JP2987243B2 - 光走査装置 - Google Patents
光走査装置Info
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- JP2987243B2 JP2987243B2 JP3263708A JP26370891A JP2987243B2 JP 2987243 B2 JP2987243 B2 JP 2987243B2 JP 3263708 A JP3263708 A JP 3263708A JP 26370891 A JP26370891 A JP 26370891A JP 2987243 B2 JP2987243 B2 JP 2987243B2
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Description
に詳しくいえば、ホログラム方式によるPOSスキャナ
等に利用される光走査装置に関する。
り、図9はPOSスキャナの概略構成図、図10は発振
モードの説明図、図11は半導体レーザのモード安定化
方法説明図、図12はモード検出方法説明図、図13は
モード検出の説明図である。
3はパターン合成用のミラー、4はミラー、5は凹面
鏡、6は読み取り窓のガラス板、7はHe−Neレーザ
光源、8は商品、9はバーコード、10はレーザビー
ム、11は半導体レーザ光源、12はホログラム、13
はレーザダイオード(LD)、15はモード検出素子、
16はモード判定部、17はモード制御部、18はペル
チェ素子、19はペルチェ素子ドライバ、20はレーザ
ダイオードドライバを示す。
ミラー、21はモニタ用ホログラム、22はモニタ用バ
ーコード、23はミラー、24は光検出器、25は読取
処理部を示す。
図9に基づいて説明する。図9AはHe−Neレーザ光
源によるPOSスキャナを示し、図9Bは半導体レーザ
光源によるPOSスキャナ(提案例)を示す。
置、及び半導体レーザ光源の位置は、実際の位置とは異
なるが、図を簡単にするため、図9のようにした。ま
た、バーコードからの反射光を検出するための光検出器
等も図示省略してある。
装置として、図9Aに示したようなPOSスキャナが知
られていた。このPOSスキャナでは光源として、He
−Neレーザ光源7を用いていた。
ザ光は、レンズによって成形され、レーザビーム10と
なり、ポリゴンミラー2に入射する。その後、ポリゴン
ミラー2によって走査されたレーザビームは、ミラー
4、ミラー3によって反射され、装置窓部に設置された
ガラス板6を通って商品8上のバーコード9に照射す
る。
ザビームにより、バーコードの読み取りを行うものであ
る。ところで、近年、POSスキャナの小型化、低価格
化が要望されている。そのために、図9Bに示したよう
な半導体レーザ光源によるPOSスキャナが先に提案さ
れている。
は、光源として半導体レーザ光源を使用すると共に、装
置窓枠部には、ホログラム(ホロウィンド)を使用する
ものである。
は、図9AのHe−Neレーザ光源7を、半導体レーザ
光源11で置き換えると共に、ガラス板6を、ホログラ
ム(ホロウィンド)12で置き換えたものである。
ら出射したレーザ光は、レンズによって成形され、レー
ザビーム10となって、ポリゴンミラー2に入射する。
このポリゴンミラー2によって走査されたレーザビーム
は、ミラー5、3によって反射され、装置窓枠部に設置
されたホログラム(ホロウィンド)12に入射する。
は、ここで回折されてバーコード読み取り用走査パター
ンとなって、ホログラム12の外に出射する。この場
合、ホログラム12は、ミラー系が作る簡単な走査パタ
ーンを、読み取り操作性の高い多方向の複雑な走査パタ
ーンに変換する機能を持っている。
9から戻ってくる信号散乱光を、レンズのように集光し
て検知器(図示省略)に導き、小さな光学系でも十分大
きな光量を得るという機能を持っている。
技術を用いることは、装置の高性能化、小型化に有効で
ある。しかし前記のような半導体レーザ光源には、図1
0Aに示したような半導体レーザ特有のモードホップ現
象(発振波長が温度や光出力によって変化する現象)が
問題になる。
光出力が増大すると、図の(発振波長λi )の状態か
らの状態(波長λi とλi+1 の発振モードが競合し
て、発振波長が1つに安定しない状態)を経て、(発
振波長λi+1 )の状態に移る。このような現象をモード
ホップ現象という。
ログラム10に入射するレーザビームの波長が変化する
と、図7Bに示したように、回折角が変化して色分散が
