JP2937441B2 - Ｈｅ―Ｎｅガスレーザ装置 - Google Patents
Ｈｅ―Ｎｅガスレーザ装置Info
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- JP2937441B2 JP2937441B2 JP21883290A JP21883290A JP2937441B2 JP 2937441 B2 JP2937441 B2 JP 2937441B2 JP 21883290 A JP21883290 A JP 21883290A JP 21883290 A JP21883290 A JP 21883290A JP 2937441 B2 JP2937441 B2 JP 2937441B2
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- laser
- polarization
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Description
【発明の詳細な説明】 〔発明上の利用分野〕 本発明はランダム偏光He−Neガスレーザ装置に関す
る。
る。
従来、ランダム偏光He−Neガスレーザ装置において
は、その出力レーザ光に複数の縦モードが存在する場
合、各縦モードは直線偏光であり、互いに隣り合った２
つの縦モードの偏光方向は互いに直交しているため、出
力レーザ光は互いに直交する二つの偏光面だけを持って
いる。レーザ光の、互いに直交する２つの偏光方向は、
レーザ光の光軸に対して任意であり、個々のレーザ装置
について固有のものである。これは、レーザ管端部に設
けた一対の反射器のもつ異方性の相対的な方向が任意で
あるために、レーザ装置は全体として装置固有の異方特
性をもつことになる。この異方特性によって、発振しう
るレーザ光の、互いに直交する２つの偏光方向が決定さ
れるからである。
は、その出力レーザ光に複数の縦モードが存在する場
合、各縦モードは直線偏光であり、互いに隣り合った２
つの縦モードの偏光方向は互いに直交しているため、出
力レーザ光は互いに直交する二つの偏光面だけを持って
いる。レーザ光の、互いに直交する２つの偏光方向は、
レーザ光の光軸に対して任意であり、個々のレーザ装置
について固有のものである。これは、レーザ管端部に設
けた一対の反射器のもつ異方性の相対的な方向が任意で
あるために、レーザ装置は全体として装置固有の異方特
性をもつことになる。この異方特性によって、発振しう
るレーザ光の、互いに直交する２つの偏光方向が決定さ
れるからである。
上述した従来のランダム偏光He−Neガスレーザ装置で
は、レーザ光の光軸に対して、偏光方向が任意であるた
め、光学系を介して、レーザ応用装置等に実装するな
ど、レーザ光の偏光方向が問題視されるような用途の場
合、個々のレーザ装置の偏光方向を測定し、実装の際、
レーザ装置を回転させるという操作が必要となる。ここ
で、レーザ装置が、回転により特性が変化する要因を持
っている場合、例えば熱的な分布が最適状態からずれた
ためレーザ出力が低下するなどの場合には、実装の際、
レーザ装置を固有の方向に回転させるということが特性
上問題となるという欠点がある。
は、レーザ光の光軸に対して、偏光方向が任意であるた
め、光学系を介して、レーザ応用装置等に実装するな
ど、レーザ光の偏光方向が問題視されるような用途の場
合、個々のレーザ装置の偏光方向を測定し、実装の際、
レーザ装置を回転させるという操作が必要となる。ここ
で、レーザ装置が、回転により特性が変化する要因を持
っている場合、例えば熱的な分布が最適状態からずれた
ためレーザ出力が低下するなどの場合には、実装の際、
レーザ装置を固有の方向に回転させるということが特性
上問題となるという欠点がある。
本発明によるランダム偏光He−Neガスレーザ装置で
は、レーザ管の両端に設けた一対の反射器の異方性を呈
する方向がレーザ装置に対して規定され、且つ、互い
に、直交するように配置されている。
は、レーザ管の両端に設けた一対の反射器の異方性を呈
する方向がレーザ装置に対して規定され、且つ、互い
に、直交するように配置されている。
次に、本発明について図面を参照して説明する。第１
図は本発明の一実施例のHe−Neガスレーザ装置を示す断
面図である。第１図において、出力側反射器11は屈折率
が異なる２種類の誘電材料層を交互に多層積層して構成
し、１％程度の透過率を有し、金属支持体部品21に低融
点ガラス等によりシールされている。同様に全反射側反
射器12には金属排気管３を有する金属支持体部品22にシ
ールされている。ガラスバルブ４は、金属支持体部品21
及び22が両端に接合されてレーザ管をなしており、内部
にガラス細管５及びAl製カソード６を有し、HeとNeが充
填されている。
図は本発明の一実施例のHe−Neガスレーザ装置を示す断
面図である。第１図において、出力側反射器11は屈折率
が異なる２種類の誘電材料層を交互に多層積層して構成
し、１％程度の透過率を有し、金属支持体部品21に低融
点ガラス等によりシールされている。同様に全反射側反
射器12には金属排気管３を有する金属支持体部品22にシ
