JP2934698B2 - アライメントマークの自動サーチ方式 - Google Patents
アライメントマークの自動サーチ方式Info
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- JP2934698B2 JP2934698B2 JP25287593A JP25287593A JP2934698B2 JP 2934698 B2 JP2934698 B2 JP 2934698B2 JP 25287593 A JP25287593 A JP 25287593A JP 25287593 A JP25287593 A JP 25287593A JP 2934698 B2 JP2934698 B2 JP 2934698B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、検査工程，組み立て工
程などで用いられる各種のアライメント装置に適用され
るアライメントマークの自動サーチ方式に関するもので
ある。
程などで用いられる各種のアライメント装置に適用され
るアライメントマークの自動サーチ方式に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来、カメラ視野内にアライメントマー
クが存在しないときは、自動アライメントを中止し、オ
ペレータによる手動アライメントに切り換えて対応する
ようにしていた。
クが存在しないときは、自動アライメントを中止し、オ
ペレータによる手動アライメントに切り換えて対応する
ようにしていた。
【０００３】あるいは、人の介在による時間的・物理的
ロスをできるだけ削減する目的で、機械系の精度の向上
や、ＣＣＤカメラの解像度のアップなど光学系の精度の
向上を図ることで対応するという考え方もある。
ロスをできるだけ削減する目的で、機械系の精度の向上
や、ＣＣＤカメラの解像度のアップなど光学系の精度の
向上を図ることで対応するという考え方もある。
【０００４】大掛かりなシステムでは、光学系にズーム
機能をもたせて視野の拡大を図る試みもある。
機能をもたせて視野の拡大を図る試みもある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】オペレータによる手動
アライメントの場合には、ロスタイムが大きくなること
が避けられない。一方、機械系，光学系の精度向上を行
う場合には、自ずと相当なコストアップを招くことにな
る。ズーム機能をもたせる場合も同様である。
アライメントの場合には、ロスタイムが大きくなること
が避けられない。一方、機械系，光学系の精度向上を行
う場合には、自ずと相当なコストアップを招くことにな
る。ズーム機能をもたせる場合も同様である。
【０００６】本発明は、このような事情に鑑みて創案さ
れたものであって、手動アライメントを必要とせず、ま
た、必要以上の機械精度や光学系解像度の向上を図らな
くても、従来と同程度のハード構成においてアライメン
トマークを自動サーチできるようにし、タイムロスやコ
ストの増大を避けることを目的とする。
れたものであって、手動アライメントを必要とせず、ま
た、必要以上の機械精度や光学系解像度の向上を図らな
くても、従来と同程度のハード構成においてアライメン
トマークを自動サーチできるようにし、タイムロスやコ
ストの増大を避けることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明に係る第１のアラ
イメントマークの自動サーチ方式は、２点以上のアライ
メントにおいて第１の視野内にアライメントマークが見
えておりかつ第２の視野内にはアライメントマークが見
