JP2995173B2 - ガス流量制御装置 - Google Patents
ガス流量制御装置Info
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- JP2995173B2 JP2995173B2 JP10109462A JP10946298A JP2995173B2 JP 2995173 B2 JP2995173 B2 JP 2995173B2 JP 10109462 A JP10109462 A JP 10109462A JP 10946298 A JP10946298 A JP 10946298A JP 2995173 B2 JP2995173 B2 JP 2995173B2
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- section signal
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明はガス流量制御装置
に関し、特にろう付け装置等に混合ガスとして供給され
る可燃性ガス及び支燃性ガスの各々のガス流量を制御す
るためのガス流量制御装置に関するものである。
に関し、特にろう付け装置等に混合ガスとして供給され
る可燃性ガス及び支燃性ガスの各々のガス流量を制御す
るためのガス流量制御装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】ろう付け装置へのガスの供給を制御する
ためのガス流量制御装置が、本出願人によって提案され
ている(特願平7−48687号)。この装置によれ
ば、ガス流量設定手段のガス流量設定信号に基づいて、
比率設定手段が予め決められた比率で可燃性ガス設定用
基準信号と支燃性ガス設定用基準信号とを出力し、その
基準信号に基づいて比較手段が流量検出手段が検出する
ガス流量との差がなくなるように制御弁を制御して可燃
性ガスと支燃性ガスの流量が制御される。そして、一次
側の可燃性ガスの圧力が変化してもガスの流量を一定に
保ち、常に制御されたガスを供給することができる。
ためのガス流量制御装置が、本出願人によって提案され
ている(特願平7−48687号)。この装置によれ
ば、ガス流量設定手段のガス流量設定信号に基づいて、
比率設定手段が予め決められた比率で可燃性ガス設定用
基準信号と支燃性ガス設定用基準信号とを出力し、その
基準信号に基づいて比較手段が流量検出手段が検出する
ガス流量との差がなくなるように制御弁を制御して可燃
性ガスと支燃性ガスの流量が制御される。そして、一次
側の可燃性ガスの圧力が変化してもガスの流量を一定に
保ち、常に制御されたガスを供給することができる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記のようなガス流量
制御装置では、ガス流量を所望の流量に自動的に制御し
て供給することができるが、ろう付け動作の作業工程に
応じた点火区間、弱炎区間等の区間毎のガス使用量、即
ち供給ガス量を把握することができない。また、近年大
気汚染防止の環境問題から、燃焼装置から発生する二酸
化炭素の量が着目されているが、従来のガス流量制御装
置では、発生する二酸化炭素の量を把握することもでき
ない。
制御装置では、ガス流量を所望の流量に自動的に制御し
て供給することができるが、ろう付け動作の作業工程に
応じた点火区間、弱炎区間等の区間毎のガス使用量、即
ち供給ガス量を把握することができない。また、近年大
気汚染防止の環境問題から、燃焼装置から発生する二酸
化炭素の量が着目されているが、従来のガス流量制御装
置では、発生する二酸化炭素の量を把握することもでき
ない。
【0004】一方、ろう付け装置においては、ガス流量
を手動で調整する場合もあるが、このような場合でも正
確な使用ガス量を把握できず、ましてやその作業工程に
対応した使用ガス量を把握することはできない。この発
明は以上のような課題を解決するためになされたもの
で、作業内容に対応した区間毎に供給されたガス量を的
確に把握することができるガス流量制御装置を提供する
ことを目的とする。
を手動で調整する場合もあるが、このような場合でも正
確な使用ガス量を把握できず、ましてやその作業工程に
対応した使用ガス量を把握することはできない。この発
明は以上のような課題を解決するためになされたもの
で、作業内容に対応した区間毎に供給されたガス量を的
確に把握することができるガス流量制御装置を提供する
ことを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
区間毎にガスの通過量が変化するガス流量制御装置であ
って、各区間を区分けする区間信号を発生する区間信号
発生手段と、単位時間当たりに通過するガスの流量を検
知する流量検知手段と、区間信号発生手段によって発生
された区間信号に基づいて、区間信号に対応する所定の
ガス流量となるように、流量検知手段を単位時間当たり
通過するガスの流量を調整する流量調整手段と、区間信
号発生手段によって発生された区間信号に基づいて、該
区間信号によって区分けされた区間における検知された
ガスの流量を積算する積算手段とを備えたものである。
区間毎にガスの通過量が変化するガス流量制御装置であ
って、各区間を区分けする区間信号を発生する区間信号
発生手段と、単位時間当たりに通過するガスの流量を検
知する流量検知手段と、区間信号発生手段によって発生
された区間信号に基づいて、区間信号に対応する所定の
ガス流量となるように、流量検知手段を単位時間当たり
通過するガスの流量を調整する流量調整手段と、区間信
号発生手段によって発生された区間信号に基づいて、該
区間信号によって区分けされた区間における検知された
ガスの流量を積算する積算手段とを備えたものである。
【0006】このように構成することにより、区間信号
は各区間に対応して発生するので、この信号に基づいて
積算されたガス流量は各区間毎に対応したものとなる。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明の構成にお
いて、各区間毎の単位時間当たりの通過ガス流量を設定
する流量設定手段をさらに備え、流量調整手段は、設定
された通過ガス流量に基づいて流量検知手段を単位時間
当たり通過するガスの流量を調整するものである。
は各区間に対応して発生するので、この信号に基づいて
