JP7165655B2 - Glass for information recording medium substrate, information recording medium substrate, information recording medium and glass spacer for recording/reproducing device - Google Patents

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Description

本発明は、情報記録媒体基板用ガラス、情報記録媒体基板、情報記録媒体および記録再生装置用ガラススペーサに関する。 The present invention relates to glass for information recording medium substrates, information recording medium substrates, information recording media, and glass spacers for recording/reproducing devices.

ハードディスク等の情報記録媒体用の基板(情報記録媒体基板)としては、従来、アルミニウム合金製の基板(アルミニウム基板)が主に用いられていた。しかし、アルミニウム基板は、剛性は高いものの、変形しやすい、研磨後の基板表面の平滑性が十分ではない等の点が指摘されている。そのため近年、ガラス製の情報記録媒体基板が提案されている(例えば特許文献1参照)。 As substrates for information recording media such as hard disks (information recording medium substrates), substrates made of an aluminum alloy (aluminum substrates) have conventionally been mainly used. However, although the aluminum substrate has high rigidity, it has been pointed out that it is easily deformed, and the smoothness of the surface of the substrate after polishing is not sufficient. Therefore, in recent years, information recording medium substrates made of glass have been proposed (see Patent Document 1, for example).

特開平11-302031号公報JP-A-11-302031

近年、情報記録媒体の薄型化および高密度記録化に伴い、HDD(ハードディスクドライブ)等の記録再生装置内での情報記録媒体の反りおよびたわみを低減することが求められている。例えば、HDDは、磁気ディスクの中央部分をスピンドルモータのスピンドルおよびクランプで押さえて磁気ディスクを回転させる構造となっている。この回転中に磁気ディスクの反りやたわみが発生すると、情報の書き込みまたは読み出しを行う磁気ヘッドが磁気ディスク表面と接触しやすくなる。磁気ヘッドが磁気ディスク表面との接触により衝撃を受けると、ヘッドの損傷(ヘッドクラッシュ)が発生してしまう。反りおよびたわみを低減するためには、情報記録媒体基板用のガラスの剛性が高いこと、具体的にはヤング率が高いことが望ましい。 2. Description of the Related Art In recent years, as information recording media have become thinner and have higher recording densities, there has been a demand for reducing warpage and bending of information recording media in recording/reproducing devices such as HDDs (hard disk drives). For example, an HDD has a structure in which the central portion of a magnetic disk is pressed by a spindle of a spindle motor and a clamp to rotate the magnetic disk. If the magnetic disk warps or bends during this rotation, the magnetic head that writes or reads information tends to come into contact with the surface of the magnetic disk. When the magnetic head is impacted by contact with the surface of the magnetic disk, damage to the head (head crash) occurs. In order to reduce warpage and deflection, it is desirable that the glass for the information recording medium substrate has high rigidity, specifically, a high Young's modulus.

更に、情報記録媒体基板用のガラスは、低比重化することが望ましい。低比重化することにより情報記録媒体基板を軽量化することができるからである。基板の軽量化により、情報記録媒体の軽量化がなされ、例えばHDDにおいては磁気ディスクの回転に要する電力を減少させ、HDDの消費電力を抑えることができる。 Further, it is desirable to reduce the specific gravity of glass for information recording medium substrates. This is because the weight of the information recording medium substrate can be reduced by reducing the specific gravity. By reducing the weight of the substrate, the weight of the information recording medium can be reduced. For example, in an HDD, the power required to rotate the magnetic disk can be reduced, and the power consumption of the HDD can be suppressed.

また、記録再生装置内での情報記録媒体表面上方における磁気ヘッドの浮上高さ(フライングハイト)は、低くするほど高密度記録化に有利である。しかし、情報記録媒体が表面平滑性に劣るものであると、磁気ヘッドが情報記録媒体表面に存在するフライングハイトよりも高い突起と接触して衝撃を受け、ヘッドクラッシュが発生してしまう。したがって、フライングハイトをより低くして更なる高密度記録化を進行させるためには、情報記録媒体の表面平滑性を高めることが望ましく、そのためには情報記録媒体基板の表面平滑性を高めることが望ましい。
一方、情報記録媒体基板の製造工程では、通常、基板に付着した異物を除去するために洗浄処理が行われる。しかし、基板を構成するガラスの化学的耐久性(例えば耐酸性および/または耐水性)が十分優れていないと、洗浄処理により表面粗れが生じてしまい、基板の表面平滑性が低下してしまう。そのため、情報記録媒体基板用のガラスには、優れた化学的耐久性を有することも望まれる。
Further, the lower the flying height of the magnetic head above the surface of the information recording medium in the recording/reproducing apparatus, the more advantageous it is for high-density recording. However, if the information recording medium is inferior in surface smoothness, the magnetic head may come into contact with protrusions on the surface of the information recording medium that are higher than the flying height and receive an impact, resulting in head crash. Therefore, in order to further increase the recording density by lowering the flying height, it is desirable to improve the surface smoothness of the information recording medium. desirable.
On the other hand, in the manufacturing process of information recording medium substrates, a cleaning process is usually performed to remove foreign matter adhering to the substrate. However, if the chemical durability (e.g., acid resistance and/or water resistance) of the glass that constitutes the substrate is not sufficiently excellent, the surface will be roughened by the cleaning treatment, resulting in a decrease in the surface smoothness of the substrate. . Therefore, glass for information recording medium substrates is also desired to have excellent chemical durability.

本発明の一態様は、剛性が高く、比重が低く、かつ化学的耐久性に優れる情報記録媒体基板用ガラスを提供する。 One aspect of the present invention provides a glass for information recording medium substrates that has high rigidity, low specific gravity, and excellent chemical durability.

本発明の一態様は、モル%表示にて、
SiO含有量が55~68%、
含有量が0~5%、
Al含有量が1~14%、
MgO含有量が8~23%、
CaO含有量が1~10%、
LiO含有量が5~18%、
LiO、NaOおよびKOの合計含有量が5~18%、
ZrO、TiO、BaO、SrOおよび希土類酸化物の合計含有量が0~5%、
LiOとMgOとの合計含有量が20~32%、
アルカリ金属酸化物とアルカリ土類金属酸化物との合計含有量に対するLiOとMgOとの合計含有量のモル比{(LiO+MgO)/(アルカリ金属酸化物+アルカリ土類金属酸化物)}が0.60~0.95、
アルカリ金属酸化物の合計含有量に対するSiO含有量のモル比(SiO/アルカリ金属酸化物)が3~13、
であり、
ヤング率が86GPa以上かつ比重が2.75以下の非晶質ガラスである情報記録媒体基板用ガラス、
に関する。
One aspect of the present invention is expressed in mol %,
SiO2 content of 55-68%,
a B 2 O 3 content of 0-5%,
an Al 2 O 3 content of 1-14%,
MgO content is 8-23%,
CaO content of 1 to 10%,
a Li 2 O content of 5 to 18%;
a total content of Li 2 O, Na 2 O and K 2 O of 5 to 18%;
a total content of ZrO 2 , TiO 2 , BaO, SrO and rare earth oxides of 0 to 5%;
a total content of Li 2 O and MgO of 20 to 32%;
Molar ratio of total content of Li 2 O and MgO to total content of alkali metal oxide and alkaline earth metal oxide {(Li 2 O + MgO)/(alkali metal oxide + alkaline earth metal oxide) } is 0.60 to 0.95,
the molar ratio of the SiO 2 content to the total alkali metal oxide content (SiO 2 /alkali metal oxide) is 3 to 13;
and
glass for information recording medium substrates, which is amorphous glass having a Young's modulus of 86 GPa or more and a specific gravity of 2.75 or less;
Regarding.

上記情報記録媒体基板用ガラスは、上記ガラス組成を有することにより、ヤング率が86GPa以上の高い剛性および2.75以下の比重を兼ね備えることができ、かつ優れた化学的耐久性を示すことができる。 By having the above glass composition, the glass for an information recording medium substrate can have both a high rigidity with a Young's modulus of 86 GPa or more and a specific gravity of 2.75 or less, and can exhibit excellent chemical durability. .

本発明の一態様によれば、高剛性および低比重を有し、かつ化学的耐久性に優れる情報記録媒体基板用ガラスを提供することができる。更に、一態様によれば、上記情報記録媒体基板用ガラスからなる情報記録媒体基板、およびこの基板を含む情報記録媒体を提供することができる。更に一態様によれば、記録再生装置用ガラススペーサを提供することができる。 According to one aspect of the present invention, it is possible to provide a glass for information recording medium substrates that has high rigidity, low specific gravity, and excellent chemical durability. Furthermore, according to one aspect, it is possible to provide an information recording medium substrate made of the glass for an information recording medium substrate, and an information recording medium including this substrate. Furthermore, according to one aspect, it is possible to provide a glass spacer for a recording/reproducing device.

[情報記録媒体基板用ガラス]
本発明の一態様は、上記ガラス組成を有し、ヤング率が86GPa以上かつ比重が2.75以下の非晶質ガラスである情報記録媒体基板用ガラス(以下、単に「ガラス」とも記載する。)に関する。
[Glass for information recording medium substrates]
One aspect of the present invention is glass for information recording medium substrates (hereinafter also simply referred to as "glass"), which is an amorphous glass having the above glass composition, a Young's modulus of 86 GPa or more, and a specific gravity of 2.75 or less. ).

上記ガラスは、非晶質ガラスである。非晶質ガラスとは、結晶化ガラスとは異なり、結晶相を含まず、昇温によりガラス転移現象を示すガラスである。また、上記ガラスは、酸化物ガラスであることができる。酸化物ガラスとは、ガラスの主要ネットワーク形成成分が酸化物であるガラスである。 The above glass is amorphous glass. Amorphous glass, unlike crystallized glass, is glass that does not contain a crystalline phase and exhibits a glass transition phenomenon upon heating. Also, the glass may be an oxide glass. Oxide glasses are glasses in which the main network-forming component of the glass is an oxide.

<ガラス組成>
本発明および本明細書では、ガラス組成を、酸化物基準のガラス組成で表示する。ここで「酸化物基準のガラス組成」とは、ガラス原料が熔融時にすべて分解されてガラス中で酸化物として存在するものとして換算することにより得られるガラス組成をいうものとする。また、特記しない限り、ガラス組成はモル基準(モル%、モル比)で表示するものとする。
本発明および本明細書におけるガラス組成は、例えばICP-AES(Inductively Coupled Plasma-Atomic Emission Spectrometry)等の方法により求めることができる。定量分析は、ICP-AESを用い、各元素別に行われる。その後、分析値は酸化物表記に換算される。ICP-AESによる分析値は、例えば、分析値の±5%程度の測定誤差を含んでいることがある。したがって、分析値から換算された酸化物表記の値についても、同様に±5%程度の誤差を含んでいることがある。
また、本発明および本明細書において、構成成分の含有量が0%または含まない(含有しない)もしくは導入しないとは、この構成成分を実質的に含まないことを意味し、この構成成分の含有量が不純物レベル程度以下であることを指す。不純物レベル程度以下とは、例えば、0.01%未満であることを意味する。
<Glass composition>
In the present invention and herein, glass compositions are expressed in terms of oxide-based glass compositions. Here, the term "glass composition based on oxides" refers to a glass composition obtained by conversion assuming that the glass raw materials are all decomposed during melting and exist as oxides in the glass. Further, unless otherwise specified, the glass composition is expressed on a molar basis (mol %, molar ratio).
The glass composition in the present invention and this specification can be determined by a method such as ICP-AES (Inductively Coupled Plasma-Atomic Emission Spectrometry). Quantitative analysis is performed for each element using ICP-AES. The analytical values are then converted to oxide notation. Analytical values by ICP-AES may contain measurement errors of about ±5% of the analytical values, for example. Therefore, the value of oxide notation converted from the analytical value may similarly include an error of about ±5%.
In addition, in the present invention and this specification, the content of a component is 0%, does not contain (does not contain) or does not introduce means that this component is substantially not included, and the content of this component It means that the amount is below the impurity level. About the impurity level or less means, for example, less than 0.01%.

以下に、上記ガラスのガラス組成について説明する。 The glass composition of the glass will be described below.

SiOは、ガラスのネットワーク形成成分であり、ガラス安定性を向上させる働きを有する。また、SiOは、化学的耐久性の向上に寄与する成分である。上記ガラスにおけるSiO含有量は、ヤング率を高める観点から68%以下であり、化学的耐久性を高める観点から55%以上である。SiO含有量は、ヤング率の向上およびガラス安定性の観点から、65%以下であることが好ましく、64%以下であることがより好ましく、63%以下であることが更に好ましく、62%以下であることが一層好ましい。また、SiO含有量は、化学的耐久性の向上の観点から、56%以上であることが好ましく、57%以上であることがより好ましく、58%以上であることが更に好ましく、59%以上であることが一層好ましい。 SiO2 is a network-forming component of glass and has the function of improving glass stability. In addition, SiO2 is a component that contributes to the improvement of chemical durability. The SiO 2 content in the glass is 68% or less from the viewpoint of increasing Young's modulus, and 55% or more from the viewpoint of increasing chemical durability. The SiO2 content is preferably 65% or less, more preferably 64% or less, even more preferably 63% or less, and 62% or less, from the viewpoint of improving Young's modulus and glass stability. is more preferable. In addition, from the viewpoint of improving chemical durability, the SiO 2 content is preferably 56% or more, more preferably 57% or more, even more preferably 58% or more, and 59% or more. is more preferable.

もガラスのネットワーク形成成分であり、ガラスの比重を低下させることに寄与する成分であり、熔融性を向上させる成分でもある。Bは、熔融時に揮発しやすく、ガラス成分比率を不安定にしやすい。また、過剰導入により、化学的耐久性を低下させる傾向がある。以上の点から、上記ガラスにおけるB含有量は、0~5%とする。B含有量は、3%以下であることが好ましく、2%以下であることがより好ましく、1%以下であることが更に好ましく、0.5%以下であることが一層好ましく、0.3%以下であることがより一層好ましい。B 2 O 3 is also a network-forming component of glass, a component that contributes to lowering the specific gravity of glass, and a component that improves meltability. B 2 O 3 tends to volatilize during melting, and tends to destabilize the glass component ratio. In addition, excessive incorporation tends to reduce chemical durability. From the above points, the content of B 2 O 3 in the glass is set to 0 to 5%. The B 2 O 3 content is preferably 3% or less, more preferably 2% or less, even more preferably 1% or less, even more preferably 0.5% or less, and 0 0.3% or less is even more preferable.

