JP2996706B2 - Pulse laser oscillation device - Google Patents
Pulse laser oscillation deviceInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、パルスレーザ発振装置に係り、特に、その
放電部及び電源構成に改良を施したパルスレーザ発振装
置に関するものである。Description: Object of the Invention (Industrial application field) The present invention relates to a pulse laser oscillation device, and more particularly to a pulse laser oscillation device having an improved discharge section and power supply configuration. is there.
（従来の技術） 放電励起方式のガスレーザ装置では、レーザガス中で
空間的に均一なグロー放電を発生させてレーザ発振を得
ているが、横方向励起パルスCO2レーザやエキシマレー
ザを始めとするパルスレーザ発振装置では、レーザガス
圧力が大気圧以上であり、さらに、電子付着性の強いガ
ス成分を含んでいるため、上記グロー放電を均一に点孤
することは困難である。このため、グロー放電点孤に先
立って予備電離を行うと共に、高速のパルス電圧を放電
部に印加してグロー放電を形成するのが一般的である。(Prior art) In a discharge-excitation type gas laser device, a laser oscillation is obtained by generating a spatially uniform glow discharge in a laser gas. However, a pulse such as a transverse excitation pulse CO 2 laser or an excimer laser is used. In the laser oscillation device, since the laser gas pressure is equal to or higher than the atmospheric pressure and further contains a gas component having a strong electron-adhering property, it is difficult to uniformly turn on the glow discharge. For this reason, it is general that pre-ionization is performed prior to glow discharge ignition, and a high-speed pulse voltage is applied to the discharge unit to form a glow discharge.
第３図は、従来のパルスレーザ発振装置の放電部構成
及び励起電源回路の一例を示す図である。即ち、一対の
主電極1,2が対向して配設され、主電極1,2で囲まれた空
間内にレーザガスが充填されている。また、主電極２は
接地されている。一方、主電極１には予備電離電極3aが
接続され、両者は電気的に同電位になっている。この予
備電離電極3aと予備電離電極3bとは、ギャップ４を介し
てレーザガス中に対向して配設されている。また、予備
電離電極3bは主電極１を機械的に支持する導体から電気
的に絶縁されてレーザガス中から引き出され、コンデン
サCs5に接続されている。さらに、充電用インダクタン
ス６の一端は予備電離電極3bとコンデンサCs5に共通接
続され、他端は接地されている。また、コンデンサCs5
はスイッチ７を介して接地されると共に、充電抵抗８を
介して高圧電源HV9に接続されている。さらに、主電極
1,2間にはコンデンサCb10が接続されている。なお、こ
れらのコンデンサ及びインダクタンス類は、一つもしく
は複数個が並列に接続されて構成さている。また、紙面
に垂直方向には光共振器（図示せず）が配設されてい
る。FIG. 3 is a diagram showing an example of a discharge section configuration and an excitation power supply circuit of a conventional pulse laser oscillation device. That is, a pair of main electrodes 1 and 2 are arranged to face each other, and a space surrounded by the main electrodes 1 and 2 is filled with a laser gas. The main electrode 2 is grounded. On the other hand, a preionization electrode 3a is connected to the main electrode 1, and both are electrically at the same potential. The preliminary ionization electrode 3a and the preliminary ionization electrode 3b are disposed to face each other in the laser gas via the gap 4. Further, the preliminary ionization electrode 3b is electrically insulated from the conductor that mechanically supports the main electrode 1, is extracted from the laser gas, and is connected to the capacitor Cs5. Further, one end of the charging inductance 6 is commonly connected to the preliminary ionization electrode 3b and the capacitor Cs5, and the other end is grounded. Also, the capacitor Cs5
Are grounded via a switch 7 and connected to a high voltage power supply HV9 via a charging resistor 8. In addition, the main electrode
A capacitor Cb10 is connected between 1 and 2. One or more of these capacitors and inductances are connected in parallel. An optical resonator (not shown) is provided in a direction perpendicular to the plane of the drawing.