積算されたガス流量は各区間毎に対応したものとなる。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明の構成にお
いて、各区間毎の単位時間当たりの通過ガス流量を設定
する流量設定手段をさらに備え、流量調整手段は、設定
された通過ガス流量に基づいて流量検知手段を単位時間
当たり通過するガスの流量を調整するものである。
【0007】このように構成することにより、請求項1
記載の発明の作用に加えて、流量調整を設定値に合わせ
て容易にすることができる。請求項3記載の発明は、請
求項1又は請求項2記載の発明の構成において、ガスは
可燃性ガスと支燃性ガスとからなり、流量検知手段、流
量調整手段及び積算手段が、各々のガスに対応して設け
られるものである。
記載の発明の作用に加えて、流量調整を設定値に合わせ
て容易にすることができる。請求項3記載の発明は、請
求項1又は請求項2記載の発明の構成において、ガスは
可燃性ガスと支燃性ガスとからなり、流量検知手段、流
量調整手段及び積算手段が、各々のガスに対応して設け
られるものである。
【0008】このように構成すると、請求項1又は請求
項2記載の発明の作用に加えて、2系統のガスの流量制
御が可能となる。請求項4記載の発明は、請求項3記載
の発明の構成において、積算された可燃性ガスの流量に
基づいて、完全燃焼時に発生する二酸化炭素の量を算出
する算出手段をさらに備えたものである。
項2記載の発明の作用に加えて、2系統のガスの流量制
御が可能となる。請求項4記載の発明は、請求項3記載
の発明の構成において、積算された可燃性ガスの流量に
基づいて、完全燃焼時に発生する二酸化炭素の量を算出
する算出手段をさらに備えたものである。
【0009】このように構成すると、請求項3記載の発
明の作用に加えて、完全燃焼時に発生する二酸化炭素の
量が算出される。請求項5記載の発明は、請求項3又は
請求項4記載の発明の構成において、流量調整手段の各
々によって通過ガス量が調整されて供給された可燃性ガ
ス及び支燃性ガスを混合する混合手段をさらに備え、混
合された可燃性ガス及び支燃性ガスがろう付け装置のバ
ーナに供給されるものである。
明の作用に加えて、完全燃焼時に発生する二酸化炭素の
量が算出される。請求項5記載の発明は、請求項3又は
請求項4記載の発明の構成において、流量調整手段の各
々によって通過ガス量が調整されて供給された可燃性ガ
ス及び支燃性ガスを混合する混合手段をさらに備え、混
合された可燃性ガス及び支燃性ガスがろう付け装置のバ
ーナに供給されるものである。
【0010】このように構成すると、請求項3又は請求
項4記載の発明の作用に加えて、各々の通過ガス量が調
整された可燃性ガス及び支燃性ガスが混合された状態で
ろう付け装置に供給される。請求項6記載の発明は、請
求項5記載の発明の構成において、区間はろう付け装置
におけるバーナの点火区間、弱炎区間及び強炎区間を含
むものである。
項4記載の発明の作用に加えて、各々の通過ガス量が調
整された可燃性ガス及び支燃性ガスが混合された状態で
ろう付け装置に供給される。請求項6記載の発明は、請
求項5記載の発明の構成において、区間はろう付け装置
におけるバーナの点火区間、弱炎区間及び強炎区間を含
むものである。
【0011】このように構成すると、請求項5記載の発
明の作用に加えて、ろう付け装置の作業状態に応じた点
火区間、弱炎区間及び強炎区間毎にガス使用量を把握す
ることができる。請求項7記載の発明は、作業に応じて
通過する単位時間当たりのガスの流量を手動で調節する
ことができる流量調整手段と、調整されたガス流量を検
知する流量検知手段と、検知されたガス流量を所定のガ
ス流量と比較し、その大小に応じた区間信号を発生する
区間信号発生手段と、発生された区間信号によって区分
けされた区間における、検知されたガス流量を積算する
積算手段とを備えたものである。
明の作用に加えて、ろう付け装置の作業状態に応じた点
火区間、弱炎区間及び強炎区間毎にガス使用量を把握す
ることができる。請求項7記載の発明は、作業に応じて
通過する単位時間当たりのガスの流量を手動で調節する
ことができる流量調整手段と、調整されたガス流量を検
知する流量検知手段と、検知されたガス流量を所定のガ
ス流量と比較し、その大小に応じた区間信号を発生する
区間信号発生手段と、発生された区間信号によって区分
けされた区間における、検知されたガス流量を積算する
積算手段とを備えたものである。
【0012】このように構成すると、手動でガス流量を
調整しても調整されたガス流量に基づいて区間信号が発
生する。
調整しても調整されたガス流量に基づいて区間信号が発
生する。
【0013】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1記載の発
明は、区間信号が各区間に対応して発生するので、各区
間毎に使用されるガス流量を的確に把握できる。従っ
て、ガス使用量の適切かつ正確な管理が可能となる。請
求項2記載の発明は、請求項1記載の発明の効果に加え
て、流量調整を設定値に合わせて実現できるので、ガス
の供給先の作業特性に応じて設定値を対応させることが
可能であり、またガスの供給先の作業特性に基づいたガ
スの使用量を確実に把握することができる。
明は、区間信号が各区間に対応して発生するので、各区
間毎に使用されるガス流量を的確に把握できる。従っ
て、ガス使用量の適切かつ正確な管理が可能となる。請
求項2記載の発明は、請求項1記載の発明の効果に加え
て、流量調整を設定値に合わせて実現できるので、ガス
の供給先の作業特性に応じて設定値を対応させることが
可能であり、またガスの供給先の作業特性に基づいたガ
スの使用量を確実に把握することができる。
【0014】請求項3記載の発明は、請求項1又は請求
項2記載の発明の効果に加えて、2系統のガスの流量制
御が可能となるので、2系統のガスを混合して使用する
ような、例えばろう付け装置へのガス供給部に適用する
ことができる。請求項4記載の発明は、請求項3記載の
発明の効果に加えて、完全燃焼時に発生する二酸化炭素
の量が算出されるので、ガスの供給先の作業特性に応じ
た二酸化炭素の発生量を把握することができる。
項2記載の発明の効果に加えて、2系統のガスの流量制
御が可能となるので、2系統のガスを混合して使用する
ような、例えばろう付け装置へのガス供給部に適用する
ことができる。請求項4記載の発明は、請求項3記載の
発明の効果に加えて、完全燃焼時に発生する二酸化炭素
の量が算出されるので、ガスの供給先の作業特性に応じ
