JP2921790B2 - Method for producing low oxygen titanium material and low oxygen titanium dissolving material - Google Patents
Method for producing low oxygen titanium material and low oxygen titanium dissolving materialInfo
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Description
【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、スポンジチタンケーキ
から低酸素のチタン材を製造する方法および製造したチ
タン材をチタン溶解素材に加工・成形する方法、さらに
はこの溶解素材をＥＢ炉やＶＡＲ炉に装着する方法に係
り、特に、ＬＳＩ等の半導体素子の製造に用いられるス
パッタリング用ターゲット材に適した低酸素チタン材お
よび低酸素チタン溶解素材の製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a low-oxygen titanium material from a sponge titanium cake, a method for processing and molding the produced titanium material into a titanium-dissolved material, and an EB furnace or VAR. The present invention relates to a method for mounting a furnace, and more particularly to a method for manufacturing a low-oxygen titanium material and a low-oxygen titanium dissolving material suitable for a sputtering target material used for manufacturing a semiconductor device such as an LSI.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ＬＳＩの配線層やバリヤ層をスパッタリ
ング法により形成するために使用されるチタンターゲッ
ト材には、最近のＬＳＩの高密度化に伴い、４Ｎ（フォ
ー・ナイン（ガス成分を除く金属成分の純度））は勿論
のこと、場合によっては５Ｎないし６Ｎというグレード
のきわめて高純度の品位が要求されている。具体的に
は、不純物元素であるＦｅ、Ｃｒ、Ｎｉについては５ｐ
ｐｍ以下、場合によっては１ｐｐｍ以下であることが要
求される。また、Ｎａ、Ｋについてはそれぞれ０．１ｐ
ｐｍ以下、場合によっては０．０５ｐｐｍ以下であるこ
とが要求される。さらに、酸素については２５０ｐｐｍ
以下であることが要求され、望ましくは２００ｐｐｍ以
下、さらに望ましくは１５０ｐｐｍ以下がよいとされて
いる。これらの不純物元素の含有率は、低ければ低い程
好ましいことは言うまでもない。2. Description of the Related Art A titanium target material used for forming a wiring layer or a barrier layer of an LSI by a sputtering method includes 4N (for nine metals (excluding gas components) due to the recent increase in the density of LSIs. Not only the purity of the components)), but also, in some cases, a very high purity grade of 5N to 6N is required. More specifically, the impurity elements Fe, Cr and Ni are 5 p.
pm or less, and in some cases 1 ppm or less. For Na and K, 0.1 p each
pm or less, and in some cases 0.05 ppm or less. 250 ppm for oxygen
It is required to be not more than 200 ppm, preferably 200 ppm or less, and more preferably 150 ppm or less. It goes without saying that the lower the content of these impurity elements, the better.
【０００３】高純度のチタン材の製造方法としては、従
来、多くの製造方法が提案されている。たとえば、特開
平７−２５８７６５号公報には、原料となるスポンジチ
タンの製造工程において、スポンジチタンの中心部分を
選別し、これを１０〜７００ｍｍに切断した後に溶解す
ることにより酸素含有率が３００ｐｐｍ以下の高純度チ
タン材を製造する方法が開示されている。また、特開平
３−１３０３３９号公報には、スポンジチタン粒を篩別
した後、プレス成形後にＥＢ（Electron beam）溶解す
ることにより、製品インゴット中の酸素含有率が３５０
ｐｐｍ以下のチタン材を得る方法も提案されている。こ
のほか、高純度チタン材の製造方法については、特開平
３−２１５６３３号公報や特開平７−１７３５５１号公
報に開示されているヨード法、また、特開平７−４１８
９０号公報や特開平８−６０３５０号公報に開示されて
いる電解法とＥＢ溶解を組み合わせた製造方法も知られ
ている。さらには、特開平７−２５８７６５号公報に開
示されているように、クロール法で得られたスポンジチ
タンをＶＡＲ（Consumable electrode vacuum arcremel
ting）溶解して製造する方法等も開示されている。As a method for producing a high-purity titanium material, many production methods have been proposed. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-258765 discloses that in the production process of titanium sponge as a raw material, a central portion of titanium sponge is selected, cut into 10 to 700 mm, and then melted so that the oxygen content is 300 ppm or less. A method for producing a high-purity titanium material is disclosed. Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-130339 discloses that after sponge titanium particles are sieved and then press-formed and then melted by EB (Electron beam), the oxygen content in the product ingot is reduced to 350.
A method for obtaining a titanium material of not more than ppm has also been proposed. In addition, regarding the method for producing a high-purity titanium material, the iodine method disclosed in JP-A-3-215633 and JP-A-7-173551, and the method disclosed in JP-A-7-418.
No. 90 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-60350 also disclose a manufacturing method combining an electrolysis method and EB dissolution. Further, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-258765, titanium sponge obtained by the crawl method is used for VAR (Consumable electrode vacuum arcremel).
ting) A method of manufacturing by dissolution is also disclosed.