えていないとき、ｘ方向，ｙ方向の移動により第１の視
野のアライメントマークをその視野の中心に移動させ、
次いで、第１の視野からアライメントマークがはみ出さ
ない所定の角度だけ回転中心まわりに回転させ、回転移
動後のアライメントマークを第１の視野の中心に戻すよ
うにｘ方向，ｙ方向で移動させ、以上のような回転と移
動の繰り返しにより、一方のアライメントマークを第１
の視野内に存在させた状態を保ちつつ見えない方のアラ
イメントマークを自動的に第２の視野内に入れるように
したことを特徴とする。
イメントマークの自動サーチ方式は、２点以上のアライ
メントにおいて第１の視野内にアライメントマークが見
えておりかつ第２の視野内にはアライメントマークが見
えていないとき、ｘ方向，ｙ方向の移動により第１の視
野のアライメントマークをその視野の中心に移動させ、
次いで、第１の視野からアライメントマークがはみ出さ
ない所定の角度だけ回転中心まわりに回転させ、回転移
動後のアライメントマークを第１の視野の中心に戻すよ
うにｘ方向，ｙ方向で移動させ、以上のような回転と移
動の繰り返しにより、一方のアライメントマークを第１
の視野内に存在させた状態を保ちつつ見えない方のアラ
イメントマークを自動的に第２の視野内に入れるように
したことを特徴とする。
【０００８】本発明に係る第２のアライメントマークの
自動サーチ方式は、２点以上のアライメントにおいてい
ずれの視野内にもアライメントマークが見えていないと
き、最初に視野に入ったエリアである原位置の視野を中
心にして、次の視野として原位置の視野およびすでに設
定した視野に対してアライメントマークの大きさ以上の
範囲でオーバーラップさせる視野を設定してアライメン
トマークが入ったか否かを判断し、このような視野設定
を原位置の視野のまわりでｘ方向およびｙ方向に順次進
めて１階層目のサーチを行い、１階層目で見つからなか
ったときは、１階層目のまわりで上記と同様にして矩形
で環状のサーチを行い、以下同様にして順次外側に矩形
環状のサーチを進めていくことにより見えなかったアラ
イメントマークを自動的に視野内に入れるようにするこ
とを特徴とする。
自動サーチ方式は、２点以上のアライメントにおいてい
ずれの視野内にもアライメントマークが見えていないと
き、最初に視野に入ったエリアである原位置の視野を中
心にして、次の視野として原位置の視野およびすでに設
定した視野に対してアライメントマークの大きさ以上の
範囲でオーバーラップさせる視野を設定してアライメン
トマークが入ったか否かを判断し、このような視野設定
を原位置の視野のまわりでｘ方向およびｙ方向に順次進
めて１階層目のサーチを行い、１階層目で見つからなか
ったときは、１階層目のまわりで上記と同様にして矩形
で環状のサーチを行い、以下同様にして順次外側に矩形
環状のサーチを進めていくことにより見えなかったアラ
イメントマークを自動的に視野内に入れるようにするこ
とを特徴とする。
【０００９】
【作用】第１のサーチ方式の場合は一方のアライメント
マークが第１の視野内に存在しているのであるが、ま
ず、そのアライメントマークを第１の視野の中心に位置
させるようにｘ方向，ｙ方向で移動させ、次いで、その
状態で回転系の回転中心まわりに全体を回転させる。第
１の視野の中心と回転系の回転中心とは位置が異なるの
で、回転に伴って見えているアライメントマークも回転
していくことになる。そこで、回転の角度は第１の視野
からそのアライメントマークがはみ出さない範囲の所定
の角度だけとする。そして、再びアライメントマークを
第１の視野の中心に位置させるようｘ方向，ｙ方向で移
動させる。このような回転と移動の繰り返しにより、見
えているアライメントマークを基準として見えない方の
