JP3020702B2 - Measuring device inspection method, ultrasonic inspection device inspection method, and electronic scanning ultrasonic inspection device - Google Patents
Measuring device inspection method, ultrasonic inspection device inspection method, and electronic scanning ultrasonic inspection deviceInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、複数のセンサで得られ
た検出信号を受信部で受信する構成の計測装置につい
て、そのセンサおよび受信部を検査するための方法およ
びこの方法が適用される電子走査式超音波検査装置に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a measuring device configured to receive detection signals obtained by a plurality of sensors at a receiving section, and a method for inspecting the sensors and the receiving section, and this method is applied. The present invention relates to an electronic scanning ultrasonic inspection apparatus.
【０００２】[0002]
【従来の技術】この種の計測装置は広く知られており、
たとえば、医療および工業分野で利用され、多数の超音
波振動子を電子的に走査して超音波画像を得る超音波検
査装置や、ロボットのハンド部に設けられてこのハンド
部に作用する力、モーメントを検出する（６軸）力セン
サシステム等がある。2. Description of the Related Art This type of measuring device is widely known.
For example, it is used in the medical and industrial fields, an ultrasonic inspection apparatus that electronically scans a large number of ultrasonic transducers to obtain an ultrasonic image, a force provided on a hand part of a robot and acting on this hand part, There is a (6-axis) force sensor system that detects moment.
【０００３】上述の超音波検査（診断）装置は、例えば
図１に示すように、超音波の送受信を行うアレイプロー
ブ１と、このアレイプローブ１から得られた信号に基づ
いて２次元画像を得る装置本体部２とを備えている。ア
レイプローブ１は、アレイプローブ１から延出するケ−
ブル３の一端に設けられたプラグ４Ｐを装置本体部２の
レセプタクル４Ｒに差し込むことにより装置本体部２に
接続される。プラグ４Ｐおよびレセプタクル４Ｒはそれ
ぞれ多数の端子を有しており、全体として多芯コネクタ
４を構成している。The above-described ultrasonic inspection (diagnosis) apparatus, for example, as shown in FIG. 1, obtains an array probe 1 for transmitting and receiving ultrasonic waves, and obtains a two-dimensional image based on signals obtained from the array probe 1. The apparatus main body 2 is provided. The array probe 1 has a case extending from the array probe 1.
The plug 4P provided at one end of the cable 3 is inserted into the receptacle 4R of the apparatus main body 2 to be connected to the apparatus main body 2. Each of the plug 4P and the receptacle 4R has a large number of terminals, and constitutes the multi-core connector 4 as a whole.
【０００４】アレイプローブ１は、例えば図１に示すよ
うに、多数の超音波振動子（図示の例ではＡ1〜Ａ64の
計64個）を一直線状に（１次元的に）配列した超音波振
動子列（アレイ）５を備え、個々の超音波振動子Ａ1〜
Ａ64は、ケ−ブル３を構成する64本の細い同軸ケ−ブル
により、プラグ４Ｐおよびレセプタクル４Ｒの各端子を
介して装置本体部２内の送受信回路ＰＲ（図８参照）に
それぞれ接続される。このとき、プラグ４Ｐを誤って逆
向き（180°回転した状態）に挿入することのないよ
う、通常はノッチを設けるなどの構造上の対策がとられ
ている。As shown in FIG. 1, for example, an array probe 1 is a supersonic array in which a number of ultrasonic transducers (in the illustrated example, 64 in total from A 1 to A 64 ) are arranged in a straight line (one-dimensionally). An ultrasonic transducer array (array) 5 is provided, and each ultrasonic transducer A 1-
A 64 is connected to the transmission / reception circuit PR (see FIG. 8) in the apparatus main body 2 via the plug 4P and each terminal of the receptacle 4R by 64 thin coaxial cables constituting the cable 3. You. At this time, in order to prevent the plug 4P from being erroneously inserted in the opposite direction (rotated by 180 °), a structural measure such as providing a notch is usually taken.
【０００５】装置本体部２内に設けられた送受信回路Ｐ
Ｒは、図８に示すように、パルサー回路Ｐおよびレシー
バ回路Ｒを備え、超音波振動子列５の各振動子Ａ1〜Ａ
64のそれぞれに対応して１個ずつ（図示の例ではＰＲ1
〜ＰＲ64の計64個）設けられている。パルサー回路Ｐ
は、超音波振動子Ａ1〜Ａ64にパルス信号を送出してこ
の超音波振動子Ａ1〜Ａ64を励振し、超音波を送信させ
る。また、レシーバ回路Ｒは、超音波振動子Ａ1〜Ａ64
で受信され、電圧に変換された超音波微弱信号を増幅
し、装置本体部２内の次段回路にこれを送出する。そし
て、装置本体部２内に設けられた電子走査回路（図示
略）により動作させるパルサー回路Ｐ、レシーバ回路Ｒ
を順次選択することにより、アレイプローブ１から送信
される超音波ビームが電子的に走査される。A transmitting / receiving circuit P provided in the apparatus main body 2
R includes a pulsar circuit P and a receiver circuit R as shown in FIG. 8, and each of the transducers A 1 to A of the ultrasonic transducer row 5.
64 (one in the example shown, PR 1
~ PR 64 in total). Pulsar circuit P
Sends out a pulse signal to the ultrasonic transducer A 1 to A 64 to excite the ultrasonic transducer A 1 to A 64, to transmit the ultrasonic waves. Further, the receiver circuit R includes the ultrasonic transducers A 1 to A 64
, And amplifies the weak ultrasonic signal converted into a voltage, and sends the amplified signal to the next stage circuit in the apparatus main body 2. A pulser circuit P and a receiver circuit R are operated by an electronic scanning circuit (not shown) provided in the apparatus main body 2.
Are sequentially selected, the ultrasonic beam transmitted from the array probe 1 is electronically scanned.
【０００６】これら送受信回路ＰＲ（パルサー回路Ｐお
よびレシーバ回路Ｒ）は超音波振動子列５を構成する振
動子Ａ1〜Ａ64の数だけ必要とされるので、電子走査範
囲等の関係で超音波振動子Ａの数を増やせばこれに従っ
て送受信回路ＰＲの数も増加し、場合によっては200〜3
00チャンネル程度の回路規模になる。これに対して、送
受信回路ＰＲ以外の回路（例えば電子走査回路、電子集
束回路等）は振動子Ａの数に関係なく、通常１回路で構
成される。The transmitting and receiving circuits PR (pulsar circuit P and receiver circuit R) are required by the number of transducers A 1 to A 64 constituting the ultrasonic transducer row 5. Increasing the number of acoustic transducers A increases the number of transmitting / receiving circuits PR accordingly, and in some cases, 200 to 3
The circuit scale becomes about 00 channels. On the other hand, circuits other than the transmission / reception circuit PR (for example, an electronic scanning circuit, an electronic focusing circuit, and the like) are generally configured as one circuit regardless of the number of the transducers A.
【０００７】上述の装置において、例えば図９に示すよ
うな被検体６の上にアレイプローブ１を置くと、装置本
体部２のモニタ７には図１０に示すような画像（Ｂスコ
−プ画像）が表示される。この被検体６には、内部欠陥
を模擬した３つの横穴６Ａ〜６Ｃが設けられており、図
１０に示すようにモニタ７上でこれら横穴６Ａ〜６Ｃの
存在が確認できる。In the above-described apparatus, when the array probe 1 is placed on the subject 6 as shown in FIG. 9, for example, an image (B-scope image) shown in FIG. ) Is displayed. The subject 6 is provided with three lateral holes 6A to 6C simulating internal defects, and the presence of these lateral holes 6A to 6C can be confirmed on the monitor 7 as shown in FIG.
【０００８】なお、図１に示す超音波検査装置はキーボ
ード８を備え、このキーボード８から各種英文字、日本
語のキャラクタが入力可能とされているとともに、キー
ボード８から入力されたキャラクタ、および装置本体部
２の内部状態等を示すキャラクタがモニタ７に表示可能
とされている。The ultrasonic inspection apparatus shown in FIG. 1 is provided with a keyboard 8 from which various English characters and Japanese characters can be input. The ultrasonic inspection apparatus shown in FIG. Characters indicating the internal state of the main body 2 and the like can be displayed on the monitor 7.
【０００９】一方、上述の６軸力センサシステムは、図
１４に示すように、例えば多関節形ロボット５０の先端
部であるハンド部５１およびアーム部５２の間に介装さ
れた６軸力センサ５３と、この６軸力センサ５３からの
検出信号が入力される不図示の演算ユニットとを備えて
いる。６軸力センサ５３は、図１４に示すように、直交
座標系の３軸（Ｘ、Ｙ、Ｚ軸）方向の力（Ｆｘ，Ｆｙ，
Ｆｚ）およびこれら３軸回りのモーメント（Ｍｘ，Ｍ
ｙ，Ｍｚ）を同時にかつ独立に測定可能とされている。On the other hand, as shown in FIG. 14, the above-described six-axis force sensor system is, for example, a six-axis force sensor interposed between a hand part 51 and an arm part 52 at the tip of an articulated robot 50. 53 and an arithmetic unit (not shown) to which a detection signal from the six-axis force sensor 53 is input. As shown in FIG. 14, the six-axis force sensor 53 is configured to output forces (Fx, Fy, and Fx) in directions of three axes (X, Y, and Z axes) in a rectangular coordinate system.
Fz) and moments about these three axes (Mx, Mx
y, Mz) can be measured simultaneously and independently.
【００１０】６軸力センサ５３による力学量の検出方法
の一例について説明する。この６軸力センサ５３には、
各力学量（力、モーメント）に対応して歪ゲージが４枚
づつ備えられている。図１５(ａ)に示すように、力セン
サ５３の構造部５５に図示のごとく４枚の歪ゲージ５４
Ａ〜５４Ｄが貼付された状態でこの構造部５５に力Ｆが
作用すると、歪ゲージ５４Ａ、５４Ｃには伸張力が作用
し、歪ゲージ５４Ｂ、５４Ｄには収縮力が作用する。従
って、図１５(ｂ)に示すように、これら歪ゲージ５４Ａ
〜５４Ｄによりホイートストンブリッジ５６を構成し、
このホイートストンブリッジ５６からの出力電圧を検出
すれば力Ｆを測定することができる。An example of a method of detecting a dynamic quantity by the six-axis force sensor 53 will be described. The six-axis force sensor 53 includes:
Four strain gauges are provided for each mechanical quantity (force, moment). As shown in FIG. 15A, four strain gauges 54 are provided on the structure 55 of the force sensor 53 as shown in FIG.
When a force F acts on the structural part 55 in a state where A to 54D are stuck, an extension force acts on the strain gauges 54A and 54C, and a contraction force acts on the strain gauges 54B and 54D. Therefore, as shown in FIG.
Configure a Wheatstone bridge 56 with ~ 54D,
If the output voltage from the Wheatstone bridge 56 is detected, the force F can be measured.
【００１１】このように、６軸力センサ５３には６個の
ブリッジ回路が設けられるとともに、ブリッジ回路から
の出力電圧を受信する受信部がこのブリッジ回路毎に設
けられ、さらに各ブリッジ回路に基準電圧を供給する電
源供給部が共通に設けられる。これら受信部および電源
供給部は上述の演算ユニット内に設けられており、６軸
力センサ５３と演算ユニットとの間は不図示のケーブル
を介して接続されている。As described above, the six-axis force sensor 53 is provided with the six bridge circuits, and the receiving section for receiving the output voltage from the bridge circuits is provided for each of the bridge circuits. A power supply unit for supplying a voltage is provided in common. The receiving unit and the power supply unit are provided in the above-described arithmetic unit, and the 6-axis force sensor 53 and the arithmetic unit are connected via a cable (not shown).
【００１２】ところで、上述のアレイプローブ１や６軸
力センサ５３は測定すべき被検体やハンド部５１に接近
（多くの場合は接触）した状態で使用されることが多
く、この被検体等からの不慮の衝撃（接触、衝突など）
等によって振動子Ａや歪ゲージ５４が破損する事態が起
り得るので、適宜これを検査する必要がある。特に、送
受信回路ＰＲを含めた振動子Ａや受信部を含めたブリッ
ジ回路そのものは各々独立した回路であるので、振動子
Ａ、ブリッジ回路単位で検査を行うことが好ましい。以
下、超音波検査装置における検査方法を例にとって説明
を進める。The above-described array probe 1 and the six-axis force sensor 53 are often used in a state of being close to (in many cases, in contact with) the subject to be measured or the hand unit 51. Accidental impact (contact, collision, etc.)
