JP3024643B1 - 結晶断面形状測定方法 - Google Patents
結晶断面形状測定方法Info
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Abstract
高速の場合も、高い精度で結晶の断面形状を測定する。 【解決手段】 CZ法により回転しながら引上げられる
単結晶4の付け根部の結晶中心Oの手前を、2次元CC
Dカメラにより斜め上方から撮像する。2次元CCDカ
メラの画像中に、垂直方向に並列する複数本の水平方向
の測定ラインBo−Bo,Bn−Bn(n=1,・・,
k−1)を設定する。各測定ライン上で、フュージョン
リングAと測定ラインの両側の交点位置を検出する。各
測定ライン上で得られた両側交点の検出位置を組み合わ
せ、カメラの応答速度と結晶回転速度によって決まる測
定ピッチの間を補間する。測定ピッチの間を補間した後
の両側交点の検出位置を、その変動のタイミング差を除
去して比較することにより、各測定ライン上での両側交
点の間隔を求め、単結晶4の断面形状を測定する。
Description
ルスキー法)により単結晶を引上げる際に、その単結晶
の断面形状を光学的に測定する結晶断面形状測定方法に
関する。
法の一つとしてCZ法による引上げがある。CZ法で
は、図7に示されるように、CZ炉の炉体1に設置され
たるつぼ2内に結晶融液3が満たされ、その融液3から
単結晶4が回転装置6により回転させられながら引上装
置5により引上げられる。このとき、ヒータ7による融
液3の加熱を一様にするために、ヒータ7の加熱中心と
液面位置が一定となるように、るつぼ2が上昇制御され
る。
部においては各々目的とする形状に一致させるのが望ま
しく、また直胴部分や種結晶部分においては目標値に等
しい均一直径とすることが望まれる。加えて、単結晶4
の断面形状の真円からのズレを表わす変形率〔(最大径
−最小径)/最小径〕を許容値以下にする必要もある。
の一つである酸化誘起積層欠陥(以下OSFと称す)の
密度を低く抑える必要がある。OSFとは結晶内に固溶
した酸素が結晶の酸化熱処理の際に酸化物として析出す
る現象が原因で起こる積層欠陥のことである。このOS
Fの密度は引上速度を上昇させれば、結晶をその分急冷
させることができるために低く抑えることができる。そ
のため引上速度を上げる必要がある。引上速度の上昇は
生産効率を向上させる点からも有益である。
変形率が増大し許容値を超えるために、歩留りが低下す
る。そのため変形率の許容範囲内で引上げ可能な最適引
上速度を設定することが、単結晶の歩留り向上、生産性
向上、品質確保等の点から必要となる。そこで引上げ中
の単結晶の断面形状を正確に測定し、正確な変形率を算
出することが重要となる。
を測定する方法としては、引上げられた単結晶の重量か
ら直径を算出する方法(以下重量法とする)と、CCD
カメラ等の光学機器を用いて直径を測定する方法(以下
光学法とする)の2つが知られている。
は、図9に示されるように、単結晶4の外周面に晶癖線
と呼ばれる突起4aが周方向に規則的に生じる。この突
起4aは結晶軸方向に延び、単結晶4の結晶方位に固有
な周方向位置に生じる。変形率を算出するには結晶断面
形状のうち特に晶癖線部分の形状を正確に測定する必要
がある。
の重量と長さとから結晶直径を算出する関係から、平均
直径しか測定できず、晶癖線部分の形状を含む詳細な断
面形状は測定できない。その点、光学法は、融液と単結
晶の界面に生じる輝度の高いフュージョンリングの直径
を測定して結晶直径とするために、重量法より精度の高
い形状測定が可能である。
炉体1の上部に設けた窓9を通して単結晶4の付け根部
が、光学機器である例えば1次元CCDカメラ8により
斜め上方から撮像(測光)される。そして、図8に示さ
れるように、単結晶4の付け根部の周囲に生じるフュー
ジョンリングAと1次元CCDカメラ8の測定ラインB
−Bとの交点C,Cでの輝度変化から交点C,Cの位置
を検出することにより、その断面形状が測定される。
点C,Cの位置検出を続け、下式により交点C,Cの間
隔W(α)を求めることにより、単結晶4の全周にわた
って単結晶4の直径が測定され、その断面形状が求めら