アライメントマークを自動的に第２の視野内に入れるこ
とができる。
マークが第１の視野内に存在しているのであるが、ま
ず、そのアライメントマークを第１の視野の中心に位置
させるようにｘ方向，ｙ方向で移動させ、次いで、その
状態で回転系の回転中心まわりに全体を回転させる。第
１の視野の中心と回転系の回転中心とは位置が異なるの
で、回転に伴って見えているアライメントマークも回転
していくことになる。そこで、回転の角度は第１の視野
からそのアライメントマークがはみ出さない範囲の所定
の角度だけとする。そして、再びアライメントマークを
第１の視野の中心に位置させるようｘ方向，ｙ方向で移
動させる。このような回転と移動の繰り返しにより、見
えているアライメントマークを基準として見えない方の
アライメントマークを自動的に第２の視野内に入れるこ
とができる。
【００１０】第２のサーチ方式の場合はアライメントマ
ークがいずれの視野にも存在しないのであるが、原位置
の視野を中心にしてその周囲に視野を設定する。このと
き、アライメントマークが直近にあれば見逃さないよう
にするため、原位置の視野に対してアライメントマーク
の大きさ以上の範囲でオーバーラップさせて視野を設定
する。１階層目では、上側ｘ方向で複数箇所の設定を行
ってアライメントマークがなければ、右側ｙ方向で複数
箇所の設定を行い、さらに、アライメントマークがなけ
れば、下側ｘ方向で複数箇所の設定を行ってアライメン
トマークがなければ、左側ｙ方向で複数箇所の設定を行
う。１階層目でアライメントマークが見つからなけれ
ば、１階層目の外側において２階層目のサーチを行い、
それでもなければ３階層目に移る。以上のような矩形で
環状のサーチを何階層かにわたって進めることにより、
見えなかったアライメントマークを自動的に視野内に入
れることができる。
ークがいずれの視野にも存在しないのであるが、原位置
の視野を中心にしてその周囲に視野を設定する。このと
き、アライメントマークが直近にあれば見逃さないよう
にするため、原位置の視野に対してアライメントマーク
の大きさ以上の範囲でオーバーラップさせて視野を設定
する。１階層目では、上側ｘ方向で複数箇所の設定を行
ってアライメントマークがなければ、右側ｙ方向で複数
箇所の設定を行い、さらに、アライメントマークがなけ
れば、下側ｘ方向で複数箇所の設定を行ってアライメン
トマークがなければ、左側ｙ方向で複数箇所の設定を行
う。１階層目でアライメントマークが見つからなけれ
ば、１階層目の外側において２階層目のサーチを行い、
それでもなければ３階層目に移る。以上のような矩形で
環状のサーチを何階層かにわたって進めることにより、
見えなかったアライメントマークを自動的に視野内に入
れることができる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明に係るアライメントマークの自
動サーチ方式の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。
動サーチ方式の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。
【００１２】２点以上のアライメントにおいて視野内に
アライメントマークが存在しない状態には、いずれか１
点のみが見えている場合とすべて見えていない場合の２
通りがある。
アライメントマークが存在しない状態には、いずれか１
点のみが見えている場合とすべて見えていない場合の２
通りがある。
【００１３】（ａ）いずれか１つのアライメントマーク
のみが見えている場合 まず、いずれか１つのアライメントマークのみが見えて