The vibrator A and the strain gauge 54 may be damaged due to the above-mentioned conditions, and it is necessary to inspect the state appropriately. In particular, since the vibrator A including the transmitting / receiving circuit PR and the bridge circuit itself including the receiving unit are independent circuits, it is preferable to perform the test for each vibrator A and bridge circuit. Hereinafter, description will be made by taking an inspection method in the ultrasonic inspection apparatus as an example.
【００１３】従来、アレイプローブ１を検査する方法と
しては、基準となる被検体（例えば金属板）に検査すべ
きアレイプローブ１を相対向して配置し、この状態で１
つの送受信回路ＰＲおよび超音波振動子Ａのみを動作さ
せてこのときの受信強度（エコーレベル）を記憶し、こ
れを各チャンネル毎に順次行ってチャンネル単位の検査
を行うような方法があった。図３は検査結果の一例を示
す図である。Conventionally, as a method of inspecting an array probe 1, an array probe 1 to be inspected is arranged opposite to a reference subject (for example, a metal plate), and the array probe 1 is placed in this state.
There has been a method in which only one transmission / reception circuit PR and the ultrasonic transducer A are operated to store the reception intensity (echo level) at this time, and this is sequentially performed for each channel to perform an inspection for each channel. FIG. 3 is a diagram illustrating an example of the inspection result.
【００１４】図３に示すように、各チャンネルのエコー
レベルは、超音波振動子Ａ、送受信回路ＰＲ（パルサー
回路Ｐ、レシーバ回路Ｒ）の特性の変動範囲内において
ばらつきを生じるが、振動子Ａそのものが破損すれば超
音波の送受信が行われず、エコーレベルが大きく低下す
るのでこれを判別することができる。そこで、振動子Ａ
の合否判定を行うための閾値Ｖ0を設け、エコーレベル
がこの閾値Ｖ0を下回るチャンネル（図３に示す例では1
9チャンネル）についてはその振動子Ａが破損したもの
と判定することができる。As shown in FIG. 3, the echo level of each channel varies within the fluctuation range of the characteristics of the ultrasonic transducer A and the transmission / reception circuit PR (pulsar circuit P, receiver circuit R). If the device itself is damaged, transmission and reception of ultrasonic waves are not performed, and the echo level is greatly reduced. This can be determined. Therefore, the vibrator A
A threshold value V 0 for performing pass / fail determination of a channel is provided, and a channel whose echo level is lower than the threshold value V 0 (1 in the example shown in FIG. 3).
With respect to (9 channels), it can be determined that the vibrator A is damaged.
【００１５】[0015]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のアレイプローブ検査方法にあっては、送受信回
路ＰＲが正常に動作していることを前提として検査を行
っているので、この検査方法のみでは厳密な不良箇所の
特定ができない、という問題があった。すなわち、該当
チャンネルの送受信回路ＰＲが故障すれば、振動子Ａ自
体は破損していなくとも振動子Ａが破損した場合と同様
の結果が得られるため、エコーレベルの低下のみをもっ
て振動子Ａ破損と断定することは困難である。However, in the conventional array probe inspection method described above, the inspection is performed on the assumption that the transmission / reception circuit PR is operating normally. There was a problem that it was not possible to specify a strictly defective portion. That is, if the transmission / reception circuit PR of the corresponding channel breaks down, the same result as in the case where the oscillator A is damaged can be obtained even if the oscillator A itself is not damaged. It is difficult to determine.
【００１６】そこで、前もって検査済の同一使用のアレ
イプローブ１を再度接続したり、あるいは、装置本体部
２を分解して送受信回路ＰＲを直接検査する等の手段に
より送受信回路ＰＲを単体で検査することが行われてい
た。しかしながら、超音波検査装置がインライン状態で
工程内に組み込まれている場合等は、不良箇所を迅速に
判定し、これに対処することが望まれるため、上述の検
査方法をそのまま適用するには迅速性、簡易性等の面で
問題があった。Therefore, the transmission / reception circuit PR is inspected as a single unit by reconnecting the array probe 1 of the same use which has been inspected in advance, or disassembling the apparatus main body 2 and directly inspecting the transmission / reception circuit PR. That was being done. However, when an ultrasonic inspection apparatus is incorporated in a process in an in-line state, it is desired to quickly determine a defective portion and to deal with the defect. There was a problem in terms of ease and simplicity.
【００１７】本発明の目的は、センサおよび受信部の不
良箇所を迅速にかつ簡易に判定することの可能な計測装
置の検査方法およびこの方法が適用される電子走査式超
音波検査装置を提供することにある。An object of the present invention is to provide a method of inspecting a measuring apparatus capable of quickly and easily determining a defective portion of a sensor and a receiving section, and an electronic scanning ultrasonic inspection apparatus to which the method is applied. It is in.
【００１８】[0018]
【課題を解決するための手段】一実施例を示す図１、図
５、図６および図１６に対応付けて説明すると、本発明
のうち請求項１の発明は、複数のセンサ（例えば超音波
振動子Ａ1〜Ａ64）と、これらセンサＡ1〜Ａ64のそれぞ
れに対応して着脱可能に設けられた複数の接続端子と、
この接続端子を介して各センサＡ1〜Ａ64からの検出信
号を受信する受信部（例えば送受信回路ＰＲ1〜Ｐ
Ｒ64）とを備えた計測装置に対して、これらセンサＡ1
〜Ａ64および受信部ＰＲ1〜ＰＲ64の動作状態を検査す
る方法に適用される。そして、上述の目的は、前記セン
サＡ1〜Ａ64から出力される検出信号が、前記接続端子
によって前記受信部ＰＲ1〜ＰＲ64のそれぞれに接続さ
れる第１の接続状態を実現する工程と、前記第１の接続
状態が実現された状態で、前記センサＡ1〜Ａ64のそれ
ぞれから出力される検出信号の受信強度を前記各受信部
ＰＲ1〜ＰＲ64毎に出力する工程と、前記センサＡ1〜Ａ
64から出力される検出信号が、前記接続端子によって前
記第１の接続状態と異なる第２の接続状態を実現するよ
うに前記受信部ＰＲ1〜ＰＲ64のそれぞれに接続される
工程と、前記第２の接続状態が実現された状態で、前記
センサＡ1〜Ａ64のそれぞれから出力される検出信号の
受信強度を前記各受信部ＰＲ1〜ＰＲ64毎に出力する工
程とを実行し、前記第１および第２の接続状態における
受信強度の相違によりセンサＡ1〜Ａ64および受信部Ｐ
Ｒ1〜ＰＲ64のそれぞれの異常を検査可能とすることに
より達成される。また、請求項２の発明は、多数の超音
波振動子Ａ1〜Ａ64を少なくとも１次元的に配列してな
るアレイプローブ１と、前記超音波振動子Ａ1〜Ａ64の
それぞれに対応して設けられ、各超音波振動子Ａ1〜Ａ
64との間で信号の送受信を行う多数の送受信回路部ＰＲ
1〜ＰＲ64とを備えた超音波検査装置に対して、これら
超音波振動子Ａ1〜Ａ64および送受信回路部ＰＲ1〜ＰＲ
64の動作状態を検査する方法に適用される。そして、上
述の目的は、前記超音波振動子Ａ1〜Ａ64を前記送受信
回路部ＰＲ1〜ＰＲ64に接続して第１の接続状態を実現
する工程と、前記第１の接続状態が実現された状態で前
記アレイプローブ１を反射体に対向させ、各々の送受信
回路部ＰＲ1〜ＰＲ64を順次動作させてこの送受信回路
部ＰＲ1〜ＰＲ64に接続された超音波振動子Ａ1〜Ａ64と
前記反射体との間で超音波の送受信を行い、そのときの
受信強度を送受信回路部ＰＲ1〜ＰＲ64毎に出力する工
程と、前記超音波振動子Ａ1〜Ａ64を前記第１の接続状
態のときと異なるように前記送受信回路部ＰＲ1〜ＰＲ
64に接続して第２の接続状態を実現する工程と、前記第
２の接続状態が実現された状態で前記アレイプローブ１
を反射体に対向させ、各々の送受信回路部ＰＲ1〜ＰＲ
64を順次動作させてこの送受信回路部ＰＲ1〜ＰＲ64に
接続された超音波振動子Ａ1〜Ａ64と前記反射体との間
で超音波の送受信を行い、そのときの受信強度を送受信
回路部ＰＲ1〜ＰＲ64毎に出力する工程とを実行し、前
記第１および第２の接続状態における受信強度の相違に
より超音波振動子および送受信回路部のそれぞれの異常
を検査可能とすることにより達成される。また、請求項
３の発明は、請求項１に記載の検査方法で検査される電
子走査式超音波検査装置を、多数の超音波振動子Ａ1〜
Ａ64を少なくとも１次元的に配列してなるアレイプロー
ブ１と、前記超音波振動子Ａ1〜Ａ64のそれぞれに対応
して設けられ、各超音波振動子Ａ1〜Ａ64との間で信号
の送受信を行う多数の送受信回路部ＰＲ1〜ＰＲ64とか
ら構成し、プラグ４Ｐおよびレセプタクル４Ｒを介して
前記アレイプローブ１と送受信回路部ＰＲとを接続し、
前記プラグ４Ｐおよびレセプタクル４Ｒの各端子の配線
状態をそれぞれ回転対称状に設定するとともに、これら
プラグ４Ｐおよびレセプタクル４Ｒを相互に反転挿脱可
能に構成したものである。The present invention will be described with reference to FIGS. 1, 5, 6 and 16, which show one embodiment of the present invention. Vibrators A 1 to A 64 ) and a plurality of connection terminals detachably provided corresponding to each of the sensors A 1 to A 64 ,
A receiving unit (for example, transmitting and receiving circuits PR 1 to PR 1) that receives detection signals from the sensors A 1 to A 64 via the connection terminals.
R 64 ), the sensor A 1
It applied to the to A 64 and a method to check the operation state of the receiving unit PR 1 to PR 64. The above-mentioned object is to realize a first connection state in which the detection signals output from the sensors A 1 to A 64 are connected to the respective receiving units PR 1 to PR 64 by the connection terminals. , in a state where the first connection state is achieved, and outputting the reception intensity of the detection signal output from each of the sensors a 1 to a 64 wherein each receiver PR 1 to PR 64, wherein Sensors A 1 to A
A step detection signal output from the 64, which is connected to each of the receiver PR 1 to PR 64 so as to realize the second connection state that is different from the first connection state by the connection terminal, the first in a state where the second connection state is achieved, performs a process of outputting the reception intensity of the detection signal output from each of the sensors a 1 to a 64 wherein each receiver PR 1 to PR 64, wherein sensors a 1 to a 64 and the receiving portion P due to a difference in the reception intensity in the first and second connection state
This is achieved by making it possible to inspect each abnormality of R 1 to PR 64 . The invention of claim 2 corresponds to the array probe 1 in which a large number of ultrasonic transducers A 1 to A 64 are arranged at least one-dimensionally, and to each of the ultrasonic transducers A 1 to A 64. And each of the ultrasonic transducers A 1 to A
Numerous transmission / reception circuit units PR for transmitting / receiving signals to / from the 64
1 to PR 64 , the ultrasonic transducers A 1 to A 64 and the transmission / reception circuit units PR 1 to PR
Applied to 64 operating status inspection methods. The above-mentioned object is to realize a first connection state by connecting the ultrasonic transducers A 1 to A 64 to the transmission / reception circuit units PR 1 to PR 64 , and to realize the first connection state. In this state, the array probe 1 is made to face the reflector, and each of the transmission / reception circuit units PR 1 to PR 64 is sequentially operated to operate the ultrasonic transducers A 1 to A 1 connected to the transmission / reception circuit units PR 1 to PR 64. Transmitting and receiving ultrasonic waves between the A 64 and the reflector, and outputting the reception intensity at that time for each of the transmitting and receiving circuit units PR 1 to PR 64; and transmitting the ultrasonic vibrators A 1 to A 64 to the first The transmission / reception circuit units PR 1 to PR
64 for realizing a second connection state by connecting to the array probe 1 in a state where the second connection state is realized.