【０００４】これらの製造方法のうち、クロール法は大
量生産に向いているため経済性の点では他の方法より優
れている。しかしながら、通常のクロール法で製造され
たスポンジチタンでは、高純度チタン材に要求される品
質を満足することができないため、不純物元素の含有率
がきわめて低いＴｉＣｌ4 およびＭｇをスポンジチタン
の原料とするとともに、還元反応を行う容器に特別な工
夫を凝らして、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｎａ、Ｋ等の不純物
金属成分を低レベルに抑えるようにしている。[0004] Of these production methods, the Kroll method is suitable for mass production and is therefore more economical than the other methods. However, sponge titanium manufactured by a normal crawl method cannot satisfy the quality required for a high-purity titanium material, so that TiCl 4 and Mg having extremely low impurity element contents are used as raw materials for titanium sponge. At the same time, special measures are taken for the container in which the reduction reaction is carried out, so that impurity metal components such as Fe, Cr, Ni, Na and K are suppressed to a low level.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】一方、酸素について
は、大気と接触する機会の多いスポンジチタンの破砕工
程において汚染される可能性が高い。通常、クロール法
で製造したスポンジチタンケーキは、まず、ギロチン式
のプレス切断機で切断した後、部位別に選別し、次に、
選別したスポンジチタンを粉砕して粒度を調整（整粒）
し、整粒したスポンジチタンをドラム缶内にアルゴン封
入する包装工程を経て製品としている。このような、切
断、選別、粉砕、整粒、包装といった一連の工程（ここ
でこの一連の工程を破砕工程と包括的に称する。また、
その一部の工程とは、切断、選別、粉砕、整粒、包装の
いずれか、もしくは２つ以上の工程の組み合わせを言
う。）を経て製造されたチタン材は、各工程を経る毎に
比表面積が大きくなるので、大気中の水分および酸素と
の接触で酸化され易く、しかも、酸化防止の対策を講じ
ることが困難である。このため、破砕して得られたチタ
ン材の中で酸素の低い部分だけを選別して酸素含有率の
基準を満足させているのが実情である。もっとも、目標
とする純度を満足する部分を有するチタン材を製造でき
ないこともあるから、出来上がったものをただ選別する
だけでは品位の安定した製品の供給は望めない。また、
湿度の高い夏季に製造されたチタン材は、冬季に製造さ
れたものに比べて酸素含有率が高くなる傾向にあって製
品歩留まりが低下するという問題がある。しかも、この
ようにしてチタン材に吸収された酸素は、後に、チタン
材をプレス成形もしくはチタン製容器に充填する等によ
り得たチタン溶解素材をＶＡＲ溶解やＥＢ溶解で溶解し
てチタンインゴットを得る際にも除去できずチタンイン
ゴット中に持ち込まれる。したがって、溶融塩電解法も
しくはヨード法により精製したチタン材を使用するか、
もしくは同法によって得られたチタン材をクロール法で
得られたスポンジチタンに混合する等の方法を除いて
は、酸素の含有率を下げる手段はない。On the other hand, oxygen is highly likely to be contaminated in the crushing process of titanium sponge, which often has contact with the atmosphere. Normally, sponge titanium cake produced by the crawl method, first cut with a guillotine-type press cutting machine, then sort by site,
The selected titanium sponge is crushed to adjust the particle size (sizing)
Then, the product is subjected to a packaging process in which the sized titanium sponge is sealed in a drum can with argon. A series of steps such as cutting, sorting, crushing, sizing, and packaging (these steps are collectively referred to as a crushing step.
Some of the steps refer to any of cutting, sorting, crushing, sizing, and packaging, or a combination of two or more steps. ), The titanium material has a large specific surface area after each step, so it is easily oxidized by contact with atmospheric moisture and oxygen, and it is difficult to take measures to prevent oxidation. . For this reason, the fact is that only the low oxygen portion of the crushed titanium material is selected to satisfy the oxygen content standard. However, there is a case where a titanium material having a portion satisfying a target purity cannot be produced, and therefore, it is not possible to supply a stable product by merely selecting the finished product. Also,
Titanium materials manufactured in the summer, when the humidity is high, have a problem that the oxygen content tends to be higher than that manufactured in the winter and the product yield decreases. Moreover, the oxygen absorbed in the titanium material in this manner is used to obtain a titanium ingot by dissolving the titanium-dissolved material obtained by press molding or filling a titanium container with VAR melting or EB melting later. It cannot be removed at all and is brought into the titanium ingot. Therefore, use titanium material purified by molten salt electrolysis method or iodine method,
Alternatively, there is no means for reducing the oxygen content except for the method of mixing the titanium material obtained by the same method with the titanium sponge obtained by the Kroll method.
【０００６】このように、クロール法で製造したスポン
ジチタンをもとに低酸素のチタン材を製造する際には、
破砕工程のみならず、破砕工程で製造されたスポンジチ
タンを溶解素材に加工・成形する工程、さらにはこの溶
解素材を溶解炉に装着する工程を経る間に、酸素含有率
をいかにして上昇させないかが重要な課題である。よっ
て本発明は、クロール法により製造したスポンジチタン
から、酸素含有率が２５０ｐｐｍ以下、好ましくは２０
０ｐｐｍ以下のチタン材を安定して製造することができ
る低酸素チタン材の製造方法、およびこの製造方法で得
られたチタン材をプレス成形もしくはチタン製容器に充
填する等により得られるチタン溶解素材をＥＢ溶解やＶ
ＡＲ溶解して得るチタンインゴットの酸素含有率が２５
０ｐｐｍ以下、さらには２００ｐｐｍ以下のチタンイン
ゴットとなり得るような製造方法を提供することを目的
としている。As described above, when producing a low-oxygen titanium material based on titanium sponge produced by the Kroll method,
Not only the crushing process, but also the process of processing and forming the titanium sponge produced in the crushing process into a molten material, and how to increase the oxygen content during the process of attaching this molten material to the melting furnace Is an important issue. Therefore, the present invention provides an oxygen content of 250 ppm or less, preferably 20 ppm, from titanium sponge produced by the Kroll method.
A method for producing a low-oxygen titanium material capable of stably producing 0 ppm or less of a titanium material, and a titanium-dissolved material obtained by press molding or filling a titanium container obtained by this method with a titanium material obtained by this method. EB melting and V
The oxygen content of the titanium ingot obtained by dissolving AR is 25
It is an object of the present invention to provide a production method capable of producing a titanium ingot of 0 ppm or less, further 200 ppm or less.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明のチタン材の製造
方法の説明に先立ち、クロール法によるスポンジチタン
の製造方法の一例について簡単に説明する。クロール法
では、原料鉱石を塩素ガスで塩化して粗四塩化チタンを
製造する塩化工程と、この塩化工程で製造された粗四塩
化チタンを蒸留して精製する蒸留工程と、アルゴン等の
不活性ガス雰囲気の容器の中で四塩化チタンをマグネシ
ウムで還元する還元工程とを有している。この場合の還
元反応は、下記式で表される。なお、下記式に示すよう
に、余剰のＭｇを添加するのは、スポンジチタンの網目
にＭｇが捕捉されるからである。Prior to the description of the method for producing a titanium material of the present invention, an example of a method for producing titanium sponge by a crawl method will be briefly described. In the Kroll process, a raw ore is salified with chlorine gas to produce crude titanium tetrachloride, a crude titanium tetrachloride produced in the salification process is distilled and purified, and an inert gas such as argon is used. A reduction step of reducing titanium tetrachloride with magnesium in a vessel in a gas atmosphere. The reduction reaction in this case is represented by the following formula. In addition, as shown in the following formula, excess Mg is added because Mg is trapped in the network of titanium sponge.
