JP2970897B2 - プローブカードの割り振り装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プローブカードの割り
振り装置に係り、特にディスプレイ上にグラフィック的
に表示されたウエハとチップのレイアウトを見つつ割り
振り行うことができる割り振り装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体製品のプロセス工程にお
いては、一枚の半導体ウエハ上に縦横に整然と配列させ
て多数のチップを形成するが、これらのチップが全て良
品とは限らないので、プロセス工程の最終段に近くなっ
たところで、カッティングする前にウエハ状態のままで
個々のチップについて電気的特性の検査を行い、不良チ
ップをスクリーニングするようにしている。

【０００３】この検査は一般的にはプローブ装置を用い
て行われている。このプローブ装置は、多数のプローブ
針を有するプローブカードを備えており、このプローブ
針を半導体ウエハ上の個々のチップが有する電極パッド
に接触させ、このプローブ針から所定の検査信号を加え
て個々のチップが基本的な電気的特性を有しているか否
かをテスタを介して試験するようになっている。この場
合、プローブ針は、１つのチップの電極パッド或いは複
数のチップの電極パッドに同時に接触し、１つのチップ
毎或いは複数のチップ毎同時に検査し、プローブカード
とチップとを相対移動させて原則的には全チップに対し
て検査が行われる。

【０００４】ここで図１５に基づいて一般的なプローブ
装置について説明する。プローブ装置２のプローブ本体
４には、半導体ウエハＷを支持するウエハ載置台６が設
けられており、このウエハ載置台６はＸ、Ｙ、Ｚステー
ジにより平面内（Ｘ方向及びＹ方向）及び高さ方向（Ｚ
方向）に移動可能になされている。このウエハ載置台６
の上方には多数のプローブ針８を植設してなるリング状
のプローブカード１０が固定されており、上記ウエハ載
置台６を移動させることにより、任意のチップの電極パ
ッドを上記プローブ針８に接触し得るようになってい
る。

【０００５】プローブ本体４の上方には、一端を支点と
して起倒自在になされたテストヘッド１２が設けられ、
これを倒した時に、図示しないポゴピンを介して上記各
プローブ針８と導通状態となり、テストヘッド１２に接
続される図示しないテスタにより各チップの検査が行わ
れる。また、プローブ本体４には、この装置全体の動作
を制御したり、各チップに対する測定条件等を設定する
ためのコンピュータ１４が並設されており、このディス
プレイ１６には各種の情報、例えばプローブカード１０
或いはその近傍に設けたマイクロスコープ１８からのチ
ップの映像等を写し出せるようになっている。

【０００６】ところで、最近にあってはプローブカード
の製造技術の向上やテスタの性能の向上にともなって、
２個、４個或いは８個等、複数のチップを同時に測定す
る装置が開発されており、この種の装置のプローブカー
ドは複数個のチップの電極パッドに同時に接触し得るだ
けの多数のプローブ針を有している。例えば図１６にお
いて破線で示す境界線により略正方形状に成形された多
数のチップＣを２個同時に検査するプローブカード１０
は図１７に示すように構成され、例えばその中心には２
個のチップＣを横並びにした時と略同じ大きさの開口部
２０を形成し、この縁部にその長さ方向に多数のプロー
ブ針８を植設して２個のチップの電極パッドに対して同
時接触可能としている。このようにプローブカードのプ
ローブ針が同時接触可能なチップの数を表す言葉として
マルチ数が使われ、その時の測定できるチップの並び方
向を特定するためにロケーションの言葉が用いられる。

【０００７】例えば図１８に示すような形状を１チップ
の大きさとすると図１９（Ａ）に示すように横方向に２
個配列したチップを同時に測定できるプローブカードは
マルチ数は２、ロケーションはＸ（方向）として表さ
れ、図１９（Ｂ）に示すように縦方向に２個配列したチ
ップを同時に測定できるプローブカードはマルチ数は
２、ロケーションはＹとして表される。同様にして、図
２０（Ａ）に示す場合はマルチ数は４、ロケーションは
Ｘ、図２０（Ｂ）に示す場合はマルチ数は４、ロケーシ
ョンは２（Ｙ）×２（Ｘ）、図２０（Ｃ）はマルチ数は
４、ロケーションはＹ、図２１（Ａ）に示す場合はマル
チ数は８、ロケーションはＸ、図２１（Ｂ）に示す場合
はロケーションは２（Ｙ）×４（Ｘ）としてそれぞれ表
される。

【０００８】ところで、所望する全チップを測定する場
合にプローブカードとウエハとをどのように相対移動さ
せてプローブ針を接触させれば効率的に検査することが
できるかという点は大きな関心事であり、測定前にオペ
レータはプローブカードに対するウエハの移動順序、す
なわちプローブカードの割り振りを設定する。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上述のようにプローブ
カードの割り振りを設定する場合には、まずウエハ載置
台６上に実際にウエハＷを載置し、これをマイクロスコ
ープ１８によりディスプレイ１６に写し出した状態でプ
ローブカードの基準位置を、表示されたチップ上に順次
割り付けて全チップに対してカードの割り振りを行うよ
うになっている。

