JP3022524B1 - High-rigidity glass ceramic substrate for information magnetic storage media - Google Patents
High-rigidity glass ceramic substrate for information magnetic storage mediaInfo
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Abstract
【要約】
【課題】 高記憶密度化のコンタクトレコーディングに
対応した表面平滑性と、高速回転ドライブに対応できる
高ヤング率・低比重特性を兼ね備えた情報磁気憶媒体用
高剛性ガラスセラミック基板、その製造方法および情報
磁気記憶媒体を提供する。
【解決手段】 ヤング率／比重が３７〜６３の範囲，Ａ
ｌ2Ｏ3＝１０〜２０％未満にあり、その主結晶相は、β
−石英，β−石英固溶体，エンスタタイト，エンスタタ
イト固溶体，フォルステライト，フォルステライト固溶
体の中から選ばれる少なくとも１種以上であることを特
徴とする、情報磁気記憶媒体用高剛性ガラスセラミック
ス基板。A high-rigidity glass-ceramic substrate for an information magnetic storage medium having both surface smoothness corresponding to contact recording with high storage density and high Young's modulus and low specific gravity capable of supporting high-speed rotation drive, and its manufacture. Methods and information storage media are provided. SOLUTION: The Young's modulus / specific gravity is in the range of 37 to 63;
l 2 O 3 = less than 10-20%, and its main crystal phase is β
-A highly rigid glass-ceramic substrate for an information magnetic storage medium, characterized by at least one selected from the group consisting of quartz, β-quartz solid solution, enstatite, enstatite solid solution, forsterite, and forsterite solid solution.
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、情報記憶装置に用
いられる情報磁気記憶媒体用基板、特にランプロード方
式で主に用いられる、ニアコンタクトレコーディングあ
るいはコンタクトレコーディングに対応した、超平滑な
基板表面を有し、しかも高速回転に対応し得る高ヤング
率・低比重特性を有する、磁気ディスク基板等の情報記
憶媒体用ガラスセラミックス基板、およびこの情報磁気
記憶媒体用ガラスセラミックス基板の製造方法、ならび
に情報磁気記憶媒体用ガラスセラミックス基板に成膜プ
ロセスを施し形成される情報磁気記憶媒体に関する。
尚、本明細書において「情報磁気記憶媒体」とは、パー
ソナルコンピュータのいわゆるハードディスクとして使
用されるような、固定型ハードディスク，リムーバル型
ハードディスク，カード型ハードディスクや、データス
トレージやデジタルビデオカメラ・デジタルカメラにお
いて使用可能なディスク状情報磁気記憶媒体を意味す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate for an information magnetic storage medium used for an information storage device, and more particularly, to a super-smooth substrate surface which is mainly used in a ramp load system and which is compatible with near contact recording or contact recording. A glass ceramic substrate for an information storage medium such as a magnetic disk substrate having a high Young's modulus and a low specific gravity capable of coping with high-speed rotation; a method of manufacturing the glass ceramic substrate for an information magnetic storage medium; The present invention relates to an information magnetic storage medium formed by performing a film forming process on a glass ceramic substrate for a storage medium.
In this specification, the term "information magnetic storage medium" refers to a fixed hard disk, a removable hard disk, a card hard disk, a data storage, a digital video camera, or a digital camera, which is used as a so-called hard disk of a personal computer. Means a usable disk-shaped information magnetic storage medium.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、従来の固定型情報磁気記憶装置に
対して、リムーバル方式やカード方式等の情報磁気記憶
装置が検討、実用段階にありデジタルビデオカメラ・デ
ジタルカメラ等の用途展開も始まりつつある。この様な
動向により、パーソナルコンピュータのマルチメディア
化やデジタルビデオカメラ，デジタルカメラ等の普及が
近年急速に進みつつあり、動画や音声等の大きなサイズ
のデータを扱うべく、大容量の情報磁気記憶装置が求め
られている。これに対応するため、情報磁気記憶媒体は
ビットおよびトラック密度を増加させ、ビットセルのサ
イズを縮小化して面記録密度を大きくしなければなら
ず、一方磁気ヘッドはビットセルの縮少化に合わせディ
スク表面により近接して作動する、ニアコンタクトレコ
ーディング、更にコンタクトレコーディング方式を採用
する方向へ進みつつある。2. Description of the Related Art In recent years, a magnetic information storage device of a removable type or a card type has been studied with respect to a conventional fixed type information magnetic storage device. is there. Due to such trends, the use of multimedia in personal computers and the spread of digital video cameras, digital cameras, and the like have been rapidly progressing in recent years. Is required. To cope with this, information magnetic storage media must increase the bit and track densities and reduce the size of bit cells to increase the areal recording density, while the magnetic head must be mounted on the disk surface in accordance with the shrinking bit cells. It is moving toward the use of near-contact recording, which operates in closer proximity, and further employs a contact recording method.
【０００３】ところで、従来磁気ディスク用基板材とし
て、アルミニウム合金が広く用いられているが、アルミ
ニウム合金基板では、種々の材料欠陥の影響により、研
磨工程における基板表面の突起またはスポット状の凹凸
を生じ平坦性、平滑性の点で、前記の高密度磁気記憶媒
体用基板として十分でなく、またアルミニウム合金は軟
かい材料であるため、ヤング率、表面硬度が低いためド
ライブの高速回転において振動が激しく変形が生じやす
く薄形化に対応することがむずかしいという問題も有し
ている。更にヘッドの接触による変形傷を生じメディア
を損傷させてしまう等、今日の高密度記録化に十分対応
できない。Conventionally, an aluminum alloy has been widely used as a substrate material for a magnetic disk. In the case of an aluminum alloy substrate, projections or spot-like irregularities on the substrate surface in a polishing step are generated due to various material defects. In terms of flatness and smoothness, it is not sufficient as the substrate for the high-density magnetic storage medium, and since the aluminum alloy is a soft material, the Young's modulus and the surface hardness are low, so that the vibration is severe at high speed rotation of the drive. There is also a problem that deformation tends to occur and it is difficult to cope with thinning. In addition, it cannot sufficiently cope with today's high-density recording.
【０００４】一方、アルミニウム合金基板の問題点を解
消する材料として、化学強化ガラスのアルミノシリケー
トガラス特開平８−４８５３７、特開平５−３２４３１
（ＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−Ｎａ2Ｏ）が知られているが、こ
の場合、（１）研磨は化学強化後に行なわれ、ディスク
の薄板化における強化層の不安定要素が高い。また強化
相は、長期の使用において経時変化を発生し、磁気特性
を悪化させてしまう。（２）ガラス中にＮａ2Ｏ，Ｋ2Ｏ
成分を必須成分として含有するため、成膜特性が悪化
し、Ｎａ2Ｏ，Ｋ2Ｏ溶出防止のための全面バリアコート
処理が必要となり、製品の低コスト安定生産性が難しい
欠点がある。（３）ガラスの機械的強度を向上させるた
めに化学強化を行っているが、基本的に表面相と内部相
の強化応力を利用するものであり、ヤング率は通常のア
モルファスガラスと同等である８３ＧＰａ以下と高速回
転ドライブへの使用に限界がある等、やはり高密度磁気
記憶媒体用基板としての特性は不十分である。On the other hand, as a material for solving the problem of the aluminum alloy substrate, aluminosilicate glass of chemically strengthened glass is disclosed in JP-A-8-48537 and JP-A-5-32431.