この様に構成された従来のパルスレーザ発振装置は、
以下に述べるように動作する。即ち、初期状態において
は、スイッチ７は開いており、高圧電源HV9−充電抵抗
８−コンデンサCs5−充電用インダクタンス６−接地の
経路で、コンデンサCs5は充電されている。一方、コン
デンサCb10は充電されていないので、主電極１は接地電
位となっている。次いで、スイッチ７が閉じられると、
コンデンサCs5のスイッチ７側の電位は接地電位となる
ので、コンデンサCs5の予備電離電極3b側の電位は、コ
ンデンサCs5に充電された極性と逆の極性で予備電離電
極3bに加わる。一方、予備電離電極3aは接地電位なの
で、ギャップ４には高電位が加わり、ギャップ４でスパ
ーク放電が発生する。このスパーク放電により発生する
紫外線によって、主電極1,2間のレーザガスが予備電離
される。また、コンデンサCs5に蓄えられた電荷は、ス
イッチ７−コンデンサCs5−予備電離電極3b−ギャップ
４−予備電離電極3a−主電極１−コンデンサCb10の経路
で流れ、コンデンサCb10が充電されていく。この様にし
てコンデンサCb10の電圧が上昇して、主電極1,2間に加
わる電圧がレーザガスの放電破壊電圧以上に達すると、
主電極1,2間にグロー放電11が形成され、レーザガスが
励起され、図示していない光共振器の作用でレーザ光が
紙面垂直方向に出射される。The conventional pulsed laser oscillator configured as above is
It operates as described below. That is, in the initial state, the switch 7 is open, and the capacitor Cs5 is charged through the path of the high voltage power supply HV9, the charging resistor 8, the capacitor Cs5, the charging inductance 6, and the ground. On the other hand, since the capacitor Cb10 is not charged, the main electrode 1 is at the ground potential. Next, when the switch 7 is closed,
Since the potential of the capacitor Cs5 on the switch 7 side is the ground potential, the potential of the capacitor Cs5 on the side of the pre-ionization electrode 3b is applied to the pre-ionization electrode 3b with a polarity opposite to the polarity charged in the capacitor Cs5. On the other hand, since the preliminary ionization electrode 3a is at the ground potential, a high potential is applied to the gap 4, and a spark discharge occurs in the gap 4. The laser gas between the main electrodes 1 and 2 is pre-ionized by the ultraviolet light generated by the spark discharge. Further, the electric charge stored in the capacitor Cs5 flows through a path of the switch 7, the capacitor Cs5, the preliminary ionization electrode 3b, the gap 4, the preliminary ionization electrode 3a, the main electrode 1 and the capacitor Cb10, and the capacitor Cb10 is charged. When the voltage of the capacitor Cb10 increases in this way and the voltage applied between the main electrodes 1 and 2 reaches or exceeds the discharge breakdown voltage of the laser gas,
A glow discharge 11 is formed between the main electrodes 1 and 2, the laser gas is excited, and a laser beam is emitted in a direction perpendicular to the plane of the drawing by the action of an optical resonator (not shown).
（発明が解決しようとする課題） ところで、上記の様な従来のパルスレーザ発振装置に
おいては、コンデンサCs5の充電電圧を数10kV以上と
し、また、コンデンサCb10を充電する速度を高めて、ギ
ャップ４で形成される予備電離放電の発生時間とグロー
放電11が形成される時間間隔を短くすることが必要であ
る。このため、スイッチ７を流れる電流の最大値及び時
間変化率は非常に大きく、使用可能なスイッチの種類が
限定されるだけでなく、スイッチ７の寿命も短くなると
いった欠点があった。また、スイッチ７の特性で決まる
許容電流最大値及び許容電流変化率以上には充電電圧を
あげることができなかった。(Problems to be Solved by the Invention) In the conventional pulse laser oscillation device as described above, the charging voltage of the capacitor Cs5 is set to several tens of kV or more, and the speed of charging the capacitor Cb10 is increased. It is necessary to shorten the time interval between the time when the preionization discharge is formed and the time when the glow discharge 11 is formed. For this reason, the maximum value of the current flowing through the switch 7 and the rate of change with time are extremely large, and not only are the types of switches that can be used limited, but also the life of the switch 7 is shortened. Also, the charging voltage could not be increased beyond the maximum allowable current and the allowable current change rate determined by the characteristics of the switch 7.
