JP2001193656A - 圧電素子ポンプ - Google Patents
圧電素子ポンプInfo
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- JP2001193656A JP2001193656A JP2000007456A JP2000007456A JP2001193656A JP 2001193656 A JP2001193656 A JP 2001193656A JP 2000007456 A JP2000007456 A JP 2000007456A JP 2000007456 A JP2000007456 A JP 2000007456A JP 2001193656 A JP2001193656 A JP 2001193656A
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- piezoelectric element
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- valve hole
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ポンプ動作のロスが小さい圧電素子ポンプ
を提供すること。 【解決手段】 本発明は、圧電素子を貼着した振動板を
撓ませ、それによってポンプ室内の容積を変化させて流
体を吸入/圧送する圧電素子ポンプに関し、そこに設け
られた逆止弁が、環状に形成された支持部51と、支持
部51から内側に突き出された可撓部52と、その可撓
部52を介して支持部51の略中心に配置された弁体部
53とが樹脂フィルムで形成されたバルブシート41/
42を有し、そのバルブシート41/42が、支持部5
1を挟み込まれて取り付けられ、入力側弁孔及び出力側
弁孔を塞ぐ弁体部53が、可撓部52の撓みによって開
閉を行うものである。
を提供すること。 【解決手段】 本発明は、圧電素子を貼着した振動板を
撓ませ、それによってポンプ室内の容積を変化させて流
体を吸入/圧送する圧電素子ポンプに関し、そこに設け
られた逆止弁が、環状に形成された支持部51と、支持
部51から内側に突き出された可撓部52と、その可撓
部52を介して支持部51の略中心に配置された弁体部
53とが樹脂フィルムで形成されたバルブシート41/
42を有し、そのバルブシート41/42が、支持部5
1を挟み込まれて取り付けられ、入力側弁孔及び出力側
弁孔を塞ぐ弁体部53が、可撓部52の撓みによって開
閉を行うものである。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電素子ポンプに関す
る。
る。
【0002】
【従来の技術】圧電素子ポンプは、圧電素子の歪みによ
って撓む振動板によって流体を吸入/圧送して供給する
ものである。ここで、図4は、従来の圧電素子ポンプを
示す断面図である。従来の圧電素子ポンプは、図4に示
すように、入力ポート101と出力ポート102が形成
されたボディ103に、断面凹形のインナープレート1
04がはめ込まれ、そのインナープレート104の凹部
内に、圧電素子105が貼り合わされた振動板106が
はめ込まれている。振動板106の下にはポンプ室10
9が形成され、そこに入力ポート101と出力ポート1
02とが連通するように、入力側弁孔107と出力側弁
孔108とが形成されている。そして、その入力側弁孔
107には、アンブレラ弁110が傘部をポンプ室10
9側に配置させ、そしてもう一方の出力側弁孔108に
は、アンブレラ弁111が傘部を出力ポート102側に
配置させて各々取り付けられている。これにより、入力
ポート101からポンプ室109を通って出力ポート1
02への一方通行の流路が形成されている。
って撓む振動板によって流体を吸入/圧送して供給する
ものである。ここで、図4は、従来の圧電素子ポンプを
示す断面図である。従来の圧電素子ポンプは、図4に示
すように、入力ポート101と出力ポート102が形成
されたボディ103に、断面凹形のインナープレート1
04がはめ込まれ、そのインナープレート104の凹部
内に、圧電素子105が貼り合わされた振動板106が
はめ込まれている。振動板106の下にはポンプ室10
9が形成され、そこに入力ポート101と出力ポート1
02とが連通するように、入力側弁孔107と出力側弁
孔108とが形成されている。そして、その入力側弁孔
107には、アンブレラ弁110が傘部をポンプ室10
9側に配置させ、そしてもう一方の出力側弁孔108に
は、アンブレラ弁111が傘部を出力ポート102側に