た二酸化炭素の発生量を把握することができる。
【0015】請求項5記載の発明は、請求項3又は請求
項4記載の発明の効果に加えて、各々の通過ガス量が調
整された可燃性ガス及び支燃性ガスが混合されて供給さ
れるので、ろう付け装置に対して安定しかつその使用量
が正確に把握された混合ガスを供給することができる。
請求項6記載の発明は、請求項5記載の発明の効果に加
えて、ろう付け装置の作業状況に応じた区間毎にガス使
用量を把握することができる。従って、ろう付け対象に
応じたガス使用量を区間毎に正確に把握でき、またろう
付け作業のガス使用量の管理に貢献する。
項4記載の発明の効果に加えて、各々の通過ガス量が調
整された可燃性ガス及び支燃性ガスが混合されて供給さ
れるので、ろう付け装置に対して安定しかつその使用量
が正確に把握された混合ガスを供給することができる。
請求項6記載の発明は、請求項5記載の発明の効果に加
えて、ろう付け装置の作業状況に応じた区間毎にガス使
用量を把握することができる。従って、ろう付け対象に
応じたガス使用量を区間毎に正確に把握でき、またろう
付け作業のガス使用量の管理に貢献する。
【0016】請求項7記載の発明は、調整されたガス流
量に基づいて区間信号が発生するので、手動による調整
をした場合においても自動的に作業が区間に区分けされ
て区間毎のガス流量が積算される。従って、手動調整に
おいても作業に応じた区間毎のガスの使用量を把握する
ことができる。
量に基づいて区間信号が発生するので、手動による調整
をした場合においても自動的に作業が区間に区分けされ
て区間毎のガス流量が積算される。従って、手動調整に
おいても作業に応じた区間毎のガスの使用量を把握する
ことができる。
【0017】
【発明の実施の形態】図1は、この発明の第1の実施の
形態によるガス流量制御装置の概略構成を示すブロック
図である。図を参照して、実線は、ガス配管部分を示
し、破線は各種信号線を示し、二点鎖線は、装置又は制
御器の境界領域を示すものである。工場配管から供給さ
れる可燃性ガス(メタン、エタン、プロパン等)は、電
磁弁16、流量計17、制御弁18及び電磁弁20を介
して混合器29に供給される。一方、工場配管から供給
される支燃性ガス(酸素)は、電磁弁23、流量計2
4、制御弁25及び電磁弁26を介して混合器29に供
給される。混合器29で可燃性ガスと支燃性ガスとが混
合された混合ガスが、ろう付け装置12のバーナに供給
される。ここで、ろう付け装置12において、使用され
るガスの流量と各区間との対応関係について説明する。
形態によるガス流量制御装置の概略構成を示すブロック
図である。図を参照して、実線は、ガス配管部分を示
し、破線は各種信号線を示し、二点鎖線は、装置又は制
御器の境界領域を示すものである。工場配管から供給さ
れる可燃性ガス(メタン、エタン、プロパン等)は、電
磁弁16、流量計17、制御弁18及び電磁弁20を介
して混合器29に供給される。一方、工場配管から供給
される支燃性ガス(酸素)は、電磁弁23、流量計2
4、制御弁25及び電磁弁26を介して混合器29に供
給される。混合器29で可燃性ガスと支燃性ガスとが混
合された混合ガスが、ろう付け装置12のバーナに供給
される。ここで、ろう付け装置12において、使用され
るガスの流量と各区間との対応関係について説明する。
【0018】図4は、自動制御におけるろう付け装置の
実際のガス流量値(以下「ガス実流値」という)と点火
区間、弱炎区間及び強炎区間との対応関係を示した図で
ある。ろう付け装置は、バーナ炎の制御として、バーナ
の待機状態を示す点火区間とろう付け作業時に使い分け
る弱炎区間及び強炎区間とからなる。この図において
は、時間T1 からT5 の間が点火区間となっており、時
間T2 からT3 の間は強炎区間となっており、時間T3
から時間T4 の区間は弱炎区間となっている。即ち時間
T1 からT2 及び時間T4 からT5 の間がバーナ炎の待
機状態であり、時間T2 から時間T4 の間がろう付けの
実際作業に対応するものである。またろう付け作業時に
おいても、時間T2 からT3 の間は強炎区間となってお
り、ろう付け作業の終了に近づく時間T3 からT4 は弱
炎区間としてバーナ炎が制御されている。
実際のガス流量値(以下「ガス実流値」という)と点火
区間、弱炎区間及び強炎区間との対応関係を示した図で
ある。ろう付け装置は、バーナ炎の制御として、バーナ
の待機状態を示す点火区間とろう付け作業時に使い分け
る弱炎区間及び強炎区間とからなる。この図において
は、時間T1 からT5 の間が点火区間となっており、時
間T2 からT3 の間は強炎区間となっており、時間T3
から時間T4 の区間は弱炎区間となっている。即ち時間
T1 からT2 及び時間T4 からT5 の間がバーナ炎の待
機状態であり、時間T2 から時間T4 の間がろう付けの
実際作業に対応するものである。またろう付け作業時に
おいても、時間T2 からT3 の間は強炎区間となってお
り、ろう付け作業の終了に近づく時間T3 からT4 は弱
炎区間としてバーナ炎が制御されている。
【0019】図1のブロック図に戻って、区間信号発生
部14は、点火区間信号や弱炎区間信号及び強炎区間信
号のいずれかを発生する部分であり、これは後述するよ
うにCPUによってろう付作業内容に応じて自動的にそ
の発生が制御されている。区間信号発生部14からいず
れかの区間信号が発生すると、この信号に応答して、可
燃性ガスラインにおいては、電磁弁16及び電磁弁20
がONされ、支燃性ガスラインに対しては、電磁弁23
及び電磁弁26がONされる。即ちろう付け作業の開始
状態、即ちバーナの待機状態に入ると、電磁弁16、電
磁弁20、電磁弁23及び電磁弁26が”開”となり、
可燃性ガス及び支燃性ガスの各々が工場配管からガス流
量制御装置11に導入される状態となる。
部14は、点火区間信号や弱炎区間信号及び強炎区間信
号のいずれかを発生する部分であり、これは後述するよ
うにCPUによってろう付作業内容に応じて自動的にそ
の発生が制御されている。区間信号発生部14からいず
れかの区間信号が発生すると、この信号に応答して、可
燃性ガスラインにおいては、電磁弁16及び電磁弁20
がONされ、支燃性ガスラインに対しては、電磁弁23
及び電磁弁26がONされる。即ちろう付け作業の開始
状態、即ちバーナの待機状態に入ると、電磁弁16、電
磁弁20、電磁弁23及び電磁弁26が”開”となり、
可燃性ガス及び支燃性ガスの各々が工場配管からガス流
