JP2944611B2 - ガス供給装置の制御方法 - Google Patents
ガス供給装置の制御方法Info
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- JP2944611B2 JP2944611B2 JP5266198A JP5266198A JP2944611B2 JP 2944611 B2 JP2944611 B2 JP 2944611B2 JP 5266198 A JP5266198 A JP 5266198A JP 5266198 A JP5266198 A JP 5266198A JP 2944611 B2 JP2944611 B2 JP 2944611B2
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば半導体製
造工場において半導体用特殊材料として高圧容器に充填
した液化ガスを集中供給するガス供給装置の制御方法に
関する。
造工場において半導体用特殊材料として高圧容器に充填
した液化ガスを集中供給するガス供給装置の制御方法に
関する。
【0002】
【従来の技術】図5は、液化ガス供給装置の基本的構成
を示す構成図である。この図に示すように液化ガス供給
装置は、液化ガス502を充填した充填容器501の残
量をモニタ監視する残量計509を有する。
を示す構成図である。この図に示すように液化ガス供給
装置は、液化ガス502を充填した充填容器501の残
量をモニタ監視する残量計509を有する。
【0003】充填容器501はこの残量計509にセッ
トされ、ガス取り出し口には充填管503が接続され
る。ガスの供給配管系には、この充填管503とその圧
力を監視する圧力センサ504が設けられ、自動遮断弁
506へと導かれる。
トされ、ガス取り出し口には充填管503が接続され
る。ガスの供給配管系には、この充填管503とその圧
力を監視する圧力センサ504が設けられ、自動遮断弁
506へと導かれる。
【0004】そして、減圧弁507ならびに手動弁50
8を介して、送気ガスは図示しない消費設備へと配管さ
れる。残量計509は、残量レベルを表示するととも
に、容器交換レベルの残量下限に達した場合に、外部に
警報を発するシステムに信号を送ることにも用いられて
いる。同時に自動遮断弁506が閉じる。
8を介して、送気ガスは図示しない消費設備へと配管さ
れる。残量計509は、残量レベルを表示するととも
に、容器交換レベルの残量下限に達した場合に、外部に
警報を発するシステムに信号を送ることにも用いられて
いる。同時に自動遮断弁506が閉じる。
【0005】この図5に示す構成では、液化ガス502
の供給により充填容器501の中の残量が容器交換レベ
ルに達すると、残量計509から発する信号によって自
動遮断弁506が閉じられるとともに、警報等によって
容器交換時期を外部に報知する。
の供給により充填容器501の中の残量が容器交換レベ
ルに達すると、残量計509から発する信号によって自
動遮断弁506が閉じられるとともに、警報等によって
容器交換時期を外部に報知する。
【0006】液化ガス供給装置を個別の消費設備毎に配
置する場合は、消費量が少なく容器の交換頻度も少ない
ことから、図5に示す構成でも問題はない。しかしなが
ら、消費設備に一括して集中供給する場合は、当然なが
ら消費量も多くなり、一般的に使用されている容積47
L型の充填容器1本では、すぐに交換時期にきてしま
う。
置する場合は、消費量が少なく容器の交換頻度も少ない
ことから、図5に示す構成でも問題はない。しかしなが
ら、消費設備に一括して集中供給する場合は、当然なが
ら消費量も多くなり、一般的に使用されている容積47
L型の充填容器1本では、すぐに交換時期にきてしま
う。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】そこで、複数本の充填
容器を並列に並べて供給するものが考えられた。図6
は、複数の充填容器を並列に配管に接続してガスを供給
するガス供給装置の例を示す構成図である。
容器を並列に並べて供給するものが考えられた。図6
は、複数の充填容器を並列に配管に接続してガスを供給
するガス供給装置の例を示す構成図である。
【0008】この図6に示す構成は、従来から半導体製
造工場等で使用されてきたものである。この図では、液
化ガスや圧縮ガス等の半導体用特殊材料であるガス60
2が充填された複数の充填容器601、601・・・を
並列に並べ、各々充填管603ならびに手動弁8を介し
て連結配管605に接続している。材料のガスは、この
連結配管605により一括して自動遮断弁606へと導
かれる。
造工場等で使用されてきたものである。この図では、液
化ガスや圧縮ガス等の半導体用特殊材料であるガス60