配置させて各々取り付けられている。これにより、入力
ポート101からポンプ室109を通って出力ポート1
02への一方通行の流路が形成されている。
【0003】そこで、このような圧電素子ポンプでは、
通電した圧電素子105の歪みによって振動板106が
上下に撓むと、ポンプ室109内の容積が変化し、その
ポンプ動作によって流体が供給される。具体的には、ポ
ンプ室109が広くなって圧力が低くなると、入力ポー
ト101からアンブレラ弁110を撓ませて流体がポン
プ室109に吸入され、次いでポンプ室109が狭くな
って圧力が高まると、そのポンプ室109内の流体がア
ンブレラ弁111を撓ませて出力ポート102へと圧送
される。
通電した圧電素子105の歪みによって振動板106が
上下に撓むと、ポンプ室109内の容積が変化し、その
ポンプ動作によって流体が供給される。具体的には、ポ
ンプ室109が広くなって圧力が低くなると、入力ポー
ト101からアンブレラ弁110を撓ませて流体がポン
プ室109に吸入され、次いでポンプ室109が狭くな
って圧力が高まると、そのポンプ室109内の流体がア
ンブレラ弁111を撓ませて出力ポート102へと圧送
される。
【0004】ところが、こうした圧電素子ポンプは、圧
電素子105による振動板106の撓み量が小さいの
で、ポンプ室109内の容積変化も小さい。そのため、
アンブレラ弁110,111の傘部を撓ませるために多
くのエネルギーが消費されてしまい、その分流体の送り
量が少なくなってしまって振動板106によるポンプ動
作のロスが大きかった。そこで、効率よく燃料を供給で
きる圧電素子ポンプが要求されたが、そうした観点で従
来技術を見た場合、例えば実開昭63−145068号
の圧電素子ポンプを挙げることができる。図5は、実開
昭63−145068号のマイクロフィルムに記載され
た逆止弁取付構造を示す断面図である。
電素子105による振動板106の撓み量が小さいの
で、ポンプ室109内の容積変化も小さい。そのため、
アンブレラ弁110,111の傘部を撓ませるために多
くのエネルギーが消費されてしまい、その分流体の送り
量が少なくなってしまって振動板106によるポンプ動
作のロスが大きかった。そこで、効率よく燃料を供給で
きる圧電素子ポンプが要求されたが、そうした観点で従
来技術を見た場合、例えば実開昭63−145068号
の圧電素子ポンプを挙げることができる。図5は、実開
昭63−145068号のマイクロフィルムに記載され
た逆止弁取付構造を示す断面図である。
【0005】これは、ボディ201に穿設した弁孔20
2,202の開口部を塞ぐように、薄板状の弁体204
を弁座203に押圧させ、その弁体204の中心を取付
弁座205に対し座金206を介して取付ネジ207で
取付けるようにしたものである。そして、こうした逆止
弁を使用すれば、弁体204が薄板状のものであるた
め、弁を開ける際の抵抗が小さくなって、圧電素子ポン
プにおけるポンプ動作のロスが小さくなる。
2,202の開口部を塞ぐように、薄板状の弁体204
を弁座203に押圧させ、その弁体204の中心を取付
弁座205に対し座金206を介して取付ネジ207で
取付けるようにしたものである。そして、こうした逆止
弁を使用すれば、弁体204が薄板状のものであるた
め、弁を開ける際の抵抗が小さくなって、圧電素子ポン
プにおけるポンプ動作のロスが小さくなる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、弁体2
04は、座金206に押さえ付けられて撓みが制限され
た部分と、流体圧を受けて撓む部分との境界であるP部
に大きな変形が生じるため、その部分に曲げが生じてし
まい、閉鎖性を損なうなどの問題などがあった。その一
方で弁体204の剛性を高めれば、弁の開きが小さくな
って、やはり振動板によるポンプ動作のロスが大きくな
る。また、この逆止弁構造では、その弁体204の中心
部を取付ネジ207で押さえ付けているため弁体204
の外側が反りやく、このようなことからも閉塞性を低下
させるので、反り返りを考慮して弁座203に段差Hを
設ける必要があった。
04は、座金206に押さえ付けられて撓みが制限され
た部分と、流体圧を受けて撓む部分との境界であるP部
に大きな変形が生じるため、その部分に曲げが生じてし
まい、閉鎖性を損なうなどの問題などがあった。その一
方で弁体204の剛性を高めれば、弁の開きが小さくな
って、やはり振動板によるポンプ動作のロスが大きくな
る。また、この逆止弁構造では、その弁体204の中心
部を取付ネジ207で押さえ付けているため弁体204