【０００８】[0008]
【式１】 ＴｉＣｌ4＋３Ｍｇ→Ｔｉ＋２ＭｇＣｌ2＋Ｍｇ[Formula 1] TiCl 4 + 3Mg → Ti + 2MgCl 2 + Mg
【０００９】上記反応により生成するチタン材は、スポ
ンジ状に成長する。そして、上記生成物から残留マグネ
シウムと還元反応で副生した塩化マグネシウムを真空分
離し、この後、破砕工程、すなわち、スポンジチタンを
プレス切断して高純度部分を選別し、粉砕、整粒、包装
する工程を経て、チタン材を得る。なお、上記反応によ
り副生する塩化マグネシウムは電気分解してマグネシウ
ムと塩素ガスに分離し、塩素ガスは塩化工程で再利用
し、マグネシウムは還元工程で再利用する。The titanium material generated by the above reaction grows in a sponge shape. Then, the residual magnesium and magnesium chloride by-produced in the reduction reaction are vacuum-separated from the above product, and thereafter, the crushing step, ie, pressing and cutting the sponge titanium to select a high-purity portion, pulverizing, sizing, and packaging Through a step of obtaining a titanium material. In addition, magnesium chloride by-produced by the above reaction is electrolyzed and separated into magnesium and chlorine gas. The chlorine gas is reused in the chlorination step, and the magnesium is reused in the reduction step.
【００１０】さて、真空分離後のスポンジチタンの表面
は活性なため酸化を受けやすく、大気に接触すると酸化
膜が形成される。ところが、酸化膜が一旦形成されると
緻密であるためそれ以上内部に酸素が供給されにくくな
り、その後は、酸素含有率は殆ど上昇しないことが知ら
れている。しかしながら、本発明者の検討によれば、ス
ポンジチタンの網目にＭｇＣｌ2 が残留していると大気
中の水分がこれに吸収され、そのため、スポンジチタン
の破砕工程（特に破砕工程の中でも粉砕工程）における
雰囲気中の湿度が高いと、スポンジチタン中の酸素含有
量が増加する傾向にあり、逆に、破砕工程における雰囲
気中の湿度が低ければ低い程、スポンジチタンの酸素汚
染が抑制されるものと推論している。The surface of titanium sponge after vacuum separation is susceptible to oxidation because it is active, and an oxide film is formed when it comes into contact with the atmosphere. However, it is known that once an oxide film is formed, it is dense, so that it is difficult to supply oxygen further inside, and thereafter, the oxygen content hardly increases. However, according to the study of the present inventor, if MgCl 2 remains in the mesh of titanium sponge, moisture in the atmosphere is absorbed by this, and therefore, the crushing process of titanium sponge (especially the crushing process in the crushing process) When the humidity in the atmosphere is high, the oxygen content in the titanium sponge tends to increase, and conversely, the lower the humidity in the atmosphere in the crushing step, the more the oxygen contamination of the titanium sponge is suppressed. Inferring.
【００１１】本発明者は、クロール法で製造したスポン
ジチタンをＬＳＩ用ターゲット材に使用するために、上
記推論のもとに、特に、高純度スポンジチタンにつき、
その破砕方法および破砕したチタン材を溶解素材（ブリ
ケットやコンパクト、あるいはチタン製容器にスポンジ
チタンを充填したもの等）に加工・成形する方法につい
て種々検討を重ねた結果、所定の雰囲気条件下では酸素
汚染がきわめて少なくなり、溶解素材を溶解して最終的
に得られたチタンインゴットが、目的とする酸素レベル
になることを見い出した。In order to use titanium sponge produced by the Kroll method as a target material for LSIs, the present inventors have made the following inferences, in particular, high purity sponge titanium.
As a result of various studies on the crushing method and the method of processing and forming the crushed titanium material into a molten material (such as a briquette or compact, or a titanium container filled with sponge titanium), it was found that under a given atmosphere condition, It has been found that the contamination is extremely reduced and the titanium ingot finally obtained by dissolving the molten material has the desired oxygen level.
【００１２】すなわち、本発明者は、まず上記破砕工程
中の粉砕工程を行う雰囲気中の絶対湿度を種々設定した
ところ、雰囲気中の絶対湿度が１０ｇ−Ｈ2Ｏ／ｍ3以下
であると、粉砕工程後に得られるチタン材中の酸素含有
率が２５０ｐｐｍ以下になることを見い出した。また、
雰囲気中の絶対湿度が７ｇ−Ｈ2Ｏ／ｍ3以下の場合に
は、チタン材中の酸素含有率が２００ｐｐｍ以下になる
こと、さらに、雰囲気中の絶対湿度が５ｇ−Ｈ2Ｏ／ｍ3
以下の場合には、チタン材中の酸素含有率がさらに低下
することを見い出した。That is, the inventor first set various absolute humidity in the atmosphere in which the crushing step in the crushing step was performed, and found that the absolute humidity in the atmosphere was 10 g-H 2 O / m 3 or less. It has been found that the oxygen content in the titanium material obtained after the pulverizing step is 250 ppm or less. Also,
If the absolute humidity in the atmosphere of 7g-H 2 O / m 3 or less, the oxygen content in the titanium material is 200ppm or less, further, the absolute humidity in the atmosphere 5g-H 2 O / m 3
In the following cases, it has been found that the oxygen content in the titanium material further decreases.
【００１３】よって、本発明は上記知見に基づいてなさ
れたもので、クロール法で製造したスポンジチタンケー
キを切断して選別し、選別したスポンジチタンを工具を
用いて粉砕するチタン材の製造方法において、スポンジ
チタンの粉砕を、絶対湿度が１０ｇ−Ｈ2Ｏ／ｍ3以下の
雰囲気下で行うことを特徴とするものである。なお、要
求されるチタン材の純度によっては、破砕工程を行う雰
囲気中の絶対湿度は７g−Ｈ2Ｏ/ｍ3以下であることが好
ましく、５ｇ−Ｈ2Ｏ／ｍ3以下であればさらに好適であ
る。Accordingly, the present invention has been made based on the above-mentioned findings. In a method for producing a titanium material, a sponge titanium cake produced by the crawl method is cut and sorted, and the sorted sponge titanium is pulverized using a tool. , crushed titanium sponge, the absolute humidity is characterized in that performed under the following ambient 10g-H 2 O / m 3 . Note that, depending on the required purity of the titanium material, the absolute humidity in the atmosphere in which the crushing step is performed is preferably 7 g-H 2 O / m 3 or less, and more preferably 5 g-H 2 O / m 3 or less. It is suitable.