いる場合の他のアライメントマークの自動サーチ方式に
ついて、図１〜図５を用いて説明する。
のみが見えている場合 まず、いずれか１つのアライメントマークのみが見えて
いる場合の他のアライメントマークの自動サーチ方式に
ついて、図１〜図５を用いて説明する。
【００１４】図１に示すように、第１の視野１１にはア
ライメントマークｍ1 が見えており、第２の視野１２に
はアライメントマークｍ2 が見えていないとする。
ライメントマークｍ1 が見えており、第２の視野１２に
はアライメントマークｍ2 が見えていないとする。
【００１５】 見えているアライメントマークｍ1 を
ｘ方向，ｙ方向のみの移動により、第１の視野１１の中
心（ｘ1 ，ｙ1 ）に位置合わせする。これはｘテーブ
ル，ｙテーブルの微調整移動によって行う。
ｘ方向，ｙ方向のみの移動により、第１の視野１１の中
心（ｘ1 ，ｙ1 ）に位置合わせする。これはｘテーブ
ル，ｙテーブルの微調整移動によって行う。
【００１６】 回転系であるθテーブルの微調整回転
により、見えているアライメントマークｍ1 を第１の視
野１１内でΔθだけ回転させる。この場合、θテーブル
の回転軸を回転中心（０，０）として回転させることに
なる。見えているアライメントマークｍ1 の回転後の位
置（ｘ2 ，ｙ2 ）は、図２に示すように、 ｘ2 ＝ｒcos （θ＋Δθ） ｙ2 ＝ｒsin （θ＋Δθ） となり、中心（ｘ1 ，ｙ1 ）からずれることになる。
により、見えているアライメントマークｍ1 を第１の視
野１１内でΔθだけ回転させる。この場合、θテーブル
の回転軸を回転中心（０，０）として回転させることに
なる。見えているアライメントマークｍ1 の回転後の位
置（ｘ2 ，ｙ2 ）は、図２に示すように、 ｘ2 ＝ｒcos （θ＋Δθ） ｙ2 ＝ｒsin （θ＋Δθ） となり、中心（ｘ1 ，ｙ1 ）からずれることになる。
【００１７】 回転移動後の（ｘ2 ，ｙ2 ）における
アライメントマークｍ1 を、ｘ方向，ｙ方向のみの移動
により元の中心（ｘ1 ，ｙ1 ）に戻すには、ｘ方向，ｙ
方向の移動量をそれぞれ、 −（ｘ2 −ｘ1 ）＝−（ｒcos （θ＋Δθ）−ｒcos
θ） −（ｙ2 −ｙ1 ）＝−（ｒsin （θ＋Δθ）−ｒsin
θ） とすればよい。これは演算によって求めることができ
る。このとき、見えていない方のアライメントマークｍ
2 の位置は、移動後の位置を（ｘ2 ′，ｙ2 ′）とする
と、 ｘ2 ′＝ｒ′cos （θ′−Δθ）−（ｒcos θ−ｒcos
（θ＋Δθ）） ｙ2 ′＝ｒ′sin （θ′−Δθ）−（ｒsin θ−ｒsin
（θ＋Δθ）） となる。
アライメントマークｍ1 を、ｘ方向，ｙ方向のみの移動
により元の中心（ｘ1 ，ｙ1 ）に戻すには、ｘ方向，ｙ
方向の移動量をそれぞれ、 −（ｘ2 −ｘ1 ）＝−（ｒcos （θ＋Δθ）−ｒcos
θ） −（ｙ2 −ｙ1 ）＝−（ｒsin （θ＋Δθ）−ｒsin
θ） とすればよい。これは演算によって求めることができ
る。このとき、見えていない方のアライメントマークｍ
2 の位置は、移動後の位置を（ｘ2 ′，ｙ2 ′）とする
と、 ｘ2 ′＝ｒ′cos （θ′−Δθ）−（ｒcos θ−ｒcos
（θ＋Δθ）） ｙ2 ′＝ｒ′sin （θ′−Δθ）−（ｒsin θ−ｒsin
（θ＋Δθ）） となる。
【００１８】ここで、回転角度Δθについて考えてみ
る。図３に示すように、第１の視野１１と第２の視野１
２との中心間の距離をｄとすると、第１の視野１１の中
心から見て第２の視野１２のエリアは、角度θ0 に相当
する。すなわち、 tan （θ0 ／２）＝（ｙ0 ／２）／ｄ したがって、 θ0 ＝２×tan -1（ｙ0 ／２ｄ） 図４に示すように、アライメントマークｍ2 を見落とさ