Alもガラスのネットワーク形成成分であり、ガラスのヤング率を高める働きおよび化学的耐久性を向上させる働きを有する。ヤング率および化学的耐久性向上の観点から、上記ガラスにおけるAl含有量は、1%以上であり、3%以上であることが好ましく、5%以上であることがより好ましく、6%以上であることが更に好ましく、7%以上であることが一層好ましい。また、ガラスの熔解性および/または安定性の観点から、上記ガラスにおけるAl含有量は、14%以下であり、13%以下であることが好ましく、12%以下であることがより好ましく、11%以下であることが更に好ましい。Al 2 O 3 is also a network-forming component of glass, and has a function of increasing Young's modulus of glass and improving chemical durability. From the viewpoint of improving Young's modulus and chemical durability, the Al 2 O 3 content in the glass is 1% or more, preferably 3% or more, more preferably 5% or more, and 6%. It is more preferably 7% or more, and even more preferably 7% or more. From the viewpoint of the meltability and/or stability of the glass, the Al 2 O 3 content in the glass is 14% or less, preferably 13% or less, more preferably 12% or less. , 11% or less.

アルカリ土類金属酸化物とは、MgO、CaO、SrOおよびBaOからなる群から選ばれる一種以上である。アルカリ土類金属酸化物の中で、MgOは、ガラスのヤング率を高める働き、ならびにガラスの熔融性および/または成形性を良化する働きを有する成分である。上記の働きを良好に得る観点から、上記ガラスはMgOを必須成分として含み、MgO含有量は、8%以上であり、10%以上であることが好ましく、11%以上であることがより好ましく、12%以上であることが更に好ましく、13%以上であることが一層好ましい。また、ガラス安定性の観点から、上記ガラスにおけるMgO含有量は23%以下であり、21%以下であることが好ましく、20%以下であることがより好ましく、19%以下であることが更に好ましく、18%以下であることが一層好ましく、17%以下であることがより一層好ましい。 The alkaline earth metal oxide is one or more selected from the group consisting of MgO, CaO, SrO and BaO. Among alkaline earth metal oxides, MgO is a component that works to increase the Young's modulus of glass and to improve the meltability and/or formability of glass. From the viewpoint of obtaining the above function well, the glass contains MgO as an essential component, and the MgO content is 8% or more, preferably 10% or more, more preferably 11% or more, It is more preferably 12% or more, and even more preferably 13% or more. From the viewpoint of glass stability, the MgO content in the glass is 23% or less, preferably 21% or less, more preferably 20% or less, and even more preferably 19% or less. , is more preferably 18% or less, and even more preferably 17% or less.

CaOも、MgOと同様に、ガラスのヤング率を高める働き、ならびにガラスの熔融性および/または安定性を良化する働きを有する。これらの働きを良好に得る観点から、上記ガラスにおけるCaO含有量は、1%以上であり、2%以上であることが好ましく、3%以上であることがより好ましく、4%以上であることが更に好ましく、5%以上であることが一層好ましい。また、化学的耐久性の向上の観点から、上記ガラスにおけるCaO含有量は、10%以下であり、9%以下であることが好ましく、8%以下であることがより好ましく、7.5%以下であることが更に好ましい。 CaO, like MgO, also has the function of increasing the Young's modulus of the glass and improving the meltability and/or stability of the glass. From the viewpoint of obtaining these functions well, the CaO content in the glass is 1% or more, preferably 2% or more, more preferably 3% or more, and preferably 4% or more. More preferably, it is more preferably 5% or more. Further, from the viewpoint of improving chemical durability, the CaO content in the glass is 10% or less, preferably 9% or less, more preferably 8% or less, and 7.5% or less. is more preferable.

SrOは、ガラスの熔融性、成形性およびガラス安定性を良化する働きを有する。他方、SrOは、比重を大きくし、化学的耐久性の低下を招く成分である。以上の点を考慮し、上記ガラスにおけるSrO含有量は、0~5%であることが好ましい。SrO含有量のより好ましい範囲は、0~3%、更に好ましい範囲は0~2%、一層好ましい範囲は0~1%であり、SrOを含有しないこと、即ちSrOの含有量が0%であることが最も好ましい。 SrO works to improve the meltability, moldability and glass stability of the glass. On the other hand, SrO is a component that increases the specific gravity and lowers the chemical durability. Considering the above points, the SrO content in the glass is preferably 0 to 5%. A more preferable range of SrO content is 0 to 3%, a more preferable range is 0 to 2%, and a more preferable range is 0 to 1%. is most preferred.

BaOも、ガラスの熔融性、成形性およびガラス安定性を良化する働きを有する。他方、BaOは、比重を大きくし、化学的耐久性の低下を招く成分である。以上の点を考慮し、上記ガラスにおけるBaO含有量は、0~5%であることが好ましい。BaO含有量のより好ましい範囲は0~3%、更に好ましい範囲は0~2%、一層好ましい範囲は0~1%であり、BaOを含有しないこと、即ちBaO含有量が0%であることが最も好ましい。 BaO also works to improve the meltability, moldability and glass stability of the glass. On the other hand, BaO is a component that increases the specific gravity and lowers the chemical durability. Considering the above points, the content of BaO in the glass is preferably 0 to 5%. A more preferable range of BaO content is 0 to 3%, a more preferable range is 0 to 2%, and a more preferable range is 0 to 1%. Most preferred.

上記ガラスにおけるアルカリ土類金属酸化物の合計含有量(MgO+CaO+SrO+BaO)は、ガラスのヤング率の向上、ならびに熔融性および/または安定性の観点から、15%以上であることが好ましく、17%以上であることがより好ましく、18%以上であることが更に好ましく、19%以上であることが一層好ましい。また、ガラスの化学的耐久性をより一層向上させる観点から、上記ガラスにおけるアルカリ土類金属酸化物の合計含有量(MgO+CaO+SrO+BaO)は、30%以下であることが好ましく、28%以下であることがより好ましく、26%以下であることが更に好ましく、25%以下であることが一層好ましい。 The total content of alkaline earth metal oxides (MgO + CaO + SrO + BaO) in the glass is preferably 15% or more, and 17% or more, from the viewpoint of improving the Young's modulus of the glass and melting properties and / or stability. It is more preferably 18% or more, even more preferably 19% or more. Further, from the viewpoint of further improving the chemical durability of the glass, the total content of alkaline earth metal oxides (MgO+CaO+SrO+BaO) in the glass is preferably 30% or less, more preferably 28% or less. It is more preferably 26% or less, even more preferably 25% or less.

MgOはガラスのヤング率を高める働きを有し、かつ他のアルカリ土類金属酸化物と比べて比重の増大を抑えることに寄与する成分である。したがって、MgOは、ガラスの高ヤング率化および低比重化のために非常に有用な成分である。そのため、上記ガラスにおいて、アルカリ土類金属酸化物の合計含有量に対するMgOの含有量のモル比{MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)}は、0.5以上であることが好ましい。上記モル比の下限については、0.55以上であることがより好ましく、0.60以上であることが更に好ましく、0.65以上であることが一層好ましい。また、上記モル比の上限については、ガラスの安定化の観点から、0.95以下であることが好ましく、0.90以下であることがより好ましく、0.85以下であることが更に好ましく、0.80以下であることが一層好ましい。 MgO is a component that has the function of increasing the Young's modulus of glass and contributes to suppressing an increase in specific gravity compared to other alkaline earth metal oxides. Therefore, MgO is a very useful component for increasing the Young's modulus and decreasing the specific gravity of glass. Therefore, in the above glass, the molar ratio {MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)} of the content of MgO to the total content of alkaline earth metal oxides is preferably 0.5 or more. The lower limit of the molar ratio is more preferably 0.55 or more, still more preferably 0.60 or more, and even more preferably 0.65 or more. The upper limit of the molar ratio is preferably 0.95 or less, more preferably 0.90 or less, even more preferably 0.85 or less, from the viewpoint of stabilizing the glass. It is more preferably 0.80 or less.

上述のように、MgOとCaOは同様にガラスのヤング率を高める働きを有する。ヤング率の更なる向上の観点から、上記ガラスにおけるMgOとCaOとの合計含有量(MgO+CaO)は、15~35%であることが好ましい。上記合計量の下限については、ヤング率の更なる向上の観点から17%以上であることが好ましく、19%以上であることがより好ましく、20%以上であることが更に好ましい。上記合計量の上限については、ガラスの安定性維持の観点から、30%以下であることが好ましく、26%以下であることがより好ましく、25%以下であることが更に好ましい。 As described above, MgO and CaO similarly act to increase the Young's modulus of glass. From the viewpoint of further improving Young's modulus, the total content of MgO and CaO (MgO+CaO) in the glass is preferably 15 to 35%. From the viewpoint of further improving Young's modulus, the lower limit of the total amount is preferably 17% or more, more preferably 19% or more, and even more preferably 20% or more. From the viewpoint of maintaining the stability of the glass, the upper limit of the total amount is preferably 30% or less, more preferably 26% or less, and even more preferably 25% or less.

MgOは、CaOよりもガラスのヤング率を高める働きが大きい。そのため、上記ガラスにおいて、MgO含有量は、CaO含有量と同量以上とすることが好ましい。また、アルカリ土類金属酸化物は、ガラスに単一成分のみを添加するよりも、複数種添加することで混合アルカリ土類効果が生じ、ガラスの熔融性および/または安定性を向上させることができる。そこで、上記ガラスにおいて、CaO含有量に対するMgO含有量のモル比(MgO/CaO)は、1.0~20.0であることが好ましい。上記モル比の下限については、ヤング率の更なる向上の観点から1.25以上であることが好ましく、1.50以上であることがより好ましく、1.70以上であることが更に好ましい。上記モル比の上限については、ガラスの安定性維持の観点から、10.0以下であることが好ましく、8.0以下であることがより好ましく、6.0以下であることが更に好ましく、5.0以下であることが一層好ましく、4.0以下であることがより一層好ましい。 MgO has a greater effect than CaO in increasing the Young's modulus of glass. Therefore, in the above glass, the MgO content is preferably equal to or greater than the CaO content. In addition, rather than adding only a single component to the glass, alkaline earth metal oxides can produce a mixed alkaline earth effect and improve the meltability and/or stability of the glass by adding a plurality of them. can. Therefore, in the above glass, the molar ratio of MgO content to CaO content (MgO/CaO) is preferably 1.0 to 20.0. From the viewpoint of further improving the Young's modulus, the lower limit of the molar ratio is preferably 1.25 or more, more preferably 1.50 or more, and even more preferably 1.70 or more. From the viewpoint of maintaining the stability of the glass, the upper limit of the molar ratio is preferably 10.0 or less, more preferably 8.0 or less, even more preferably 6.0 or less. It is more preferably 0.0 or less, and even more preferably 4.0 or less.

アルカリ金属酸化物とは、アルカリ金属(Li、Na、K、Rb、Cs、Fr)の酸化物であり、好ましくはLiO、NaOおよびKOからなる群から選ばれる一種以上である。LiOは、アルカリ金属酸化物の中でもガラスの熔融性および成形性を向上させる働きが強く、また、ヤング率を高めて情報記録媒体基板に好適な剛性を付与させるために好適な成分である。LiOは、熱膨張係数を大きくする成分でもある。他方、LiOは、ガラスの粘性を低下させる働きを有するので、過剰に導入すると液相温度における粘性が下がりガラスが不安定になる(失透しやすくなる)傾向がある。また、LiOは、ガラス転移温度を低下させる成分でもある。以上の働きを考慮し、上記ガラスにおけるLiO含有量は、5~18%である。LiO含有量の下限については、6%以上であることが好ましく、7%以上であることがより好ましく、8%以上であることが更に好ましい。また、LiO含有量の上限については、16%以下であることが好ましく、14%以下であることがより好ましく、13%以下であることが更に好ましく、12%以下であることが一層好ましい。Alkali metal oxides are oxides of alkali metals (Li, Na, K, Rb, Cs, Fr), preferably at least one selected from the group consisting of Li 2 O, Na 2 O and K 2 O. be. Among alkali metal oxides, Li 2 O has a strong effect of improving the meltability and formability of glass, and is a suitable component for increasing Young's modulus and imparting suitable rigidity to information recording medium substrates. . Li 2 O is also a component that increases the coefficient of thermal expansion. On the other hand, since Li 2 O has the function of lowering the viscosity of the glass, excessive incorporation tends to lower the viscosity at the liquidus temperature and make the glass unstable (easier to devitrify). Li 2 O is also a component that lowers the glass transition temperature. Considering the above functions, the content of Li 2 O in the glass is 5 to 18%. The lower limit of the Li 2 O content is preferably 6% or more, more preferably 7% or more, and even more preferably 8% or more. The upper limit of the Li 2 O content is preferably 16% or less, more preferably 14% or less, even more preferably 13% or less, and even more preferably 12% or less. .

NaOについて、ガラスのヤング率の向上および化学的耐久性(特に耐酸性)の向上の観点から、上記ガラスにおけるNaO含有量は10%以下であることが好ましい。また、ガラスを基板としたときに基板表面からのアルカリ溶出を抑制する観点からも、上記ガラスにおけるNaO含有量は10%以下であることが好ましい。基板表面からのアルカリ溶出を抑制できることは、基板上に形成される記録層等の膜の物性が基板から溶出し析出したアルカリの影響を受けることを防ぐことができるため好ましい。NaOは、ガラスの熔融性および成形性を向上させ、熱膨張係数を大きくする成分でもある。NaO含有量の好ましい範囲は、0~10%である。NaO含有量の上限については、8%以下であることがより好ましく、6%以下であることが更に好ましく、5%以下であることが一層好ましく、4%以下であることがより一層好ましく、含有しないこと(即ち含有量が0%)も好ましい。Regarding Na 2 O, the content of Na 2 O in the glass is preferably 10% or less from the viewpoint of improving the Young's modulus of the glass and improving the chemical durability (especially acid resistance). Also, from the viewpoint of suppressing alkali elution from the substrate surface when glass is used as a substrate, the content of Na 2 O in the glass is preferably 10% or less. Being able to suppress alkali elution from the substrate surface is preferable because it can prevent physical properties of a film such as a recording layer formed on the substrate from being affected by alkali eluted and deposited from the substrate. Na 2 O is also a component that improves the meltability and moldability of the glass and increases the coefficient of thermal expansion. A preferred range of Na 2 O content is 0-10%. The upper limit of the Na 2 O content is more preferably 8% or less, still more preferably 6% or less, even more preferably 5% or less, and even more preferably 4% or less. , is preferably not contained (that is, the content is 0%).

Oについて、化学的耐久性の更なる向上およびアルカリ溶出抑制の観点から、上記ガラスにおけるKO含有量は5%以下であることが好ましい。KOは、ガラスの熔融性および成形性を向上させる働きを有するとともに熱膨張係数を大きくする成分でもある。上記ガラスにおけるKO含有量は、0~5%であることが好ましく、0~3%であることがより好ましく、0~2%であることが更に好ましく、0~1%であることが一層好ましく、KOを含有しないこと(即ち含有量が0%)が最も好ましい。Regarding K 2 O, the content of K 2 O in the glass is preferably 5% or less from the viewpoint of further improving chemical durability and suppressing alkali elution. K 2 O is a component that works to improve the meltability and formability of the glass and also increases the coefficient of thermal expansion. The K 2 O content in the glass is preferably 0 to 5%, more preferably 0 to 3%, even more preferably 0 to 2%, and 0 to 1%. More preferably, it is most preferably free of K 2 O (that is, the content is 0%).