【００１４】ここで、本発明者の検討によれば、粉砕を
行う雰囲気の温度が２５゜Ｃ以下であると、スポンジチ
タン中の酸素含有量が２００ｐｐｍ以下になることも判
った。よって、チタン材に要求される純度によっては、
上記湿度条件に加えて雰囲気の温度を２５゜Ｃ以下にす
ることが望ましい。さらに、本発明者は、工具に付着し
た僅かな水分も酸素汚染の原因となっていることも見い
出した。よって、粉砕に使用する工具も上記のような空
気雰囲気下でコンディショニングしておくことが望まし
い。Here, according to the study of the present inventors, it has been found that when the temperature of the atmosphere in which pulverization is performed is 25 ° C. or less, the oxygen content in titanium sponge becomes 200 ppm or less. Therefore, depending on the purity required for the titanium material,
It is desirable that the temperature of the atmosphere be 25 ° C. or lower in addition to the above humidity conditions. Furthermore, the present inventor has also found that slight moisture adhering to the tool causes oxygen contamination. Therefore, it is desirable that the tools used for the pulverization are also conditioned in the above-described air atmosphere.
【００１５】粉砕する場所の雰囲気の絶対湿度や温度
は、温度を調整した乾燥空気を粉砕室内に供給すること
で調整することができる。あるいは、粉砕室内に除湿器
やエアーコンディショナーを配置して絶対湿度と温度と
を制御することもできる。また、粉砕室に作業者が入っ
て粉砕を行うこともできるが、自動粉砕機を利用して無
人で行っても良く、この場合、乾燥空気に代えて乾燥不
活性ガスを粉砕室内に供給することにより、スポンジチ
タンの初期の酸化を抑制することができ、酸素による汚
染をより確実に防止することができる。[0015] The absolute humidity and temperature of the atmosphere in the crushing place can be adjusted by supplying temperature-controlled dry air into the crushing chamber. Alternatively, a dehumidifier or an air conditioner may be arranged in the grinding chamber to control the absolute humidity and the temperature. In addition, an operator can enter the pulverizing chamber and perform pulverization. However, the pulverization may be performed unattended using an automatic pulverizer. In this case, a dry inert gas is supplied into the pulverizing chamber instead of dry air. Thereby, the initial oxidation of titanium sponge can be suppressed, and contamination by oxygen can be more reliably prevented.
【００１６】さて、本発明者は、粉砕工程のみならず、
スポンジチタンケーキの切断から始まって、選別、粉
砕、整粒、包装までの破砕工程全体もしくは一部の工程
を、上記と同様の雰囲気下で行うことにより、最終製品
であるチタン材中の酸素含有率が２５０ｐｐｍ以下にな
ることを見い出した。さらに、このチタン材をプレス成
形して溶解素材を製造する際の雰囲気中の絶対湿度を種
々設定したところ、雰囲気中の絶対湿度が１０ｇ−Ｈ2
Ｏ／ｍ3以下で製造した溶解素材をＥＢ溶解もしくはＶ
ＡＲ溶解して得たチタンインゴット中の酸素含有率が、
２５０ｐｐｍ以下になること、さらに、酸素含有率を低
下させるには、７ｇ−Ｈ2Ｏ／ｍ3以下が好ましく、３ｇ
−Ｈ2Ｏ／ｍ3以下であればさらに酸素を低減することが
できることを見い出した。By the way, the present inventor has made not only the grinding step,
Starting from the cutting of the sponge titanium cake, the whole or part of the crushing process up to sorting, crushing, sizing, and packaging is performed under the same atmosphere as described above, so that the oxygen content in the final product titanium material is Rate was found to be less than 250 ppm. Further, when the absolute humidity in the atmosphere when the titanium material was press-molded to produce a molten material was set variously, the absolute humidity in the atmosphere was 10 g-H 2.
O / m 3 dissolved material was manufactured by the following EB melting or V
The oxygen content in the titanium ingot obtained by AR dissolution is
In order to reduce the content of oxygen to 250 ppm or less and to further reduce the oxygen content, 7 g-H 2 O / m 3 or less is preferred, and 3 g
It has been found that oxygen can be further reduced if -H 2 O / m 3 or less.
【００１７】よって本発明は、クロール法で製造したス
ポンジチタンケーキを切断して選別し、選別したスポン
ジチタンを粉砕し、粉砕したスポンジチタンを整粒し、
さらに包装するといった破砕工程を、所定の工具を用い
て行うことによってチタン材を得るにあたり、その破砕
の全工程もしくは同工程の一部の工程を、絶対湿度が１
０ｇ−Ｈ2Ｏ／ｍ3以下の雰囲気下で行うことを特徴とし
ている。ここで、所定の工具とは、切断の際に用いるギ
ロチン式のプレス切断刃および粉砕工程時に使用する小
型プレスの切断刃等を意味する。Therefore, the present invention is to cut and sort a sponge titanium cake produced by the Kroll method, pulverize the selected sponge titanium, and size the pulverized sponge titanium.
Further, in obtaining a titanium material by performing a crushing step such as packaging using a predetermined tool, the entire crushing step or a part of the step is performed at an absolute humidity of 1%.
It is characterized by performing 0g-H 2 O / m 3 under the following atmosphere. Here, the predetermined tool means a guillotine-type press cutting blade used for cutting, a small press cutting blade used for the pulverizing step, and the like.
【００１８】ここで、本発明者の検討によれば、スポン
ジチタンの破砕工程を行う雰囲気中の温度が２５℃以下
であると、破砕後のチタン材中の酸素含有率が２５０ｐ
ｐｍ以下になることも見い出した。よって、チタン材に
要求される純度によっては、上記湿度条件に加えて、雰
囲気温度を２５℃以下にすることが望ましい。さらに、
破砕工程の際に用いる所定の工具に付着した僅かな水分
も酸素汚染の原因となるので、破砕工程時において使用
する粉砕機、搬送機、混合機などに用いられる工具も、
上記のような空気雰囲気下でコンディショニングしてお
くことが望ましい。According to the study of the present inventors, if the temperature in the atmosphere in which the crushing process of titanium sponge is performed is 25 ° C. or less, the oxygen content in the crushed titanium material is 250 p.
pm or less. Therefore, depending on the purity required for the titanium material, it is desirable to set the ambient temperature to 25 ° C. or lower in addition to the above humidity conditions. further,
Since even a small amount of water adhering to the predetermined tool used in the crushing process causes oxygen contamination, the tools used in the crusher, transporter, mixer, etc. used in the crushing process,
It is desirable to perform conditioning in an air atmosphere as described above.