この様に、利用できるスイッチの動作範囲及び種類が
限定されるため、繰り返し運転や、長寿命運転といった
産業応用上必要な運転動作を実現するのは困難であっ
た。また、グロー放電11の放電開始電圧は、コンデンサ
Cb10の充電速度及び電圧で決まるため、放電開始電圧に
よって、放電注入エネルギーを制御することは事実上で
きなかった。特に、エキシマレーザの場合は、放電イン
ピーダンスが低く、コンデンサCb10に蓄えたエネルギー
しか発振に利用できないため、放電開始電圧を制御して
発振効率を高め、コンデンサCa5に蓄えた全エネルギー
を有効に利用することのできるパルスレーザ発振装置の
開発が切望されていた。As described above, since the operation range and types of switches that can be used are limited, it has been difficult to realize an operation operation required for industrial applications such as a repetitive operation and a long life operation. The discharge starting voltage of the glow discharge 11 is
Since it is determined by the charging rate and voltage of Cb10, it was practically impossible to control the discharge injection energy by the discharge starting voltage. In particular, in the case of an excimer laser, since the discharge impedance is low and only the energy stored in the capacitor Cb10 can be used for oscillation, the oscillation efficiency is increased by controlling the discharge starting voltage, and the entire energy stored in the capacitor Ca5 is effectively used. The development of a pulsed laser oscillation device capable of performing the above has been eagerly desired.
本発明は、上記の様な従来技術の欠点を解消するため
に提案されたもので、その目的は、スイッチの動作責務
を大幅に低減し、スイッチの選択範囲を広げ、且つ、レ
ーザの発振効率を上げ、高効率で、長寿命のパルスレー
ザ発振装置を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been proposed to solve the above-mentioned drawbacks of the prior art, and its object is to greatly reduce the operation duty of a switch, widen the selection range of a switch, and increase the laser oscillation efficiency. To provide a highly efficient, long-life pulsed laser oscillation device.
［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 本発明のパルスレーザ発振装置は、主電極間に接続さ
れるコンデンサを、等容量の第１のコンデンサと第２の
コンデンサに２分割して構成し、両者を直列に接続し、
また、その接続点を接地し、さらに、前記第１のコンデ
ンサと第２のコンデンサを、互いに逆極性の２系列のト
ランスの二次巻線にそれぞれ接続し、前記トランスの一
次巻線に第３のコンデンサとスイッチを接続して閉回路
を構成し、また、前記第３のコンデンサを直流電源に接
続し、さらに、緩やかに電圧が立ち上げられた前記主電
極間に短波長光を照射する装置を主電極間の外部に設け
たことを特徴とするものである。[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) The pulse laser oscillation device of the present invention divides a capacitor connected between main electrodes into a first capacitor and a second capacitor of equal capacity. And connect them in series,
In addition, the connection point is grounded, and the first capacitor and the second capacitor are respectively connected to the secondary windings of two series of transformers having opposite polarities, and a third winding is connected to the primary winding of the transformer. A device for connecting a capacitor and a switch to form a closed circuit, connecting the third capacitor to a DC power supply, and further irradiating short-wavelength light between the main electrodes whose voltage is gradually raised. Is provided outside between the main electrodes.
（作用） 本発明のパルスレーザ発振装置によれば、グロー放電
に供給するエネルギーを低速パルスで充電したコンデン
サから供給することができるので、スイッチ素子の動作
責務を大幅に低減することができる。また、放電部に印
加される電圧は正負の逆極性となるため、放電破壊電圧
が上昇すると共に、主電極外部に設置した短波長光源の
作用で、放電開始時刻を制御することができるので、低
速充電電圧パルスによりグロー放電を安定した状態で発
生させることができ、発振効率の向上が図れる。(Operation) According to the pulse laser oscillation device of the present invention, the energy to be supplied to the glow discharge can be supplied from the capacitor charged by the low-speed pulse, so that the operation duty of the switch element can be greatly reduced. In addition, since the voltage applied to the discharge portion has the opposite polarity of positive and negative, the discharge breakdown voltage increases, and the discharge start time can be controlled by the action of the short wavelength light source installed outside the main electrode. Glow discharge can be generated in a stable state by the low-speed charging voltage pulse, and the oscillation efficiency can be improved.