Is opposed to the reflector, and each of the transmission / reception circuit units PR 1 -PR
64 sequentially is operated to perform ultrasonic wave transmission and reception to and from the ultrasonic transducer A 1 to A 64 which is connected to the receive circuit unit PR 1 to PR 64 and the reflector, receive the reception intensity at that time Performing a step of outputting for each of the circuit portions PR 1 to PR 64, so that each of the ultrasonic transducers and the transmission / reception circuit portion can be inspected for an abnormality based on a difference in reception strength between the first and second connection states. Is achieved by The invention of claim 3 is an electron scanning ultrasonic inspection device being tested by the test method according to claim 1, a number of ultrasonic transducers A 1 ~
The array probe 1 formed by arranging the A 64 at least one-dimensionally, said provided corresponding to each of the ultrasonic transducer A 1 to A 64, between each of the ultrasonic transducers A 1 to A 64 composed of a number of transmission and reception circuit unit PR 1 to PR 64 Metropolitan for transmitting and receiving signals, and connects the array probe 1 and the communication circuit unit PR via the plug 4P and receptacle 4R,
The wiring state of each terminal of the plug 4P and the receptacle 4R is set to be rotationally symmetrical, and the plug 4P and the receptacle 4R are configured to be mutually reversible.
【００１９】[0019]
【作用】−請求項１− あるセンサ（例えば超音波振動子Ａ1〜Ａ64）に注目す
ると、接続状態を変更することによりこのセンサＡ1〜
Ａ64に接続される受信部（例えば送受信回路ＰＲ1〜Ｐ
Ｒ64）は異なるので、接続状態の変更に伴う受信部ＰＲ
1〜ＰＲ64の受信強度の変化をそのときのセンサＡ1〜Ａ
64に対応して出力すれば、個々のセンサＡ1〜Ａ64およ
び受信部ＰＲ1〜ＰＲ64の不良を独立に検査することが
できる。 −請求項２− 反射体で反射された超音波の受信強度は、各超音波振動
子Ａ1〜Ａ64および各送受信回路ＰＲ1〜ＰＲ64でほとん
ど一定と考えられる。そして、１つの超音波振動子Ａ1
〜Ａ64に注目すれば、接続状態を変更することによりこ
の超音波振動子Ａ1〜Ａ64に接続される送受信回路部Ｐ
Ｒ1〜ＰＲ64は異なってくる。従って、接続状態を変更
しても所定の受信強度が得られなければその超音波振動
子Ａ1〜Ａ64の不良が判定でき、接続状態を変更して所
定の受信強度が得られれば変更前の送受信回路ＰＲ1〜
ＰＲ64の不良が判定できる。 −請求項３− プラグ４Ｐおよびレセプタクル４Ｒの各端子の配線状態
がそれぞれ回転対称状に設定されているとともに、これ
らプラグ４Ｐおよびレセプタクル４Ｒが相互に反転挿脱
可能に構成されているので、相互に反転した状態でプラ
グ４Ｐをレセプタクル４Ｒに挿入すれば、超音波振動子
Ａ1〜Ａ64および送受信回路部ＰＲ1〜ＰＲ64の接続状態
を変更することができる。When a certain sensor (for example, ultrasonic transducers A 1 to A 64 ) is noticed, the connection state is changed to change the sensor A 1 to A 64.
Reception section connected to the A 64 (e.g. transceiver circuit PR 1 to P
R 64 ) are different, so the receiving unit PR accompanying the change in the connection state
1 to PR 64 are used as sensors A 1 to A at that time.
If output corresponding to 64, it is possible to inspect the defects of the individual sensors A 1 to A 64 and the receiving unit PR 1 to PR 64 independently. - reception intensity of the ultrasonic wave reflected by the claims 2- reflector is considered almost constant in each of the ultrasonic transducers A 1 to A 64 and the transceiver circuit PR 1 to PR 64. And one ultrasonic transducer A 1
If noted to A 64, the communication circuit unit P which is connected to the ultrasonic transducer A 1 to A 64 by changing the connection state
R 1 to PR 64 are different. Therefore, if a predetermined reception strength can be obtained even by changing the connection state can be determined failure of the ultrasonic transducer A 1 to A 64, before the change as long to obtain a predetermined reception strength by changing the connection status Transmission / reception circuits PR 1 to
PR 64 defects can be determined. -Claim 3-The wiring state of each terminal of the plug 4P and the receptacle 4R is set to be rotationally symmetrical, and the plug 4P and the receptacle 4R are configured to be able to be inverted and inserted into each other. by inserting the plug 4P into the receptacle 4R in inverted state, it is possible to change the connection state of the ultrasonic transducer a 1 to a 64 and the communication circuit unit PR 1 to PR 64.
【００２０】なお、本発明の構成を説明する上記課題を
解決するための手段と作用の項では、本発明を分かり易
くするために実施例の図を用いたが、これにより本発明
が実施例に限定されるものではない。In the means and means for solving the above problems which explain the constitution of the present invention, the drawings of the embodiments are used for easy understanding of the present invention. However, the present invention is not limited to this.
【００２１】[0021]
−第１実施例− 図１および図２は、本発明による電子走査式超音波検査
装置の第１実施例を示す図であって、図１はその全体構
成を示す斜視図、図２はプラグまたはレセプタクルの配
線状態を示す平面図である。図１に示す超音波検査装置
の基本的構成は上述の従来例と共通であり、上述したよ
うに、アレイプローブ１の先端部には64個の超音波振動
子Ａ1〜Ａ64が等間隔で短冊状に並んでいる。各超音波
振動子Ａ1〜Ａ64は一対の電極（図示略）を備え、各電
極は、ケ−ブル３を構成する各同軸ケ−ブルの内外部導
体（芯線およびア−ス線）を介してプラグ４Ｐの各端子
に接続されている。一方、装置本体部２の前面にはレセ
プタクル４Ｒが１個設けられ、このレセプタクル４Ｒに
はプラグ４Ｐの端子配列に対応した端子が設けられてお
り、各端子は装置本体部２内の送受信回路９（図８参
照）にそれぞれ１対１対応した状態で接続されている。-First Embodiment- Figs. 1 and 2 are views showing a first embodiment of an electronic scanning ultrasonic inspection apparatus according to the present invention. Fig. 1 is a perspective view showing the entire configuration thereof, and Fig. 2 is a plug. FIG. 11 is a plan view showing a wiring state of the receptacle. The basic configuration of the ultrasonic inspection apparatus shown in FIG. 1 is common to the above-described conventional example, and as described above, 64 ultrasonic transducers A 1 to A 64 are provided at the tip of the array probe 1 at equal intervals. Are arranged in a strip shape. Each of the ultrasonic vibrators A 1 to A 64 includes a pair of electrodes (not shown), and each of the electrodes includes inner and outer conductors (core wire and earth wire) of each coaxial cable constituting the cable 3. It is connected to each terminal of the plug 4P via the terminal. On the other hand, a single receptacle 4R is provided on the front surface of the device main body 2, and terminals corresponding to the terminal arrangement of the plugs 4P are provided on the receptacle 4R. (See FIG. 8) in a one-to-one correspondence.
【００２２】装置本体部２は、各超音波振動子Ａ1〜Ａ
64との間で信号の送受信を行う64個の送受信回路ＰＲ1
〜ＰＲ64と、アレイプローブ１の出力信号により走査方
向に応じた２次元画像を形成する画像形成回路（図示
略）と、形成した画像を表示するモニタ７などを備えて
いる。送受信回路ＰＲは、上述のように、レセプタクル
４Ｒの各端子を介して各超音波振動子Ａ1〜Ａ64へ励振
パルスを送出するパルサー回路Ｐと、被検体からの反射
波に対応して得られる各超音波振動子Ａ1〜Ａ64からの
出力をレセプタクル４Ｒの各端子を介して受信するレシ
ーバ回路Ｒとを備えている。The apparatus main body 2 includes ultrasonic transducers A 1 to A 1.
64 transmission / reception circuits PR 1 for transmitting / receiving signals to / from 64
PR 64 , an image forming circuit (not shown) for forming a two-dimensional image according to the scanning direction based on the output signal of the array probe 1, a monitor 7 for displaying the formed image, and the like. Transceiver circuit PR, as described above, and pulser circuit P for delivering excitation pulse through the respective terminals of the receptacle 4R to each of the ultrasonic transducers A 1 to A 64, corresponding to the reflected waves from the subject to obtain And a receiver circuit R for receiving the output from each of the ultrasonic transducers A 1 to A 64 through the respective terminals of the receptacle 4R.
【００２３】装置本体部２は、通常の超音波検査を行う
通常モードと超音波振動子Ａ1〜Ａ6 4および送受信回路
ＰＲ1〜ＰＲ64の不良検査を行う検査モードとの２つの
動作状態を備え、これらモード切換はキーボード８から
のコマンド入力等により行われる。検査モードでは、後
述のように、１つの超音波振動子Ａ1〜Ａ64および送受
信回路ＰＲ1〜ＰＲ64のみを動作させてその時のエコー
の最大値（検波の前後を問わない、以下、これをエコー
レベルと称する）を測定し、これを各チャンネル毎に順
次行う動作が実行される。各チャンネルのエコーレベル
は、このエコーレベルが得られたチャンネルに対応した
状態で装置本体部２内に備えられたメモリ（図示略）内
に格納される。The apparatus body 2 has two operating states of the test mode for performing a defect inspection of the normal mode and the ultrasonic transducer A 1 to A 6 4 and the transmitting and receiving circuit PR 1 to PR 64 to perform normal ultrasonography These modes are switched by a command input from the keyboard 8 or the like. In the inspection mode, as described later, only one of the ultrasonic transducers A 1 to A 64 and the transmission / reception circuits PR 1 to PR 64 are operated, and the maximum value of the echo at that time (regardless of before and after detection, hereinafter Is referred to as an echo level), and an operation of sequentially performing the measurement for each channel is performed. The echo level of each channel is stored in a memory (not shown) provided in the apparatus main body 2 in a state corresponding to the channel from which the echo level was obtained.
【００２４】次に、プラグ４Ｐおよびレセプタクル４Ｒ
によって構成される多芯コネクタ４の各端子の配線状態
を図２を参照して説明する。コネクタピンおよびソケッ
トは縦６列×横１６列、計９６個の端子を有する。図２
に示すＡ〜Ｆの６列のうち、ＢおよびＥ列は同軸ケーブ
ルのア−ス線に接続されるものでＧと表記している。他
の４列は同軸ケーブルの芯線に接続されるもので、１〜
64の番号はそれぞれ64本の芯線に対応している。図示例
がプラグ４Ｐの場合は、この芯線番号は64個の超音波振
動子Ａ1〜Ａ64の各々に対応し、レセプタクル４Ｒの場
合にはそれぞれ対応する送受信回路（ＰＲ1〜ＰＲ64）
の番号を示している。なお、ア−ス線用の端子は、芯線
用の端子２個に対し１個の割合となっており、各ア−ス
線は上下の芯線に対応するものが共通に接続される構成
となっている。Next, the plug 4P and the receptacle 4R
The wiring state of each terminal of the multi-core connector 4 constituted as described above will be described with reference to FIG. The connector pins and sockets have a total of 96 terminals, 6 rows by 16 rows. FIG.
Of the six columns A to F shown in FIG. 7, columns B and E are connected to the ground wire of the coaxial cable and are denoted by G. The other four rows are connected to the core of the coaxial cable.
The numbers 64 correspond to the 64 core wires, respectively. If the illustrated example is a plug 4P, the core number corresponding to each of the 64 ultrasonic transducers A 1 to A 64, transceiver circuit corresponding respectively to the case of the receptacle 4R (PR 1 ~PR 64)
Are shown. The number of ground wire terminals is one for every two core wire terminals, and each ground wire is connected in common to the upper and lower core wires. ing.
【００２５】図２に示すように、各端子の配列は多芯コ
ネクタ４の中央部を中心として回転対称に構成されてい
る。また、プラグ４Ｐおよびレセプタクル４Ｒは通常と
異なりノッチなどは設けず、プラグ４Ｐを図２に示した
状態のままレセプタクル４Ｒに挿入することも、図１中
の矢印のように180°回転させて上下、左右を反転させ
た状態で挿入することも自由に行えるようにしてある。As shown in FIG. 2, the arrangement of the terminals is rotationally symmetric about the center of the multi-core connector 4. The plug 4P and the receptacle 4R are not provided with a notch or the like unlike the usual case, and the plug 4P can be inserted into the receptacle 4R in the state shown in FIG. 2 by rotating the plug 4P by 180 ° as shown by the arrow in FIG. , Can be freely inserted in a state where the right and left sides are inverted.