【００１９】また、本発明は、上記破砕工程を経て製造
したチタン材をブリケットやコンパクト、あるいはチタ
ン製容器にスポンジチタンを充填したもの等の溶解素材
に加工・成形する工程を、破砕工程と同様に、絶対湿度
が１０ｇ−Ｈ2Ｏ／ｍ3以下、温度が２５℃以下の雰囲気
下で行うことを特徴としている。なお、チタン溶解素材
を溶解して得るチタンインゴットに要求される純度によ
っては、加工・成形時の雰囲気中の絶対湿度は７ｇ−Ｈ
2Ｏ／ｍ3以下であることが好ましく、３ｇ−Ｈ2Ｏ／ｍ3
以下であればさらに好適である。さらには、前記チタン
溶解素材をＥＢ溶解炉内やＶＡＲ溶解炉内に装入する際
にも、その雰囲気中の絶対温度をコントロールすること
で、さらにチタン溶解素材の酸素汚染を抑えることがで
きる。The present invention also relates to a process of forming and processing a titanium material produced through the above-mentioned crushing process into a molten material such as briquette or compact, or a titanium container filled with titanium sponge, in the same manner as the crushing process. In addition, the method is characterized in that the treatment is performed in an atmosphere having an absolute humidity of 10 g-H 2 O / m 3 or less and a temperature of 25 ° C. or less. Note that, depending on the purity required for a titanium ingot obtained by dissolving a titanium-dissolving material, the absolute humidity in the atmosphere during processing and molding is 7 g-H.
It is preferably 2 O / m 3 or less, and 3 g-H 2 O / m 3
The following is more preferable. Furthermore, even when the titanium melting material is charged into an EB melting furnace or a VAR melting furnace, oxygen contamination of the titanium melting material can be further suppressed by controlling the absolute temperature in the atmosphere.
【００２０】破砕工程や加工・成形工程における雰囲気
中の絶対湿度や温度は、絶対湿度の低い乾燥空気を工程
室内に供給することで調整することができる。あるい
は、工程室内に除湿器やエアコンディショナーを設置し
て絶対湿度と温度を制御することもできる。また、工程
室内に作業者が入って作業を行うこともできるが、自動
破砕機や自動成形機を利用して無人で行ってもよく、こ
の場合、乾燥空気に代えて酸素を含まない窒素ガスやア
ルゴンガスのような乾燥不活性ガスを工程室内に供給す
ることによって、スポンジチタンの初期の酸化を抑制す
ることができ、酸素汚染をより確実に防止することがで
きる。The absolute humidity and temperature in the atmosphere during the crushing step and the processing / forming step can be adjusted by supplying dry air having a low absolute humidity into the process chamber. Alternatively, a dehumidifier or an air conditioner can be installed in the process chamber to control the absolute humidity and temperature. In addition, an operator can enter the process chamber to perform the work, but it may be performed unattended using an automatic crusher or an automatic molding machine. In this case, nitrogen gas containing no oxygen is used instead of dry air. By supplying a dry inert gas such as oxygen gas or argon gas into the process chamber, the initial oxidation of sponge titanium can be suppressed, and oxygen contamination can be more reliably prevented.
【００２１】[0021]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て詳細に説明する。前述したように、スポンジチタン中
の酸素含有率は大気中に含まれる酸素と水分の量に左右
される。そこで、大気中の水分の影響に着目し、とりわ
けスポンジチタンの破砕工程（切断、選別、粉砕、整
粒、包装）およびこの破砕工程を経て得られた製品スポ
ンジチタンの溶解素材への加工・成形工程、さらにはこ
の溶解素材をＥＢ溶解炉やＶＡＲ溶解炉に装着する工程
に着目して酸素汚染防止を図った。具体的には、スポン
ジチタンケーキの切断は、通常、大気中で行われるの
で、その作業中はスポンジチタンケーキと切断後のスポ
ンジチタンとが大気と直接接触する。このため、水分の
高い夏季にはチタン材中の酸素含有率が上昇する傾向に
ある。また、スポンジチタンケーキを切断して得られた
スポンジチタンの粉砕は、通常、シャーと呼ばれる自動
粉砕機を用いて行われるが、この粉砕時には、スポンジ
チタンの粉砕後のチタン材が大気と直接接触するので、
やはり、水分の高い夏期にはチタン材中の酸素含有率が
上昇しやすい。さらに、破砕工程を経たチタン材のプレ
ス成形工程においても、同様にして酸素含有率が上昇す
るおそれがある。Embodiments of the present invention will be described below in detail. As described above, the oxygen content in titanium sponge depends on the amounts of oxygen and moisture contained in the atmosphere. Therefore, paying attention to the influence of moisture in the atmosphere, especially the crushing process of titanium sponge (cutting, sorting, crushing, sizing, packaging) and the processing and molding of the product sponge titanium obtained through this crushing process into a molten material Attention was paid to the process, and furthermore, to the process of mounting this molten material in an EB melting furnace or a VAR melting furnace, to prevent oxygen contamination. Specifically, since the cutting of the sponge titanium cake is usually performed in the atmosphere, the sponge titanium cake and the sponge titanium after cutting come into direct contact with the atmosphere during the work. For this reason, the oxygen content in the titanium material tends to increase in summer when the water content is high. In addition, the sponge titanium obtained by cutting the sponge titanium cake is usually crushed using an automatic crusher called a shear, but during this crushing, the crushed titanium material of the sponge titanium comes into direct contact with the atmosphere. So
After all, the oxygen content in the titanium material tends to increase in summer when the water content is high. Furthermore, in the press forming step of the titanium material after the crushing step, the oxygen content may increase in the same manner.
