JP3007224U - 気体移送ポンプのバルブ装置 - Google Patents
気体移送ポンプのバルブ装置Info
- Publication number
- JP3007224U JP3007224U JP1994010259U JP1025994U JP3007224U JP 3007224 U JP3007224 U JP 3007224U JP 1994010259 U JP1994010259 U JP 1994010259U JP 1025994 U JP1025994 U JP 1025994U JP 3007224 U JP3007224 U JP 3007224U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- pump
- valve seat
- port
- valve plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ダイヤフラム等の往復動部材で区画されたポ
ンプ室に対して確実なチャッキ動作を遂行するとともに
ポンプ停止時にポンプ室内圧力をスムーズに大気開放す
る再起動特性に優れたポンプ製作に寄与するバルブ装置
を提供すること。 【構成】 バルブプレート(21)の基端部(21a)
が段差(H)をもって対応する弁座(27)の弁座面
(27a)から離間状態となるようにシート部材(2
3)の保持部(23a)により保持される。バルブプレ
ート合成樹脂あるいはゴム等の可撓性材料で形成されて
おり、ポンプ動作時にポート(28)側が負圧になった
際、このバルブプレートのバルブ部片(21b)が変形
して弁座面(27a)に密着して確実なチャッキ状態を
呈する。ポート(28)側が加圧状態になった際、バル
ブ部片(21b)が弁座面より離れるが、シート部材
(22)の規制部(34)により過度の移動を規制され
る。ポンプ停止時にバルブ部片(21b)は自己の復元
力により弁座面より離れ、ポンプ室を大気開放する。
ンプ室に対して確実なチャッキ動作を遂行するとともに
ポンプ停止時にポンプ室内圧力をスムーズに大気開放す
る再起動特性に優れたポンプ製作に寄与するバルブ装置
を提供すること。 【構成】 バルブプレート(21)の基端部(21a)
が段差(H)をもって対応する弁座(27)の弁座面
(27a)から離間状態となるようにシート部材(2
3)の保持部(23a)により保持される。バルブプレ
ート合成樹脂あるいはゴム等の可撓性材料で形成されて
おり、ポンプ動作時にポート(28)側が負圧になった
際、このバルブプレートのバルブ部片(21b)が変形
して弁座面(27a)に密着して確実なチャッキ状態を
呈する。ポート(28)側が加圧状態になった際、バル
ブ部片(21b)が弁座面より離れるが、シート部材
(22)の規制部(34)により過度の移動を規制され
る。ポンプ停止時にバルブ部片(21b)は自己の復元
力により弁座面より離れ、ポンプ室を大気開放する。
Description
【0001】
本考案は、エアー等の気体を移送するポンプに係り、特にダイヤフラム等の往 復動部材の往復動に応じて容積変化するポンプ室に吸込口及び吐出口を連通する 間に設けられるバルブ装置に関する。
【0002】
この種の気体移送ポンプにおいて、安定した吐出量と圧力特性を得るためにバ ルブ装置のリードバルブはダイヤフラムやピストン等の往復動に連動してバルブ の開閉運動が行なわれ、かつ確実なチャッキ性能を維持しなければならない。
【0003】 従来のバルブ装置においては、リードバルブとして弁座面に対して密着状態に 取付けられるとともに該弁座のポートに対してポンプ室の容積変化に応じて開閉 動作するバルブプレートが用いられる。
【0004】 このように、弁座面に常時は密着したバルブプレートを用いることにより、確 実なチャッキ性能を維持するようにしているが、ポンプ停止時にはポンプ室内の 圧力を大気に開放する必要がある。これは、ポンプ室内圧力が高いと、往復動部 材をインダクションモータ等の始動トルクが小さい駆動手段を用いた場合に、こ の高いポンプ室内圧力によりポンプの再起動ができない事態も発生する。
【0005】 ポンプの再起動特性を改善する方法としては、電磁弁を利用し、ポンプ停止時 に電磁弁を作動させてバルブを強制的に開成してポンプ室内の圧力を大気に開放 する方法や、バルブプレートとして予め弁座部に密着しないように変形させた金 属バルブを用いて、この変形によるバネ弾性を利用してポンプ室より圧力を放出 させる方法のものが見られる。
【0006】
