JP2980937B2 - Ｉｃハンドラ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、IC（半導体集積回路装置）ハンドラに関
し、例えばサイズやそれが収納されるスティックの種類
が異なるものを扱うICハンドラに利用して有効な技術に
関するものである。

〔従来の技術〕

完成されたICの測定試験に用いられるのが、ICハンド
ラ（HANDLER）である。大まかにいうとICハンドラは、
各種のスティックに収納されたICを、テストヘッドに接
続されたICソケットに供給し常温又は高温試験を行い、
そのテスターの試験結果に応じて分類、整列、収納を自
動的に行う。上記のようなICハンドラに用いられるICレ
ールに関しては、実開昭62−133513号公報、実開昭62−
144814号公報、実開昭62−147609号公報がある。

〔発明が解決しようとする課題〕

ICが収納されるスティックは、アルミニュウム製のも
のと、プラスティック製のものとがある。そして、ICの
サイズに合わせてそれぞれ300milと600milのものとがあ
り、４通りの形状を持つようにされる。このため、扱う
スティックが異なるごとにその搬送系の部品を取り替え
る必要がある。また、これに対応してスティックとICレ
ールとの間の位置合わせ機構も、それぞれに応じて変更
する必要がある。

ICレールとしては、上記公報のようにサイズの異なる
ICを扱うことができるように工夫されているが、実情に
は則していない。すなわち、ICハンドラはICを予め決め
られた温度に設定する必要があるが、上記のICレールの
ように蓋が無いものでは温度のロスが大きく温度設定が
難しくなる。また、蓋がないとICの移動は専ら重力を利
用する他はなく、空気圧を利用したICの搬送ができない
ばかりか、１つのICが何等かの原因により引っ掛かると
後続のICが飛び出してしまうという問題が生じる。

コンタクト部においては、落下してきたICはストッパ
ーにより止められ、そのリードの位置を基準にしてICの
ソケットの位置を調整する。この場合、その都度本体か
らテストヘッドを外し、狭いスペースのところでICのリ
ードの位置が分かりにくく、リードにソケットの位置を
合わせて調整するという非常に困難な作業を伴うという
問題を有する。

この発明の目的は、異なるサイズのICやそれが収納さ
れるスティックの形状に対する各種位置合わせ機構のセ
ッティングが簡単に行えるICハンドラを提供することに
ある。

この発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴
は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるで
あろう。

〔課題を解決するための手段〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記の通りである。すなわち、
比較的小さなサイズのICが収納されるスティックの下部
中央部の窪みに嵌まるような第１の位置合わせガイド
と、比較的大きなサイズのICが収納されるスティックの
下部外側を挟むような第２の位置合わせガイドとを合わ
せ持つ位置合わせガイドをスティック搬送部に用いる。
比較的小さなサイズと比較的大きなサイズの両方のICの
リードがそれぞれ収納される第１と第２の一対の溝を持
つ下部レールと、上記比較的大きなサイズのICのパッケ
ージの幅に対応した第２の溝と、上記第２の溝の中央部
に設けられ、上記比較的小さなサイズのICのパッケージ
の幅に対応した第１の溝とを備えた上部レールを蓋とし
て用い、上記下部レールに対して上部レールの高さを可
変にする。同一数の歯を持ち互いに噛み合うようにされ
た一対の歯車の回転軸と一体的にされたアームに取りつ
けられ、同一の径を持つようにされた一対のローラーに
対して、上記２つのローラーが互いに引き合うような力
を作用させて上記ローラーの下部からスティックを押し
上げることによりスティックの水平方向に対する位置決
めを行う。固定的に取り付けられ、測定すべきICのリー
ドが挿入されるICソケットと、落下して搬入された測定
すべきICを上記ICソケットに対応した位置で受け止める
ICストッパーにその垂直方向の位置を調整する調整機構
とを設ける。