れる。 W(α)=L(α)−R(α) L(α),R(α):交点C,Cの検出位置 α:単結晶の回転角
インB−Bが結晶中心Oを通るように1次元CCDカメ
ラ8を設置すると、結晶直径が減少したときにフュージ
ョンリングAが単結晶4の陰となり、測定誤差を生じた
り、場合によっては直径測定が不可能になることがあ
る。
付け根部の結晶中心Oのカメラ側(手前側)が、1次元
CCDカメラ8により撮像(測光)される。これによ
り、測定ラインB−Bは結晶中心Oのカメラ側(手前
側)でフュージョンリングAと交差する。この場合、1
次元CCDカメラ8により測定された交点C,Cの間隔
Wから、結晶直径が次式により算出される。 D=(W2 +4r2 )1/2 D:結晶直径 W:交点C,Cの間隔 r:結晶中心Oから測定ラインB−Bまでの距離
定ラインB−Bを結晶中心Oよりカメラ側(手前側)に
設定した場合、結晶中心Oを挟んで対象位置にある2つ
の晶癖線4a,4aは測定ラインB−Bを同時に通過せ
ず、一方の通過の後に他方が通過する。そのため、交点
C,Cの検出位置L(α),R(α)の差から交点C,
Cの間隔Wを求める従来の光学法では、晶癖線4aの付
近で直径測定精度が著しく低下する。
は、正確な液面位置検出方法が実用化されていないため
に、液面位置に誤差が生じる。その結果、1次元CCD
カメラ8の測定ラインB−Bが初期の設定位置からず
れ、結晶中心Oから測定ラインB−Bまでの距離aが変
動する。そのため測定された直径Dに誤差が含まれる。
CDカメラ8の測定ラインB−Bをそのラインと直角な
方向に移動させ、移動の前後に測定した結晶直径と測定
ラインB−Bの移動距離とから真の直径値を求める方法
が、特開昭63−256594号により提案されてい
る。しかし、この方法によっても測定ラインが結晶中心
から離れていることによって生じる晶癖線付近での直径
測定精度の低下は避けられない。
は、フュージョンリングAと測定ラインB−Bの交点位
置を両側で独立に検出し、両側交点の検出位置L
(α),R(α)から、カメラの測定ラインの位置によ
り決定される両側交点の位置変動のタイミング差θを求
め、そのタイミング差θを取り除いて両方の検出位置L
(α),R(α)を比較することにより、測定ラインB
−Bが結晶中心Oから離れていることに起因して生じる
晶癖線付近での直径測定精度の低下を防ぐ結晶直径測定
方法を先に開発した(特開平9−100194号公
報)。
は、前述した通りその結晶方位に固有な外面周方向位置
に晶癖線を生じる。例えば結晶方位が(100)の場合
は90°おきに晶癖線が生じる。引上げ中の単結晶は周
方向に回転していることから、1次元CCDカメラの測
定ラインB−Bを晶癖線が横切るときに、フュージョン
リングAと測光ラインB−Bの交点位置が変動する。
(100)の場合は90°おきに交点位置が変動する。
は、この交点位置変動が両側の検出位置で同時に生じる
が、測光ラインB−Bが結晶中心Oから離れると、両側
の交点位置変動の発生タイミングにズレが生じる。そし
て、このタイミング差θは結晶中心Oから測定ラインB
−Bまでの距離rが長くなるに従って大となる。
(特開平9−100194号公報)によると、両側交点
の検出位置L(α),R(α)から両側交点の位置変動
のタイミング差θを求め、このタイミング差θを取り除
いて、両側交点の検出位置L(α),R(α)を比較す
ることにより、測定ラインB−Bが結晶中心Oから離れ
ていることに起因して生じる晶癖線付近での直径測定精
度の低下が防止される。
心Oから離れていることに起因して生じる晶癖線付近で
の直径測定精度の低下だけでなく、単結晶の揺れに起因
する直径測定精度の低下も合わせて防止できる結晶直径
測定方法を別に開発した(特願平9−40151号)。
引上げ中の単結晶が1回転する間に1〜4の周期で揺れ
る。光学機器から見て単結晶が左右に揺れる場合は、両
側交点の検出位置L(α),R(α)の差をとることに
より、揺れの影響が排除されるので、問題を生じない
が、単結晶が前後に揺れる場合は、測定ラインB−Bか
ら結晶中心Oまでの距離が変化することにより、直径測
定精度が低下する。実際の引上げでの単結晶の揺れは複
雑であり、両側交点の位置変動のタイミング差θを取り
除いて両側交点の検出位置L(α),R(α)を比較す