【００１０】しかしながら、この場合、実際のウエハを
マイクロスコープで写し出しながらカード割り振りを行
うことから、装置メモリには割り付け順序が座標として
記憶されているが、ディスプレイ上にはその割り振り順
序が何ら表示されるものでなく、後で割り振り順序を確
認する場合にはウエハを保持しているＸ、Ｙステージが
実際に割り振り順序に従って動くだけであり、これを十
分に確認できない場合があった。

【００１１】また、測定後において再度、割り振り順序
を確認しようと思っても、電極パッドには単に針跡が付
いているだけなのでこの場合にも割り振り状態を十分に
確認することはできなかった。

【００１２】本発明は、以上のような問題点に着目し、
これを有効に解決すべく創案されたものである。本発明
の目的は、グラフィック的に表示した半導体ウエハの表
示面上にグラフィック的なチップをレイアウト表示させ
てこれにカード割り振り位置も表示させることができる
プローブカードの割り振り装置を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記問題点を
解決するために、半導体ウエハ上に形成された多数のチ
ップの電気的特性を、同時に複数個のチップと接触可能
な分のプローブ針を有するプローブカードを用いて検査
する時のプローブカードの割り振りを行うプローブカー
ドの割り振り装置において、入力手段と、ウエハ情報と
チップ情報とに基づいてイメージ上のウエハにイメージ
上のチップを配列して各チップに座標を付ける座標演算
手段と、この座標演算手段で求めた座標とチップを関連
させて記憶するチップ座標記憶部と、複数のカード割り
振りモードを予め記憶した割り振りモード記憶部と、前
記チップ座標記憶部の情報と前記割り振りモード記憶部
の情報とプローブカードの情報と前記入力手段からの指
令に基づいてカード割り振り位置を設定するカード割り
振り手段と、このカード割り振り手段で設定されたカー
ド割り振り位置を前記チップと関連させて記憶するカー
ド割り振り位置記憶部と、前記チップ座標記憶部の情報
に基づいてイメージ上のウエハにイメージ上の各チップ
をレイアウト表示すると共に前記カード割り振り位置記
憶部の情報に基づいてカード割り振り位置情報を表示す
る表示手段とを備えるように構成したものである。

【００１４】

【作用】本発明は、以上のように構成したので、半導体
ウエハのサイズ、オリエンテーションフラットの方向等
のチップ情報やチップサイズ等のチップ情報を入力手段
から入力すると、この情報に基づいて座標演算手段はイ
メージ上のウエハに対してイメージ上のチップを縦横に
配列して各チップに対して座標を付与する。ここで得ら
れた座標情報はチップと関連させてチップ座標記憶部に
記憶されると同時に、そのウエハとチップのイメージが
重ね合わされて表示手段に表示される。

【００１５】オペレータは、割り振りモード記憶部に記
憶された割り振りモードから所望のモードを選択し、こ
の表示画像を見ながら入力手段を用いてカード割り振り
を自動或いは手動で入力する。すると、カード割り振り
手段は、チップ座標記憶部の情報と割り振りモード記憶
部の情報とプローブカードの情報と入力手段からの指令
に基づいてカード割り振り位置を設定する。

【００１６】ここで設定されたカード割り振り位置はチ
ップと関連させてカード割り振り位置記憶部に記憶され
ると同時に、表示手段にはウエハ、チップと同時に割り
振り位置情報が重ね合わされてレイアウト表示されるこ
とになる。従って、オペレータは、ウエハ上にカード割
り振り位置がどのようになっているかを視覚的に確認す
ることが可能となる。また、このような割り振り操作
は、実際のウエハやプローブ装置を用いることなくソフ
トウエア的に行なうことができる。

【００１７】

【実施例】以下に、本発明に係るプローブカードの割り
振り装置の一実施例を添付図面に基づいて詳述する。図
１は本発明に係るプローブカードの割り振り装置を示す
ブロック図、図２はプローブカードの割り振り装置を構
成するコンピュータのブロック図、図３は図２に示すカ
ード割り振り部の自動割り振りモードを示す構成図、図
４はカード割り振り部の最適割り振りモードを示す構成
図、図５はカード割り振り部の任意割り振りモードを示
す構成図である。

【００１８】本発明の割り振り装置２２は図１５に示す
ようにプローブ本体４に並設したコンピュータ１４とし
て構成し、ここで作成したプローブカード割り振り用の
プログラムに従って、直接プローブ本体４の動作を制御
させるようにしてもよいし、別個独立に設けたコンピュ
ータにおいてプローブカード割り振り用のプログラムを
作成し、これを上記コンピュータ１４に取り込んでプロ
ーブ本体４を動作させるようにしてもよい。