【００２６】従って、プラグ４Ｐを上下、左右に反転さ
せた状態でも超音波振動子Ａと送受信回路ＰＲとは互い
に接続された状態にあるが、この反転により超音波振動
子Ａと送受信回路ＰＲとの接続状態は異なったものとな
る。すなわち、反転する前に超音波振動子ＡNが送受信
回路ＰＲN（Ｎ＝１〜64）に接続されていたとすれば、
反転した後に超音波振動子ＡNは送受信回路ＰＲM（Ｍ＝
65−Ｎ）に接続される。このように、本実施例では超音
波振動子Ａと送受信回路ＰＲとの間の接続状態が２種類
ある。以下、超音波振動子ＡNが送受信回路ＰＲN（Ｎ＝
１〜64）に接続されている状態を「正接続」、超音波振
動子ＡNが送受信回路ＰＲM（Ｍ＝65−Ｎ）に接続されて
いる状態を「逆接続」と称する。Therefore, even when the plug 4P is turned upside down and left and right, the ultrasonic transducer A and the transmitting / receiving circuit PR are connected to each other. Will be different. That is, if the ultrasonic transducer A N is connected to the transmission / reception circuit PR N (N = 1 to 64) before inversion,
After the inversion, the ultrasonic transducer A N transmits and receives the transmission / reception circuit PR M (M =
65-N). Thus, in the present embodiment, there are two types of connection states between the ultrasonic transducer A and the transmission / reception circuit PR. Hereinafter, the ultrasonic transducer A N is connected to the transmitting / receiving circuit PR N (N =
The state of being connected to a 1 to 64) "positive connection", a state where the ultrasonic transducer A N are connected to the transceiver circuit PR M (M = 65-N ) is referred to as "reverse connection".
【００２７】このように、必要に応じプラグ４Ｐの挿入
方向を変えることで、超音波振動子Ａと送受信回路ＰＲ
との接続状態を変更することができる。この際、現時点
での接続状態を識別できる目印があれば便利である。一
例として、正接続された状態におけるプラグ４Ｐの上面
に「正」、その裏面に「逆」の表記をしておけばよい。As described above, by changing the insertion direction of the plug 4P as necessary, the ultrasonic transducer A and the transmission / reception circuit PR are changed.
You can change the connection status with. At this time, it is convenient if there is a mark that can identify the current connection state. As an example, "upper" may be written on the upper surface of plug 4P and "reverse" may be written on the lower surface of plug 4P in the positively connected state.
【００２８】次に、本実施例の超音波検査装置を用いて
超音波振動子Ａおよび送受信回路ＰＲの不良箇所の判定
を行う方法について説明する。まず、超音波振動子Ａと
送受信回路ＰＲとが正接続された状態で、上述と同様に
基準となる被検体に検査すべきアレイプローブ１を相対
向して配置し、この状態で装置本体部２の動作を検査モ
ードに切り換える。そして、１つの送受信回路ＰＲおよ
び超音波振動子Ａのみを動作させてこのときのエコーレ
ベルを記憶し、これを各チャンネル毎に順次行ってチャ
ンネル単位の検査を行う。Next, a method for determining a defective portion of the ultrasonic transducer A and the transmitting / receiving circuit PR using the ultrasonic inspection apparatus of the present embodiment will be described. First, in a state where the ultrasonic transducer A and the transmission / reception circuit PR are positively connected, the array probes 1 to be inspected are arranged opposite to each other on the reference subject as described above. Operation 2 is switched to the inspection mode. Then, only one transmitting / receiving circuit PR and the ultrasonic vibrator A are operated to store the echo level at this time, and this is sequentially performed for each channel to perform the inspection for each channel.
【００２９】いま、図３に示すように、送受信回路ＰＲ
19から得られたエコーレベルのみが異常値、すなわち閾
値Ｖ0を下回る値を示したものと仮定する。異常値を示
した原因としては、 (１) 振動子Ａ19の不良 (２) 送受信回路ＰＲ19の不良 (３) 振動子Ａ19および送受信回路ＰＲ19双方の不良 の３通りが考えられる。そこで、これらいずれの原因に
より送受信回路ＰＲ19から得られたエコーレベルが異常
値を示したかを判定するために、超音波振動子Ａと送受
信回路ＰＲとを逆接続した状態で、送受信回路ＰＲ19、
ＰＲ46のエコーレベルを測定する。ここで、送受信回路
ＰＲ46のエコーレベルを測定するのは、逆接続状態にお
いて振動子Ａ19が送受信回路ＰＲ46と接続されるからで
ある。Now, as shown in FIG.
Only echo level obtained from 19 outliers, i.e. it is assumed that showed values below the threshold V 0. There are three possible causes of the abnormal value: (1) the defect of the transducer A 19 , (2) the defect of the transmission / reception circuit PR 19 , and (3) the defect of both the transducer A 19 and the transmission / reception circuit PR 19 . Therefore, in order to determine whether any of these echo level obtained from the transmission and reception circuit PR 19 by cause indicates an abnormal value, while the reverse connecting the ultrasonic transducer A and receiving circuit PR, the transmitting and receiving circuit PR 19 ,
Measure the echo level of PR 46 . Here, for measuring the echo level of the transmitting and receiving circuit PR 46 is because the vibrator A 19 in the reverse connection state is connected to the transceiver circuit PR 46.
【００３０】図４は、異常原因別の検査結果を示す図で
ある。図中右側の表において、○印はエコーレベルが正
常であること、×印はエコーレベルが異常であることを
示している。図４に示すように、異常原因により検査結
果が全て異なることから、以上述べた方法により異常原
因の特定、ひいては不良箇所の判定を行うことができ
る。但し、当該送受信回路ＰＲNと逆接続に対応する送
受信回路ＰＲM（以下、逆送受信回路と称する）とが同
時に異常値を示した場合は、上述の方法によって異常原
因を特定することはできない。FIG. 4 is a diagram showing inspection results for each cause of abnormality. In the table on the right side of the figure, the mark ○ indicates that the echo level is normal, and the mark x indicates that the echo level is abnormal. As shown in FIG. 4, since the inspection results are all different depending on the cause of the abnormality, it is possible to specify the cause of the abnormality and determine the defective portion by the above-described method. However, when the transmission / reception circuit PR N and the transmission / reception circuit PR M (hereinafter, referred to as an inverse transmission / reception circuit) corresponding to the reverse connection simultaneously indicate an abnormal value, the cause of the abnormality cannot be specified by the above-described method.
【００３１】図５は、本実施例の方法の手順を示す図で
ある。図５に示す手順は、正接続状態で各送受信回路Ｐ
Ｒのエコーレベルが測定された後に行われる。まず、ス
テップＳ１０１ではいずれかの送受信回路ＰＲN（Ｎ＝
１〜64）のエコーレベルが閾値Ｖ0を上回っているか否
か、すなわち正常値であるか否かが判定され、判定が否
定されればステップＳ１０２に移行し、判定が肯定され
れば検査手順を終了する。FIG. 5 is a diagram showing the procedure of the method of this embodiment. The procedure shown in FIG.
This is performed after the R echo level is measured. First, in step S101, one of the transmission / reception circuits PR N (N =
It is determined whether or not the echo levels of 1 to 64) are above the threshold value V 0 , that is, whether or not the echo level is a normal value. If the determination is negative, the process proceeds to step S102. To end.
【００３２】ステップＳ１０２では逆送受信回路ＰＲM
（Ｍ＝65−Ｎ）のエコーレベルが正常値であるか否かが
判定され、判定が否定されれば不良箇所判定不能として
手順を終了し、判定が肯定されればステップＳ１０３で
超音波振動子Ａと送受信回路ＰＲとを逆接続する作業が
行われる。In step S102, the reverse transmitting / receiving circuit PR M
It is determined whether or not the echo level of (M = 65−N) is a normal value. If the determination is denied, the procedure is determined to be impossible, and the procedure is terminated. If the determination is affirmed, the ultrasonic vibration is performed in step S103. An operation of reversely connecting the child A and the transmission / reception circuit PR is performed.
【００３３】次いで、異常値を示した送受信回路ＰＲN
およびこれに対応する逆送受信回路ＰＲMのエコーレベ
ルが再度測定され、ステップＳ１０４では送受信回路Ｐ
ＲNのエコーレベルが正常値であるか否かが判定され、
判定が肯定されれば第Ｎ番目の超音波振動子ＡNが不良
であると判定され、判定が否定されればステップＳ１０
５に移行する。ステップＳ１０５では逆送受信回路ＰＲ
Mのエコーレベルが正常値であるか否かが判定され、判
定が肯定されれば第Ｎ番目の送受信回路ＰＲNが不良で
あると判定され、判定が否定されれば第Ｎ番目の超音波
振動子ＡNおよび送受信回路ＰＲNが共に不良であると判
定される。Next, the transmission / reception circuit PR N indicating an abnormal value
And the echo level of the inverse transmitting / receiving circuit PR M corresponding thereto is measured again.
Whether the echo level of the R N are normal value is determined,
If the determination is affirmative, it is determined that the N-th ultrasonic transducer A N is defective, and if the determination is negative, step S10
Move to 5. In step S105, the reverse transmitting / receiving circuit PR
It is determined whether or not the echo level of M is a normal value. If the determination is affirmative, it is determined that the N-th transmission / reception circuit PR N is defective. It is determined that both the transducer A N and the transmission / reception circuit PR N are defective.
【００３４】従って、本実施例によれば、超音波振動子
Ａと送受信回路ＰＲとの接続状態を変更することにより
不良箇所がいずれにあるかを判定することができるの
で、不良箇所の判定が迅速かつ簡易に行える。従って、
インライン状態で工程に組込まれた超音波検査装置に本
実施例を適用すれば、不良発生に対する迅速な対応がで
きて好ましい。Therefore, according to the present embodiment, it is possible to determine the defective portion by changing the connection state between the ultrasonic transducer A and the transmitting / receiving circuit PR. It can be done quickly and easily. Therefore,
It is preferable to apply the present embodiment to an ultrasonic inspection apparatus incorporated in a process in an in-line state, since it is possible to quickly cope with the occurrence of a defect.
【００３５】−第２実施例− 図６は、本発明による電子走査式超音波検査装置の第２
実施例を示す斜視図である。なお、以下の説明におい
て、上述の第１実施例と同様の構成要素については同一
の符号を付し、その説明を省略する。本実施例では、多
芯コネクタ４を２組設けることにより上述の「逆接続」
を実現している。すなわち、アレイプローブ１から延出
するケーブル３は、その途中においてケーブルブッシュ
１０を介して二股に分岐され、これら分岐されたケーブ
ル３ａ、３ｂの先端にはそれぞれプラグ４Ｐ1、４Ｐ2が
それぞれ接続されている。本実施例では、一方のプラグ
４Ｐ1には超音波振動子Ａ1〜Ａ32が、他方のプラグ４Ｐ
2には超音波振動子Ａ33〜Ａ64が接続されている。一
方、装置本体部２にもレセプタクル４Ｒ1、４Ｒ2が２個
設けられており、一方のレセプタクル４Ｒ1には送受信
回路ＰＲ1〜ＰＲ32が、他方のレセプタクル４Ｒ2には送
受信回路ＰＲ33〜ＰＲ64が接続されている。なお、本実
施例では、上述の第１実施例と異なり、多芯コネクタ４
にノッチ等の反転挿脱阻止機構が設けられており、プラ
グ４Ｐ1、４Ｐ2およびレセプタクル４Ｒ1、４Ｒ2の相互
反転挿入が禁止されている。Second Embodiment FIG. 6 shows a second embodiment of the electronic scanning ultrasonic inspection apparatus according to the present invention.
It is a perspective view showing an example. In the following description, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted. In the present embodiment, the above-described “reverse connection” is provided by providing two sets of multi-core connectors 4.
Has been realized. That is, the cable 3 extending from the array probe 1, its is bifurcated through cable bush 10 in the middle, these branched cable 3a, plug 4P 1 Each of the tip of 3b, 4P 2 is connected ing. In this embodiment, the one of the plug 4P 1 ultrasonic transducer A 1 to A 32, the other plug 4P
The 2 are connected ultrasonic transducer A 33 to A 64. On the other hand, supply receptacle 4R 1 to the main body portion 2, 4R 2 has two provided, transceiver circuit PR 1 to PR 32 on one of the receptacle 4R1 is, transmit and receive circuit PR 33 to the other receptacle 4R 2 to PR 64 are connected. In the present embodiment, unlike the above-described first embodiment, the multi-core connector 4
Inverted insertion and removal preventing mechanism of the notch or the like is provided, mutually inverted insertion of the plug 4P 1, 4P 2 and receptacle 4R 1, 4R 2 is prohibited.