の外側が反りやく、このようなことからも閉塞性を低下
させるので、反り返りを考慮して弁座203に段差Hを
設ける必要があった。
【0007】そこで、本発明は、かかる課題を解決する
ためになされたものであり、ポンプ動作のロスが小さい
圧電素子ポンプを提供することを目的とする。
ためになされたものであり、ポンプ動作のロスが小さい
圧電素子ポンプを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の圧電素子ポンプ
は、圧電素子を貼着した振動板によって塞いだポンプ室
に、入力ポート及び出力ポートを入力側弁孔又は出力側
弁孔を介してそれぞれ連通し、その入力側弁孔のポンプ
室側と出力側弁孔の出力ポート側とに逆止弁を設け、振
動板の撓みによるポンプ室の容積変化によって流体を吸
入/圧送するものであって、前記逆止弁は、環状に形成
された支持部と、その支持部から内側に突き出された可
撓部と、その可撓部を介して支持部の略中心に配置され
た弁体部とが樹脂フィルムで形成されたバルブシートを
有し、そのバルブシートが、支持部を挟み込まれて取り
付けられ、前記入力側弁孔及び出力側弁孔を塞ぐ弁体部
が可撓部の撓みによって開閉を行うことを特徴とする。
は、圧電素子を貼着した振動板によって塞いだポンプ室
に、入力ポート及び出力ポートを入力側弁孔又は出力側
弁孔を介してそれぞれ連通し、その入力側弁孔のポンプ
室側と出力側弁孔の出力ポート側とに逆止弁を設け、振
動板の撓みによるポンプ室の容積変化によって流体を吸
入/圧送するものであって、前記逆止弁は、環状に形成
された支持部と、その支持部から内側に突き出された可
撓部と、その可撓部を介して支持部の略中心に配置され
た弁体部とが樹脂フィルムで形成されたバルブシートを
有し、そのバルブシートが、支持部を挟み込まれて取り
付けられ、前記入力側弁孔及び出力側弁孔を塞ぐ弁体部
が可撓部の撓みによって開閉を行うことを特徴とする。
【0009】従って、本発明の圧電素子ポンプによれ
ば、逆止弁の弁体であるバルブシートを樹脂フィルムで
形成しているため、弁を開く際の抵抗が小さく、ポンプ
動作のロスを小さくすることができた。そして、そのバ
ルブシートは、固定部と弁体部との間に可撓部を介在さ
せるようにしたので、撓みが生じる可撓部には固定部と
の境界部分が大きく変形して曲げられるようなこともな
い。そのため、閉鎖性を安定させることができる。
ば、逆止弁の弁体であるバルブシートを樹脂フィルムで
形成しているため、弁を開く際の抵抗が小さく、ポンプ
動作のロスを小さくすることができた。そして、そのバ
ルブシートは、固定部と弁体部との間に可撓部を介在さ
せるようにしたので、撓みが生じる可撓部には固定部と
の境界部分が大きく変形して曲げられるようなこともな
い。そのため、閉鎖性を安定させることができる。
【0010】また、本発明の圧電素子バルブは、前記バ
ルブシートが、嵌合凹部内に入れられ、その嵌合凹部内
に固くはめ込まれる環状リングによって、前記支持部が
挟み込まれて取り付けられることを特徴とする。従っ
て、本発明の圧電素子ポンプによれば、取付けが簡単
で、しかも高さ方向の寸法も小さくすることができた。
ルブシートが、嵌合凹部内に入れられ、その嵌合凹部内
に固くはめ込まれる環状リングによって、前記支持部が
挟み込まれて取り付けられることを特徴とする。従っ
て、本発明の圧電素子ポンプによれば、取付けが簡単
で、しかも高さ方向の寸法も小さくすることができた。
【0011】
【発明の実施の形態】次に、本発明に係る圧電素子ポン
プの一実施形態について図面を参照しながら説明する。
図1は、本実施形態の圧電素子ポンプの断面図である。
圧電素子ポンプ1は、ポンプ本体2にインナープレート
3及びカバー7が一体に組み付けられて構成されてい
る。ポンプ本体2は、側方に突設された入力ポート11
と出力ポート12とが形成され、それらがインナープレ
ート3及びカバー7をはめ込むための上方に突設された
円筒部13内に連通している。インナープレート3は、
ポンプ本体2の円筒部13に嵌合可能な円盤形状をした
ものである。ここで、図2は、インナープレート3を示
した図であり、そのうち図(a)は平面図で、図(b)
は裏面図である。なお、図1のインナープレート3は、
図2(a)のA−A断面を示したものである。
プの一実施形態について図面を参照しながら説明する。
図1は、本実施形態の圧電素子ポンプの断面図である。
圧電素子ポンプ1は、ポンプ本体2にインナープレート
3及びカバー7が一体に組み付けられて構成されてい
る。ポンプ本体2は、側方に突設された入力ポート11
と出力ポート12とが形成され、それらがインナープレ