【００２２】そこで、本実施の形態では、スポンジチタ
ンケーキのプレス切断、プレス切断して得たスポンジチ
タンの選別、選別したスポンジチタンの粉砕および整粒
といった一連の破砕工程、さらには、整粒して得たチタ
ン材をブリケットやコンパクト、あるいはチタン製容器
にスポンジチタンを充填したもの等の溶解素材を製造す
る加工・成形工程を行う各工程室を、さらにはこの溶解
素材をＥＢ溶解炉やＶＡＲ溶解炉に装着する工程室を、
それぞれ密閉性の高いものとし、絶対湿度の低い乾燥空
気を工程室内に供給してそれぞれの工程の雰囲気中の絶
対湿度を抑えた。これによって、大気中の水分吸収によ
る酸素汚染防止を図った。なお、各工程室内を調湿する
にあたっては、専用の除湿器を工程室内に設置して雰囲
気中の絶対湿度を制御してもよい。本実施の形態では、
各工程室内の絶対湿度および温度の目標値は、本発明の
作用、効果を得ることができる上限値として、それぞれ
１０ｇ−Ｈ2Ｏ／ｍ3以下、２５℃以下とした。Therefore, in the present embodiment, a series of crushing steps such as press cutting of the sponge titanium cake, sorting of the sponge titanium obtained by pressing, pulverization and sizing of the selected sponge titanium, and further, sizing are performed. Each process room for processing and forming the molten material such as briquette or compact titanium material obtained by filling sponge titanium in a container made of titanium, etc., as well as the EB melting furnace or VAR The process room to be installed in the melting furnace,
Dry air having a low absolute humidity was supplied into the process chamber to reduce the absolute humidity in the atmosphere of each process. As a result, oxygen contamination was prevented by absorbing moisture in the atmosphere. When controlling the humidity in each process chamber, a dedicated dehumidifier may be installed in the process chamber to control the absolute humidity in the atmosphere. In the present embodiment,
The target values of the absolute humidity and temperature in each process chamber were set to 10 g-H 2 O / m 3 or less and 25 ° C. or less, respectively, as the upper limits at which the effects and effects of the present invention can be obtained.
【００２３】破砕工程においては、破砕工程室内に乾燥
空気を供給し、同室内の絶対湿度および温度が前記目標
値で安定するまで待ってから、まず、搬入しておいたス
ポンジチタンケーキをプレス切断機で切断してスポンジ
チタン塊を得る。次に、該スポンジチタン塊から、酸素
含有率の少ない部分を選別し、それらを粉砕機で粉砕す
る。粉砕機は前記シャーでもよいが、湿度および温度管
理を容易にする点で、小型プレス粉砕機の方が好まし
い。次に、粉砕したスポンジチタンを整粒してチタン材
とし、これを素早くドラム缶に入れ、アルゴンガスを封
入して密閉する。ただし、調湿開始後の温度変化によっ
て大気中の水分がプレス切断機や小型プレス粉砕機に結
露し、その結果、最終的に得るチタン材中の酸素が上昇
するおそれがある。このため、破砕工程を開始する前
に、破砕工程室内への乾燥空気の供給を十分に行い、使
用する各工具を十分に乾燥しておく。このような方法で
破砕工程室内の調湿を行ってスポンジチタンの破砕工程
を行うことにより、得られるチタン材の酸素含有率を、
２５０ｐｐｍ以下に抑えることができる。In the crushing step, dry air is supplied into the crushing step chamber, and the apparatus waits until the absolute humidity and temperature in the chamber stabilize at the target values, and then press-cuts the sponge titanium cake carried in. Cut with a machine to obtain titanium sponge mass. Next, portions having a low oxygen content are selected from the titanium sponge mass and crushed by a crusher. The pulverizer may be the shear, but a small press pulverizer is more preferable in terms of facilitating humidity and temperature control. Next, the crushed sponge titanium is sized to obtain a titanium material, which is quickly put into a drum, sealed with argon gas, and sealed. However, moisture in the atmosphere condenses on the press cutter or small press grinder due to the temperature change after the start of humidity control, and as a result, oxygen in the titanium material finally obtained may increase. For this reason, before starting the crushing process, dry air is sufficiently supplied into the crushing process chamber, and each tool to be used is sufficiently dried. By performing the humidity control in the crushing process chamber by such a method and performing the crushing process of the sponge titanium, the oxygen content of the obtained titanium material,
It can be suppressed to 250 ppm or less.
【００２４】次に、チタン材を保存したドラム缶を加工
・成形工程室内に搬入してから、同工程室内に乾燥空気
を供給し、同室内の絶対湿度および温度が前記目標値で
安定するまで待つ。この後、ドラム缶内からチタン材を
取り出し、プレス成形機等によってチタン材をブリケッ
トやコンパクトといった溶解素材に加工・成形する。こ
の加工・成形工程においても、調湿開始後の温度変化に
よって大気中の水分がプレス成形機等に結露して加工・
成形後の溶解素材中の酸素が上昇するおそれがあるか
ら、加工・成形工程室内への乾燥空気の供給を十分に行
い、使用する加工・成形機を十分に乾燥しておく。この
ような方法で加工・成形工程室内の調湿を行ってチタン
材の加工・成形を行って溶解素材を製造することによ
り、得られた溶解素材を溶解して得るチタンインゴット
の酸素含有率を、２５０ｐｐｍ以下に抑えることができ
る。Next, after the drum containing the titanium material is carried into the processing / forming process chamber, dry air is supplied into the process chamber, and the process waits until the absolute humidity and temperature in the chamber stabilize at the target values. . Thereafter, the titanium material is taken out of the drum, and processed and formed into a molten material such as a briquette or a compact by a press molding machine or the like. In this processing / forming process, too, moisture in the atmosphere is condensed on a press forming machine or the like due to temperature changes after the start of humidity control.
Since oxygen in the molten material after molding may increase, dry air is sufficiently supplied into the processing / forming process chamber, and the processing / forming machine to be used is sufficiently dried. By performing humidity control in the processing / forming process chamber by such a method and performing processing / forming of the titanium material to produce a molten material, the oxygen content of the titanium ingot obtained by dissolving the obtained molten material can be reduced. , 250 ppm or less.