2が充填された複数の充填容器601、601・・・を
並列に並べ、各々充填管603ならびに手動弁8を介し
て連結配管605に接続している。材料のガスは、この
連結配管605により一括して自動遮断弁606へと導
かれる。
【0009】そして減圧弁607によって所定の圧力に
調圧され、送気ガスは手動弁608を介して図示しない
消費設備へと送られる。各充填容器601、601・・
・に充填されたガス602は、送気により徐々に減って
行き、空になる前に新しい充填容器601と交換するこ
とになる。
調圧され、送気ガスは手動弁608を介して図示しない
消費設備へと送られる。各充填容器601、601・・
・に充填されたガス602は、送気により徐々に減って
行き、空になる前に新しい充填容器601と交換するこ
とになる。
【0010】図7は、図6に示すガス供給装置における
処理の流れの一例を示すフローチャートである。この例
では、複数の充填容器601、601・・・をセットし
(ステップS1)、この内の1本に残量計609をセッ
トする(ステップS2)。また各充填容器601、60
1・・・を、各々充填管603を介して連結配管605
に接続する(ステップS3)。
処理の流れの一例を示すフローチャートである。この例
では、複数の充填容器601、601・・・をセットし
(ステップS1)、この内の1本に残量計609をセッ
トする(ステップS2)。また各充填容器601、60
1・・・を、各々充填管603を介して連結配管605
に接続する(ステップS3)。
【0011】そして、各容器元栓610を開ける(ステ
ップS4)とともに、各手動弁608と自動遮断弁60
6とを開けて、送気を開始する(ステップS5)。この
後、残量計609の指示値が後述する所定の残量レベル
(下限値)に達したか否かを常時監視し(ステップS
6)、残量計609の指示値が残量下限値に達した場合
には自動遮断弁606を閉じて送気を停止する(ステッ
プS7)。
ップS4)とともに、各手動弁608と自動遮断弁60
6とを開けて、送気を開始する(ステップS5)。この
後、残量計609の指示値が後述する所定の残量レベル
(下限値)に達したか否かを常時監視し(ステップS
6)、残量計609の指示値が残量下限値に達した場合
には自動遮断弁606を閉じて送気を停止する(ステッ
プS7)。
【0012】これら充填容器601、601・・・に充
填されたガス602の残量の監視は、そのガス602が
圧縮ガスであれば、圧力の減少量を充填管603の直後
に取り付けられた圧力センサ604により行う。
填されたガス602の残量の監視は、そのガス602が
圧縮ガスであれば、圧力の減少量を充填管603の直後
に取り付けられた圧力センサ604により行う。
【0013】一方ガス602が液化ガスの場合は、全て
の充填容器601、601・・・内のガス602の液相
部がなくならない限り、圧力はガス602の蒸気圧のま
まである。このため、ガス602そのものの重量の減少
か、液相部の液面高さの減少を残量計609(一般には
重量センサ)によって監視している。
の充填容器601、601・・・内のガス602の液相
部がなくならない限り、圧力はガス602の蒸気圧のま
まである。このため、ガス602そのものの重量の減少
か、液相部の液面高さの減少を残量計609(一般には
重量センサ)によって監視している。
【0014】こうして、ガス602の残量が所定のレベ
ルを下回った時点で、充填容器601、601・・・を
交換する。即ち図6に示す構成では、各充填容器60
1、601・・・内のガス602は、互いに同じ速度で
減っていくものと見なされる。そこで、ガス602が液
化ガスであっても、その残量は複数の充填容器601、
601・・・の内の1本だけが監視される。言うまでも
なく、図6に示すガス供給装置は、図5に示すような装
置において、複数の充填容器を並列したにすぎない。
ルを下回った時点で、充填容器601、601・・・を
交換する。即ち図6に示す構成では、各充填容器60
1、601・・・内のガス602は、互いに同じ速度で
減っていくものと見なされる。そこで、ガス602が液
化ガスであっても、その残量は複数の充填容器601、
601・・・の内の1本だけが監視される。言うまでも
なく、図6に示すガス供給装置は、図5に示すような装
置において、複数の充填容器を並列したにすぎない。
【0015】ところで、充填容器内のガスを完全に空ま
で使い切ると、充填容器底部に多いパーティクルが気相
部に出易い。また、充填容器を完全に空にすると、異ガ
スが混入したり、容器内汚濁等の不都合が生じる。従っ
て、容器の安全運用等の理由から、充填容器内には所定
の少量程度のガスを残留させる。
で使い切ると、充填容器底部に多いパーティクルが気相