【００３６】本実施例においては、プラグ４Ｐ1、４Ｐ2
をいずれのレセプタクル４Ｒ1、４Ｒ2に挿入しても超音
波振動子Ａと送受信回路ＰＲとは互いに接続された状態
にあるが、接続されるプラグ、レセプタクルの順序が異
なれば超音波振動子Ａと送受信回路ＰＲとの接続状態は
異なったものとなる。すなわち、プラグ４Ｐ1、４Ｐ2が
順にレセプタクル４Ｒ1、４Ｒ2に接続されていれば、超
音波振動子ＡNは送受信回路ＰＲN（Ｎ＝１〜64）に接続
され、プラグ４Ｐ1、４Ｐ2が逆にレセプタクル４Ｒ2、
４Ｒ1の順に接続されていれば、超音波振動子ＡNは送受
信回路ＰＲM（Ｍ＝Ｎ＋32（１≦Ｎ≦32）、Ｍ＝Ｎ−32
（33≦Ｎ≦64））に接続される。このように、本実施例
においても超音波振動子Ａと送受信回路ＰＲとの間の接
続状態が２種類ある。以下、プラグ４Ｐ1、４Ｐ2がレセ
プタクル４Ｒ1、４Ｒ2に接続されている状態を「正接
続」、プラグ４Ｐ1、４Ｐ2がレセプタクル４Ｒ2、４Ｒ1
に接続されている状態を「逆接続」と称する。In this embodiment, the plugs 4P 1 , 4P 2
Is inserted into any of the receptacles 4R 1 and 4R 2 , the ultrasonic transducer A and the transmission / reception circuit PR are connected to each other, but if the order of the plug and the receptacle to be connected is different, the ultrasonic transducer A And the connection state between the transmitting and receiving circuit PR is different. That is, if the plugs 4P 1 and 4P 2 are connected to the receptacles 4R 1 and 4R 2 in order, the ultrasonic transducer A N is connected to the transmission / reception circuit PR N (N = 1 to 64) and the plugs 4P 1 and 4P 2 is the receptacle 4R 2 ,
If it is connected in the order of 4R 1, the ultrasonic transducer A N transmission and reception circuit PR M (M = N + 32 (1 ≦ N ≦ 32), M = N-32
(33 ≦ N ≦ 64)). Thus, also in this embodiment, there are two types of connection states between the ultrasonic transducer A and the transmission / reception circuit PR. Hereinafter, the state where the plugs 4P 1 and 4P 2 are connected to the receptacles 4R 1 and 4R 2 is referred to as “positive connection”, and the plugs 4P 1 and 4P 2 are connected to the receptacles 4R 2 and 4R 1
Is referred to as “reverse connection”.
【００３７】そして、以上のように「正接続」、「逆接
続」を定義すれば、上述の第１実施例と同様の手順によ
り超音波振動子Ａ、送受信回路ＰＲの不良箇所の判定を
行うことができる。よって、本実施例によっても、第１
実施例と同様の作用効果を得ることができる。If the "normal connection" and the "reverse connection" are defined as described above, the defective portion of the ultrasonic transducer A and the transmitting / receiving circuit PR is determined in the same procedure as in the first embodiment. be able to. Therefore, according to the present embodiment, the first
The same operation and effect as the embodiment can be obtained.
【００３８】−第３実施例− 図７は、本発明による電子走査式超音波検査装置の第３
実施例を示す斜視図である。本実施例では、第２実施例
のように多芯コネクタ４を２組設ける代わりに、レセプ
タクル４Ｒ1、４Ｒ2のみ２個設けている。また、本実施
例では、両レセプタクル４Ｒ1、４Ｒ2で内部の送受信回
路ＰＲとの接続関係を反転させてある。すなわち、図２
において１から64の芯線番号を付した端子は、レセプタ
クル４Ｒ1においてそれぞれ送受信回路ＰＲ1〜ＰＲ64の
順に接続されているが、レセプタクル４Ｒ2においては
逆にＰＲ64〜ＰＲ1の順で接続されている。Third Embodiment FIG. 7 shows a third embodiment of the electronic scanning ultrasonic inspection apparatus according to the present invention.
It is a perspective view showing an example. In this embodiment, instead of providing two sets of multi-core connector 4 as in the second embodiment provides only two receptacles 4R 1, 4R 2. Further, in this embodiment, the connection relationship with the internal transmission / reception circuit PR is reversed between the two receptacles 4R 1 and 4R 2 . That is, FIG.
Terminal marked with core number from 1 to 64 in, but are connected in the order of transmission and reception circuit PR 1 to PR 64 in receptacle 4R 1, are connected in the order of PR 64 to PR 1 reversed in receptacle 4R 2 ing.
【００３９】従って、プラグ４Ｐをいずれのレセプタク
ル４Ｒ1、４Ｒ2に接続した状態でも超音波振動子Ａと送
受信回路ＰＲとは互いに接続された状態にあるが、いず
れのレセプタクル４Ｒ1、４Ｒ2に接続するかによって超
音波振動子Ａと送受信回路ＰＲとの接続状態は異なった
ものとなる。すなわち、プラグ４Ｐがレセプタクル４Ｒ
1に接続されていれば、超音波振動子ＡNは送受信回路Ｐ
ＲN（Ｎ＝１〜64）に接続され、プラグ４Ｐがレセプタ
クル４Ｒ2に接続されていれば、超音波振動子ＡNは送受
信回路ＰＲM（Ｍ＝65−Ｎ）に接続される。このよう
に、本実施例においても、超音波振動子Ａと送受信回路
ＰＲとの間の接続状態が２種類ある。以下、第１実施例
と同様に、超音波振動子ＡNが送受信回路ＰＲN（Ｎ＝１
〜64）に接続されている状態を「正接続」、超音波振動
子ＡNが送受信回路ＰＲM（Ｍ＝65−Ｎ）に接続されてい
る状態を「逆接続」と称する。Therefore, even when the plug 4P is connected to any of the receptacles 4R 1 and 4R 2 , the ultrasonic transducer A and the transmission / reception circuit PR are connected to each other, but to any of the receptacles 4R 1 and 4R 2 . The connection state between the ultrasonic transducer A and the transmission / reception circuit PR differs depending on whether the connection is made. That is, the plug 4P is connected to the receptacle 4R.
If connected to 1 , the ultrasonic transducer A N
Is connected to R N (N = 1~64), the plug 4P is if it is connected to the receptacle 4R 2, the ultrasonic transducer A N is connected to the transceiver circuit PR M (M = 65-N ). Thus, also in the present embodiment, there are two types of connection states between the ultrasonic transducer A and the transmission / reception circuit PR. Hereinafter, as in the first embodiment, the ultrasonic transducer A N is connected to the transmission / reception circuit PR N (N = 1).
The state of being connected to a - 64) "positive connection", a state where the ultrasonic transducer A N are connected to the transceiver circuit PR M (M = 65-N ) is referred to as "reverse connection".
【００４０】そして、以上のように「正接続」、「逆接
続」を定義すれば、上述の第１実施例と同様の手順によ
り超音波振動子Ａ、送受信回路ＰＲの不良箇所の判定を
行うことができる。よって、本実施例によっても、第１
実施例と同様の作用効果を得ることができる。When the "normal connection" and the "reverse connection" are defined as described above, defective portions of the ultrasonic transducer A and the transmission / reception circuit PR are determined in the same procedure as in the first embodiment. be able to. Therefore, according to the present embodiment, the first
The same operation and effect as the embodiment can be obtained.
【００４１】なお、本実施例では、プラグ４Ｐが常に同
じ向きで各レセプタクル４Ｒ1、４Ｒ2に挿入されるよ
う、通常の場合と同様の逆挿入を防止する構造のものが
使用可能である。もちろん、端子の配線状態を回転対称
状にする必要はない。なお、２個のレセプタクルをそれ
ぞれ送受信回路に接続する必要があるが、単純な配線で
あり回路的な負担はわずかである。In the present embodiment, it is possible to use a plug having a structure for preventing reverse insertion as in a normal case, so that the plug 4P is always inserted into each of the receptacles 4R 1 and 4R 2 in the same direction. Of course, it is not necessary to make the terminal wiring state rotationally symmetric. It is necessary to connect the two receptacles to the transmission / reception circuit, respectively, but the wiring is simple and the circuit load is small.
【００４２】−第４実施例− 図１６および図１７は、本発明による力覚センサシステ
ムの一実施例を示す図であって、図１６はその全体の回
路構成を示すブロック図、図１７はプラグまたはレセプ
タクルの配線状態を示す平面図である。図１６に示すよ
うに、力覚センサシステムの基本的構成は上述の６軸力
センサシステムの従来例と共通であり、ロボット５０の
ハンド部５１およびアーム部５２の間に介装された６軸
力センサ５３と（図１４参照）、この６軸力センサ５３
にケーブル５７を介して接続された演算ユニット５８と
を備えている。６軸力センサ５３には、測定すべき力学
量（力、モーメント）に対応して６個のブリッジ回路５
６Ａ〜５６Ｆがそれぞれ設けられ、各ブリッジ回路５６
Ａ〜５６Ｆは、ケーブル５７を介してその先端に設けら
れたプラグ５９Ｐ（図１７参照）の各端子に接続されて
いる。このブリッジ回路５６Ａ〜５６Ｆは、上述のよう
に４枚の歪ゲージ５４Ａ〜５４Ｄを備えている。一方、
演算ユニット５８にはレセプタクル５９Ｒが１個設けら
れ、このレセプタクル５９Ｒにはプラグ５９Ｐの端子配
列に対応した端子が設けられている。Fourth Embodiment FIGS. 16 and 17 are diagrams showing an embodiment of a force sensor system according to the present invention. FIG. 16 is a block diagram showing the entire circuit configuration, and FIG. FIG. 4 is a plan view showing a wiring state of a plug or a receptacle. As shown in FIG. 16, the basic configuration of the force sensor system is common to the above-described conventional example of the six-axis force sensor system, and the six-axis force sensor system has a six-axis force sensor system interposed between the hand part 51 and the arm part 52 of the robot 50. And a force sensor 53 (see FIG. 14).
And an arithmetic unit 58 connected via a cable 57. The six-axis force sensor 53 includes six bridge circuits 5 corresponding to the dynamic quantities (force, moment) to be measured.
6A to 56F, respectively, and each bridge circuit 56
A to 56F are connected via a cable 57 to respective terminals of a plug 59P (see FIG. 17) provided at the end thereof. The bridge circuits 56A to 56F include the four strain gauges 54A to 54D as described above. on the other hand,
The arithmetic unit 58 is provided with one receptacle 59R, and the receptacle 59R is provided with terminals corresponding to the terminal arrangement of the plug 59P.
【００４３】演算ユニット５８は、各ブリッジ回路５６
Ａ〜５６Ｆに基準電圧を供給する共通の定電圧電源６０
と、レセプタクル５９Ｒの各端子に対応して（すなわち
各ブリッジ回路５６Ａ〜５６Ｆに対応して）設けられた
受信回路部６１Ａ〜６１Ｆと、この受信回路部６１Ａ〜
６１Ｆで受信された検出信号から力学量算出演算を行う
ＣＰＵ等の演算処理装置６２とを備えている。受信回路
部６１Ａ〜６１Ｆは、アンプ６３Ａ〜６３Ｆと、アンプ
６３の後段に設けられ、不要な高周波信号をカットする
ローパスフィルタ６４Ａ〜６４ＦおよびＡ／Ｄコンバー
タ６５Ａ〜６５Ｆとを備えている。The arithmetic unit 58 includes a bridge circuit 56
A to 56F, a common constant voltage power supply 60 for supplying a reference voltage
And receiving circuit units 61A to 61F provided corresponding to the terminals of the receptacle 59R (that is, corresponding to the bridge circuits 56A to 56F), and the receiving circuit units 61A to 61F.
And an arithmetic processing unit 62 such as a CPU for performing a physical quantity calculation operation from the detection signal received at 61F. The receiving circuit units 61A to 61F include amplifiers 63A to 63F, and low-pass filters 64A to 64F for cutting unnecessary high-frequency signals, and A / D converters 65A to 65F, which are provided after the amplifier 63.
