの切込み方向と直交する切込み方向を
有するとともに第１の溝３２ｂと略々同一の幅を有する
第２の溝３２ｃがそれぞれ高さ方向に形成されている。
尚、溝３２ｂ、３２ｃは必ずしも直交させなくともよく
端面から見た切込み角度が互いに異なっていればよい。
【００１７】圧電素子３３，３４は曲げ応力に応じた電
圧を発生させる耐熱性を備えた矩形板状のバイモルフ振
動子（厚さは溝の幅より若干薄い）を用い、この実施例
では２枚のバイモルフ振動子を用いる。なお、圧電素子
３３，３４は矩形板状のバイモルフ振動子に限るもので
はなく、例えば矩形板状のユニモルフ型の圧電素子を用
いてもよいことは勿論である。
圧を発生させる耐熱性を備えた矩形板状のバイモルフ振
動子（厚さは溝の幅より若干薄い）を用い、この実施例
では２枚のバイモルフ振動子を用いる。なお、圧電素子
３３，３４は矩形板状のバイモルフ振動子に限るもので
はなく、例えば矩形板状のユニモルフ型の圧電素子を用
いてもよいことは勿論である。
【００１８】図４は上記圧電素子をベースに取付けた状
態を示す斜視図であり、２枚圧電素子（バイモルフ振動
子）３３，３４を、ベース３２側面から第１の溝３２ｂ
および第２の溝３２ｃにそれぞれの一端を嵌め込み、適
宜の冶具を用いてベース３２の長さ（軸）方向と圧電素
子３３，３４の長さ方向を一致させ、その後接着剤を溝
３２ｂ、３２ｃに注入して硬化させて、ベース３２によ
って片持ち保持する。この接着剤としては、無機物から
なる高温用の水溶性接着剤、例えば、スミセラム−Ｓ
（登録商標）を使用することができる。上記の構成を採
用することによって、圧電素子３３，３４をベース３２
に強固に保持することができ、従ってそれぞれの圧電素
子の厚み方向の加速度成分、すなわち２方向の加速度成
分を安定に検出できる。
態を示す斜視図であり、２枚圧電素子（バイモルフ振動
子）３３，３４を、ベース３２側面から第１の溝３２ｂ
および第２の溝３２ｃにそれぞれの一端を嵌め込み、適
宜の冶具を用いてベース３２の長さ（軸）方向と圧電素
子３３，３４の長さ方向を一致させ、その後接着剤を溝
３２ｂ、３２ｃに注入して硬化させて、ベース３２によ
って片持ち保持する。この接着剤としては、無機物から
なる高温用の水溶性接着剤、例えば、スミセラム−Ｓ
（登録商標）を使用することができる。上記の構成を採
用することによって、圧電素子３３，３４をベース３２
に強固に保持することができ、従ってそれぞれの圧電素
子の厚み方向の加速度成分、すなわち２方向の加速度成
分を安定に検出できる。
【００１９】図５は他の実施例に係る圧電素子をベース
に取付けた状態を示す斜視図であり、圧電素子が１枚、
例えば圧電素子３３だけの場合である。この実施例によ
れば、前記実施例と同様に圧電素子３３をベース３２に
強固に保持できるとともにより簡単な構造の振動検知部
を構成できる。
に取付けた状態を示す斜視図であり、圧電素子が１枚、
例えば圧電素子３３だけの場合である。この実施例によ
れば、前記実施例と同様に圧電素子３３をベース３２に
強固に保持できるとともにより簡単な構造の振動検知部
を構成できる。
【００２０】図６はバイモルフ振動子（圧電素子）の拡
大分解斜視図であり、圧電素子３３，３４は、同じ構成
のものであるので、以下に圧電素子３３のみについて説
明する。圧電素子３３は、例えば両面に電極ｅｌｔ１、
ｅｌｔ２およびｅｌｔ３、ｅｌｔ４がそれぞれ形成され
た2枚の圧電セラミック３３ａ、３３ｂを揃えて貼り合
わせて構成され、それぞれの一方の電極ｅｌｔ１および
ｅｌｔ３に芯線１７ａ、１７ｂの先端を蝋付けまたは導
電性接着剤により接続固定している。
大分解斜視図であり、圧電素子３３，３４は、同じ構成
のものであるので、以下に圧電素子３３のみについて説
明する。圧電素子３３は、例えば両面に電極ｅｌｔ１、
ｅｌｔ２およびｅｌｔ３、ｅｌｔ４がそれぞれ形成され
た2枚の圧電セラミック３３ａ、３３ｂを揃えて貼り合
わせて構成され、それぞれの一方の電極ｅｌｔ１および
ｅｌｔ３に芯線１７ａ、１７ｂの先端を蝋付けまたは導
電性接着剤により接続固定している。