部に出易い。また、充填容器を完全に空にすると、異ガ
スが混入したり、容器内汚濁等の不都合が生じる。従っ
て、容器の安全運用等の理由から、充填容器内には所定
の少量程度のガスを残留させる。
【0016】図6に示す構成では、複数の充填容器60
1、601・・・の内の1本(図では右端)が所定残量
レベルに達した時点で、自動遮断弁606を閉じて送気
を止め、複数の充填容器601、601・・・の全てを
交換する。
1、601・・・の内の1本(図では右端)が所定残量
レベルに達した時点で、自動遮断弁606を閉じて送気
を止め、複数の充填容器601、601・・・の全てを
交換する。
【0017】充填容器601、601・・の交換時期を
判定する残量レベルの設定は、充填容器601、601
・・・の全てがある程度ガス2を残した際の、平均的残
量レベルの実測データに基づいて固定される場合が多
い。
判定する残量レベルの設定は、充填容器601、601
・・・の全てがある程度ガス2を残した際の、平均的残
量レベルの実測データに基づいて固定される場合が多
い。
【0018】またこの実測データでは、各々の充填容器
601、601・・・からの配管抵抗のばらつきを考慮
して、何れかの充填容器601が容器交換レベルに達し
た時点での残量計609で監視されている充填容器60
1の残量レベルを下限値としているが。
601、601・・・からの配管抵抗のばらつきを考慮
して、何れかの充填容器601が容器交換レベルに達し
た時点での残量計609で監視されている充填容器60
1の残量レベルを下限値としているが。
【0019】ところがこの図6に示す構成では、その後
の実際の充填容器601、601・・・毎のばらつきは
無視し、全ての充填容器601、601・・・内のガス
602が同一速度で減って行くことを前提としている。
の実際の充填容器601、601・・・毎のばらつきは
無視し、全ての充填容器601、601・・・内のガス
602が同一速度で減って行くことを前提としている。
【0020】従って、充填容器の交換時に、充填容器に
よっては継続使用可能量のガスが残ることもあり、不経
済である。一方で、充填容器の交換時期を判定する残量
レベルが固定であるため、空ギリギリに設定した場合に
は、完全に空になってしまう充填容器が発生し、上述の
ような不都合が生じる。
よっては継続使用可能量のガスが残ることもあり、不経
済である。一方で、充填容器の交換時期を判定する残量
レベルが固定であるため、空ギリギリに設定した場合に
は、完全に空になってしまう充填容器が発生し、上述の
ような不都合が生じる。
【0021】この発明は、このような背景の下になされ
たもので、1つの配管に接続された充填容器の各々につ
いてガスが所定の残量になるまで使用することができ、
効率的且つ経済的に充填容器の交換が可能であり、さら
に装置を停止することなく連続してガスを供給すること
ができるガス供給装置の制御方法を提供することを目的
としている。
たもので、1つの配管に接続された充填容器の各々につ
いてガスが所定の残量になるまで使用することができ、
効率的且つ経済的に充填容器の交換が可能であり、さら
に装置を停止することなく連続してガスを供給すること
ができるガス供給装置の制御方法を提供することを目的
としている。
【0022】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、請求項1に記載の発明にあっては、複数の容器
を連結配管によって接続して同時供給するガス供給装置
と、当該ガス供給装置に連通する他のガス供給装置とに
よって消費設備へガスを供給するガス供給装置の制御方
法であって、前記ガス供給装置の複数の容器にそれぞれ
設けられた残量計が予め設定された残量下限値を下回っ
た当該容器の各々に対応する第1の自動遮断弁から順次
閉じていき、全ての前記第1の自動遮断弁が全て閉じた
時点で、前記ガス供給装置の第2の自動遮断弁を閉じて
送気を停止し、この時点で他のガス供給装置に切り替
え、前記消費設備への連続供給は継続することを特徴と
する。
ために、請求項1に記載の発明にあっては、複数の容器
を連結配管によって接続して同時供給するガス供給装置
と、当該ガス供給装置に連通する他のガス供給装置とに
よって消費設備へガスを供給するガス供給装置の制御方
法であって、前記ガス供給装置の複数の容器にそれぞれ
設けられた残量計が予め設定された残量下限値を下回っ
た当該容器の各々に対応する第1の自動遮断弁から順次
閉じていき、全ての前記第1の自動遮断弁が全て閉じた
時点で、前記ガス供給装置の第2の自動遮断弁を閉じて
送気を停止し、この時点で他のガス供給装置に切り替
え、前記消費設備への連続供給は継続することを特徴と
する。
【0023】この発明によれば、複数が並列に接続され