【００４４】次に、プラグ５９Ｐおよびレセプタクル５
９Ｒによって構成される多芯コネクタ５９の各端子の配
線状態を図１７を参照して説明する。コネクタピンおよ
びソケットは縦２列×横８列、計１６個の端子を有す
る。図１７に示す端子番号のうち、Ａ〜Ｆはそれぞれ同
軸ケーブルの芯線に接続されるもので、図示例がプラグ
５９Ｐの場合は６個のブリッジ回路５６Ａ〜５６Ｆの各
々の出力に対応し（例えばＡ1、Ａ2はブリッジ回路５６
Ａの出力）、レセプタクル５９Ｒの場合にはそれぞれ対
応する受信回路部６１Ａ〜６１Ｆの入力に対応してい
る。また、Ｖ、Ｇは定電圧電源６０からの電源端子およ
びアース端子を示し、後述のように端子全体を回転対称
に配置するためにそれぞれ２箇所設けられている。Next, the plug 59P and the receptacle 5
The wiring state of each terminal of the multi-core connector 59 constituted by 9R will be described with reference to FIG. The connector pins and sockets have a total of 16 terminals, two rows vertically and eight rows horizontally. Among the terminal numbers shown in FIG. 17, A to F are respectively connected to the core wires of the coaxial cable, and in the case of the plug 59P in the illustrated example, they correspond to the outputs of the six bridge circuits 56A to 56F (for example, A1 and A2 are bridge circuits 56
A), and in the case of the receptacle 59R, they correspond to the inputs of the corresponding receiving circuit units 61A to 61F. V and G indicate a power supply terminal and a ground terminal from the constant voltage power supply 60, respectively, and are provided at two places for arranging the whole terminal rotationally symmetrically as described later.
【００４５】図１７に示すように、各端子の配列は多芯
コネクタ５９の中央部を中心として回転対称に構成され
ている。また、プラグ５９Ｐおよびレセプタクル５９Ｒ
は通常と異なりノッチなどは設けず、プラグ５９Ｐを図
２に示した状態のままレセプタクル５９Ｒに挿入するこ
とも可能であり、また、180°回転させて上下、左右を
反転させた状態で挿入することも自由に行えるようにし
てある。As shown in FIG. 17, the arrangement of the terminals is rotationally symmetric about the central portion of the multi-core connector 59. Further, the plug 59P and the receptacle 59R
The plug 59P can be inserted into the receptacle 59R in the state shown in FIG. 2 without providing a notch or the like unlike the usual case, and the plug 59P is rotated 180 ° and inserted upside down and left and right. You can also do things freely.
【００４６】従って、プラグ５９Ｐを上下、左右に反転
させた状態でもブリッジ回路５６と受信回路部６１とは
互いに接続された状態にあるが、この反転によりブリッ
ジ回路５６と受信回路部６１との接続状態は異なったも
のとなる。すなわち、反転する前にブリッジ回路５６ｉ
が受信回路部６１ｉ（ｉ＝Ａ〜Ｆ）に接続されていたと
すれば、反転した後にブリッジ回路５６ｉは受信回路部
６１ｊ（ｊ＝Ｆ〜Ａ）に接続される。このように、本実
施例ではブリッジ回路５６とアンプ６１との間の接続状
態が２種類ある。以下、ブリッジ回路５６ｉが受信回路
部６１ｉ（ｉ＝Ａ〜Ｆ）に接続されている状態を「正接
続」、ブリッジ回路５６ｉが受信回路部６１ｊ（ｊ＝Ｆ
〜Ａ）に接続されている状態を「逆接続」と称する。Accordingly, the bridge circuit 56 and the receiving circuit section 61 are connected to each other even when the plug 59P is turned upside down and left and right, but the connection between the bridge circuit 56 and the receiving circuit section 61 is caused by this inversion. The state will be different. That is, before inversion, the bridge circuit 56i
Is connected to the receiving circuit unit 61i (i = A to F), the bridge circuit 56i is connected to the receiving circuit unit 61j (j = F to A) after inversion. Thus, in the present embodiment, there are two types of connection states between the bridge circuit 56 and the amplifier 61. Hereinafter, a state in which the bridge circuit 56i is connected to the receiving circuit unit 61i (i = A to F) is referred to as “normal connection”, and the bridge circuit 56i is connected to the receiving circuit unit 61j (j = F).
-A) is referred to as "reverse connection".
【００４７】そして、以上のように「正接続」、「逆接
続」を定義すれば、上述の第１実施例と同様の手順によ
りブリッジ回路５６、受信回路部６１の不良箇所の判定
を行うことができる。この際、ブリッジ回路５６から不
良箇所判定用の基準信号を得る（上述の各実施例におい
てエコーレベルを測定することに相当する）手法は任意
であり、例えば、ロボット５０のアーム部５２を操作し
てハンド部５１を壁等の障害物に対して垂直や斜めに押
し当てて（垂直に押し当てればハンド部５１に力が作用
し、斜めに押し当てればハンド部５１にモーメントが作
用する）基準信号を得ればよい。よって、本実施例によ
っても、第１実施例と同様の作用効果を得ることができ
る。なお、本実施例は上述の第１実施例に対応するもの
であったが、第２、第３実施例に対応する実施例も実現
可能である。By defining the “normal connection” and the “reverse connection” as described above, it is possible to determine a defective portion of the bridge circuit 56 and the receiving circuit unit 61 in the same procedure as in the first embodiment. Can be. At this time, a method of obtaining a reference signal for determining a defective portion from the bridge circuit 56 (corresponding to measuring the echo level in each of the above-described embodiments) is arbitrary, and for example, by operating the arm 52 of the robot 50 The hand unit 51 is pressed vertically or obliquely against an obstacle such as a wall (a force acts on the hand unit 51 when pressed vertically, and a moment acts on the hand unit 51 when pressed obliquely). All you have to do is get a signal. Therefore, according to this embodiment, the same operation and effect as those of the first embodiment can be obtained. Although this embodiment corresponds to the first embodiment described above, embodiments corresponding to the second and third embodiments can be realized.
【００４８】なお、各実施例と請求の範囲との対応にお
いて、超音波振動子Ａおよびブリッジ回路５６はセンサ
を、ブリッジ回路５６は力覚センサを、６軸力センサ５
３はセンサユニットを、送受信回路ＰＲおよび受信回路
部６１は受信部を、送受信回路ＰＲは送受信回路部をそ
れぞれ構成している。In the correspondence between the embodiments and the claims, the ultrasonic vibrator A and the bridge circuit 56 are sensors, the bridge circuit 56 is a force sensor, and the six-axis force sensor 5.
Reference numeral 3 denotes a sensor unit, the transmission / reception circuit PR and the reception circuit unit 61 constitute a reception unit, and the transmission / reception circuit PR constitutes a transmission / reception circuit unit.
【００４９】−本発明の変形例− なお、本発明の計測装置の検査方法およびこの方法が適
用される各種計測装置は、その細部が上述の各実施例に
限定されず、種々の変形例が可能である。-Variations of the Present Invention- The inspection method of the measuring device of the present invention and various measuring devices to which the method is applied are not limited in detail to the above-described embodiments, and various modified examples are applicable. It is possible.
【００５０】(１) 各実施例では超音波振動子Ａと送受
信回路ＰＲ、あるいはブリッジ回路５６とアンプ６１と
の接続状態が２種類しかなかったが、これら各実施例を
組み合わせることにより接続状態を増加させることも可
能である。例えば、第１実施例と第２実施例とを組み合
わせ、多芯コネクタ４を２組用意してこれらのプラグ４
Ｐ1、４Ｐ2およびレセプタクル４Ｒ1、４Ｒ2が相互反転
挿脱可能な構成とすることも可能である。この際、送受
信回路ＰＲ19からのエコーレベルが異常値を示したとす
れば、３通りの逆接続（送受信回路ＰＲ14、ＰＲ46およ
びＰＲ51）を選択することができる。このように、逆接
続の選択幅を増やすことにより、最終的に「判定不能」
（図５参照）となる確率を非常に低くすることができ
る。また、第２、第３実施例ではプラグまたはレセプタ
クルを２組用意していたが、３組以上用意することによ
り逆接続の選択幅を増やすことも可能である。また、上
述の第１〜第３の実施例では装置本体部２側にレセプタ
クル４Ｒを、ケーブル３側にプラグ４Ｐを設けていた
が、これらの構成は相対的なものであり、例えばプラグ
４Ｐを装置本体部２側に設けてもよい。(1) In each of the embodiments, there were only two types of connection states between the ultrasonic transducer A and the transmission / reception circuit PR or between the bridge circuit 56 and the amplifier 61. It is also possible to increase. For example, by combining the first embodiment and the second embodiment, two sets of multi-core connectors 4 are prepared and these plugs 4
It is also possible for P 1 , 4P 2 and the receptacles 4R 1 , 4R 2 to be configured to be reversibly insertable / removable. At this time, if the echo level from the transmitting and receiving circuit PR 19 showed an abnormal value, it is possible to select the reverse connection triplicate (transceiver circuit PR 14, PR 46 and PR 51). As described above, by increasing the selection range of the reverse connection, the “undetermined”
(See FIG. 5) can be very low. In the second and third embodiments, two sets of plugs or receptacles are prepared. However, by preparing three or more sets, it is possible to increase the selection range of the reverse connection. Further, in the above-described first to third embodiments, the receptacle 4R is provided on the apparatus main body 2 side and the plug 4P is provided on the cable 3 side, but these configurations are relative, and for example, the plug 4P is provided. It may be provided on the apparatus main body 2 side.
【００５１】(２) 図５に示す手順をプログラム化して
装置本体部２内のＲＯＭ等に記憶させておき、プログラ
ムの実行により自動的に不良箇所の判定を行うようにし
てもよい。このようなプログラムの一例を図１１〜図１
３のフローチャートにより説明する。(2) The procedure shown in FIG. 5 may be programmed and stored in a ROM or the like in the apparatus main body 2, and a defective portion may be automatically determined by executing the program. An example of such a program is shown in FIGS.
3 will be described.
【００５２】図１１〜図１３のフローチャートに示すプ
ログラムは、上述の第１実施例に対応するものであり、
プログラム開始時においては超音波振動子Ａと送受信回
路ＰＲとは正接続状態にあるとする。まず、ステップＳ
２０１ではプログラムに使用される変数の初期化（０値
代入）が行われ、ステップＳ２０２ではエコーレベル判
定用の閾値Ｖ0が設定される。閾値Ｖ0そのものは操作者
がキーボード８等により手入力してもよく、あるいは、
装置本体部２のメモリ内に予め設定値を記憶させてこれ
を利用してもよい。ステップＳ２０３では、送受信回路
番号Ｎ、配列番号Ｓ、SSを示す変数に１が代入される。The programs shown in the flowcharts of FIGS. 11 to 13 correspond to the first embodiment described above.
At the start of the program, it is assumed that the ultrasonic transducer A and the transmission / reception circuit PR are in a positive connection state. First, step S
At 201, variables used in the program are initialized (zero value substitution), and at step S202, a threshold value V 0 for echo level determination is set. Threshold V 0 itself may be manually input by the operator keyboard 8 or the like, or,
The set value may be stored in advance in the memory of the apparatus main body 2 and used. In step S203, 1 is substituted into variables indicating the transmission / reception circuit number N, the array number S, and SS.