ート3及びカバー7をはめ込むための上方に突設された
円筒部13内に連通している。インナープレート3は、
ポンプ本体2の円筒部13に嵌合可能な円盤形状をした
ものである。ここで、図2は、インナープレート3を示
した図であり、そのうち図(a)は平面図で、図(b)
は裏面図である。なお、図1のインナープレート3は、
図2(a)のA−A断面を示したものである。
【0012】インナープレート3は、周縁部に突設され
た円筒凹部21を有し、円筒凹部21内の底面には、外
周部に平坦な環状の固定面22が形成され、その内側に
は曲率半径の大きな曲面23が形成されている。こうし
たインナープレート3には、円筒凹部21内にほぼ同径
の振動板31がはめ込まれている。振動板31は、その
周縁部がカバー4によってインナープレート3の固定面
22に対し押さえ付けられるようにして挟み込まれてい
る。そして、この振動板31に塞がれた湾曲面23との
間の空間がポンプ室40になる。
た円筒凹部21を有し、円筒凹部21内の底面には、外
周部に平坦な環状の固定面22が形成され、その内側に
は曲率半径の大きな曲面23が形成されている。こうし
たインナープレート3には、円筒凹部21内にほぼ同径
の振動板31がはめ込まれている。振動板31は、その
周縁部がカバー4によってインナープレート3の固定面
22に対し押さえ付けられるようにして挟み込まれてい
る。そして、この振動板31に塞がれた湾曲面23との
間の空間がポンプ室40になる。
【0013】ところで、この振動板31は円盤状の金属
板であり、その上面には圧電素子32が貼り合わされて
いる。圧電素子32は、上下両面に電極がコーティング
されており、その上面の電極には直接リード線33が接
続され、もう一方の振動板31に張り合わされた下面の
電極にはその振動板31を介して不図示のリード線が接
続されている。そして、振動板31のポンプ室40側の
面には、絶縁フィルム等により絶縁処理が施されてい
る。
板であり、その上面には圧電素子32が貼り合わされて
いる。圧電素子32は、上下両面に電極がコーティング
されており、その上面の電極には直接リード線33が接
続され、もう一方の振動板31に張り合わされた下面の
電極にはその振動板31を介して不図示のリード線が接
続されている。そして、振動板31のポンプ室40側の
面には、絶縁フィルム等により絶縁処理が施されてい
る。
【0014】また、インナープレート3には、こうして
ポンプ室40を構成する湾曲面23の部分に、図1に示
すような入力ポート11に連通する入力側弁孔25と、
出力ポート12に連通する出力側弁孔26が穿設されて
いる。そして、その弁孔25,26には、逆止弁を構成
するバルブシート41,42を配置させるための嵌合凹
部27,28がそれぞれに形成されている。特に入力側
弁孔25の嵌合凹部27はポンプ室40側に、もう一方
の出力側弁孔26の嵌合凹部28は出力ポート12側に
形成されている。更に、こうしたインナープレート3に
は、両弁孔25,26をつなぐように湾曲面23に連絡
溝29が形成されている。
ポンプ室40を構成する湾曲面23の部分に、図1に示
すような入力ポート11に連通する入力側弁孔25と、
出力ポート12に連通する出力側弁孔26が穿設されて
いる。そして、その弁孔25,26には、逆止弁を構成
するバルブシート41,42を配置させるための嵌合凹
部27,28がそれぞれに形成されている。特に入力側
弁孔25の嵌合凹部27はポンプ室40側に、もう一方
の出力側弁孔26の嵌合凹部28は出力ポート12側に
形成されている。更に、こうしたインナープレート3に
は、両弁孔25,26をつなぐように湾曲面23に連絡
溝29が形成されている。
【0015】次に、図3は、バルブシート41,42を
示す平面図である。バルブシート41,42は、厚さ
0.05mmのポリエステルフィルムから形成されたも
のであり、円形にカットしたシートから更にC形に内部
をカットしたものである。そのため、バルブシート4
1,42は、図示するように環状の支持部51から中心
方向に可撓部52が突き出され、それに連続して支持部
51のほぼ中心に弁体部53が位置するように形成され
ている。そして、こうしたバルブシート41,42は、
それぞれ嵌合凹部27,28内に固くはめ込まれた環状
リング43,44によって抜け落ちないように取り付け
られている。即ち、シートバルブ41,42は、支持部
51が環状リング43,44によって嵌合凹部27,2
8の底面に押し付けられるようにして挟み込まれ、それ
によって弁体部53も嵌合凹部27,28の底面に当て
られ、その嵌合凹部27,28の中心に穿設された弁孔