(SiO 2 —Al 2 O 3 —Na 2 O) is known, but in this case, (1) polishing is performed after chemical strengthening, and the unstable element of the strengthening layer in thinning the disk is high. Further, the reinforced phase causes a change with time in long-term use, and deteriorates magnetic properties. (2) Na 2 O, K 2 O in glass
Since the component is contained as an essential component, the film-forming property is deteriorated, and a barrier coating treatment on the entire surface is required to prevent Na 2 O and K 2 O from being eluted. (3) Chemical strengthening is performed to improve the mechanical strength of the glass, but basically utilizes the strengthening stress of the surface phase and the internal phase, and the Young's modulus is equivalent to that of ordinary amorphous glass. The characteristics as a substrate for a high-density magnetic storage medium are still inadequate, for example, there is a limit of 83 GPa or less for use in a high-speed rotation drive.
【０００５】更にアルミニウム合金基板や化学強化ガラ
ス基板に対して、いくつかの結晶化ガラスが知られてい
る。例えば、特開平９−３５２３４号公報，ＥＰ０７８
１７３１Ａ１号公報に開示される磁気ディスク用ガラス
セラミックス基板は、Ｌｉ2Ｏ−ＳｉＯ2系組成から成
り、結晶相は二珪酸リチウムとβ−スポジューメン、あ
るいは二珪酸リチウムとβ−クリストバライトを析出さ
せたものであるが、高速回転に対するヤング率と比重の
関係を全く検討しておらず、何の示唆も与えていない。
尚、この系のガラスセラミックスのヤング率は１００Ｇ
Ｐａが限界である。Further, some crystallized glasses are known for aluminum alloy substrates and chemically strengthened glass substrates. For example, JP-A-9-35234, EP078
The glass-ceramic substrate for a magnetic disk disclosed in Japanese Patent No. 1731A1 has a Li 2 O—SiO 2 composition and a crystal phase in which lithium disilicate and β-spodumene or lithium disilicate and β-cristobalite are precipitated. However, they did not consider the relationship between the Young's modulus and the specific gravity for high-speed rotation at all, and did not give any suggestion.
The Young's modulus of this type of glass ceramics is 100 G
Pa is the limit.
【０００６】これらの低ヤング率を改善すべく、特開平
９−７７５３１号公報にはＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−ＭｇＯ
−ＺｎＯ−ＴｉＯ2系結晶化ガラスが開示されている。
この結晶化ガラスは、主結晶相が多量のスピネル結晶
で、副結晶としてＭｇＴｉ2Ｏ5と他複数の結晶を含み、
ヤング率が９３．４〜１６０．１１ＧＰａの結晶化ガラ
スおよびこの結晶化ガラスからなる磁気記憶用剛性ディ
スクを構成する基体であるが、この材料は主結晶相が
（Ｍｇ／Ｚｎ）Ａｌ2Ｏ3および／または（Ｍｎ／Ｚｎ）
2ＴｉＯ4で表されるスピネル結晶（副結晶相においては
他複数の結晶が選択可能）においてＡｌ2Ｏ3を多量に含
むものであり、後述する本発明のようにＡｌ 2Ｏ3の比較
的少ない高ヤング率特性と低比重を兼ね備えた、ガラス
セラミックスとは異なるものである。しかも、この様に
Ａｌ2Ｏ3を多量に含むと、原ガラスの溶融性が低下した
り、耐失透性が悪化する等の問題を生じ、生産上も好ま
しくなく、また、高速回転ドライブに必要なヤング率
（ＧＰａ）／比重の関係や比重の値そのものについても
全く検討されておらず、これらに対する示唆も何ら与え
ていない。特に比重については全て２．８７以上と高い
ものとなっている。したがって、単に硬質な材料を提案
しているにすぎない。しかもこの系の結晶化ガラスは硬
度が高くなり過ぎるため、加工性が悪く量産性に劣ると
いう大きな問題があり、高密度情報磁気記憶媒体用基板
としての改善効果は不十分なものである。[0006] In order to improve these low Young's modulus,
No. 9-77531 discloses SiOTwo-AlTwoOThree-MgO
-ZnO-TiOTwoA system-crystallized glass is disclosed.
This crystallized glass has a large amount of spinel crystal with a large main crystal phase.
And MgTi as a sub-crystalTwoOFiveAnd several other crystals,
Crystallized glass having a Young's modulus of 93.4 to 160.11 GPa
And a rigid disk made of this crystallized glass for magnetic storage.
This material is a substrate that constitutes a mask.
(Mg / Zn) AlTwoOThreeAnd / or (Mn / Zn)
TwoTiOFourSpinel crystal represented by
Other multiple crystals can be selected)TwoOThreeContains a large amount of
As in the present invention described later, Al TwoOThreecomparison
Glass with both low Young's modulus and low specific gravity
It is different from ceramics. And like this
AlTwoOThreeContains a large amount, the melting property of the raw glass decreased
Problems such as deterioration of devitrification resistance and
And the Young's modulus required for high-speed rotating drives
(GPa) / specific gravity and specific gravity value itself
Not considered at all and gave no suggestion for these
Not. In particular, the specific gravities are all higher than 2.87.
It has become something. Therefore, simply propose a hard material
It is just doing. Moreover, the crystallized glass of this system is hard
If the processability is too high and the mass production is poor,
Substrate for high-density information magnetic storage media
The effect of the improvement is insufficient.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、前記
従来技術に見られる諸欠点を解消すべく、前記のような
高記録密度化動向に対応し得る情報磁気記憶媒体用基板
として、溶融性，耐失透性および加工性に優れ、高記憶
密度のコンタクトレコーディング化に対応した基板表面
の平滑性に優れると同時に、高速回転ドライブに対応し
た高ヤング率・低比重特性を兼ね備えた情報磁気記憶媒
体用ガラスセラミックス基板、およびその製造方法なら
びにこのガラスセラミック基板上に磁気媒体の被膜を形
成してなる情報磁気記憶媒体を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a substrate for an information magnetic storage medium which can cope with the trend toward higher recording densities as described above in order to solve the above-mentioned drawbacks of the prior art. Magnetism that has excellent properties, devitrification resistance and workability, has excellent substrate surface smoothness for high recording density contact recording, and has high Young's modulus and low specific gravity characteristics for high-speed rotation drives. It is an object of the present invention to provide a glass ceramic substrate for a storage medium, a method for manufacturing the same, and an information magnetic storage medium in which a coating of a magnetic medium is formed on the glass ceramic substrate.