【００５３】次に、ステップＳ２０４では、上述のよう
に送受信回路番号Ｎ（Ｎ＝１〜64）に対応する１つの超
音波振動子ＡNおよび送受信回路ＰＲNのみが作動され、
このときのエコーレベルが変数Ｅ(Ｎ)に格納される。ス
テップＳ２０５では、変数Ｅ(Ｎ)、すなわち送受信回路
ＰＲNから得られたエコーレベルと閾値Ｖ0との大小が判
定され、変数Ｅ(Ｎ)が閾値Ｖ0より小さいと判定されれ
ばプログラムはステップＳ２０６に移行し、変数Ｅ(Ｎ)
が閾値Ｖ0以上であると判定されればステップＳ２０８
に移行する。Next, in step S204, only one ultrasonic transducer A N and transmission / reception circuit PR N corresponding to the transmission / reception circuit number N (N = 1 to 64) are operated as described above,
The echo level at this time is stored in a variable E (N). In step S205, the magnitude of the variable E (N), that is, the echo level obtained from the transmission / reception circuit PR N and the threshold V 0 are determined. If the variable E (N) is determined to be smaller than the threshold V 0, the program proceeds to step S205. Proceeding to step S206, the variable E (N)
Is determined to be equal to or greater than the threshold value V 0 , step S208
Move to
【００５４】ステップＳ２０６では、このときの送受信
回路番号Ｎが変数Ｆ１(Ｓ)に代入され、ステップＳ２０
７では変数Ｓが１つインクリメントされる。例えば、送
受信回路ＰＲ5、ＰＲ22、ＰＲ38から得られたエコーレ
ベルが異常値を示した場合は、Ｆ１(１)＝５、Ｆ１(２)
＝22、Ｆ１(３)＝38、Ｆ１(４)〜Ｆ１(64)＝０となる。
この後、プログラムはステップＳ２０８に移行する。In step S206, the transmission / reception circuit number N at this time is substituted for a variable F1 (S), and step S20
At 7, the variable S is incremented by one. For example, when the echo levels obtained from the transmission / reception circuits PR 5 , PR 22 , and PR 38 indicate abnormal values, F1 (1) = 5 and F1 (2)
= 22, F1 (3) = 38, and F1 (4) to F1 (64) = 0.
Thereafter, the program proceeds to step S208.
【００５５】ステップＳ２０８では変数Ｎが１つインク
リメントされ、ステップＳ２０９ではこの変数Ｎが64以
下であるか否か、すなわち全ての送受信回路ＰＲ1〜Ｐ
Ｒ６４についてエコーレベルを測定したか否かが判定さ
れ、判定が肯定されると次の送受信回路ＰＲのエコーレ
ベルを測定すべくステップＳ２０４に戻って測定が継続
され、判定が否定されると全ての送受信回路ＰＲについ
て測定が終了したとしてステップＳ２１０に移行する。In step S208, the variable N is incremented by one. In step S209, whether or not this variable N is 64 or less, that is, all the transmitting / receiving circuits PR 1 to PR
Whether measured echo levels for R 64 is determined, the determination is continued measurement returns to step S204 so as to if an affirmative measured echo level of the next transmission and reception circuit PR, the determination is negative all Assuming that the measurement has been completed for the transmission / reception circuit PR, the flow shifts to step S210.
【００５６】ステップＳ２１０では変数Ｓが１であるか
否か、すなわち異常値を示した送受信回路ＰＲの有無が
判定され、判定が肯定されると異常値を示した送受信回
路ＰＲがないと判定されてステップＳ２１１に移行し、
モニタ７上に「正常です」とのメッセージ文を表示して
プログラムを終了する。一方、判定が否定されると異常
値を示した送受信回路ＰＲがあるとしてプログラムを続
行する。In step S210, it is determined whether or not the variable S is 1, that is, the presence or absence of the transmitting / receiving circuit PR indicating an abnormal value. If the determination is affirmative, it is determined that there is no transmitting / receiving circuit PR indicating an abnormal value. To step S211
A message "Normal" is displayed on the monitor 7, and the program ends. On the other hand, if the determination is negative, it is determined that there is a transmitting / receiving circuit PR indicating an abnormal value, and the program is continued.
【００５７】すなわち、ステップＳ２１２では異常値を
示した送受信回路ＰＲの番号Ｆ１（ＳＳ）から逆送受信
回路の番号Ｍが算出され、ステップＳ２１３ではこの番
号Ｍが変数Ｆ２(SS)に代入される。上述の例に従えば、
Ｆ１(１)＝５、Ｆ１(２)＝22、Ｆ１(３)＝38であるの
で、Ｆ２(１)＝60、Ｆ２(２)＝43、Ｆ２(３)＝32、Ｆ２
(４)〜Ｆ２(64)＝０となる。That is, in step S212, the number M of the inverse transmitting / receiving circuit is calculated from the number F1 (SS) of the transmitting / receiving circuit PR indicating the abnormal value, and in step S213, the number M is substituted for the variable F2 (SS). According to the example above,
Since F1 (1) = 5, F1 (2) = 22, and F1 (3) = 38, F2 (1) = 60, F2 (2) = 43, F2 (3) = 32, F2
(4) -F2 (64) = 0.
【００５８】次に、ステップＳ２１４では変数Ｅ
(Ｍ）、すなわち逆送受信回路ＰＲMから得られたエコー
レベルと閾値Ｖ0との大小が判定され、変数Ｅ(Ｍ)が閾
値Ｖ0より小さいと判定されればプログラムはステップ
Ｓ２１５に移行し、モニタ７上に「異常がありますが判
定不能です」とのメッセージ文を表示してプログラムを
終了する。判定不能となる理由は上述のとおりである。Next, in step S214, the variable E
(M), that is, the magnitude of the echo level obtained from the inverse transmission / reception circuit PR M and the threshold V 0 are determined, and if it is determined that the variable E (M) is smaller than the threshold V 0, the program proceeds to step S215. Then, a message saying "There is an abnormality but determination is impossible" is displayed on the monitor 7, and the program is terminated. The reason why the determination is impossible is as described above.
【００５９】一方、変数Ｅ(Ｍ)が閾値Ｖ0以上であると
判定されればステップＳ２１６に移行して変数SSを１つ
インクリメントし、ステップＳ２１７で変数SSがＳに等
しいか否か、すなわち異常値を示した全ての送受信回路
ＰＲについて逆送受信回路の番号を算出したか否かが判
定される。そして、判定が肯定されると次の逆送受信回
路の番号を算出すべくプログラムはステップＳ２１２に
戻って算出作業が継続され、判定が否定されると異常値
を示した送受信回路の全てについて逆送受信回路の番号
が算出できたとしてステップＳ２１８に移行する。On the other hand, if it is determined that the variable E (M) is equal to or larger than the threshold value V 0 , the flow shifts to step S216 to increment the variable SS by one, and in step S217, whether the variable SS is equal to S, ie, It is determined whether or not the numbers of the inverse transmission / reception circuits have been calculated for all the transmission / reception circuits PR indicating the abnormal value. Then, if the determination is affirmative, the program returns to step S212 to calculate the number of the next reverse transmission / reception circuit, and the calculation operation is continued. If the determination is negative, the reverse transmission / reception circuit is performed for all of the transmission / reception circuits showing abnormal values. The process proceeds to step S218 assuming that the circuit number has been calculated.
【００６０】ステップＳ２１８では、モニタ７上に「コ
ネクタを逆接続にしてください。用意ができたらリター
ンキーを押してください」とのメッセージ文が表示さ
れ、ステップＳ２１９ではキーボード７のリターンキー
の押下が待たれ、ステップＳ２２０では変数SSに１が代
入される。In step S218, a message "Reverse the connectors. Press the return key when ready" is displayed on the monitor 7. In step S219, the press of the return key on the keyboard 7 is awaited. In step S220, 1 is substituted for the variable SS.
【００６１】さらに、ステップＳ２２１では変数Ｎに変
数Ｆ１(SS)の内容が代入され、すなわち、異常値を示し
た送受信回路の番号が変数Ｎに代入され、ステップＳ２
２２では送受信回路ＰＲNのエコーレベルが測定されて
これが変数Ｅ１に格納される。ステップＳ２２３では変
数Ｅ１、すなわち送受信回路ＰＲNから得られたエコー
レベルと閾値Ｖ0との大小が判定され、変数Ｅ１が閾値
Ｖ0より大きいと判定されればプログラムはステップＳ
２２４に移行し、モニタ７上に「チャンネル番号Ｎの超
音波振動子が不良です」とのメッセージ文が表示され
る。Further, in step S221, the contents of the variable F1 (SS) are substituted for the variable N, that is, the number of the transmission / reception circuit showing the abnormal value is substituted for the variable N.
22 In are measured echo level of the transmitting and receiving circuit PR N which is stored in a variable E1. In step S223, the magnitude of the variable E1, that is, the echo level obtained from the transmission / reception circuit PR N and the threshold V 0 are determined. If the variable E 1 is determined to be larger than the threshold V 0, the program proceeds to step S223.
The process proceeds to 224, and a message saying “the ultrasonic transducer of channel number N is defective” is displayed on the monitor 7.
【００６２】一方、変数Ｅ１が閾値Ｖ0未満であると判
定されればプログラムはステップＳ２２５に移行し、変
数Ｍに変数Ｆ２(SS)の内容が代入されて逆送受信回路の
番号が変数Ｍに代入される。ステップＳ２２６では逆送
受信回路ＰＲMのエコーレベルが測定されてこれが変数
Ｅ１に格納される。ステップＳ２２７では変数Ｅ１、す
なわち逆送受信回路ＰＲMから得られたエコーレベルと
閾値Ｖ0との大小が判定され、変数Ｅ１が閾値Ｖ0以上と
判定されればプログラムはステップＳ２２８に移行し、
モニタ７上に「チャンネル番号Ｎの送受信回路が不良で
す」とのメッセージ文が表示される。一方、変数Ｅ１が
閾値Ｖ0未満であると判定されればプログラムはステッ
プＳ２２９に移行し、モニタ７上に「チャンネル番号Ｎ
の超音波振動子および送受信回路が不良です」と表示さ
れる。On the other hand, if it is determined that the variable E1 is less than the threshold value V 0 , the program proceeds to step S225, in which the content of the variable F2 (SS) is substituted for the variable M, and the number of the inverse transmitting / receiving circuit is substituted for the variable M. Is assigned. In step S226, the echo level of the reverse transmitting / receiving circuit PR M is measured and stored in the variable E1. Step S227, the variable E1, i.e. the magnitude of the echo level and the threshold V 0 obtained from the inverse transceiver circuit PR M is determined, if it is judged variable E1 is a threshold greater than or equal to V 0 the program proceeds to step S228,
A message "The transmission / reception circuit of channel number N is defective" is displayed on the monitor 7. On the other hand, if it is determined that the variable E1 is less than the threshold value V 0 , the program proceeds to step S229, and the “channel number N” is displayed on the monitor 7.
The ultrasonic transducer and transmission / reception circuit are defective. "
【００６３】ステップＳ２３０では変数SSが１つインク
リメントされ、ステップＳ２３１では変数SSがＳに等し
いか否か、すなわち全ての不良箇所が特定されたか否か
が判定される。そして、判定が肯定されると次の不良箇
所特定作業をすべくプログラムはステップＳ２２１に戻
って特定作業が継続され、判定が否定されると全ての不
良箇所が特定できたとしてプログラムを終了する。以上
のようにして、超音波振動子Ａおよび送受信回路ＰＲの
不良箇所特定作業を自動的に行うことが可能である。In step S230, the variable SS is incremented by one. In step S231, it is determined whether or not the variable SS is equal to S, that is, whether or not all defective portions have been specified. If the determination is affirmative, the program returns to step S221 to continue the specific operation to perform the next defective portion identification operation, and if the determination is negative, the program ends because all the defective portions have been identified. As described above, it is possible to automatically perform the operation of identifying a defective portion of the ultrasonic transducer A and the transmission / reception circuit PR.
【００６４】(３) 本発明は、第１〜第３実施例で示し
たような送受信兼用型のアレイプローブのみならず、送
信、または受信専用のアレイプローブにも適用可能であ
る。同様に、第１〜第３実施例では超音波振動子を一次
元的に配列した例で説明したが、２次元的（マトリクス
状）に配列したものにも適用可能である。(3) The present invention can be applied not only to the transmission / reception type array probe as shown in the first to third embodiments, but also to the transmission or reception only array probe. Similarly, in the first to third embodiments, an example in which the ultrasonic transducers are arranged one-dimensionally has been described. However, the present invention is also applicable to an arrangement in which the ultrasonic transducers are arranged two-dimensionally (in a matrix).
【００６５】(４) 上述の各実施例ではプラグおよびレ
セプタクルの接続状態を変更することにより超音波振動
子および送受信回路、あるいはブリッジ回路およびアン
プの接続状態を変更していたが、他の手段により接続状
態を変更してもよい。例えば、プラグとレセプタクルと
の間に変換コネクタを介装してプラグ・レセプタクルを
相互に反転挿入したような状態を生成してもよい。(4) In each of the above embodiments, the connection state of the ultrasonic transducer and the transmission / reception circuit, or the connection state of the bridge circuit and the amplifier is changed by changing the connection state of the plug and the receptacle. The connection state may be changed. For example, a state may be generated in which a conversion connector is interposed between the plug and the receptacle, and the plug and the receptacle are inserted in a mutually inverted manner.