ールされている。ガラスバルブ４は、金属支持体部品21
及び22が両端に接合されてレーザ管をなしており、内部
にガラス細管５及びAl製カソード６を有し、HeとNeが充
填されている。
第２図（ａ），（ｂ）は、第１図における２個の反射
器11,12の実装状態での異方性の方向（第２図（ａ）に
矢印 で示す。）と発振するレーザ光の互いに直交する２つの
偏光方向（第２図（ｂ））の関係を模式的に示した図で
あり、また、第３図は、反射器11,12の異方性の方向の
測定方法の一例を示した図である。
器11,12の実装状態での異方性の方向（第２図（ａ）に
矢印 で示す。）と発振するレーザ光の互いに直交する２つの
偏光方向（第２図（ｂ））の関係を模式的に示した図で
あり、また、第３図は、反射器11,12の異方性の方向の
測定方法の一例を示した図である。
第３図において、反射器11,12に直線偏光のレーザ光
をほぼ垂直に入射し反射器11,12を回転させて、反射光
の強度が最大になったときの直線偏光のレーザ光の偏光
方向をその反射器11,12の異方性の方向と定め、例えば
矢印 で示す。そして２個の反射器11と12を、第２図（ａ）に
示すように、それぞれの異方性の方向（矢印の方向）が
互いに直交するように配置することにより、レーザ装置
全体としては、第２図（ｂ）に示すように、互いに直交
する２つの方向に異方性を有することになる。この２つ
の偏光方向に対してより高い利得を有するために、発振
する２つの互いに直交する、縦モードの偏光方向は、こ
の２つの偏光方向に発振し易くなる。即ち、２個の反射
器の異方性を呈する方向を、レーザ管あるいはレーザ装
置に対して規定し、且つ、互いに直交するように反射器
を実装することにより、発振する互いに直交する、縦モ
ードの偏光方向の方向をレーザ管あるいはレーザ装置に
対して規定できる。
をほぼ垂直に入射し反射器11,12を回転させて、反射光
の強度が最大になったときの直線偏光のレーザ光の偏光
方向をその反射器11,12の異方性の方向と定め、例えば
矢印 で示す。そして２個の反射器11と12を、第２図（ａ）に
示すように、それぞれの異方性の方向（矢印の方向）が
互いに直交するように配置することにより、レーザ装置
全体としては、第２図（ｂ）に示すように、互いに直交
する２つの方向に異方性を有することになる。この２つ
の偏光方向に対してより高い利得を有するために、発振
する２つの互いに直交する、縦モードの偏光方向は、こ
の２つの偏光方向に発振し易くなる。即ち、２個の反射
器の異方性を呈する方向を、レーザ管あるいはレーザ装
置に対して規定し、且つ、互いに直交するように反射器
を実装することにより、発振する互いに直交する、縦モ
ードの偏光方向の方向をレーザ管あるいはレーザ装置に
対して規定できる。
以上説明したように本発明は、ランダム偏光He−Neガ
スレーザ装置において、一対の反射器の異方性を呈する
方向を、ガスレーザ装置に対して規定し、且つ、互いに
直交するように配置することにより、ガスレーザ装置の
偏光方向を特定の方向に安定的に規定出来る効果があ
る。すなわち、ランダム偏光レーザ装置は、縦モードが
複数本発振している場合には、互いに隣り合った縦モー
ドの偏光面は直交しているので、レーザ出力光は、偏光
面が全く無方向にあるのではなく、互いに直交する２つ
の偏光面だけを持っている。この偏光面が、水平・垂直
面に対して何度になっているかという事は、個々のレー
ザ装置に関して全くランダムであり、レーザ管内であら
ゆる方向・角度の、誘導放出、光共振器用ミラー間での
反射・増幅によりレーザ発振に至る過程において、最も
発振しやすい偏光方向の縦モードのみが選択的に発振す
る。この、最も発振しやすい偏光方向は、レーザ発振に
寄与する、レーザ管、封入ガス、ミラー、放電等の方向
性によって決定される。特に、レーザ装置の製造工程に
おいて方向性のばらつきが生じるミラーの異方性の寄与
が大きく、レーザの偏光面はほぼミラーの異方性によっ
て決定される。２枚の相対向するミラーの異方性が互い
に任意の方向になっていて、レーザ装置に対しても任意
の方向になっている場合、レーザ光の偏光面が、レーザ
装置のある基準面（例えば、基台）に対して何度傾いて
いるか不明である。また、一対のミラーの異方性の方向
が互いに直交せずに、任意の方向になっていると、レー
ザ光の互いに偏光面が直交する縦モードのうち、一方の
偏光面を有する縦モードの利得が高く、これと直交する
偏光面を有する縦モードの利得は低くなるので、出力が
不安定になる。しかし、本発明は、２枚の相対向するミ
ラーの異方性を互いに直交するように配置し、且つ、ミ
ラーの異方性の方向をレーザ装置に対して特定の方向に
設定し、レーザ管内部の発振しやすい２つの直交方向を
規定しているので、レーザ光の偏光面を、レーザ装置に
対してある特定の方向に規定する事ができる。また、本
発明は、一対のミラーの異方性の方向が互いに直交して
いるので、互いに偏光面が直交する縦モードに対する利
得は、どちらの偏光面の縦モードに対しても同じであ
り、安定した出力が得られる。
スレーザ装置において、一対の反射器の異方性を呈する