LiO、NaOおよびKOは、上記のようにガラスの熔融性および成形性を向上させ、熱膨張係数を大きくする成分である。これら成分の働きを良好に得る観点から、上記ガラスにおけるLiO、NaOおよびKOの含有量は、5%以上である。これら成分の働きをより良好に得る観点から、その合計含有量は、6%以上であることが好ましく、7%以上であることがより好ましく、8%以上であることが更に好ましい。一方、ガラスの耐熱性、アルカリ溶出の抑制および化学的耐久性の更なる向上の観点から、上記ガラスにおけるLiO、NaOおよびKOの合計含有量(LiO+NaO+KO)は、18%以下であり、16.5%以下であることが好ましく、15.5%以下であることがより好ましく、15.0%以下であることが更に好ましい。Li 2 O, Na 2 O and K 2 O are components that improve the meltability and formability of the glass and increase the coefficient of thermal expansion as described above. From the viewpoint of obtaining the functions of these components well, the content of Li 2 O, Na 2 O and K 2 O in the glass is 5% or more. From the standpoint of better performance of these components, the total content is preferably 6% or more, more preferably 7% or more, and even more preferably 8% or more. On the other hand, from the viewpoint of further improving the heat resistance, alkali elution suppression and chemical durability of the glass, the total content of Li 2 O, Na 2 O and K 2 O (Li 2 O + Na 2 O + K 2 O ) is 18% or less, preferably 16.5% or less, more preferably 15.5% or less, and even more preferably 15.0% or less.

アルカリ金属酸化物およびアルカリ土類金属酸化物の中で、LiOおよびMgOは、ガラスのヤング率を高めると共にガラスの安定性維持のために有用な成分である。そこで上記ガラスにおいて、LiOとMgOとの合計含有量(LiO+MgO)は、20~32%である。上記合計含有量が32%以下であれば、液相温度の上昇によりガラスの安定性が低下することを抑制することができる。LiOとMgOとの合計含有量(LiO+MgO)の下限は、21%以上であることが好ましく、22%以上であることがより好ましく、22.5%以上であることが更に好ましい。上記合計含有量の上限は、30%以下であることが好ましく、28.5%以下であることがより好ましく、27.5%以下であることが更に好ましい。Among alkali metal oxides and alkaline earth metal oxides, Li 2 O and MgO are components useful for increasing the Young's modulus of glass and maintaining the stability of glass. Therefore, in the above glass, the total content of Li 2 O and MgO (Li 2 O+MgO) is 20 to 32%. If the total content is 32% or less, it is possible to suppress the deterioration of the stability of the glass due to an increase in the liquidus temperature. The lower limit of the total content of Li 2 O and MgO (Li 2 O+MgO) is preferably 21% or more, more preferably 22% or more, and even more preferably 22.5% or more. The upper limit of the total content is preferably 30% or less, more preferably 28.5% or less, and even more preferably 27.5% or less.

また、LiOおよびMgOは、上述のようにアルカリ金属酸化物およびアルカリ土類金属酸化物の中でガラスのヤング率を高めると共にガラスの安定性維持のために有用な成分である。それ故、その作用を効率的に発揮させるために、上記ガラスにおいて、アルカリ金属酸化物とアルカリ土類金属酸化物との合計含有量に対するLiOとMgOとの合計含有量のモル比{(LiO+MgO)/(アルカリ金属酸化物+アルカリ土類金属酸化物)}は、0.60~0.95である。上記モル比の下限は、ガラスのヤング率向上の観点から、0.65以上であることが好ましく、0.70以上であることがより好ましく、0.72以上であることが更に好ましく、0.74以上であることが一層好ましい。上記モル比の上限は、ガラスの熔融性および/または安定性を向上させる観点から、0.90以下であることが好ましく、0.85以下であることがより好ましく、0.82以下であることが更に好ましく、0.80以下であることが一層好ましい。In addition, Li 2 O and MgO are components useful for increasing the Young's modulus of the glass and maintaining the stability of the glass among the alkali metal oxides and alkaline earth metal oxides, as described above. Therefore, in order to efficiently exhibit its action, the molar ratio of the total content of Li 2 O and MgO to the total content of alkali metal oxides and alkaline earth metal oxides {( Li 2 O+MgO)/(alkali metal oxide+alkaline earth metal oxide)} is 0.60 to 0.95. From the viewpoint of improving the Young's modulus of the glass, the lower limit of the molar ratio is preferably 0.65 or more, more preferably 0.70 or more, further preferably 0.72 or more, and further preferably 0.72 or more. 74 or more is more preferable. From the viewpoint of improving the meltability and/or stability of the glass, the upper limit of the molar ratio is preferably 0.90 or less, more preferably 0.85 or less, and 0.82 or less. is more preferable, and 0.80 or less is even more preferable.

アルカリ金属酸化物の合計含有量に対するSiO含有量のモル比(SiO/アルカリ金属酸化物)は、上記ガラスにおいて3~13である。上記モル比の上限は、ヤング率向上およびガラスの熔融性向上の観点から13以下であり、11以下であることが好ましく、10以下であることがより好ましく、9以下であることが更に好ましく、8以下であることが一層好ましい。また、上記モル比の下限は、ガラスの化学的耐久性向上の観点から3以上であり、3.5以上であることが好ましく、4.0以上であることがより好ましく、4.2以上であることが更に好ましく、4.5以上であることが一層好ましい。The molar ratio of the SiO 2 content to the total content of alkali metal oxides (SiO 2 /alkali metal oxides) is 3-13 in the glass. The upper limit of the molar ratio is 13 or less, preferably 11 or less, more preferably 10 or less, and even more preferably 9 or less from the viewpoint of improving the Young's modulus and the meltability of the glass. It is more preferably 8 or less. The lower limit of the molar ratio is 3 or more, preferably 3.5 or more, more preferably 4.0 or more, and 4.2 or more from the viewpoint of improving the chemical durability of the glass. It is more preferably 4.5 or more.

ZnOは、熔融性を向上させると共に化学的耐久性を高める働きを有する。他方、ZnOを過剰導入すると液相温度が上昇してガラスが不安定になりやすい。以上の点を考慮し、上記ガラスにおけるZnO含有量は、0~10%であることが好ましく、0~5%であることがより好ましく、0~3%であることが更に好ましく、0~1%であることが一層好ましく、ZnOを含有しなくても(即ち含有量が0%でも)よい。 ZnO works to improve meltability and chemical durability. On the other hand, if ZnO is excessively introduced, the liquidus temperature rises and the glass tends to become unstable. Considering the above points, the ZnO content in the glass is preferably 0 to 10%, more preferably 0 to 5%, even more preferably 0 to 3%, and 0 to 1%. %, and ZnO may not be contained (that is, the content may be 0%).

ZrOは、化学的耐久性を向上させる働きを有すると共に、ヤング率を高める働きも有する。ただし、過剰導入によりガラスの熔融性が低下して原料の熔けの残りが生じる場合がある。以上の点を考慮し、上記ガラスにおけるZrO含有量は、0~4%であることが好ましく、0~3%であることがより好ましく、0~2%であることが更に好ましく、0~1%であることが一層好ましく、含有しなくても(即ち含有量が0%でも)よい。ZrO 2 has a function of improving chemical durability and also has a function of increasing Young's modulus. However, excessive introduction may lower the meltability of the glass and leave the raw material unmelted. Considering the above points, the ZrO 2 content in the glass is preferably 0 to 4%, more preferably 0 to 3%, even more preferably 0 to 2%, and further preferably 0 to 2%. It is more preferably 1%, and may not be contained (that is, the content may be 0%).

上記のように、SiOとAlは、ガラスのネットワーク形成成分であり化学的耐久性を向上させる働きを有する。また、CaOとZrOは、ヤング率を高める働きをする点で共通する。本発明者らは、AlとZrOとの合計含有量に対するSiOとCaOとの合計含有量のモル比(SiO+CaO)/(Al+ZrO)を適切な範囲内とすることが、上記ガラスの安定性向上に寄与することを見出した。この点から、上記モル比は、5.0~25.0の範囲であることが好ましい。上記モル比の下限は、5.5以上であることがより好ましく、6.0以上であることが更に好ましく、6.5以上であることが一層好ましい。また、上記モル比の上限は、20以下であることがより好ましく、16以下であることが更に好ましく、14以下であることが一層好ましく、12以下であることがより一層好ましい。As described above, SiO 2 and Al 2 O 3 are network-forming components of glass and have a function of improving chemical durability. Also, CaO and ZrO 2 are common in that they work to increase Young's modulus. The present inventors have found that the molar ratio of the total content of SiO 2 and CaO to the total content of Al 2 O 3 and ZrO 2 (SiO 2 + CaO) / (Al 2 O 3 + ZrO 2 ) within an appropriate range It has been found that this contributes to improving the stability of the glass. From this point of view, the molar ratio is preferably in the range of 5.0 to 25.0. The lower limit of the molar ratio is more preferably 5.5 or more, still more preferably 6.0 or more, and even more preferably 6.5 or more. The upper limit of the molar ratio is more preferably 20 or less, still more preferably 16 or less, still more preferably 14 or less, and even more preferably 12 or less.

ところで、HDDにおいて外部からの振動によって情報記録媒体(磁気ディスク)自体が振動する現象は、フラッタリングと呼ばれる。このフラッタリングは、磁気ヘッドと情報記録媒体表面とが衝突してヘッドクラッシュが発生する原因となってしまう。外部から振動が加わってフラッタリングが発生しても情報記録媒体自体の振動が早期に収まれば、ヘッドクラッシュの発生を抑制することができる。この点に関して、ガラスに関してフラッタリング特性と呼ばれる指標が知られている。フラッタリング特性dは、値が小さいほどフラッタリングが早期に収まることを意味する。フラッタリング特性dは、基板を構成するガラスのヤング率E、密度ρおよび横振動内部摩擦ξ(以下、単に「内部摩擦」という。)から、d=(ρ/E)×(1/ξ)により算出される。したがって、フラッタリング特性を小さくするためには、内部摩擦ξが大きいこと、すなわち、振動吸収によるエネルギーの減少が大きいことが望ましい。この点に関して、上記ガラスにおいて、LiOおよびNaOの合計含有量に対するAl含有量のモル比{Al/(LiO+NaO)}が0.25~1.25の範囲であることは、内部摩擦を大きくしてフラッタリング特性を小さくすることにより、フラッタリングによるヘッドクラッシュの発生を抑制するうえで好ましい。上記モル比は、フラッタリング特性を小さくする観点から、0.4以上であることが好ましく、0.6以上であることがより好ましい。また、同様の観点から、上記モル比は、1.20以下であることが好ましく、1.15以下であることがより好ましい。By the way, a phenomenon in which an information recording medium (magnetic disk) itself vibrates due to external vibrations in an HDD is called fluttering. This fluttering causes a collision between the magnetic head and the surface of the information recording medium, resulting in head crash. Even if fluttering occurs due to external vibration, if the vibration of the information recording medium itself stops early, the occurrence of head crash can be suppressed. In this regard, a measure called fluttering property is known for glasses. The smaller the value of the fluttering characteristic d, the earlier the fluttering stops. The fluttering characteristic d is obtained from the Young's modulus E, the density ρ, and the lateral vibration internal friction ξ (hereinafter simply referred to as "internal friction") of the glass constituting the substrate, d = (ρ / E) × (1 / ξ) Calculated by Therefore, in order to reduce the fluttering characteristic, it is desirable that the internal friction ξ is large, that is, the energy is greatly reduced due to vibration absorption. In this regard, in the glass, the molar ratio {Al 2 O 3 /(Li 2 O+Na 2 O)} of the Al 2 O 3 content to the total content of Li 2 O and Na 2 O is 0.25 to 1.5. A range of 25 is preferable for suppressing the occurrence of head crashes due to fluttering by increasing internal friction and reducing fluttering characteristics. From the viewpoint of reducing fluttering characteristics, the molar ratio is preferably 0.4 or more, more preferably 0.6 or more. From the same point of view, the molar ratio is preferably 1.20 or less, more preferably 1.15 or less.

TiOは、化学的耐久性およびガラス安定性を向上させると共に、ヤング率を高める働きを有する。ただし、ガラスの比重の上昇を招く成分である。したがって、上記ガラスにおけるTiO含有量は、0~5%であることが好ましく、0~4%であることがより好ましく、0~3%であることが更に好ましい。TiO 2 has the function of improving chemical durability and glass stability as well as increasing Young's modulus. However, it is a component that causes an increase in the specific gravity of the glass. Therefore, the TiO 2 content in the glass is preferably 0 to 5%, more preferably 0 to 4%, even more preferably 0 to 3%.

希土類酸化物とは、希土類(Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb)の酸化物であり、好ましくはLa、Y、GdおよびYbからなる群から選ばれる一種以上である。希土類酸化物、ならびにZrO、TiO、SrOおよびBaOは比重の増大を招く成分である。そのため、ガラスの低比重化の観点から、上記ガラスにおけるZrO、TiO、SrO、BaOおよび希土類酸化物の合計含有量(ZrO+TiO+SrO+BaO+希土類酸化物)は、0~5%である。上記合計含有量の上限は、4%以下であることが好ましく、3%以下であることがより好ましく、2%以下であることが更に好ましい。Rare earth oxides are oxides of rare earth elements (Sc, Y, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb), preferably La 2 It is one or more selected from the group consisting of O 3 , Y 2 O 3 , Gd 2 O 3 and Yb 2 O 3 . Rare earth oxides, ZrO 2 , TiO 2 , SrO and BaO are components that increase the specific gravity. Therefore, from the viewpoint of lowering the specific gravity of the glass, the total content of ZrO 2 , TiO 2 , SrO, BaO and rare earth oxides (ZrO 2 +TiO 2 +SrO+BaO+rare earth oxides) in the glass is 0 to 5%. The upper limit of the total content is preferably 4% or less, more preferably 3% or less, and even more preferably 2% or less.