【００１９】図２に示すようにこの割り振り装置２２
は、ＬＣＤ（液晶表示装置）、ＣＲＴ（陰極線管）等よ
りなる表示手段２４と、記憶装置２６と、制御装置２８
と、キーボード３０やマウス３２等の入力手段３４をア
ドレスバス、制御バス、データバスよりなるバス３６に
より相互に接続して構成されている。

【００２０】この割り振り装置２２を図１に基づいて具
体的に説明すると、各種のデータや指令を入力する入力
手段３４は上述のようにキーボード３０やマウス３２等
よりなり、入力手段としては、これらに限定されない。
また、表示手段２４は、実際に映像を写し出すＬＣＤや
ＣＲＴ等の表示部３８とこの表示を制御する表示制御部
４０とにより構成される。この表示部３８においては、
後述するように半導体ウエハとこの中に縦横に配列され
る多数のチップがグラフィック的に表示され、同時にオ
ペレータによって或いは自動的に設定されたカード割り
振り位置を示す情報も表示される。

【００２１】４２は座標演算手段であり、上記入力手段
３４より入力されたウエハサイズやオリエンテーション
フラット（オリフラ）の方向等のウエハ情報と、チップ
の縦横（ｘ、ｙ）のサイズ等のチップ情報とに基づいて
イメージ上のウエハ上に四角形のイメージ上のチップを
縦横に自動的に配列し、各チップに対して座標を付す。
ここで求められた各チップのイメージと座標とは関連付
けられて例えばＲＡＭ等よりなるチップ座標記憶部４４
に記憶され、また、この記憶内容は表示制御部４０を介
して表示部３８に表示される。この時の表示状態は例え
ば図１１（Ａ）に示すように示され、オリフラの部分を
除いて円板状にグラフイック的に表示されたウエハ内に
多数のチップ像がグラフィック的に表示されたウエハマ
ップが表示される。

【００２２】上記座標演算手段４２には、予めウエハサ
イズ、オリフラの方向、チップサイズ、及びマルチ数や
ロケーションなどのプローブカードに関する情報等をフ
ァイルとして登録してある例えばＲＯＭ等よりなるファ
イル記憶部４６を接続して設けてもよく、入力手段３４
から所望する品種ファイル名のパラメータを入力するこ
とにより、そのデータを座標演算手段４２へ入力する。

【００２３】４８は例えばＲＯＭ等よりなるカード割り
振りモード記憶部であり、この記憶部４８内には、本実
施例においては自動割り振りモード、最適割り振りモー
ド、任意割り振りモードの３種類のモードが記憶されて
おり、後述するようにオペレータにより選択可能になさ
れている。

【００２４】尚、割り振りモードは上記３種類に限定さ
れず、必要に応じて増減できるのは勿論である。ここで
自動割り振りモードとは、ウエハとプローブカードとの
コンタクト位置を自動的に計算してコンタクト位置を割
り振るモードであり、この時、コンタクト位置とウエハ
上のチップとの関係は縦横方向において均等にコンタク
トするように設定される。最適割り振りモードとは、ウ
エハ上でプローブカードがコンタクトする回数が最も少
なくなるように自動的にコンタクト位置を割り振るモー
ドである。任意割り振りモードとは、コンタクト位置を
マウス或いはキーボードのカーソル移動キーで移動させ
てウエハとカードとのコンタクト位置を任意に設定でき
るモードである。

【００２５】５０は複数のメニューを記憶するメニュー
記憶部であり、このメニュー記憶部５０には、このコン
ピュータを動作する上で必要とされる各種の操作メニュ
ーや、測定条件設定時に必要とされるマップ初期化、カ
ードの割り振り時に使用するカード割り振り等のメニュ
ーが記憶されている。これらのメニューは必要に応じて
増減できるのは勿論である。

【００２６】「マップ初期化」が選択されると、ウエハ
内の全てのチップがテスト対象チップとなる。「カード
割り振り」が選択されるとカード割り振りモードが動作
可能状態となる。

【００２７】５２はカード割り振り手段であり、この割
り振り手段５２は上記チップ座標記憶部４４の情報、カ
ード割り振りモード記憶部４８の情報及び入力手段３４
からの指令に基づいて前記ウエハのチップとプローブカ
ードとのコンタクト位置関係を設定するものである。

【００２８】この場合、上記カード割り振り手段５２
は、前述した３つの割り振りモードの内、選択されたモ
ードに従ってカード割り振り位置すなわちコンタクト位
置を設定する。従って、このカード割り振り手段５２
は、上記３つの割り振りモードに対応させて図３に示す
自動割り振り部５４、図４に示す最適割り振り部５６、
図５に示す任意割り振り部５８を併せて持っている。