た容器内の内容物は、吐出されて徐々に減っていくが、
容器毎に接続されている個別配管の配管抵抗や、環境温
度による内容物の蒸発速度、各容器の取り付け時の内容
物の充填量の違い等により、容器内の残量の減り方は互
いに少しづつ異なる。各容器毎に設けた残量測定手段に
より、最初に内容物の残量が予め設定された所定の基準
値下回った容器の残量測定手段は、これが取り付けられ
た容器に対応する第1の制御手段を制御し、同容器から
の内容物の吐出を停止する。このまま他の容器からの内
容物の吐出は続行し、続いて内容物の残量が予め設定さ
れた所定の基準値を下回った容器から順次吐出を停止す
る。このように、設置された容器内の内容物の残量が予
め設定された所定の基準値を下回った容器から順次内容
物の吐出を停止させ、最後の容器が吐出を停止した時点
で、例えば第2の制御手段によって全ての容器からの吐
出を停止し、各容器を交換する。なお、容器の交換中は
他のガス供給装置に切り換え、連続供給は中断しない。
また、各容器には手動弁を設け、第1の制御手段によっ
て内容物の吐出が停止した容器から手動弁を閉じてこの
容器を交換し、連続供給は中断しない。
た容器内の内容物は、吐出されて徐々に減っていくが、
容器毎に接続されている個別配管の配管抵抗や、環境温
度による内容物の蒸発速度、各容器の取り付け時の内容
物の充填量の違い等により、容器内の残量の減り方は互
いに少しづつ異なる。各容器毎に設けた残量測定手段に
より、最初に内容物の残量が予め設定された所定の基準
値下回った容器の残量測定手段は、これが取り付けられ
た容器に対応する第1の制御手段を制御し、同容器から
の内容物の吐出を停止する。このまま他の容器からの内
容物の吐出は続行し、続いて内容物の残量が予め設定さ
れた所定の基準値を下回った容器から順次吐出を停止す
る。このように、設置された容器内の内容物の残量が予
め設定された所定の基準値を下回った容器から順次内容
物の吐出を停止させ、最後の容器が吐出を停止した時点
で、例えば第2の制御手段によって全ての容器からの吐
出を停止し、各容器を交換する。なお、容器の交換中は
他のガス供給装置に切り換え、連続供給は中断しない。
また、各容器には手動弁を設け、第1の制御手段によっ
て内容物の吐出が停止した容器から手動弁を閉じてこの
容器を交換し、連続供給は中断しない。
【0024】
【発明の実施の形態】以下に、本発明について説明す
る。図1は、本発明の一実施の形態にかかるガス供給装
置の構成を示す構成図である。本実施の形態では、液化
ガス2が充填された各充填容器1-1、1-2・・・1-n
(これ以降、必要に応じて単に充填容器1と称する)に
は、各々対応する残量計9-1、9-2・・・9-n(これ以
降、必要に応じて単に残量計9と称する)が取り付けら
れている。
る。図1は、本発明の一実施の形態にかかるガス供給装
置の構成を示す構成図である。本実施の形態では、液化
ガス2が充填された各充填容器1-1、1-2・・・1-n
(これ以降、必要に応じて単に充填容器1と称する)に
は、各々対応する残量計9-1、9-2・・・9-n(これ以
降、必要に応じて単に残量計9と称する)が取り付けら
れている。
【0025】この残量計9は、充填容器1内の液化ガス
2の残量が下限値に達すると外部に接点信号を出すもの
であり、この接点信号によって後述の自動遮断弁16を
開閉する。
2の残量が下限値に達すると外部に接点信号を出すもの
であり、この接点信号によって後述の自動遮断弁16を
開閉する。
【0026】これら残量計9-1、9-2・・・9-nには、
予め容器交換レベルの残量下限値が設定される。この残
量下限値は、使用する充填容器1の大きさにもよるが、
一般に充填量の10[%]を下限値としている。
予め容器交換レベルの残量下限値が設定される。この残
量下限値は、使用する充填容器1の大きさにもよるが、
一般に充填量の10[%]を下限値としている。
【0027】具体的な例を示すと、液化アンモニアガス
47L容器に20[kg]の液化ガスを充填すると、残
量下限値は2[kg]である。なおこの場合、残量下限
値を1[kg]としても特に問題はないが、充填容器1
を空にはしない設定とする必要がある。
47L容器に20[kg]の液化ガスを充填すると、残
量下限値は2[kg]である。なおこの場合、残量下限
値を1[kg]としても特に問題はないが、充填容器1
を空にはしない設定とする必要がある。
【0028】また各充填容器1-1、1-2・・・1-nの容
器元栓10は、充填管3ならびに各々に設けられた残量
計9からの信号に連動する自動遮断弁16-1、16-2・
・・16-n(これ以降、必要に応じて単に自動遮断弁1
6と称する)を介して連結配管5に接続されている。
器元栓10は、充填管3ならびに各々に設けられた残量