る場合にあっても、この揺れは直径測定精度を低下させ
る大きな要因となる。
径測定方法(特願平9−40151号)によると、両側
交点の検出位置データから単結晶の揺れによる成分を取
り除くことにより、晶癖線による両側交点位置変動のタ
イミング差による測定誤差だけでなく、単結晶の揺れに
よる影響も排除されるので、結晶直径が更に高精度に測
定される。両側交点の検出位置データから単結晶の揺れ
による成分を取り除く方法としては、両側交点の検出位
置データに対して高速フーリエ変換(FFT:Fast
Fourier Transform)を実施して、
それぞれの周波数成分を求め、求めた周波数成分のなか
から単結晶の揺れの周期に対応する低次の周波数成分を
除去する方法が有効である。
径測定方法においては、両側の交点位置を検出する光学
機器の応答速度が重要となる。即ち、これまでの結晶断
面形状の解析結果から、結晶晶癖線部分の形状を正確に
測定するには、測定ピッチが単結晶の回転角度で2°以
下であることの必要性が判明している。このために、上
記の直径測定方法では、測定ピッチ2°以下での測定が
可能になるように、光学機器の応答速度を決定すること
が必要となる。
場合、応答速度が比較的高速なものが市販されており、
高速回転の引上げにも対応可能である。しかし、直径測
定を正確に行うには、結晶中心位置を正確に把握して測
定ラインを設定する必要がある。そのために、1次元C
CDカメラでは結晶中心位置変動にあわせてカメラ設定
位置を変更する必要があり、非常に工数がかかる。ま
た、この測定ラインを機械走査で自動設定することも可
能であるが、それには費用が別途必要である。この問題
は2次元CCDカメラを用いることで解決可能である。
常のカメラでは1秒間に30フレームの応答速度が一般
的であるため、高速回転の引上げには高速カメラが必要
となる。しかし、高速カメラは通常のカメラに比べ非常
に高価である。これに加えて、2次元CCDカメラで
は、結晶断面形状の測定精度に影響する水平方向のカメ
ラ画素数も1次元CCDカメラに比べ少ないのが一般的
である。そしてカメラ画素数の多い2次元CCDカメラ
を用いて測定分解能を向上させる場合には、応答速度と
の両立が困難となる。
て、高速回転引上げの場合も測定ピッチ2°以下の直径
測定が可能な方法が望まれている。
用して、高速回転引上げの場合も測定ピッチ2°以下の
直径測定が可能な高精度で経済的な結晶断面形状測定方
法を提供することにある。
に、本発明の結晶断面形状測定方法は、CZ法により結
晶融液から回転しながら引上げられる単結晶の付け根部
の手前を、2次元CCDカメラにより斜め上方から水平
方向及び垂直方向に撮像する工程と、2次元CCDカメ
ラの画像中に、垂直方向に並列する複数本の水平方向の
測定ラインを設定する工程と、各測定ライン上で、フュ
ージョンリングと測定ラインが交差する両側の交点位置
をそれぞれ独立に検出する工程と、各測定ライン上で得
られた複数の両側交点検出位置を組み合わせ、カメラの
応答速度と結晶回転速度で決まる測定ピッチの間を補間
する工程と、測定ピッチ間を補間した後の両側交点の検
出位置を、その変動のタイミング差を除去して比較する
ことにより、各測定ライン上での交点間隔を求め、単結
晶の断面形状を測定する工程とを含んでいる。
速度と結晶回転速度によって決まる測定ピッチよりも細
かいピッチで、両側交点の間隔が測定される。
精度を上げるために、各測定ライン上で得た両側交点の
検出位置データを独立にFFT処理して結晶揺れ成分を
算出し、各測定ラインで得た両側交点の検出位置データ
から差し引くことにより、単結晶の揺れによる影響を除
去することが好ましい。
カメラの画像中に複数本の水平方向の測定ラインを設定
する操作は、2次元CCDカメラの応答速度と結晶回転
速度に応じて自動的に行うことが好ましい。
り工程において2次元CCDカメラ画像中で、水平方向
の測定ラインを垂直方向に走査し、種結晶周囲のフュー
ジョンリングの両側交点間隔が最大となる水平位置での
両側交点の中点を求める操作が簡単で好ましい。
態について説明する。
に示すように、炉体1の上部に設けた窓9を通して単結
晶4の付け根部が2次元CCDカメラ10により斜め上
方から撮像される。具体的には、図2に示すように、単