【００２９】図３に示す自動割り振り部５４は、表示さ
れたウエハマップ上のＸ軸の最小値を求めるＸ軸最小値
部６０Ａ、Ｘ軸の最大値を求めるＸ軸最大値部６０Ｂ、
Ｙ軸の最小値を求めるＹ軸最小値部６２Ａ、Ｙ軸の最大
値を求めるＹ軸最大値部６２Ｂを有している。上記Ｘ軸
最小値部６０Ａ、Ｘ軸最大値部６０ＢにはＸ方向はみ出
し量演算部６４Ａが接続され、これらの情報、カード情
報の内のカードＸ方向のチップ数ＮｘよりＸ方向最大幅
の行位置においてカードを整数倍にレイアウトした時の
端部におけるはみ出し量Ｘｈを求めるようになってい
る。この時の状態は図１２（Ａ）に示されており、図１
２（Ａ）において上段はＸ方向最大幅のチップ列を示
し、下段は仮定的なカード割り振り位置を示す。この場
合プローブカードは一例としてＸ方向に４つ配列された
チップを同時に測定できるものであることからマルチ数
４で且つロケーションはＸとなるカードを例にとって説
明する。

【００３０】６６Ａは上記Ｘ方向はみ出し量演算部６４
Ａの出力に基づいて、カード割り振り位置がウエハの左
右（Ｘ方向）にて略均等になるようにＸ軸のカードレイ
アウトの左端開始位置Ｘｓを求める左端開始位置決定部
６６Ａである。この時の状態は図１２（Ｂ）に示されて
おり、チップ列に対するカードレイアウトの左右方向の
はみ出し量が略均等（差があってもチップ１つ分の差）
になるようにカード割り振り位置が決定される。この場
合、右方向から開始位置を決定するようにしてもよい。
同様にして、Ｙ軸最小値部６２Ａ、Ｙ軸最大値部６２Ｂ
にもＹ方向はみ出し量演算部６４Ｂが接続され、前述と
同様にＹ方向の下端部におけるはみ出し量Ｙｈを求める
ようになっている。

【００３１】また、上記Ｙ方向はみ出し量演算部６４Ｂ
には、同様にＹ方向における上端開始位置ｙ_s を求める
上端開始位置決定部６６Ｂが接続されている。この場
合、下方向から開始位置を決定するようにしてもよい。
６８は、上記左端及び上端開始位置決定部６６Ａ、６６
Ｂの出力に基づいてウエハの左上部側を基準としてカー
ド割り振りを自動的に行う自動割り振り演算部６８であ
る。このようにして求められたカード割り振り位置のレ
イアウトの一例は図１１（Ｃ）に示される。

【００３２】図４に示す最適割り振り部５８は、図３に
示す自動割り振り部５４と略同様に構成されているが、
異なる点は図３に示す自動割り振り部５４はウエハ全面
に亘ってカード割り振り位置が均等にレイアウトされる
ように決定されるが（図１１（Ｃ）参照）、図４に示す
最適割り振り部５６はウエハ上のチップの各行、Ｙ方向
にカードのロケーションが複数ある場合にはその複数行
毎に左端及び上端開始位置を決定してカード割り振り位
置を求める点にある。このように各行毎或いは複数行毎
に自動割り振りを行わせるために割り振り対象となる行
を示すインクリメント部６７が設けられている。これに
より、最小のコンタクト数で全チップに対してコンタク
トが可能となる。このようにして求められたカード割り
振り位置のレイアウトの一例は図１１（Ｄ）に示され
る。

【００３３】図５に示す任意割り振り部５８は、カード
基準位置決定部７０を有しており、カードの基準位置、
例えば４つのチップを同時に測定できる４チャネルのプ
ローブカードにあっては第１チャネルを基準位置として
この第１チャネルをウエハチップ上のどの座標に位置さ
せるかを入力手段３４からの指令により決定する。これ
により、カード割り振り位置をウエハ上の任意の場所に
レイアウトすることが可能となる。

【００３４】ここで図１に戻り、７２はカード割り振り
位置記憶部であり、上記カード割り振り手段５２におい
て設定されたカード割り振り位置とチップとを関連させ
て記憶するようになっている。従って、この記憶内容に
基づいて前記表示部３６にはグラフィック的に表示され
たチップ上にカード割り振り位置が重ね合わせて表示さ
れることになる。この時の表示状態は例えば図１１
（Ｃ）或いは図１１（Ｄ）に示されている。

【００３５】次に、以上のように構成された装置の動作
を図６乃至図１０に示すフローチャートも参照しつつ説
明する。尚、本実施例にあってはプローブカードのプロ
ーブ針が一度に接触して測定し得るチップ数は前述のよ
うにＸ方向に直線状に配列された４チップである場合を
例にとって説明する。従って、この時のプローブカード
情報は、マルチ数は４、ロケーションはＸとして与えら
れる。また、この実施例にあっては入力手段３２として
マウス３０を用いた場合を例にとって説明する。