計9からの信号に連動する自動遮断弁16-1、16-2・
・・16-n(これ以降、必要に応じて単に自動遮断弁1
6と称する)を介して連結配管5に接続されている。
【0029】さらに各充填容器1に接続される充填管3
には、各々圧力を監視する圧力センサ4が設けられてい
る。そして、上述の連結配管5は、本実施の形態におい
て送気開閉処理を行なう自動遮断弁6へと導かれ、送気
ガスは減圧弁7と手動弁8とを介して図示しない消費設
備へと送られる。
には、各々圧力を監視する圧力センサ4が設けられてい
る。そして、上述の連結配管5は、本実施の形態におい
て送気開閉処理を行なう自動遮断弁6へと導かれ、送気
ガスは減圧弁7と手動弁8とを介して図示しない消費設
備へと送られる。
【0030】図2は、本実施の形態における処理の流れ
の一例を示すフローチャートである。本実施の形態では
まず、液化ガス2を充填した各充填容器1をセットする
(ステップSt1)とともに、各々連結配管5に接続さ
れた充填管3によって接続し(ステップSt2)、これ
ら充填容器1の各々に残量計9をセットする(ステップ
St3)。これら各残量計9には、充填容器1を交換す
る判定基準となる残量下限値が、予め設定されている。
の一例を示すフローチャートである。本実施の形態では
まず、液化ガス2を充填した各充填容器1をセットする
(ステップSt1)とともに、各々連結配管5に接続さ
れた充填管3によって接続し(ステップSt2)、これ
ら充填容器1の各々に残量計9をセットする(ステップ
St3)。これら各残量計9には、充填容器1を交換す
る判定基準となる残量下限値が、予め設定されている。
【0031】最初、残量計9によって各々の充填容器1
の初期充填レベルが検出される。この後に各容器元栓1
0を開ける(ステップSt4)と、各々圧力センサ4に
よって液化ガス2の蒸気圧力が検出され、送気可能状態
が確認できる。
の初期充填レベルが検出される。この後に各容器元栓1
0を開ける(ステップSt4)と、各々圧力センサ4に
よって液化ガス2の蒸気圧力が検出され、送気可能状態
が確認できる。
【0032】このように圧力センサ4は、各充填容器1
の容器元栓10が確実に開いているか否かの確認用であ
るとともに、充填容器1の交換時に配管ラインを不活性
ガスで置換する場合に、容器元栓10が確実に閉まって
いる否かを確認するためのものでもある。
の容器元栓10が確実に開いているか否かの確認用であ
るとともに、充填容器1の交換時に配管ラインを不活性
ガスで置換する場合に、容器元栓10が確実に閉まって
いる否かを確認するためのものでもある。
【0033】各自動遮断弁16を開けると、各充填容器
1の液化ガス2が連結配管5へと合流し、これらガスは
自動遮断弁6へと導かれる。自動遮断弁6を開けると、
ガスは減圧弁7により所定の圧力に調圧され、さらに手
動弁8を開けてこのガスを図示しない消費設備へと送気
する(ステップSt5)。
1の液化ガス2が連結配管5へと合流し、これらガスは
自動遮断弁6へと導かれる。自動遮断弁6を開けると、
ガスは減圧弁7により所定の圧力に調圧され、さらに手
動弁8を開けてこのガスを図示しない消費設備へと送気
する(ステップSt5)。
【0034】この状態で送気を続けると、各充填容器1
内の液化ガス2は徐々に減少していく。ただしこのと
き、各充填容器1内の液化ガス2の減り方は、連結配管
5までの配管抵抗の違いや、環境温度の違いによる蒸発
量の違い等が原因で、全て一様には減少しない。
内の液化ガス2は徐々に減少していく。ただしこのと
き、各充填容器1内の液化ガス2の減り方は、連結配管
5までの配管抵抗の違いや、環境温度の違いによる蒸発
量の違い等が原因で、全て一様には減少しない。
【0035】また、最初に取り付けた各充填容器1の液
化ガス2の充填レベルも全く同一ではなく、液化ガス2
の残量は各充填容器1毎に異なってくる。本実施の形態
では、各残量計9によって、各々充填容器1の何れかに
充填された液化ガス2が残量下限値まで減ったか否かを
常時監視する(ステップSt6)。
化ガス2の充填レベルも全く同一ではなく、液化ガス2
の残量は各充填容器1毎に異なってくる。本実施の形態
では、各残量計9によって、各々充填容器1の何れかに
充填された液化ガス2が残量下限値まで減ったか否かを
常時監視する(ステップSt6)。
【0036】ここで、何れかの残量計9が残量下限値を
下回った場合には、対応する充填容器1に接続されてい
る自動遮断弁16を閉じ(ステップSt7)、液化ガス
2の送気を停止する。
下回った場合には、対応する充填容器1に接続されてい
る自動遮断弁16を閉じ(ステップSt7)、液化ガス
2の送気を停止する。
【0037】本実施の形態では、このまま他の充填容器
1からの送気は続行し、他に残量計9の指示値が残量下