La、Y、GdおよびYbは、いずれも適量の導入によりガラスのヤング率を向上させることができる。他方、過剰に導入するとガラスの比重を増大させるため、上記ガラスにおけるLa含有量、Y含有量、Gd含有量およびYb含有量は、それぞれ、1%未満であることが好ましく、0.5%以下であることがより好ましく、0%でもよい。
希土類酸化物の合計含有量は、ヤング率の向上および低比重化の観点から、0~3%未満であることが好ましく、より好ましくは0~2%未満であり、更に好ましくは0~1%未満であり、導入しないことが一層好ましい。
La 2 O 3 , Y 2 O 3 , Gd 2 O 3 and Yb 2 O 3 can all improve the Young's modulus of the glass when introduced in appropriate amounts. On the other hand, the La 2 O 3 content, the Y 2 O 3 content, the Gd 2 O 3 content and the Yb 2 O 3 content in the above glass are each 1%, since their introduction in excess increases the specific gravity of the glass. It is preferably less than 0.5%, more preferably 0.5% or less, and may be 0%.
The total content of rare earth oxides is preferably 0 to less than 3%, more preferably 0 to less than 2%, and still more preferably 0 to 1%, from the viewpoint of improving Young's modulus and reducing specific gravity. less than and more preferably not introduced.

Nb、WOおよびTaは、いずれも適量の導入により、ガラスのヤング率を向上させることができる。他方、過剰導入によりガラスの比重を増大させると共に材料コストが高くなる。したがって、Nb、WOおよびTaの合計含有量は、1%未満であることが好ましく、0.5%以下であることがより好ましく、0%でもよい。Nb 2 O 5 , WO 3 and Ta 2 O 5 can all improve the Young's modulus of the glass when introduced in appropriate amounts. On the other hand, excessive incorporation increases the specific gravity of the glass and raises the material cost. Therefore, the total content of Nb 2 O 5 , WO 3 and Ta 2 O 5 is preferably less than 1%, more preferably 0.5% or less, and may even be 0%.

は、少量導入することができるが、過剰導入により化学的耐久性が低下する傾向があるため、上記ガラスにおけるPの含有量は0~2%であることが好ましい。Pの含有量は、0~1%であることがより好ましく、Pを含有しないこと(即ちPの含有量が0%)が更に好ましい。P 2 O 5 can be introduced in a small amount, but since excessive introduction tends to lower chemical durability, the content of P 2 O 5 in the glass is preferably 0 to 2%. The content of P 2 O 5 is more preferably 0 to 1%, and more preferably no P 2 O 5 (that is, the content of P 2 O 5 is 0%).

上記ガラスは、清澄効果を得る観点から、Sn酸化物、Ce酸化物およびSb酸化物からなる群から選ばれる少なくとも一種を含むことができる。
Sn酸化物を含有するガラスについては、Sn酸化物(例えば、SnO)の含有量は、清澄効果を得る観点から、0.01%以上であることが好ましく、0.05%以上であることがより好ましく、0.10%以上であることが更に好ましく、0.15%以上であることが一層好ましい。また、Sn酸化物の含有量は、1%未満であることが好ましく、0.80%以下であることがより好ましい。一態様では、Sn酸化物含有量が0%であってもよい。
Ce酸化物を含有するガラスについては、Ce酸化物(例えば、CeO)の含有量は、清澄効果を得る観点から、0.01%以上であることが好ましく、0.05%以上であることがより好ましく、0.10%以上であることが更に好ましい。また、Ce酸化物の含有量は、1%未満であることが好ましく、0.80%以下であることがより好ましく、0.50%以下であることが更に好ましく、0.30%以下であることが一層好ましい。一態様では、Ce酸化物含有量が0%であってもよい。
Sb酸化物を含有するガラスについては、Sb酸化物(例えばSb)の含有量は、1%未満であることが好ましく、0.5%以下であることがより好ましい。一態様では、Sb酸化物含有量が0%であってもよい。
The glass may contain at least one selected from the group consisting of Sn oxide, Ce oxide and Sb oxide from the viewpoint of obtaining a refining effect.
As for the glass containing Sn oxide, the content of Sn oxide (for example, SnO 2 ) is preferably 0.01% or more, more preferably 0.05% or more, from the viewpoint of obtaining a refining effect. is more preferably 0.10% or more, even more preferably 0.15% or more. Also, the Sn oxide content is preferably less than 1%, more preferably 0.80% or less. In one aspect, the Sn oxide content may be 0%.
As for the glass containing Ce oxide, the content of Ce oxide (e.g., CeO 2 ) is preferably 0.01% or more, more preferably 0.05% or more, from the viewpoint of obtaining a refining effect. is more preferable, and 0.10% or more is even more preferable. The Ce oxide content is preferably less than 1%, more preferably 0.80% or less, even more preferably 0.50% or less, and 0.30% or less. is more preferable. In one aspect, the Ce oxide content may be 0%.
For glasses containing Sb oxides, the content of Sb oxides (eg Sb 2 O 3 ) is preferably less than 1%, more preferably 0.5% or less. In one aspect, the Sb oxide content may be 0%.

上記ガラスは、Feを、Feに換算して、0.5%以下程度含むことができる。Feの含有量は、Feに換算して、0.2%以下であることが好ましく、0.1%以下であることがより好ましく、0.05%以下であることが更に好ましく、Feを含有しないことが一層好ましい。
また、上記ガラスは、Feと同様に、Cr、Mn、Fe、Cu、Ni等の遷移金属を0.5%以下程度含むことができる。これらの遷移金属の含有量は、酸化物に換算してそれぞれ0.2%以下であることが好ましく、0.1%以下であることがより好ましく、0.05%以下であることが更に好ましく、含有しないことが一層好ましい。
The above glass can contain Fe in an amount of about 0.5% or less in terms of Fe 2 O 3 . The content of Fe is preferably 0.2% or less, more preferably 0.1% or less, and even more preferably 0.05% or less in terms of Fe 2 O 3 , It is more preferable not to contain Fe.
Further, the above glass can contain about 0.5% or less of transition metals such as Cr, Mn, Fe, Cu, and Ni, like Fe. The content of these transition metals is preferably 0.2% or less, more preferably 0.1% or less, and even more preferably 0.05% or less in terms of oxides. , is more preferably not contained.

Pb、Cd、As等は環境に悪影響を与える物質なので、これらの導入は避けることが好ましい。 Since Pb, Cd, As and the like are substances that adversely affect the environment, it is preferable to avoid introducing them.

上記ガラスは、所定のガラス組成が得られるように、酸化物、炭酸塩、硝酸塩、硫酸塩、水酸化物等のガラス原料を秤量、調合し、十分混合して、熔融容器内で、例えば1400~1600℃の範囲で加熱、熔解し、清澄、攪拌して十分泡切れがなされた均質化した熔融ガラスを成形することにより作製することができる。例えば、ガラス原料を熔解槽において1400~1550℃で加熱して熔解し、得られた熔融ガラスを清澄槽において昇温して1450~1600℃に保持した後、降温して1200~1400℃でガラスを流出し成形することが好ましい。 The above-mentioned glass is obtained by weighing and blending glass raw materials such as oxides, carbonates, nitrates, sulfates, hydroxides, etc. so as to obtain a predetermined glass composition, mixing them sufficiently, and adding, for example, 1400 It can be produced by heating in the range of up to 1600° C., melting, fining and stirring to form a homogenized glass melt that has been sufficiently debubbled. For example, the glass raw materials are heated in a melting tank at 1400 to 1550° C. to melt, and the resulting molten glass is heated in a refining tank and held at 1450 to 1600° C., then cooled to 1200 to 1400° C. to form a glass. is preferably poured out and molded.

<ガラス特性>
上記ガラスは、以上記載した組成調整を行うことにより、以下に記載する各種ガラス特性を有することができる。
<Glass characteristics>
The above glass can have various glass properties described below by adjusting the composition as described above.

(ヤング率)
先に記載した情報記録媒体の剛性向上に対する要求に対応するために、情報記録媒体基板用ガラスは、高い剛性を有することが望ましい。この点に関して、上記ガラスは、剛性の指標であるヤング率が86G以上である。86G以上のヤング率を示す高い剛性を有する情報記録媒体基板用ガラスによれば、記録再生装置内での基板変形を抑制することができるため、基板変形に伴う情報記録媒体の反りおよびたわみを抑制することができる。上記ガラスのヤング率は、88GPa以上であることが好ましく、90GPa以上であることがより好ましく、92GPa以上であることが一層好ましく、93GPa以上であることがより一層好ましい。ヤング率の上限は、例えば120GPa程度であるが、ヤング率が高いほど剛性が高く好ましいため特に限定されるものではない。
(Young's modulus)
In order to meet the requirement for improving the rigidity of the information recording medium described above, it is desirable that the information recording medium substrate glass has high rigidity. In this regard, the glass has a Young's modulus of 86 G or more, which is an index of rigidity. According to the information recording medium substrate glass having a high rigidity exhibiting a Young's modulus of 86 G or more, it is possible to suppress substrate deformation in a recording/reproducing apparatus, thereby suppressing warpage and deflection of the information recording medium due to substrate deformation. can do. The Young's modulus of the glass is preferably 88 GPa or higher, more preferably 90 GPa or higher, still more preferably 92 GPa or higher, and even more preferably 93 GPa or higher. The upper limit of the Young's modulus is, for example, about 120 GPa, but is not particularly limited because the higher the Young's modulus, the higher the rigidity, which is preferable.

(比重)
上記ガラスの比重は2.75以下であり、2.72以下であることが好ましく、2.70以下であることがより好ましく、2.68以下であることが更に好ましく、2.66以下であることが一層好ましい。情報記録媒体基板用ガラスの低比重化により、情報記録媒体基板を軽量化することができ、更には情報記録媒体の軽量化、これによりHDD等の記録再生装置の消費電力抑制が可能になる。比重の下限は、比重が低いほど好ましいため特に限定されるものではない。
(specific gravity)
The specific gravity of the glass is 2.75 or less, preferably 2.72 or less, more preferably 2.70 or less, even more preferably 2.68 or less, and 2.66 or less. is more preferable. By reducing the specific gravity of the information recording medium substrate glass, the weight of the information recording medium substrate can be reduced, and furthermore, the weight of the information recording medium can be reduced, thereby reducing the power consumption of recording/reproducing devices such as HDDs. The lower limit of the specific gravity is not particularly limited because the lower the specific gravity, the better.

(比弾性率)
比弾性率は、ガラスのヤング率を密度で除したものである。ここで密度とは、ガラスの比重に、g/cmという単位を付けた値と考えればよい。より変形しにくい基板を提供する観点から、上記ガラスの比弾性率は33MNm/kg以上であることが好ましく、34MNm/kg以上であることがより好ましく、35MNm/kg以上であることが更に好ましく、36MNm/kgであることが一層好ましい。比弾性率の上限は、比弾性率が高いほど好ましいため特に限定されるものではない。
(Specific modulus)
The specific modulus is the Young's modulus of the glass divided by its density. Here, the density may be considered as a value obtained by adding a unit of g/cm 3 to the specific gravity of glass. From the viewpoint of providing a substrate that is more difficult to deform, the specific elastic modulus of the glass is preferably 33 MNm/kg or more, more preferably 34 MNm/kg or more, and even more preferably 35 MNm/kg or more, More preferably 36 MNm/kg. The upper limit of the specific elastic modulus is not particularly limited because the higher the specific elastic modulus, the better.

(化学的耐久性)
上記ガラスは、優れた化学的耐久性を示すことができる。化学的耐久性の評価方法としては、詳細を後述する耐酸性Daおよび耐水性Dwを挙げることができる。一態様では、耐酸性Daは0.20未満であることが好ましく、0.10以下であることがより好ましく、0.08以下であることが更に好ましく、0.06以下であることが一層好ましい。また、一態様では、耐水性Dwは、0.05未満であることが好ましく、0.04以下であることがより好ましく、0.03以下であることが更に好ましい。DaおよびDwは、低いほど好ましいため下限は特に限定されるものではない。
(Chemical durability)
The glasses can exhibit excellent chemical durability. Acid resistance Da and water resistance Dw, which will be described later in detail, can be used as evaluation methods for chemical durability. In one aspect, the acid resistance Da is preferably less than 0.20, more preferably 0.10 or less, even more preferably 0.08 or less, and even more preferably 0.06 or less. . In one aspect, the water resistance Dw is preferably less than 0.05, more preferably 0.04 or less, and even more preferably 0.03 or less. Since Da and Dw are preferably as low as possible, the lower limits are not particularly limited.

(熱膨張係数)
情報記録媒体を組み込んだ記録再生装置、例えばHDD(ハードディスクドライブ)は、中央部分をスピンドルモータのスピンドルおよびクランプで押さえて情報記録媒体そのものを回転させる構造となっている。そのため、情報記録媒体基板とスピンドル部分を構成するスピンドル材料との熱膨張係数に大きな差があると、使用時に周囲の温度変化に対してスピンドルの熱膨張・熱収縮と情報記録媒体基板の熱膨張・熱収縮にずれが生じてしまい、結果として情報記録媒体が変形してしまう現象が生じる場合がある。このような現象の発生を抑制する観点からは、情報記録媒体基板用ガラスは適度な熱膨張係数を有することが望ましい。この点から、上記ガラスの100~300℃における平均線膨張係数(以下、「α」とも記載する。)は55×10-7/℃~100×10-7/℃の範囲であることが好ましく、60×10-7/℃~90×10-7/℃の範囲であることがより好ましい。
(thermal expansion coefficient)
A recording/reproducing apparatus incorporating an information recording medium, such as an HDD (hard disk drive), has a structure in which the information recording medium itself is rotated by pressing the central portion thereof with a spindle of a spindle motor and a clamp. Therefore, if there is a large difference in the coefficient of thermal expansion between the information recording medium substrate and the spindle material that constitutes the spindle portion, the thermal expansion/contraction of the spindle and the thermal expansion of the information recording medium substrate due to ambient temperature changes during use. - A phenomenon may occur in which the information recording medium is deformed as a result of misalignment in thermal contraction. From the viewpoint of suppressing the occurrence of such a phenomenon, it is desirable that the glass for information recording medium substrates has an appropriate coefficient of thermal expansion. From this point, the average linear expansion coefficient (hereinafter also referred to as "α") of the glass at 100 to 300°C is preferably in the range of 55 × 10 -7 /°C to 100 × 10 -7 /°C. , 60×10 −7 /°C to 90×10 −7 /°C.