〔作 用〕

上記した手段によれば、ICのサイズやスティックのサ
イズや形状に対して簡単な調整により対応させることが
できる。

〔実施例〕

第１図には、この発明に係るICハンドラの一実施例の
概略側面図が示されている。

ICハンドラの上面はほゞ中央部で左右に分かれた傾斜
面を持つようにされる。同図の右側の斜面には、これか
ら測定を行うべきICが収納されたスティック搬送部が設
けられる。このスティック搬送部は、同図において斜め
上に延びる一対からなるポストにICが収納された複数か
らなるスティックが縦積みにされる。このように縦積み
にされた複数のスティックは、達磨落としのように下側
からスティックが取り出されて、後述するような位置合
わせ機能を持つスティック搬送により所定の位置まで運
ばれ、同図に点線で示すように右端側がリフトアームに
よってリフトアップされる。

同図の左側の斜面には、ICレール部が設けられる。す
なわち、上記リフトアームによってリフトアップされた
スティックは、上記ICレール部のICレールと同じ傾斜角
に持ち上げられ、後述するような位置合わせ機構を利用
して、スティックに収納されたICをICレールに搬入す
る。このようなICの搬入には自重によりICが傾斜面を滑
り落ちることにより行われる。

ICレール部は、特に制限されないが、複数からなる固
定レールと、１つの可動レールから構成される。固定レ
ールは、特に制限されないが、ICの温度設定のためのヒ
ータが組み込まれ、ICを指定された所定温度に設定す
る。可動レールは、上記固定レールにより温度が設定さ
れたICを１個ないし複数個受け取り、テストヘッドが設
けられるコンタクト部の位置まで運び、テストヘッドの
ICソケットの挿入孔にリードが向かうよう反転されて１
個ずつ落下させる。

コンタクト部においては、後述するようにICのリード
とICソケットの位置合わせを行うストッパーが設けら
れ、これから測定を行うICをICソケットに挿入し、測定
が終了したICをICソケットから引き抜いて落下させる。
上記ICソケットはテストヘッドに結合され、このテスト
ヘッドによりICの各種の直流／交流的な電気的試験が実
施される。なお、ICハンドラとテストヘッドとの位置合
わせのための案内ガイドがICハンドラ側に設けられてい
る。

上記試験が終了したICは、言い換えるならば、上記コ
ンタクト部から落下させられたICは、分類部に供給され
る。分類部では試験結果に従い、例えば良品、不良品及
び再試験品のように分類される。このような分類に、上
記可動ICレールを用いることができる。この可動ICレー
ルは、上記試験結果に従い分類部に並べられたスティッ
クにICを搬入する。１つのスティックにICがいっぱいに
なると、ステック搬送機構によりポストに積み重ねられ
る。この場合は、上記スティック搬送部とは逆に、上側
のスティックを持ち上げておいて下側からスティックを
ポストに送り込むものである。

この実施例のICハンドラでは、上面側をほゞ中央部を
頂点するような傾斜を左右に持たせて、スティック搬送
部とICレールを設ける。このような構成を採ることによ
り、ICハンドラ全体の容積を小さくするとともに、ステ
ィック搬送部の高さを低くすることができる。このよう
にスティック搬送部の高さを低くできるから、スティッ
クをポストに積み重ねることが簡単にできるとともに、
ICハンドラそのものの高さを比較的低く抑えることがで
きるから設置状態での安定性を高めることができる。

第２図には、上記スティック搬送部に用いられるステ
ィック位置決め機構の一実施例の正面図が示されてい
る。同図のスティック位置決め機構は、スティックの長
手方向に対向する面を正面として描いている。

ICが収納されるスティックの種類は、その材料からア
ルミニュウム製とプラスティック製に分けられる。そし
て、比較的小さなサイズのICに向けられた300milのもの
と、比較的大きなサイズのICに向けられた600milのもの
とがある。この組み合わせにより、合計４通りのスティ
ックが存在することになる。