25,26を塞いでいる。
示す平面図である。バルブシート41,42は、厚さ
0.05mmのポリエステルフィルムから形成されたも
のであり、円形にカットしたシートから更にC形に内部
をカットしたものである。そのため、バルブシート4
1,42は、図示するように環状の支持部51から中心
方向に可撓部52が突き出され、それに連続して支持部
51のほぼ中心に弁体部53が位置するように形成され
ている。そして、こうしたバルブシート41,42は、
それぞれ嵌合凹部27,28内に固くはめ込まれた環状
リング43,44によって抜け落ちないように取り付け
られている。即ち、シートバルブ41,42は、支持部
51が環状リング43,44によって嵌合凹部27,2
8の底面に押し付けられるようにして挟み込まれ、それ
によって弁体部53も嵌合凹部27,28の底面に当て
られ、その嵌合凹部27,28の中心に穿設された弁孔
25,26を塞いでいる。
【0016】続いて、このように構成された圧電素子ポ
ンプ1は、通電した圧電素子32の歪みによって振動板
31が上下に撓むと、ポンプ室40内の容積が変化し、
そのポンプ動作によって流体が供給される。具体的に
は、先ず振動板31が上方に撓んでポンプ室40内の容
積が大きくなると、そのポンプ室40内の圧力が下が
る。そのため、入力側のバルブシート41は、その可撓
部52がポンプ室40側に撓められて弁体部53が入力
側弁孔25を開けるとともに、入力ポート11からの流
体がその弁体部53を押し上げてポンプ室40内に吸入
される。このとき、出力側のバルブシート42は、ポン
プ室40内の圧力低下により弁体部53が引き上げられ
て出力側弁孔26を塞いでいる。
ンプ1は、通電した圧電素子32の歪みによって振動板
31が上下に撓むと、ポンプ室40内の容積が変化し、
そのポンプ動作によって流体が供給される。具体的に
は、先ず振動板31が上方に撓んでポンプ室40内の容
積が大きくなると、そのポンプ室40内の圧力が下が
る。そのため、入力側のバルブシート41は、その可撓
部52がポンプ室40側に撓められて弁体部53が入力
側弁孔25を開けるとともに、入力ポート11からの流
体がその弁体部53を押し上げてポンプ室40内に吸入
される。このとき、出力側のバルブシート42は、ポン
プ室40内の圧力低下により弁体部53が引き上げられ
て出力側弁孔26を塞いでいる。
【0017】そして、こうした流体の吸入に連続して振
動板31が下方に撓んでポンプ室40内の容積が小さく
なると、ポンプ室40内に充填された流体が加圧され
る。加圧された流体は、出力側弁孔26を塞いでいたシ
ートバルブ42の弁体部53を押し下げ、可撓部52を
撓ませて開弁させる。一方、入力側のバルブシート41
は、流体圧を受けた弁体部53によって入力側弁孔25
を塞いでいる。よって、ポンプ室40に吸入された流体
は、バルブシート41に遮断されて入力ポート11側へ
逆流することはなく出力ポート12側へと押し流され
る。従って、再び振動板31によってポンプ室40内の
容積が大きくなれば流体が吸入され、そして小さくなれ
ば吸入された流体が圧送され、この動作が繰り返され流
体が供給される。なお、ポンプ室40の二次側流体は、
流体圧を受けたバルブシート42の弁体部53によって
出力側弁孔26が塞がれるので、ポンプ室40内に逆流
することはない。
動板31が下方に撓んでポンプ室40内の容積が小さく
なると、ポンプ室40内に充填された流体が加圧され
る。加圧された流体は、出力側弁孔26を塞いでいたシ
ートバルブ42の弁体部53を押し下げ、可撓部52を
撓ませて開弁させる。一方、入力側のバルブシート41
は、流体圧を受けた弁体部53によって入力側弁孔25
を塞いでいる。よって、ポンプ室40に吸入された流体
は、バルブシート41に遮断されて入力ポート11側へ
逆流することはなく出力ポート12側へと押し流され
る。従って、再び振動板31によってポンプ室40内の
容積が大きくなれば流体が吸入され、そして小さくなれ
ば吸入された流体が圧送され、この動作が繰り返され流
体が供給される。なお、ポンプ室40の二次側流体は、
流体圧を受けたバルブシート42の弁体部53によって
出力側弁孔26が塞がれるので、ポンプ室40内に逆流
することはない。
【0018】このように、本実施形態の圧電素子ポンプ
1では、バルブシート41,42によって逆止弁を構成
することで流体の供給を可能とした。そして、このバル
ブシート41,42は、厚さ0.05mmの極めて薄い
ポリエステルフィルムで形成したので、その可撓部52
を容易に撓ませて開弁させることができ、ポンプ動作の
ロスをなくした極めて効率の良い流体の供給が可能とな