ないためには、回転は角度θ0 以下で行わなければなら
ない。このため、±θ0 ／２単位で振って回転させる。
すなわち、 Δθ＝θ0 ／２＝tan -1（ｙ0 ／２ｄ） である。
る。図３に示すように、第１の視野１１と第２の視野１
２との中心間の距離をｄとすると、第１の視野１１の中
心から見て第２の視野１２のエリアは、角度θ0 に相当
する。すなわち、 tan （θ0 ／２）＝（ｙ0 ／２）／ｄ したがって、 θ0 ＝２×tan -1（ｙ0 ／２ｄ） 図４に示すように、アライメントマークｍ2 を見落とさ
ないためには、回転は角度θ0 以下で行わなければなら
ない。このため、±θ0 ／２単位で振って回転させる。
すなわち、 Δθ＝θ0 ／２＝tan -1（ｙ0 ／２ｄ） である。
【００１９】補正するｘ方向，ｙ方向の移動量は、それ
ぞれ、 δｘ＝ｒcos （θ＋Δθ）−ｒcos θ δｙ＝ｒsin （θ＋Δθ）−ｒsin θ であり、一方で、θは、図５より、 θ＝tan -1（ｙ1 ／｜ｘ1 ｜） であるから、 δｘ＝ｒcos （tan -1（ｙ1 ／｜ｘ1 ｜）＋Δθ）−ｒ
cos （tan -1（ｙ1 ／｜ｘ1 ｜）） δｙ＝ｒsin （tan -1（ｙ1 ／｜ｘ1 ｜）＋Δθ）−ｒ
sin （tan -1（ｙ1 ／｜ｘ1 ｜）） となる。これは演算によって求めることができる。
ぞれ、 δｘ＝ｒcos （θ＋Δθ）−ｒcos θ δｙ＝ｒsin （θ＋Δθ）−ｒsin θ であり、一方で、θは、図５より、 θ＝tan -1（ｙ1 ／｜ｘ1 ｜） であるから、 δｘ＝ｒcos （tan -1（ｙ1 ／｜ｘ1 ｜）＋Δθ）−ｒ
cos （tan -1（ｙ1 ／｜ｘ1 ｜）） δｙ＝ｒsin （tan -1（ｙ1 ／｜ｘ1 ｜）＋Δθ）−ｒ
sin （tan -1（ｙ1 ／｜ｘ1 ｜）） となる。これは演算によって求めることができる。
【００２０】以上のような、Δθの回転とδｘ，δｙの
移動との繰り返しにより、一方のアライメントマークｍ
1 を第１の視野１１内に存在させた状態を保ちつつ、見
えない方のアライメントマークｍ2 を自動的に第２の視
野１２内に入れることができるようになる。
移動との繰り返しにより、一方のアライメントマークｍ
1 を第１の視野１１内に存在させた状態を保ちつつ、見
えない方のアライメントマークｍ2 を自動的に第２の視
野１２内に入れることができるようになる。
【００２１】（ｂ）アライメントマークがすべて見えて
いない場合 最初に視野に入ったエリア（以下、原位置の視野と呼
ぶ）を中心に、その周辺を、アライメントマークを見落
とさないようにアライメントマークの大きさ以上オーバ
ーラップしてサーチする。
いない場合 最初に視野に入ったエリア（以下、原位置の視野と呼
ぶ）を中心に、その周辺を、アライメントマークを見落
とさないようにアライメントマークの大きさ以上オーバ
ーラップしてサーチする。
【００２２】アライメントマークのｘ方向，ｙ方向の大
きさをそれぞれΔｘ，Δｙとすると、原位置の視野とサ
ーチするエリアのオーバーラップする範囲のｘ方向，ｙ
方向それぞれの大きさは、 ｘ方向：１．５×Δｘ ｙ方向：１．５×Δｙ である。原位置の視野の中心を（０，０）、視野範囲の
ｘ方向，ｙ方向の大きさをそれぞれｘ0 ，ｙ0 とする
と、原位置の視野に対して例えば１階層目（原位置の視
野の最近傍の層）で設定される視野の中心は、次のよう