起こる。すなわち、図10Aのあるいはの状態であ
れば、走査線の位置が変化するだけでバーコードの読み
取りには影響がない。
7Bの実線(波長λi )と点線(波長λi+1 )のビーム
が同時に出射され、実質的にレーザビームのビーム径が
太くなる。その結果、バーコードの読み取り分解能が低
下してしまう。
化するため、図11に示したような半導体レーザのモー
ド安定化方法が提案されていた。この方法の概要は次の
通りである。
ャナ内に、レーザダイオード(LD)13、レーザダイ
オードドライバ20、レンズ14、モード検出素子1
5、モード判定部16、モード制御部17、ペルチェ素
子18、ペルチェ素子ドライバ19等を設けておく。
イオード13の温度を変化させることができるように、
接近させて配置する。また、モード検出素子15は、レ
ーザダイオード13から出射されたレーザビーム10が
照射する領域内に配置しておく。
基づいて、モード判定部16が、レーザダイオード13
の発振モードを検出し、検出信号をモード制御部17に
送る。モード制御部17では、入力した前記検出信号に
基づいて、ペルチェ素子ドライバ19を駆動し、ペルチ
ェ素子18の温度を制御する。
3の温度を制御して、レーザの発振モードを安定化させ
る。例えば、レーザダイオード13が、図10のの状
態で発振していたとする。この状態から温度が上昇し
て、図10のの状態(モード競合状態)になったとす
る。
6によって判定され、ペルチェ素子18によりレーザダ
イオード13の温度を下げて、の発振状態にするか、
あるいは、温度を上げて、の発振状態にする。
検出し、モード競合状態が現れたら、強制的に、前後の
単一モードの発振状態(又は)へ移行させることに
より、発振モードの安定化を行う方法である。
くつかの方法が提案されているが、その内の1例を、図
12、図13に示す。図12に示したように、例えばP
OSスキャナ内に、パターン合成用ミラー3−1、3−
2、凹面鏡5、ミラー23、ポリゴンミラー2、光検出
器24、読取処理部25、モード判定部16を設けると
共に、モニタ用ホログラム21、モニタ用バーコード2
2を設けておく。
ターン合成用ミラー3−1、3−2の間に配置する。こ
のモニタ用ホログラム21は、例えば透過型ホログラム
を用い、ポリゴンミラー2がレーザビームを走査する平
面内で、入射光を回折すると共に、モニタ用バーコード
22上で結像させるように構成する。
に入射する入射光も回折して曲げることができるため、
図12に示したように、入射するビームと鋭角をなして
モニタ用ホログラム21を配置することにより、レーザ
ビームの極く狭い範囲のみをモード検用レーザビームと
して分離し、モニタ用バーコード22上を走査すること
ができる。
したことにより、パターン合成用ミラー3−1、3−2
に入射するレーザビームの極く一部が遮られるだけで済
み、通常のバーコードの読み取りに影響を与えない。
ば、図13(a)に示したように、白色の帯状のパター
ンと黒色の帯状のパターンとを交互に並べたパターン
(濃淡のパターン)である。
ード検出用レーザビームの走査方向に一致するように、
POSスキャナの筐体に取り付けられている。また、こ
れらの帯状のパターン幅は、モニタ用ホログラム21に
よってモニタ用バーコード22上に結ばれた像の大きさ
に対応する幅とすればよい。
された光の一部は、図12に点線で示したように、モニ
タ用ホログラム22及びポリゴンミラー2を介して凹面
鏡5に入射し、この凹面鏡5とミラー23によって光検
出器24に導かれる。
の強度は、モード検出用レーザビームが結像している位
置における濃淡パターンの濃度に対応して変化する。従
って、半導体レーザが単一モードで発振しており、モー
ド検出用レーザビームがモニタ用バーコード32上で細
かく絞られている状態では、モニタ用バーコード22上
の像の内部における濃度変化が少ない。
コード22が有する濃淡パターンの濃度変化に忠実に対
応して変化する。ところで、モニタ用ホログラム21に
よる回折作用には波長依存性があるため、半導体レーザ
の発振波長の変化に応じてモニタ用ホログラムによる回
折角が変化し、モニタ用バーコード22上での結像位置
が変化する。
タ用ホログラム21の同一位置に入射したレーザビーム
が、それぞれの波長に応じて回折され、モニタ用バーコ
ード22上のそれぞれ異なる位置で結像し、結果的に像
がぼけて大きなスポットとなる。
の像の内部における濃度変化が大きくなるので、散乱光
の強度の変化は、モニタ用バーコード22が有する濃淡
パターンの濃度変化に忠実ではなくなる。