【０００８】[0008]
【課題を解消するための手段】本発明者は、上記目的を
達成するために鋭意試験研究を重ねた結果、高速回転ド
ライブに対応するためには、情報磁気記憶媒体基板は高
速回転時のたわみによるディスク振動を防止すべく、高
剛性、低比重でなけらばならず、このため最適な基板の
ヤング率と比重の比はヤング率（ＧＰａ）／比重＝３７
〜６３であることを発見し、本発明に到達した。また本
発明者は、上記目的を達成するために主結晶相がβ−石
英，β−石英固溶体，エンスタタイト，エンスタタイト
固溶体，フォルステライト，フォルステライト固溶体の
中から選ばれる少なくとも１種以上であることに限定さ
れ、且つ各析出結晶粒子は、いずれも微細な球状粒子形
状であり、原ガラスの溶融性，耐失透性および研磨加工
性に優れ、研磨後の表面もより平滑性に優れ、高速回転
に対応した高ヤング率と低比重を兼ね備えている、情報
磁気記憶媒体用ガラスセラミック基板が得られることを
見い出し、本発明に至った。The inventor of the present invention has conducted intensive tests and researches to achieve the above object. As a result, in order to cope with a high-speed drive, the information magnetic storage medium substrate is bent during high-speed rotation. The rigidity and the specific gravity of the substrate must be high to prevent the disk vibration due to the vibration. Therefore, the optimum ratio of the Young's modulus to the specific gravity of the substrate is: Young's modulus (GPa) / specific gravity = 37
~ 63, and arrived at the present invention. In order to achieve the above object, the present inventor has determined that the main crystal phase is at least one selected from β-quartz, β-quartz solid solution, enstatite, enstatite solid solution, forsterite, and forsterite solid solution. It is particularly limited, and each of the precipitated crystal particles has a fine spherical particle shape, and is excellent in melting property, devitrification resistance and polishing workability of the original glass, and the surface after polishing is more excellent in smoothness, The present inventors have found that a glass ceramic substrate for an information magnetic storage medium having both a high Young's modulus and a low specific gravity corresponding to high-speed rotation can be obtained.
【０００９】すなわち、請求項１に記載の発明は、情報
磁気記憶媒体用高剛性ガラスセラミック基板において、
ヤング率（ＧＰａ）／比重＝３７〜６３の範囲およびＡ
ｌ2Ｏ3＝１０重量％〜２０重量％未満の範囲であり、そ
の主結晶相は、β−石英，β−石英固溶体，エンスタタ
イト，エンスタタイト固溶体，フォルステライト，フォ
ルステライト固溶体の中から選ばれる少なくとも１種以
上であることを特徴とする、情報磁気記憶媒体用高剛性
ガラスセラミックス基板であり、請求項２に記載の発明
は、Ｎａ2Ｏ，Ｋ2Ｏ，ＰｂＯを実質上含有しないことを
特徴とする、請求項１に記載の情報磁気記憶媒体用高剛
性ガラスセラミックス基板であり、請求項３に記載の発
明は、前記ガラスセラミック基板において、各主結晶相
の結晶粒子径が０．０５μm〜０．３０μｍであること
を特徴とする、請求項１または２に記載の情報磁気記憶
媒体用高剛性ガラスセラミックス基板であり、請求項４
に記載の発明は、前記ガラスセラミック基板において、
−５０〜＋７０℃の範囲における熱膨張係数が、３０×
１０-7〜５０×１０-7／℃の範囲であることを特徴とす
る、請求項１〜３のいずれかに記載の情報磁気記憶媒体
用高剛性ガラスセラミックス基板であり、請求項５に記
載の発明は、前記ガラスセラミック基板において、研磨
後の表面の表面粗度Ｒａ（算術平均粗さ）が３〜９Å、
表面最大粗さＲｍａｘが１００Å以下であることを特徴
とする、請求項１〜４のいずれかに記載の情報磁気記憶
媒体用高剛性ガラスセラミックス基板であり、請求項６
に記載の発明は、前記ガラスセラミック基板は酸化物基
準の重量百分率で、 ＳｉＯ2 ４０ 〜６０％ ＭｇＯ １０ 〜２０％ Ａｌ2Ｏ3 １０ 〜２０％未満 Ｐ2Ｏ5 ０．５〜 ２．５％ Ｂ2Ｏ3 １ 〜 ４％ Ｌｉ2Ｏ ０．５〜 ４％ ＣａＯ ０．５〜 ４％ ＺｒＯ2 ０．５〜 ５％ ＴｉＯ2 ２．５〜 ８％ Ｓｂ2Ｏ3 ０．０１〜０．５％ Ａｓ2Ｏ3 ０ 〜 ０．５％ ＳｎＯ2 ０ 〜 ５％ ＭｏＯ3 ０ 〜 ３％ ＣｅＯ ０ 〜 ５％ Ｆｅ2Ｏ3 ０ 〜 ５％ の範囲の各成分を含有する原ガラスを熱処理することに
より得られ、該ガラスセラミックの主結晶相は、β−石
英，β−石英固溶体，エンスタタイト，エンスタタイト
固溶体，フォルステライト，フォルステライト固溶体の
中から選ばれる少なくとも１種以上であることを特徴と
する、請求項１〜５のいずれかに記載の情報磁気記憶媒
体用高剛性ガラスセラミックス基板であり、請求項７に
記載の発明は、前記ガラスセラミックスは、ガラス原料
を溶融、成型および徐冷後、結晶化熱処理条件として核
形成温度が６５０℃〜７５０℃、結晶化温度が７５０℃
〜１０５０℃で熱処理することにより得られことを特徴
とする、請求項６記載の情報磁気記憶媒体用高剛性ガラ
スセラミックス基板の製造方法であり、請求項８に記載
の発明は、請求項１〜７のいずれかに記載の情報磁気記
憶媒体用高剛性ガラスセラミックス基板上に磁気媒体被
膜を形成して成る情報磁気記憶媒体ディスクである。
尚、本明細書において固溶体とは、前記各結晶にその他
の成分が一部、置換および／または侵入したものを指
す。That is, the invention according to claim 1 is a high rigid glass ceramic substrate for an information magnetic storage medium,
Young's modulus (GPa) / specific gravity = range of 37 to 63 and A
l 2 O 3 = 10 wt % to less than 20 wt %, and the main crystal phase is selected from β-quartz, β-quartz solid solution, enstatite, enstatite solid solution, forsterite, and forsterite solid solution. A high-rigidity glass-ceramic substrate for an information magnetic storage medium, characterized in that the substrate is substantially free of Na 2 O, K 2 O and PbO. The high-rigidity glass ceramic substrate for an information magnetic storage medium according to claim 1, wherein the main crystal phase has a crystal grain diameter of 0.1 mm. The high-rigidity glass-ceramic substrate for an information magnetic storage medium according to claim 1, wherein the substrate has a thickness of from 0.05 μm to 0.30 μm.
The invention described in the above, in the glass ceramic substrate,
The coefficient of thermal expansion in the range of −50 to + 70 ° C. is 30 ×
The high-rigidity glass-ceramic substrate for an information magnetic storage medium according to any one of claims 1 to 3, wherein the substrate is in a range of 10 -7 to 50 x 10 -7 / ° C. According to the invention, in the glass ceramic substrate, a surface roughness Ra (arithmetic average roughness) of the polished surface is 3 to 9 °,
The high-rigidity glass ceramic substrate for an information magnetic storage medium according to any one of claims 1 to 4, wherein the maximum surface roughness Rmax is 100 ° or less.