(ガラス安定性)
上記ガラスは、一態様では、高いガラス安定性を示すことができる。ガラス安定性の評価方法としては、詳細を後述する1250℃保持テストおよび1200℃保持テストを挙げることができる。1250℃保持テストにおいて評価結果Aであることが好ましく、1250℃保持テストにおいて評価結果Aであって、かつ1200℃保持テストにおいて評価結果AまたはBであることがより好ましく、両保持テストにおいて評価結果Aであることが更に好ましい。ガラス安定性に関して、上記保持テストにおいて、より低い温度で評価結果が良好なほど、熔融状態で結晶が析出しにくいガラスであり、成形温度を下げて成形することができる。成形温度を下げるほど、発熱体、炉体、パイプ等の成形装置の構成部材の寿命を延ばすことができる。特に、プレス成形により基板ブランクを作製する場合には、成形温度は低いほど好ましい。また、成形温度を下げることができれば、ガラス粘度を上げて成形することができるため、揮発、脈理および成形泡の発生を抑制することができる。
(Glass stability)
The glass, in one aspect, can exhibit high glass stability. Examples of methods for evaluating glass stability include a 1250° C. retention test and a 1200° C. retention test, which will be detailed later. It is preferable that the evaluation result is A in the 1250 ° C. holding test, it is more preferable that the evaluation result is A in the 1250 ° C. holding test and the evaluation result is A or B in the 1200 ° C. holding test, and the evaluation results in both holding tests. A is more preferred. With regard to glass stability, the better the evaluation result at a lower temperature in the above retention test, the more difficult it is for crystals to precipitate in the molten state of the glass, and the lower the molding temperature can be for molding. The lower the molding temperature, the longer the life of the constituent members of the molding apparatus, such as heating elements, furnace bodies, and pipes. In particular, when the substrate blank is produced by press molding, the molding temperature is preferably as low as possible. Further, if the molding temperature can be lowered, the viscosity of the glass can be increased during molding, so volatilization, striae and formation of molding bubbles can be suppressed.

(ガラス転移温度)
上記ガラスは、一態様では、ガラス転移温度(以下、「Tg」とも記載する。)が620℃以下であることができる。ガラスのTgが低いことは、ガラス製造設備の劣化を抑制するうえで望ましい。Tgは、例えば615℃以下または610℃以下であることもできる。また、Tgは、例えば500℃以上であることができるが特に限定されるものではない。また一態様では、上記ガラスのTgは、620℃超(例えば625℃以上)であることもできる。Tgが高いガラスは、例えば基板上への磁気記録層の成膜時に高温に晒されたとしても、高い平坦性を維持することができる。一態様では、Tgは、例えば630℃以上、640℃以上または650℃以上であることもできる。また、一態様では、Tgは、例えば770℃以下程度であることもできるが特に限定されるものではない。上記ガラスは、高温での成膜を要する磁性材料を含む磁気記録層を有する情報記録媒体の基板用ガラスに限定されるものではないため、Tgが低いガラスであってもよい。
(Glass-transition temperature)
In one aspect, the glass may have a glass transition temperature (hereinafter also referred to as “Tg”) of 620° C. or lower. A low glass Tg is desirable for suppressing deterioration of glass manufacturing equipment. Tg can also be, for example, 615° C. or lower, or 610° C. or lower. Moreover, Tg can be, for example, 500° C. or higher, but is not particularly limited. In one aspect, the Tg of the glass can also be greater than 620° C. (eg, 625° C. or higher). A glass with a high Tg can maintain high flatness even when exposed to high temperatures during deposition of a magnetic recording layer on a substrate, for example. In one aspect, the Tg can be, for example, 630° C. or higher, 640° C. or higher, or 650° C. or higher. In one aspect, Tg can be, for example, about 770° C. or less, but is not particularly limited. The above-mentioned glass is not limited to glass for a substrate of an information recording medium having a magnetic recording layer containing a magnetic material that requires film formation at a high temperature, and therefore glass having a low Tg may be used.

[情報記録媒体基板]
本発明の一態様にかかる情報記録媒体基板は、上記情報記録媒体基板用ガラスからなる。
[Information recording medium substrate]
An information recording medium substrate according to an aspect of the present invention is made of the above information recording medium substrate glass.

情報記録媒体基板は、ガラス原料を加熱することにより熔融ガラスを調製し、この熔融ガラスをプレス成形法、ダウンドロー法またはフロート法のいずれかの方法により板状に成形し、得られた板状のガラスを加工する工程を経て製造することができる。例えば、プレス成形方法では、ガラス流出パイプから流出する熔融ガラスを所定体積に切断し、所要の熔融ガラス塊を得て、これをプレス成形型でプレス成形して薄肉円盤状の基板ブランクを作製する。次いで、得られた基板ブランクに中心孔を設けたり、内外周加工、両主表面にラッピング、ポリッシングを施す。次いで、洗浄工程(例えば酸洗浄および/またはアルカリ洗浄)を経て、ディスク状の基板を得ることができる。 The information recording medium substrate is prepared by heating a glass raw material to prepare a molten glass, molding the molten glass into a plate by any of the press molding method, the down-draw method, or the float method. It can be manufactured through the process of processing the glass of. For example, in the press molding method, a glass melt flowing out of a glass outflow pipe is cut into a predetermined volume to obtain a required glass melt gob, which is then press-molded with a press mold to produce a thin disc-shaped substrate blank. . Next, the obtained substrate blank is subjected to center hole processing, inner and outer peripheral processing, lapping and polishing on both main surfaces. Then, a disk-shaped substrate can be obtained through a cleaning step (for example, acid cleaning and/or alkali cleaning).

上記情報記録媒体基板は、一態様では、表面および内部の組成が均質である。ここで、表面および内部の組成が均質とは、イオン交換が行われていない(即ち、イオン交換層を有さない)ことを意味する。イオン交換層を有さない情報記録媒体基板は、イオン交換処理を施していないため、製造コストを大幅に低減できる。 In one aspect, the information recording medium substrate has a homogeneous composition on the surface and inside. Here, the homogeneous composition of the surface and the inside means that ion exchange is not performed (that is, there is no ion exchange layer). An information recording medium substrate having no ion-exchange layer is not subjected to ion-exchange treatment, so that the manufacturing cost can be greatly reduced.

また、上記情報記録媒体基板は、一態様では、表面の一部または全部に、イオン交換層を有する。イオン交換層は圧縮応力を示すため、イオン交換層の有無は、主表面に対して垂直に基板を破断し、破断面においてバビネ法により応力プロファイルを得ることによって確認することができる。「主表面」とは、基板の磁気記録層が設けられる面または設けられている面である。こうした面は、情報記録媒体基板の表面のうち、最も面積の広い面であることから、主表面と呼ばれ、ディスク状の情報記録媒体の場合、ディスクの円形状の表面(中心孔がある場合は中心孔を除く。)に相当する。また、イオン交換層の有無は、基板表面からアルカリ金属イオンの深さ方向の濃度分布を測定する方法等によっても確認することができる。 In one aspect, the information recording medium substrate has an ion exchange layer on part or all of the surface. Since the ion-exchange layer exhibits compressive stress, the presence or absence of the ion-exchange layer can be confirmed by breaking the substrate perpendicularly to the main surface and obtaining a stress profile on the broken surface by the Babinet method. The "main surface" is the surface of the substrate on which or is provided the magnetic recording layer. This surface is called the main surface because it is the surface with the largest area among the surfaces of the information recording medium substrate. excludes the central hole). The presence or absence of the ion exchange layer can also be confirmed by a method of measuring the concentration distribution of alkali metal ions in the depth direction from the substrate surface.

イオン交換層は、高温下、基板表面にアルカリ塩を接触させ、このアルカリ塩中のアルカリ金属イオンと基板中のアルカリ金属イオンを交換させることにより形成することができる。イオン交換(「強化処理」、「化学強化」とも呼ばれる。)については、公知技術を適用することができ、一例として、WO2011/019010A1の段落0068~0069を参照できる。 The ion-exchange layer can be formed by bringing an alkali salt into contact with the surface of the substrate at a high temperature and exchanging the alkali metal ions in the alkali salt with the alkali metal ions in the substrate. For ion exchange (also called “strengthening treatment” and “chemical strengthening”), known techniques can be applied, and as an example, paragraphs 0068 to 0069 of WO2011/019010A1 can be referred to.

上記情報記録媒体基板は、例えば厚みが1.5mm以下、好ましくは1.2mm以下、より好ましくは1mm以下であり、厚みの下限は好ましくは0.3mmである。また、上記情報記録媒体基板は、好ましくは磁気記録媒体基板であり、より好ましくは中心孔を有するディスク形状である。 The thickness of the information recording medium substrate is, for example, 1.5 mm or less, preferably 1.2 mm or less, more preferably 1 mm or less, and the lower limit of the thickness is preferably 0.3 mm. The information recording medium substrate is preferably a magnetic recording medium substrate, and more preferably has a disk shape with a central hole.

上記情報記録媒体基板は、非晶質ガラスからなる。結晶化ガラスによると、研磨等の加工後の基板表面に結晶粒子による凹凸の影響が現れ基板の表面平滑性が低下する傾向がある。これに対し、非晶質ガラスによれば、結晶化ガラスと比べて基板に加工したときに優れた表面平滑性を実現できる。 The information recording medium substrate is made of amorphous glass. When crystallized glass is used, the surface smoothness of the substrate tends to decrease due to the influence of unevenness caused by crystal particles on the surface of the substrate after processing such as polishing. On the other hand, amorphous glass can realize superior surface smoothness when processed into a substrate as compared with crystallized glass.

情報記録媒体基板の主表面の表面粗さ(Ra)は、0.25nm以下であることが好ましく、0.20nm以下であることがより好ましく、0.15nm以下であることが更に好ましい。 The surface roughness (Ra) of the main surface of the information recording medium substrate is preferably 0.25 nm or less, more preferably 0.20 nm or less, and even more preferably 0.15 nm or less.

[情報記録媒体]
本発明の一態様は、上記情報記録媒体基板上に情報記録層を有する情報記録媒体に関する。
[Information recording medium]
One aspect of the present invention relates to an information recording medium having an information recording layer on the information recording medium substrate.

情報記録媒体の好ましい一態様は磁気記録媒体である。ディスク状の磁気記録媒体は、磁気ディスク、ハードディスク等と呼ばれ、デスクトップパソコン、サーバ用コンピュータ、ノート型パソコン、モバイル型パソコンなどの内部記憶装置(固定ディスクなど)、画像および/または音声を記録再生する携帯記録再生装置の内部記憶装置、車載オーディオの記録再生装置などに好適である。 A preferred embodiment of the information recording medium is a magnetic recording medium. Disk-shaped magnetic recording media are called magnetic disks, hard disks, etc., and are used in internal storage devices (fixed disks, etc.) of desktop personal computers, server computers, notebook personal computers, mobile personal computers, etc., to record and reproduce images and/or sounds. It is suitable for use as an internal storage device of a portable recording/reproducing device, an in-vehicle audio recording/reproducing device, and the like.

情報記録媒体の構成および製造方法については、公知技術を採用できる。例えば磁気記録媒体は、一態様では、情報記録媒体基板の主表面上に、主表面に近いほうから順に、少なくとも付着層、下地層、磁性層(磁気記録層)、保護層、潤滑層が積層された構成になっている。例えば、情報記録媒体基板を、真空引きを行った成膜装置内に導入し、DC(Direct Current)マグネトロンスパッタリング法にてAr雰囲気中で、情報記録媒体基板の主表面上に付着層から磁性層まで順次成膜する。成膜後、例えばCVD(Chemical Vapor Deposition)法によりCを用いて保護層を成膜し、同一チャンバ内で、表面に窒素を導入する窒化処理を行うことにより、磁気記録媒体を形成することができる。その後、例えばPFPE(ポリフルオロポリエーテル)をディップコート法により保護層上に塗布することにより、潤滑層を形成することができる。Publicly known techniques can be employed for the configuration and manufacturing method of the information recording medium. For example, in one aspect of a magnetic recording medium, at least an adhesion layer, an underlayer, a magnetic layer (magnetic recording layer), a protective layer, and a lubricating layer are laminated on the main surface of an information recording medium substrate in order from the main surface. It has a configured configuration. For example, the information recording medium substrate is introduced into an evacuated film forming apparatus, and a magnetic layer is deposited from the adhesive layer onto the main surface of the information recording medium substrate in an Ar atmosphere by a DC (Direct Current) magnetron sputtering method. Films are formed sequentially up to . After the film is formed, a protective layer is formed using C 2 H 4 by, for example, a CVD (Chemical Vapor Deposition) method, and a nitriding treatment is performed to introduce nitrogen to the surface in the same chamber to form a magnetic recording medium. can do. After that, a lubricating layer can be formed by applying, for example, PFPE (polyfluoropolyether) onto the protective layer by a dip coating method.

ところで近年、磁気ヘッドへDFH(Dynamic Flying Height)機構を搭載させることにより、磁気ヘッドの記録再生素子部と情報記録媒体表面との間隙の大幅な狭小化(低フライングハイト化)を達成し、更なる高記録密度化を図ることが行われている。DFH機構とは、磁気ヘッドの記録再生素子部の近傍に極小のヒーター等の加熱部を設けて、素子部周辺のみを媒体表面方向に向けて突き出す機能である。こうすることで、磁気ヘッドと媒体の磁気記録層との距離(フライングハイト)が近づくため、より小さい磁性粒子の信号も拾うことができるようになり、更なる高記録密度化を達成することが可能となる。しかしその一方で、磁気ヘッドの素子部と媒体表面との間隙(フライングハイト)が極めて小さくなる。表面平滑性に劣る情報記録媒体表面に磁気ヘッドを近接させると、磁気ヘッドが情報記録媒体表面に接触してヘッドクラッシュが発生するおそれがあるため、接触を防ぐためにフライングハイトをある程度確保せざるを得ない。以上の点から、情報記録媒体の表面平滑性を高めるべく、情報記録媒体基板の表面平滑性を高めることが望ましい。この点に関して、化学的耐久性に優れるガラスは、洗浄処理後による表面平滑性の低下が少ないため好ましい。かかるガラスからなる基板を備えた情報記録媒体は、フライングハイトが極狭小化されたDFH機構を搭載した記録再生装置にも好適である。 By the way, in recent years, by mounting a DFH (Dynamic Flying Height) mechanism on the magnetic head, the gap between the recording/reproducing element portion of the magnetic head and the surface of the information recording medium has been significantly narrowed (reduced flying height). There have been efforts to achieve higher recording densities. The DFH mechanism is a function in which a heating portion such as a very small heater is provided in the vicinity of the recording/reproducing element portion of the magnetic head, and only the periphery of the element portion protrudes toward the medium surface direction. By doing so, the distance (flying height) between the magnetic head and the magnetic recording layer of the medium is reduced, so signals from smaller magnetic particles can be picked up, and a higher recording density can be achieved. It becomes possible. On the other hand, however, the gap (flying height) between the element portion of the magnetic head and the surface of the medium becomes extremely small. If the magnetic head is brought close to the surface of the information recording medium, which has poor surface smoothness, the magnetic head may come into contact with the surface of the information recording medium, causing a head crash. I don't get it. From the above points, it is desirable to improve the surface smoothness of the information recording medium substrate in order to improve the surface smoothness of the information recording medium. In this regard, glass having excellent chemical durability is preferable because the deterioration of surface smoothness after cleaning treatment is small. An information recording medium having such a substrate made of glass is also suitable for a recording/reproducing apparatus equipped with a DFH mechanism having an extremely narrow flying height.