（実施例） 以下、本発明の一実施例を第１図及び第２図に基づい
て具体的に説明する。なお、第３図に示した従来型と同
一の部材には同一の符号を付して、説明は省略する。(Embodiment) An embodiment of the present invention will be specifically described below with reference to FIGS. 1 and 2. The same members as those of the conventional type shown in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.
本実施例においては、第１図に示した様に、一対の主
電極1,2は、レーザガスが充填された気密容器内に対向
して配設され、主電極1,2のレーザガスに接する面の形
状は同一形状となっている。また、主電極１は断面Ｕ字
形の板状に構成され、その背面側には、主電極間に短波
長光を照射する装置20（例えば、Ｘ線源等）が配設され
ている。さらに、前記主電極1,2間には、等容量の第１
のコンデンサCpa22と第２のコンデンサCpb23が直列に接
続され、両コンデンサの接続点は設置されている。一
方、高圧電源HVA12は充電抵抗８を介して第３のコンデ
ンサCd24に接続され、この第３のコンデンサCd24は、ス
イッチ７とトランス25の一次巻線26とから閉回路を構成
している。また、前記トランス25の二次巻線は、互いに
逆極性の第１の二次巻線27a及び第２の二次巻線27bとか
ら成り、両者の接続点は接地されている。そして、前記
第１のコンデンサCpa22と第１の二次巻線27a及び第２の
コンデンサCpb23と第２の二次巻線27bは、それぞれ接地
を介して閉回路を構成している。なお、以上のコンデン
サ、抵抗及びインダクタンス類は、一つまたは複数個が
並列に接続されて構成されている。In the present embodiment, as shown in FIG. 1, the pair of main electrodes 1 and 2 are disposed to face each other in an airtight container filled with laser gas, and the surfaces of the main electrodes 1 and 2 that are in contact with the laser gas. Have the same shape. The main electrode 1 is formed in a U-shaped cross section, and a device 20 (for example, an X-ray source) for irradiating short-wavelength light is provided between the main electrodes on the back side. Further, a first capacitor having an equal capacity is provided between the main electrodes 1 and 2.
The capacitor Cpa22 and the second capacitor Cpb23 are connected in series, and a connection point between both capacitors is provided. On the other hand, the high-voltage power supply HVA12 is connected to the third capacitor Cd24 via the charging resistor 8, and the third capacitor Cd24 forms a closed circuit from the switch 7 and the primary winding 26 of the transformer 25. The secondary winding of the transformer 25 is composed of a first secondary winding 27a and a second secondary winding 27b having opposite polarities, and a connection point between the two is grounded. The first capacitor Cpa22 and the first secondary winding 27a and the second capacitor Cpb23 and the second secondary winding 27b form a closed circuit via the ground. One or more of the above-mentioned capacitors, resistors and inductances are connected in parallel.