【００３６】まず、装置を起動すると図１４に示すよう
に初期画面が表示部３８に表示され、「マップ初期
化」、「カード割り振り」等の各メニュー、ウエハやチ
ップ等に関する情報項目例えば品種名、ウエハサイズ、
チップサイズ、オリエンテーションフラットの方向やカ
ード情報項目、例えばマルチ数、ロケーションが表示さ
れて入力待ち状態となる（Ｓ１）。

【００３７】入力待ち情報ではマウス釦が押して離され
たか、すなわちクリックされたか否かが常に判断され
（Ｓ２）、クリックされない場合（ＮＯ）には常に入力
待ち状態となる。マウス３２がクリックされた場合には
（ＹＥＳ）、その時のマウスポインタ７４が「マップ初
期化」を指しているか（Ｓ３）、「カード割り振り」を
指しているか（Ｓ４）が判断される。Ｓ３にてマウスポ
インタ７４が「マップ初期化」を指していると、ウエハ
マップは初期化され（Ｓ５）、グラフィック的に描かれ
たウエハ内の全てのチップがテスト対象となった旨が表
示される。この場合、ウエハサイズ、オリフラの方向、
チップサイズ等は、初期化用に予め設定されたものが使
用され、例えば４、５、６、８インチウエハの内、８イ
ンチウエハ、オリフラの方向０°、９０°、１８０°、
２７０°の内、０°がそれぞれ自動的に選択されること
になる。

【００３８】一方、Ｓ４にて「カード割り振り」が選択
されると、次に品種名が入力済みか否かが判断され（Ｓ
６）、ＹＥＳの場合には入力されたパラメータに基づい
てファイル記憶部４６から該当するファイルが読み出さ
れて、ウエハサイズ、オリエンテーションフラットの方
向、チップサイズ、プローブカードの情報等が座標演算
手段４０に取り込まれる（Ｓ７）。そして、この取り込
まれた情報に基づいてイメージ上のウエハ上にイメージ
上のチップが割り振られてこれに基づいて表示部３８に
はウエハ上にチップがレイアウト表示されてウエハマッ
プが形成される（Ｓ８）。これと同時にレイアウト表示
される各チップには座標が付けられ、このチップ座標は
チップ座標記憶部４４に記憶される（Ｓ９）。

【００３９】この場合、ウエハセンタに位置する基点チ
ップを基準座標（０、０）として各表示チップの座標が
決定されることになる。この時の表示状態は図１１
（Ａ）に示されており、ウエハ像ＧＷ内に割振られた多
数のチップ像ＧＣがグラフィック的に表示されて、ウエ
ハセンタに位置するチップが基準チップとなっている。
また、ウエハサイズ、チップサイズ、カード情報（デー
タ）等も表示部３８に表示され、例えばこの場合にはカ
ードデータのマルチ数は４、ロケーションはＸとなる。

【００４０】また、Ｓ６にて品種名が入力されておらず
且つウエハサイズ、オリエンテーションフラットの方
向、チップサイズ、カードの情報（データ）も入力され
ていない場合には（Ｓ１０）、入力待ち状態となり（Ｓ
１１）、また、これらの全ての情報が入力手段３４によ
りオペレータにより入力された場合には（Ｓ１０のＹＥ
Ｓ）、前述と同様にこの入力情報に基づいて座標演算手
段４２はイメージ上のウエハ上にイメージ上のチップを
割り振り、この演算結果をチップ座標記憶部４４に記憶
すると同時に表示部３８に図１１（Ａ）に示すようにウ
エハＧＷとチップＧＣとをレイアウト表示する。チップ
のレイアウト表示がなされると同時に、この表示像の上
方のエリアには（図１４参照）、「自動設定モード」、
「最適化モード」、「任意指定モード」等のカード割り
振りモード選択用のメニューが表示される（Ｓ１２）。

【００４１】次に、オペレータは、この３種類のカード
割り振りモードからマウスを用いて所望のモードを選択
する。まず、マウス釦が押されて離されたか否かが常時
判断され（Ｓ１３）、ＹＥＳの場合にはその時のマウス
ポインタ７４が３種類のカード割り振りモードメニュー
のいずれかを指しているか否か判断される（Ｓ１４）。
この判断は、割り振りモードメニューのいずれかが指示
されるまで行われる。

【００４２】ここでまず、３種類のカード割り振りモー
ドの内、「自動設定」が選択された場合について説明す
る。Ｓ１５において「自動設定」が選択されると、カー
ド割り振り手段５２においてウエハの左右方向へ略均等
にカードが割り振られるように自動的に割り振りのレイ
アウトが計算される（Ｓ１６）。

【００４３】この計算手順は、まず、上記したチップ座
標記憶部４４の記憶データに基づいてウエハマップ上の
全チップ座標の内、Ｘ軸方向における最小値、すなわち
Ｘ軸最小値＝ｘ_min と最大値、すなわちＸ軸最大値＝ｘ
_max を求め（図１１（Ｂ）参照）、これらの差より、カ
ード情報の内でプローブカードのＸ方向における一度に
同時測定可能なチップ数Ｎｘ、本実施例ではＮｘ＝４を
用いてＸ方向最大幅となる行位置にてカードを割り振っ
た時に、ウエハ端部にてどの位、カードがはみ出すかそ
のはみ出し量Ｘｈを下記式に基づいて計算する。