上記情報記録媒体基板(例えば磁気ディスク基板)、情報記録媒体(例えば磁気ディスク)とも、その寸法に特に制限はないが、例えば、高記録密度化が可能であるため媒体および基板を小型化することも可能である。例えば、公称直径2.5インチは勿論、更に小径(例えば1インチ、1.8インチ)、または3インチ、3.5インチ等の寸法のものとすることができる。 There are no particular restrictions on the dimensions of the information recording medium substrate (e.g., magnetic disk substrate) and information recording medium (e.g., magnetic disk). is also possible. For example, a nominal diameter of 2.5 inches, as well as smaller diameters (eg, 1 inch, 1.8 inches), or dimensions of 3 inches, 3.5 inches, etc. are possible.

[記録再生装置用ガラススペーサ]
本発明の一態様は、モル%表示にて、SiO含有量が55~68%、B含有量が0~5%、Al含有量が1~14%、MgO含有量が8~23%、CaO含有量が1~10%、LiO含有量が5~18%、LiO、NaOおよびKOの合計含有量が5~18%、ZrO、TiO、BaO、SrOおよび希土類酸化物の合計含有量が0~5%、LiOとMgOとの合計含有量が20~32%、アルカリ金属酸化物とアルカリ土類金属酸化物との合計含有量に対するLiOとMgOとの合計含有量のモル比{(LiO+MgO)/(アルカリ金属酸化物+アルカリ土類金属酸化物)}が0.60~0.95、アルカリ金属酸化物の合計含有量に対するSiO含有量のモル比(SiO/アルカリ金属酸化物)が3~13であり、ヤング率が86GPa以上かつ比重が2.75以下の非晶質ガラスを含む記録再生装置用ガラススペーサに関する。
[Glass Spacer for Recording/Reproducing Device]
One aspect of the present invention has a SiO 2 content of 55 to 68%, a B 2 O 3 content of 0 to 5%, an Al 2 O 3 content of 1 to 14%, and an MgO content, expressed in mol%. is 8-23%, the CaO content is 1-10%, the Li 2 O content is 5-18%, the total content of Li 2 O, Na 2 O and K 2 O is 5-18%, ZrO 2 , The total content of TiO 2 , BaO, SrO and rare earth oxides is 0-5%, the total content of Li 2 O and MgO is 20-32%, the total content of alkali metal oxides and alkaline earth metal oxides The molar ratio of the total content of Li 2 O and MgO to the content {(Li 2 O + MgO) / (alkali metal oxide + alkaline earth metal oxide)} is 0.60 to 0.95, alkali metal oxide A recording/reproducing device containing amorphous glass having a molar ratio of SiO 2 content to the total content of It relates to a glass spacer for.

情報記録媒体は、記録再生装置において、情報を記録および/または再生するために用いることができる。例えば、磁気記録媒体は、磁気記録再生装置において、情報を磁気的に記録および/または再生するために用いることができる。通常、記録再生装置は、情報記録媒体をスピンドルモータのスピンドルに固定するため、および/または、複数の情報記録媒体の間の距離を保つために、スペーサを備えている。近年、かかるスペーサとして、ガラススペーサを用いることが提案されている。このガラススペーサにも、情報記録媒体基板用のガラスについて先に詳述した理由と類似の理由から、剛性が高く、比重が低く、かつ化学的耐久性に優れることが望まれる。これに対し、上記ガラスは、先に詳述した通り、高剛性および低比重を有し、かつ優れた化学的耐久性を有することができるため、記録再生装置用ガラススペーサとして好適である。 An information recording medium can be used for recording and/or reproducing information in a recording/reproducing apparatus. For example, magnetic recording media can be used to magnetically record and/or reproduce information in magnetic recording and reproducing devices. A recording/reproducing apparatus usually includes spacers for fixing information recording media to the spindle of a spindle motor and/or for maintaining distances between a plurality of information recording media. In recent years, it has been proposed to use a glass spacer as such a spacer. The glass spacer is also desired to have high rigidity, low specific gravity, and excellent chemical durability for reasons similar to those described in detail above for the glass for information recording medium substrates. On the other hand, the above glass has high rigidity, low specific gravity, and excellent chemical durability, as described above, and is therefore suitable as a glass spacer for recording/reproducing devices.

記録再生装置用のスペーサはリング状の部材であって、ガラススペーサの構成、製造方法等の詳細は公知である。また、ガラススペーサの製造方法については、情報記録媒体基板用ガラスの製造方法および情報記録媒体基板の製造方法に関する上記記載も参照できる。また、本発明の一態様にかかる記録再生装置用ガラススペーサのガラス組成、ガラス特性等のその他の詳細については、本発明の一態様にかかる情報記録媒体基板用ガラス、情報記録媒体基板および情報記録媒体に関する上記記載を参照できる。
なお、記録再生装置用ガラススペーサは、上記ガラスからなることもでき、または上記ガラスの表面に導電性膜等の膜を一層以上設けた構成であることもできる。例えば、情報記録媒体の回転時に生じる静電気を除去するために、ガラススペーサの表面に、メッキ法、浸漬法、蒸着法、スパッタリング法等によりNiP合金等の導電性膜を形成することができる。また、ガラススペーサは、研磨加工により表面平滑性を高くすることができ(例えば、平均表面粗さが1μm以下)、これにより情報記録媒体とスペーサとの密着度を強めて位置ずれの発生を抑制することができる。
A spacer for a recording/reproducing device is a ring-shaped member, and the details of the structure, manufacturing method, etc. of the glass spacer are publicly known. For the method of manufacturing the glass spacer, the above-mentioned descriptions of the method of manufacturing the information recording medium substrate glass and the method of manufacturing the information recording medium substrate can also be referred to. For other details such as the glass composition and glass characteristics of the glass spacer for recording/reproducing devices according to one aspect of the present invention, refer to the information recording medium substrate glass, information recording medium substrate, and information recording according to one aspect of the present invention. See the discussion above regarding media.
The glass spacer for the recording/reproducing device may be made of the glass described above, or may have a structure in which one or more layers of a film such as a conductive film are provided on the surface of the glass. For example, in order to remove static electricity generated when the information recording medium rotates, a conductive film such as a NiP alloy can be formed on the surface of the glass spacer by plating, dipping, vapor deposition, sputtering, or the like. In addition, the glass spacer can be polished to have a high surface smoothness (for example, an average surface roughness of 1 μm or less). can do.

[記録再生装置]
本発明の一態様は、
本発明の一態様にかかる情報記録媒体;および
本発明の一態様にかかるガラススペーサ、
の少なくとも一方を含む記録再生装置、
に関する。
[Recording/playback device]
One aspect of the present invention is
an information recording medium according to one aspect of the present invention; and a glass spacer according to one aspect of the present invention,
A recording/reproducing device including at least one of
Regarding.

記録再生装置は、少なくとも1つの情報記録媒体と、少なくとも1つのスペーサを含み、更に、通常、情報記録媒体を回転駆動させるためのスピンドルモータと、情報磁気記録媒体に対して情報の記録および/または再生を行うための少なくとも1つの記録再生ヘッドを含む。
上記の本発明の一態様にかかる記録再生装置は、少なくとも1つの情報記録媒体として本発明の一態様にかかる情報記録媒体を含むことができ、本発明の一態様にかかる情報記録媒体を複数含むこともできる。上記の本発明の一態様にかかる記録再生装置は、少なくとも1つのスペーサとして本発明の一態様にかかるガラススペーサを含むことができ、本発明の一態様にかかるガラススペーサを複数含むこともできる。情報記録媒体とスペーサの物性が類似していることは、情報記録媒体とスペーサとの物性の相違に起因して生じる現象の発生を抑制する観点から好ましい。例えば、情報記録媒体の熱膨張係数とスペーサの熱膨張係数との差が小さいことは、両者の熱膨張係数の差に起因して生じ得る現象、例えば、情報記録媒体の歪み、情報記録媒体の位置ずれによる回転時の安定性の低下等、の発生を抑制する観点から好ましい。この観点から、本発明の一態様にかかる記録再生装置は、少なくとも1つの情報記録媒体として、また複数の情報記録媒体が含まれる場合にはより多くの情報記録媒体として、本発明の一態様にかかる情報記録媒体を含み、かつ、少なくとも1つのスペーサとして、また複数のスペーサが含まれる場合にはより多くのスペーサとして、本発明の一態様にかかるガラススペーサを含むことが好ましい。また、例えば、本発明の一態様にかかる記録再生装置は、情報記録媒体に含まれる情報記録媒体基板を構成するガラスと、ガラススペーサを構成するガラスとが、同一のガラス組成を有するものであることができる。
The recording/reproducing apparatus includes at least one information recording medium and at least one spacer, and usually further includes a spindle motor for rotating the information recording medium, and recording and/or recording information on the information magnetic recording medium. It includes at least one read/write head for reading.
The recording/reproducing device according to one aspect of the present invention can include the information recording medium according to one aspect of the present invention as at least one information recording medium, and includes a plurality of information recording media according to one aspect of the present invention. can also The recording/reproducing device according to one aspect of the present invention can include the glass spacer according to one aspect of the present invention as at least one spacer, and can also include a plurality of glass spacers according to one aspect of the present invention. It is preferable that the information recording medium and the spacers have similar physical properties from the viewpoint of suppressing the occurrence of phenomena caused by the difference in physical properties between the information recording medium and the spacers. For example, when the difference between the thermal expansion coefficient of the information recording medium and the thermal expansion coefficient of the spacer is small, phenomena that can occur due to the difference in the thermal expansion coefficients of the two include distortion of the information recording medium, and deformation of the information recording medium. This is preferable from the viewpoint of suppressing the occurrence of deterioration in stability during rotation due to positional deviation. From this point of view, the recording/reproducing device according to one aspect of the present invention is provided as at least one information recording medium, or as more information recording media when a plurality of information recording media are included, according to one aspect of the present invention. It is preferable that the information recording medium includes such an information recording medium and at least one spacer, or, if a plurality of spacers are included, a glass spacer according to an aspect of the present invention is included as more spacers. Further, for example, in the recording/reproducing device according to one aspect of the present invention, the glass forming the information recording medium substrate included in the information recording medium and the glass forming the glass spacer have the same glass composition. be able to.

本発明の一態様にかかる記録再生装置は、本発明の一態様にかかる情報記録媒体および本発明の一態様にかかるガラススペーサの少なくとも一方を含むものであればよく、その他の点については記録再生装置に関する公知技術を適用することができる。一態様では、磁気ヘッドとして、磁化反転をアシスト(磁気信号の書き込みを補助)するためのエネルギー源(例えばレーザー光源等の熱源、マイクロ波等)と、記録素子部と、再生素子部とを有するエネルギーアシスト磁気記録ヘッドを用いることができる。このような、エネルギーアシスト磁気記録ヘッドを含むエネルギーアシスト記録方式の磁気記録再生装置は、高記録密度かつ高い信頼性を有する磁気記録再生装置として有用である。また、レーザー光源等を有する熱アシスト磁気記録ヘッドを備えた熱アシスト記録方式等のエネルギーアシスト記録方式の磁気記録再生装置に用いられる情報記録媒体(磁気記録媒体)の製造時には、磁気異方性エネルギーが高い磁性材料を含む磁気記録層を情報記録媒体基板上に形成することが行われる場合がある。このような磁気記録層を形成するためには、通常、高温で成膜が行われるか、または成膜後に高温で熱処理が行われる。このような高温での処理に耐え得る高い耐熱性を有し得る情報記録媒体基板として、本発明の一態様にかかる情報記録媒体基板は好ましい。ただし、本発明の一態様にかかる記録再生装置は、エネルギーアシスト方式の磁気記録再生装置に限定されるものではない。 The recording/reproducing apparatus according to one aspect of the present invention may include at least one of the information recording medium according to one aspect of the present invention and the glass spacer according to one aspect of the present invention. A known technique for the device can be applied. In one aspect, the magnetic head has an energy source (for example, a heat source such as a laser light source, microwaves, etc.) for assisting magnetization reversal (assisting magnetic signal writing), a recording element section, and a reproducing element section. Energy assisted magnetic recording heads can be used. Such an energy-assisted recording type magnetic recording/reproducing apparatus including an energy-assisted magnetic recording head is useful as a magnetic recording/reproducing apparatus having high recording density and high reliability. In addition, when manufacturing an information recording medium (magnetic recording medium) used in a magnetic recording/reproducing apparatus for an energy-assisted recording system such as a heat-assisted recording system equipped with a heat-assisted magnetic recording head having a laser light source or the like, magnetic anisotropic energy In some cases, a magnetic recording layer containing a magnetic material having a high D is formed on an information recording medium substrate. In order to form such a magnetic recording layer, film formation is usually performed at high temperature, or heat treatment is performed at high temperature after film formation. An information recording medium substrate according to one aspect of the present invention is preferable as an information recording medium substrate that can have high heat resistance that can withstand treatment at such high temperatures. However, the recording/reproducing device according to one aspect of the present invention is not limited to the energy-assisted magnetic recording/reproducing device.

以下に、本発明を実施例により更に詳細に説明する。ただし、本発明は実施例に示す態様に限定されるものではない。 EXAMPLES The present invention will be described in more detail below with reference to examples. However, the present invention is not limited to the embodiments shown in the examples.

[ガラスNo.1~No.48]
表1(表1-1~表1-3)に示す組成のガラスが得られるように、酸化物、炭酸塩、硝酸塩、水酸化物等の原料を秤量し、混合して調合原料とした。この調合原料を熔融槽に投入して1400~1600℃の範囲で加熱、熔解して得られた熔融ガラスを、清澄槽において1400~1550℃で6時間保持した後、温度を低下(降温)させて1200~1400℃の範囲に1時間保持してから熔融ガラスを成形して、下記評価のためのガラス(非晶質の酸化物ガラス)を得た。
[Glass No. 1 to No. 48]
Raw materials such as oxides, carbonates, nitrates, hydroxides, etc. were weighed and mixed so as to obtain a glass having the composition shown in Table 1 (Tables 1-1 to 1-3) to obtain a raw material preparation. The raw material to be prepared is put into a melting tank, heated in the range of 1400 to 1600° C., and the molten glass obtained by melting is held at 1400 to 1550° C. for 6 hours in a refining tank, and then the temperature is lowered (cooling down). After holding the temperature in the range of 1200 to 1400° C. for 1 hour, the molten glass was molded to obtain a glass (amorphous oxide glass) for the following evaluation.

[評価方法]
(1)ガラス転移温度(Tg)、平均線膨張係数(α)
各ガラスのガラス転移温度Tgおよび100~300℃における平均線膨張係数αを、熱機械分析装置(TMA;Thermomechanical Analysis)を用いて測定した。
[Evaluation method]
(1) Glass transition temperature (Tg), average linear expansion coefficient (α)
The glass transition temperature Tg and average linear expansion coefficient α at 100 to 300° C. of each glass were measured using a thermomechanical analysis (TMA).

