JP2948488B2 - 半田付外観検査装置 - Google Patents
半田付外観検査装置Info
- Publication number
- JP2948488B2 JP2948488B2 JP26297794A JP26297794A JP2948488B2 JP 2948488 B2 JP2948488 B2 JP 2948488B2 JP 26297794 A JP26297794 A JP 26297794A JP 26297794 A JP26297794 A JP 26297794A JP 2948488 B2 JP2948488 B2 JP 2948488B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- camera
- light
- soldering
- illumination
- inspection target
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、基板上に実装された電
子部品またはディスクリート部品等の半田付状態を検査
する半田付外観検査装置に関するものである。
子部品またはディスクリート部品等の半田付状態を検査
する半田付外観検査装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の検査装置としては、電子
部品の半田付部等の検査対象箇所に対して適当な位置に
配置した照明装置から光を照射し、検査対象箇所におけ
る反射光を、例えば、基板に対して軸線を垂直に配した
CCD(電荷結合素子)カメラ等のカメラにより撮影す
る方法のものがある。撮影された反射光は、検査対象箇
所の照度分布として把握されることにより半田付部の外
観形状を認識することが可能となる。そして、そのよう
にして把握された照度分布を、例えば、良品の照度分布
と比較することによって、半田付部の良否判定を実施す
ることができるようになっている。
部品の半田付部等の検査対象箇所に対して適当な位置に
配置した照明装置から光を照射し、検査対象箇所におけ
る反射光を、例えば、基板に対して軸線を垂直に配した
CCD(電荷結合素子)カメラ等のカメラにより撮影す
る方法のものがある。撮影された反射光は、検査対象箇
所の照度分布として把握されることにより半田付部の外
観形状を認識することが可能となる。そして、そのよう
にして把握された照度分布を、例えば、良品の照度分布
と比較することによって、半田付部の良否判定を実施す
ることができるようになっている。
【0003】また、上記照明装置としては、例えば、特
開平1−282410号公報に示されるように、赤色
光、緑色光、青色光をそれぞれ発する径寸法の異なるリ
ング状の3個の発光体よりなるものがある。これらの発
光体は、CCDカメラに対して、軸線を一致させかつそ
の軸線方向に間隔を空けた状態で固定されている。
開平1−282410号公報に示されるように、赤色
光、緑色光、青色光をそれぞれ発する径寸法の異なるリ
ング状の3個の発光体よりなるものがある。これらの発
光体は、CCDカメラに対して、軸線を一致させかつそ
の軸線方向に間隔を空けた状態で固定されている。
【0004】この照明装置によれば、各発光体からの光
は、検査対象箇所に対して異なる角度で入射させられる
ことになるので、半田付部のような曲面形状の検査対象
箇所に照射された場合には、該検査対象箇所の異なる領
域からの反射光としてCCDカメラに撮影されることに
なる。
は、検査対象箇所に対して異なる角度で入射させられる
ことになるので、半田付部のような曲面形状の検査対象
箇所に照射された場合には、該検査対象箇所の異なる領
域からの反射光としてCCDカメラに撮影されることに
なる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な検査装置においては、検査対象範囲の広狭、検査対象
たる半田付部の種類の相違に応じて、カメラの倍率を変
化させて検査を実施することが必要となる。カメラの倍
率を変化させる方法としては、ズームレンズを使用する
方法と、倍率の異なる複数のカメラを用意する方法とが
ある。しかし、ズームレンズを使用した場合には、通
常、光量調整を行なうことが困難となり、カメラによっ
て採取される画像にムラが生じ、不鮮明な画像になりや
すいという不都合があった。
な検査装置においては、検査対象範囲の広狭、検査対象
たる半田付部の種類の相違に応じて、カメラの倍率を変
化させて検査を実施することが必要となる。カメラの倍
率を変化させる方法としては、ズームレンズを使用する
方法と、倍率の異なる複数のカメラを用意する方法とが
ある。しかし、ズームレンズを使用した場合には、通
常、光量調整を行なうことが困難となり、カメラによっ
て採取される画像にムラが生じ、不鮮明な画像になりや
すいという不都合があった。
【0006】また、複数のカメラを用意する場合には、
上記不都合は回避されることになるが、カメラごとに上
記照明装置を配置することが必要となって、検査装置が
大型化してしまうとともに製品コストが増大するという
不都合が考えられる。特に、固定された基板に対してカ
メラを移動して複数の半田付部を検査する方式の検査装
置であると、カメラ、照明装置の増加に伴って、可動部
の重量が増大し、制御性、位置決め時間および位置決め
精度が低下してしまうことになる。
上記不都合は回避されることになるが、カメラごとに上
記照明装置を配置することが必要となって、検査装置が
大型化してしまうとともに製品コストが増大するという
不都合が考えられる。特に、固定された基板に対してカ
メラを移動して複数の半田付部を検査する方式の検査装
置であると、カメラ、照明装置の増加に伴って、可動部
の重量が増大し、制御性、位置決め時間および位置決め
精度が低下してしまうことになる。
【0007】さらに、IC部品のリード、特に、IC部
品本体の下側にJ字状に湾曲するリード(いわゆるJリ
ード)においては、基板の法線方向に沿って軸線を配さ
れるCCDカメラによって、半田付部の外観形状を認識
し得るような反射光を採取することは困難である。つま
り、図9に示すように、Jリード1の直線部1aの延長
線上に配したCCDカメラによってJリード1の外側の
半田付部2を撮影する場合においては、照明装置からの
光L1の半田付部2における反射光L2が、Jリード1の
直線部1a自体によって阻まれることになる。
品本体の下側にJ字状に湾曲するリード(いわゆるJリ
ード)においては、基板の法線方向に沿って軸線を配さ
れるCCDカメラによって、半田付部の外観形状を認識
し得るような反射光を採取することは困難である。つま
り、図9に示すように、Jリード1の直線部1aの延長
線上に配したCCDカメラによってJリード1の外側の
半田付部2を撮影する場合においては、照明装置からの
光L1の半田付部2における反射光L2が、Jリード1の
直線部1a自体によって阻まれることになる。
【0008】このような不都合を回避するためには、C
CDカメラを基板3の法線に対して傾斜させることによ
り、Jリード1の直線部1aとCCDカメラへの光軸と
の干渉を避けるように配置することが考えられる。しか
し、IC部品4においては、Jリード1が2方向あるい
は4方向に配されることが多く、このような場合には、
各Jリード1の半田付部2を有効に検査し得る方向にC
CDカメラを逐次設定し直さなければならず、不便であ
った。
