JP2952186B2 - ダイヤフラム弁 - Google Patents
ダイヤフラム弁Info
- Publication number
- JP2952186B2 JP2952186B2 JP26797895A JP26797895A JP2952186B2 JP 2952186 B2 JP2952186 B2 JP 2952186B2 JP 26797895 A JP26797895 A JP 26797895A JP 26797895 A JP26797895 A JP 26797895A JP 2952186 B2 JP2952186 B2 JP 2952186B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- thin film
- valve
- annular thin
- film portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Fluid-Driven Valves (AREA)
- Diaphragms And Bellows (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置に
おいて、純水、薬液等の供給系に使用されるダイヤフラ
ム弁に関する。
おいて、純水、薬液等の供給系に使用されるダイヤフラ
ム弁に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、上記用途のダイヤフラム弁の一例
について説明すると、図3に示すように、弁箱1の底部
における一側に液体流入通路3、他側に液体流出通路2
がそれぞれ設けられている。液体流入通路3の出口側は
弁箱1内の中心に垂直に開口され、その開口周縁に突出
部4が形成され、その突出部4の先端が小さな断面円弧
状の弁座5となっている。ダイヤフラム6はPTFE製
で、中央に弁座5に圧着する弁体6aを有し、その弁体
6aの周囲に一体に形成した環状薄膜部6bを有し、そ
の環状薄膜部6bの周囲に一体に形成した筒状保持部6
cを有する(図4参照)。ダイヤフラム6の筒状保持部
は弁箱1とこの弁箱内の上部に嵌着されたダイヤフラム
押さえ7とで挟持されている。ダイヤフラム押え7は弁
駆動部のシリンダー8のケースにより押えられている。
ダイヤフラム6の中央の弁体6aはピストン9の下側に
突設されたロッド10に結合され、シリンダー8の下室
にはスプリング11が装入されてピストン9が上方に付
製されるようになっている。14はシリンダー8の上室
へのエアー導入口、15はシリンダー8の下室と外部と
のエアー連通口である。
について説明すると、図3に示すように、弁箱1の底部
における一側に液体流入通路3、他側に液体流出通路2
がそれぞれ設けられている。液体流入通路3の出口側は
弁箱1内の中心に垂直に開口され、その開口周縁に突出
部4が形成され、その突出部4の先端が小さな断面円弧
状の弁座5となっている。ダイヤフラム6はPTFE製
で、中央に弁座5に圧着する弁体6aを有し、その弁体
6aの周囲に一体に形成した環状薄膜部6bを有し、そ
の環状薄膜部6bの周囲に一体に形成した筒状保持部6
cを有する(図4参照)。ダイヤフラム6の筒状保持部
は弁箱1とこの弁箱内の上部に嵌着されたダイヤフラム
押さえ7とで挟持されている。ダイヤフラム押え7は弁
駆動部のシリンダー8のケースにより押えられている。
ダイヤフラム6の中央の弁体6aはピストン9の下側に
突設されたロッド10に結合され、シリンダー8の下室
にはスプリング11が装入されてピストン9が上方に付
製されるようになっている。14はシリンダー8の上室
へのエアー導入口、15はシリンダー8の下室と外部と
のエアー連通口である。
【0003】このように構成されたダイヤフラム弁は、
シリンダー8の上室へエアーを導入すると、スプリング
11に抗してピストン9およびロッド10が下降し、ロ
ッド10に結合されたダイヤフラム6の中央の弁体6a
が弁座5に圧着されて閉弁され、流体流入通路3と流体
流出通路2とが遮断される。これとは逆に、シリンダー
8の上室からエアーを抜くと、スプリング11の復元力
によりピストン9およびロッド10が付勢されて上昇
し、ロッド10に結合されたダイヤフラム6の中央の弁
体6aが弁座5から離隔して開弁され、流体流入通路3
と流体流出通路2とが連通される。
シリンダー8の上室へエアーを導入すると、スプリング
11に抗してピストン9およびロッド10が下降し、ロ