(2)ヤング率
各ガラスのヤング率を超音波法にて測定した。
(2) Young's modulus The Young's modulus of each glass was measured by an ultrasonic method.

(3)比重
各ガラスの比重をアルキメデス法にて測定した。
(3) Specific Gravity The specific gravity of each glass was measured by the Archimedes method.

(4)比弾性率
上記(2)で得られたヤング率および(3)で得られた比重から、比弾性率を算出した。
(4) Specific elastic modulus A specific elastic modulus was calculated from the Young's modulus obtained in (2) above and the specific gravity obtained in (3).

(5)耐水性Dw
各ガラスの粉末法耐水性(Dw)の測定は、日本光学硝子工業会規格に定める粉末法による化学的耐久性(耐水性)の測定方法に基づき、以下の方法によって評価した。
比重に相当する質量の粉末ガラス(粒度425~600μm)を白金かごに入れ、それを純水(pH=6.5~7.5)80mlが入った石英ガラス製丸底フラスコ内に浸漬し、沸騰水浴中で60分間処理し、その減量率(%)を求めた。
(5) Water resistance Dw
The powder method water resistance (Dw) of each glass was evaluated by the following method based on the method for measuring chemical durability (water resistance) by the powder method specified by the Japan Optical Glass Industry Association.
A mass of powdered glass (particle size: 425-600 μm) corresponding to the specific gravity is placed in a platinum basket, which is immersed in a quartz glass round-bottomed flask containing 80 ml of pure water (pH=6.5-7.5), It was treated in a boiling water bath for 60 minutes, and its weight loss rate (%) was determined.

(6)耐酸性Da
各ガラスの粉末法耐酸性(Da)は、粉末法耐水性Dwの測定方法に準じて、以下の方法によって評価した。
比重に相当する質量の粉末ガラス(粒度425~600μm)を白金かごに入れ、それを0.01mol/L硝酸水溶液80mlが入った石英ガラス製丸底フラスコ内に浸漬し、沸騰水浴中で60分間処理し、その減量率(%)を求めた。
(6) Acid resistance Da
The powder method acid resistance (Da) of each glass was evaluated by the following method according to the method for measuring the powder method water resistance Dw.
A mass of powdered glass (particle size: 425-600 μm) corresponding to the specific gravity was placed in a platinum basket, immersed in a quartz glass round-bottomed flask containing 80 ml of a 0.01 mol/L nitric acid aqueous solution, and placed in a boiling water bath for 60 minutes. It was treated and the weight loss rate (%) was determined.

(7)ガラス安定性
各ガラス100gを白金製の坩堝に入れて、炉内温度を1250℃または1200℃に設定した加熱炉内に各坩堝を投入し、炉内温度を維持したまま16時間放置(保持テスト)した。16時間経過後、加熱炉内から坩堝を取り出し、坩堝内のガラスを耐火物上に移して室温まで冷却し、各ガラスの結晶の有無を光学顕微鏡で観察し、以下の基準で評価した。
A:光学顕微鏡で拡大観察(倍率40~100倍)して結晶が確認されない。
B:光学顕微鏡で拡大観察(倍率40~100倍)して結晶が確認されるが、目視観察で結晶が確認されない。
C:目視観察で結晶が確認される。
(7) Glass stability Put 100 g of each glass in a platinum crucible, put each crucible in a heating furnace with the furnace temperature set to 1250 ° C. or 1200 ° C., and leave it for 16 hours while maintaining the furnace temperature. (retention test). After 16 hours, the crucible was removed from the heating furnace, and the glass in the crucible was transferred onto a refractory and cooled to room temperature.
A: Crystals are not observed by magnified observation with an optical microscope (40 to 100 times magnification).
B: Crystals are confirmed by magnified observation (magnification of 40 to 100 times) with an optical microscope, but crystals are not confirmed by visual observation.
C: Crystals are confirmed by visual observation.

(8)液相温度
各ガラスについて、白金製の坩堝にガラス試料(100g)を入れて、炉内温度を所定温度に設定した加熱炉内に各坩堝を投入し、炉内温度を維持したまま16時間放置した。16時間経過後、加熱炉内から坩堝を取り出し、坩堝内のガラスを耐火物上に移して室温まで冷却し、各ガラスの結晶の有無を光学顕微鏡により観察した。光学顕微鏡で拡大観察(倍率40~100倍)して結晶が認められない最低温度を液相温度とした。
液相温度は、耐失透性の指標であり、1250℃以下であることが好ましく、1220℃以下であることがより好ましく、1200℃以下であることが更に好ましい。
(8) Liquidus temperature For each glass, put a glass sample (100 g) in a platinum crucible, put each crucible in a heating furnace with the furnace temperature set to a predetermined temperature, and maintain the furnace temperature. Left for 16 hours. After 16 hours, the crucible was taken out from the heating furnace, the glass in the crucible was transferred onto a refractory and cooled to room temperature, and the presence or absence of crystals in each glass was observed with an optical microscope. The liquidus temperature was defined as the lowest temperature at which crystals were not observed by magnified observation (40 to 100 times magnification) with an optical microscope.
The liquidus temperature is an index of devitrification resistance, and is preferably 1250° C. or lower, more preferably 1220° C. or lower, and even more preferably 1200° C. or lower.

以上の結果を表1(表1-1~表1-3)に示す。 The above results are shown in Table 1 (Tables 1-1 to 1-3).

Figure 0007165655000001
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Figure 0007165655000002
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Figure 0007165655000003
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表1に示す結果から、表1に示す情報記録媒体基板用ガラスは、いずれも高い剛性を有し、低比重であり、かつ化学的耐久性に優れることが確認された。 From the results shown in Table 1, it was confirmed that all of the glasses for information recording medium substrates shown in Table 1 had high rigidity, low specific gravity, and excellent chemical durability.

一方、特許文献1(特開平11-302031号公報)の表1中の実施例2、6、8、9の組成を有するガラスを、上記のNo.1~No.48のガラスの作製と同様の方法で作製を試みたが、失透してしまいガラスを得ることができなかった。 On the other hand, the glasses having the compositions of Examples 2, 6, 8, and 9 in Table 1 of Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 11-302031) were used as No. 1 to No. An attempt was made to produce the glass in the same manner as the glass of No. 48, but the glass was devitrified and the glass could not be obtained.

[情報記録媒体基板の作製]
(1)基板ブランクの作製
次に、下記方法AまたはBにより、円盤状の基板ブランクを作製した。
(方法A)
表1に示す各ガラスについて、清澄、均質化した上述の実施例の熔融ガラスを流出パイプから一定流量で流出するとともにプレス成形用の下型で受け、下型上に所定量の熔融ガラス塊が得られるよう流出した熔融ガラスを切断刃で切断した。そして熔融ガラス塊を載せた下型をパイプ下方から直ちに搬出し、下型と対向する上型および胴型を用いて、直径66mm、厚さ1.2mmの薄肉円盤状にプレス成形した。プレス成形品を変形しない温度にまで冷却した後、型から取り出してアニールし、基板ブランクを得た。なお、上述の成形では複数の下型を用いて流出する熔融ガラスを次々に円盤状の基板ブランクに成形した。
(方法B)
表1に示す各ガラスについて、清澄、均質化した上述の実施例の熔融ガラスを円筒状の貫通孔が設けられた耐熱性鋳型の貫通孔に上部から連続的に鋳込み、円柱状に成形して貫通孔の下側から取り出した。取り出したガラスをアニールした後、マルチワイヤーソーを用いて円柱軸に垂直な方向に一定間隔でガラスをスライス加工し、円盤状の基板ブランクを作製した。
なお、ここでは上述の方法A、Bを採用したが、円盤状の基板ブランクの製造方法としては、下記方法C、Dも好適である。
(方法C)
熔融ガラスをフロートバス上に流し出し、シート状のガラスに成形(フロート法による成形)し、次いでアニールした後にシートガラスから円盤状のガラスをくり貫いて基板ブランクを得ることもできる。
(方法D)
熔融ガラスをオーバーフローダウンドロー法(フュージョン法)によりシート状のガラスに成形、アニールし、次いでシートガラスから円盤状のガラスをくり貫いて基板ブランクを得ることもできる。
[Fabrication of Information Recording Medium Substrate]
(1) Production of Substrate Blank Next, a disk-shaped substrate blank was produced by the method A or B described below.
(Method A)
For each glass shown in Table 1, the clarified and homogenized glass melt of the above-mentioned example was flown out from the outflow pipe at a constant flow rate and received by the lower mold for press molding, and a predetermined amount of glass melt was formed on the lower mold. The resulting molten glass was cut with a cutting blade. Then, the lower die on which the molten glass gob was placed was immediately carried out from below the pipe, and a thin disc having a diameter of 66 mm and a thickness of 1.2 mm was press-molded using the upper die and barrel die facing the lower die. After the press-molded product was cooled to a temperature at which it was not deformed, it was removed from the mold and annealed to obtain a substrate blank. In the molding described above, a plurality of lower molds were used to successively mold the molten glass into disk-shaped substrate blanks.
(Method B)
For each glass shown in Table 1, the clarified and homogenized molten glass of the above example was continuously cast from above into the through-hole of a heat-resistant mold provided with a cylindrical through-hole, and formed into a cylindrical shape. It was taken out from the lower side of the through hole. After the glass was taken out and annealed, the glass was sliced at regular intervals in a direction perpendicular to the cylinder axis using a multi-wire saw to produce a disk-shaped substrate blank.
Although the above-described methods A and B are employed here, the following methods C and D are also suitable as a method for manufacturing a disk-shaped substrate blank.
(Method C)
A substrate blank can also be obtained by pouring molten glass onto a float bath, forming it into a sheet-like glass (forming by a float method), then annealing it, and hollowing out a disk-like glass from the sheet glass.
(Method D)
A substrate blank can also be obtained by forming molten glass into a sheet-like glass by an overflow down-draw method (fusion method), annealing it, and then hollowing out a disk-like glass from the sheet glass.

(2)ガラス基板の作製
上述の各方法で得られた基板ブランクの中心に貫通孔をあけて、外周、内周の研削加工を行い、円盤の主表面をラッピング、ポリッシング(鏡面研磨加工)して直径65mm、厚さ0.8mmの磁気ディスク用ガラス基板に仕上げた。得られたガラス基板は、1.7質量%の珪弗酸(H2SiF)水溶液、次いで、1質量%の水酸化カリウム水溶液を用いて洗浄し、次いで純水ですすいだ後に乾燥させた。表1に示す各ガラスから作製した基板の表面を拡大観察したところ、表面粗れは認められず、平滑な表面であった。
(2) Fabrication of glass substrate A through hole is made in the center of the substrate blank obtained by each of the above methods, the outer and inner circumferences are ground, and the main surface of the disk is lapped and polished (mirror polishing). A glass substrate for a magnetic disk having a diameter of 65 mm and a thickness of 0.8 mm was finished. The obtained glass substrate was washed with a 1.7% by mass aqueous hydrosilicic acid (H 2 SiF) solution and then with a 1% by mass aqueous potassium hydroxide solution, then rinsed with pure water and dried. When the surface of the substrate produced from each glass shown in Table 1 was observed under magnification, no surface roughness was observed and the surface was smooth.

[情報記録媒体(磁気ディスク)の作製]
以下の方法により、表1に示す各ガラスから得られたガラス基板の主表面上に、付着層、下地層、磁気記録層、保護層、潤滑層をこの順に形成し、磁気ディスクを得た。
[Production of information recording medium (magnetic disk)]
An adhesive layer, an underlayer, a magnetic recording layer, a protective layer and a lubricating layer were formed in this order on the main surface of a glass substrate obtained from each glass shown in Table 1 by the following method to obtain a magnetic disk.

まず、真空引きを行った成膜装置を用いて、DCマグネトロンスパッタリング法にて、Ar雰囲気中で、付着層、下地層および磁気記録層を順次成膜した。 First, an adhesion layer, an underlayer and a magnetic recording layer were sequentially formed in an Ar atmosphere by a DC magnetron sputtering method using an evacuated film forming apparatus.

このとき、付着層は、厚さ20nmのアモルファスCrTi層となるように、CrTiターゲットを用いて成膜した。続いて枚葉・静止対向型成膜装置を用いて、Ar雰囲気中で、DCマグネトロンスパッタリング法にて下地層としてCrRuからなる10nm厚の層を形成した。また、磁気記録層は、酸化クロムを含有するCoCrPtからなる硬磁性体のターゲットを用いて成膜温度400℃にて成膜した。 At this time, the deposition layer was formed using a CrTi target so as to be an amorphous CrTi layer with a thickness of 20 nm. Subsequently, a 10 nm-thick layer made of CrRu was formed as an underlayer by a DC magnetron sputtering method in an Ar atmosphere using a single-wafer/static facing type deposition apparatus. The magnetic recording layer was formed at a film forming temperature of 400° C. using a hard magnetic target made of CoCrPt containing chromium oxide.

続いて、エチレンを材料ガスとしたCVD法により水素化カーボンからなる保護層を3nm形成した。この後、PFPE(パーフロロポリエーテル)を用いてなる潤滑層をディップコート法により形成した。潤滑層の膜厚は1nmであった。
以上の製造工程により、磁気ディスクを得た。得られた磁気ディスクを、DFH機構を備えたハードディスクドライブ(フライングハイト:8nm)に搭載し、磁気ディスクの主表面上の記録用領域に、1平方インチあたり20ギガビットの記録密度で磁気信号を記録したところ、磁気ヘッドと磁気ディスク表面が衝突する現象(ヘッドクラッシュ)は確認されなかった。
Subsequently, a protective layer made of hydrogenated carbon was formed to a thickness of 3 nm by a CVD method using ethylene as a material gas. After that, a lubricating layer using PFPE (perfluoropolyether) was formed by a dip coating method. The film thickness of the lubricating layer was 1 nm.
A magnetic disk was obtained through the above manufacturing process. The obtained magnetic disk is mounted on a hard disk drive (flying height: 8 nm) equipped with a DFH mechanism, and a magnetic signal is recorded in the recording area on the main surface of the magnetic disk at a recording density of 20 gigabits per square inch. As a result, no phenomenon of collision between the magnetic head and the surface of the magnetic disk (head crash) was confirmed.

本発明の一態様によれば、高密度記録化に最適な情報記録媒体を提供することができる。 According to one aspect of the present invention, it is possible to provide an optimum information recording medium for high-density recording.

最後に、前述の各態様を総括する。 Finally, each aspect described above is summarized.