CDカメラを基板3の法線に対して傾斜させることによ
り、Jリード1の直線部1aとCCDカメラへの光軸と
の干渉を避けるように配置することが考えられる。しか
し、IC部品4においては、Jリード1が2方向あるい
は4方向に配されることが多く、このような場合には、
各Jリード1の半田付部2を有効に検査し得る方向にC
CDカメラを逐次設定し直さなければならず、不便であ
った。
【0009】また、上記のJリード1の半田付部2を検
査する場合に、仮にCCDカメラの撮影方向がJリード
1の方向に応じて所望の位置に設定された場合であって
も、半田付部2に光L1を照射する照明装置が全てのJ
リード1に対して単一のものであると、十分な光量の光
L1を各Jリード1に照射することが困難になる。その
結果、CCDカメラによって採取される画像が不鮮明と
なってしまうことになる。さらに、各Jリード1ごとに
使用されない光源が存在することになって、照明装置が
大型化してしまう不都合が考えられる。
査する場合に、仮にCCDカメラの撮影方向がJリード
1の方向に応じて所望の位置に設定された場合であって
も、半田付部2に光L1を照射する照明装置が全てのJ
リード1に対して単一のものであると、十分な光量の光
L1を各Jリード1に照射することが困難になる。その
結果、CCDカメラによって採取される画像が不鮮明と
なってしまうことになる。さらに、各Jリード1ごとに
使用されない光源が存在することになって、照明装置が
大型化してしまう不都合が考えられる。
【0010】ここで、上記照明装置の光源としては、蛍
光灯および発光ダイオード(以下、LEDと略す。)が
考えられているが、蛍光灯が採用される場合には、外径
寸法が大きくなるとともに、寿命が短いために頻繁な保
守作業が必要となるという不都合がある。このため、そ
のような不都合のないLEDを光源として使用すること
が望ましい。
光灯および発光ダイオード(以下、LEDと略す。)が
考えられているが、蛍光灯が採用される場合には、外径
寸法が大きくなるとともに、寿命が短いために頻繁な保
守作業が必要となるという不都合がある。このため、そ
のような不都合のないLEDを光源として使用すること
が望ましい。
【0011】しかし、LED単体では、最大輝度に限界
があり、設置スペースを広く確保する必要がある。この
ため、全てのJリードに照明を提供し得るような単一の
照明装置を構成すべくLEDを配列すると、結局のとこ
ろ、照明装置が大型化してしまうという不都合がある。
そのうえ、検査対象箇所からの光源の距離が増大して検
査対象箇所における光量が低下してしまうことにもな
る。
があり、設置スペースを広く確保する必要がある。この
ため、全てのJリードに照明を提供し得るような単一の
照明装置を構成すべくLEDを配列すると、結局のとこ
ろ、照明装置が大型化してしまうという不都合がある。
そのうえ、検査対象箇所からの光源の距離が増大して検
査対象箇所における光量が低下してしまうことにもな
る。
【0012】本発明は、上述した事情に鑑みてなされた
ものであって、照明装置の小型軽量化を図り、かつ、検
査対象箇所に応じた最適な方向および光量を有する光源
を簡易な構成によって実現するとともに、Jリードの半
田付部のような検査対象箇所の良否判定をも確実に実施
し得る半田付外観検査装置を提供することを目的として
いる。
ものであって、照明装置の小型軽量化を図り、かつ、検
査対象箇所に応じた最適な方向および光量を有する光源
を簡易な構成によって実現するとともに、Jリードの半
田付部のような検査対象箇所の良否判定をも確実に実施
し得る半田付外観検査装置を提供することを目的として
いる。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、基板上に実装された電子部品等の半田付
状態を検査する装置であって、検査対象箇所の画像を採
取する撮像装置と、採取された画像に基づいて半田付状
態の良否を判定する判定装置とからなるとともに、前記
撮像装置が、検査対象箇所に向けて光を照射する照明手
段と、該照明手段からの光の検査対象箇所における反射
光を撮影するカメラを有する撮像手段と、これらの手段
に前記カメラの軸線に交差する方向の相対移動を生じさ
せる移動手段とを具備し、前記照明手段が、撮像手段に
対する相対移動方向に、複数種の光源を具備する半田付
外観検査装置を提案している。
に、本発明は、基板上に実装された電子部品等の半田付
状態を検査する装置であって、検査対象箇所の画像を採
取する撮像装置と、採取された画像に基づいて半田付状
態の良否を判定する判定装置とからなるとともに、前記
撮像装置が、検査対象箇所に向けて光を照射する照明手
段と、該照明手段からの光の検査対象箇所における反射
光を撮影するカメラを有する撮像手段と、これらの手段
に前記カメラの軸線に交差する方向の相対移動を生じさ
せる移動手段とを具備し、前記照明手段が、撮像手段に
対する相対移動方向に、複数種の光源を具備する半田付
外観検査装置を提案している。
【0014】上記半田付外観検査装置において、撮像手
段が、照明手段に対する相対移動方向に、倍率の異なる
複数のカメラを具備することとすれば効果的である。
段が、照明手段に対する相対移動方向に、倍率の異なる
複数のカメラを具備することとすれば効果的である。
【0015】さらに、上記半田付外観検査装置におい
て、撮像手段が、検査対象箇所における反射光を撮影す
るカメラと、該カメラと検査対象箇所との間に配され反
射光を屈折させる屈折部材と、該屈折部材をカメラの軸
線回りに回転させる屈折部材回転手段とを具備し、照明
手段が、カメラの軸線に対して傾斜する方向から検査対
象箇所に光を照射する光源を具備し、移動手段が、前記
照明手段をカメラの軸線回りに回転させる照明回転手段
よりなる構成としてもよい。
て、撮像手段が、検査対象箇所における反射光を撮影す
るカメラと、該カメラと検査対象箇所との間に配され反
射光を屈折させる屈折部材と、該屈折部材をカメラの軸
線回りに回転させる屈折部材回転手段とを具備し、照明
手段が、カメラの軸線に対して傾斜する方向から検査対
象箇所に光を照射する光源を具備し、移動手段が、前記
照明手段をカメラの軸線回りに回転させる照明回転手段
よりなる構成としてもよい。
【0016】
【作用】本発明に係る半田付外観検査装置によれば、撮
像装置の作動によって検査対象箇所の画像が採取され、
判定装置の作動により、上記画像から半田付状態の良否
が判定される。撮像装置では、照明手段から照射された
光が検査対象箇所において反射し、その反射光を撮像手
段によって撮影することにより画像が採取される。この
場合に、照明手段と撮像手段とは、移動手段の作動によ
ってカメラの軸線に交差する方向に相対移動させられ
る。これにより、撮像手段に対する照明手段の位置を画
像採取のための最適な位置に配置することが可能とな
る。
像装置の作動によって検査対象箇所の画像が採取され、
判定装置の作動により、上記画像から半田付状態の良否
が判定される。撮像装置では、照明手段から照射された
光が検査対象箇所において反射し、その反射光を撮像手
段によって撮影することにより画像が採取される。この
場合に、照明手段と撮像手段とは、移動手段の作動によ
ってカメラの軸線に交差する方向に相対移動させられ
る。これにより、撮像手段に対する照明手段の位置を画
像採取のための最適な位置に配置することが可能とな
る。
【0017】また、上記半田付外観検査装置において、