この様な構成を有する本実施例のパルスレーザ発振装
置は、以下に述べる様に作用する。即ち、初期状態では
スイッチ７は開いており、高圧電源HVA12−充電抵抗８
−第３のコンデンサCd24−接地の経路で、第３のコンデ
ンサCd24は充電されている。一方、第１のコンデンサCp
a22及び第２のコンデンサCpb23は初期状態では充電され
ていないので、主電極1,2は接地電位となっている。次
いで、図示していない制御装置からの信号によってスイ
ッチ７が閉じられると、第３のコンデンサCd24に蓄えら
れた電荷は、第３のコンデンサCd24−スイッチ７−トラ
ンス25の一次巻線26の経路で流れ、トランス25の第１の
二次巻線27a及び第２の二次巻線27bにそれぞれ逆極性の
等しい電圧が発生する。この時、第１のコンデンサCpa2
2に発生する電圧Va及び第２のコンデンサCpb23に発生す
る電圧Vbは、それぞれ第２図に示した様に、逆極性の対
称の電圧波形となる。その結果、主電極1,2間には、そ
れぞれ接地電位との間にVa,Vbの電圧が印加され、主電
極1,2間のレーザガスにはVa,Vbの和電圧が加わることに
なる。そして、時刻t1で、主電極１の背面に設けられた
Ｘ線源20から、第２図中Ｘで示すパルス状のＸ線21が主
電極１を透過して主電極1,2間のレーザガスに照射され
ると、主電極1,2間のレーザガスが予備電離され、主電
極間の電子密度が増加していく。主電極1,2間の電圧（V
a＋Vb）が、時刻t2で主電極1,2間のレーザガスの放電破
壊電圧に達すると、主電極1,2間にグロー放電11が形成
され、レーザガスが励起されて、図示していない光共振
器の作用でレーザ光が紙面垂直方向に出射される。The pulse laser oscillation device of this embodiment having such a structure operates as described below. That is, in the initial state, the switch 7 is open, and the high voltage power supply HVA12-the charging resistor 8
-Third capacitor Cd24-In the path of ground, the third capacitor Cd24 is charged. On the other hand, the first capacitor Cp
Since a22 and the second capacitor Cpb23 are not charged in the initial state, the main electrodes 1 and 2 are at the ground potential. Next, when the switch 7 is closed by a signal from a control device (not shown), the charge stored in the third capacitor Cd24 is transferred through the path of the third capacitor Cd24, the switch 7 and the primary winding 26 of the transformer 25. As a result, voltages having opposite polarities are generated in the first secondary winding 27a and the second secondary winding 27b of the transformer 25, respectively. At this time, the first capacitor Cpa2
The voltage Va generated at 2 and the voltage Vb generated at the second capacitor Cpb23 have symmetrical voltage waveforms of opposite polarities, respectively, as shown in FIG. As a result, the voltages Va and Vb are applied between the main electrodes 1 and 2 and the ground potential, respectively, and the sum voltage of Va and Vb is applied to the laser gas between the main electrodes 1 and 2. Then, at time t 1, the X-ray source 20 provided on the back of the main electrode 1, between the main electrodes 1 and 2 pulsed X-ray 21 shown in Figure 2 in which X is transmitted through the main electrodes 1 When irradiated with the laser gas, the laser gas between the main electrodes 1 and 2 is pre-ionized, and the electron density between the main electrodes increases. Voltage between main electrodes 1 and 2 (V
When a + Vb) reaches the discharge breakdown voltage of the laser gas between the main electrodes 1 and 2 at time t2, a glow discharge 11 is formed between the main electrodes 1 and 2 to excite the laser gas and cause an optical resonance (not shown). Laser light is emitted in the direction perpendicular to the plane of the drawing by the action of the container.