この実施例のスティック位置決め機構は、上記４通り
のスティックに対して簡単な調整により位置合わせ出し
を可能にするものである。すなわち、上記300milタイプ
のスティックは、その形状は異なるが下部中央に長手方
向に設けてられる溝の大きさが同じであることを利用
し、その溝が嵌まるような突起１を設ける。

また、上記600milタイプのスティックは、その形状の
うち底面側の幅のサイズが等しいことに着目して、両側
ガイド２の間隔を600milタイプのスティックに合わせ
る。ただし、同じ600milのものでもアルミニュウム製と
プラスティック製とでは、下部中央の窪みの高さが異な
ること及び300milの位置出しに用いた突起１が邪魔に成
らないようにするため、ツマミ３により、特に制限され
ないが、両側ガイド２を上下動させることより、それを
連結する連結体も上下動させて、突起１の実質的な高さ
を変えるようにするものである。すなわち、両側ガイド
２を同図に点線で示すように持ち上げると、それに連動
して連結体も上側に持ち上げられ、突起１の高さが相対
的に低くすることが出来る。

第３図には、上記300milのスティックに対する位置決
めを説明するための正面図が示されている。同図（ａ）
には、アルミニュウム製のスティックの場合が示されて
いる。300milサイズのアルミニュウム製スティックに対
しては、上記中央部の突起１が、スティックの下部中央
部の窪みに嵌まるようにして位置出しを行う。同図
（ｂ）には、プラスティック製のスティックの場合が示
されている。300milサイズのプラスティック製スティッ
クに対しても、上記同様に上記中央部の突起１が、ステ
ィックの下部中央部の窪みに嵌まるようにして位置出し
を行う。

このように、300milサイズのスティックは、上記の窪
みのサイズが両方に共通であることを利用して位置出し
を行うものである。このとき、ツマミにより両側ガイド
２の高さは低くして、連結体が300milサイズのスティッ
クの底面に接触しないようにしておくものである。

第４図には、上記600milのスティックに対する位置決
めを説明するための正面図が示されている。同図（ａ）
には、アルミニュウム製のスティックの場合が示されて
いる。600milサイズのアルミニュウム製スティックに対
しては、両側ガイド２に、スティックが嵌まるようにし
て位置出しを行う。同図（ｂ）には、プラスティック製
のスティックの場合が示されている。600milサイズのプ
ラスティック製スティックに対しても、上記同様に上記
両側ガイド２に、スティックの下部が嵌まるようにして
位置出しを行う。この場合、上記アルミニュウム製のも
のは、同図（ａ）のように、両側ガイド２の高さを突起
に対して比較的高くして、連結体の上面でスティックの
底面を支えるようにするものである。すなわち、突起１
の上面は窪みの底面に接触しないようにされる。同様
に、上記プラスティック製のものは、同図（ｂ）のよう
に、両側ガイド２の高さを突起に対して比較的低くし
て、連結体の上面でスティックの底面を支えるようにす
るものである。この場合、プラスティック製の場合には
上記窪みの高さが上記アルミニュウム製のものより高く
されるからそれに応じて両側ガイド２の高さを同図
（ａ）に比べて多少低くしてもよい。

これにより、１つの位置決め機構により４通りのステ
ィックの搬送に伴う位置出し、すなわち、スティックの
ICをICレールに搬出させるとき、又はICレールからステ
ィックにICを搬入するときの位置合わせが高精度に行う
ことができるものとなる。

第５図には、スティックの位置合わせ機構の一実施例
の正面図が示されている。同図（ａ）には、300milサイ
ズのプラスティック製スティックのセンタ位置出しを行
う例が示されている。

この位置合わせ機構は、スティックのセンターの位置
出しを高精度に行うものであり、主としてスティックと
ICレールとの位置合わせのために用いられる。

同一径で同一ピッチ歯を持ち互いに噛み合うようにさ
れた一対の歯車を設ける。これら一対の歯車の回転軸と
一体的にされたアームが取り付けられる。このアームに
は同一の径を持つようにされた一対のローラーが設けら
れる。上記アームのほゞ中央部には上記２つのローラー
が互いに引き合うような力を作用させるバネが設けられ
る。