一態様によれば、モル%表示にて、SiO含有量が55~68%、B含有量が0~5%、Al含有量が1~14%、MgO含有量が8~23%、CaO含有量が1~10%、LiO含有量が5~18%、LiO、NaOおよびKOの合計含有量が5~18%、ZrO、TiO、BaO、SrOおよび希土類酸化物の合計含有量が0~5%、LiOとMgOとの合計含有量が20~32%、アルカリ金属酸化物とアルカリ土類金属酸化物との合計含有量に対するLiOとMgOとの合計含有量のモル比{(LiO+MgO)/(アルカリ金属酸化物+アルカリ土類金属酸化物)}が0.60~0.95、アルカリ金属酸化物の合計含有量に対するSiO含有量のモル比(SiO/アルカリ金属酸化物)が3~13であり、ヤング率が86GPa以上かつ比重が2.75以下の非晶質ガラスである情報記録媒体基板用ガラスが提供される。According to one embodiment, in mole %, the SiO 2 content is 55-68%, the B 2 O 3 content is 0-5%, the Al 2 O 3 content is 1-14%, and the MgO content is 8-23%, CaO content 1-10%, Li 2 O content 5-18%, total content of Li 2 O, Na 2 O and K 2 O 5-18%, ZrO 2 , TiO 2 , the total content of BaO, SrO and rare earth oxides is 0-5%, the total content of Li 2 O and MgO is 20-32%, the total content of alkali metal oxides and alkaline earth metal oxides The molar ratio of the total content of Li 2 O and MgO to the amount {(Li 2 O + MgO) / (alkali metal oxide + alkaline earth metal oxide)} is 0.60 to 0.95, and the amount of alkali metal oxide is An information recording medium substrate which is an amorphous glass having a molar ratio of SiO 2 content to the total content (SiO 2 /alkali metal oxide) of 3 to 13, a Young's modulus of 86 GPa or more, and a specific gravity of 2.75 or less. glass is provided.

上記ガラスは、高い剛性を有し、比重が低く、かつ優れた化学的耐久性を示すことができる。 The glasses have high stiffness, low specific gravity, and can exhibit excellent chemical durability.

一態様では、上記ガラスのAlとZrOとの合計含有量に対するSiOとCaOとの合計含有量のモル比{(SiO+CaO)/(Al+ZrO)}は、5.0~25.0の範囲であることができる。In one aspect, the molar ratio of the total content of SiO 2 and CaO to the total content of Al 2 O 3 and ZrO 2 in the glass {(SiO 2 +CaO)/(Al 2 O 3 +ZrO 2 )} is It can range from 5.0 to 25.0.

一態様では、上記ガラスのMgOとCaOとの合計含有量は、15~35%の範囲であることができる。 In one aspect, the total content of MgO and CaO in the glass can range from 15 to 35%.

一態様では、上記ガラスのCaO含有量に対するMgO含有量のモル比(MgO/CaO)は、1.0~20.0の範囲であることができる。 In one aspect, the molar ratio of MgO content to CaO content (MgO/CaO) of the glass can range from 1.0 to 20.0.

一態様では、上記ガラスのアルカリ土類金属酸化物の合計含有量に対するMgO含有量のモル比(MgO/アルカリ土類金属酸化物)は、0.5以上であることができる。 In one aspect, the molar ratio of the MgO content to the total alkaline earth metal oxide content of the glass (MgO/alkaline earth metal oxide) can be 0.5 or more.

一態様では、上記ガラスのLiOおよびNaOとの合計含有量に対するAl含有量のモル比{Al/(LiO+NaO)}は、0.25~1.25の範囲であることができる。In one aspect, the molar ratio of Al 2 O 3 content to the total content of Li 2 O and Na 2 O in the glass {Al 2 O 3 /(Li 2 O+Na 2 O)} is 0.25 to 1 can be in the range of .25.

一態様では、上記ガラスのTiO含有量は、0~5%の範囲であることができる。In one aspect, the TiO 2 content of the glass can range from 0 to 5%.

一態様では、上記ガラスのZrO含有量は、0~3モル%の範囲であることができる。In one aspect, the ZrO 2 content of the glass can range from 0 to 3 mol %.

一態様では、上記ガラスのSiO含有量は、58~65モル%の範囲であることができる。In one aspect, the SiO 2 content of the glass can range from 58 to 65 mol %.

一態様では、上記ガラスの比弾性率は、33MNm/kg以上であることができる。 In one aspect, the glass may have a specific elastic modulus of 33 MNm/kg or more.

一態様によれば、上記情報記録媒体からなる情報記録媒体基板が提供される。 According to one aspect, an information recording medium substrate comprising the above information recording medium is provided.

一態様によれば、上記情報記録媒体基板上に情報記録層を有する情報記録媒体が提供される。 According to one aspect, there is provided an information recording medium having an information recording layer on the information recording medium substrate.

一態様によれば、モル%表示にて、SiO含有量が55~68%、B含有量が0~5%、Al含有量が1~14%、MgO含有量が8~23%、CaO含有量が1~10%、LiO含有量が5~18%、LiO、NaOおよびKOの合計含有量が5~18%、ZrO、TiO、BaO、SrOおよび希土類酸化物の合計含有量が0~5%、LiOとMgOとの合計含有量が20~32%、アルカリ金属酸化物とアルカリ土類金属酸化物との合計含有量に対するLiOとMgOとの合計含有量のモル比{(LiO+MgO)/(アルカリ金属酸化物+アルカリ土類金属酸化物)}が0.60~0.95、アルカリ金属酸化物の合計含有量に対するSiO含有量のモル比(SiO/アルカリ金属酸化物)が3~13であり、ヤング率が86GPa以上かつ比重が2.75以下の非晶質ガラスを含む記録再生装置用ガラススペーサが提供される。According to one embodiment, in mole %, the SiO 2 content is 55-68%, the B 2 O 3 content is 0-5%, the Al 2 O 3 content is 1-14%, and the MgO content is 8-23%, CaO content 1-10%, Li 2 O content 5-18%, total content of Li 2 O, Na 2 O and K 2 O 5-18%, ZrO 2 , TiO 2 , the total content of BaO, SrO and rare earth oxides is 0-5%, the total content of Li 2 O and MgO is 20-32%, the total content of alkali metal oxides and alkaline earth metal oxides The molar ratio of the total content of Li 2 O and MgO to the amount {(Li 2 O + MgO) / (alkali metal oxide + alkaline earth metal oxide)} is 0.60 to 0.95, and the amount of alkali metal oxide is A recording/reproducing device containing amorphous glass having a molar ratio of SiO 2 content to the total content (SiO 2 /alkali metal oxide) of 3 to 13, a Young's modulus of 86 GPa or more, and a specific gravity of 2.75 or less. A glass spacer is provided.

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
例えば、上記に例示されたガラス組成に対し、明細書に記載の組成調整を行うことにより、本発明の一態様にかかる情報記録媒体基板用ガラスを作製することができる。
また、明細書に例示または好ましい範囲として記載した事項の2つ以上を任意に組み合わせることは、もちろん可能である。
It should be considered that the embodiments disclosed this time are illustrative in all respects and not restrictive. The scope of the present invention is indicated by the scope of the claims rather than the above description, and is intended to include all changes within the scope and meaning equivalent to the scope of the claims.
For example, the glass for information recording medium substrate according to one aspect of the present invention can be produced by adjusting the composition described in the specification with respect to the glass composition exemplified above.
In addition, it is of course possible to arbitrarily combine two or more of the matters described as examples or preferred ranges in the specification.

Claims (13)

モル%表示にて、
SiO含有量が55~68%、
含有量が0~5%、
Al含有量が1~14%、
MgO含有量が8~23%、
CaO含有量が1~10%、
LiO含有量が5~18%、
LiO、NaOおよびKOの合計含有量が5~18%、
ZrO、TiO、BaO、SrOおよび希土類酸化物の合計含有量が0~5%、
LiOとMgOとの合計含有量が20~32%、
アルカリ金属酸化物とアルカリ土類金属酸化物との合計含有量に対するLiOとMgOとの合計含有量のモル比{(LiO+MgO)/(アルカリ金属酸化物+アルカリ土類金属酸化物)}が0.60~0.95、
アルカリ金属酸化物の合計含有量に対するSiO含有量のモル比(SiO/アルカリ金属酸化物)が3~13、
CaO含有量に対するMgO含有量のモル比(MgO/CaO)が1.0~6.0、
Li OおよびNa Oとの合計含有量に対するAl 含有量のモル比{Al /(Li O+Na O)}が0.25~1.25、
であり、
ヤング率が86GPa以上かつ比重が2.75以下の非晶質ガラスである情報記録媒体基板用または記録再生装置用ガラススペーサ用のガラス。
In mol% display,
SiO2 content of 55-68%,
a B 2 O 3 content of 0-5%,
an Al 2 O 3 content of 1-14%,
MgO content is 8-23%,
CaO content of 1 to 10%,
a Li 2 O content of 5 to 18%;
a total content of Li 2 O, Na 2 O and K 2 O of 5 to 18%;
a total content of ZrO 2 , TiO 2 , BaO, SrO and rare earth oxides of 0 to 5%;
a total content of Li 2 O and MgO of 20 to 32%;
Molar ratio of total content of Li 2 O and MgO to total content of alkali metal oxide and alkaline earth metal oxide {(Li 2 O + MgO)/(alkali metal oxide + alkaline earth metal oxide) } is 0.60 to 0.95,
the molar ratio of the SiO 2 content to the total alkali metal oxide content (SiO 2 /alkali metal oxide) is 3 to 13;
The molar ratio of MgO content to CaO content (MgO/CaO) is 1.0 to 6.0,
the molar ratio of Al 2 O 3 content to the total content of Li 2 O and Na 2 O {Al 2 O 3 /(Li 2 O + Na 2 O)} is 0.25 to 1.25;
and
Glass for information recording medium substrates or glass spacers for recording/reproducing devices, which is amorphous glass having a Young's modulus of 86 GPa or more and a specific gravity of 2.75 or less.
モル%表示にて、In mol% display,
SiOSiO 2 含有量が58~65%、content of 58-65%,
B. 2 O. 3 含有量が0~5%、content of 0 to 5%,
AlAl 2 O. 3 含有量が1~14%、a content of 1 to 14%,
MgO含有量が8~23%、MgO content is 8-23%,
CaO含有量が1~10%、CaO content of 1 to 10%,
LiLi 2 O含有量が5~18%、O content is 5 to 18%,
LiLi 2 O、NaO, Na 2 OおよびKO and K 2 Oの合計含有量が5~18%、The total content of O is 5 to 18%,
ZrOZrO 2 、TiO, TiO 2 、BaO、SrOおよび希土類酸化物の合計含有量が0~5%、, BaO, SrO and a total content of rare earth oxides of 0 to 5%,
LiLi 2 OとMgOとの合計含有量が20~32%、The total content of O and MgO is 20 to 32%,
アルカリ金属酸化物とアルカリ土類金属酸化物との合計含有量に対するLiLi relative to the total content of alkali metal oxides and alkaline earth metal oxides 2 OとMgOとの合計含有量のモル比{(LiThe molar ratio of the total content of O and MgO {(Li 2 O+MgO)/(アルカリ金属酸化物+アルカリ土類金属酸化物)}が0.60~0.95、O + MgO) / (alkali metal oxide + alkaline earth metal oxide)} is 0.60 to 0.95,
アルカリ金属酸化物の合計含有量に対するSiOSiO relative to the total content of alkali metal oxides 2 含有量のモル比(SiOContent molar ratio (SiO 2 /アルカリ金属酸化物)が3~13、/ alkali metal oxide) is 3 to 13,
LiLi 2 OおよびNaO and Na 2 Oとの合計含有量に対するAlAl to total content with O 2 O. 3 含有量のモル比{AlContent molar ratio {Al 2 O. 3 /(Li/(Li 2 O+NaO+Na 2 O)}が0.25~1.25、O)} is 0.25 to 1.25,
であり、and
ヤング率が86GPa以上かつ比重が2.75以下の非晶質ガラスである情報記録媒体基板用または記録再生装置用ガラススペーサ用のガラス。Glass for information recording medium substrates or glass spacers for recording/reproducing devices, which is amorphous glass having a Young's modulus of 86 GPa or more and a specific gravity of 2.75 or less.
CaO含有量に対するMgO含有量のモル比(MgO/CaO)が1.0~6.0の範囲である、請求項2に記載のガラス。3. The glass of claim 2, wherein the molar ratio of MgO content to CaO content (MgO/CaO) is in the range of 1.0 to 6.0. AlとZrOとの合計含有量に対するSiOとCaOとの合計含有量のモル比{(SiO+CaO)/(Al+ZrO)}が5.0~25.0の範囲である、請求項1~3のいずれか1項に記載のガラス。 The molar ratio of the total content of SiO 2 and CaO to the total content of Al 2 O 3 and ZrO 2 {(SiO 2 +CaO)/(Al 2 O 3 +ZrO 2 )} is 5.0 to 25.0. The glass according to any one of claims 1 to 3 , which is in the range of MgOとCaOとの合計含有量が15~35%の範囲である、請求項1~4のいずれか1項に記載のガラス。 A glass according to any one of claims 1 to 4, wherein the total content of MgO and CaO is in the range 15-35%. アルカリ土類金属酸化物の合計含有量に対するMgO含有量のモル比(MgO/アルカリ土類金属酸化物)が0.5以上である、請求項1~のいずれか1項に記載のガラス。 The glass according to any one of claims 1 to 5 , wherein the molar ratio of MgO content to the total content of alkaline earth metal oxides (MgO/alkaline earth metal oxides) is 0.5 or more. . TiO含有量が0~5%の範囲である、請求項1~6のいずれか1項に記載のガラス。 A glass according to any one of the preceding claims, wherein the TiO 2 content is in the range 0-5%. ZrO含有量が0~3モル%の範囲である、請求項1~7のいずれか1項記載のガラス。 Glass according to any one of the preceding claims, wherein the ZrO 2 content is in the range from 0 to 3 mol%. 比弾性率が33MNm/kg以上である、請求項1~のいずれか1項に記載のガラス。 The glass according to any one of claims 1 to 8 , which has a specific elastic modulus of 33 MNm/kg or more. 請求項1~のいずれか1項に記載のガラスからなる情報記録媒体基板。 An information recording medium substrate made of the glass according to any one of claims 1 to 9 . 請求項1に記載の情報記録媒体基板上に情報記録層を有する情報記録媒体。 11. An information recording medium having an information recording layer on the information recording medium substrate according to claim 10. 請求項1~のいずれか1項に記載のガラスを含む記録再生装置用ガラススペーサ。 A glass spacer for a recording/reproducing device, comprising the glass according to any one of claims 1 to 9 . 請求項1に記載の情報記録媒体および
請求項1に記載のガラススペーサ、
の少なくとも一方を含む記録再生装置。
The information recording medium according to claim 11 , and the glass spacer according to claim 12 ,
A recording/reproducing device including at least one of
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