【００４４】 ｛（ｘ_max −ｘ_min ）＋１｝／Ｎｘ＝Ｑ・・・Ｒ はみ出し量Ｘｈ＝Ｎｘ−Ｒ 尚、Ｑは割り算の計算結果の商（整数）、Ｒはその余り
である。この時の計算を図示的に示すと図１２（Ａ）の
ようになる。本実施例では、上記式に具体的数値を入れ
ると下記式のようになる。

【００４５】｛（−４＋４）＋１｝／４＝２・・・１ はみ出し量Ｘｈ＝４−１＝３ ここで、ｘ_max とｘ_min の差に１を加える理由は座標
（０、０）のチップを数に加えるためである。

【００４６】次に、Ｓ１７にてＸ軸方向におけるカード
レイアウト時の左端開始位置ｘ_s を下記式に基づいて計
算する。 ｘ_s ＝Ｘ_min −［Ｘｈ／２］ 但し、［Ｘｈ／２］は切り捨てを行った時の整数であ
る。

【００４７】上記式の意味するところは、Ｘ方向にカー
ドレイアウトを施した時に、ウエハの両端からのはみ出
し量が略同じ量になるように設定するためである。この
時の計算を図式的に示すと図１２（Ｂ）のようになる。
上記式に具体的数値を入れると下記式のようになる。 ｘ_s ＝−４−［３／２］＝−５

【００４８】すなわち座標（−５、０）がカードレイア
ウトの開始位置となり、ウエハの左端部からはチップ１
個分の長さがはみ出し、右端部からはチップ２個分の長
さがはみ出すことになる。尚、この実施例ではウエハの
左側からカードレイアウトを開始するようにしたが、こ
れをウエハ右側から行うようにしてもよいし、また、上
記式で［Ｘｈ／２］の値を切り捨てを行った時の整数と
規定したが、これを切り上げを行った時の整数と規定し
てもよい。

【００４９】次に、Ｓ１６及びＳ１７にてＸ方向につい
て行ったと同様な処理をＳ１８において、カードのＹ方
向についても同様に行い、Ｙ軸の上端開始位置ｙ_s を求
める。このようにしてレイアウト開始座標（ｘ_s 、ｙ
_s ）が求まったならばこの座標（ｘ_s 、ｙ_s ）にプロー
ブカードの左上部（この実施例の場合にはＹ方向へは一
列しかないのでプローブカードの左端の第１チャネル）
を配置し、ここを基準としてＸ方向（行方向）及びＹ方
向（列方向）にウエハマップ上にカード割り振りをして
カードのレイアウトを行い、それを表示部３８に表示す
る（Ｓ１９）。この時の表示状態は図１１（Ｃ）に示さ
れており、各カード割り振り位置の座標は、（ｘ_s 、ｙ
_s ）＝（ｘ１、ｙ１）、（ｘ２、ｙ２）＝（ｘ３、ｙ
３）……（ｘ_n 、ｙ_n ）のようになる。

【００５０】また、ここで求められた各カード割り振り
位置の座標は、カード割り振り位置記憶部７２に記憶さ
れ（Ｓ２０）、最終的にファイル化され（Ｓ２１）、こ
のファイル化されたプログラムに基づいてプローブ装置
が操作されることになる。このように自動割り振りモー
ドの場合には、図１１（Ｃ）に示すようにウエハの中心
線を中心として左右に略均等になるようにカード割り振
り位置が決定される。

【００５１】次に、カード割り振りモードの内、「最適
化モード」が選択された場合について説明する。この最
適化モードではプローブカードコンタクト回数が最も少
なくなるようにカード割り振り位置が自動的にレイアウ
トされる。

【００５２】まず、図７のＳ１５に戻り、このステップ
でＮＯとなって図９に示すＳ２２にて「最適設定」が選
択されると（ＹＥＳ）、ウエハマップ上における割り振
り対象となるチップの行位置を示すインクリメント部６
７の記憶内容ｉを“０”にセットし（Ｓ２３）、次に、
この記憶内容ｉを“１”だけインクリメントする（Ｓ２
４）。

【００５３】次に、ウエハマップ上のこの第ｉ行目（こ
こでは１行目）において最適なカードのレイアウトを行
う。この場合、カードレイアウト時の座標計算は、図７
のＳ１６、図８のＳ１７、Ｓ１８の各ステップを第１行
目に関してのみ行うことによりなされ、左端開始位置を
求める（Ｓ２５）。そして、ここで求めた左端開始位置
を基準として第１行目のカードレイアウトを決定し、そ
れを表示部３８に表示する（Ｓ２６）。