撮像手段を、照明手段に対する相対移動方向に、倍率の
異なる複数のカメラを具備するものとすれば、複数のカ
メラに対して照明手段を共有することが可能となる。こ
れにより、移動手段の作動によって各カメラに対する照
明手段を適宜設定することが可能となる。
撮像手段を、照明手段に対する相対移動方向に、倍率の
異なる複数のカメラを具備するものとすれば、複数のカ
メラに対して照明手段を共有することが可能となる。こ
れにより、移動手段の作動によって各カメラに対する照
明手段を適宜設定することが可能となる。
【0018】さらに、上記半田付外観検査装置におい
て、照明手段を、撮像手段に対する相対移動方向に、複
数種の光源を具備するものとすれば、移動手段の作動に
よって、撮像手段に対して各検査対象箇所の検査に最適
な光源を適宜選択することができる。
て、照明手段を、撮像手段に対する相対移動方向に、複
数種の光源を具備するものとすれば、移動手段の作動に
よって、撮像手段に対して各検査対象箇所の検査に最適
な光源を適宜選択することができる。
【0019】また、請求項3記載の発明に係る半田付外
観検査装置によれば、移動手段の作動によって照明手段
がカメラの軸線回りに回転させられる。照明手段が、カ
メラの軸線に対して傾斜する方向から光を照射するよう
に光源を配設されているので、検査対象箇所の検査に最
適な角度に設定された光源から光が照射される。そし
て、照射された光は、検査対象箇所において反射するこ
とになる。
観検査装置によれば、移動手段の作動によって照明手段
がカメラの軸線回りに回転させられる。照明手段が、カ
メラの軸線に対して傾斜する方向から光を照射するよう
に光源を配設されているので、検査対象箇所の検査に最
適な角度に設定された光源から光が照射される。そし
て、照射された光は、検査対象箇所において反射するこ
とになる。
【0020】この場合に、反射光のうち、所定の傾斜角
度方向に反射した反射光が屈折部材によって屈折させら
れてカメラにより撮影される。屈折部材は、屈折部材回
転手段の作動によってカメラの軸線回りに回転させられ
ることにより、カメラの軸線回りの任意の放射方向から
の反射光をカメラに向けて屈折させる。これにより、カ
メラの軸線角度を変化させることなく、その軸線に対し
て傾斜する方向から検査対象箇所を撮影することが可能
となり、しかも、光源からの光を最大限に利用した最適
な状態で検査対象箇所の画像を採取することが可能とな
る。
度方向に反射した反射光が屈折部材によって屈折させら
れてカメラにより撮影される。屈折部材は、屈折部材回
転手段の作動によってカメラの軸線回りに回転させられ
ることにより、カメラの軸線回りの任意の放射方向から
の反射光をカメラに向けて屈折させる。これにより、カ
メラの軸線角度を変化させることなく、その軸線に対し
て傾斜する方向から検査対象箇所を撮影することが可能
となり、しかも、光源からの光を最大限に利用した最適
な状態で検査対象箇所の画像を採取することが可能とな
る。
【0021】これにより、基板上に実装された電子部品
の真上から検査対象箇所を撮影することを回避して、電
子部品と基板との間に配される検査対象箇所を確実かつ
鮮明に撮影することが可能となる。その結果、半田付状
態の良否判定が確実なものとされることになる。
の真上から検査対象箇所を撮影することを回避して、電
子部品と基板との間に配される検査対象箇所を確実かつ
鮮明に撮影することが可能となる。その結果、半田付状
態の良否判定が確実なものとされることになる。
【0022】
【実施例】以下、本発明に係る半田付外観検査装置の一
実施例について、図1から図3を参照して説明する。本
実施例に係る半田付外観検査装置10は、図1に示すよ
うに、架台11に搭載される撮像装置12と、該撮像装
置12によって採取された画像に基づいて検査対象箇所
における半田付状態の良否を判定する判定装置13とか
ら構成されている。
実施例について、図1から図3を参照して説明する。本
実施例に係る半田付外観検査装置10は、図1に示すよ
うに、架台11に搭載される撮像装置12と、該撮像装
置12によって採取された画像に基づいて検査対象箇所
における半田付状態の良否を判定する判定装置13とか
ら構成されている。
【0023】前記撮像装置12は、電子部品14を実装
した基板15を搭載して水平方向2方向に移動させる搬
送機構16と、該搬送機構16に搭載された基板15の
上方に間隔を空けて配置される照明手段17と、該照明
手段17の上方に配置される撮像手段18と、前記照明
手段17を水平方向に移動させる移動手段19とを具備
している。
した基板15を搭載して水平方向2方向に移動させる搬
送機構16と、該搬送機構16に搭載された基板15の
上方に間隔を空けて配置される照明手段17と、該照明
手段17の上方に配置される撮像手段18と、前記照明
手段17を水平方向に移動させる移動手段19とを具備
している。
【0024】前記搬送機構16は、基板15を位置決め
状態に搭載するスライダ20と、該スライダ20を直交
する水平2方向、例えば、X方向およびY方向に変位さ
せる直線移動機構21とから構成されている。この直線
移動機構21は、図1に示すように、前記スライダ20
の下方に平行間隔を空けて配される中間スライダ22
と、この中間スライダ22の上下に配される2組のガイ
ドレール23・24、ボールネジ25・26およびサー
ボモータ27・28とから構成されている。ガイドレー
ル23・24およびボールネジ25・26は、X・Y方
向に直交するように配置されており、各サーボモータ2
7・28は、該サーボモータ27・28が接続されたボ
ールネジ25・26をその軸線回りに回転させることが
できるようになっている。
状態に搭載するスライダ20と、該スライダ20を直交
する水平2方向、例えば、X方向およびY方向に変位さ
せる直線移動機構21とから構成されている。この直線
移動機構21は、図1に示すように、前記スライダ20
の下方に平行間隔を空けて配される中間スライダ22
と、この中間スライダ22の上下に配される2組のガイ
ドレール23・24、ボールネジ25・26およびサー
ボモータ27・28とから構成されている。ガイドレー
ル23・24およびボールネジ25・26は、X・Y方
向に直交するように配置されており、各サーボモータ2
7・28は、該サーボモータ27・28が接続されたボ
ールネジ25・26をその軸線回りに回転させることが
できるようになっている。
【0025】前記照明手段17は、例えば、図2に示す
ように、円盤状の笠部材29の内部に、複数のLED3
0を配列し、その下方に、例えば、半透明乳白色のガラ
ス製よりなる円盤状のスモーク板31を設けて構成され
ている。笠部材29の周縁部には、拡散反射板32が全
周に亙って設けられており、各LED30から発せられ
る光L1を拡散するとともに半径方向内方に配されてい
る検査対象箇所に向けて反射させるようになっている。
ように、円盤状の笠部材29の内部に、複数のLED3
0を配列し、その下方に、例えば、半透明乳白色のガラ
ス製よりなる円盤状のスモーク板31を設けて構成され
ている。笠部材29の周縁部には、拡散反射板32が全
周に亙って設けられており、各LED30から発せられ
る光L1を拡散するとともに半径方向内方に配されてい
る検査対象箇所に向けて反射させるようになっている。
【0026】また、前記笠部材29およびスモーク板3
1の中央には、それぞれ貫通孔29a・31aが設けら