量制御装置11に導入される状態となる。
【0020】また区間信号発生部14から発生された区
間信号は、流量・比率設定部15に入力され、その区間
信号に応じた可燃性ガス及び支燃性ガスの各々の流量及
び各々のガス相互の比率が設定される。流量・比率設定
部15で設定された可燃性ガスの流量は、可燃性ガス側
の可燃性ガス流量制御器13を構成する制御部19に入
力される。一方、流量・比率設定部15で設定された支
燃性ガス流量は、支燃性ガス側の支燃性ガス流量制御器
22を構成する制御部21に入力される。可燃性ガス流
量制御器13における制御部19は、流量計17で検出
された可燃性ガスの実流値が流量・比率設定部15から
出力された流量と一致するように制御弁18を制御す
る。これにより、区間信号発生部14によって発生され
た区間信号に基づいた所定の流量の可燃性ガスが混合器
29に供給されることになる。
間信号は、流量・比率設定部15に入力され、その区間
信号に応じた可燃性ガス及び支燃性ガスの各々の流量及
び各々のガス相互の比率が設定される。流量・比率設定
部15で設定された可燃性ガスの流量は、可燃性ガス側
の可燃性ガス流量制御器13を構成する制御部19に入
力される。一方、流量・比率設定部15で設定された支
燃性ガス流量は、支燃性ガス側の支燃性ガス流量制御器
22を構成する制御部21に入力される。可燃性ガス流
量制御器13における制御部19は、流量計17で検出
された可燃性ガスの実流値が流量・比率設定部15から
出力された流量と一致するように制御弁18を制御す
る。これにより、区間信号発生部14によって発生され
た区間信号に基づいた所定の流量の可燃性ガスが混合器
29に供給されることになる。
【0021】同様に、支燃性ガス流量制御器22におけ
る制御部21は、流量計24で検出された支燃性ガスの
実流値が、流量・比率設定部15で設定された流量とな
るように制御弁25を制御する。これによって区間信号
発生部14によって発生された区間信号に応じた所定の
流量の支燃性ガスが、混合器29に供給されることにな
る。このようにして、混合器29では、区間信号に応じ
た所定の流量の可燃性ガス及び支燃性ガスが混合されて
ろう付け装置12に供給され、ろう付け動作が行われ
る。
る制御部21は、流量計24で検出された支燃性ガスの
実流値が、流量・比率設定部15で設定された流量とな
るように制御弁25を制御する。これによって区間信号
発生部14によって発生された区間信号に応じた所定の
流量の支燃性ガスが、混合器29に供給されることにな
る。このようにして、混合器29では、区間信号に応じ
た所定の流量の可燃性ガス及び支燃性ガスが混合されて
ろう付け装置12に供給され、ろう付け動作が行われ
る。
【0022】尚、可燃性ガス側の流量計17、制御弁1
8及び制御部19は可燃性ガス流量制御器13を構成
し、支燃性ガス側の流量計24、制御弁25及び制御部
21は支燃性ガス流量制御器22を構成する。一方、区
間信号発生部14で発生された区間信号は、積算部27
にも出力される。また積算部27には、流量計17で検
出された可燃性ガスの実流値と、流量計24で検出され
た支燃性ガスの実流値とが入力される。そして積算部2
7において、区間信号に応じた可燃性ガス及び支燃性ガ
スの実流値が積算され、その結果が表示部28で表示さ
れる。
8及び制御部19は可燃性ガス流量制御器13を構成
し、支燃性ガス側の流量計24、制御弁25及び制御部
21は支燃性ガス流量制御器22を構成する。一方、区
間信号発生部14で発生された区間信号は、積算部27
にも出力される。また積算部27には、流量計17で検
出された可燃性ガスの実流値と、流量計24で検出され
た支燃性ガスの実流値とが入力される。そして積算部2
7において、区間信号に応じた可燃性ガス及び支燃性ガ
スの実流値が積算され、その結果が表示部28で表示さ
れる。
【0023】このようにして、区間信号毎、即ち点火区
間、弱炎区間及び強炎区間の各々の区間毎に使用される
可燃性ガス及び支燃性ガスの量が表示部28によって表
示されることになる。図2は、図1における区間信号発
生部14及び流量・比率設定部15の各々の具体的構成
を示すブロック図である。
間、弱炎区間及び強炎区間の各々の区間毎に使用される
可燃性ガス及び支燃性ガスの量が表示部28によって表
示されることになる。図2は、図1における区間信号発
生部14及び流量・比率設定部15の各々の具体的構成
を示すブロック図である。
【0024】図を参照して、区間信号発生部14を構成
するCPU35は、ろう付け装置の作業工程に応じて点
火区間信号、強炎区間信号及び弱炎区間信号のいずれか
1つ又は複数の組み合わせとして信号を発生する。CP
U35から発生された信号は、論理和回路36に入力さ
れ、論理和回路36はこれらの信号の入力に応答して、
電磁弁制御信号を出力する。この電磁弁制御信号は、図
1における電磁弁16、電磁弁20、電磁弁23及び電
磁弁26に入力されその開閉を制御する。またCPU3
5から出力された信号の各々は、積算部27及び流量・
比率設定部15の演算回路及び切替回路33に出力され
る。積算部27はこの区間信号に応じて、可燃性ガス及
び支燃性ガスの通過ガス流量を積算する。
するCPU35は、ろう付け装置の作業工程に応じて点
火区間信号、強炎区間信号及び弱炎区間信号のいずれか
1つ又は複数の組み合わせとして信号を発生する。CP
U35から発生された信号は、論理和回路36に入力さ
れ、論理和回路36はこれらの信号の入力に応答して、
電磁弁制御信号を出力する。この電磁弁制御信号は、図
1における電磁弁16、電磁弁20、電磁弁23及び電
磁弁26に入力されその開閉を制御する。またCPU3
5から出力された信号の各々は、積算部27及び流量・
比率設定部15の演算回路及び切替回路33に出力され
る。積算部27はこの区間信号に応じて、可燃性ガス及
び支燃性ガスの通過ガス流量を積算する。
【0025】流量・比率設定部15は可燃性ガスと支燃
性ガスの流量及び比率を設定するための流量・比率設定
操作部31と、設定された流量及び比率を記憶するため
の流量・比率記憶回路32と、記憶された流量及び比率
と区間信号発生部14からの各区間信号とに応じて、可
燃性ガス側の制御弁18及び支燃性ガス側の制御弁25
を制御するための可燃性ガス制御信号及び支燃性ガス制
御信号を出力するための演算回路及び切替回路33とか
ら構成される。なお、流量・比率設定操作部31では、