【考案が解決しようとする課題】 このように、ポンプの再起動特性を改善する方法は従来から知られているが、 前述の電磁弁を利用するものでは、再起動特性は優れているが電磁弁が高価であ り配置スペースも必要となるため、ポンプ全体のコストアップが避けられないと ともに小型化設計が困難である。又、耐食性の高いガスの移送の場合は、電磁弁 も耐食仕様とせねばならないので、一層のコストアップが避けられない問題があ る。
【0007】 又、バルブプレートとして金属バルブを用いるものでは、構造が簡単で低コス トでできる利点があるが、ポンプ室内を高真空等の高い圧力状態とするポンプ仕 様にあっては、それに応じて金属バルブのバネ弾性を大とせねばならず、従って 、低真空等の低い圧力状態で使用した場合には、バルブのチャッキ性能が安定せ ずポンプ性能が安定しにくいといった欠点がある。一方、低い圧力状態でバルブ のチャッキ性能を安定するようにバルブのバネ弾性を小とした場合には、高圧力 領域において確実な再起動を期待し得ない。又、一方、確実な再起動を生じさせ るバネ弾性のものでは、低圧力領域においてポンプ性能が安定しにくいといった 欠点がある。
【0008】 よって、本考案は、上記従来のバルブ装置の諸問題に鑑みなされてもので、そ の目的はポンプ運転時において確実なチャッキ動作を行なうとともにポンプ停止 時にはポンプ室内圧力の大気開放をスムーズに行ない優れた再起動特性を発揮す るとともにポンプを低コストで製作でき、小型化設計も容易な気体移送ポンプの バルブ装置を提供するにある。
【0009】
上記目的を達成するために、本考案は、ダイヤフラム等の往復動部材によって 仕切られ該往復動部材の往復動に応じて容積変化するポンプ室を形成したポンプ 本体と、該ポンプ本体に組付けられエアー等のポンプ移送気体のための吸込口及 び吐出口を形成したポンプヘッドと、これら吸込口及び吐出口とポンプ室との間 に介在し、該往復動部材の往復動に応答して吸込側及び吐出側をポンプ室に対し て開閉制御するバルブ装置とよりなり、該バルブ装置が吸込口ないし吐出口にそ れぞれ連通するポートを形成した弁座と、該弁座に対応して配置したバルブプレ ートとを備え、該バルブプレートの基端部を対応する弁座のポート周縁部に固定 するとともに往復動部材の往復動に応答して対応する弁座のポートに対し開閉動 作させるようにした気体移送ポンプの構成を前提として、前記バルブプレートを 合成樹脂あるいはゴム等の可撓性材料で形成するとともに、該バルブプレートの 基端部を対応する弁座面に対して離間状態で保持する保持部材を該バルブプレー トと弁座との間に介在させた構成を特徴とする気体移送ポンプのバルブ装置を提 案するものである。
【0010】 又、本考案において、前記バルブプレートが吸込側及び吐出側のポートにそれ ぞれ対応する左右一対の舌片状バルブ部片を備えるとともに両バルブ部片の中間 部を共通の基端部として形成してなり、前記保持部材は該バルブプレートに対し て上下よりそれぞれ重ね合わされる第1及び第2のシート部材よりなり、これら シート部材は該バルブプレートのバルブ部片と対応する部分に開口を有するとと もに該バルブプレートの基端部に対応する部分に該基端部を弁座面に対して離間 状態に保持する保持部を有してなる構成の気体移送ポンプのバルブ装置を提案す るものである。
【0011】 更に、本考案において、前記第1及び第2のシート部材が前記バルブプレート のバルブ部片に対応する部分において、該バルブ部片が弁座と対応する気体流入 側と反対の気体流出側にある開口は複数形成され、これら開口間に残された部分 がバルブ部片の気体流出側への過度の変形を防止する規制部を構成してなる気体 移送ポンプのバルブ装置を提案するものである。
【0012】
上記構成の本考案のバルブ装置においては、バルブプレートの基端部が対応す る弁座面に対して直接的に密着しない離間状態に保持部材を介して弁座に取付け られており、又、該バルブプレートは合成樹脂あるいはゴム等の可撓性材料で形 成されている。ポンプ運転時においてポンプ室内の圧力変動に応じてバルブプレ ートが弁座面に押しつけられる場合は該バルブプレートが自己の可撓性によって 自在に変形して離間状態から該弁座面に密着して十分なチャッキ性能を発揮する 。他方、ポンプ停止時には、該バルブプレートの自己の復元力により、密着状態 から弁座面より離れ、ポンプ室内圧力を大気開放するので、往復動部材がインダ クションモータ等の低トルクの駆動手段による構成のものでも、常に確実なポン プの再起動を行なわせることができる。