【００２１】そして、この圧電素子３３は、電極ｅｌｔ
１、ｅｌｔ２およびｅｌｔ３、ｅｌｔ４に対して垂直な
方向から応力が印加されて屈曲すると上下にある圧電セ
ラミック３３ａ、３３ｂが圧縮もしくは引っ張り応力を
受けて印加応力と比例する電圧を発生する。
１、ｅｌｔ２およびｅｌｔ３、ｅｌｔ４に対して垂直な
方向から応力が印加されて屈曲すると上下にある圧電セ
ラミック３３ａ、３３ｂが圧縮もしくは引っ張り応力を
受けて印加応力と比例する電圧を発生する。
【００２２】３５は導電性部材からなる断面コ字状の折
曲片であり、この折曲片３５を2枚の圧電セラミック３
３ａ、３３ｂの自由端に嵌め込み、導電性接着剤で接着
固定し、電極ｅｌｔ１と電極ｅｌｔ４間に電路を形成す
る（従来はリード線等により電路を形成していた）と共
に、重錘の機能を果たす。したがってこの構成はバイモ
ルフ振動子の厚み方向の両端面の電極ｅｌｔ１、ｅｌｔ
４を短絡する電路部材と、重錘を兼用することができ、
別途電路部材を必要としないという利点を有する。
曲片であり、この折曲片３５を2枚の圧電セラミック３
３ａ、３３ｂの自由端に嵌め込み、導電性接着剤で接着
固定し、電極ｅｌｔ１と電極ｅｌｔ４間に電路を形成す
る（従来はリード線等により電路を形成していた）と共
に、重錘の機能を果たす。したがってこの構成はバイモ
ルフ振動子の厚み方向の両端面の電極ｅｌｔ１、ｅｌｔ
４を短絡する電路部材と、重錘を兼用することができ、
別途電路部材を必要としないという利点を有する。
【００２３】このように、上記圧電素子３３は自由端に
大型の重錘を配置していないが、これはこの圧電素子３
３が幅に比べて長さが十分長いので、重錘を設けなくと
も所定の感度を得ることができるからであり、より高い
感度を求めるときは折曲片３５を大型化して重錘として
機能するようにすればよい。この際、加速度感度は重錘
の質量に応じて高くなるが、共振点が低くなって測定帯
域が狭くなることを考慮する必要がある。
大型の重錘を配置していないが、これはこの圧電素子３
３が幅に比べて長さが十分長いので、重錘を設けなくと
も所定の感度を得ることができるからであり、より高い
感度を求めるときは折曲片３５を大型化して重錘として
機能するようにすればよい。この際、加速度感度は重錘
の質量に応じて高くなるが、共振点が低くなって測定帯
域が狭くなることを考慮する必要がある。
【００２４】なお、上記実施例においては、高温下で使
用される加速度センサであることを考慮し、各部材を高
温に耐え得る素材から構成したが、常温で使用する加速
度センサに対しては、例えば絶縁材料としてエンジニア
リング・プラスティック材料を使用してもよい。
用される加速度センサであることを考慮し、各部材を高
温に耐え得る素材から構成したが、常温で使用する加速
度センサに対しては、例えば絶縁材料としてエンジニア
リング・プラスティック材料を使用してもよい。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように本発明のバイモルフ
振動子によれば、両面に電極がそれぞれ形成された2枚
の圧電セラミックを揃えて貼り合わせて構成した圧電素
子の自由端に導電性部材からなる断面コ字状の折曲片を
被着することで、バイモルフ振動子の厚み方向の端面を
短絡する電路部材と、重錘を兼用することができ、別途
電路部材を必要とせず、この分製造コストを低減でき
る。
振動子によれば、両面に電極がそれぞれ形成された2枚
の圧電セラミックを揃えて貼り合わせて構成した圧電素
子の自由端に導電性部材からなる断面コ字状の折曲片を
被着することで、バイモルフ振動子の厚み方向の端面を
短絡する電路部材と、重錘を兼用することができ、別途
電路部材を必要とせず、この分製造コストを低減でき
る。
【００２６】また、本発明の圧電形加速度センサは、端
面に嵌合孔を有すると共に端面の芯線孔を介してケーブ
ルの芯線が導出される筒状のケーブル保持部材と、絶縁
材からなり一端に小径部が突出形成されると共に側面に
長さ方向の溝を形成してこの溝に板状圧電素子の一端を
嵌め込んで固定した柱状ベースとで構成されており、板