点火、弱炎及び強炎の各火炎毎に流量が設定できるもの
となっている。また、可燃性ガス及び支燃性ガスの比率
は、各火炎毎に設定できるようになっているが、この比
率の設定は、3つの火炎に対して共通とするように構成
してもよい。
性ガスの流量及び比率を設定するための流量・比率設定
操作部31と、設定された流量及び比率を記憶するため
の流量・比率記憶回路32と、記憶された流量及び比率
と区間信号発生部14からの各区間信号とに応じて、可
燃性ガス側の制御弁18及び支燃性ガス側の制御弁25
を制御するための可燃性ガス制御信号及び支燃性ガス制
御信号を出力するための演算回路及び切替回路33とか
ら構成される。なお、流量・比率設定操作部31では、
点火、弱炎及び強炎の各火炎毎に流量が設定できるもの
となっている。また、可燃性ガス及び支燃性ガスの比率
は、各火炎毎に設定できるようになっているが、この比
率の設定は、3つの火炎に対して共通とするように構成
してもよい。
【0026】演算回路及び切替回路33においては、区
間信号発生部14から入力される区間信号に該当する流
量及び比率のデータに基づいて演算される。尚、各区間
信号が重なる場合を考えて、強炎区間、弱炎区間及び点
火炎区間の順に優先順位が設けられて制御信号を発生す
るものとなっている。このようにして演算回路及び切替
回路33によって演算されて出力された可燃性ガス制御
信号は、図1に示されている可燃性ガス流量制御器13
の制御部19に出力される。制御部19はこの制御信号
に基づいた流量と、流量計17から検出された実流値と
が一致するように制御弁18の開度を制御する。
間信号発生部14から入力される区間信号に該当する流
量及び比率のデータに基づいて演算される。尚、各区間
信号が重なる場合を考えて、強炎区間、弱炎区間及び点
火炎区間の順に優先順位が設けられて制御信号を発生す
るものとなっている。このようにして演算回路及び切替
回路33によって演算されて出力された可燃性ガス制御
信号は、図1に示されている可燃性ガス流量制御器13
の制御部19に出力される。制御部19はこの制御信号
に基づいた流量と、流量計17から検出された実流値と
が一致するように制御弁18の開度を制御する。
【0027】同様に演算回路及び切替回路33から出力
された支燃性ガス制御信号は、図1の支燃性ガス流量制
御器22の制御部21に入力され、制御部21はこの制
御信号と流量計24から検出された実流値に対応する信
号とに基づいて制御弁25の開度を制御する。図3は、
図1の積算部27の具体的な構成を示したブロック図で
ある。
された支燃性ガス制御信号は、図1の支燃性ガス流量制
御器22の制御部21に入力され、制御部21はこの制
御信号と流量計24から検出された実流値に対応する信
号とに基づいて制御弁25の開度を制御する。図3は、
図1の積算部27の具体的な構成を示したブロック図で
ある。
【0028】図を参照して、図1の流量計17から出力
された可燃性ガス実流量(アナログデータ)は、A/D
変換部40においてデジタル変換され、数値データとし
て点火区間積算回路42、強炎区間積算回路43及び弱
炎区間積算回路44の各々に出力される。一方、図1の
流量計24から出力された支燃性ガス実流量(アナログ
データ)は、A/D変換部41においてデジタル変換さ
れ、数値データとして点火区間積算回路42、強炎区間
積算回路43及び弱炎区間積算回路44の各々に出力さ
れる。尚、A/D変換部40及びA/D変換部41での
データの変換は、前もって設定されているサンプリング
周期に基づいて行われる。
された可燃性ガス実流量(アナログデータ)は、A/D
変換部40においてデジタル変換され、数値データとし
て点火区間積算回路42、強炎区間積算回路43及び弱
炎区間積算回路44の各々に出力される。一方、図1の
流量計24から出力された支燃性ガス実流量(アナログ
データ)は、A/D変換部41においてデジタル変換さ
れ、数値データとして点火区間積算回路42、強炎区間
積算回路43及び弱炎区間積算回路44の各々に出力さ
れる。尚、A/D変換部40及びA/D変換部41での
データの変換は、前もって設定されているサンプリング
周期に基づいて行われる。
【0029】点火区間積算回路42には、区間信号発生
部14から発生された点火区間信号が入力され、この区
間信号が入力されている間に、その時点で入力されてい
る可燃性ガス及び支燃性ガスの数値データの各々が積算
され、点火可燃性ガス積算結果及び点火支燃性ガス積算
結果が図1の表示部28に出力され、そこで表示され
る。同様に強炎区間積算回路43においても強炎区間信
号に基づいて、可燃性ガス及び支燃性ガスの通過流量が
積算され、強炎可燃性ガス積算結果及び強炎支燃性ガス
積算結果が出力される。さらに弱炎区間積算回路44に
おいても、弱炎区間信号に基づいて、可燃性ガス及び支
燃性ガスの通過流量が積算され弱炎可燃性ガス積算結果
及び弱炎支燃性ガス積算結果が出力される。尚、点火区
間のようにその区間内に強炎区間や弱炎区間が重なる場
合は、その間の点火区間信号の入力を停止しておき、強
炎区間信号又は弱炎区間信号に基づいて可燃性ガス及び
支燃性ガスの通過流量を積算すればよい。
部14から発生された点火区間信号が入力され、この区
間信号が入力されている間に、その時点で入力されてい
る可燃性ガス及び支燃性ガスの数値データの各々が積算
され、点火可燃性ガス積算結果及び点火支燃性ガス積算
結果が図1の表示部28に出力され、そこで表示され
る。同様に強炎区間積算回路43においても強炎区間信
号に基づいて、可燃性ガス及び支燃性ガスの通過流量が
積算され、強炎可燃性ガス積算結果及び強炎支燃性ガス
積算結果が出力される。さらに弱炎区間積算回路44に
おいても、弱炎区間信号に基づいて、可燃性ガス及び支
燃性ガスの通過流量が積算され弱炎可燃性ガス積算結果
及び弱炎支燃性ガス積算結果が出力される。尚、点火区
間のようにその区間内に強炎区間や弱炎区間が重なる場
合は、その間の点火区間信号の入力を停止しておき、強
炎区間信号又は弱炎区間信号に基づいて可燃性ガス及び
支燃性ガスの通過流量を積算すればよい。
【0030】このように演算することにより、図1の表
示部28においては、各区間毎の可燃性ガス及び支燃性
ガスの通過流量を表示することができる。尚、可燃性ガ
スの各区間毎の使用量が判明すると、可燃性ガスの種類
によって完全燃焼時の炭酸ガスの発生量を算出すること
ができる。例えば可燃性ガスがプロパンガスだとする