結晶4の付け根部が水平方向及び垂直方向に撮像され、
単結晶4の周囲に生じるフュージョンリングAは、横長
の撮像領域と両側で交差する。
りであり、CZ炉の炉体1内に設置されたるつぼ2内に
結晶融液3を満たし、その融液3から単結晶4を回転装
置6により回転させながら引上装置5により引上げる。
このとき、ヒータ7による融液3の加熱を一様にするた
めに、ヒータ7の加熱中心と液面位置が一定となるよう
に、るつぼ2を上昇制御する。
回転装置6から出力される単結晶4の回転速度データと
共に演算処理部11に入力される。そして演算処理部1
1は、これらの入力データを用いて、以下の手順により
2次元CCDカメラ10の画像中に複数本の測定ライン
を自動設定し、且つ各測定ラインにおいてフュージョン
リングAと測定ラインとの交点位置を検出し、単結晶4
の断面形状を検出する。
うに、2次元CCDカメラ10の画像中に、垂直方向に
並列する複数本の水平方向の測定ラインBo−Bo,B
n−Bn(n=1,・・,k−1)を設定する。
rがro(mm)の位置に基準測定ラインBo−Boを
設定する。ここで、結晶中心位置はバッチ間でバラツキ
がある。そのため、正確に各測定ラインを設定するため
には結晶中心位置を正確に把握しておく必要があり、こ
こでは結晶引上げ工程のうち種絞り工程時に毎バッチ、
結晶中心位置を自動測定する。その測定方法としては、
2次元CCDカメラ10の画像中に水平方向の測定ライ
ンを1本設定し、その設定ラインを画像の垂直方向に走
査し、種結晶の周囲に現れるフュージョンリングが測定
ライン上に現れた場合に、その両側の交点位置を検出す
る。そして、その両側交点位置の間隔が最大となる測定
ライン上で、両側交点の中点を算出し結晶中心位置とす
る。
れ、その中心Oからの距離rがro(mm)の位置に基
準測定ラインBo−Boが設定されると、この基準測定
ラインBo−BoとフュージョンリングAが交差する交
点の位置を測定する。位置測定される交点をCoとする
と、その測定から測定角度ピッチPだけ回転した後に基
準測定ラインBo−Boと交差し、次回に測定される交
点はC1 となる。ここで測定角度ピッチPは、結晶回転
速度s(rpm)とカメラの応答速度v(s)から数式
1にて算出される。
Bo上での測定しか行っていないために、両側交点の検
出位置L(α),R(α)は、測定角度ピッチPごとに
しか得られない。そのため、測定に用いるカメラの応答
速度が結晶回転速度に比べて遅い場合は、結晶直径の測
定ピッチが2°を超え、晶癖線部分の正確な形状測定が
困難となる。
は、2次元CCDカメラ10の画像中で、Co点とC1
点の間に、測定角度ピッチがp(=P/k)となるよう
にk−1本の補間測定ラインBn−Bn(n=1,・
・,k−1)を設定する。ここにおける測定角度ピッチ
pは2°以下とされる。これにより、カメラの応答速度
と結晶回転速度から決まる測定角度ピッチPが2°を越
える場合も2°以下の測定角度ピッチが確保される。
1,・・,k−1)の結晶断面の中心Oからの距離rn
(mm)は、結晶回転が時計回りで基準測定ラインBo
−Bo上の左側の交点位置を基に補間測定ラインBn−
Bnを決定する場合は数式2にて算出され、結晶回転が
反時計回りで基準測定ラインBo−Bo上の左側の交点
位置を基に補間測定ラインBn−Bnを決定する場合は
数式3にて算出される。なお、Rは結晶の目標半径であ
る。
2 )1/2 ・sin(n・p)
2 )1/2 ・sin(n・p)
の交点位置を基に補間測定ラインBn−Bnを決定する
場合で、結晶回転が時計回りのときは数式3が用いら
れ、結晶回転が反時計回りのときは数式2が用いられ
る。
回転速度s(rpm)とカメラの応答速度v(s)から
数式1にて測定角度ピッチPが算出され、これから得た
測定角度ピッチp(=P/k)を用いて数式2又は数式
3により補間測定ラインBn−Bn(n=1,・・,k
−1)の結晶断面の中心Oからの距離rn(mm)が算
出されることにより、補間測定ラインBn−Bn(n=
1,・・,k−1)が基準測定ラインBo−Boと共に
自動設定される。
インBn−Bn(n=1,・・,k−1)が自動設定さ
れると、各測定ライン上で交点C,Cの位置をそれぞれ
独立に検出する。基準測定ラインBo−Bo上で得られ