【0013】 本考案に係るバルブ装置において、保持部材を第1及び第2のシート部材で構 成し、該バルブプレートにポートに対応して舌片状のバルブ部片を形成し、該バ ルブ部片に対応して第1及び第2のシート部材に開口を形成した構成では、これ ら第1及び第2のシート部材がバルブシートを挟んで上下より重ね合わされてポ ンプ本体とポンプヘッド間に容易に装着される。これによって第1及び第2のシ ート部材の肉厚分だけバルブプレートが弁座面より離間した状態となる。
【0014】 又、第1及び第2のシート部材の開口のうち、バルブ部片が弁座と対応する気 体流入側と反対の気体流出側にある開口が複数形成され、これらの開口間に規制 部が形成された構成では、ポンプ室の圧力変動に応じて弁座面より離れるバルブ 部片が該規制部により過度に変形するのが抑制される。これによって、安定した 吐出量と圧力特性が得られる。
【0015】
以下、図面を参照して本考案の実施例を説明する。図1において、1はポンプ 本体、2はその上端部にボルト3で取付けられたポンプヘッドである。4はポン プ本体1に内蔵されたインダクションモータ、5は該モータ4のモータ軸に直結 された駆動軸、6は一端が偏心輪7及びベアリング8を介して駆動軸5に連結さ れるとともに他端が往復動部材を構成するダイヤフラム10に取付ネジ11で固 定された支持板6aに一体に連結されたクランク軸である。
【0016】 ダイヤフラム10はポンプ本体1とポンプヘッド2との間に挟持され、ポンプ ヘッド2との間に形成されたポンプ室12をポンプ室2と共働して区画している 。
【0017】 モータ4の回転駆動に応じてクランク軸6がクランク運動し、回転軸5の回転 運動をダイヤフラム10の往復動に変換し、ポンプ室12のポンプ容積を変動さ せる。
【0018】 ポンプヘッド2に本考案に係るバルブ装置13が設けられ、該バルブ装置13 を介してポンプ室12と流通孔14とが連通し、該流通孔14は図2に示すよう にポンプヘッド2に形成された吸込口15及び吐出口16にそれぞれ連通してい る。バルブ装置13はポンプヘッド2に取付ボルト17により弁座部材18とと もに取付固定される。
【0019】 図2において、ポンプヘッド2に形成された取付穴20にバルブ装置13の弁 座部材18とバルブプレート21及び該プレート21を挟んでその上下に重ね合 わされた第1のシート部材22及び第2のシート部材23が嵌合状態で組付けら れている。これらバルブプレート21及び第1,第2のシート部材22,23は 中央軸線X−Xに対して対称形状で、一方がエアー等のポンプ移送気体を取入れ る吸込口15に連通した吸込側に、又、他方がポンプ室12から送り出されたエ アー等の気体を外部へ送り出す吐出口16に連通した吐出側に対応している。吸 込側において、ポンプヘッド12に弁座24及び吸込口15に連通した吸込側ポ ート25が形成されるとともに該ポート25に対向して弁座部材18にポンプ室 12に連通したポート26が形成され、吸込側ポート25の下端周縁部に弁座面 24aが形成されている。他方、吐出側において、弁座部材18と一体に弁座2 7が形成され、ポンプ室12に連通する吐出側ポート28の上端周縁部に弁座面 27aが形成され、該ポート28に対向してポンプヘッド2に吐出口16に連通 するポート30が形成されている。
【0020】 バルブプレート21は合成樹脂あるいはゴム等の可撓性材料で形成されている 。実施例では板厚0.5mmのテフロン(商品名)の板材により形成されている 。軸線X−Xに対応する該プレート21の基端部21aが上下の第1及び第2の シート部材22,23の保持部22a,23aにより固定状態に挟持され、該基 端部21aより左右に延出してリードバルブを構成するバルブ部片21bが切欠 31によって可動自在に形成されている。この各バルブ部片21bに対応して、 第1及び第2のシート部材22,23には、図3で示すように拡大形状の単一の 開口32及び2つの小形状の開口33がそれぞれ形成され、開口32は弁座面2 4a,27aに対応する気体の流入側のシート部材に形成されるとともに開口3 3は弁座面24a,27aと対応する気体流入側と反対側の気体流出側に形成さ れている。
【0021】 第1及び第2のシート部材22,23は、剛性の高い合成樹脂あるいはゴム、 又は金属で形成されるのが望ましい。実施例では0.25mmのポリエチレンテ レフタレートの板材により形成されている。
【0022】 このように、バルブプレート21の上下に第1及び第2のシート部材22,2 3が重ね合わされるため、バルブプレート21は、その基端部21aが対応する 弁座面24a,27aに対して自然の状態において、直接密着せず、離間状態に 保持される。具体的には、基端部21aより延出したバルブ部片21aが対応す る弁座24a,27aより離間状態に保持される。