乱光の強度変化が、モニタ用バーコード22の濃淡パタ
ーンを忠実に表しているか否かを評価することにより、
半導体レーザが単一モードで発振しているかモード競合
状態となっているかを判定することができる。
るレーザビームをその走査方向に回折した場合は、モー
ド競合状態となった時に、モニタ用バーコード22上に
おける走査方向の濃淡変化に対応する散乱光の強度変化
の波形の忠実度は著しく低下する。
状態とにおける忠実度の違いを強調することができ、モ
ード競合状態の検出精度を高くすることができる。この
ようにして、光検出器24の出力を、図13に示したよ
うな単純な正弦波とすることにより、前記の忠実度を正
弦波の振幅の大小によって評価し、モード判定部16に
より、モードの判定を行う。
波長λi 、あるいはλi+1 のいずれか1つの波長で発振
している時(単一モード発振時)は、ビーム径が細いた
め、散乱光強度の振幅Mは大きい。
示したように、波長λi 、λi+1 の2つの波長のビーム
が存在するモード競合時には、実質的にビーム径が太く
なり、散乱光強度の振幅Nは小さくなる(M>N)。
り、モード競合状態を検出する。
のにおいては、次のような課題があった。 (1) 図9Aに示したようなHe−Neレーザ光源による
POSスキャナでは、小型化及び低価格化が困難であ
る。
を実現するため、図9Bに示したような半導体レーザと
ホログラムを用いたPOSスキャナが提案されている。
しかし、このようなPOSスキャナでは、半導体レーザ
特有のモードホップ現象により、発振波長が1つに安定
しないモード競合状態が発生する。この場合、ホログラ
ムから出射するビームの径が太り、バーコードの読み取
り分解能が低下してしまう。その結果、POSスキャナ
におけるバーコードの読み取り性能が低下する。
合状態を検出して、発振モードを安定化させる方法も考
えられている(図11〜図13参照)が、このような方
法では、モニタ用ホログラムを設ける必要があるため、
コスト高になる。
ーの間に設ける必要があるが、設置スペースが小さく、
設置が困難である。本発明は、このような従来の課題を
解決し、装置コストの上昇と、装置寸法の増大をもたら
すことなく、半導体レーザのモード競合を検出できるよ
うにして、半導体レーザの発振モードを安定化させるこ
とにより、半導体レーザ光源を搭載した、小型かつ安価
なホログラム方式の光走査装置を実現することを目的と
する。
図であり、(A)図は請求項1〜3に対応した原理図、
(B)図は請求項4〜6に対応した原理図である。
光検出手段、31は光走査手段、33は被走査コード担
体、34は走査レーザビーム、35は走査線、36は回
折ビーム、46Aは反射手段を示す。
ように構成する。 (1) 半導体レーザ光源11と、該半導体レーザ光源から
出射したレーザビームを、所定の範囲で走査する光走査
手段31と、該光走査手段により走査された走査レーザ
ビーム34を偏向して出射する波長依存性の固定光学素
子32とを具備した光走査装置であって、前記固定光学
素子32により偏向されて出射した走査レーザビームの
一部で走査される位置に、所定の濃淡パターンを有する
被走査コード担体33を設け、前記被走査コード担体を
走査した際、発生する散乱光を検出することにより、前
記半導体レーザ光源11の発振状態が、モード競合状態
であるか否かを検出するようにした。
源11の発振波長を、700nm以下とした。 (3) 構成(1)において、被走査コード担体33を走査
することによって、該走査コード担体から発せられる信
号光を、光検出手段24Aを使用して検出するようにし
た。
体33を、装置内部に設置すると共に、固定光学素子3
2の走査レーザビーム出射側に、出射した走査レーザ光
を反射させる反射手段46Aを設け、該反射手段46A
で反射した走査レーザ光を、装置内部に再入射させて、
前記被走査コード担体33を走査するようにした。
を、固定光学素子32の一部に接着した。 (6) 構成(4)において、ミラーを、固定光学素子32
の一部に、蒸着形成した。
しながら説明する。 (1) 図1Aにおいて、半導体レーザ光源11より出射し
たレーザビームは、光走査手段31に入射し、ここで走
査される。走査レーザ光34は、固定光学素子(例えば
ホログラム)32に入射し、ここで偏向(または回折)
されて出射する。
査レーザビームは、走査線35を描いてバーコード等の
対象物を走査するが、この場合の走査レーザビームの一
部で走査される位置に、被走査コード担体(例えばモニ
タ用バーコード)33を配置しておく。
み取り等に用いる走査レーザビームを利用して、モニタ