【００２５】なお、破砕工程と加工・成形工程とを同じ
室内で行っても勿論よく、この場合、酸素汚染のおそれ
がより低減する。また、溶解素材を溶解してチタンイン
ゴットを製造するに際しては、溶解素材を溶解炉（ＶＡ
Ｒ溶解炉やＥＢ溶解炉）に装入することになるが、この
装入時にも溶解素材が大気に曝されて大気中の水分を吸
収するおそれがある。そこで、少なくとも溶解炉へ溶解
素材を装入するための作業スペースを密閉し、その作業
スペースに乾燥空気を供給して装入雰囲気中の絶対湿度
を下げ、溶解素材が水分を吸収することを抑えるように
すると、溶解後に得られるチタンインゴットへの酸素汚
染防止をより確実なものとすることができる。また、破
砕工程を経て得たチタン材を溶解素材に加工・成形せず
直接溶解する場合もあり、このときも、同様にして溶解
後に得られるチタンインゴットの酸素汚染防止を確実な
ものとすることができる。また、溶解素材（あるいは破
砕後のチタン材）を溶解してチタンインゴットを製造す
る際の溶解方法としては、ＥＢ溶解やＶＡＲ溶解のみな
らず、ＰＢ（Plasma beam)溶解やコールドクルーシブル
を用いた高周波溶解を用いることができるが、より低酸
素を狙うには、高い真空度で溶解するＥＢ溶解が好適で
ある。It is needless to say that the crushing step and the processing / forming step may be performed in the same room. In this case, the risk of oxygen contamination is further reduced. In addition, when manufacturing a titanium ingot by melting a molten material, the molten material is melted in a melting furnace (VA).
(R melting furnace or EB melting furnace), but also at this time, the molten material may be exposed to the atmosphere and absorb moisture in the atmosphere. Therefore, at least the working space for charging the melting material into the melting furnace is sealed, and dry air is supplied to the working space to lower the absolute humidity in the charging atmosphere, thereby suppressing the melting material from absorbing moisture. By doing so, it is possible to more reliably prevent oxygen contamination of the titanium ingot obtained after melting. In some cases, the titanium material obtained through the crushing step may be directly melted without being processed and formed into a molten material.In this case, it is also necessary to ensure the prevention of oxygen contamination of the titanium ingot obtained after melting in the same manner. Can be. In addition, as a melting method for manufacturing a titanium ingot by melting a molten material (or a crushed titanium material), not only EB melting and VAR melting but also high frequency using PB (Plasma beam) melting or cold crucible. Although dissolution can be used, EB dissolution which dissolves at a high degree of vacuum is suitable for aiming at lower oxygen.
【００２６】[0026]
【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。 ［実施例１］破砕に係る全工程室内の雰囲気を、絶対湿
度：８〜１０g−Ｈ2Ｏ／ｍ3 、室温：２３℃に設定し、
クロール法で製造した３５００ｋｇのスポンジチタンケ
ーキの中心部から、プレス切断により３００Ｋｇのスポ
ンジチタン塊を採取した。次いで、該スポンジチタン塊
の全量を粉砕、整粒して１／２インチ〜７５ｍｍの粒度
のスポンジチタンを得た。破砕工程に用いたプレス切断
機および粉砕機は、上記雰囲気中に２時間放置した後、
使用した。 ［実施例２］破砕工程に係る全工程室内の雰囲気を、絶
対湿度：５〜７g−Ｈ2Ｏ／ｍ3 、室温：８℃に設定し、
クロール法で製造した３３００ｋｇのスポンジチタンケ
ーキの中心部から、プレス切断により２００Ｋｇのスポ
ンジチタン塊を採取した。次いで、該スポンジチタン塊
の全量を粉砕、整粒して１／２インチ〜７５ｍｍの粒度
のスポンジチタンを得た。破砕工程に用いたプレス切断
機および粉砕機は、上記雰囲気中に２時間放置した後、
使用した。 ［比較例］上記実施例１と同じ方法で採取したスポンジ
チタンを、調湿していない破砕工程でプレス切断、粉
砕、整粒してチタン材を得た。この時の破砕工程の絶対
湿度は２０〜３０ｇ−Ｈ2Ｏ／ｍ3、室温は３０℃であっ
た。実施例１のスポンジチタンからサンプルＡ，Ｂ，Ｃ
を、また、実施例２のスポンジチタンからサンプルＤ，
Ｅ，Ｆを、さらに比較例のスポンジチタンからサンプル
Ｇ，Ｈ，Ｉをそれぞれ採取した。これらサンプルの酸素
含有率を、表１に示す。Embodiments of the present invention will be described below. The atmosphere in the entire process chamber according to Example 1] crushing, absolute humidity: 8~10g-H 2 O / m 3, at room temperature: set at 23 ° C.,
From the center of a 3500 kg sponge titanium sponge cake produced by the Kroll method, 300 kg of sponge titanium lump was collected by press cutting. Next, the whole amount of the titanium sponge mass was pulverized and sized to obtain titanium sponge having a particle size of 1/2 inch to 75 mm. The press cutter and crusher used in the crushing step were left in the above atmosphere for 2 hours,
used. The atmosphere in the entire process chamber according to Example 2 crushing step, absolute humidity: 5~7g-H 2 O / m 3, at room temperature: set at 8 ° C.,
From the center of the 3300 kg titanium sponge cake produced by the Kroll method, 200 kg of titanium sponge lump was collected by press cutting. Next, the whole amount of the titanium sponge mass was pulverized and sized to obtain titanium sponge having a particle size of 1/2 inch to 75 mm. The press cutter and crusher used in the crushing step were left in the above atmosphere for 2 hours,
used. [Comparative Example] Titanium material was obtained by pressing, pulverizing, and sizing a titanium sponge sampled in the same manner as in Example 1 in a crushing step without moisture control. Absolute humidity at this time of the crushing process 20~30g-H 2 O / m 3 , was room temperature 30 ° C.. Samples A, B, and C from the titanium sponge of Example 1
From the titanium sponge of Example 2,
Samples E, F, and samples G, H, and I were taken from sponge titanium of the comparative example. Table 1 shows the oxygen content of these samples.