方向を、ガスレーザ装置に対して規定し、且つ、互いに
直交するように配置することにより、ガスレーザ装置の
偏光方向を特定の方向に安定的に規定出来る効果があ
る。すなわち、ランダム偏光レーザ装置は、縦モードが
複数本発振している場合には、互いに隣り合った縦モー
ドの偏光面は直交しているので、レーザ出力光は、偏光
面が全く無方向にあるのではなく、互いに直交する２つ
の偏光面だけを持っている。この偏光面が、水平・垂直
面に対して何度になっているかという事は、個々のレー
ザ装置に関して全くランダムであり、レーザ管内であら
ゆる方向・角度の、誘導放出、光共振器用ミラー間での
反射・増幅によりレーザ発振に至る過程において、最も
発振しやすい偏光方向の縦モードのみが選択的に発振す
る。この、最も発振しやすい偏光方向は、レーザ発振に
寄与する、レーザ管、封入ガス、ミラー、放電等の方向
性によって決定される。特に、レーザ装置の製造工程に
おいて方向性のばらつきが生じるミラーの異方性の寄与
が大きく、レーザの偏光面はほぼミラーの異方性によっ
て決定される。２枚の相対向するミラーの異方性が互い
に任意の方向になっていて、レーザ装置に対しても任意
の方向になっている場合、レーザ光の偏光面が、レーザ
装置のある基準面（例えば、基台）に対して何度傾いて
いるか不明である。また、一対のミラーの異方性の方向
が互いに直交せずに、任意の方向になっていると、レー
ザ光の互いに偏光面が直交する縦モードのうち、一方の
偏光面を有する縦モードの利得が高く、これと直交する
偏光面を有する縦モードの利得は低くなるので、出力が
不安定になる。しかし、本発明は、２枚の相対向するミ
ラーの異方性を互いに直交するように配置し、且つ、ミ
ラーの異方性の方向をレーザ装置に対して特定の方向に
設定し、レーザ管内部の発振しやすい２つの直交方向を
規定しているので、レーザ光の偏光面を、レーザ装置に
対してある特定の方向に規定する事ができる。また、本
発明は、一対のミラーの異方性の方向が互いに直交して
いるので、互いに偏光面が直交する縦モードに対する利
得は、どちらの偏光面の縦モードに対しても同じであ
り、安定した出力が得られる。
第１図は本発明による一実施例を示す断面図、第２図は
一対の反射器の異方性の方向と発振するレーザ光の偏光
方向との関係を模式的に示した図、第３図は反射器の異
方性の方向の測定方法の一例を示した図である。 11……出力側反射器、12……全反射側反射器、21,22…
…金属支持体部品、３……金属排気管、４……ガラスバ
ルブ、５……ガラス細管、６……Al製カソード。
一対の反射器の異方性の方向と発振するレーザ光の偏光
方向との関係を模式的に示した図、第３図は反射器の異
方性の方向の測定方法の一例を示した図である。 11……出力側反射器、12……全反射側反射器、21,22…
…金属支持体部品、３……金属排気管、４……ガラスバ
ルブ、５……ガラス細管、６……Al製カソード。
Claims (1)
- 【請求項１】電極を具備し、レーザガスを封入したレー
ザ管を、屈折率が異なる２種類の誘電材料層を多数交互
に設けて構成した誘電体多層膜から成り、反射特性が異
方性を示す一対の反射器間にそなえたHe−Neガスレーザ
装置において、前記２つの反射器の、異方性を呈する方
向がレーザ装置に対して規定され、且つ、互いに直交す
るように配置されていることを特徴とするHe−Neガスレ
ーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21883290A JP2937441B2 (ja) | 1990-08-20 | 1990-08-20 | Ｈｅ―Ｎｅガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21883290A JP2937441B2 (ja) | 1990-08-20 | 1990-08-20 | Ｈｅ―Ｎｅガスレーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04101477A JPH04101477A (ja) | 1992-04-02 |
| JP2937441B2 true JP2937441B2 (ja) | 1999-08-23 |
Family
ID=16726043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21883290A Expired - Lifetime JP2937441B2 (ja) | 1990-08-20 | 1990-08-20 | Ｈｅ―Ｎｅガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2937441B2 (ja) |
-
1990
- 1990-08-20 JP JP21883290A patent/JP2937441B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04101477A (ja) | 1992-04-02 |
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