用の被走査コード担体33を走査することができる。そ
して、走査線35による走査の結果、対象物のバーコー
ド等で発生する散乱光及び、被走査コード担体33を走
査した時に発生する散乱光は、走査レーザビーム34の
光路を逆進するので、この散乱光を光検出手段24Aで
検出する。
することにより、被走査コード担体33からの散乱光の
ビーム径を評価し、このビーム径に基づいて、半導体レ
ーザ光源11の発振状態がモード競合状態にあるか否か
を検出する。
ーザ光源の温度を制御して、モード競合のない地謡にす
る。この場合、固定光学素子32の一部を、モニタ用に
利用しているので、従来のようなモニタ用のホログラム
等を用いなくても、簡単な手段で、半導体レーザのモー
ド競合状態が検出できる。
走査コード担体(例えば、モニタ用バーコード)33を
配置し、図1Aの被走査コード担体33の位置に反射手
段(例えばミラー)46Aを設置する。
走査レーザビームの一部が反射手段46Aで反射し、再
び装置内部に入射する。この反射したビームで、装置内
部の設置した被走査コード担体33を走査する。
は、前記走査レーザビーム34の光路を逆進し、光検出
手段24Aで検出され、図1Aと同様にして、半導体レ
ーザのモード競合状態を検出する。
ニタ用として利用すれば、半導体レーザのモード競合状
態を検出するための設置スペースも少なくて済み、コス
ト高を防ぐことができる。
する。 (第1実施例の説明)図2〜図5は、本発明の第1実施
例を示した図であり、図2はPOSスキャナにおける読
み取り窓部の斜視図(窓枠省略)、図3は図2のX−Y
線断面図、図4は図2の一部拡大図、図5はPOSスキ
ャナにおけるモード競合状態検出処理の説明図である。
のものを示す。また、36は回折ビーム、37は走査
線、38はホロウインド、39、40、41はホログラ
ム、43は窓枠、44は読み取り窓ガラスを示す。
導体レーザ搭載型のホログラム方式POSスキャナ(図
9Bと同じ構成)に適用した例であり、特に、半導体レ
ーザのモード競合状態を検出するためのモニタ用バーコ
ード(図13参照)を、ホロウインド上に設けたもので
ある。
式のPOSスキャナにおけるバーコードの読み取り窓部
には、ホロウインド38が設けてある。このホロウイン
ド38には、それぞれレーザビームの走査方向が異なる
ホログラム39、40、41が設けてある。
ム39の一方の端部であって、走査ビームの走査範囲内
となる位置に、モニタ用バーコード22を設ける。すな
わち、読み取り窓部に設置されている固定ホログラム
(ホロウインド)の一部を、モニタ用に利用するもので
ある。
Sスキャナの筐体に結合された窓枠43が設けてあり、
この窓枠43には、読み取り窓を構成する窓ガラス44
が設けてある(特に図3参照)。
たように、基体の一面上にバーコードのパターン(図1
0に示したモニタ用バーコードと同じパターン)を形成
したものであり、その断面形状は、特に図4Bに示した
ように、ほぼΩ字状となっている。
ラム39の上方であって、該ホログラム39を跨ぐよう
にしてホロウインド38上に設置する。このようにする
と、ホログラム39と、バーコード22を構成するバー
コードのパターンとの間に空隙(長さL)を設けて配置
できる。
て、ポリゴンミラー等による走査で、レーザビームを走
査すると、走査ビーム34がホログラム39に入射し、
該ホログラム上で走査線37を描いて走査する。
を回折し、回折ビーム36を出射する。この回折ビーム
36の一部は、ホログラム39の一端部に設けたモニタ
用バーコード22のパターンを照射する。また他の回折
ビーム36は、窓ガラス44から外に出射し、上方で走
査線35を描く。
6により、商品等に設けられたバーコードの読み取りを
行う。このようなバーコードの読み取りとは別に、前記
回折ビームの一部を用いて、モニタ用バーコードの読み
取りも行う。
体レーザの発振状態がモード競合状態になっていると、
回折ビーム36の回折角が変化して、色分散が起こる。
その結果、色分散によるビーム径の太りが発生する。
りは、ホログラム39上では現れず、ホログラム39か
ら離れるに従って顕著になる。従って、モニタ用バーコ
ード22を構成するバーコードのパターンは、ホログラ
ム39より一定の距離Lだけ離して設置する。
ホログラムとしては、ホロウインド38上の複数のホロ
グラム39、40、41の内のいずれか1つのホログラ
ムを選択するが、ビームの走査方向と回折方向が直交せ
ず、走査方向に色分散によるビーム径の太りが現れるも
のを選定する必要がある。