る両側交点の検出位置をLo(α),Ro(α)とし、
補間測定ラインBn−Bn(n=1,・・,k−1)上
で得られる両側交点の検出位置をLn(α),Rn
(α)(n=1,・・,k−1)とする。αは結晶回転
角度である。
−Bo上の左側交点の検出位置を基に補間測定ラインB
n−Bn(n=1,・・,k−1)を設定した場合、補
間測定ラインBn−Bn(n=1,・・,k−1)上で
得られる左側交点の検出位置Ln(α)(n=1,・
・,k−1)は、基準測定ラインBo−Bo上での左側
交点の検出位置Lo(α)に比べn×pだけ後で基準測
定ラインBo−Bo上に到達する結晶形状によるもので
ある。一方、補間測定ラインBn−Bn(n=1,・
・,k−1)上で得られる右側交点の検出位置Rn
(α)(n=1,・・,k−1)は、基準測定ラインB
o−Bo上での右側交点の検出位置Ro(α)に比べn
×pだけ前に基準測定ラインBo−Bo上に到達する結
晶形状によるものである。これらの検出位置Ln
(α),Rn(α)(n=1,・・,k−1)は、カメ
ラの応答速度が遅いために見逃されていたデータであ
る。
で、本来なら測定ラインを晶癖線が通過するとき以外
は、両側交点の検出位置は一定のはずであるが、実際は
単結晶の揺れのために、測定ラインを晶癖線が通過する
とき以外にも、両側交点の検出位置は変化する。そし
て、この変化は両側交点の検出位置のタイミング差θと
共に、単結晶の直径測定精度を低下させる大きな原因と
なる。
両側交点の検出位置Lo(α),Ro(α)及びLn
(α),Rn(α)(n=1,・・,k−1)を得た
後、それぞれの検出位置から単結晶の揺れによる成分を
除去する。この方法を、両側交点の検出位置をL
(α),R(α)で代表して以下に説明する。
対して高速フーリエ変換(FFT:Fast Four
ier Transform)を実施し、それぞれの時
間関数で表される周波数成分を求める。検出位置L
(α),R(α)をf(x)で代表し、その周波数成分
を表すと、数式4のようになる。
と、図4中の実線のようになる。なお、図4中の破線
は、単結晶の揺れが実質的に存在しない場合の周波数成
分である。
の周期で揺れている。そこで、単結晶の揺れの周期(1
〜4回)に対応する低次の周波数成分を、単結晶の揺れ
によるものとして除去する。しかし、これらの揺れ成分
を全て除去してしまうと、測定誤差が大きくなる。なぜ
なら、結晶方位(100)の場合、90°おきに4本の
晶癖線が生じるため、4次の周波数成分まで除去する
と、単結晶1回転につき4回含まれる結晶形状による成
分まで除去されてしまうからである。そこで、図5に示
すように、f(x)の3次以下の成分(振幅)は全て単
結晶の揺れの影響として除去するが、4次の成分(振
幅)については単結晶が揺れていないとき或いはその揺
れが非常に小さいときの周波数成分をオフラインで事前
に調査しておき、これと実際の周波数成分との差を単結
晶の揺れによるものとして除去する。つまり、単結晶が
揺れていないとき或いはその揺れが非常に小さいときの
周波数成分を除去対象から除外して残すのである。この
ようにして単結晶の揺れによる周波数成分を除去するこ
とにより、数式5が得られる。
実質的に存在しない場合の周波数成分においても、1〜
3次の項にスペクトルが存在する。(100)方位の単
結晶の場合、1〜3次の項に結晶形状成分は存在しない
ので、この1〜3次の項のスペクトルは振幅が0.2mm
以下の非常に小さい結晶揺れによるものと考えられる。
o(α),Ro(α)及びLn(α),Rn(α)(n
=1,・・,k−1)につき、単結晶の揺れによる成分
を除去した検出位置Lo′(α),Ro′(α)及びL
n′(α),Rn′(α)(n=1,・・,k−1)が
求められる(図5参照)。
の検出位置Lo(α),Ro(α)及びLn(α),R
n(α)(n=1,・・,k−1)は、測定ラインが結
晶中心Oから離れ、且つ結晶中心Oからの距離rがro
及びrnと相違するため、直接比較することができな
い。そこで、数式6を用いて、いずれの検出位置も、結
晶中心Oを通る測定ライン上でのデータに変換する。な
お、cは結晶中心位置である。
o2 〕1/2 Ln″(α)=〔(c−Ln′(α))2 +rn2 〕
1/2 Ro″(α)=〔(Ro′(α)−c)2 +ro2 〕