ッド10に結合されたダイヤフラム6の中央の弁体6a
が弁座5に圧着されて閉弁され、流体流入通路3と流体
流出通路2とが遮断される。これとは逆に、シリンダー
8の上室からエアーを抜くと、スプリング11の復元力
によりピストン9およびロッド10が付勢されて上昇
し、ロッド10に結合されたダイヤフラム6の中央の弁
体6aが弁座5から離隔して開弁され、流体流入通路3
と流体流出通路2とが連通される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
ダイヤフラム弁は、ダイヤフラム6に耐薬品性を考慮し
てPTFE製のものが使用されている。そして、ダイヤ
フラム6の環状薄膜部6bがダイヤフラム6の半径方向
に沿う断面においてやや湾曲している程度であるため、
閉弁、開弁時における弁体6aの上下動により環状薄膜
部6bにおける弁体6aおよび筒状保持部6cとの付根
部に曲げ応力が集中し、特に、弁体6aの上死点では環
状薄膜部6bの内周の付根部が引張られるようになり、
初期状態から白化し易く、耐久性が低下するという問題
があった。試験の結果からも弁開閉を数10回行うこと
により、環状薄膜部6bの内周の付根部が白化すること
を確認することができた。
ダイヤフラム弁は、ダイヤフラム6に耐薬品性を考慮し
てPTFE製のものが使用されている。そして、ダイヤ
フラム6の環状薄膜部6bがダイヤフラム6の半径方向
に沿う断面においてやや湾曲している程度であるため、
閉弁、開弁時における弁体6aの上下動により環状薄膜
部6bにおける弁体6aおよび筒状保持部6cとの付根
部に曲げ応力が集中し、特に、弁体6aの上死点では環
状薄膜部6bの内周の付根部が引張られるようになり、
初期状態から白化し易く、耐久性が低下するという問題
があった。試験の結果からも弁開閉を数10回行うこと
により、環状薄膜部6bの内周の付根部が白化すること
を確認することができた。
【0005】そこで本発明の目的は、上記ダイヤフラム
の環状薄膜部の内周の付根部は勿論のこと、外周の付根
部にも曲げ応力が集中しないように、また弁体の上死点
でも内周の付根部が引張られないようにして、耐久性を
向上させることができ、また、径が小さい割にストロー
クを大きくとることができて弁の小型化を図ることがで
きるようにしたダイヤフラム弁を提供しようとするもの
である。
の環状薄膜部の内周の付根部は勿論のこと、外周の付根
部にも曲げ応力が集中しないように、また弁体の上死点
でも内周の付根部が引張られないようにして、耐久性を
向上させることができ、また、径が小さい割にストロー
クを大きくとることができて弁の小型化を図ることがで
きるようにしたダイヤフラム弁を提供しようとするもの
である。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明のダイヤフラム弁は、弁箱の弁座面に対してP
TFE製のダイヤフラムを当接させ、若しくは離隔させ
ることにより閉弁、若しくは開弁するようにしたダイヤ
フラム弁において、前記ダイヤフラムが、中央の弁体
と、その弁体の周囲に一体に形成した環状薄膜部と、そ
の環状薄膜部の周囲に一体に形成した筒状保持部とより
なり、前記ダイヤフラムの環状薄膜部がダイヤフラムの
半径方向に沿う断面において円弧状に曲成され、前記環
状薄膜部の内周側および外周側における前記弁体および
前記筒状保持部とのそれぞれの付根部にあって、前記弁
体側では前記環状薄膜部の円弧状突出面側よりも円弧状
凹入面側が大径となり、前記筒状保持部側では前記環状
薄膜部の円弧状突出面側よりも円弧状凹入面側が小径と
なる段差を有するように形成されるとともに、前記環状
薄膜部の円弧状突出面側の内周側および外周側と前記弁
体および前記筒状保持部との付根部がそれぞれ前記ダイ
ヤフラムの半径方向に沿う断面において円弧状に凹入す
るように形成され、閉弁と開弁との間で前記ダイヤフラ
ムにおける環状薄膜部の内周側および外周側における付
根部が前記環状薄膜部における円弧状の頂点より低い位
置となるように構成されていることを特徴とするもので
ある。
の本発明のダイヤフラム弁は、弁箱の弁座面に対してP
TFE製のダイヤフラムを当接させ、若しくは離隔させ
ることにより閉弁、若しくは開弁するようにしたダイヤ
フラム弁において、前記ダイヤフラムが、中央の弁体
と、その弁体の周囲に一体に形成した環状薄膜部と、そ
の環状薄膜部の周囲に一体に形成した筒状保持部とより
なり、前記ダイヤフラムの環状薄膜部がダイヤフラムの
半径方向に沿う断面において円弧状に曲成され、前記環