In the invention described in the above, the glass-ceramic substrate may be composed of: SiO 2 40 to 60% MgO 10 to 20% Al 2 O 3 10 to less than 20% P 2 O 5 0.5 to 2.5% by weight on an oxide basis % B 2 O 3 1 ~ 4 % Li 2 O 0.5~ 4% CaO 0.5~ 4% ZrO 2 0.5~ 5% TiO 2 2.5~ 8% Sb 2 O 3 0.01~0 heat treating raw glass containing .5% As 2 O 3 0 ~ 0.5% SnO 2 0 ~ 5% MoO 3 0 ~ 3% CeO 0 ~ 5% Fe 2 O 3 0 ~ 5% of each ingredient in the range The main crystal phase of the glass ceramic is at least one selected from the group consisting of β-quartz, β-quartz solid solution, enstatite, enstatite solid solution, forsterite, and forsterite solid solution. A method according to any one of claims 1 to 5, wherein The high-rigidity glass-ceramic substrate for an information magnetic storage medium according to claim 7, wherein the glass-ceramic is obtained by melting, molding, and gradually cooling a glass raw material, and then setting a nucleation temperature as a crystallization heat treatment condition. 650 ° C-750 ° C, crystallization temperature 750 ° C
The method for producing a high-rigidity glass-ceramic substrate for an information magnetic storage medium according to claim 6, characterized in that the method is obtained by heat-treating at a temperature of from 1050C to 1050C. 7. An information magnetic storage medium disk formed by forming a magnetic medium film on the high rigid glass ceramic substrate for an information magnetic storage medium according to any one of 7.
In the present specification, the term “solid solution” refers to a solid solution in which other components are partially substituted and / or penetrated into each of the crystals.
【００１０】本発明のガラスセラミックの物理的特性，
主結晶相と結晶粒径，表面性状，組成範囲を上記のよう
に限定した理由を以下に示す。尚、組成については、原
ガラスと同様酸化物基準で表示する。The physical properties of the glass ceramic of the present invention,
The reasons for limiting the main crystal phase, crystal grain size, surface properties, and composition range as described above are described below. The composition is indicated on an oxide basis as in the original glass.
【００１１】まずは、ヤング率および比重について述べ
る。前記のように、記録密度およびデータ転送速度を向
上するために、情報磁気記憶媒体基板の高速回転化傾向
が進行しているが、この傾向に対応するには、基板材は
10000rev／分以上の高速回転時のたわみによるディスク
振動を防止すべく、高剛性、低比重でなければならな
い。単に高剛性であっても、比重が大きければ、高速回
転時にその重量が大きいことによってたわみが生じ、振
動を発生する。逆に低比重でも剛性が小さければ、同様
に振動が発生する。したがって、高剛性でありながら、
低比重という一見相反する特性のバランスを取らなけれ
ばならず、その範囲はヤング率（ＧＰａ）／比重＝３７
〜６３であることが判った。好ましい範囲は、ヤング率
（ＧＰａ）／比重＝４０〜６３であり、更に好ましい範
囲はヤング率（ＧＰａ）／比重＝４７〜６３であり、最
も好ましい範囲はヤング率（ＧＰａ）／比重＝５０〜６
３である。尚、剛性についてもより好ましい範囲があ
り、例え低比重であっても前記振動発生問題の点からす
ると、少なくとも１２０ＧＰａ以上が好ましいが、基板
の加工性や比重の増加から勘案して上限は１５０ＧＰａ
以下が好ましい。比重についても同様で、前記振動発生
問題の点からすると、例え高剛性であっても３．５０以
下でないと、その自重により高速回転時に基板の振動が
発生しやすくなり、逆に比重が２．３未満では所望の剛
性を有する基板を実質上得難い。この点を考慮した時の
好ましい比重の範囲は２．５〜３．３である。First, Young's modulus and specific gravity will be described. As described above, in order to improve the recording density and the data transfer speed, the trend of high-speed rotation of the information magnetic storage medium substrate is progressing.
It must have high rigidity and low specific gravity to prevent disk vibration due to deflection at high speed rotation of 10000 rev / min or more. Even if the rigidity is simply high, if the specific gravity is large, the weight is large at the time of high-speed rotation, causing deflection and vibration. Conversely, if the rigidity is small even at a low specific gravity, vibration is similarly generated. Therefore, while having high rigidity,
The seemingly contradictory properties of low specific gravity must be balanced, and the range is Young's modulus (GPa) / specific gravity = 37
６３63. A preferred range is Young's modulus (GPa) / specific gravity = 40 to 63, a more preferred range is Young's modulus (GPa) / specific gravity = 47 to 63, and a most preferred range is Young's modulus (GPa) / specific gravity = 50 to 63. 6
3. Note that there is a more preferable range for the rigidity, and even if the specific gravity is low, at least 120 GPa or more is preferable from the viewpoint of the vibration generation problem.
The following is preferred. The same applies to the specific gravity. From the viewpoint of the above-described vibration generation problem, even if the rigidity is not more than 3.50, the substrate tends to vibrate during high-speed rotation due to its own weight. If it is less than 3, it is substantially difficult to obtain a substrate having a desired rigidity. In consideration of this point, a preferable range of the specific gravity is 2.5 to 3.3.
【００１２】次にＮａ2Ｏ，Ｋ2Ｏ，ＰｂＯ成分について
であるが、磁性膜の高精度化，微細化において、材料中
にＮａ2Ｏ，Ｋ2Ｏ成分を含有すると、基板が高温となる
成膜工程においてこれらのイオンが磁性膜中に拡散（特
に成膜温度の高いバリウムフェライト垂直磁化膜では顕
著である）し、磁性膜粒子の粗大化や配向性が悪化する
ため、これらの成分を実質的に含有しないことが重要で
ある。また環境上好ましくないＰｂＯ成分も含有すべき
ではない。Next, regarding the Na 2 O, K 2 O and PbO components, when the material contains Na 2 O and K 2 O components in improving the precision and miniaturization of the magnetic film, the substrate will be at a high temperature. These ions diffuse into the magnetic film during the film forming process (particularly remarkable in a barium ferrite perpendicular magnetization film having a high film forming temperature), and the coarsening of the magnetic film particles and the deterioration of the orientation deteriorate. Is important. It should also not contain environmentally undesirable PbO components.
【００１３】本発明において主結晶相は、β−石英，β
−石英固溶体，エンスタタイト，エンスタタイト固溶
体，フォルステライト，フォルステライト固溶体の中か
ら選ばれる少なくとも１種以上であることを特徴として
いる。これは上記結晶相が、良好な加工性を有し、剛性
増加にも寄与し、比較的低比重とすることができ、更
に、析出結晶粒径が非常に微細にとすることができると
いう有利な面があるためである。尚、前記各結晶相にお
いて、β−石英，エンスタタイト，フォルステライトの
各結晶相の析出とその割合は、ＭｇＯ，ＳｉＯ2の含有
割合により、またこれら３結晶相とこれら３結晶相の固
溶体相の析出とその割合は、ＭｇＯ，ＳｉＯ 2とその他
の成分の含有割合により決定される。In the present invention, the main crystal phase is β-quartz, β
-Quartz solid solution, enstatite, enstatite solid solution
Body, forsterite, forsterite solid solution?