【0023】 図3(a),(b),(c)について、第1及び第2のシート部材22,23 及びバルブプレート21の形状につき更に説明する。これら部材21〜23は同 径の円板状に形成され、ポンプヘッド2の取付穴20に重ねた状態で取付ボルト 17により取付け固定される。これら部材21〜23を取付穴20内に取付ける 順序及び位置を確定するために、取付穴20の周壁部には半円形及び矩形の凹所 20a,20bが形成され、他方、第1及び第2のシート部材22,23には、 これら凹所20a,20bに対応する半円形及び矩形の突起22b,23b;2 3c,23cが形成される。これら突起と凹所の相互の位置合わせにより各シー ト部材22,23位置ならびに表裏を間違いなく取付けができる。又、バルブプ レート21には左右対称形状のため、半円形の凹所20aに対応する突起21c のみ一体に形成してあり、表裏いずれでも使用可能になっている。
【0024】 又、バルブプレート21には左右一対の確認孔21dが、又、第2のシート部 材23には片側にのみ1個の確認孔23dがそれぞれ貫通形成され、他方、第1 のシート部材22には確認孔が形成されていない。この組合せにより、第1及び 第2のシート部材22,23の重ね合わせの順序及び同部品の2重使用の間違い を確認できる。すなわち、重ね合わせた状態で、外側より見た場合に確認孔23 d,21dが通って第1のシート部材22の面が該孔より確認できれば正しく、 万一、該孔の通りが確認できない場合や、全部孔が通る場合は、重ね合わせの間 違いや同部品の2重使用の間違いであることが容易に確認できるので、第1及び 第2シート部材22,23が殆ど同形状であっても、取付作業を間違いなく容易 に行なうことができる。
【0025】 第1及び第2のシート部材22,23にそれぞれ片側に形成された小形状の2 つの開口33の間は規制部として構成され、図4において後述のごとく、バルブ 部片21bの過度の移動を抑制する作用を果す。尚、これら開口33は2つに限 らず、更に複数設けてもよいが、その間に規制部34を形成すればよい。又、こ れら第1及び第2のシート部材22,23及びバルブプレート21はプレスの折 抜き加工により、あるいはプラスチックの成形加工により容易かつ低コスト製作 される。
【0026】 図4は図2に示すバルブ装置13の吐出側の構成を拡大して示すものであるが 、吸込側のバルブ動作も同様になされる。
【0027】 図4(a)に実線で示すごとく、ポンプ室12側がダイヤフラム10の作動に より負圧となり吸込状態になると、吐出側のバルブ部片21aが実線で示す矢印 方向に引かれて対応する弁座27の面27aに密着する。このバルブ部片21b は常態において保持部23aにより高さHだけ段差を設けて、離間状態となって いるが、この負圧の作用によりバルブ部片21bが基端部21aを残して容易か つ迅速に変形し、確実なチャッキ状態を維持する。
【0028】 他方、ダイヤフラム10が反対方向に移動してポンプ室12内が加圧状態とな り、鎖線で示す矢印方向にバルブ部片21bに圧力が加わると、該バルブ部片2 1bが弁座面27aより離れバルブが開成されてポンプ室12内の気体が吐出さ れる。この場合、バルブ部片21bは開成方向に移動した際に、2点鎖線で示す ごとく、第1のシート部材22の規制部34に係合し、これ以上移動することが 阻止される。従って、バルブ部片21bの過度の移動が規制されるために、安定 したバルブ動作が得られ、ポンプ特性が一層向上する。
【0029】 次に、ポンプ動作停止時には、図4(b)で示すように、バルブ部片21bは 自己の弾性によって、対応する弁座面27aより離れるように変形して戻り、弁 座面27aとの間にクサビ状の間隙35を形成するので、この間隙35を介して 、矢印で示すように、バルブ部片21bは自己の弾性によって、対応する弁座面 27aとの間にクサビ状の間隙35を形成するので、この間隙35を介して、矢 印で示すようにポンプ室12内の圧力が吐出口16を介して大気開放される。
【0030】 このように、バルブプレート21を合成樹脂あるいはゴム等の可撓性材料で形 成し、対応する弁座面27aとの間に段差Hを設けたことにより、ポンプ動作停 止時において、該バルブプレート21の弾性変形によりポンプ室12の大気開放 が極めてスムーズに行なわれるとともにポンプ動作時におけるバルブ閉成のチャ ッキ状態も迅速かつ確実に行なわれる。
【0031】 尚、図4は吐出側のバルブ動作のみを説明したが、吐出側は、バルブプレート 21のバルブ部片21bが、対応するポンプヘッド2側の弁座24の弁座面24 aに対して同様の動作を行なう。この場合、段差Hは第1のシート部材22の保 持部22aにより確保される。