れている。この貫通孔29a・31aは、基板15上の
検査対象箇所たる電子部品14の半田付部33からの反
射光L2を上方に透過させるように設けられており、貫
通孔29a・31aを透過した反射光L2は、照明手段
17の上方に配されている撮像手段18によって撮影さ
れるようになっている。
1の中央には、それぞれ貫通孔29a・31aが設けら
れている。この貫通孔29a・31aは、基板15上の
検査対象箇所たる電子部品14の半田付部33からの反
射光L2を上方に透過させるように設けられており、貫
通孔29a・31aを透過した反射光L2は、照明手段
17の上方に配されている撮像手段18によって撮影さ
れるようになっている。
【0027】前記撮像手段18は、例えば、鉛直方向に
軸線を有する2つのCCDカメラ18a・18bを水平
方向に平行間隔を空けて配設することにより構成されて
いる。図1において、符号18c・18dはレンズであ
る。これらのCCDカメラ18a・18bは、異なる倍
率に設定されており、基板15上の撮影範囲を異ならせ
ることができるようになっている。なお、各CCDカメ
ラ18a・18bは、それぞれ最適な露出状態となるよ
うに設定されている。
軸線を有する2つのCCDカメラ18a・18bを水平
方向に平行間隔を空けて配設することにより構成されて
いる。図1において、符号18c・18dはレンズであ
る。これらのCCDカメラ18a・18bは、異なる倍
率に設定されており、基板15上の撮影範囲を異ならせ
ることができるようになっている。なお、各CCDカメ
ラ18a・18bは、それぞれ最適な露出状態となるよ
うに設定されている。
【0028】前記移動手段19は、例えば、照明手段1
7に固定される取付板19aと、該取付板19aに固定
される水平な支持ロッド19bと、該支持ロッド19b
に摺動自在に外嵌させられるとともに架台11に固定さ
れる案内軸受19cと、同じく架台11に固定されシリ
ンダロッド34aの先端を取付板19aに固定されるシ
リンダ34とから構成されている。前記支持ロッド19
bおよびシリンダ34は、前記CCDカメラ18a・1
8bの配列方向に沿って設けられている。
7に固定される取付板19aと、該取付板19aに固定
される水平な支持ロッド19bと、該支持ロッド19b
に摺動自在に外嵌させられるとともに架台11に固定さ
れる案内軸受19cと、同じく架台11に固定されシリ
ンダロッド34aの先端を取付板19aに固定されるシ
リンダ34とから構成されている。前記支持ロッド19
bおよびシリンダ34は、前記CCDカメラ18a・1
8bの配列方向に沿って設けられている。
【0029】これにより、シリンダ34が作動させられ
ると、シリンダロッド34aがCCDカメラ18a・1
8bの配列方向に沿って進退させられる結果、取付板1
9aおよび該取付板19aに固定されている照明手段1
7がCCDカメラ18a・18bの配列方向に移動させ
られる。すなわち、一方のCCDカメラ18aの下方に
配置されていた照明手段17は、シリンダ34の作動に
よって、他方のCCDカメラ18bの下方に配置させら
れることになり、2つのCCDカメラ18a・18bで
1つの照明手段17を共用することができることにな
る。
ると、シリンダロッド34aがCCDカメラ18a・1
8bの配列方向に沿って進退させられる結果、取付板1
9aおよび該取付板19aに固定されている照明手段1
7がCCDカメラ18a・18bの配列方向に移動させ
られる。すなわち、一方のCCDカメラ18aの下方に
配置されていた照明手段17は、シリンダ34の作動に
よって、他方のCCDカメラ18bの下方に配置させら
れることになり、2つのCCDカメラ18a・18bで
1つの照明手段17を共用することができることにな
る。
【0030】このように構成された本実施例の半田付外
観検査装置10によって、基板15上に実装された電子
部品14の半田付部33を検査する場合には、まず、搬
送手段16を作動させて基板15を搭載したスライダ2
0をCCDカメラ18aおよび照明手段17の下方に配
置する。そして、照明手段17を作動させるとともに、
撮像手段18を作動させ、照明手段17から検査対象箇
所に照射した光L1の反射光L2をCCDカメラ18aに
よって撮影する。
観検査装置10によって、基板15上に実装された電子
部品14の半田付部33を検査する場合には、まず、搬
送手段16を作動させて基板15を搭載したスライダ2
0をCCDカメラ18aおよび照明手段17の下方に配
置する。そして、照明手段17を作動させるとともに、
撮像手段18を作動させ、照明手段17から検査対象箇
所に照射した光L1の反射光L2をCCDカメラ18aに
よって撮影する。
【0031】次いで、採取した画像を判定装置13に転
送し、適当な画像処理を施して、例えば、良品の半田付
部の画像との比較を行なうことにより、検査対象箇所の
半田付部33の良否判定を行なう。また、倍率の異なる
他のCCDカメラ18bによって撮影を実施する場合に
は、搬送手段16を作動させて基板15の検査対象箇所
をCCDカメラ18この下方に配置するとともに、移動
手段19を作動させて、図3に鎖線で示すように、照明
手段17を移動させ、そのCCDカメラ18bと検査対
象箇所との間に配置する。
送し、適当な画像処理を施して、例えば、良品の半田付
部の画像との比較を行なうことにより、検査対象箇所の
半田付部33の良否判定を行なう。また、倍率の異なる
他のCCDカメラ18bによって撮影を実施する場合に
は、搬送手段16を作動させて基板15の検査対象箇所
をCCDカメラ18この下方に配置するとともに、移動
手段19を作動させて、図3に鎖線で示すように、照明
手段17を移動させ、そのCCDカメラ18bと検査対
象箇所との間に配置する。
【0032】これにより、CCDカメラ18bには、照
明手段17から照射された光L1の検査対象箇所におけ
る反射光L2が撮影されるので、この画像を上記と同様
に判定装置13に転送することによって、半田付状態3
3の良否判定が容易に実施されることになる。
明手段17から照射された光L1の検査対象箇所におけ
る反射光L2が撮影されるので、この画像を上記と同様
に判定装置13に転送することによって、半田付状態3
3の良否判定が容易に実施されることになる。
【0033】したがって、本実施例に係る半田付外観検
査装置10によれば、単一の照明手段17を、倍率の異
なる2つのCCDカメラ18a・18bによる撮影に共
用するので、照明手段17およびその設置スペースを節
約して撮像装置10の小型軽量化を図ることができる。
また、最適な露出調整を行なった2つのCCDカメラ1
8a・18bによって撮影するので、ズームレンズによ
って倍率を異ならせる従来の場合と比較して、鮮明な画
像を得ることができ、半田付部33の良否判定を精度よ
く実施することができる。
査装置10によれば、単一の照明手段17を、倍率の異
なる2つのCCDカメラ18a・18bによる撮影に共
用するので、照明手段17およびその設置スペースを節
約して撮像装置10の小型軽量化を図ることができる。
また、最適な露出調整を行なった2つのCCDカメラ1
8a・18bによって撮影するので、ズームレンズによ
って倍率を異ならせる従来の場合と比較して、鮮明な画
像を得ることができ、半田付部33の良否判定を精度よ
く実施することができる。
【0034】なお、上記実施例においては、CCDカメ
ラ18a・18bを固定して基板15を移動させる方式