限値以上の充填容器1があるか否かを監視する(ステッ
プSt8)。
1からの送気は続行し、他に残量計9の指示値が残量下
限値以上の充填容器1があるか否かを監視する(ステッ
プSt8)。
【0038】図3は本実施の形態の動作の一例を示す構
成図であり、図1に示す構成の内、2基の充填容器1内
の液化ガス2の残量が下限値に達し、自動遮断弁16を
閉じた状態を示している。なお図3において、手動弁8
のように白抜きの弁は開いた状態を示しており、自動遮
断弁16-2のように塗りつぶされた弁は閉じた状態を示
している。
成図であり、図1に示す構成の内、2基の充填容器1内
の液化ガス2の残量が下限値に達し、自動遮断弁16を
閉じた状態を示している。なお図3において、手動弁8
のように白抜きの弁は開いた状態を示しており、自動遮
断弁16-2のように塗りつぶされた弁は閉じた状態を示
している。
【0039】このように、残量計9が残量下限値を下回
った充填容器1に対応する自動遮断弁16から順次閉じ
ていき、全ての自動遮断弁16が閉じた時点で自動遮断
弁6も閉じて、送気を停止する(ステップSt9)。
った充填容器1に対応する自動遮断弁16から順次閉じ
ていき、全ての自動遮断弁16が閉じた時点で自動遮断
弁6も閉じて、送気を停止する(ステップSt9)。
【0040】実際には、この時点で他のガス供給装置に
切り換え、図示しない消費設備への連続供給は継続す
る。他のガス供給装置に切り換えられた後に、全ての充
填容器1の容器元栓10を閉じ、これら充填容器1を交
換する。
切り換え、図示しない消費設備への連続供給は継続す
る。他のガス供給装置に切り換えられた後に、全ての充
填容器1の容器元栓10を閉じ、これら充填容器1を交
換する。
【0041】なお上述の実施の形態では、全ての充填容
器1内の液化ガス2が残量下限を下回った後に、各容器
元栓10を閉じて充填容器1を交換している。本発明の
応用例としては、自動遮断弁16が閉じられた充填容器
1から順次容器元栓10を閉じて、この充填容器1を交
換するものが挙げられる。
器1内の液化ガス2が残量下限を下回った後に、各容器
元栓10を閉じて充填容器1を交換している。本発明の
応用例としては、自動遮断弁16が閉じられた充填容器
1から順次容器元栓10を閉じて、この充填容器1を交
換するものが挙げられる。
【0042】図4は、こうした本発明の応用例にかかる
構成を示す構成図であり、図3において液化ガス2の残
量が残量下限値を下回った充填容器1を交換した状態を
示している。
構成を示す構成図であり、図3において液化ガス2の残
量が残量下限値を下回った充填容器1を交換した状態を
示している。
【0043】即ち図4では、自動遮断弁16が閉じたも
のから、順次充填容器1を交換している。従って、充填
容器1-2と充填容器1-nとは液化ガス2が充填されたも
のに交換されている。
のから、順次充填容器1を交換している。従って、充填
容器1-2と充填容器1-nとは液化ガス2が充填されたも
のに交換されている。
【0044】このような、自動遮断弁16が閉じられた
充填容器1の交換の間も、他の充填容器1からの送気は
継続する。一方、交換を完了した充填容器1(1-2、1
-n)は、再び容器元栓10を開け、またこれに対応する
自動遮断弁16を開けて、送気を再開する。
充填容器1の交換の間も、他の充填容器1からの送気は
継続する。一方、交換を完了した充填容器1(1-2、1
-n)は、再び容器元栓10を開け、またこれに対応する
自動遮断弁16を開けて、送気を再開する。
【0045】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、複数が並列に接続された容器内の内容物は、吐出さ
れて徐々に減っていくが、容器毎に接続されている個別
配管の配管抵抗や、環境温度による内容物の蒸発速度、
各容器の取り付け時の内容物の充填量の違い等により、
容器内の残量の減り方は互いに少しづつ異なる。各容器
毎に設けた残量測定手段により、最初に内容物の残量が
予め設定された所定の基準値下回った容器の残量測定手
段は、これが取り付けられた容器に対応する第1の制御
手段を制御し、同容器からの内容物の吐出を停止する。
このまま他の容器からの内容物の吐出は続行し、続いて
内容物の残量が予め設定された所定の基準値を下回った
容器から順次吐出を停止する。このように、設置された
容器内の内容物の残量が予め設定された所定の基準値を
下回った容器から順次内容物の吐出を停止させ、最後の
容器が吐出を停止した時点で、例えば第2の制御手段に
よって全ての容器からの吐出を停止し、各容器を交換す
る。なお、容器の交換中は他のガス供給装置に切り替
え、連続供給は中断しない。また、各容器には手動弁を