以上の過程では、主電極1,2に印加されるパルス状の
電圧は、常に接地電位に対して正負の対称波形となって
おり、また、主電極1,2のレーザガスに接する面の形状
は同一形状であるため、主電極1,2間に加わる電圧が上
昇していった場合に、主電極と接地電位間あるいは主電
極間で放電破壊現象が起こりにくい。さらに、主電極１
の背面側にＸ線源20を設置し、従来の様に主電極の近傍
に予備電離電極を設置していないため、主電極1,2間の
電界分布は一様になり、放電破壊電極が上昇する。ま
た、Ｘ線源20から発生するＸ線21の作用によって、放電
開始時刻を制御することができるため、第１のコンデン
サCpa22及び第２のコンデンサCpb23を低速パルスで充電
しても、放電破壊電圧が高くなり、しかも、グロー放電
を最適な時刻に安定した状態で発生することができる。
その結果、第３のコンデンサCd24に蓄えた電荷をすべて
第１のコンデンサCpa22及び第２のコンデンサCpb23に移
行した後、グロー放電11を発生できるため、エネルギー
移行効率を高くすることができる。また、放電破壊電圧
を高くできるので、エキシマレーザの場合でも発振効率
を上げることができる。さらに、第１のコンデンサCpa2
2及び第２のコンデンサCpb23を充電するパルス電圧は低
速パルス波形で良いため、トランス25を使用することが
でき、第３のコンデンサCd24の充電電圧は、トランス24
の一次巻線及び二次巻線の巻数比に応じて低減すること
ができる。In the above process, the pulse-shaped voltages applied to the main electrodes 1 and 2 always have positive and negative symmetric waveforms with respect to the ground potential, and the shape of the surface of the main electrodes 1 and 2 that is in contact with the laser gas is Since they have the same shape, when the voltage applied between the main electrodes 1 and 2 increases, a discharge breakdown phenomenon hardly occurs between the main electrode and the ground potential or between the main electrodes. Furthermore, the main electrode 1
The X-ray source 20 is installed on the back side of the device, and the preliminary ionization electrode is not installed near the main electrode as in the past, so that the electric field distribution between the main electrodes 1 and 2 becomes uniform, and the discharge breakdown electrode becomes To rise. Further, since the discharge start time can be controlled by the action of the X-ray 21 generated from the X-ray source 20, even if the first capacitor Cpa22 and the second capacitor Cpb23 are charged with a low-speed pulse, the discharge breakdown voltage can be controlled. And glow discharge can be generated in a stable state at an optimal time.
As a result, after all the charges stored in the third capacitor Cd24 are transferred to the first capacitor Cpa22 and the second capacitor Cpb23, the glow discharge 11 can be generated, so that the energy transfer efficiency can be increased. In addition, since the discharge breakdown voltage can be increased, the oscillation efficiency can be increased even in the case of an excimer laser. Further, the first capacitor Cpa2
Since the pulse voltage for charging the second and second capacitors Cpb23 may be a low-speed pulse waveform, the transformer 25 can be used, and the charging voltage for the third capacitor Cd24 is
Can be reduced according to the turns ratio of the primary winding and the secondary winding.
この様に、本実施例によれば、スイッチ７に流れる電
流パルスは低速となり、且つ、スイッチ７に加わる電圧
も低減されるので、スイッチ７の動作責務は大幅に低減
される。そのため、サイリスタ等の半導体スイッチの使
用が可能となり、パルスレーザ発振装置の高繰り返し
化、長寿命化に有利となる。As described above, according to the present embodiment, the current pulse flowing through the switch 7 becomes slow, and the voltage applied to the switch 7 is also reduced, so that the duty of operation of the switch 7 is greatly reduced. Therefore, a semiconductor switch such as a thyristor can be used, which is advantageous for increasing the repetition rate and extending the life of the pulse laser oscillation device.
［発明の効果］ 以上述べた様に、本発明によれば、主電極間に接続さ
れるコンデンサを、等容量の第１のコンデンサと第２の
コンデンサに２分割して構成し、両者を直列に接続し、
また、その接続点を接地し、さらに、前記第１のコンデ
ンサと第２のコンデンサを、互いに逆極性の２系列のト
ランスの二次巻線にそれぞれ接続し、前記トランスの一
次巻線に第３のコンデンサとスイッチを接続して閉回路
を構成し、また、前記第３のコンデンサを直流電源に接
続し、さらに、前記主電極間に短波長光を照射する装置
を主電極間の外部に設けることによって、スイッチの動
作責務を大幅に低減し、スイッチの選択範囲を広げ、且
つ、レーザの発振効率を上げ、高効率で、長寿命のパル
スレーザ発振装置を提供することができる。[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, a capacitor connected between main electrodes is divided into a first capacitor and a second capacitor having the same capacitance, and both are connected in series. Connect to
In addition, the connection point is grounded, and the first capacitor and the second capacitor are respectively connected to the secondary windings of two series of transformers having opposite polarities, and a third winding is connected to the primary winding of the transformer. A closed circuit is formed by connecting a capacitor and a switch, and the third capacitor is connected to a DC power supply, and a device for irradiating short-wavelength light between the main electrodes is provided outside the main electrodes. This greatly reduces the duty of operation of the switch, widens the selection range of the switch, increases the oscillation efficiency of the laser, and provides a pulse laser oscillation device with high efficiency and long life.