Characterized by being at least one or more selected from
I have. This is because the above crystal phase has good workability and rigidity
This also contributes to an increase in
In addition, if the crystal grain size can be made very fine
This is because there is an advantageous aspect. Note that each of the crystal phases
Β-quartz, enstatite, forsterite
The precipitation of each crystal phase and its ratio are determined by MgO, SiOTwoContaining
The three crystal phases and the solidification of these three crystal phases
The precipitation of the solution phase and its ratio are determined by MgO, SiO TwoAnd other
Is determined by the content ratio of the component.
【００１４】次に析出結晶粒径と表面粗度についてであ
るが、先に述べたように、記録密度向上のためのニアコ
ンタクトレコーディングやコンタクトレコーディング方
式に対応するには、情報磁気記憶媒体の表面の平滑性が
従来品よりも良好でなければならない。従来レベルの平
滑性で磁気媒体への高密度入出力を行おうとしても、ヘ
ッドと媒体間の距離が大きいため、磁気信号の入出力を
行うことができない。またこの距離を小さくしようとす
ると、媒体の突起とヘッドが衝突し、ヘッド破損や媒体
破損を引き起こしてしまう。この様な理由から、ニアコ
ンタクトレコーディングやコンタクトレコーディング方
式に対応するためには、ディスク用基板表面の平滑性
は、表面粗度（Ｒａ）＝３〜９Å，最大粗さ（Ｒｍａ
ｘ）＝１００Å以下であることが必要である。好ましく
は、表面粗度（Ｒａ）＝３〜７Å，最大粗さ（Ｒｍａ
ｘ）＝９５Å以下であり、更に好ましくは、表面粗度
（Ｒａ）＝３〜６Å，最大粗さ（Ｒｍａｘ）＝９０Å以
下である。Next, regarding the crystal grain size and the surface roughness, as described above, in order to support near-contact recording or contact recording for improving the recording density, the surface of the information magnetic storage medium is required. Must be better than conventional products. Even if an attempt is made to perform high-density input / output to / from a magnetic medium with the same level of smoothness, magnetic signals cannot be input / output due to the large distance between the head and the medium. Also, if the distance is reduced, the projection of the medium collides with the head, causing damage to the head and the medium. For these reasons, in order to cope with the near contact recording or the contact recording method, the smoothness of the disk substrate surface is determined by adjusting the surface roughness (Ra) = 3 to 9 ° and the maximum roughness (Rma).
x) = 100 ° or less. Preferably, the surface roughness (Ra) = 3 to 7 °, and the maximum roughness (Rma)
x) = 95 ° or less, more preferably surface roughness (Ra) = 3 to 6 ° and maximum roughness (Rmax) = 90 ° or less.
【００１５】次にこれら析出結晶の粒子形態と粒径につ
いてであるが，本願のようなガラスセラミックス基板の
ように高剛性で且つ超平滑性（データ領域で３〜９Å）
を有するガラスセラミックス基板を得るためには、その
結晶粒子と形状が重要な因子となる。上記各結晶の結晶
粒径より大きくても小さくても、所望の強度および表面
粗度は得られない。Next, regarding the grain morphology and grain size of these precipitated crystals, they have high rigidity and ultra-smoothness (3 to 9 mm in the data area) like the glass ceramic substrate as in the present application.
In order to obtain a glass-ceramic substrate having the following, crystal grains and shape are important factors. Desired strength and surface roughness cannot be obtained if the crystal grain size is larger or smaller than each of the above crystals.
【００１６】次に熱膨張率についてであるが、ビットお
よびトラック密度を増加させ、ビットセルのサイズを縮
小化するにおいては、媒体と基板の熱膨張係数の差が大
きく影響する。このため、−５０〜＋７０℃の温度範囲
における熱膨張係数は、３０×１０-7〜５０×１０-7／
℃であることが必要である。Next, regarding the coefficient of thermal expansion, in increasing the bit and track densities and reducing the size of the bit cells, the difference in the coefficient of thermal expansion between the medium and the substrate has a great effect. Therefore, the coefficient of thermal expansion in the temperature range of −50 to + 70 ° C. is 30 × 10 −7 to 50 × 10 −7 /
It must be in ° C.
【００１７】次に、組成限定理由について述べる。尚、
組成は全て重量％によるものである。ＳｉＯ2成分は、
原ガラスの熱処理により、主結晶相として析出するβ―
石英，β―石英固溶体，エンスタタイト，エンスタタイ
ト固溶体，フォルステライト，フォルステライト固溶体
結晶を生成する極めて重要な成分であるが、その量が４
０％未満では、得られたガラスセラミックスの析出結晶
が不安定で組織が粗大化しやすく、６０％を超えると原
ガラスの溶融・成型性が困難になる。尚、これら結晶相
を析出するには熱処理条件も重要な因子となるが、より
広い熱処理条件とすることができる、より好ましい範囲
は４８．５〜５８．５％である。Next, the reasons for limiting the composition will be described. still,
All compositions are by weight. The SiO 2 component is
Β- precipitated as a main crystal phase by heat treatment of raw glass
Quartz, β-quartz solid solution, enstatite, enstatite solid solution, forsterite, a very important component for forming forsterite solid solution crystals.
If it is less than 0%, the obtained crystals of the glass ceramics are unstable, and the structure tends to be coarse. If it exceeds 60%, the melting and forming properties of the raw glass become difficult. In order to precipitate these crystal phases, heat treatment conditions are also an important factor, but wider heat treatment conditions can be used. A more preferable range is 48.5 to 58.5%.
【００１８】ＭｇＯ成分は、原ガラスの熱処理により、
主結晶相として析出するβ―石英，β―石英固溶体，エ
ンスタタイト，エンスタタイト固溶体，フォルステライ
ト，フォルステライト固溶体結晶を生成する極めて重要
な成分であるが、その量が１０％未満では、得られたガ
ラスセラミックスの析出結晶が不安定で組織が粗大化し
やすく、かつ溶融性が悪化する。また２０％を超えると
原ガラスの失透性・耐化学性が悪化する。尚、ＳｉＯ2
と同様の理由による、より好ましい範囲は１２〜１８％
である。The MgO component is obtained by heat treatment of the raw glass.
It is a very important component that forms β-quartz, β-quartz solid solution, enstatite, enstatite solid solution, forsterite, and forsterite solid solution crystals that precipitate as the main crystal phase. The precipitated crystals of the glass ceramics are unstable and the structure is likely to be coarse, and the meltability is deteriorated. If it exceeds 20%, the devitrification and chemical resistance of the raw glass deteriorate. In addition, SiO 2
For the same reason as above, a more preferable range is 12 to 18%.
It is.