った。また、こうした撓みやすい材質でしかも非常に薄
いバルブシート41,42はそれ自体の強度は低いが、
本実施形態では、図2に示すように支持部51と弁体部
53との間に可撓部52を設け、弁孔から流れ出る流体
の圧力を弁体部53が受け、そして可撓部52が撓むよ
うにしたので、図5に示した従来の弁体204のように
局所的に変形や応力が大きくなる部分(P部)がないた
め、バルブシート41,42が曲げられるようなことは
なく、逆流を防止するための閉鎖性を安定させることが
できた。
1では、バルブシート41,42によって逆止弁を構成
することで流体の供給を可能とした。そして、このバル
ブシート41,42は、厚さ0.05mmの極めて薄い
ポリエステルフィルムで形成したので、その可撓部52
を容易に撓ませて開弁させることができ、ポンプ動作の
ロスをなくした極めて効率の良い流体の供給が可能とな
った。また、こうした撓みやすい材質でしかも非常に薄
いバルブシート41,42はそれ自体の強度は低いが、
本実施形態では、図2に示すように支持部51と弁体部
53との間に可撓部52を設け、弁孔から流れ出る流体
の圧力を弁体部53が受け、そして可撓部52が撓むよ
うにしたので、図5に示した従来の弁体204のように
局所的に変形や応力が大きくなる部分(P部)がないた
め、バルブシート41,42が曲げられるようなことは
なく、逆流を防止するための閉鎖性を安定させることが
できた。
【0019】また、本実施形態のバルブシート41,4
2は、取付けのための支持部51を環状に形成し、その
中心に弁体部53が位置する形状としたので、弁孔2
5,26を一つの孔で済ますことがができた。なお、図
3や図4で示した従来例のものでは、一つの逆止弁に複
数の弁孔が形成されている。また、バルブシート41,
42は、嵌合凹部27,28内に固くはめ込まれた環状
リング43,44で支持部51が挟み込まれて取付けら
れるようにしたので、取付けが簡単で、しかも高さ方向
の寸法も小さくすることができたので、圧電素子ポンプ
1のコンパクト化に寄与する。
2は、取付けのための支持部51を環状に形成し、その
中心に弁体部53が位置する形状としたので、弁孔2
5,26を一つの孔で済ますことがができた。なお、図
3や図4で示した従来例のものでは、一つの逆止弁に複
数の弁孔が形成されている。また、バルブシート41,
42は、嵌合凹部27,28内に固くはめ込まれた環状
リング43,44で支持部51が挟み込まれて取付けら
れるようにしたので、取付けが簡単で、しかも高さ方向
の寸法も小さくすることができたので、圧電素子ポンプ
1のコンパクト化に寄与する。
【0020】以上、本発明に係る圧電素子ポンプの一実
施形態について説明したが、本発明は、これに限定され
ることなくその趣旨を逸脱しない範囲において適宜変更
可能である。例えば、前記実施形態で示したバルブシー
ト41,42の材質や厚さに変更を加えることなどであ
る。
施形態について説明したが、本発明は、これに限定され
ることなくその趣旨を逸脱しない範囲において適宜変更
可能である。例えば、前記実施形態で示したバルブシー
ト41,42の材質や厚さに変更を加えることなどであ
る。
【0021】
【発明の効果】本発明は、逆止弁を、環状に形成された
支持部と、その支持部から内側に突き出された可撓部
と、その可撓部を介して支持部の略中心に配置された弁
体部とが樹脂フィルムで形成されたバルブシートを有
し、そのバルブシートが、支持部を挟み込まれて取り付
けられ、入力側弁孔及び側弁孔を塞ぐ弁体部が、可撓部
の撓みによって開閉を行うようにしたので、ポンプ動作
のロスが小さい圧電素子ポンプを提供することを可能と
した。
支持部と、その支持部から内側に突き出された可撓部
と、その可撓部を介して支持部の略中心に配置された弁
体部とが樹脂フィルムで形成されたバルブシートを有
し、そのバルブシートが、支持部を挟み込まれて取り付
けられ、入力側弁孔及び側弁孔を塞ぐ弁体部が、可撓部
の撓みによって開閉を行うようにしたので、ポンプ動作
のロスが小さい圧電素子ポンプを提供することを可能と
した。
【図1】本発明に係る圧電素子ポンプの一実施形態を示
した断面図である。
した断面図である。
【図2】インナープレート3を示した図である。
【図3】バルブシート41,42を示した図である。
【図4】従来の圧電素子ポンプを示した断面図である。
【図5】実開昭63−145068号のマイクロフィル
ムに記載された、逆止弁取付構造を示す断面図である。
ムに記載された、逆止弁取付構造を示す断面図である。