【0032】 なお、実施例構成に代えて、段差Hを確保する保持部22a,23aの部分を 弁座部材18及びポンプヘッド2より一体に突出させて構成することも可能であ り、従って、第1及び第2のシート部材22,23を設けない態様も本考案に含 まれる。又、バルブシート21及び第1及び第2のシート部材22,23を吸込 側及び吐出側に同時に対応するシート形成としたが個別のシートで構成すること も可能である等、本考案は実施例構成に限定されるものではない。
【0033】
以上のように、本考案のバルブ装置によれば、バルブプレートを合成樹脂ある いはゴム等の可撓性材料で形成するとともに基端部を弁座面に対して離間した状 態に保持する構成としたので、ポンプ動作時には、該バルブプレートが自己の可 撓性によって自在に変形して確実なチャッキ動作を遂行し、安定した吐出量を確 保して高いポンプ性能を発揮することができ、他方、ポンプ停止時には、該バル ブプレートの自己の復元力により弁座面に対する密着状態からスムーズに離れ、 ポンプ室内圧力を大気開放するので、ダイヤフラム等の往復動部材がインダクシ ョンモータ等の低トルクの駆動手段による構成のものでも、常に確実なポンプの 再起動が可能となり、安定したポンプ性能を発揮させるとともにポンプの小型化 、低コスト化にも寄与する等、種々の実用的効果を奏するものである。
【図1】本考案に係るバルブ装置を備えた気体移送ポン
プの実施例の要部破断縦断面図である。
プの実施例の要部破断縦断面図である。
【図2】バルブ装置の詳細を示す図1の2−2線に沿う
拡大断面図であり、該バルブ装置を構成する第1のシー
ト部材、バルブプレート及び第2のシート部材を図3
(a),(b),(c)のA−A線、B−B線及びC−
C線に沿う断面形で示す。
拡大断面図であり、該バルブ装置を構成する第1のシー
ト部材、バルブプレート及び第2のシート部材を図3
(a),(b),(c)のA−A線、B−B線及びC−
C線に沿う断面形で示す。
【図3】バルブ装置を構成する各部材を図2の3−3線
に沿って見た平面図で(a)は第1のシート部材、
(b)はバルブプレート、(c)は第2のシート部材を
示す。
に沿って見た平面図で(a)は第1のシート部材、
(b)はバルブプレート、(c)は第2のシート部材を
示す。
【図4】バルブ装置におけるバルブプレートの動作態様
を示すために吐出側に配置されたバルブプレートを含む
バルブ装置の要部拡大断面図であり、(a)はバルブプ
レートのチャッキ状態を実線で、又、吐出状態を鎖線で
示し、(b)はポンプ停止時の開放状態を示す。
を示すために吐出側に配置されたバルブプレートを含む
バルブ装置の要部拡大断面図であり、(a)はバルブプ
レートのチャッキ状態を実線で、又、吐出状態を鎖線で
示し、(b)はポンプ停止時の開放状態を示す。
1 ポンプ本体 2 ポンプヘッド 10 ダイヤフラム 12 ポンプ室 13 バルブ装置 21 バルブプレート 22 第1のシート部材 23 第2のシート部材 24,27 弁座 24a,27a 弁座面 32,33 開口 34 規制部
Claims (3)
- 【請求項1】ダイヤフラム等の往復動部材によって仕切
られ該往復動部材の往復動に応じて容積変化するポンプ
室を形成したポンプ本体と、該ポンプ本体に組付けられ
エアー等のポンプ移送気体のための吸込口及び吐出口を
形成したポンプヘッドと、これら吸込口及び吐出口とポ
ンプ室との間に介在し、該往復動部材の往復動に応答し
て吸込側及び吐出側をポンプ室に対して開閉制御するバ
ルブ装置とよりなり、該バルブ装置が吸込口ないし吐出
口にそれぞれ連通するポートを形成した弁座と、該弁座
に対応して配置したバルブプレートとを備え、該バルブ
プレートの基端部を対応する弁座のポート周縁部に固定
するとともに往復動部材の往復動に応答して対応する弁
座のポートに対し開閉動作させるようにした気体移送ポ
ンプにおいて、 前記バルブプレートを合成樹脂あるいはゴム等の可撓性
材料で形成するとともに、該バルブプレートの基端部を
対応する弁座面に対して離間状態で保持する保持部材を
該バルブプレートと弁座との間に介在させたことを特徴
とする気体移送ポンプのバルブ装置。 - 【請求項2】前記バルブプレートは吸込側及び吐出側の
ポートにそれぞれ対応する左右一対の舌片状バルブ部片
を備えるとともに両バルブ部片の中間部を共通の基端部
として形成してなり、前記保持部材は該バルブプレート
に対して上下よりそれぞれ重ね合わされる第1及び第2
のシート部材よりなり、これらシート部材は該バルブプ