と、完全燃焼時の反応式としては、 C3 H8 +5O2 →3CO2 +4H2 O が成立する。
示部28においては、各区間毎の可燃性ガス及び支燃性
ガスの通過流量を表示することができる。尚、可燃性ガ
スの各区間毎の使用量が判明すると、可燃性ガスの種類
によって完全燃焼時の炭酸ガスの発生量を算出すること
ができる。例えば可燃性ガスがプロパンガスだとする
と、完全燃焼時の反応式としては、 C3 H8 +5O2 →3CO2 +4H2 O が成立する。
【0031】従って、プロパンガスが可燃性ガスの場合
は、例えば1リットルの容積の可燃性ガスで3リットル
の容積の炭酸ガスが発生することになる。このようにし
て、発生する二酸化炭素の量を積算部27で算出して図
1の表示部28において各区間毎に表示し、または全区
間の合計量として炭酸ガスの発生量を表示するようにし
てもよい。このようにすると、ろう付けの各工程及び全
工程毎の可燃性ガス及び支燃性ガスの消費量及び炭酸ガ
スの発生量を把握することができ、ガス使用量の管理と
して有益となる。
は、例えば1リットルの容積の可燃性ガスで3リットル
の容積の炭酸ガスが発生することになる。このようにし
て、発生する二酸化炭素の量を積算部27で算出して図
1の表示部28において各区間毎に表示し、または全区
間の合計量として炭酸ガスの発生量を表示するようにし
てもよい。このようにすると、ろう付けの各工程及び全
工程毎の可燃性ガス及び支燃性ガスの消費量及び炭酸ガ
スの発生量を把握することができ、ガス使用量の管理と
して有益となる。
【0032】図5は、この発明の第2の実施の形態によ
るガス流量制御装置の概略構成を示したブロック図であ
る。図を参照して、工場配管から供給された可燃性ガス
は、先の第1の実施の形態と同様に電磁弁16、流量計
17、制御弁18及び電磁弁20を介して混合器29に
供給される。一方、工場配管から供給された支燃性ガス
も同様に電磁弁23、流量計24、制御弁25及び電磁
弁26を介して混合器29に供給される。混合器29に
供給された可燃性ガス及び支燃性ガスはそこで混合され
てろう付け装置12のバーナに供給される。ところで、
この実施の形態によるガス流量制御装置は、先の第1の
実施の形態による自動でそのガス流量が制御される装置
ではなく、手動で混合器29からろう付け装置12へ供
給するガス流量を制御するものである。
るガス流量制御装置の概略構成を示したブロック図であ
る。図を参照して、工場配管から供給された可燃性ガス
は、先の第1の実施の形態と同様に電磁弁16、流量計
17、制御弁18及び電磁弁20を介して混合器29に
供給される。一方、工場配管から供給された支燃性ガス
も同様に電磁弁23、流量計24、制御弁25及び電磁
弁26を介して混合器29に供給される。混合器29に
供給された可燃性ガス及び支燃性ガスはそこで混合され
てろう付け装置12のバーナに供給される。ところで、
この実施の形態によるガス流量制御装置は、先の第1の
実施の形態による自動でそのガス流量が制御される装置
ではなく、手動で混合器29からろう付け装置12へ供
給するガス流量を制御するものである。
【0033】ろう付け動作の待機状態に入ると、点火信
号発生部52から発生された点火信号によって可燃性ガ
ス側の電磁弁16及び電磁弁20がONされ、同時に支
燃性ガス側の電磁弁23及び電磁弁26がONされる。
次にろう付け作業に入ると、手動調整部51において手
動でバーナ炎の大小を制御すべく、可燃性ガス側の制御
弁18及び支燃性ガス側の制御弁25が所定の比率でも
ってその開度が制御される。流量計17によって検出さ
れた可燃性ガスの通過流量と流量計24によって検出さ
れた支燃性ガスの通過流量とが区間信号発生部50に入
力され、その合計ガス流量に基づいて区間信号が発生さ
れる。
号発生部52から発生された点火信号によって可燃性ガ
ス側の電磁弁16及び電磁弁20がONされ、同時に支
燃性ガス側の電磁弁23及び電磁弁26がONされる。
次にろう付け作業に入ると、手動調整部51において手
動でバーナ炎の大小を制御すべく、可燃性ガス側の制御
弁18及び支燃性ガス側の制御弁25が所定の比率でも
ってその開度が制御される。流量計17によって検出さ
れた可燃性ガスの通過流量と流量計24によって検出さ
れた支燃性ガスの通過流量とが区間信号発生部50に入
力され、その合計ガス流量に基づいて区間信号が発生さ
れる。
【0034】また流量計17及び流量計24で検出され
た可燃性ガス及び支燃性ガスの通過流量の各々は積算部
27にも出力され、また区間信号取得部50において発
生された区間信号も積算部27に入力される。積算部2
7では、区間信号に基づいて可燃性ガス及び支燃性ガス
の通過流量が積算され、その積算結果が表示部28にお
いて表示される。
た可燃性ガス及び支燃性ガスの通過流量の各々は積算部
27にも出力され、また区間信号取得部50において発
生された区間信号も積算部27に入力される。積算部2
7では、区間信号に基づいて可燃性ガス及び支燃性ガス
の通過流量が積算され、その積算結果が表示部28にお
いて表示される。
【0035】図6は、図5の区間信号発生部50におい
てどのようにして区間信号が発生するかを説明した図で
ある。図を参照して、上方の図においては横軸に時間を
取り、縦軸に混合ガスの実流量を取り、手動によってろ
う付け動作が行われた場合の合計ガスの実流量の変化を
示したグラフが示されている。図に示されているように
区間信号を仕分けするための基準量として、点火炎判定
流量と弱炎判定流量と強炎判定流量とが設けられてい
る。そして点火炎判定流量と実流量とはA及びF点で交
差し、弱炎判定流量と実流量とはB及びE点で交差し、
強炎判定流量と実流量とはC及びD点で交差している。
てどのようにして区間信号が発生するかを説明した図で
ある。図を参照して、上方の図においては横軸に時間を
取り、縦軸に混合ガスの実流量を取り、手動によってろ
う付け動作が行われた場合の合計ガスの実流量の変化を
示したグラフが示されている。図に示されているように
区間信号を仕分けするための基準量として、点火炎判定
流量と弱炎判定流量と強炎判定流量とが設けられてい
る。そして点火炎判定流量と実流量とはA及びF点で交
差し、弱炎判定流量と実流量とはB及びE点で交差し、
強炎判定流量と実流量とはC及びD点で交差している。
【0036】このように判定流量を設定すると、手動に
よって混合ガスの実流量が変化した場合であっても、こ
の判定流量を基準として点火区間信号、弱炎区間信号及