【００５４】次に、第ｉ行目は、ウエハチップの最終行
であるか否かが判断され（Ｓ２７）、ＮＯの場合にはＳ
２４に戻り、インクリメント部６７の内容ｉが１つ増加
されて同様な演算が繰り返して行われる。そして、ウエ
ハチップの最終行まで演算が行われてカードのレイアウ
トが行われたならば（Ｓ２７−ＹＥＳ）、図８のＳ２０
に行き、レイアウトされた各カード位置の座標が記憶さ
れることになる。この時の表示部３８における表示状態
は図１１（Ｄ）に示されており、カードのコンタクト回
数が最も少なくなるようにカード割り振り位置が決定さ
れている。

【００５５】次に、カード割り振りモードの内、「任意
設定モード」が選択された場合について説明する。この
任意設定モードではオペレータにより任意の位置にカー
ド割り振りを行うことができる。

【００５６】まず、図９のＳ２２に戻り、このステップ
でＮＯとなって図１０に示すＳ２８にて「任意設定」が
選択されると（ＹＥＳ）、マウス釦が常時押して離され
たか否か判断され（Ｓ２９、Ｓ３０）、マウス釦が離さ
れた場合には、その時のマウスポインタ７４が位置する
チップ座標（ｘ_n 、ｙ_n ）に、カードレイアウトの左上
端を位置させて１つのレイアウトを表示する（Ｓ３
１）。そして、この時のマウスポインタ７４の位置する
チップ座標を記憶する（Ｓ３２）。

【００５７】次に、カードレイアウトがウエハマップの
全てを埋めたか否かが判断され（Ｓ３３）、ＮＯの場合
には次に終了メニューが選択されたか否かが判断される
（Ｓ３４）。終了メニューが選択されない場合には（Ｎ
Ｏ）、再度Ｓ２９に戻り、次のレイアウト指示を待ち、
上記したレイアウト操作が繰り返して行われることにな
る。カードレイアウトを行っている途中における表示部
の表示状態は図１１（Ｅ）に示されている。このように
して、カードレイアウトがウエハマップの全てを埋めた
場合（Ｓ３３−ＹＥＳ）、或いは終了メニューが選択さ
れた場合（Ｓ３４−ＹＥＳ）には図８のＳ２０に戻り、
その時のカードレイアウト位置が記憶されてファイル化
されることになる。

【００５８】図１３は上述のようにして設定された最終
的なカードレイアウトの一例を示し、図１３（Ａ）は自
動設定モードにより設定されたカードレイアウトを、図
１３（Ｂ）は最適化モードで設定されたカードレイアウ
トを、図１３（Ｃ）は任意指定モードで設定されたカー
ドレイアウトをそれぞれ示し、図中の矢印はプローブカ
ードの基準チャネル（第１チャネル）の相対移動方向を
示す。

【００５９】尚、プローブ針の保護のためにこれがウエ
ハエッジからはみ出ることを避ける場合には、例えば任
意設定モードを用いてカードレイアウトが全てウエハ面
内に納まるようにすればよく、この場合には、プローブ
針が２度コンタクトするチップも生ずることになる。

【００６０】また、上記３種類以外のカード割り振りモ
ードとしては、例えば最初にカードがコンタクトする位
置のみをオペレータが指示し、他の部分については自動
割り振りを行わせるようにしたモードも設定できる。ま
た、予め或いはカードレイアウト決定後に、予め例えば
不良チップとして検査を行う必要のない測定不要チップ
を指定するが、このような測定不要チップにプローブ針
がコンタクトしてもそのチャネルに対しては検査信号を
選択的に流さないようにして検査時間の短縮化を図る。

【００６１】以上のようにしてカード割り振りが決定し
てカードのレイアウトが終了したならば、この作成した
プログラムに基づいて図１５に示すコンピュータ１４か
らプローブ本体４に向けて指令を発し、実際の測定が、
カードレイアウトに従ってプローブカードのプローブ針
を順次移動させることによって実際のウエハ上の各チッ
プに対して行われることになる。

【００６２】また、上記プログラムをプローブ装置とは
別体に設けたコンピュータ上にて作成した場合には、こ
こで作成したプログラムをフロッピディスク等に記録さ
せ、これをプローブ装置のコンピュータ１４にロードし
て読み込ませることにより上記したように実際のウエハ
のチップの測定検査が行われる。

【００６３】この場合には、プローブ装置以外のコンピ
ュータにてカード割り振り操作を行っているので、その
間、プローブ装置は稼働させることができ、スループッ
トを大幅に向上させることができる。

【００６４】また、ウエハサイズ、チップサイズ、カー
ド情報等に基づいてグラフィック的に表示したウエハマ
ップを基にカード割り振り操作を行うことができるの
で、実際の半導体ウエハやプローブ装置を用いることな
くカード割り振り操作を行うことができる。

【００６５】更には、カード割り振り位置（レイアウ
ト）は、グラフィック表示されたチップに重ねて表示で
きるので、オペレータは容易に視覚的にカードレイアウ
ト状況を認識することができ、確認作業を容易にしてカ
ード割り振り操作のミス設定の発生を確実に抑制するこ
とができる。