【００１９】Ａｌ2Ｏ3成分は、原ガラスの熱処理によ
り、主結晶相として析出するβ―石英固溶体結晶を生成
する極めて重要な成分であるが、その量が１０％未満で
は、得られたガラスセラミックスの析出結晶が不安定で
組織が粗大化しやすく、また２０％以上では原ガラスの
溶融性・失透性が著しく悪化する。尚、上記と同様の理
由による、より好ましい範囲は１２〜１８％である。The Al 2 O 3 component is a very important component for producing β-quartz solid solution crystals which precipitate as a main crystal phase by heat treatment of the raw glass. Precipitated crystals of ceramics are unstable and the structure is liable to be coarsened. If it is 20% or more, the melting property and devitrification of the raw glass are significantly deteriorated. The more preferable range is 12 to 18% for the same reason as described above.
【００２０】Ｐ2Ｏ5成分は、ガラスの結晶核形成剤とし
て機能する上に、原ガラスの溶融性、成型時の失透性を
改善するのに効果的であるが、その量が０．５％未満で
は上記効果が得られず、また２．５％を超えると失透性
が悪化する。尚、好ましい範囲は１〜２％である。The P 2 O 5 component not only functions as a crystal nucleating agent for glass, but also is effective in improving the melting property of the raw glass and the devitrification during molding. If it is less than 5%, the above effects cannot be obtained, and if it exceeds 2.5%, the devitrification deteriorates. The preferred range is 1-2%.
【００２１】Ｂ2Ｏ3成分は、原ガラスの溶融成型時の粘
度をコントロールするのに効果的であるが、その量が１
％未満では上記効果が得られず、また４％を超えると原
ガラスの溶融性が悪化しガラスセラミックスの析出結晶
が不安定で組織が粗大化してしまう。尚、好ましい範囲
は１〜３％である。The B 2 O 3 component is effective for controlling the viscosity of the raw glass at the time of melt molding.
If the amount is less than 4%, the above effect cannot be obtained. If the amount exceeds 4%, the melting property of the raw glass deteriorates, the precipitated crystals of the glass ceramic become unstable, and the structure becomes coarse. Note that a preferable range is 1 to 3%.
【００２２】Ｌｉ2Ｏ成分は、原ガラスの熱処理により
主結晶相として析出する、β―石英固溶体結晶を生成す
る上に、原ガラスの溶融性を改善する極めて重要な成分
であるが、その量が０．５％未満では上記効果が得られ
ず、また４％を超えるとガラスセラミックスの析出結晶
が不安定で組織が粗大化してしまう。尚、好ましい範囲
は１〜３％である。The Li 2 O component is a very important component that forms a β-quartz solid solution crystal that precipitates as a main crystal phase by heat treatment of the raw glass and that improves the melting property of the raw glass. If the content is less than 0.5%, the above effect cannot be obtained, and if it exceeds 4%, the precipitated crystals of the glass ceramic are unstable and the structure becomes coarse. Note that a preferable range is 1 to 3%.
【００２３】ＣａＯ成分は、ガラスの溶融性を向上させ
るのと同時に析出結晶の粗大化を防止する成分である
が、その量が０．５％未満では上記効果が得られず、ま
た４％を超えると所望とする結晶が得難くなりガラスセ
ラミックスの結晶が粗大化し耐化学性も悪化する。尚、
好ましい範囲は１〜３％である。The CaO component is a component that improves the meltability of the glass and at the same time prevents coarsening of the precipitated crystals. If the amount is less than 0.5%, the above effects cannot be obtained, and 4% If it exceeds, the desired crystal becomes difficult to obtain, the crystal of the glass ceramic becomes coarse, and the chemical resistance deteriorates. still,
The preferred range is 1-3%.
【００２４】ＺｒＯ2成分およびＴｉＯ2成分は、ガラス
の結晶核形成剤として機能する上に、析出結晶の微細化
と材料の機械的強度向上、および耐化学性の向上に顕著
な効果を有することが見出された極めて重要な成分であ
るが、ＺｒＯ2成分が０．５％、ＴｉＯ2成分が２．５％
未満では上記効果が得られず、またＺｒＯ2成分が５
％、ＴｉＯ2成分が８％を超えると原ガラスの溶融が困
難となるのと同時にＺｒＳｉＯ4等が発生し溶け残りが
生じてしまったり、原ガラスの耐失透性が低下し、これ
によって結晶化工程において結晶粒の異常粒子成長を引
き起こしてしまう。尚、好ましい範囲は、ＴｉＯ2とＺ
ｒＯ2の合計量が９％以下であり、更に好ましい範囲
は、ＺｒＯ2＝１〜４％、ＴｉＯ2＝３〜７．５％、Ｔｉ
Ｏ2とＺｒＯ2の合計量が３〜８％である。The ZrO 2 component and the TiO 2 component not only function as a crystal nucleating agent for glass, but also have a remarkable effect on refinement of precipitated crystals, improvement in mechanical strength of the material, and improvement in chemical resistance. Is a very important component in which ZrO 2 component is 0.5% and TiO 2 component is 2.5%
If the amount is less than 5%, the above effect cannot be obtained and the ZrO 2 component is 5%.
%, The TiO 2 component exceeds 8%, it becomes difficult to melt the raw glass, and at the same time, ZrSiO 4 or the like is generated to cause undissolved residue, or the devitrification resistance of the raw glass is reduced, whereby the crystal is reduced. This causes abnormal grain growth of crystal grains in the forming step. The preferred range is TiO 2 and Z
The total amount of rO 2 is 9% or less, and more preferred ranges are ZrO 2 = 1 to 4%, TiO 2 = 3 to 7.5%, Ti
The total amount of O 2 and ZrO 2 are 3-8%.
【００２５】Ｓｂ2Ｏ3，Ａｓ2Ｏ3成分は、ガラス溶融の
際の清澄剤として添加し得るが、これらの１種または２
種の合計量は２．０％までで十分である。The Sb 2 O 3 and As 2 O 3 components can be added as a fining agent when the glass is melted.
A total amount of seed of up to 2.0% is sufficient.
【００２６】ＳｎＯ2，ＭｏＯ3，ＣｅＯ，Ｆｅ2Ｏ3成分
は、ガラスの着色剤または着色することによる表面欠陥
の検出感度の向上、およびＬＤ励起固体レーザーの吸収
特性を向上させるために各成分の合計で5％まで添加し
得る。ＳｎＯ2成分は５％、ＭｏＯ3成分は３％以内が好
ましい。尚、ＳｎＯ2、ＭｏＯ3成分は、熱処理前のガラ
ス状態では透光性があるが、熱処理結晶化後に着色化す
るという重要な成分である。The components SnO 2 , MoO 3 , CeO and Fe 2 O 3 are used to improve the sensitivity of detecting a surface defect by coloring or coloring glass and to improve the absorption characteristics of an LD-excited solid-state laser. To a total of 5%. The SnO 2 component is preferably 5%, and the MoO 3 component is preferably within 3%. The SnO 2 and MoO 3 components are translucent in a glass state before the heat treatment, but are important components for coloring after heat treatment crystallization.