になる。図６に示すように、 〔１〕第１の視野の中心（ｘ1 ，ｙ1 ）は、 ｘ1 ＝−ｘ0 ＋１．５×Δｘ ｙ1 ＝ ｙ0 −１．５×Δｙ 〔２〕第２の視野の中心（ｘ2 ，ｙ2 ）は、 ｘ2 ＝ ０ ｙ2 ＝ ｙ0 −１．５×Δｙ 〔３〕第３の視野の中心（ｘ3 ，ｙ3 ）は、 ｘ3 ＝ ｘ0 −１．５×Δｘ ｙ3 ＝ ｙ0 −１．５×Δｙ 〔４〕第４の視野の中心（ｘ4 ，ｙ4 ）は、 ｘ4 ＝ ｘ0 −１．５×Δｘ ｙ4 ＝ ０ 〔５〕第５の視野の中心（ｘ5 ，ｙ5 ）は、 ｘ5 ＝ ｘ0 −１．５×Δｘ ｙ5 ＝−ｙ0 ＋１．５×Δｙ 〔６〕第６の視野の中心（ｘ6 ，ｙ6 ）は、 ｘ6 ＝ ０ ｙ6 ＝−ｙ0 ＋１．５×Δｙ 〔７〕第７の視野の中心（ｘ7 ，ｙ7 ）は、 ｘ7 ＝−ｘ0 ＋１．５×Δｘ ｙ7 ＝−ｙ0 ＋１．５×Δｙ 〔８〕第８の視野の中心（ｘ8 ，ｙ8 ）は、 ｘ8 ＝−ｘ0 ＋１．５×Δｘ ｙ8 ＝ ０ となる。
きさをそれぞれΔｘ，Δｙとすると、原位置の視野とサ
ーチするエリアのオーバーラップする範囲のｘ方向，ｙ
方向それぞれの大きさは、 ｘ方向：１．５×Δｘ ｙ方向：１．５×Δｙ である。原位置の視野の中心を（０，０）、視野範囲の
ｘ方向，ｙ方向の大きさをそれぞれｘ0 ，ｙ0 とする
と、原位置の視野に対して例えば１階層目（原位置の視
野の最近傍の層）で設定される視野の中心は、次のよう
になる。図６に示すように、 〔１〕第１の視野の中心（ｘ1 ，ｙ1 ）は、 ｘ1 ＝−ｘ0 ＋１．５×Δｘ ｙ1 ＝ ｙ0 −１．５×Δｙ 〔２〕第２の視野の中心（ｘ2 ，ｙ2 ）は、 ｘ2 ＝ ０ ｙ2 ＝ ｙ0 −１．５×Δｙ 〔３〕第３の視野の中心（ｘ3 ，ｙ3 ）は、 ｘ3 ＝ ｘ0 −１．５×Δｘ ｙ3 ＝ ｙ0 −１．５×Δｙ 〔４〕第４の視野の中心（ｘ4 ，ｙ4 ）は、 ｘ4 ＝ ｘ0 −１．５×Δｘ ｙ4 ＝ ０ 〔５〕第５の視野の中心（ｘ5 ，ｙ5 ）は、 ｘ5 ＝ ｘ0 −１．５×Δｘ ｙ5 ＝−ｙ0 ＋１．５×Δｙ 〔６〕第６の視野の中心（ｘ6 ，ｙ6 ）は、 ｘ6 ＝ ０ ｙ6 ＝−ｙ0 ＋１．５×Δｙ 〔７〕第７の視野の中心（ｘ7 ，ｙ7 ）は、 ｘ7 ＝−ｘ0 ＋１．５×Δｘ ｙ7 ＝−ｙ0 ＋１．５×Δｙ 〔８〕第８の視野の中心（ｘ8 ，ｙ8 ）は、 ｘ8 ＝−ｘ0 ＋１．５×Δｘ ｙ8 ＝ ０ となる。
【００２３】〔１〕〜〔３〕をまとめると、 ｘ〔１〕＝−（１−ｊ）×（ｘ−１．５×Δｘ）
０≦ｊ≦２ ｙ〔１〕＝１×（ｙ−１．５×Δｙ） 〔３〕〜〔５〕をまとめると、 ｘ〔１〕＝１×（ｘ−１．５×Δｘ） ｙ〔１〕＝（１−ｋ）×（ｙ−１．５×Δｙ）
０≦ｋ≦２ 〔５〕〜〔７〕をまとめると、 ｘ〔１〕＝（１−ｊ）×（ｘ−１．５×Δｘ）
０≦ｊ≦２ ｙ〔１〕＝−１×（ｙ−１．５×Δｙ） 〔７〕，〔８〕，〔１〕をまとめると、 ｘ〔１〕＝−１×（ｘ−１．５×Δｘ） ｙ〔１〕＝−（１−ｋ）×（ｙ−１．５×Δｙ）
０≦ｋ≦２ となる。
０≦ｊ≦２ ｙ〔１〕＝１×（ｙ−１．５×Δｙ） 〔３〕〜〔５〕をまとめると、 ｘ〔１〕＝１×（ｘ−１．５×Δｘ） ｙ〔１〕＝（１−ｋ）×（ｙ−１．５×Δｙ）
０≦ｋ≦２ 〔５〕〜〔７〕をまとめると、 ｘ〔１〕＝（１−ｊ）×（ｘ−１．５×Δｘ）
０≦ｊ≦２ ｙ〔１〕＝−１×（ｙ−１．５×Δｙ） 〔７〕，〔８〕，〔１〕をまとめると、 ｘ〔１〕＝−１×（ｘ−１．５×Δｘ） ｙ〔１〕＝−（１−ｋ）×（ｙ−１．５×Δｙ）
０≦ｋ≦２ となる。
【００２４】一般的に、原位置の視野に対してｎ階層目
の視野の中心ｘ〔ｎ〕，ｙ〔ｎ〕の座標は（図７参
照）、 上側横方向の近傍の場合 ｘ〔ｎ〕＝−（ｎ−ｊ）×（ｘ0 −１．５×Δｘ）
０≦ｊ≦２ｎ ｙ〔ｎ〕＝ｎ×（ｙ0 −１．５×Δｙ） 右側縦方向の近傍の場合 ｘ〔ｎ〕＝ｎ×（ｘ0 −１．５×Δｘ） ｙ〔ｎ〕＝（ｎ−ｋ）×（ｙ0 −１．５×Δｙ）
０≦ｋ≦２ｎ 下側横方向の近傍の場合 ｘ〔ｎ〕＝（ｎ−ｊ）×（ｘ0 −１．５×Δｘ）