を採用したが、これに代えて、固定した基板15の上方
においてCCDカメラ18a・18bを移動させる方式
を採用することもできる。この場合には、CCDカメラ
18a・18bと同時に照明手段17をも移動させる必
要があるが、上記実施例のように2個のCCDカメラ1
8a・18bに対して照明手段17を共用することとす
れば、可動部を小型軽量化することができるので、制御
性を向上して振動の防止、位置決め精度の向上等を図る
ことができる。
ラ18a・18bを固定して基板15を移動させる方式
を採用したが、これに代えて、固定した基板15の上方
においてCCDカメラ18a・18bを移動させる方式
を採用することもできる。この場合には、CCDカメラ
18a・18bと同時に照明手段17をも移動させる必
要があるが、上記実施例のように2個のCCDカメラ1
8a・18bに対して照明手段17を共用することとす
れば、可動部を小型軽量化することができるので、制御
性を向上して振動の防止、位置決め精度の向上等を図る
ことができる。
【0035】また、倍率の異なるCCDカメラ18a・
18bを2個用意することとしたが、これに代えて、3
種以上のCCDカメラに対して照明手段17を共用する
こととしてもよい。
18bを2個用意することとしたが、これに代えて、3
種以上のCCDカメラに対して照明手段17を共用する
こととしてもよい。
【0036】次に、本発明に係る半田付外観検査装置の
第2実施例について図4および図5を参照して説明す
る。なお、図1から図3に示す第1実施例の半田付外観
検査装置10と構成を共通とする箇所に同一符号を付し
て、説明を簡略化する。
第2実施例について図4および図5を参照して説明す
る。なお、図1から図3に示す第1実施例の半田付外観
検査装置10と構成を共通とする箇所に同一符号を付し
て、説明を簡略化する。
【0037】本実施例に係る半田付外観検査装置40
も、撮像装置12と判定装置13とからなり、撮像装置
12は、搬送手段16、照明手段41、撮像手段42お
よび移動手段43よりなるという概略構成において第1
実施例と共通している。しかし、本実施例の半田付外観
検査装置40は、主に、IC部品44のJリード45に
おける半田付部46を検査する場合に使用されるもので
あり、照明手段41、撮像手段42および移動手段43
において、第1実施例と相違している。
も、撮像装置12と判定装置13とからなり、撮像装置
12は、搬送手段16、照明手段41、撮像手段42お
よび移動手段43よりなるという概略構成において第1
実施例と共通している。しかし、本実施例の半田付外観
検査装置40は、主に、IC部品44のJリード45に
おける半田付部46を検査する場合に使用されるもので
あり、照明手段41、撮像手段42および移動手段43
において、第1実施例と相違している。
【0038】前記照明手段41は、図4に示すように、
水平に配される基板15に対して、所定の傾斜角度に設
定されたプレート47に複数のLED48を配列してな
る光源49と、この光源49を基板15の法線回りに回
転させる照明回転手段50とを具備している。前記光源
49は後述する回転部材の下面に、下方に開くハ字状に
2箇所に配置され、斜め下方に向けて光L1を照射する
ようになっている。光源49を2箇所に配置したのは、
Jリード45に対して、異なる2方向から同時に光L1
を照射するためであり、これにより、Jリード45の半
田付部46の外観形状を特徴的に光らせることが可能と
なる。
水平に配される基板15に対して、所定の傾斜角度に設
定されたプレート47に複数のLED48を配列してな
る光源49と、この光源49を基板15の法線回りに回
転させる照明回転手段50とを具備している。前記光源
49は後述する回転部材の下面に、下方に開くハ字状に
2箇所に配置され、斜め下方に向けて光L1を照射する
ようになっている。光源49を2箇所に配置したのは、
Jリード45に対して、異なる2方向から同時に光L1
を照射するためであり、これにより、Jリード45の半
田付部46の外観形状を特徴的に光らせることが可能と
なる。
【0039】前記照明回転手段50は、例えば、水平回
転自在に支持されるとともに外周面をプーリ状に形成さ
れてなる回転部材51と、該回転部材51の側方に配置
される駆動プーリ52と、これら回転部材51および駆
動プーリ52に掛け渡されるタイミングベルト53と、
前記駆動プーリ52を水平回転させるサーボモータ54
とから構成されている。前記回転部材51にはその中心
部に検査対象箇所からの反射光L2を上下方向に貫通さ
せる貫通孔55が設けられている。なお、この照明回転
手段50によって、照明手段41を水平方向に移動させ
る移動手段43が構成されている。
転自在に支持されるとともに外周面をプーリ状に形成さ
れてなる回転部材51と、該回転部材51の側方に配置
される駆動プーリ52と、これら回転部材51および駆
動プーリ52に掛け渡されるタイミングベルト53と、
前記駆動プーリ52を水平回転させるサーボモータ54
とから構成されている。前記回転部材51にはその中心
部に検査対象箇所からの反射光L2を上下方向に貫通さ
せる貫通孔55が設けられている。なお、この照明回転
手段50によって、照明手段41を水平方向に移動させ
る移動手段43が構成されている。
【0040】また、前記撮像手段42は、前記回転部材
51の回転軸線と同心に配されるCCDカメラ56と、
該CCDカメラ56の鉛直下方に配置され、検査対象箇
所からの反射光L2を屈折させてCCDカメラ56に向
かわせるプリズム57のような屈折部材とから構成され
ている。このプリズム57は、前記回転部材51の上面
に固設されており、照明手段41の回転に伴わせて水平
回転させられるようになっている。これにより、上記照
明回転手段41によってプリズム回転手段58が構成さ
れていることになる。
51の回転軸線と同心に配されるCCDカメラ56と、
該CCDカメラ56の鉛直下方に配置され、検査対象箇
所からの反射光L2を屈折させてCCDカメラ56に向
かわせるプリズム57のような屈折部材とから構成され
ている。このプリズム57は、前記回転部材51の上面
に固設されており、照明手段41の回転に伴わせて水平
回転させられるようになっている。これにより、上記照
明回転手段41によってプリズム回転手段58が構成さ
れていることになる。
【0041】このように構成された半田付外観検査装置
40によって、Jリード45を検査する場合には、照明
回転手段50のサーボモータ54を作動させることによ
り、駆動プーリ52、タイミングベルト53、回転部材
51を介して、光源49を水平回転させる。そして、J
リード45の半田付部46を検査するために最適な位置
まで光源49を水平移動させる。
40によって、Jリード45を検査する場合には、照明
回転手段50のサーボモータ54を作動させることによ
り、駆動プーリ52、タイミングベルト53、回転部材
51を介して、光源49を水平回転させる。そして、J
リード45の半田付部46を検査するために最適な位置
まで光源49を水平移動させる。
【0042】このとき、回転部材51にはプリズム57
が固定されているので、照明手段41の回転に伴って、
プリズム57も回転させられることになり、Jリード4
5の半田付部46からの反射光L2を屈折するために最
適な回転角度に調整されることになる。これにより、図
4に示すように、照明手段41からの光L1の半田付部