【００２７】そして本発明の情報磁気記憶媒体用ガラス
セラミック基板を製造するには、上記の組成を有するガ
ラスを溶解し、熱間成形および/または冷間加工を行っ
た後６５０℃〜７５０℃の範囲の温度で１〜１２時間熱
処理して結晶核を形成し、続いて７５０℃〜１０５０℃
の範囲の温度で約１〜１２時間熱処理して結晶化を行
う。In order to manufacture the glass-ceramic substrate for an information magnetic storage medium of the present invention, the glass having the above composition is melted, subjected to hot forming and / or cold working, and then heated to 650 ° C. to 750 ° C. Heat treatment at a temperature in the range of 1 to 12 hours to form crystal nuclei, followed by 750 ° C to 1050 ° C
The crystallization is performed by heat treatment at a temperature in the range of about 1 to 12 hours.
【００２８】[0028]
【発明の実施の形態】次に本発明の好適な実施例につい
て説明する。表１〜表６は本発明の磁気ディスク用ガラ
スセラミック基板の実施組成例（No.１〜１４）および
比較組成例として従来の化学強化ガラスのアルミノシリ
ケートガラス（特開平８−４８５３７号公報）を比較例
１，Ｌｉ2Ｏ−ＳｉＯ2系ガラスセラミックス（特開平９
−３５２３４号公報）を比較例２，ＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3
−ＭｇＯ−ＺｎＯ−ＴｉＯ2系結晶化ガラス（特開平９
−７７５３１号公報）を比較例３として、その組成，核
形成温度，結晶化温度，結晶相，結晶粒子径，ヤング
率，比重，ヤング率（ＧＰａ）／比重，研磨後の表面粗
度（Ｒａ），最大表面粗さ（Ｒｍａｘ），−５０〜＋７
０℃における熱膨張係数を示す。尚、β−石英固溶体は
β−石英ＳＳと表している。尚、組成については全て重
量％で表示したものである。 Next, a preferred embodiment of the present invention will be described. Tables 1 to 6 show practical composition examples (Nos. 1 to 14) of the glass ceramic substrate for a magnetic disk of the present invention and a conventional chemically strengthened aluminosilicate glass (Japanese Patent Laid-Open No. 8-48537) as a comparative composition example. Comparative example 1, Li 2 O-SiO 2 system glass-ceramics (Japanese Patent Laid-Open 9
Comparative Example 2, SiO 2 —Al 2 O 3
-MgO-ZnO-TiO 2 -based crystallized glass (Japanese Unexamined Patent Publication No.
The composition, nucleation temperature, crystallization temperature, crystal phase, crystal particle diameter, Young's modulus, specific gravity, Young's modulus (GPa) / specific gravity, surface roughness after polishing (Ra) ), Maximum surface roughness (Rmax), -50 to +7
The thermal expansion coefficient at 0 ° C. is shown. The β-quartz solid solution is represented as β-quartz SS. All compositions are heavy
It is expressed in% by volume.
【００２９】[0029]
【表１】 [Table 1]
【００３０】[0030]
【表２】 [Table 2]
【００３１】[0031]
【表３】 [Table 3]
【００３２】[0032]
【表４】 [Table 4]
【００３３】[0033]
【表５】 [Table 5]
【００３４】[0034]
【表６】 [Table 6]
【００３５】本発明の上記実施例のガラスは、いずれも
酸化物，炭酸塩，硝酸塩等の原料を混合し、これを通常
の溶解装置を用いて約１３５０〜１４９０℃の温度で溶
解し攪拌均質化した後ディスク状に成形して、冷却しガ
ラス成形体を得た。その後これを６５０〜７５０℃で約
１〜１２時間熱処理して結晶核形成後、７５０〜１０５
０℃で約１〜１２時間熱処理結晶化して、所望のガラス
セラミックを得た。ついで上記ガラスセラミックを平均
粒径５〜３０μｍの砥粒にて約１０分〜６０分ラッピン
グし、その後平均粒径０．５〜２μｍの酸化セリューム
にて約３０分〜６０分間研磨し仕上げた。In each of the glasses of the above embodiments of the present invention, raw materials such as oxides, carbonates, and nitrates are mixed, and the mixture is melted at a temperature of about 1350 to 1490 ° C. using a conventional melting apparatus, and is stirred and homogenized. Then, the mixture was molded into a disk and cooled to obtain a glass molded body. Thereafter, this is heat-treated at 650 to 750 ° C. for about 1 to 12 hours to form crystal nuclei.
Crystallization by heat treatment at 0 ° C. for about 1 to 12 hours gave the desired glass ceramic. Next, the above glass ceramic was wrapped with abrasive grains having an average particle diameter of 5 to 30 μm for about 10 to 60 minutes, and then polished with cerium oxide having an average particle diameter of 0.5 to 2 μm for about 30 to 60 minutes to finish.
【００３６】表１〜６に示されるとおり、本発明と従来
のアルミノシリケート化学強化ガラス，Ｌｉ2Ｏ−Ｓｉ
Ｏ2系ガラスセラミックス，ＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−ＭｇＯ
−ＺｎＯ−ＴｉＯ2系ガラスセラミックスの比較例とで
は、ガラスセラミックスの結晶相が異なり、ヤング率と
比重の関係においても、アルミノシリケート化学強化ガ
ラス，Ｌｉ2Ｏ−ＳｉＯ2系ガラスセラミックスに比較し
高剛性もしくは低比重である。本比較例における、比較
的高剛性・低比重のＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−ＭｇＯ−Ｚｎ
Ｏ−ＴｉＯ2系ガラスセラミックスは、非常に硬質な材
料であるために、表面粗度において所望の値が得られな
かった。これに対し本発明のガラスセラミックスは加工
性に優れ、目的とする平滑性が充分得られ、加えて、結
晶異方性，異物，不純物等の欠陥がなく組織が緻密で均
質・微細であり、種々の薬品や水による洗浄、あるいは
エッチングにも耐え得る化学的耐久性を有するものであ
った。As shown in Tables 1 to 6, the present invention and the conventional aluminosilicate chemically strengthened glass, Li 2 O—Si
O 2 system glass ceramics, SiO 2 -Al 2 O 3 -MgO
The crystal phase of the glass ceramic is different from that of the comparative example of -ZnO-TiO 2 -based glass ceramics, and the relationship between Young's modulus and specific gravity is higher than that of aluminosilicate chemically strengthened glass and Li 2 O-SiO 2 -based glass ceramics. Rigid or low specific gravity. Comparatively high rigidity and low specific gravity SiO 2 —Al 2 O 3 —MgO—Zn in this comparative example
O-TiO 2 glass ceramics are very hard materials, so that a desired value was not obtained in surface roughness. On the other hand, the glass ceramics of the present invention are excellent in workability, sufficiently obtain the desired smoothness, and in addition, have a fine, homogeneous and fine structure without defects such as crystal anisotropy, foreign matter, impurities, etc. It had chemical durability enough to withstand cleaning with various chemicals and water or etching.