1 圧電素子ポンプ 2 ポンプ本体 3 インナープレート 4 カバー 25 入力側弁孔 26 出力側弁孔 27,28 嵌合凹部 31 振動板 32 圧電素子 40 ポンプ室 41,42 バルブシート 43,44 環状リング 51 支持部 52 可撓部 53 弁体部
Claims (2)
- 【請求項1】 圧電素子を貼着した振動板によって塞い
だポンプ室に、入力ポート及び出力ポートを入力側弁孔
又は出力側弁孔を介してそれぞれ連通し、その入力側弁
孔のポンプ室側と出力側弁孔の出力ポート側とに逆止弁
を設け、振動板の撓みによるポンプ室の容積変化によっ
て流体を吸入/圧送する圧電素子ポンプにおいて、 前記逆止弁は、環状に形成された支持部と、その支持部
から内側に突き出された可撓部と、その可撓部を介して
支持部の略中心に配置された弁体部とが樹脂フィルムで
形成されたバルブシートを有し、そのバルブシートが支
持部を挟み込まれて取り付けられ、前記入力側弁孔及び
出力側弁孔を塞ぐ弁体部が、可撓部の撓みによって開閉
を行うことを特徴とする圧電素子バルブ。 - 【請求項2】 請求項1に記載の圧電素子バルブにおい
て、 前記バルブシートは、嵌合凹部内に入れられ、その嵌合
凹部内に固くはめ込まれる環状リングによって、前記支
持部が挟み込まれて取り付けられることを特徴とする圧
電素子バルブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000007456A JP2001193656A (ja) | 2000-01-17 | 2000-01-17 | 圧電素子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000007456A JP2001193656A (ja) | 2000-01-17 | 2000-01-17 | 圧電素子ポンプ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001193656A true JP2001193656A (ja) | 2001-07-17 |
Family
ID=18535842
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000007456A Pending JP2001193656A (ja) | 2000-01-17 | 2000-01-17 | 圧電素子ポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001193656A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100457129B1 (ko) * | 2002-07-29 | 2004-11-12 | 한국기계연구원 | 압전펌프 |
KR100829930B1 (ko) | 2006-11-29 | 2008-05-16 | 한국생산기술연구원 | 압전펌프 |
US9205665B2 (en) | 2013-12-19 | 2015-12-08 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Inkjet apparatus using piezoelectric pump |
CN107009753A (zh) * | 2016-01-28 | 2017-08-04 | 东芝泰格有限公司 | 油墨循环装置及油墨循环方法以及打印机及打印方法 |
-
2000
- 2000-01-17 JP JP2000007456A patent/JP2001193656A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100457129B1 (ko) * | 2002-07-29 | 2004-11-12 | 한국기계연구원 | 압전펌프 |
KR100829930B1 (ko) | 2006-11-29 | 2008-05-16 | 한국생산기술연구원 | 압전펌프 |
US9205665B2 (en) | 2013-12-19 | 2015-12-08 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Inkjet apparatus using piezoelectric pump |
CN107009753A (zh) * | 2016-01-28 | 2017-08-04 | 东芝泰格有限公司 | 油墨循环装置及油墨循环方法以及打印机及打印方法 |
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