状薄膜部の内周側および外周側における前記弁体および
前記筒状保持部とのそれぞれの付根部にあって、前記弁
体側では前記環状薄膜部の円弧状突出面側よりも円弧状
凹入面側が大径となり、前記筒状保持部側では前記環状
薄膜部の円弧状突出面側よりも円弧状凹入面側が小径と
なる段差を有するように形成されるとともに、前記環状
薄膜部の円弧状突出面側の内周側および外周側と前記弁
体および前記筒状保持部との付根部がそれぞれ前記ダイ
ヤフラムの半径方向に沿う断面において円弧状に凹入す
るように形成され、閉弁と開弁との間で前記ダイヤフラ
ムにおける環状薄膜部の内周側および外周側における付
根部が前記環状薄膜部における円弧状の頂点より低い位
置となるように構成されていることを特徴とするもので
ある。
【0007】上記のように構成されたダイヤフラム弁
は、ダイヤフラムの中央の弁体と外周側の筒状保持部と
の間の環状薄膜部が、円弧状に曲成されてたるみを持っ
ており、しかも環状薄膜部の内周側および外周側におけ
る付根部が段差部を有し、円弧状突出面側に円弧状凹入
部を有するとともに、前記環状薄膜部における円弧状の
頂点より低い位置となるように構成しているので、弁開
閉時、弁体の上下動により環状薄膜部が弾性変形しても
応力を分散することができて環状薄膜部の内外周の付根
部に局部応力がかからないようにすることができ、ま
た、前記のように環状薄膜部を円弧状に形成してたるみ
を持たせ、弁体の上下動のストロークを吸収することが
できるようにしているため、径が小さい割に弁体のスト
ロークを大きくとることができる。
は、ダイヤフラムの中央の弁体と外周側の筒状保持部と
の間の環状薄膜部が、円弧状に曲成されてたるみを持っ
ており、しかも環状薄膜部の内周側および外周側におけ
る付根部が段差部を有し、円弧状突出面側に円弧状凹入
部を有するとともに、前記環状薄膜部における円弧状の
頂点より低い位置となるように構成しているので、弁開
閉時、弁体の上下動により環状薄膜部が弾性変形しても
応力を分散することができて環状薄膜部の内外周の付根
部に局部応力がかからないようにすることができ、ま
た、前記のように環状薄膜部を円弧状に形成してたるみ
を持たせ、弁体の上下動のストロークを吸収することが
できるようにしているため、径が小さい割に弁体のスト
ロークを大きくとることができる。
【0008】
【実施例】本発明のダイヤフラム弁の一実施例を図1に
よって説明する。図中、図3と同一部品には同一符号を
付してある。本発明のダイヤフラム弁が従来のダイヤフ
ラム弁と異なる点は、ピストン9における上側のロッド
12がシリンダー8のキャップ13の内面側中央部に形
成された筒状ガイド13aに嵌入されていることと、弁
の開閉に直接携わるダイヤフラム6′の形状の相違にあ
る。ダイヤフラム6′は、PTFE製で、中央の弁体
6′aと、その弁体6′aの周囲に一体に形成した環状
薄膜部6′bと、その環状薄膜部6′bの周囲に一体に
形成した筒状保持部6′cとよりなる。前記環状薄膜部
6′bは図2からも明らかなように、ダイヤフラム6の
半径方向に沿う断面において上向きに円弧状に曲成さ
れ、且つ内外周の付根部6′d、6′eの上下に段差が
形成されて、付根部6′dにおける円弧状突出面側であ
る上縁が結合されている弁体6′aの上部外径よりも付
根部6′dにおける円弧状凹入面側である下縁が結合さ
れている弁体6′aの下部外径の方が大径となるように
形成され、付根部6′eにおける円弧状突出面側である
上縁が結合されている筒状保持部6′cの上部内径より
も付根部6′eにおける円弧状凹入面側である下縁が結
合されている筒状保持部6′cの下部内径の方が小径と
なるように形成されている。また、付根部6′d、6′
eにおける円弧状突出面側である上縁が円弧状に凹入さ
れるように形成されている。更に、付根部6′d、6′
eが閉弁と開弁との間で環状薄膜部6′bの円弧状の頂
点より低い位置となるように(下方に位置するように)
設定されている。
よって説明する。図中、図3と同一部品には同一符号を
付してある。本発明のダイヤフラム弁が従来のダイヤフ
ラム弁と異なる点は、ピストン9における上側のロッド
12がシリンダー8のキャップ13の内面側中央部に形
成された筒状ガイド13aに嵌入されていることと、弁
の開閉に直接携わるダイヤフラム6′の形状の相違にあ
る。ダイヤフラム6′は、PTFE製で、中央の弁体
6′aと、その弁体6′aの周囲に一体に形成した環状
薄膜部6′bと、その環状薄膜部6′bの周囲に一体に