1/2 Rn″(α)=〔(Rn′(α)−c)2 +rn2 〕
1/2
n″(α)と右側の検出幾位置Ro″(α),Rn″
(α)の時間的なズレから、検出位置変動のタイミング
差θを求める(図5参照)。そして、このタイミング差
θを取り除くため、結晶回転が時計回りの場合は数式7
を用いて各測定ライン上での両側交点の間隔Wo
(α),Wn(α)を求め、結晶回転が反時計回りの場
合は数式8を用いて各測定ライン上での両側交点の間隔
Wo(α),Wn(α)を求める。
(α)及びLn(α),Rn(α)は、結晶中心Oを通
る測定ライン上でのデータに変換されているので、Wo
(α)及びWn(α)は結晶直径値である。
か直径測定が行われていないにもかかわらず、p(=P
/k)の測定ピッチで直径測定が行われる。これによ
り、応答速度の遅い安価な2次元CCDカメラを用いる
場合にも、晶癖線部分の正確な断面形状の測定が可能と
なる。
晶断面形状を本発明方法と従来方法について示したグラ
フである。使用した2次元CCDカメラは、結晶回転角
度4°に1回の撮像が可能である。従来方法の場合は、
晶癖線部分の形状に対して測定角度ピッチが大きいた
め、晶癖線部分のピークを見逃し、正確な断面形状の測
定は困難である。これに対し、本発明方法の場合は、速
度角度ピッチが1°となるように3本の補間測定ライン
を設定したことにより、実質的な連続測定が可能とな
り、安価なカメラを使用するにもかかわらず、正確な断
面形状の測定が可能となる。
形状測定方法は、2次元CCDカメラの画像中に、垂直
方向に並列する複数本の水平方向の測定ラインを設定
し、カメラの応答速度と結晶回転速度で決まる測定ピッ
チの間を補間することにより、安価な通常の2次元CC
Dカメラを使用して、高速回転引上げの場合も測定ピッ
チ2°以下の直径測定が可能である。従って、単結晶の
断面形状を高精度に且つ経済的に測定することかでき
る。
タイミング差による測定誤差を排除するだけでなく、単
結晶の揺れによる影響を排除することにより、更に高精
度な断面形状の測定を可能にする。
に使用される引上げ装置の構成図である。
である。
念図である。
である。
を除去した場合と除去しない場合について示すグラフで
ある。
法について示したグラフである。
る。
面図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 CZ法により結晶融液から回転しながら
引上げられる単結晶の付け根部の手前を、2次元CCD
カメラにより斜め上方から水平方向及び垂直方向に撮像
する工程と、 2次元CCDカメラの画像中に、垂直方向に並列する複
数本の水平方向の測定ラインを設定する工程と、 各測定ライン上で、フュージョンリングと測定ラインが
交差する両側の交点位置をそれぞれ独立に検出する工程
と、 各測定ライン上で得られた複数の両側交点検出位置を組
み合わせ、カメラの応答速度と結晶回転速度で決まる測
定ピッチの間を補間する工程と、 測定ピッチ間を補間した後の両側交点の検出位置を、そ
の変動のタイミング差を除去して比較することにより、
各測定ライン上での交点間隔を求め、単結晶の断面形状
を測定する工程とを含むことを特徴とする結晶断面形状
測定方法。 - 【請求項2】 各測定ライン上で得た両側交点の検出位
置データを独立にFFT処理して結晶揺れ成分を算出
し、各測定ライン上で得た両側交点の検出位置データか
ら差し引くことにより、単結晶の揺れによる影響を除去
することを特徴とする請求項1に記載の結晶断面形状測
定方法。 - 【請求項3】 2次元CCDカメラの応答速度と結晶回
転速度に応じて、2次元CCDカメラの画像中に複数本
の水平方向の測定ラインを自動設定することを特徴とす
る請求項1又は2に記載の結晶断面形状測定方法。 - 【請求項4】 種絞り工程において2次元CCDカメラ
画像中で、水平方向の測定ラインを垂直方向に走査し、
種結晶周囲のフュージョンリングの両側交点間隔が最大
となる水平位置での両側交点の中点を求めることによ
り、結晶中心位置を求めることを特徴とする請求項1、
2又は3に記載の結晶断面形状測定方法。
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