０≦ｊ≦２ｎ ｙ〔ｎ〕＝−ｎ×（ｙ0 −１．５×Δｙ） 左側縦方向の近傍の場合 ｘ〔ｎ〕＝−ｎ×（ｘ0 −１．５×Δｘ） ｙ〔ｎ〕＝−（ｎ−ｋ）×（ｙ0 −１．５×Δｙ）
０≦ｋ≦２ｎ となる。
の視野の中心ｘ〔ｎ〕，ｙ〔ｎ〕の座標は（図７参
照）、 上側横方向の近傍の場合 ｘ〔ｎ〕＝−（ｎ−ｊ）×（ｘ0 −１．５×Δｘ）
０≦ｊ≦２ｎ ｙ〔ｎ〕＝ｎ×（ｙ0 −１．５×Δｙ） 右側縦方向の近傍の場合 ｘ〔ｎ〕＝ｎ×（ｘ0 −１．５×Δｘ） ｙ〔ｎ〕＝（ｎ−ｋ）×（ｙ0 −１．５×Δｙ）
０≦ｋ≦２ｎ 下側横方向の近傍の場合 ｘ〔ｎ〕＝（ｎ−ｊ）×（ｘ0 −１．５×Δｘ）
０≦ｊ≦２ｎ ｙ〔ｎ〕＝−ｎ×（ｙ0 −１．５×Δｙ） 左側縦方向の近傍の場合 ｘ〔ｎ〕＝−ｎ×（ｘ0 −１．５×Δｘ） ｙ〔ｎ〕＝−（ｎ−ｋ）×（ｙ0 −１．５×Δｙ）
０≦ｋ≦２ｎ となる。
【００２５】以上のような矩形で環状のサーチを原位置
の視野から周辺に視野を拡大しながら何階層かにわたっ
て進めることにより、見えなかったアライメントマーク
を自動的に視野内に入れることができる。
の視野から周辺に視野を拡大しながら何階層かにわたっ
て進めることにより、見えなかったアライメントマーク
を自動的に視野内に入れることができる。
【００２６】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、手動ア
ライメントを必要とせず、また、必要以上の機械精度や
光学系解像度の向上を図らなくても、従来と同程度のハ
ード構成においてアライメントマークを自動サーチする
ことができ、タイムロスやコストの増大を避けることが
できる。
ライメントを必要とせず、また、必要以上の機械精度や
光学系解像度の向上を図らなくても、従来と同程度のハ
ード構成においてアライメントマークを自動サーチする
ことができ、タイムロスやコストの増大を避けることが
できる。
【図１】本発明の実施例に係るアライメントマークの自
動サーチ方式において、１つのアライメントマークのみ
が視野内に存在する場合の第１および第２の視野と２つ
のアライメントマークとの位置関係を示す図である。
動サーチ方式において、１つのアライメントマークのみ
が視野内に存在する場合の第１および第２の視野と２つ
のアライメントマークとの位置関係を示す図である。
【図２】回転系の回転中心まわりに所定の角度だけ微調
整回転させた状態を示す図である。
整回転させた状態を示す図である。
【図３】所定の回転角度の定め方を示す図である。
【図４】上記同様に所定の回転角度の定め方を示す図で
ある。
ある。
【図５】２つの視野と回転中心との位置関係を示す図で
ある。
ある。
【図６】本発明の実施例に係るアライメントマークの自
動サーチ方式において、アライメントマークがすべて見
えない場合の原位置の視野の最近傍の１階層目で設定さ
れる視野の中心座標を説明する図である。
動サーチ方式において、アライメントマークがすべて見
えない場合の原位置の視野の最近傍の１階層目で設定さ
れる視野の中心座標を説明する図である。
【図７】一般的にｎ階層目で設定される視野の中心座標
を説明する図である。
を説明する図である。
１１……第１の視野 １２……第２の視野 ｍ1 ，ｍ2 ……アライメントマーク
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B23P 19/00 304 G01B 11/00
Claims (2)
- 【請求項１】 ２点以上のアライメントにおいて第１の
視野内にアライメントマークが見えておりかつ第２の視
野内にはアライメントマークが見えていないとき、ｘ方