レートのバルブ部片と対応する部分に開口を有するとと
もに該バルブプレートの基端部に対応する部分に該基端
部を弁座面に対して離間状態に保持する保持部を有して
なる請求項1に記載の気体移送ポンプのバルブ装置。 - 【請求項3】前記第1及び第2のシート部材が前記バル
ブプレートのバルブ部片に対応する部分において、該バ
ルブ部片が弁座と対応する気体流入側と反対の気体流出
側にある開口は複数形成され、これら開口間に残された
部分がバルブ部片の気体流出側への過度の変形を防止す
る規制部を構成してなる請求項2に記載の気体移送ポン
プのバルブ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1994010259U JP3007224U (ja) | 1994-07-27 | 1994-07-27 | 気体移送ポンプのバルブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1994010259U JP3007224U (ja) | 1994-07-27 | 1994-07-27 | 気体移送ポンプのバルブ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP3007224U true JP3007224U (ja) | 1995-02-14 |
Family
ID=43143075
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1994010259U Expired - Lifetime JP3007224U (ja) | 1994-07-27 | 1994-07-27 | 気体移送ポンプのバルブ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3007224U (ja) |
-
1994
- 1994-07-27 JP JP1994010259U patent/JP3007224U/ja not_active Expired - Lifetime
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5775703B2 (ja) | ダイヤフラムポンプ | |
KR101746009B1 (ko) | 급속 토출밸브 구조체 및 다이아프램 펌프 | |
US4181477A (en) | Pump valve | |
US20060131530A1 (en) | Piezoelectric actuator and pump using same | |
US7424847B2 (en) | Diaphragm assembly for a pump | |
GB2204110A (en) | Compressor discharge valve assembly | |
US4242061A (en) | Double diaphragm pump | |
KR20130118912A (ko) | 냉동압축기용 흡기밸브 및 그 장착 공정 | |
JP3976677B2 (ja) | 支持リングを有する膜ポンプ | |
US5697770A (en) | Pump using a single diaphragm having preformed oppositely directed bulges forming inlet and outlet valve closing bodies | |
JP5453189B2 (ja) | ダイヤフラムポンプ | |
JP3007224U (ja) | 気体移送ポンプのバルブ装置 | |
EP3660309B1 (en) | Diaphragm pump | |
JP3843386B2 (ja) | 小型ポンプ | |
CN111386417B (zh) | 阀装置、泵头及泵装置 | |
JP5453190B2 (ja) | ダイヤフラムポンプ | |
CN210599354U (zh) | 微型液泵 | |
JP2001248563A (ja) | 脈動式ダイヤフラムポンプ | |
JP7449100B2 (ja) | ダイヤフラムポンプ | |
JP4392635B2 (ja) | 脈動式ダイヤフラムポンプ | |
CN214092247U (zh) | 隔膜泵 | |
JPH0418148B2 (ja) | ||
CN220769704U (zh) | 阀组件、压缩组件及涡旋压缩机 | |
JP2004197570A (ja) | ダイヤフラムポンプ | |
JP2001193656A (ja) | 圧電素子ポンプ |