形成した筒状保持部6′cとよりなる。前記環状薄膜部
6′bは図2からも明らかなように、ダイヤフラム6の
半径方向に沿う断面において上向きに円弧状に曲成さ
れ、且つ内外周の付根部6′d、6′eの上下に段差が
形成されて、付根部6′dにおける円弧状突出面側であ
る上縁が結合されている弁体6′aの上部外径よりも付
根部6′dにおける円弧状凹入面側である下縁が結合さ
れている弁体6′aの下部外径の方が大径となるように
形成され、付根部6′eにおける円弧状突出面側である
上縁が結合されている筒状保持部6′cの上部内径より
も付根部6′eにおける円弧状凹入面側である下縁が結
合されている筒状保持部6′cの下部内径の方が小径と
なるように形成されている。また、付根部6′d、6′
eにおける円弧状突出面側である上縁が円弧状に凹入さ
れるように形成されている。更に、付根部6′d、6′
eが閉弁と開弁との間で環状薄膜部6′bの円弧状の頂
点より低い位置となるように(下方に位置するように)
設定されている。
【0009】かかる構造のダイヤフラム6′を備えた実
施例のダイヤフラム弁は、従来例のダイヤフラム弁と同
様、シリンダー8の上室へエアーを導入すると、スプリ
ング11に抗してピストン9およびロッド10が下降
し、ロッド10に結合されたダイヤフラム6の中央の弁
体6′aが弁座5に圧着されて閉弁され、流体流入通路
3と流体流出通路2とが遮断される。これとは逆に、シ
リンダー8の上室からエアーを抜くと、スプリング11
の復元力によりピストン9およびロッド10が付勢され
て上昇し、ロッド10に結合されたダイヤフラム6′の
中央の弁体6′aが弁座5から離隔して開弁され、流体
流入通路3と流体流出通路2とが連通される。
施例のダイヤフラム弁は、従来例のダイヤフラム弁と同
様、シリンダー8の上室へエアーを導入すると、スプリ
ング11に抗してピストン9およびロッド10が下降
し、ロッド10に結合されたダイヤフラム6の中央の弁
体6′aが弁座5に圧着されて閉弁され、流体流入通路
3と流体流出通路2とが遮断される。これとは逆に、シ
リンダー8の上室からエアーを抜くと、スプリング11
の復元力によりピストン9およびロッド10が付勢され
て上昇し、ロッド10に結合されたダイヤフラム6′の
中央の弁体6′aが弁座5から離隔して開弁され、流体
流入通路3と流体流出通路2とが連通される。
【0010】このような弁の開閉動作を行う実施例のダ
イヤフラム弁は、ダイヤフラム6′の中央の弁体6′a
と最外周側の筒状保持部6′cとの間の環状薄膜部6′
bが、上向き円弧状に曲成されてたるみを持っており、
しかも、環状薄膜部6′bの内周側および外周側におけ
る付根部6′d、6′eが段差部を有し、突出面側に円
弧状凹入部を有するとともに、環状薄膜部6′bにおけ
る円弧状の頂点より低い位置となるように構成している
ので、弁開閉時、弁体6′aの上下動により環状薄膜部
6′bが弾性変形しても環状薄膜部6′bの内外周の付
根部6′d、6′eが引張られることがなく、応力を環
状薄膜部6′bの全体に分散することができて、付根部
6′d、6′eに局部応力がかからなようにすることが
できる。開弁、閉弁の繰り返し試験においても、付根部
6′d、6′eには全く白化現象が生ぜず、200万サ
イクル、圧力をかけて作動させても初期の状態を保って
おり、何ら疲労の痕跡も発生しなかった。また、ダイヤ
フラム6における環状薄膜部6′bのたるみにより弁体
6′aの上下動のストロークを吸収することができるの
で、径が小さい割にストロークを大きくとることができ
る。
イヤフラム弁は、ダイヤフラム6′の中央の弁体6′a
と最外周側の筒状保持部6′cとの間の環状薄膜部6′
bが、上向き円弧状に曲成されてたるみを持っており、
しかも、環状薄膜部6′bの内周側および外周側におけ
る付根部6′d、6′eが段差部を有し、突出面側に円
弧状凹入部を有するとともに、環状薄膜部6′bにおけ
る円弧状の頂点より低い位置となるように構成している
ので、弁開閉時、弁体6′aの上下動により環状薄膜部
6′bが弾性変形しても環状薄膜部6′bの内外周の付
根部6′d、6′eが引張られることがなく、応力を環
状薄膜部6′bの全体に分散することができて、付根部
6′d、6′eに局部応力がかからなようにすることが
できる。開弁、閉弁の繰り返し試験においても、付根部
6′d、6′eには全く白化現象が生ぜず、200万サ
イクル、圧力をかけて作動させても初期の状態を保って
おり、何ら疲労の痕跡も発生しなかった。また、ダイヤ