46における反射光L2のうち、鉛直方向に対して傾斜
する方向に反射する反射光L2が、プリズム57を透過
する際に屈折させられて、CCDカメラ56に向かわせ
られる。
が固定されているので、照明手段41の回転に伴って、
プリズム57も回転させられることになり、Jリード4
5の半田付部46からの反射光L2を屈折するために最
適な回転角度に調整されることになる。これにより、図
4に示すように、照明手段41からの光L1の半田付部
46における反射光L2のうち、鉛直方向に対して傾斜
する方向に反射する反射光L2が、プリズム57を透過
する際に屈折させられて、CCDカメラ56に向かわせ
られる。
【0043】その結果、CCDカメラ56には、Jリー
ド45を斜め上方からみた画像が撮影され、上方からの
撮影ではJリード45の直線部45aにより明らかにさ
れなかった半田付部46の外観形状を、確実に把握する
ことができることになる。
ド45を斜め上方からみた画像が撮影され、上方からの
撮影ではJリード45の直線部45aにより明らかにさ
れなかった半田付部46の外観形状を、確実に把握する
ことができることになる。
【0044】本実施例に係る半田付外観検査装置によっ
て、Jリード45の半田付部46を検査すると、該半田
付部46の半田付状態によって、図5から図8に示すよ
うな画像が採取される。すなわち、図5の(a)は、正
常な半田付状態の半田付部46を示し、同図(b)はそ
のときの画像例を示している。図中斜線で示す部分は、
照明手段49からの光L1の半田付部46における反射
光L2が光って見える部分である。これによれば、半田
付状態が正常な場合には、半田付部46の中央部が光っ
て見えることになる。
て、Jリード45の半田付部46を検査すると、該半田
付部46の半田付状態によって、図5から図8に示すよ
うな画像が採取される。すなわち、図5の(a)は、正
常な半田付状態の半田付部46を示し、同図(b)はそ
のときの画像例を示している。図中斜線で示す部分は、
照明手段49からの光L1の半田付部46における反射
光L2が光って見える部分である。これによれば、半田
付状態が正常な場合には、半田付部46の中央部が光っ
て見えることになる。
【0045】また、図6の(a)は、半田付部46とJ
リード45との間に、いわゆる浮きが生じており、半田
付状態は異常であると判定されるべきケースを示してい
る。この場合には、同図(b)に示すように、半田付部
46の手前側に光る部分を有する画像が採取されること
になり、図5の正常時における半田付状態との差異を明
確に認識することが可能となる。
リード45との間に、いわゆる浮きが生じており、半田
付状態は異常であると判定されるべきケースを示してい
る。この場合には、同図(b)に示すように、半田付部
46の手前側に光る部分を有する画像が採取されること
になり、図5の正常時における半田付状態との差異を明
確に認識することが可能となる。
【0046】図7の(a)は、基板15上の半田付けさ
れるべき部分に半田が全く施されていない状態を示して
おり、図6と同様に異常であると判定されるべきケース
である。この場合には、図7の(b)に示すように、半
田付部46に光る領域を有しない画像が採取され、正常
時との差異は明白となる。
れるべき部分に半田が全く施されていない状態を示して
おり、図6と同様に異常であると判定されるべきケース
である。この場合には、図7の(b)に示すように、半
田付部46に光る領域を有しない画像が採取され、正常
時との差異は明白となる。
【0047】さらに、図8の(a)は、半田の量が少な
く、半田付部46が小さく形成されてしまう場合を示し
ている。この場合にも、Jリードと基板との接触不良が
生ずることが考えられるので、半田付状態は異常である
と判定されるべきケースである。このケースにおいて、
CCDカメラ56により撮影される画像は、同図(b)
に示すように、半田付部46の奥側が光って見える画像
となり、図5の正常時の画像と明確に区別することがで
きる。
く、半田付部46が小さく形成されてしまう場合を示し
ている。この場合にも、Jリードと基板との接触不良が
生ずることが考えられるので、半田付状態は異常である
と判定されるべきケースである。このケースにおいて、
CCDカメラ56により撮影される画像は、同図(b)
に示すように、半田付部46の奥側が光って見える画像
となり、図5の正常時の画像と明確に区別することがで
きる。
【0048】つまり、本実施例に係る半田付外観検査装
置によれば、プリズム57の回転角度の設定によるJリ
ード45の撮影方向に応じて、光源49を最適な位置に
移動させることができるので、常に、適度な光量を確保
し得て、鮮明な画像を採取することができる。
置によれば、プリズム57の回転角度の設定によるJリ
ード45の撮影方向に応じて、光源49を最適な位置に
移動させることができるので、常に、適度な光量を確保
し得て、鮮明な画像を採取することができる。
【0049】さらに、照明回転手段50を採用すること
によって、最小限の光源49を水平移動して撮影を行な
うので、撮影時に使用されない不必要な光源を排除する
ことができる。これにより、光源49およびその設置ス
ペースを節約して、小型軽量化を図ることができるとい
う利点がある。
によって、最小限の光源49を水平移動して撮影を行な
うので、撮影時に使用されない不必要な光源を排除する
ことができる。これにより、光源49およびその設置ス
ペースを節約して、小型軽量化を図ることができるとい
う利点がある。
【0050】なお、本実施例においては、説明の簡略の
ため、図4において、回転部材51を円盤状に形成した
が、実際には、軸受によって支持させるための形状、例
えば、プリズム57を収納する円筒状に形成し、その外
周面に外嵌させられる軸受によって回転自在に支持する
構成とすればよい。また、回転部材51、駆動プーリ5
2、タイミングベルト53、サーボモータ54によって
照明回転手段50を構成することとしたが、これに代え
て、他の回転機構、例えば、歯車を用いた機構等を採用
することとしてもよい。
ため、図4において、回転部材51を円盤状に形成した
が、実際には、軸受によって支持させるための形状、例
えば、プリズム57を収納する円筒状に形成し、その外
周面に外嵌させられる軸受によって回転自在に支持する
構成とすればよい。また、回転部材51、駆動プーリ5
2、タイミングベルト53、サーボモータ54によって
照明回転手段50を構成することとしたが、これに代え
て、他の回転機構、例えば、歯車を用いた機構等を採用
することとしてもよい。
【0051】また、光源49を回転させる照明回転手段
50によって、プリズム57を回転させるプリズム回転
手段58を同時に実現することとしたが、これに代え
て、別々の回転手段を設けることとしてもよい。さら
に、検査対象箇所からの反射光L2を屈折させる屈折手
段としてプリズム57を使用したが、これに代えて、反
射鏡を採用することとしてもよい。また、CCDカメラ
56の設置姿勢によっては、プリズム57と反射鏡とを
併用することとしてもよい。
50によって、プリズム57を回転させるプリズム回転
手段58を同時に実現することとしたが、これに代え
て、別々の回転手段を設けることとしてもよい。さら
に、検査対象箇所からの反射光L2を屈折させる屈折手
段としてプリズム57を使用したが、これに代えて、反
射鏡を採用することとしてもよい。また、CCDカメラ