【００３７】[0037]
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、上
記従来技術に見られる諸欠点を解消しつつ、溶融性，耐
失透性および加工性に優れ、高記憶密度のコンタクトレ
コーディング化に対応した基板表面の平滑性に優れると
同時に、高速回転ドライブに対応した高ヤング率・低比
重特性に兼ね備えた情報磁気記憶媒体用高剛性ガラスセ
ラミック基板およびその製造方法ならびにこのガラスセ
ラミック基板上に磁気媒体の被膜を形成してなる情報磁
気記憶媒体を提供することができる。As described above, according to the present invention, while eliminating the above-mentioned drawbacks of the prior art, it is possible to obtain a high recording density contact recording with excellent meltability, devitrification resistance and workability. High rigidity glass ceramic substrate for information magnetic storage media, which has both high Young's modulus and low specific gravity characteristics compatible with high-speed rotation drive while having excellent substrate surface smoothness corresponding to An information magnetic storage medium formed by forming a coating of a magnetic medium can be provided.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平11−60205（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−255246（ＪＰ，Ａ) 特開 平11−116267（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C03C 1/00 - 14/00 G11B 5/00 - 11/22 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ) ＷＰＩ／Ｌ（ＱＵＥＳＴＥＬ)────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-11-60205 (JP, A) JP-A-10-255246 (JP, A) JP-A-11-116267 (JP, A) (58) Field (Int. Cl. 7 , DB name) C03C 1/00-14/00 G11B 5/00-11/22 JICST file (JOIS) WPI / L (QUESTEL)
Claims (8)
ック基板において、ヤング率（ＧＰａ）／比重＝３７〜
６３の範囲およびＡｌ2Ｏ3＝１０重量％〜２０重量％未
満の範囲にあり、その主結晶相は、β−石英，β−石英
固溶体，エンスタタイト，エンスタタイト固溶体，フォ
ルステライト，フォルステライト固溶体の中から選ばれ
る少なくとも１種以上であることを特徴とする、情報磁
気記憶媒体用高剛性ガラスセラミックス基板。1. A high rigid glass ceramic substrate for an information magnetic storage medium, wherein Young's modulus (GPa) / specific gravity = 37 to
63 in the range, and Al 2 O 3 = range of less than 10 wt% to 20 wt%, its main crystalline phase, beta-quartz, quartz solid solution beta-, enstatite, enstatite solid solution, forsterite, forsterite solid solution A high-rigidity glass-ceramic substrate for an information magnetic storage medium, which is at least one member selected from the group consisting of:
ないことを特徴とする、請求項１に記載の情報磁気記憶
媒体用高剛性ガラスセラミックス基板。2. The high-rigidity glass-ceramic substrate for an information magnetic storage medium according to claim 1, wherein the substrate is substantially free of Na 2 O, K 2 O, and PbO.
主結晶相の結晶粒子径が０．０５μm〜０．３０μｍで
あることを特徴とする、請求項１または２に記載の情報
磁気記憶媒体用高剛性ガラスセラミックス基板。3. The high rigidity for an information magnetic storage medium according to claim 1, wherein in the glass ceramic substrate, a crystal grain size of each main crystal phase is 0.05 μm to 0.30 μm. Glass ceramic substrate.
５０〜＋７０℃の範囲における熱膨張係数が、３０×１
０-7〜５０×１０-7／℃の範囲であることを特徴とす
る、請求項１〜３のいずれかに記載の情報磁気記憶媒体
用高剛性ガラスセラミックス基板。4. The method according to claim 1, wherein:
The coefficient of thermal expansion in the range of 50 to + 70 ° C. is 30 × 1
The high-rigidity glass-ceramic substrate for an information magnetic storage medium according to any one of claims 1 to 3, wherein the temperature is in the range of 0-7 to 50 x 10-7 / C.
磨後の表面の表面粗度Ｒａ（算術平均粗さ）が３〜９
Å、表面最大粗さＲｍａｘが１００Å以下であることを
特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載の情報磁気
記憶媒体用高剛性ガラスセラミックス基板。5. The surface roughness Ra (arithmetic average roughness) of the polished surface of the glass ceramic substrate is 3 to 9.
The high-rigidity glass-ceramic substrate for an information magnetic storage medium according to any one of claims 1 to 4, wherein the maximum surface roughness Rmax is 100% or less.
の重量百分率で、 ＳｉＯ2 ４０ 〜６０％ ＭｇＯ １０ 〜２０％ Ａｌ2Ｏ3 １０ 〜２０％未満 Ｐ2Ｏ5 ０．５〜 ２．５％ Ｂ2Ｏ3 １ 〜 ４％ Ｌｉ2Ｏ ０．５〜 ４％ ＣａＯ ０．５〜 ４％ ＺｒＯ2 ０．５〜 ５％ ＴｉＯ2 ２．５〜 ８％ Ｓｂ2Ｏ3 ０．０１〜０．５％ Ａｓ2Ｏ3 ０ 〜 ０．５％ ＳｎＯ2 ０ 〜 ５％ ＭｏＯ3 ０ 〜 ３％ ＣｅＯ ０ 〜 ５％ Ｆｅ2Ｏ3 ０ 〜 ５％ の範囲の各成分を含有する原ガラスを熱処理することに
より得られ、該ガラスセラミックの主結晶相は、β−石
英，β−石英固溶体，エンスタタイト，エンスタタイト
固溶体，フォルステライト，フォルステライト固溶体の
中から選ばれる少なくとも１種以上であることを特徴と
する、請求項１〜５のいずれかに記載の情報磁気記憶媒
体用高剛性ガラスセラミックス基板。6. The glass-ceramic substrate has a SiO 2 content of 40-60% MgO 10-20% Al 2 O 3 less than 10-20% P 2 O 5 0.5-2.5% by weight based on oxide. B 2 O 3 1 ~ 4% Li 2 O 0.5~ 4% CaO 0.5~ 4% ZrO 2 0.5~ 5% TiO 2 2.5~ 8% Sb 2 O 3 0.01~0. heat treating the 5% As 2 O 3 0 ~ 0.5% SnO 2 0 ~ 5% MoO 3 0 ~ 3% CeO 0 ~ 5% Fe 2 O 3 0 ~ 5% of the raw glass containing respective components in the range The main crystal phase of the glass ceramic is at least one selected from β-quartz, β-quartz solid solution, enstatite, enstatite solid solution, forsterite, and forsterite solid solution. In any one of claims 1 to 5, High rigidity glass-ceramic substrate for mounting a magnetic information storage medium.
を溶融、成型および徐冷後、結晶化熱処理条件として核
形成温度が６５０℃〜７５０℃、結晶化温度が７５０℃
〜１０５０℃で熱処理することにより得られことを特徴
とする、請求項６に記載の情報磁気記憶媒体用高剛性ガ
ラスセラミックス基板の製造方法。7. The glass ceramic is prepared by melting, molding and slowly cooling a glass raw material, and then, as crystallization heat treatment conditions, a nucleation temperature of 650 ° C. to 750 ° C. and a crystallization temperature of 750 ° C.
The method for producing a highly rigid glass-ceramic substrate for an information magnetic storage medium according to claim 6, wherein the method is obtained by heat-treating at a temperature of from 1050C to 1050C.
気記憶媒体用高剛性ガラスセラミックス基板上に磁気媒
体被膜を形成して成る情報磁気記憶媒体ディスク。8. An information magnetic storage medium disk formed by forming a magnetic medium coating on the high rigid glass ceramic substrate for an information magnetic storage medium according to claim 1.
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