び強炎区間信号を得ることができる。具体的には、ガス
実流量が点火炎判定流量を越えた領域は、少なくともろ
う付け動作の待機区間と考えられる。即ちT1 からT 6
の間を点火区間と判断して点火区間信号を区間信号発生
部50は発生する。同様にガス実流量が強炎判定流量を
越えた領域においては、強炎区間と考え、時間T3 から
T4 の間に強炎区間信号を区間信号発生部50は発生す
る。さらに、混合ガスのガス実流量が弱炎判定流量を越
え強炎判定流量以下である領域においては弱炎区間と考
え、時間T2 からT3 及びT4 からT5 の間に弱炎区間
信号を区間信号発生部50は発生する。
よって混合ガスの実流量が変化した場合であっても、こ
の判定流量を基準として点火区間信号、弱炎区間信号及
び強炎区間信号を得ることができる。具体的には、ガス
実流量が点火炎判定流量を越えた領域は、少なくともろ
う付け動作の待機区間と考えられる。即ちT1 からT 6
の間を点火区間と判断して点火区間信号を区間信号発生
部50は発生する。同様にガス実流量が強炎判定流量を
越えた領域においては、強炎区間と考え、時間T3 から
T4 の間に強炎区間信号を区間信号発生部50は発生す
る。さらに、混合ガスのガス実流量が弱炎判定流量を越
え強炎判定流量以下である領域においては弱炎区間と考
え、時間T2 からT3 及びT4 からT5 の間に弱炎区間
信号を区間信号発生部50は発生する。
【0037】図7は、図6で示した各区間信号の発生の
仕方を具体化した区間信号発生部50の詳細ブロック図
である。図を参照して、流量計17及び流量計24から
検出された可燃性ガスと支燃性ガスとの合計実流量が比
較器54、比較器55及び比較器56の各々に入力され
る。一方、ろう付け作業の特性に応じて流量設定器58
において設定された点火炎判定流量は比較器54に入力
され、同様に流量設定器59によって設定された強炎判
定流量は比較器55に、流量設定器60によって設定さ
れた弱炎判定流量は比較器56に各々入力される。比較
器54において実流量と点火炎判定流量とが比較され、
実流量の方が大きくなった場合に点火区間信号が発生さ
れる。比較器55においては実流量と強炎判定流量とが
比較され、実流量が大きくなった時には、強炎区間信号
が発生される。比較器56においては、実流量と弱炎判
定流量とが比較されて実流量が大きくなった時には(弱
炎+強炎)区間信号が発生される。従って、区間信号発
生部50においては、(弱炎+強炎)区間信号から強炎
区間信号を除くことによって弱炎区間信号を得ることが
できる。
仕方を具体化した区間信号発生部50の詳細ブロック図
である。図を参照して、流量計17及び流量計24から
検出された可燃性ガスと支燃性ガスとの合計実流量が比
較器54、比較器55及び比較器56の各々に入力され
る。一方、ろう付け作業の特性に応じて流量設定器58
において設定された点火炎判定流量は比較器54に入力
され、同様に流量設定器59によって設定された強炎判
定流量は比較器55に、流量設定器60によって設定さ
れた弱炎判定流量は比較器56に各々入力される。比較
器54において実流量と点火炎判定流量とが比較され、
実流量の方が大きくなった場合に点火区間信号が発生さ
れる。比較器55においては実流量と強炎判定流量とが
比較され、実流量が大きくなった時には、強炎区間信号
が発生される。比較器56においては、実流量と弱炎判
定流量とが比較されて実流量が大きくなった時には(弱
炎+強炎)区間信号が発生される。従って、区間信号発
生部50においては、(弱炎+強炎)区間信号から強炎
区間信号を除くことによって弱炎区間信号を得ることが
できる。
【0038】このようにして得られた区間信号に基づい
て、積算部27は可燃性ガス及び支燃性ガスの通過流量
を積算することによって各区間毎の使用ガス流量を表示
部28において表示することができる。このように第1
の実施の形態及び第2の実施の形態によるガス流量制御
装置によれば、ろう付け作業毎の各区間及び全区間のガ
ス流量を積算表示することができる。従って、このガス
流量データを蓄積して、工場におけるろう付け生産量に
基づいてガス使用量等を予測することができる。
て、積算部27は可燃性ガス及び支燃性ガスの通過流量
を積算することによって各区間毎の使用ガス流量を表示
部28において表示することができる。このように第1
の実施の形態及び第2の実施の形態によるガス流量制御
装置によれば、ろう付け作業毎の各区間及び全区間のガ
ス流量を積算表示することができる。従って、このガス
流量データを蓄積して、工場におけるろう付け生産量に
基づいてガス使用量等を予測することができる。
【0039】図8は、このようなろう付け生産量とガス
使用量との対応関係を示したグラフである。図を参照し
て、毎日の目標生産量が定まっていれば、ガス流量デー
タの蓄積によってこの生産に関わるガスの予定使用量を
予測することができる。これによって、月間や年間のガ
ス使用量の計画を立てることができ、さらには発生する
二酸化炭素の量等も予測することができる。
使用量との対応関係を示したグラフである。図を参照し
て、毎日の目標生産量が定まっていれば、ガス流量デー
タの蓄積によってこの生産に関わるガスの予定使用量を
予測することができる。これによって、月間や年間のガ
ス使用量の計画を立てることができ、さらには発生する
二酸化炭素の量等も予測することができる。
【0040】尚、上記の各実施の形態においては、2系
統のガスの供給ラインに用いているが、1系統のガスの
供給ラインにも本願発明を適用できることは言うまでも
ない。また、上記の各実施の形態においては、ろう付け
装置にガスを供給しているが、供給先はこれに限らず、
2系統のガスを混合するものであればよく、あるいは混
合せずにそれぞれ別途に供給するものにも本願発明を適
用できる。
統のガスの供給ラインに用いているが、1系統のガスの
供給ラインにも本願発明を適用できることは言うまでも
ない。また、上記の各実施の形態においては、ろう付け
装置にガスを供給しているが、供給先はこれに限らず、
2系統のガスを混合するものであればよく、あるいは混
合せずにそれぞれ別途に供給するものにも本願発明を適
用できる。
【0041】更に、上記の第2の実施の形態において
は、可燃性ガス及び支燃性ガスの合計流量に基づいて区
間信号を発生しているが、これに代えて、可燃性ガス又
は支燃性ガスのいずれかの流量に基づいて区間信号を発
生するようにしても良い。
は、可燃性ガス及び支燃性ガスの合計流量に基づいて区