設け、第1の制御手段によって内容物の吐出が停止した
容器から手動弁を閉じてこの容器を交換し、連続供給は
中断しないので、1つの配管に接続された充填容器の各
々についてガスが所定の残量になるまで使用することが
でき、効率的且つ経済的に充填容器の交換が可能であ
り、さらに装置を停止することなく連続してガスを供給
することができるガス供給装置の制御方法が実現可能で
あるという効果が得られる。
ば、複数が並列に接続された容器内の内容物は、吐出さ
れて徐々に減っていくが、容器毎に接続されている個別
配管の配管抵抗や、環境温度による内容物の蒸発速度、
各容器の取り付け時の内容物の充填量の違い等により、
容器内の残量の減り方は互いに少しづつ異なる。各容器
毎に設けた残量測定手段により、最初に内容物の残量が
予め設定された所定の基準値下回った容器の残量測定手
段は、これが取り付けられた容器に対応する第1の制御
手段を制御し、同容器からの内容物の吐出を停止する。
このまま他の容器からの内容物の吐出は続行し、続いて
内容物の残量が予め設定された所定の基準値を下回った
容器から順次吐出を停止する。このように、設置された
容器内の内容物の残量が予め設定された所定の基準値を
下回った容器から順次内容物の吐出を停止させ、最後の
容器が吐出を停止した時点で、例えば第2の制御手段に
よって全ての容器からの吐出を停止し、各容器を交換す
る。なお、容器の交換中は他のガス供給装置に切り替
え、連続供給は中断しない。また、各容器には手動弁を
設け、第1の制御手段によって内容物の吐出が停止した
容器から手動弁を閉じてこの容器を交換し、連続供給は
中断しないので、1つの配管に接続された充填容器の各
々についてガスが所定の残量になるまで使用することが
でき、効率的且つ経済的に充填容器の交換が可能であ
り、さらに装置を停止することなく連続してガスを供給
することができるガス供給装置の制御方法が実現可能で
あるという効果が得られる。
【0046】即ち本発明によれば、個々の充填容器で残
量を監視しているので、全ての充填容器の液化ガスを容
器の交換レベルまで無駄なく使いきることができる。そ
して、容器が空になる前に対応する自動遮断弁が閉じる
ので、完全に空になる容器が発生する可能性はなく、高
い品質でガスの供給が可能で、また返却容器も安全に運
用できる。さらに、何れかの容器を交換中にも他の容器
からガスを供給することができるので、1つのガス供給
装置で連続したガスの供給ができる。
量を監視しているので、全ての充填容器の液化ガスを容
器の交換レベルまで無駄なく使いきることができる。そ
して、容器が空になる前に対応する自動遮断弁が閉じる
ので、完全に空になる容器が発生する可能性はなく、高
い品質でガスの供給が可能で、また返却容器も安全に運
用できる。さらに、何れかの容器を交換中にも他の容器
からガスを供給することができるので、1つのガス供給
装置で連続したガスの供給ができる。
【図1】 本発明の一実施の形態にかかるガス供給装置
の構成を示す構成図である。
の構成を示す構成図である。
【図2】 同実施の形態における処理の流れの一例を示
すフローチャートである。
すフローチャートである。
【図3】 同実施の形態の動作の一例を示す構成図であ
る。
る。
【図4】 本発明の応用例にかかる構成を示す構成図で
ある。
ある。
【図5】 液化ガス供給装置の基本的構成を示す構成図
である。
である。
【図6】 複数の充填容器を並列に配管に接続してガス
を供給するガス供給装置の例を示す構成図である。
を供給するガス供給装置の例を示す構成図である。
【図7】 図6に示すガス供給装置における処理の流れ
の一例を示すフローチャートである。
の一例を示すフローチャートである。
1-1、1-2・・・1-n(1) 充填容器(容器) 2 液化ガス(内容物) 3 充填管(個別配管) 4 圧力センサ(圧力測定手段) 5 連結配管 6 自動遮断弁(第2の制御手段) 7 減圧弁(第2の制御手段) 8 手動弁(第2の制御手段) 9-1、9-2・・・9-n(9) 残量計(残量測定手段) 10 容器元栓(手動弁) 16-1、16-2・・・16-n(16) 自動遮断弁(第
1の制御手段) 501 充填容器 502 液化ガス 503 充填管 504 圧力センサ 506 自動遮断弁 507 減圧弁 508 手動弁 509 残量計 601、601・・・ 充填容器 602 ガス 603 充填管 604 圧力センサ 605 連結配管 606 自動遮断弁 607 減圧弁 608 手動弁 609 残量計 610 容器元栓
1の制御手段) 501 充填容器 502 液化ガス 503 充填管 504 圧力センサ 506 自動遮断弁 507 減圧弁 508 手動弁 509 残量計 601、601・・・ 充填容器 602 ガス 603 充填管 604 圧力センサ 605 連結配管 606 自動遮断弁 607 減圧弁 608 手動弁 609 残量計 610 容器元栓