向，ｙ方向の移動により第１の視野のアライメントマー
クをその視野の中心に移動させ、次いで、第１の視野か
らアライメントマークがはみ出さない所定の角度だけ回
転中心まわりに回転させ、回転移動後のアライメントマ
ークを第１の視野の中心に戻すようにｘ方向，ｙ方向で
移動させ、以上のような回転と移動の繰り返しにより、
一方のアライメントマークを第１の視野内に存在させた
状態を保ちつつ見えない方のアライメントマークを自動
的に第２の視野内に入れるようにしたことを特徴とする
アライメントマークの自動サーチ方式。 - 【請求項２】 ２点以上のアライメントにおいていずれ
の視野内にもアライメントマークが見えていないとき、
最初に視野に入ったエリアである原位置の視野を中心に
して、次の視野として原位置の視野およびすでに設定し
た視野に対してアライメントマークの大きさ以上の範囲
でオーバーラップさせる視野を設定してアライメントマ
ークが入ったか否かを判断し、このような視野設定を原
位置の視野のまわりでｘ方向およびｙ方向に順次進めて
１階層目のサーチを行い、１階層目で見つからなかった
ときは、１階層目のまわりで上記と同様にして矩形で環
状のサーチを行い、以下同様にして順次外側に矩形環状
のサーチを進めていくことにより見えなかったアライメ
ントマークを自動的に視野内に入れるようにすることを
特徴とするアライメントマークの自動サーチ方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25287593A JP2934698B2 (ja) | 1993-10-08 | 1993-10-08 | アライメントマークの自動サーチ方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25287593A JP2934698B2 (ja) | 1993-10-08 | 1993-10-08 | アライメントマークの自動サーチ方式 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07108421A JPH07108421A (ja) | 1995-04-25 |
| JP2934698B2 true JP2934698B2 (ja) | 1999-08-16 |
Family
ID=17243383
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25287593A Expired - Fee Related JP2934698B2 (ja) | 1993-10-08 | 1993-10-08 | アライメントマークの自動サーチ方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2934698B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5292725B2 (ja) * | 2007-05-24 | 2013-09-18 | 株式会社島津製作所 | モーショントラッカ装置 |
| CN113310406B (zh) * | 2021-05-27 | 2023-03-28 | 深圳中科飞测科技股份有限公司 | 位置校正方法及位置校正设备 |
-
1993
- 1993-10-08 JP JP25287593A patent/JP2934698B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07108421A (ja) | 1995-04-25 |
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