フラム6における環状薄膜部6′bのたるみにより弁体
6′aの上下動のストロークを吸収することができるの
で、径が小さい割にストロークを大きくとることができ
る。
【0011】上記実施例のダイヤフラム弁に於けるダイ
ヤフラム6′は、環状薄膜部6′bが上向き円弧状に曲
成されているが、下向き円弧状に曲成されていてもよい
もので、この場合、環状薄膜部6′bの内、外周の付根
部における弁体と筒状保持部の段差部の形状は前記実施
例の場合とは上下逆になる。また、上記実施例のダイヤ
フラム弁は、ノーマル・オープン(N・O)タイプのダ
イヤフラム弁であるが、ノーマル・クローズ(N・C)
タイプのダイヤフラム弁の場合は、スプリング11がシ
リンダー8の上室に装入され、シリンダー8の上室と外
部とを連通するエアー連通口15がシリンダー8のケー
ス9の上部に設けられ、シリンダー8の下室のエアー導
入口14がシリンダー8のケース9の下部に設けられ
る。
ヤフラム6′は、環状薄膜部6′bが上向き円弧状に曲
成されているが、下向き円弧状に曲成されていてもよい
もので、この場合、環状薄膜部6′bの内、外周の付根
部における弁体と筒状保持部の段差部の形状は前記実施
例の場合とは上下逆になる。また、上記実施例のダイヤ
フラム弁は、ノーマル・オープン(N・O)タイプのダ
イヤフラム弁であるが、ノーマル・クローズ(N・C)
タイプのダイヤフラム弁の場合は、スプリング11がシ
リンダー8の上室に装入され、シリンダー8の上室と外
部とを連通するエアー連通口15がシリンダー8のケー
ス9の上部に設けられ、シリンダー8の下室のエアー導
入口14がシリンダー8のケース9の下部に設けられ
る。
【0012】
【発明の効果】以上の説明で判るように本発明のダイヤ
フラム弁は、弁開閉時、ダイヤフラムの中央の弁体の上
下動により環状薄膜部が弾性変形した際に環状薄膜部の
内外周の付根部が引張られることがなく、応力を環状薄
膜部全体に分散でき、環状薄膜部の内外周の付根部に白
化現象は全く生ぜず、疲労しないので、耐久性が極めて
高いものとなる。また、環状薄膜部のたるみを利用して
弁体の上下のストロークを吸収することができるので、
径が小さい割にストロークを大きくとることができ、弁
の小型化を図ることができる。
フラム弁は、弁開閉時、ダイヤフラムの中央の弁体の上
下動により環状薄膜部が弾性変形した際に環状薄膜部の
内外周の付根部が引張られることがなく、応力を環状薄
膜部全体に分散でき、環状薄膜部の内外周の付根部に白
化現象は全く生ぜず、疲労しないので、耐久性が極めて
高いものとなる。また、環状薄膜部のたるみを利用して
弁体の上下のストロークを吸収することができるので、
径が小さい割にストロークを大きくとることができ、弁
の小型化を図ることができる。
【図1】本発明のダイヤフラム弁の一実施例を示す縦断
面図である。
面図である。
【図2】図1のダイヤフラム弁に於けるダイヤフラムを
示す拡大縦断面図である。
示す拡大縦断面図である。
【図3】従来のダイヤフラム弁を示す縦断面図である。
【図4】図3のダイヤフラム弁におけるダイヤフラムを
示す拡大縦断面図である。
示す拡大縦断面図である。
1 弁箱 5 弁座 6′ ダイヤフラム 6′a 弁体 6′b 環状薄膜部 6′c 環状保持部 6′d、6′e 付根部
Claims (1)
- 【請求項1】 弁箱の弁座面に対してPTFE製のダイ
ヤフラムを当接させ、若しくは離隔させることにより閉
弁、若しくは開弁するようにしたダイヤフラム弁におい
て、前記ダイヤフラムが、中央の弁体と、その弁体の周
囲に一体に形成した環状薄膜部と、その環状薄膜部の周
囲に一体に形成した筒状保持部とよりなり、前記ダイヤ
フラムの環状薄膜部がダイヤフラムの半径方向に沿う断
面において円弧状に曲成され、前記環状薄膜部の内周側
および外周側における前記弁体および前記筒状保持部と
のそれぞれの付根部にあって、前記弁体側では前記環状
薄膜部の円弧状突出面側よりも円弧状凹入面側が大径と
なり、前記筒状保持部側では前記環状薄膜部の円弧状突
出面側よりも円弧状凹入面側が小径となる段差を有する
ように形成されるとともに、前記環状薄膜部の円弧状突
出面側の内周側および外周側と前記弁体および前記筒状
保持部との付根部がそれぞれ前記ダイヤフラムの半径方
向に沿う断面において円弧状に凹入するように形成さ
れ、閉弁と開弁との間で前記ダイヤフラムにおける環状
薄膜部の内周側および外周側における付根部が前記環状
薄膜部における円弧状の頂点より低い位置となるように