上記一対の歯車の接触点と一対のローラーの接触点と
を結ぶ直線は、同図に一点鎖線で示すようにスティック
のセンタに合うように予め調整されて取り付けられる。

この状態で、同図（ａ）に示すようにローラーの下側
からスティックを押し上げると、ローラーが回転してア
ームが左右に開いて、スティックの両側面を狭むように
ホールドする。このとき、上記アームは、歯車が噛み合
っているから左右均等に開くため、上記ホールドした状
態よりスティックのセンタを正しく合わせることができ
る。

同図（ｂ）においては、600milサイズのアルミニュウ
ム製スティックの位置出しを行う例が示されている。こ
のようにサイズが異なるスティックに対して同じ作動形
態により正確にセンタの位置出しを行うことができる。
すなわち、スティックはいずれのサイズも長手方向に沿
って左右対称に形成されるからサイズや形状に無関係に
センタの位置出しが可能になるものである。

第６図には、上記位置出し機構の一実施例の側面図が
示されている。

前記第２図等に示した位置決め機構を持つスティック
搬送部により第６図に点線で示すような位置まで運ばれ
たスティックは、リフトアップされて上記ローラーによ
り挟み込まれるようにして位置出しが行われる。この実
施例では、アームの上部左側にはセンタの位置出しが行
われるスティックの左端が上に逃げないようにするため
に設けられるスティックルーフ押さえの連結機構とのバ
ランスをとるために左側下端にローラーが設けられ、右
側上端に歯車が設けられる。上記スティックルーフ押さ
えは、アームと並行にされる押さえ軸にはバネが設けら
れ、弾性を持ってルーフ押さえを行う。

なお、リフトアップされたスティックの傾斜は、次に
説明するICレールの傾斜面の延長面上に連続するように
される。上記のようなその種類に無関係にスティックの
センタが上記ICレールのセンタに正しく合わせられるか
ら、上記傾斜を利用して自重により滑り落ちるICが、上
記スティックとICレールとの繋目の位置合ズレにより引
っ掛ってしまうことが防止できる。

第７図には、ICレールの一実施例の正面図が示されて
いる。

この実施例のICレールは、300milタイプと600milタイ
プの両方に使用可能とされる。サイズの異なるICに対す
るICガイドレールは、前記公報のように種々のものが提
案されいるが、前記のような課題を持つため、この実施
例のICレールは、単に異なるサイズに適合できることの
他、温度設定に便利であることや、傾斜を利用したICの
他に、空気圧を利用したICの搬送も可能であること、及
びICが途中でレールから落下してしまうことを防止する
機能も合わせ持つようにされる。

この実施例のICレールは、下部レールとルーフ（又は
蓋）として作用する上部レールから構成される。下部レ
ールは、300milタイプのICのリードが収まるような一対
の溝と、この溝の外側に600milタイプのICのリードが収
まるような一対の溝が設けられる。実開昭62−144814号
公報に記載されいるように、溝をガイドとしてICを搬送
することも考えられるが、ICのリードはその組立時のバ
ラツキが比較的大きいばかりでなく、搬送及び取り扱い
中に変形し易いので高い精度の位置出しは不向きであ
る。

そこで、この実施例では蓋として作用する上側レール
の下面に２つの溝を設ける。１つは、比較的大きさサイ
ズである600milタイプのICのパッケージの上側に対応し
た幅広の溝を形成する。そして、他の１つの溝は、上記
幅広の溝の中に比較的小さいサイズである300milタイプ
のICのパッケージの上側に対応した幅狭の溝を設ける。
そして、上記２つの溝を選択的に対応するICのガイドと
して作用させるために、上側レールは下側レールに対し
てネジの回転により高さが変わるようにしている。特に
制限されないが、捻子の回転数及び角度と捻子ピッチに
より高さを調整される。このとき、上側のレールは下側
のレールに対してバネにより常に持ち上げられるような
力を作用させられている。