56の設置姿勢によっては、プリズム57と反射鏡とを
併用することとしてもよい。
【0052】また、同一基板15状に、Jリード45を
有するIC部品44とその他の電子部品とが並設されて
いる場合には、上記第1実施例と第2実施例とを組み合
わせて適用することとしてもよい。すなわち、第1実施
例の取付板19aに、第1実施例の照明手段17と第2
実施例のプリズム57を搭載した照明手段41とを取り
付ける。そして、Jリード45を検査する場合には、第
2実施例の照明手段41により撮影し、他の電子部品を
検査する場合には、第1実施例の照明手段17によって
撮影する。この場合、CCDカメラ56は1個であって
も、2個以上であってもよい。
有するIC部品44とその他の電子部品とが並設されて
いる場合には、上記第1実施例と第2実施例とを組み合
わせて適用することとしてもよい。すなわち、第1実施
例の取付板19aに、第1実施例の照明手段17と第2
実施例のプリズム57を搭載した照明手段41とを取り
付ける。そして、Jリード45を検査する場合には、第
2実施例の照明手段41により撮影し、他の電子部品を
検査する場合には、第1実施例の照明手段17によって
撮影する。この場合、CCDカメラ56は1個であって
も、2個以上であってもよい。
【0053】このように構成することとすれば、1個の
CCDカメラ56について、複数種の照明手段17・4
1を適用することができる。したがって、検査対象箇所
の種類に応じて、最適な照明手段17・41を適用し得
て、検査の高効率化を図ることができるとともに、あら
ゆる検査対処箇所に対して鮮明な画像を採取することが
できるという利点がある。
CCDカメラ56について、複数種の照明手段17・4
1を適用することができる。したがって、検査対象箇所
の種類に応じて、最適な照明手段17・41を適用し得
て、検査の高効率化を図ることができるとともに、あら
ゆる検査対処箇所に対して鮮明な画像を採取することが
できるという利点がある。
【0054】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明に係る半田
付外観検査装置によれば、検査対象箇所の画像を採取す
る撮像装置と、採取された画像に基づいて半田付状態の
良否を判定する判定装置とからなり、撮像装置が、検査
対象箇所に向けて光を照射する照明手段と、その光の検
査対象箇所における反射光を撮影するカメラを有する撮
像手段と、これらの手段にカメラの軸線に交差する方向
の相対移動を生じさせる移動手段とを具備するので、カ
メラに対する照明手段を最適な位置に配置して、鮮明な
画像を採取することができる。その結果、判定装置にお
ける半田付状態の良否判定の精度を向上することができ
るという効果を奏する。
付外観検査装置によれば、検査対象箇所の画像を採取す
る撮像装置と、採取された画像に基づいて半田付状態の
良否を判定する判定装置とからなり、撮像装置が、検査
対象箇所に向けて光を照射する照明手段と、その光の検
査対象箇所における反射光を撮影するカメラを有する撮
像手段と、これらの手段にカメラの軸線に交差する方向
の相対移動を生じさせる移動手段とを具備するので、カ
メラに対する照明手段を最適な位置に配置して、鮮明な
画像を採取することができる。その結果、判定装置にお
ける半田付状態の良否判定の精度を向上することができ
るという効果を奏する。
【0055】また、上記半田付外観検査装置において、
撮像手段が、照明手段に対する相対移動方向に、倍率の
異なる複数のカメラを具備する構成とすれば、各カメラ
に対する照明手段を移動手段の作動によって切り換える
ことができ、照明手段を共用することによって、照明手
段およびその設置スペースを節約し、小型軽量化、製品
コストの低減を図ることができるという効果を奏する。
この場合において、倍率の異なる複数のカメラを別々に
設置する場合には、各カメラについて最適な露出状態を
容易に実現し得るので、鮮明な画像を採取することがで
きる。
撮像手段が、照明手段に対する相対移動方向に、倍率の
異なる複数のカメラを具備する構成とすれば、各カメラ
に対する照明手段を移動手段の作動によって切り換える
ことができ、照明手段を共用することによって、照明手
段およびその設置スペースを節約し、小型軽量化、製品
コストの低減を図ることができるという効果を奏する。
この場合において、倍率の異なる複数のカメラを別々に
設置する場合には、各カメラについて最適な露出状態を
容易に実現し得るので、鮮明な画像を採取することがで
きる。
【0056】さらに、照明手段が、撮像手段に対する相
対移動方向に、複数種の光源を具備する構成とすれば、
検査対象箇所あるいはカメラに対し最適な光量および照
射方向を達成し得る光源を選択して適用することができ
る。その結果、採取する画像の画質を向上して、判定精
度をより向上することができるという効果を奏する。
対移動方向に、複数種の光源を具備する構成とすれば、
検査対象箇所あるいはカメラに対し最適な光量および照
射方向を達成し得る光源を選択して適用することができ
る。その結果、採取する画像の画質を向上して、判定精
度をより向上することができるという効果を奏する。
【0057】また、請求項3に係る半田付外観検査装置
によれば、撮像手段が、検査対象箇所における反射光を
撮影するカメラと、反射光を屈折させる屈折部材と、そ
の屈折部材をカメラの軸線回りに回転させる屈折部材回
転手段とを具備し、照明手段が、カメラの軸線に対して
傾斜する方向から検査対象箇所に光を照射する光源を具
備し、移動手段が、照明手段をカメラの軸線回りに回転
させる照明回転手段よりなるので、例えば、Jリードに
おける半田付部のように、基板の法線方向から外観形状
の画像を採取し難い検査対象箇所に対して、カメラを固
定した状態で撮影を行なうことができる。しかも、屈折
部材回転手段の作動による撮影方向の変化に応じて、照
明回転手段を作動させることにより、撮影のための最適
な光量、照射方向の光を検査対象箇所に照射することが
でき、半田付状態の良否判定の確実性を向上することが
できるという効果を奏する。
によれば、撮像手段が、検査対象箇所における反射光を
撮影するカメラと、反射光を屈折させる屈折部材と、そ
の屈折部材をカメラの軸線回りに回転させる屈折部材回
転手段とを具備し、照明手段が、カメラの軸線に対して
傾斜する方向から検査対象箇所に光を照射する光源を具
備し、移動手段が、照明手段をカメラの軸線回りに回転
させる照明回転手段よりなるので、例えば、Jリードに
おける半田付部のように、基板の法線方向から外観形状
の画像を採取し難い検査対象箇所に対して、カメラを固
定した状態で撮影を行なうことができる。しかも、屈折
部材回転手段の作動による撮影方向の変化に応じて、照
明回転手段を作動させることにより、撮影のための最適
な光量、照射方向の光を検査対象箇所に照射することが
でき、半田付状態の良否判定の確実性を向上することが
できるという効果を奏する。
【図1】本発明に係る半田付外観検査装置の一実施例を
示す正面図である。
示す正面図である。
【図2】図1の半田付外観検査装置の照明手段を示す縦
断面図である。
断面図である。
【図3】図1の半田付外観検査装置における移動手段を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図4】本発明に係る半田付外観検査装置の第2実施例
を説明するため斜視図である。
を説明するため斜視図である。