構成されていることを特徴とするダイヤフラム弁。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26797895A JP2952186B2 (ja) | 1995-09-22 | 1995-09-22 | ダイヤフラム弁 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26797895A JP2952186B2 (ja) | 1995-09-22 | 1995-09-22 | ダイヤフラム弁 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0989131A JPH0989131A (ja) | 1997-03-31 |
JP2952186B2 true JP2952186B2 (ja) | 1999-09-20 |
Family
ID=17452222
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26797895A Expired - Lifetime JP2952186B2 (ja) | 1995-09-22 | 1995-09-22 | ダイヤフラム弁 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2952186B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6000416A (en) * | 1997-06-04 | 1999-12-14 | Furon Company | Compact valve with rolling diaphragm poppet |
JP4731027B2 (ja) * | 2001-03-15 | 2011-07-20 | 旭有機材工業株式会社 | 調節弁 |
KR20030063975A (ko) * | 2002-01-25 | 2003-07-31 | 민흥기 | 공압용 밸브의 다이아프램 |
JP4699246B2 (ja) * | 2006-03-09 | 2011-06-08 | 株式会社コガネイ | ダイヤフラム弁 |
-
1995
- 1995-09-22 JP JP26797895A patent/JP2952186B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0989131A (ja) | 1997-03-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2739063B2 (ja) | バルブ | |
JP4700234B2 (ja) | ダイヤフラム弁 | |
JP2006090386A (ja) | ダイヤフラムバルブ | |
US7175157B2 (en) | Fluid controller | |
JP2006161594A (ja) | バルブ装置 | |
JP2002147623A (ja) | メタルダイヤフラム弁 | |
JP2952186B2 (ja) | ダイヤフラム弁 | |
TWI698729B (zh) | 閥裝置、流體控制裝置、流體控制方法、半導體製造裝置及半導體製造方法 | |
JP2004092824A (ja) | 流体制御器 | |
JPH1137329A (ja) | 樹脂製ダイヤフラム弁 | |
JPH0875017A (ja) | ダイヤフラム弁 | |
US4898204A (en) | Low pressure gas regulator | |
JP3947392B2 (ja) | リリーフバルブ | |
JPH10153268A (ja) | ダイヤフラム式流量調整弁 | |
JP5248660B2 (ja) | ダイアフラム弁 | |
JPH0712250A (ja) | チェック弁 | |
JP4813047B2 (ja) | ダイアフラム弁 | |
JP2005004553A (ja) | 減圧弁 | |
JPH0942489A (ja) | 逆止め弁付ボールバルブ | |
JP2565484B2 (ja) | バルブハンドル用キャップ | |
JP2004156693A (ja) | ダイアフラム | |
JP2573775B2 (ja) | 金属ダイヤフラム弁 | |
JPH08312804A (ja) | 二重偏心弁 | |
JP7401896B2 (ja) | バルブ | |
JP2609400B2 (ja) | ダイヤフラム弁のダイヤフラム |