向が一致するホログラムを選択すると効果的である。次
に、半導体レーザのモード競合状態の検出処理を、図5
に基づいて説明する。
ビーム(図の実線)は、ポリゴンミラー2によって走査
され、ミラー3、4で反射し、ホロウインド38のホロ
グラムに入射する。ホログラムに入射した走査ビーム
は、該ホログラムによって回折され、回折ビームが商品
8に設けられたバーコード9を走査する(図示実線)。
長は700nm以下の可視光レーザを用いる。このよう
な波長のレーザを用いないと、バーコードの読み取りが
適切に行われない。
モニタ用バーコード22は、バーコード9を走査するた
めの回折ビームの走査範囲に配置されているため、前記
回折ビームによって、モニタ用ホログラム22も走査す
る。
からの散乱光と、モニタ用バーコード22からの散乱光
は、前記の走査ビームの光路を逆進して(図の点線部
分)、凹面鏡5に入射する。
ー23へ進み、光検出器24に入射して検出される。光
検出器24では、入射した光の強さに応じた電気信号に
変換し、読取処理部25に出力する。読取処理部25で
は、光検出器24から送られてきた信号に基づいて、バ
ーコードを読み取る処理を行う。
ード判定部16へ取り込み、モニタ用バーコード22の
信号を検出して、図9、図10で説明した方法と同じよ
うにして、半導体レーザのモード競合状態か否かを判定
する。
実施例を示した図であり、図6はPOSスキャナの断面
図(主要部のみ)、図7は図6の各部の拡大図、図8は
モニタ用ミラーの変形例である。
示す。また、45は筐体、46はモニタ用ミラーを示
す。第2実施例は、第1実施例におけるモニタ用バーコ
ード22の設置場所に、モニタ用ミラーを設置し、この
モニタ用ミラーで反射した回折ビームで、装置内部に設
置したモニタ用バーコードを走査する例である。
あって、該ホログラム39を跨ぐようにしてモニタ用ミ
ラー46を設置する。このモニタ用ミラーは、第1実施
例におけるモニタ用バーコード22の設置場所と全く同
じ場所である。
39との間は、一定の距離だけ離して設置する。この場
合にも一定の距離だけ離して設置すると、ビーム径の太
りが大きくなる。
折ビーム36を、再び装置内部に戻し、装置内部に設置
したモニタ用バーコード22を走査するように構成す
る。例えば、モニタ用バーコード22は、筐体45の内
部の空きスペース等を利用して、モニタ用ミラー46で
反射した回折ビーム36が到達する場所に設置する。
コードの拡大図であり、図7Aはモニタ用ミラーの断面
図、図7Bはモニタ用バーコードの斜視図を示す。図示
のように、モニタ用ミラー46は、その断面形状がほぼ
Ω字状となっていて、その凹部に鏡面部が設けてある。
このようにすれば、ホログラム39と、モニタ用ミラー
46の鏡面部との間を一定の距離だけ離して設置するこ
とができる。
ームを前記鏡面部で反射させた後、再び筐体45の内部
に設置したモニタ用バーコード22の方向へ戻すことが
可能となる。
ターンと白パターンを交互に並べたたパターンで構成さ
れており(図10と同様なパターン)、このパターン上
を回折ビーム36が走査するようになっている。
は、再び元の光路を逆進するので、この場合にも、第1
実施例と同様にして、モード競合状態を検出することが
可能となる。
で走査ビームを回折した後、モニタ用バーコード22に
到達するまでの距離が大きくとれる(ビーム長が長くと
れる)。従って、色分散によるビーム径の太りが第1実
施例のものより大きくなり、モード競合状態の検出感度
が高くなる。
8に基づいて説明する。図8Aの変形例1は、ホログラ
ム39上に直接モニタ用ミラー46を接着した例であ
る。この場合、モニタ用ミラー46とホログラム39と
の間の距離は無くなるが、モニタ用バーコードまでの距
離が大きくとれるので、問題はない。
9上に蒸着によってモニタ用ミラー46を形成した例で
ある。この場合、モニタ用ミラーが極めて薄くなる。更
に、図8Cの変形例3は、モニタ用ミラー46として、
反射型ホログラムを用いた例である。この反射型ホログ
ラムは、ホログラム39上に直接形成するものである。
ラーは、直接、ホログラム上に設けているため、設置す
るための部材等も不要で、かつ薄型に構成できる。ま
た、この実施例では、モニタ用バーコードを筐体内部の
空きスペースを利用して設置している。
あり、かつコスト高を防ぐことができる。 (他の実施例)以上実施例について説明したが、本発明
は次のようにしても実施可能である。
ナの外、他の同様なバーコードリーダ、あるいはその他