状圧電素子に芯線を接続すると共に小径部を嵌合孔に差
込んで形成しているので簡単な構造によって矩形板状の
圧電素子の方向精度を損なわせずに強固に保持でき、高
い周波数領域への応用も可能になる。
面に嵌合孔を有すると共に端面の芯線孔を介してケーブ
ルの芯線が導出される筒状のケーブル保持部材と、絶縁
材からなり一端に小径部が突出形成されると共に側面に
長さ方向の溝を形成してこの溝に板状圧電素子の一端を
嵌め込んで固定した柱状ベースとで構成されており、板
状圧電素子に芯線を接続すると共に小径部を嵌合孔に差
込んで形成しているので簡単な構造によって矩形板状の
圧電素子の方向精度を損なわせずに強固に保持でき、高
い周波数領域への応用も可能になる。
【００２７】また、本発明の圧電形加速度センサは、端
面に嵌合孔を有すると共に端面の芯線孔を介してケーブ
ルの芯線が導出される筒状のケーブル保持部材と、絶縁
材からなり一端に小径部が突出形成されると共に軸方向
に沿い且つ端面から見た切り込み角度が互いに異なる溝
を２本形成し、この２本の溝のそれぞれに板状圧電素子
の一端を嵌め込んで固定した柱状ベースとで構成されて
おり、板状圧電素子に芯線を接続すると共に小径部を嵌
合孔に差込んで形成しているので２枚の圧電素子の厚み
方向の加速度成分、すなわち２方向の加速度成分を高い
周波数領域においても安定に検出できる。
面に嵌合孔を有すると共に端面の芯線孔を介してケーブ
ルの芯線が導出される筒状のケーブル保持部材と、絶縁
材からなり一端に小径部が突出形成されると共に軸方向
に沿い且つ端面から見た切り込み角度が互いに異なる溝
を２本形成し、この２本の溝のそれぞれに板状圧電素子
の一端を嵌め込んで固定した柱状ベースとで構成されて
おり、板状圧電素子に芯線を接続すると共に小径部を嵌
合孔に差込んで形成しているので２枚の圧電素子の厚み
方向の加速度成分、すなわち２方向の加速度成分を高い
周波数領域においても安定に検出できる。
【図１】本発明に係る加速度センサの外観を示す斜視図
【図２】本発明に係る加速度センサの断面図
【図３】振動検知部の分解斜視図
【図４】圧電素子をベースに取付けた状態を示す斜視図
【図５】他の実施例に係る圧電素子をベースに取付けた
状態を示す斜視図
状態を示す斜視図
【図６】バイモルフ振動子の拡大分解斜視図
1…加速度センサ、１０…加速度センサ本体、１１…ケ
ーブル保持部材、１２、１３…カバー、１４、１５…ガ
イド部、１７、１８…ＭＩケーブル、１９…蝋付け、２
２…分配部材、３０…振動検知部、３１…位置決め部
材、３２…ベース、３２ｂ、３２ｃ…溝、３３，３４…
圧電素子、５０…プロテクトチューブ。
ーブル保持部材、１２、１３…カバー、１４、１５…ガ
イド部、１７、１８…ＭＩケーブル、１９…蝋付け、２
２…分配部材、３０…振動検知部、３１…位置決め部
材、３２…ベース、３２ｂ、３２ｃ…溝、３３，３４…
圧電素子、５０…プロテクトチューブ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01P 15/08 - 15/09 H01L 29/84 H01L 41/08
Claims (5)
- 【請求項１】 両面に電極がそれぞれ形成された2枚
の圧電セラミックを揃えて貼り合わせて構成した圧電素
子の自由端に導電性部材からなる断面コ字状の折曲片を
嵌め込んで、前記圧電素子の厚み方向の両端面に電路を
形成したことを特徴とするバイモルフ振動子。 - 【請求項２】 片持ち保持された板状圧電素子に曲げ
応力を加え、この曲げ応力に応じた電圧を発生させる圧
電形加速度センサにおいて、この圧電形加速度センサは
端面に嵌合孔を有すると共に前記端面の芯線孔を介して
ケーブルの芯線が導出される筒状のケーブル保持部材
と、絶縁材からなり一端に小径部が突出形成されると共
に側面に長さ方向の溝を形成してこの溝に前記板状圧電
素子の一端を嵌め込んで固定した柱状ベースとで構成さ
れ、前記板状圧電素子に前記芯線を接続すると共に前記
小径部を前記嵌合孔に差込んで形成したことを特徴とす
る圧電形加速度センサ。 - 【請求項３】 片持ち保持された板状圧電素子に曲げ応