Claims (1)
- 【請求項1】 複数の容器(1-1、1-2・・・1-n)を
連結配管(5)によって接続して同時供給するガス供給
装置(X)と、当該ガス供給装置に連通する他のガス供
給装置(Y)とによって消費設備へガスを供給するガス
供給装置の制御方法であって、 前記ガス供給装置(X)の複数の容器にそれぞれ設けら
れた残量計(9-1、9-2・・・9-n)が予め設定された
残量下限値を下回った当該容器の各々に対応する第1の
自動遮断弁(16-1、16-2・・・16-n)から順次閉
じていき、 全ての前記第1の自動遮断弁が全て閉じた時点で、前記
ガス供給装置(X)の第2の自動遮断弁(6)を閉じて
送気を停止し(ステップSt9)、 この時点で他のガス供給装置(Y)に切り替え、前記消
費設備への連続供給は継続することを特徴とするガス供
給装置の制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5266198A JP2944611B2 (ja) | 1998-02-19 | 1998-02-19 | ガス供給装置の制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5266198A JP2944611B2 (ja) | 1998-02-19 | 1998-02-19 | ガス供給装置の制御方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11226386A JPH11226386A (ja) | 1999-08-24 |
JP2944611B2 true JP2944611B2 (ja) | 1999-09-06 |
Family
ID=12921059
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5266198A Expired - Fee Related JP2944611B2 (ja) | 1998-02-19 | 1998-02-19 | ガス供給装置の制御方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2944611B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5091539B2 (ja) | 2007-05-17 | 2012-12-05 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 液化ガス供給システム |
JP5111962B2 (ja) * | 2007-07-17 | 2013-01-09 | 大陽日酸株式会社 | 液化ガス供給方法及び装置 |
US8468840B2 (en) * | 2008-07-24 | 2013-06-25 | Praxair Technology | Method and apparatus for simultaneous gas supply from bulk specialty gas supply systems |
JP5792608B2 (ja) * | 2011-12-20 | 2015-10-14 | 大陽日酸株式会社 | 液化ガス供給装置及び方法 |
JP5414849B2 (ja) * | 2012-07-23 | 2014-02-12 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 液化ガス供給方法及び液化ガス供給システムの制御装置 |
CN110565076B (zh) * | 2018-06-06 | 2021-10-15 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 补液方法 |
JP7271472B2 (ja) * | 2020-05-20 | 2023-05-11 | 大陽日酸株式会社 | 液化ガス供給装置、及び液化ガス供給方法 |
CN116293423B (zh) * | 2023-03-10 | 2024-07-23 | 深圳高发气体股份有限公司 | 一种储气罐供气控制方法、装置、设备及存储介质 |
-
1998
- 1998-02-19 JP JP5266198A patent/JP2944611B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11226386A (ja) | 1999-08-24 |
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