すなわち、300milタイプのICを搬送するときには、同
図（ａ）に示すようにネジを締めて上側レールの高さを
低くし、幅狭の溝に300milタイプのICのパッケージ部分
が適合するようにして幅狭の溝をガイドとする。これに
対して、600milタイプのICを搬送するときには、同図
（ｂ）に示すようにネジを緩めるという簡単な操作によ
り上側レールの高さを高くし、幅広の溝に600milタイプ
のICのパッケージ部分が適合するようにして幅広の溝を
ガイドとする。このようにサイズが異なるICに対して、
単にネジを締めるか、緩めるといった簡単な操作により
切り換えが可能になる。これにより、従来のICハンドラ
のように搬送するICのサイズが異なる毎に比較的重いサ
イズのICレールをいちいち取替ていたのに比べて大幅な
省力化が可能になる。

パッケージの大きさは、リードの間隔に比べて正確に
形成され、リードの場合のような変形がないからリード
を位置合わせガイドの対象とする場合に比べて高い精度
の位置出しが可能になる。

また、この実施例のICレールは、蓋を持っているた
め、温度設定を行う場合に熱効率を高くし、しかも正確
にすることができる。また、ICの搬送は上記傾斜を持た
せてICの自重により行うものの他、空気圧を利用するこ
ともできる。これにより、ICレールを設ける個所が傾斜
以外の平面であってもよいし、傾斜とは逆方向にICを搬
送することも可能となる。これにより、ICの搬送の自由
度が広がり、ICハンドラの搬出／搬入レイアウト設計が
容易になる。

第８図には、上記第１図に示したICハンドラにおける
ICレール部の一実施例の上面図が示されている。

この実施例では、固定レールが複数個並べられる。こ
の固定レールには、ヒーター等の温度設定手段が組み込
まれ、前記スティックから搬出されたICがそれぞれのIC
レールに移し替えられ、測定温度に設定される。この場
合に、上記のような蓋により密閉された状態でICの温度
設定が行われるから点熱効率を良くし、しかも温度設定
の精度を高くすることができる。

上記のような複数の固定レールに対して１つの可動レ
ールが設けられる。この可動レールには、上記同図で横
方向に移動して目的の固定レールに合うとストッパーが
外されて所定温度に設定されたICが可動レールに移され
る。

可動レールは、温度設定されたICを受け取ると、テス
トヘッドの位置まで移動し、ICのリードが同図で下側に
向くように反転させて、落下させてコンタクト部のテス
トヘッドに供給する。

第９図は、コンタクト部の一実施例の概略側面図が示
されている。

前記可動レールにより運ばれて反転させられたICは、
リードを外側にして落下させられる。落下させられたIC
は、ICストッパーにより止められる。ICストッパーは、
従来のように単にICを止めることの他、ICパッケージに
対する位置合わせ調整機能が付加される。すなわち、ツ
マミを回転させることにより、回転角度と捻子ピッチに
合わせてシリンダＢの軸に対する高さが微調整させられ
る。

この調整を容易にするために、同図に点線で示すよう
にICリード検出センサが設けられる。このセンサは、光
センサが利用される。すなわち、ホトダイオード等によ
り発光させられた光をレンズにより集束し、又はレーザ
ーダイオードにより形成された光ビームによるスポット
をICソケットの特定のリード挿入孔に合うように調整し
ておく。これにより、いちいち目視によりリードとICソ
ケットのリード挿入孔を見比べることなく、落下してき
たICをストッパーにより止めたときに上記光ビームない
しスポットがリードにより遮断されるように上記ツマミ
を調整する。この光スポットが遮断されたか否かの検出
にはフォトダイオードが用いられる。これにより、品種
が異なるときのICソケットに対するICの位置合わせが簡
単に行える。