第１図は本発明のパルスレーザ発振装置の一実施例を示
す構成図、第２図は本発明の一実施例の動作説明図、第
３図は従来のパルスレーザ発振装置の一例を示す構成図
である。 1,2……主電極、3a,3b……予備電離電極、４……ギャッ
プ、５……コンデンサCs、６……充電用インダクタン
ス、７……スイッチ、８……充電抵抗、９……高圧電源
HV、10……コンデンサCb、11……グロー放電、12……高
圧電源HVA、20……Ｘ線源、21……Ｘ線、22……第１の
コンデンサCpa、23……第２のコンデンサCpb、24……第
３のコンデンサCd、25……トランス、26……一次巻線、
27a……第１の二次巻線、27b……第２の二次巻線。FIG. 1 is a block diagram showing one embodiment of the pulse laser oscillation device of the present invention, FIG. 2 is an explanatory view of the operation of one embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a configuration showing one example of a conventional pulse laser oscillation device. FIG. 1, 2 ... main electrode, 3a, 3b ... preliminary ionization electrode, 4 ... gap, 5 ... capacitor Cs, 6 ... charging inductance, 7 ... switch, 8 ... charging resistance, 9 ... high voltage Power supply
HV, 10 Capacitor Cb, 11 Glow discharge, 12 High voltage power supply HVA, 20 X-ray source, 21 X-ray, 22 First capacitor Cpa, 23 Second capacitor Cpb, 24 ... third capacitor Cd, 25 ... transformer, 26 ... primary winding,
27a: first secondary winding; 27b: second secondary winding.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−130978（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−274485（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−128482（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−217678（ＪＰ，Ａ) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-2-130978 (JP, A) JP-A-1-274485 (JP, A) JP-A-1-128482 (JP, A) JP-A-63- 217678 (JP, A)
Claims (1)
の主電極を対向配置し、前記主電極間にコンデンサを接
続して成るパルスレーザ発振装置において、 前記コンデンサを、等容量の第１のコンデンサと第２の
コンデンサに２分割して構成し、両者を直列に接続し、
また、その接続点を接地し、さらに、前記第１のコンデ
ンサと第２のコンデンサを、互いに逆極性の２系列のト
ランスの二次巻線にそれぞれ接続し、前記トランスの一
次巻線に第３のコンデンサとスイッチを接続して閉回路
を構成し、また、前記第３のコンデンサを直流電源に接
続し、さらに、緩やかに電圧が立ち上げられた前記主電
極間に短波長光を照射する装置を主電極間の外部に設け
たこと、 を特徴とするパルスレーザ発振装置。1. A pulse laser oscillation device comprising a pair of main electrodes arranged opposite to each other in a container hermetically filled with a laser gas, and a capacitor connected between the main electrodes. The capacitor is divided into two parts, a capacitor and a second capacitor, and both are connected in series.
In addition, the connection point is grounded, and the first capacitor and the second capacitor are respectively connected to the secondary windings of two series of transformers having opposite polarities, and a third winding is connected to the primary winding of the transformer. A device for connecting a capacitor and a switch to form a closed circuit, connecting the third capacitor to a DC power supply, and further irradiating short-wavelength light between the main electrodes whose voltage is gradually raised. A pulse laser oscillation device, which is provided between the main electrodes.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25025390A JP2996706B2 (en) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | Pulse laser oscillation device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25025390A JP2996706B2 (en) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | Pulse laser oscillation device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04130785A JPH04130785A (en) | 1992-05-01 |
| JP2996706B2 true JP2996706B2 (en) | 2000-01-11 |
Family
ID=17205131
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25025390A Expired - Lifetime JP2996706B2 (en) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | Pulse laser oscillation device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2996706B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1990
- 1990-09-21 JP JP25025390A patent/JP2996706B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| JPH04130785A (en) | 1992-05-01 |
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