力を加え、この曲げ応力に応じた電圧を発生させる圧電
形加速度センサにおいて、この圧電形加速度センサは端
面に嵌合孔を有すると共に前記端面の芯線孔を介してケ
ーブルの芯線が導出される筒状のケーブル保持部材と、
絶縁材からなり一端に小径部が突出形成されると共に軸
方向に沿い且つ端面から見た切り込み角度が互いに異な
る溝を２本形成し、この２本の溝のそれぞれに前記板状
圧電素子の一端を嵌め込んで固定した柱状ベースとで構
成され、前記板状圧電素子に前記芯線を接続すると共に
前記小径部を前記嵌合孔に差込んで形成したことを特徴
とする圧電形加速度センサ。 - 【請求項４】 片持ち保持された板状圧電素子に曲げ応
力を加え、この曲げ応力に応じた電圧を発生させる圧電
形加速度センサにおいて、前記板状圧電素子はバイモル
フ振動子であると共に前記圧電形加速度センサは絶縁材
からなる柱状ベースの側面に長さ方向の溝を形成し、こ
の溝に前記板状圧電素子の一端を嵌め込んで固定され、
前記板状圧電素子の他端には導電性部材からなる断面コ
字状の折曲片が固定されてなることを特徴とする圧電形
加速度センサ。 - 【請求項５】 片持ち保持された板状圧電素子に曲げ応
力を加え、この曲げ応力に応じた電圧を発生させる圧電
形加速度センサにおいて、前記板状圧電素子はバイモル
フ振動子であると共に前記圧電形加速度センサは絶縁材
からなる柱状ベースの側面に軸方向に沿い且つ端面から
見た切り込み角度が互いに異なる溝を２本形成し、この
２本の溝のそれぞれに板状圧電素子の一端を嵌め込んで
固定され、前記板状圧電素子の他端には導電性部材から
なる断面コ字状の折曲片が固定されてなることを特徴と
する圧電形加速度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7246280A JP3038692B2 (ja) | 1995-09-25 | 1995-09-25 | バイモルフ振動子及び圧電形加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7246280A JP3038692B2 (ja) | 1995-09-25 | 1995-09-25 | バイモルフ振動子及び圧電形加速度センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0989923A JPH0989923A (ja) | 1997-04-04 |
| JP3038692B2 true JP3038692B2 (ja) | 2000-05-08 |
Family
ID=17146198
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7246280A Expired - Lifetime JP3038692B2 (ja) | 1995-09-25 | 1995-09-25 | バイモルフ振動子及び圧電形加速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3038692B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007096386A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Akita Denshi Systems:Kk | スピーカ |
| JP7515528B2 (ja) * | 2021-03-22 | 2024-07-12 | キストラー ホールディング アクチエンゲゼルシャフト | 圧電トランスデューサ |
-
1995
- 1995-09-25 JP JP7246280A patent/JP3038692B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0989923A (ja) | 1997-04-04 |
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