なお、落下により搬入されたICは、そのパッケージの
表面をシリンダＡに連結されたアームによりICソケット
側に押し出されて、その接続が行われる。そして、試験
が終了したICは、ICソケットとICとの間に挟まれるよう
にされた垂直のバーをシリンダＡにより引いて、引き抜
かれる。そして、シリンダＢが作動して、ICストッパー
をシリンダＢ側に引く。これにより、ICストッパーがIC
から外れて、ICが落下して分類部に送られる。

この後に、シリンダＢによりストッパーＢがICソケッ
ト側に押し出されて、次に落下してくるICを上記ICソケ
ットに対応した位置で受け止める。

上記の実施例から得られる作用効果は、下記の通りで
ある。すなわち、 （１）比較的小さなサイズのICが収納されるスティック
の下部中央部の窪みに嵌まるような第１の位置合わせガ
イドと、比較的大きなサイズのICが収納されるスティッ
クの下部外側を挟むような第２の位置合わせガイドとを
合わせ持つ位置合わせガイドを用いることにより、サイ
ズや形状が異なる複数種類のスティックに対応して簡単
な調整により、適合させることができるという効果が得
られる。

（２）比較的小さなサイズと比較的大きなサイズとの両
方のICのリードがそれぞれ収納される第１と第２の一対
の溝を持つ下部レールと、上記比較的大きなサイズのIC
のパケージの幅に対応した第２の溝と、上記第２の溝の
中央部に設けられ、上記比較的小さなサイズのICのパケ
ージの幅に対応した第１の溝とを備えた上部レールを蓋
として用い、上記下部レールに対して上部レールの高さ
を可変にすることにより、サイズの異なる２種類のICの
搬送が可能になるという効果が得られる。

（３）同一数の歯を持ち互いに噛み合うようにされた一
対の歯車の回転軸と一体的にされたアームに取りつけら
れ、同一の径を持つようにされた一対のローラーと、上
記２つのローラーとが互いに引き合うような力を作用さ
せて上記ローラーの下部からスティックを押し上げるこ
とにより形状やサイズの異なるスティックの水平方向に
対する位置決めを行うことができるという効果が得られ
る。

（４）固定的に取り付けられ、測定すべきICのリードが
挿入されるICソケットと、落下して搬入された測定すべ
きICを上記ICソケットに対応した位置で受け止めるICス
トッパーにその垂直方向の位置を調整する調整機構とを
設けることにより、搬入されたICとICソケットの位置合
わせ調整が簡単に行えるという効果が得られる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき
具体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。例えば、上記スティッ
クの位置合わせ機構や、ICレール及びコンタクト部のIC
ストッパーは、この実施例のように１つのICハンドラの
組み合わせされて用いられること他、それぞれが独自に
種々の形式のICハンドラに用いられるものであってもよ
い。

ICハンドラに設けられる機能は、必要に応じて前記実
施例に示されたもののうち一部の機能が省略されたり、
別の機能を付加するものであってもよい。例えば、ICと
の電気的な接続は、ICソケットを利用するもの他、プロ
ーブ針をリードに接触させたり、ボゴピン等かならなる
電極を用いる等種々の実施形態を採ることができる。