【００２７】[0027]
【表１】 [Table 1]
【００２８】表１から明らかなように、実施例１の各サ
ンプルの酸素含有率は２００ｐｐｍ以下に抑えられてお
り、また、実施例１よりも絶対湿度と室温がともに低い
実施例２の各サンプルの酸素含有率は、さらに低下して
いる。一方、調湿せずに得た比較例のサンプルの酸素含
有率は、実施例１，２の各サンプルのそれよりもかなり
高く、しかもバラツキが大きい。よって、破砕工程にお
ける絶対湿度と温度は低ければ低いほど、破砕後に得ら
れるチタン材の酸素含有率が低下し、高純度になること
が確かめられた。As is clear from Table 1, the oxygen content of each sample of Example 1 was suppressed to 200 ppm or less, and each sample of Example 2 having lower absolute humidity and lower room temperature than that of Example 1. Has a further reduced oxygen content. On the other hand, the oxygen content of the sample of the comparative example obtained without humidity control is considerably higher than that of each of the samples of Examples 1 and 2, and furthermore, the variation is large. Therefore, it was confirmed that the lower the absolute humidity and the temperature in the crushing process, the lower the oxygen content of the titanium material obtained after the crushing and the higher the purity.
【００２９】［実施例３］実施例１で得たスポンジチタ
ンのサンプルＡ、Ｂ、Ｃを混合し、この混合物をＶＡＲ
溶解して、チタンインゴットのサンプルＡ’、Ｂ’、
Ｃ’を得た。 ［実施例４］実施例２で得たスポンジチタンのサンプル
Ｄ、Ｅ、Ｆを混合し、この混合物をＥＢ溶解して、チタ
ンインゴットのサンプルＤ’、Ｅ’、Ｆ’を得た。実施
例３，４の各サンプルの酸素含有率を、表２に示す。Example 3 Samples A, B and C of the titanium sponge obtained in Example 1 were mixed, and this mixture was subjected to VAR.
Dissolve and sample titanium ingots A ', B',
C 'was obtained. [Example 4] Samples D, E and F of titanium sponge obtained in Example 2 were mixed, and this mixture was dissolved in EB to obtain samples D ', E' and F 'of titanium ingot. Table 2 shows the oxygen content of each sample of Examples 3 and 4.
【００３０】[0030]
【表２】 [Table 2]
【００３１】表２から明らかなように、チタンインゴッ
トの各サンプル中の酸素含有率は、いずれも２００ｐｐ
ｍを大幅に下回る値であり、したがって、スパッタリン
グ用チタン材ターゲット材として十分な高純度を有す
る。As apparent from Table 2, the oxygen content in each sample of the titanium ingot was 200 pp.
m, and thus has a sufficiently high purity as a titanium target material for sputtering.
【００３２】[0032]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ス
ポンジチタンを原料として、酸素含有率が２５０ｐｐｍ
以下であることは勿論のこと、２００ｐｐｍ以下のチタ
ン材ないしはチタンインゴットの原料となるチタン溶解
素材を製造することができ、しかも、年間を通して安定
して製造することができる。よって、スパッタリング用
ターゲット材に用いる高純度チタン材の製造方法として
きわめて有望である。As described above, according to the present invention, the sponge titanium is used as a raw material and the oxygen content is 250 ppm.
Not to mention below, it is possible to produce a titanium material of 200 ppm or less or a titanium-dissolving raw material as a raw material of a titanium ingot, and it is possible to produce the titanium material stably throughout the year. Therefore, it is very promising as a method for producing a high-purity titanium material used for a sputtering target material.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平７−278612（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−278613（ＪＰ，Ａ) 特公 昭61−251203（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B22F 9/04 B22F 3/02 C22B 34/12 103 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-7-278612 (JP, A) JP-A-7-278613 (JP, A) JP-B 61-251203 (JP, B2) (58) Field (Int.Cl. 6 , DB name) B22F 9/04 B22F 3/02 C22B 34/12 103
Claims (7)
ーキを切断して選別し、選別したスポンジチタンを工具
を用いて粉砕するチタン材の製造方法において、前記粉
砕を、絶対湿度が１０ｇ−Ｈ2Ｏ／ｍ3以下の雰囲気下で
行うことを特徴とする低酸素チタン材の製造方法。1. A method for producing a titanium material in which a sponge titanium cake produced by the Kroll method is cut and selected, and the selected titanium sponge is pulverized using a tool, wherein the pulverization is performed at an absolute humidity of 10 g-H 2 O. A method for producing a low-oxygen titanium material, which is performed in an atmosphere of not more than / m 3 .
であることを特徴とする請求項１に記載の低酸素チタン
材の製造方法。2. The method for producing a low oxygen titanium material according to claim 1, wherein the atmosphere temperature during the pulverization is 25 ° C. or less.
／ｍ3以下、温度が２５゜Ｃ以下の空気雰囲気のもとで
保存されたものであることを特徴とする請求項１または
２に記載の低酸素チタン材の製造方法。3. The tool has an absolute humidity of 10 g-H 2 O.
/ M 3 or less, the production method of hypoxia titanium material according to claim 1 or 2 temperature, characterized in that stored under the following air atmosphere 25 ° C.
ーキを、絶対湿度が１０ｇ−Ｈ2Ｏ／ｍ3以下の雰囲気下
で、所定の工具を用いて破砕工程もしくは破砕工程の一
部を行うことを特徴とする低酸素チタン材の製造方法。4. A crushing step or a part of a crushing step of a sponge titanium cake produced by the Kroll method using a predetermined tool in an atmosphere having an absolute humidity of 10 g-H 2 O / m 3 or less. A method for producing a low-oxygen titanium material.
以下であることを特徴とする請求項４に記載の低酸素チ
タン材の製造方法。5. An atmosphere temperature during the crushing step is 25 ° C.
The method for producing a low oxygen titanium material according to claim 4, wherein:
／ｍ3以下、雰囲気温度が２５℃以下の雰囲気のもとで
保存されたものであることを特徴とする請求項４または
５に記載の低酸素チタン材の製造方法。6. The tool has an absolute humidity of 10 g-H 2 O.
6. The method for producing a low-oxygen titanium material according to claim 4, wherein the low-oxygen titanium material is stored under an atmosphere of not more than / m 3 and an atmosphere temperature of not more than 25 ° C.
造したチタン材をチタン溶解素材に加工・成形するにあ
たり、絶対湿度が１０ｇ−Ｈ2Ｏ／ｍ3以下、温度が２５
℃以下の雰囲気下で行うことを特徴とする低酸素チタン
溶解素材の製造方法。7. In processing and molding the titanium material produced by the method according to any one of claims 1 to 6 into a titanium-dissolving material, the absolute humidity is 10 g-H 2 O / m 3 or less, and the temperature is 25.
A method for producing a low-oxygen titanium-dissolving material, which is performed in an atmosphere at a temperature of not more than ° C.
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