間信号を発生しているが、これに代えて、可燃性ガス又
は支燃性ガスのいずれかの流量に基づいて区間信号を発
生するようにしても良い。
【図1】この発明の第1の実施の形態によるガス流量制
御装置の概略構成を示すブロック図である。
御装置の概略構成を示すブロック図である。
【図2】図1の区間信号発生部14及び流量・比率設定
部15の各々の具体的な構成を示すブロック図である。
部15の各々の具体的な構成を示すブロック図である。
【図3】図1の積算部27の具体的構成を示すブロック
図である。
図である。
【図4】この発明の第1の実施の形態によるガス流量制
御装置におけるガス実流量と各区間との対応関係を示し
た図である。
御装置におけるガス実流量と各区間との対応関係を示し
た図である。
【図5】この発明の第2の実施の形態によるガス流量制
御装置の概略構成を示したブロック図である。
御装置の概略構成を示したブロック図である。
【図6】図5のガス流量制御装置におけるガス実流量と
各区間との対応関係を示した図である。
各区間との対応関係を示した図である。
【図7】図5の区間信号取得部50の具体的構成を示し
たブロック図である。
たブロック図である。
【図8】この発明の第1の実施の形態及び第2の実施の
形態によるガス流量制御装置を用いて予測できる生産量
とガス使用量との対応関係を示した図である。
形態によるガス流量制御装置を用いて予測できる生産量
とガス使用量との対応関係を示した図である。
11・・・ガス流量制御装置 12・・・ろう付け装置 13・・・可燃性ガス流量制御器 14・・・区間信号発生部 15・・・流量・比率設定部 17・・・流量計 18・・・制御弁 19・・・制御部 21・・・制御部 22・・・支燃性ガス流量制御器 24・・・流量計 25・・・制御弁 27・・・積算部 29・・・混合器 50・・・区間信号取得部 51・・・手動調整部 尚、各図中同一符号は同一又は相当部分を示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平9−308960(JP,A) 特開 平9−250649(JP,A) 特開 平9−42651(JP,A) 特開 昭63−41915(JP,A) 特開 昭62−35179(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G05D 7/00 G05D 7/06
Claims (7)
- 【請求項1】 区間毎にガスの通過量が変化するガス流
量制御装置であって、 各区間を区分けする区間信号を発生する区間信号発生手
段と、 単位時間当たりに通過するガスの流量を検知する流量検
知手段と、 前記区間信号発生手段によって発生された区間信号に基
づいて、該区間信号に対応する所定のガス流量となるよ
うに、前記流量検知手段を単位時間当たり通過するガス
の流量を調整する流量調整手段と、 前記区間信号発生手段によって発生された区間信号に基
づいて、該区間信号によって区分けされた区間における
前記検知されたガスの流量を積算する積算手段とを備え
た、ガス流量制御装置。 - 【請求項2】 各区間毎に単位時間当たりの通過ガス流
量を設定する流量設定手段をさらに備え、 前記流量調整手段は、前記設定された通過ガス流量に基
づいて前記流量検知手段を単位時間当たり通過するガス
の流量を調整する、請求項1記載のガス流量制御装置。 - 【請求項3】 前記ガスは可燃性ガスと支燃性ガスとか
らなり、前記流量検知手段、前記流量調整手段及び前記
積算手段は、各々のガスに対応して設けられる、請求項
1又は請求項2記載のガス流量制御装置。 - 【請求項4】 前記積算された可燃性ガスの流量に基づ
いて、完全燃焼時に発生する二酸化炭素の量を算出する
算出手段をさらに備えた、請求項3記載のガス流量制御
装置。 - 【請求項5】 前記流量調整手段の各々によって通過ガ
ス流量が調整されて供給された可燃性ガス及び支燃性ガ
スを混合する混合手段をさらに備え、 前記混合された可燃性ガス及び支燃性ガスは、ろう付け
装置のバーナに供給される、請求項3又は請求項4記載
のガス流量制御装置。 - 【請求項6】 前記区間は、ろう付け装置におけるバー
ナの点火区間、弱炎区間及び強炎区間を含む、請求項5
記載のガス流量制御装置。 - 【請求項7】 作業に応じて、通過する単位時間当たり
のガス流量を手動で調整することができる流量調整手段
と、 前記調整されたガス流量を検知する流量検知手段と、 前記検知されたガス流量を所定のガス流量と比較し、そ
の大小に応じた区間信号を発生する区間信号発生手段
と、 前記発生された区間信号によって区分けされた区間にお
ける、前記検知されたガス流量を積算する積算手段とを
備えた、ガス流量制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10109462A JP2995173B2 (ja) | 1998-04-20 | 1998-04-20 | ガス流量制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10109462A JP2995173B2 (ja) | 1998-04-20 | 1998-04-20 | ガス流量制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11305841A JPH11305841A (ja) | 1999-11-05 |
JP2995173B2 true JP2995173B2 (ja) | 1999-12-27 |
Family
ID=14510853
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10109462A Expired - Fee Related JP2995173B2 (ja) | 1998-04-20 | 1998-04-20 | ガス流量制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2995173B2 (ja) |
-
1998
- 1998-04-20 JP JP10109462A patent/JP2995173B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11305841A (ja) | 1999-11-05 |
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