【００６６】(５) 上述の各実施例は、本発明を超音波
検査装置や６軸力センサシステムに適用したものであっ
たが、これに限らず、複数のセンサおよびこれらセンサ
のそれぞれに対応して設けられた受信部を備えた計測装
置であれば、本発明の適用が可能である。(5) In each of the above-described embodiments, the present invention is applied to an ultrasonic inspection apparatus or a six-axis force sensor system. However, the present invention is not limited to this. The present invention can be applied to any measuring device provided with a receiving unit provided as such.
【００６７】[0067]
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、センサと受信部との接続状態を変更することによ
り不良箇所を特定することができ、不良箇所の判定が迅
速かつ簡易に行える。従って、インライン状態で工程に
組込まれた計測装置に本発明を適用すれば、不良発生に
対する迅速な対応ができて好ましい。また、請求項３の
発明によれば、プラグを反転して挿入し、あるいは挿入
すべきプラグまたはレセプタクルを変更するという単純
な作業により超音波振動子と送受信回路部、あるいは力
覚センサと受信回路部との接続状態を容易に変更するこ
とができ、不良箇所の判定がさらに迅速にかつ簡易に行
える、という優れた効果を得ることができる。As described in detail above, according to the present invention, a defective portion can be specified by changing the connection state between the sensor and the receiving section, and the determination of the defective portion can be performed quickly and easily. I can do it. Therefore, it is preferable to apply the present invention to a measuring device incorporated in a process in an in-line state because a quick response to the occurrence of a failure can be achieved. According to the third aspect of the present invention, the ultrasonic vibrator and the transmission / reception circuit unit, or the force sensor and the reception circuit can be performed by a simple operation of inverting and inserting a plug or changing a plug or a receptacle to be inserted. It is possible to easily change the connection state with the unit, and it is possible to obtain an excellent effect that determination of a defective portion can be performed more quickly and easily.
【図１】本発明の第１実施例である電子走査式超音波検
査装置の全体構成を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing the overall configuration of an electronic scanning ultrasonic inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention.
【図２】同実施例におけるアレイプローブと装置本体部
とを接続する多芯コネクタの配線状態を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a wiring state of a multi-core connector for connecting an array probe and an apparatus main body in the embodiment.
【図３】各超音波振動子で受信されたエコーレベルの一
例を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating an example of an echo level received by each ultrasonic transducer.
【図４】異常原因別の検査結果を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing inspection results for each cause of abnormality.
【図５】第１実施例を用いた本発明の超音波検査装置の
検査方法の手順の一例を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing an example of a procedure of an inspection method of the ultrasonic inspection apparatus of the present invention using the first embodiment.
【図６】本発明の第２実施例である電子走査式超音波検
査装置の全体構成を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing the overall configuration of an electronic scanning ultrasonic inspection apparatus according to a second embodiment of the present invention.
【図７】本発明の第３実施例である電子走査式超音波検
査装置の全体構成を示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing the overall configuration of an electronic scanning ultrasonic inspection apparatus according to a third embodiment of the present invention.
【図８】超音波振動子および送受信回路の接続状態を示
す図である。FIG. 8 is a diagram showing a connection state of an ultrasonic transducer and a transmission / reception circuit.
【図９】アレイプローブを被検体上に置いた状態を示す
正面図である。FIG. 9 is a front view showing a state where an array probe is placed on a subject.
【図１０】モニタの表示例を示す正面図である。FIG. 10 is a front view showing a display example of a monitor.
【図１１】第１実施例を用いた本発明の超音波検査装置
の検査方法の手順の他の例を示すフローチャートであ
る。FIG. 11 is a flowchart showing another example of the procedure of the inspection method of the ultrasonic inspection apparatus of the present invention using the first embodiment.
【図１２】図１１と同様の図である。FIG. 12 is a view similar to FIG. 11;
【図１３】図１１と同様の図である。FIG. 13 is a view similar to FIG. 11;
【図１４】本発明の第４実施例である６軸力センサシス
テムのうち、６軸力センサがロボットに取り付けられた
状態を示す図である。FIG. 14 is a diagram showing a state in which a six-axis force sensor is attached to a robot in a six-axis force sensor system according to a fourth embodiment of the present invention.
【図１５】６軸力センサによる力学量検出の原理を説明
するための図である。FIG. 15 is a diagram for explaining the principle of physical quantity detection by a six-axis force sensor.
【図１６】第４実施例の６軸力センサシステムの回路構
成を示すブロック図である。FIG. 16 is a block diagram illustrating a circuit configuration of a six-axis force sensor system according to a fourth embodiment.
【図１７】同実施例における６軸力センサと演算ユニッ
トとを接続する多芯コネクタの配線状態を示す図であ
る。FIG. 17 is a diagram showing a wiring state of a multi-core connector for connecting a six-axis force sensor and an arithmetic unit in the embodiment.
１ アレイプローブ ２ 装置本体部 ３ ケーブル ４ 多芯コネクタ ４Ｐ プラグ ４Ｒ レセプタクル Ａ 超音波振動子 ＰＲ 送受信回路 Ｐ パルサー回路 Ｒ レシーバ回路 ５０ ロボット ５１ ハンド部 ５３ ６軸力センサ ５４ 歪ゲージ ５６ ブリッジ回路 ５８ 演算ユニット ５９ 多芯コネクタ ５９Ｐ プラグ ５９Ｒ レセプタクル ６１ 受信回路部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Array probe 2 Device main body part 3 Cable 4 Multi-core connector 4P plug 4R Receptacle A Ultrasonic transducer PR transmitting / receiving circuit P Pulser circuit R Receiver circuit 50 Robot 51 Hand part 53 6-axis force sensor 54 Strain gauge 56 Bridge circuit 58 Operation unit 59 Multi-core connector 59P Plug 59R Receptacle 61 Receiver circuit
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−194456（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−193447（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−3304（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−292420（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−7199（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−243510（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−59806（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−145909（ＪＰ，Ａ) 実開 昭60−106615（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−8353（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−49956（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01S 7/52 - 7/64 G01S 15/00 - 15/96 G01N 29/22 A61B 8/00 G01B 21/00 G01D 21/00 Continuation of the front page (56) References JP-A-62-194456 (JP, A) JP-A-60-193447 (JP, A) JP-A 64-3304 (JP, A) JP-A-2-292420 (JP) JP-A-2-7199 (JP, A) JP-A-63-243510 (JP, A) JP-A-62-59806 (JP, A) JP-A-2-145909 (JP, A) 60-106615 (JP, U) JP-A 60-8353 (JP, U) JP-A-2-49956 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G01S 7/52 -7/64 G01S 15/00-15/96 G01N 29/22 A61B 8/00 G01B 21/00 G01D 21/00
Claims (3)
れに対応して着脱可能に設けられた複数の接続端子と、
この接続端子を介して各センサからの検出信号を受信す
る受信部とを備えた計測装置に対して、これらセンサお
よび受信部の動作状態を検査する方法において、 前記センサから出力される信号が、前記接続端子によっ
て前記受信部のそれぞれに接続される第１の接続状態を
実現する工程と、 前記第１の接続状態が実現された状態で、前記センサの
それぞれから出力される検出信号の受信強度を前記各受
信部毎に出力する工程と、 前記センサから出力される検出信号が、前記接続端子に
よって前記第１の接続状態と異なる第２の接続状態を実
現するように前記受信部のそれぞれに接続される工程
と、 前記第２の接続状態が実現された状態で、前記センサの
それぞれから出力される検出信号の受信強度を前記各受
信部毎に出力する工程とを備え、 前記第１および第２の接続状態における受信強度の相違
によりセンサおよび受信部のそれぞれの異常を検査可能
としたことを特徴とする計測装置の検査方法。A plurality of sensors; a plurality of connection terminals detachably provided corresponding to each of the sensors;
In a method for inspecting the operation state of these sensors and the receiving unit, for a measuring device including a receiving unit that receives a detection signal from each sensor via the connection terminal, a signal output from the sensor is The connection terminal
Realizing a first connection state connected to each of the receiving units, and in the state where the first connection state is realized, the reception intensity of the detection signal output from each of the sensors is set to the respective ones. A step of outputting for each receiving unit, and a detection signal output from the sensor is connected to the connection terminal.
Therefore, a second connection state different from the first connection state is realized.
Connecting to each of the receiving units so as to represent , and outputting the reception intensity of the detection signal output from each of the sensors to each of the receiving units in a state where the second connection state is realized. A method for inspecting a measuring device, wherein an abnormality of each of the sensor and the receiving unit can be inspected based on a difference in reception intensity between the first and second connection states.
的に配列してなるアレイプローブと、前記超音波振動子
のそれぞれに対応して設けられ、各超音波振動子との間
で信号の送受信を行う多数の送受信回路部とを備えた超
音波検査装置に対して、これら超音波振動子および送受
信回路部の動作状態を検査する方法において、 前記超音波振動子を前記送受信回路部に接続して第１の
接続状態を実現する工程と、 前記第１の接続状態が実現された状態で前記アレイプロ
ーブを反射体に対向させ、各々の送受信回路部を順次作
動させてこの送受信回路部に接続された超音波振動子と
前記反射体との間で超音波の送受信を行い、そのときの
受信強度を送受信回路部毎に出力する工程と、 前記超音波振動子を前記第１の接続状態のときと異なる
ように前記送受信回路部に接続して第２の接続状態を実
現する工程と、 前記第２の接続状態が実現された状態で前記アレイプロ
ーブを反射体に対向させ、各々の送受信回路部を順次作
動させてこの送受信回路部に接続された超音波振動子と
前記反射体との間で超音波の送受信を行い、そのときの
受信強度を送受信回路部毎に出力する工程とを備え、 前記第１および第２の接続状態における受信強度の相違
により超音波振動子および送受信回路部のそれぞれの異
常を検査可能としたことを特徴とする超音波検査装置の
検査方法。2. An array probe in which a number of ultrasonic transducers are arranged at least one-dimensionally, and an array probe is provided corresponding to each of the ultrasonic transducers. A method for inspecting the operation state of these ultrasonic transducers and the transmission / reception circuit section for an ultrasonic inspection apparatus having a large number of transmission / reception circuit sections for performing transmission / reception, wherein the ultrasonic transducer is connected to the transmission / reception circuit section. And a step of realizing a first connection state, and in a state where the first connection state is realized, the array probe is opposed to a reflector, and each transmission / reception circuit section is sequentially operated to allow the transmission / reception circuit section to operate. Transmitting and receiving ultrasonic waves between the connected ultrasonic vibrator and the reflector, and outputting the reception intensity at that time for each transmitting / receiving circuit unit; and connecting the ultrasonic vibrator to the first connection state. Different from when A step of connecting to the transmitting / receiving circuit section to realize a second connection state; and causing the array probe to face a reflector in a state where the second connecting state is realized, and sequentially operating each transmitting / receiving circuit section. Transmitting and receiving an ultrasonic wave between the ultrasonic transducer connected to the lever transmitting and receiving circuit unit and the reflector, and outputting the reception intensity at that time for each transmitting and receiving circuit unit, An inspection method for an ultrasonic inspection apparatus, wherein an abnormality of each of an ultrasonic transducer and a transmission / reception circuit unit can be inspected based on a difference in reception intensity in a second connection state.
電子走査式超音波検査装置であって、 多数の超音波振動子を少なくとも１次元的に配列してな
るアレイプローブと、 前記超音波振動子のそれぞれに対応して設けられ、各超
音波振動子との間で信号の送受信を行う多数の送受信回
路部とを備え、 前記アレイプローブと送受信回路部とはプラグおよびレ
セプタクルを介して接続され、 前記プラグおよびレセプタクルは、その各端子の配線状
態がそれぞれ回転対称状に設定されているとともに、相
互に反転挿脱可能に構成されていることを特徴とする電
子走査式超音波検査装置。3. An electronic scanning ultrasonic inspection apparatus inspected by the inspection method according to claim 2, wherein: an array probe in which a number of ultrasonic transducers are arranged at least one-dimensionally; A plurality of transmission / reception circuit units are provided corresponding to each of the ultrasonic transducers and transmit and receive signals to and from each ultrasonic transducer.The array probe and the transmission / reception circuit unit are connected via a plug and a receptacle. The electronic scanning ultrasonic inspection apparatus, wherein the plug and the receptacle are configured such that wiring states of respective terminals thereof are respectively set to be rotationally symmetrical and that the plug and the receptacle are configured to be capable of being invertedly inserted and removed from each other. .
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