この発明は、ICハンドラに広く利用できるものであ
る。

〔発明の効果〕

本願において開示される発明の効果を簡単に説明すれ
ば下記の通りである。すなわち、比較的小さなサイズの
ICが収納されるスティックの下部中央部の窪みに嵌まる
ような第１の位置合わせガイドと、比較的大きなサイズ
のICが収納されるスティックの下部外側を挟むような第
２の位置合わせガイドとを合わせ持つ位置合わせガイド
を用いることにより、サイズや形状が異なる複数種類の
スティックに対応して簡単な調整により、適合させるこ
とができる。比較的小さなサイズと比較的大きなサイズ
の両方のICのリードがそれぞれ収納される第１と第２の
一対の溝を持つ下部レールと、上記比較的大きなサイズ
のICのパッケージの幅に対応した第２の溝と、上記第２
の溝の中央部に設けられ、上記比較的小さなサイズのIC
のパケージの幅に対応した第１の溝とを備えた上部レー
ルを蓋として用い、上記下部レールに対して上部レール
の高さを可変にすることにより、サイズの異なる２種類
のICの搬送が可能になる。同一数の歯を持ち互いに噛み
合うようにされた一対の歯車の回転軸と一体的にされた
アームに取りつけられ、同一の径を持つようにされた一
対のローラーと、上記２つのローラーとが互いに引き合
うような力を作用させて上記ローラーの下部からスティ
ックを押し上げることにより形状やサイズの異なるステ
ィックの水平方向に対する位置決めを行うことができ
る。固定的に取り付けられ、測定すべきICのリードが挿
入されるICソケットと、落下して搬入された測定すべき
ICを上記ICソケットに対応した位置で受け止めるICスト
ッパーにその垂直方向の位置を調整する調整機構とを設
けることにより、搬入されたICとICソケットの位置合わ
せ調整が簡単に行える。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明が適用されたICハンドラの一実施例
を示す概略側面図、 第２図は、上記ICハンドラのスティック搬送部に用いら
れるスティック位置決め機構の一実施例の正面図、 第３図は、300milのスティックに対する位置決めを説明
するための正面図、 第４図は、600milのスティックに対する位置決めを説明
するための正面図、 第５図は、スティックの位置合わせ機構の一実施例を示
す正面図、 第６図は、スティックの位置合わせ機構の一実施例を示
す側面図、 第７図は、ICレールの一実施例を示す正面図、 第８図は、ICレール部の一実施例を示す平面図、 第９図は、コンタクト部の一実施例を示す概略側面図で
ある。 １……突起、２……側面ガイド、３……ツマミ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三橋 章宏 青森県南津軽郡平賀町大字町居字南田 571番地２ 株式会社日本マイクロニク ス平賀工場内 (72)発明者 福士 俊雄 青森県南津軽郡平賀町大字町居字南田 571番地２ 株式会社日本マイクロニク ス平賀工場内 (72)発明者 千葉 秀明 青森県南津軽郡平賀町大字町居字南田 571番地２ 株式会社日本マイクロニク ス平賀工場内 (72)発明者 工藤 節雄 青森県南津軽郡平賀町大字町居字南田 571番地２ 株式会社日本マイクロニク ス平賀工場内 (72)発明者 葛西 満範 青森県南津軽郡平賀町大字町居字南田 571番地２ 株式会社日本マイクロニク ス平賀工場内 (72)発明者 大里 衛知 青森県南津軽郡平賀町大字町居字南田 571番地２ 株式会社日本マイクロニク ス平賀工場内 (56)参考文献 実開 昭62−19738（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−144814（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭53−122165（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭55−150376（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G01R 31/26 H01L 21/66

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】比較的小さなサイズのICが収納されるステ
   ィックの下部中央部の窪みに嵌まるような第１の位置合
   わせガイドと、比較的大きなサイズのICが収納されるス
   ティックの下部外側を挟むような第２の位置合わせガイ
   ドとを合わせ持つスティック搬送部を備えてなることを
   特徴とするICハンドラ。
2. 【請求項２】同一径で同一ピッチ歯を持ち互いに噛み合
   うようにされた一対の歯車と、上記一対の歯車の回転軸
   と一体的にされたアームに取りつけられ、同一の径を持
   つようにされた一対のローラーと、上記２つのローラー
   が互いに引き合うような力を作用させる弾性手段とを備
   え、上記ローラーの下部からスティックを押し上げるこ
   とによりスティックの水平方向に対する位置決めを行う
   位置決め機構を備えてなることを特徴とするICハンド
   ラ。