【００６６】尚、上記実施例にあっては、図２０（Ａ）
に示すようにカード情報はマルチ数が４、ロケーション
がＸのものについて説明したが、これに限定されず、ど
のようなカード情報のプローブカードにも適用し得るの
は勿論である。

【００６７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のプローブ
カードの割り振り装置によれば次のように優れた作用効
果を発揮することができる。グラフィック的に表示され
た半導体ウエハとチップを見ながら、プローブカードの
割り振りを行うことができる。従って、実際の半導体ウ
エハやプローブ装置を用いることなくソフトウエア上で
所望のカードレイアウトを設定することができることか
ら、プローブカード割り振りのためにプローブ装置を占
有することもなく、プローブ装置の稼働率を上げてスル
ープットを向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るプローブカードの割り振り装置を
示すブロック図である。

【図２】プローブカードの割り振り装置を構成するコン
ピュータのブロック図である。

【図３】図２に示すカード割り振り部の自動割り振りモ
ードを示す構成図である。

【図４】カード割り振り部の最適割り振りモードを示す
構成図である。

【図５】カード割り振り部の任意割り振りモードを示す
構成図である。

【図６】プローブカードの割り振り時のフローを示すフ
ローチャートである。

【図７】プローブカードの割り振り時のフローを示すフ
ローチャートである。

【図８】プローブカードの割り振り時のフローを示すフ
ローチャートである。

【図９】プローブカードの割り振り時のフローを示すフ
ローチャートである。

【図１０】プローブカードの割り振り時のフローを示す
フローチャートである。

【図１１】プローブカード割り振り時の表示部の表示状
態を示す図である。

【図１２】プローブカード割り振り時の演算過程の一部
を模式的に示す図である。

【図１３】カード割り振りが完了した時の表示部の表示
状態の一例を示す図である。

【図１４】表示部の初期画面を示す図である。

【図１５】一般的なプローブ装置を示す概略構成図であ
る。

【図１６】半導体ウエハ上に形成されたチップの状態を
示す平面図である。

【図１７】プローブカードの一例を示す平面図である。

【図１８】チップの形状の一例を示す平面図である。

【図１９】マルチ数２のプローブカードの測定可能なチ
ップ配列を示す図である。

【図２０】マルチ数４のプローブカードの測定可能なチ
ップ配列を示す図である。

【図２１】マルチ数８のプローブカードの測定可能なチ
ップ配列を示す図である。

【符号の説明】 ２ プローブ装置 ４ プローブ本体 ６ ウエハ載置台 ８ プローブ針 １０ プローブカード １２ テストヘッド １４ コンピュータ １６ ディスプレイ １８ マイクロスコープ ２２ 割り振り装置 ２４ 表示手段 ２６ 記憶装置 ２８ 制御装置 ３０ キーボード ３２ マウス ３４ 入力手段 ３８ 表示部 ４０ 表示制御部 ４２ 座標演算手段 ４４ チップ座標記憶部 ４６ ファイル記憶部 ４８ カード割り振りモード記憶部 ５０ メニュー記憶部 ５２ カード割り振り手段 ５４ 自動割り振り部 ５６ 最適割り振り部 ５８ 任意割り振り部 ７４ マウスポインタ Ｃ チップ ＧＷ 半導体ウエハ像 ＧＣ チップ像 Ｗ 半導体ウエハ

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体ウエハ上に形成された多数のチッ
   プの電気的特性を、同時に複数個のチップと接触可能な
   分のプローブ針を有するプローブカードを用いて検査す
   る時のプローブカードの割り振りを行うプローブカード
   の割り振り装置において、入力手段と、ウエハ情報とチ
   ップ情報とに基づいてイメージ上のウエハにイメージ上
   のチップを配列して各チップに座標を付ける座標演算手
   段と、この座標演算手段で求めた座標とチップを関連さ
   せて記憶するチップ座標記憶部と、複数のカード割り振
   りモードを予め記憶した割り振りモード記憶部と、前記
   チップ座標記憶部の情報と前記割り振りモード記憶部の
   情報とプローブカードの情報と前記入力手段からの指令
   に基づいてカード割り振り位置を設定するカード割り振
   り手段と、このカード割り振り手段で設定されたカード
   割り振り位置を前記チップと関連させて記憶するカード
   割り振り位置記憶部と、前記チップ座標記憶部の情報に
   基づいてイメージ上のウエハにイメージ上の各チップを
   レイアウト表示すると共に前記カード割り振り位置記憶
   部の情報に基づいてカード割り振り位置情報を表示する
   表示手段とを備えたことを特徴とするプローブカードの
   割り振り装置。
2. 【請求項２】 複数のメニューを記憶するメニュー記憶
   部を有することを特徴とする請求項１記載のプローブカ
   ードの割り振り装置。