【図5】半田付状態の正常な場合における図4の半田付
外観検査装置による画像例を説明するための図である。
外観検査装置による画像例を説明するための図である。
【図6】半田付に浮きが生じている場合の図5と同様の
画像例を説明するための図である。
画像例を説明するための図である。
【図7】半田付けがなされていない場合の図5と同様の
画像例を説明するための図である。
画像例を説明するための図である。
【図8】半田の量が少ない場合の図5と同様の画像例を
説明するための図である。
説明するための図である。
【図9】Jリードを有するIC部品の半田付け状態を示
す斜視図である。
す斜視図である。
L1 光 L2 反射光 10・40 半田付外観検査装置 12 撮像装置 13 判定装置 14・44 電子部品 15 基板 17 照明手段 18 撮像手段 18a・18b・56 CCDカメラ(カメラ) 19 移動手段 30・48 光源 50 照明回転手段 57 プリズム(屈折部材) 58 プリズム回転手段(屈折部材回転手段)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−129700(JP,A) 特開 昭64−72540(JP,A) 特開 昭64−15643(JP,A) 特開 昭59−226852(JP,A) 特開 昭64−57153(JP,A) 特開 平5−256785(JP,A) 実開 平5−45511(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01N 21/84 - 21/90
Claims (3)
- 【請求項1】 基板上に実装された電子部品等の半田付
状態を検査する装置であって、 検査対象箇所の画像を採取する撮像装置と、採取された
画像に基づいて半田付状態の良否を判定する判定装置と
からなるとともに、 前記撮像装置が、検査対象箇所に向けて光を照射する照
明手段と、該照明手段からの光の検査対象箇所における
反射光を撮影するカメラを有する撮像手段と、これらの
手段に前記カメラの軸線に交差する方向の相対移動を生
じさせる移動手段とを具備し、 前記照明手段が、撮像手段に対する相対移動方向に、複
数種の光源を 具備することを特徴とする半田付外観検査
装置。 - 【請求項2】 撮像手段が、照明手段に対する相対移動
方向に、倍率の異なる複数のカメラを具備することを特
徴とする請求項1記載の半田付外観検査装置。 - 【請求項3】 撮像手段が、検査対象箇所における反射
光を撮影するカメラと、該カメラと検査対象箇所との間
に配され反射光を屈折させる屈折部材と、該屈折部材を
カメラの軸線回りに回転させる屈折部材回転手段とを具
備し、 照明手段が、カメラの軸線に対して傾斜する方向から検
査対象箇所に光を照射する光源を具備し、 移動手段が、前記照明手段をカメラの軸線回りに回転さ
せる照明回転手段よりなることを特徴とする請求項1ま
たは請求項2記載の半田付外観検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26297794A JP2948488B2 (ja) | 1994-10-26 | 1994-10-26 | 半田付外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26297794A JP2948488B2 (ja) | 1994-10-26 | 1994-10-26 | 半田付外観検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08122260A JPH08122260A (ja) | 1996-05-17 |
JP2948488B2 true JP2948488B2 (ja) | 1999-09-13 |
Family
ID=17383186
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26297794A Expired - Lifetime JP2948488B2 (ja) | 1994-10-26 | 1994-10-26 | 半田付外観検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2948488B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003179400A (ja) * | 2001-12-11 | 2003-06-27 | Juki Corp | 電子部品検出装置 |
-
1994
- 1994-10-26 JP JP26297794A patent/JP2948488B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH08122260A (ja) | 1996-05-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6161941A (en) | Light array system and method for illumination of objects imaged by imaging systems | |
KR960006968B1 (ko) | 본딩와이어 검사장치 및 방법 | |
JP2009535782A (ja) | 基板照明・検査装置 | |
JP2008519257A (ja) | 板ガラスの表面及び内部の欠陥を識別するための検査装置及び方法 | |
JP2003098093A (ja) | 検査用照明装置 | |
TWI747365B (zh) | 外觀檢查裝置 | |
TW508984B (en) | An inspection device for components | |
JP4084383B2 (ja) | 全反射鏡を利用したビジョン検査装置及びビジョン検査方法 | |
JP2948488B2 (ja) | 半田付外観検査装置 | |
CN1314997A (zh) | 检查基本平坦平面的发光器 | |
JP2862833B2 (ja) | 半田付外観検査装置 | |
JPH07243986A (ja) | 半田付外観検査装置の照明装置 | |
JP3695112B2 (ja) | 電子部品観察装置および電子部品観察方法 | |
JP2879323B2 (ja) | 撮像装置 | |
JPH10185832A (ja) | 外観検査方法及び外観検査装置 | |
JP3394800B2 (ja) | ガラス壜の内部欠陥検査装置およびその検査方法 | |
JPH08320450A (ja) | 暗視野照明装置 | |
JPH0829138A (ja) | パターン検査装置及び方法 | |
JP2015102364A (ja) | 外観検査装置 | |
JP3236132U (ja) | ラインスキャンカメラ用照明装置 | |
JPH1172443A (ja) | 自動マクロ検査装置 | |
JPH08101137A (ja) | 検査装置 | |
JP2879322B2 (ja) | 照明用光源群を備えた装置 | |
JP2024029778A (ja) | ラインスキャンカメラ用照明装置 | |
JPH11145700A (ja) | 電子部品姿勢認識装置およびこれを用いた電子部品実装装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990601 |