の情報読み取り装置にも利用できる。 (2) 固定光学素子は、ホログラムの外、他の波長依存性
の素子を用いてもよい。
のような効果がある。 (1) 読み取り窓部に設けてある固定光学素子(例えばホ
ログラム)の一部をモニタ用に利用しているため、スペ
ースの有効利用ができる。その結果、装置の小型化を実
現すると共に、コスト高を防ぐことが可能となる。
ラム21が不要となり、その分、装置の部品点数が少な
くなる。この点でも、装置の小型化を実現でき、しかも
コスト高を防ぐことができる。
にすると、ホログラム39から出射した回折ビームの行
路長が長くなり、その分、ビーム径の太りが大きくな
る。従って、半導体レーザのモード競合状態の検出が容
易になる。
スを利用して設置できるので、スペースの有効利用がで
きる。 (4) 特にモニタ用ミラーを、図8のように構成すると、
ミラーを設置するための部材が不要になり、コスト高を
防ぐことができる。
読み取り窓部の斜視図(窓枠省略)である。
合状態検出処理の説明図である。
ある。
ある。
る。
Claims (6)
- 【請求項1】 半導体レーザ光源(11)と、 該半導体レーザ光源から出射したレーザビームを、所定
の範囲で走査する光走査手段(31)と、 該光走査手段により走査された走査レーザビーム(3
4)を偏向して出射する波長依存性の固定光学素子(3
2)とを具備した光走査装置であって、 前記固定光学素子(32)により偏向されて出射した走
査レーザビームの一部で走査される位置に、 所定の濃淡パターンを有する被走査コード担体(33)
を設け、 前記被走査コード担体を走査した際発生する散乱光を検
出することにより、 前記半導体レーザ光源(11)の発振状態が、モード競
合状態であるか否かを検出することを特徴とした光走査
装置。 - 【請求項2】 前記半導体レーザ光源(11)の発振波
長は、700nm以下であることを特徴とする請求項1
記載の光走査装置。 - 【請求項3】 被走査コード担体(33)を走査するこ
とによって、該走査コード担体から発せられる信号光
を、 光検出手段(24A)を使用して検出することを特徴と
した請求項1記載の光走査装置。 - 【請求項4】 前記被走査コード担体(33)を、装置
内部に設置すると共に、 前記固定光学素子(32)の走査レーザビーム出射側
に、 出射した走査レーザ光を反射させる反射手段(46A)
を設け、 該反射手段(46A)で反射した走査レーザ光を装置内
部に再入射させて、 前記被走査コード担体(33)を走査するようにしたこ
とを特徴とする請求項1記載の光走査装置。 - 【請求項5】 前記反射手段(46A)を、固定光学素
子(32)の一部に接着したことを特徴とする請求項4
記載の光走査装置。 - 【請求項6】 ミラーを、固定光学素子(32)の一部
に、蒸着形成したことを特徴とする請求項4記載の光走
査装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP3263708A JP2987243B2 (ja) | 1991-10-11 | 1991-10-11 | 光走査装置 |
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JP3263708A JP2987243B2 (ja) | 1991-10-11 | 1991-10-11 | 光走査装置 |
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JPH05108859A JPH05108859A (ja) | 1993-04-30 |
JP2987243B2 true JP2987243B2 (ja) | 1999-12-06 |
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JP3263708A Expired - Fee Related JP2987243B2 (ja) | 1991-10-11 | 1991-10-11 | 光走査装置 |
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1991
- 1991-10-11 JP JP3263708A patent/JP2987243B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JPH05108859A (ja) | 1993-04-30 |
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