JP2907408B2 - 噴霧発生装置の吹き出し部材の表面処理方法 - Google Patents

噴霧発生装置の吹き出し部材の表面処理方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、喉や鼻等の呼吸器系に
生じた炎症などの治療に用いられる吸入器や、洋服地の
起毛を復活させるミストを供給する噴霧器など、噴霧発
生装置の吹き出し部材表面処理方法に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】図及び図は噴霧発生装置の一種であ
る吸入器Aを示すものであり、吸入器Aは蒸気発生ユニ
ット1と吸入液タンク2とを備えて形成され、蒸気発生
ユニット1から蒸気管3を通して供給される蒸気と、吸
入液タンク2から吸い上げ管4を通して吸い上げられる
薬液等の吸入液とを混合して、カバー5の吹き出し口6
から吹き出させて吸入液を噴霧させるようにしたもので
ある。この吸入器Aにあって、吹き出し部材Bを構成す
るカバー5の吹き出し口6や、蒸気管3の噴霧ノズル
7、吸い上げ管4の吸い上げノズル8などは合成樹脂を
材料として形成したものを用いるのが一般的である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】今日工業製品用の部品
材料として多用される汎用合成樹脂は撥水性を有するも
のが多い。従って吸入器Aの吹き出し部材Bとして表面
が撥水性を有する合成樹脂で成形したものを使用した場
合、高温の蒸気が吹き出し部材Bの表面で凝縮すると高
温の水滴として吹き出し部材Bの表面に付着することに
なる。この高温の水滴9は図に示すように特に吹き出
し口6の噴霧カイド10の内面に発生し易い。そしてこ
の高温の水滴9は、あるものは吸入液タンク2へと重力
作用で落下するが、あるものは噴出圧によって吹き出し
口6から湯玉となって飛散することになる。しかしこの
ように高温の水滴9が湯玉となって飛散して吸入器Aを
使用する人の口中に入ると、使用者が火傷を負う危険が
あって安全性に問題があり、また水滴9が飛ばされる際
に大きな音が発生するために使用者に心理的な不安を与
えるという問題もあり、さらには水滴によって不均一な
粒径になった蒸気が使用者の口中に入ることになって使
用者に不快感を及ぼすという問題もあった。加えて、水
滴9が肥大化して吹き出し口6から垂れ落ちて周囲を汚
したり、吸入器A自体が水滴9の残渣で汚されるという
問題もあった。
【0004】上記では噴霧発生装置の一種である吸入器
Aについて説明したが、洋服地の起毛を復活させるよう
ミストを供給する噴霧器にあっても、同様にして水滴が
発生してミストの一部に水滴が混在すると、洋服地の起
毛性にばらつきが生じる等の問題が起こるものである。
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、合成樹
脂で形成される吹き出し部材の表面に水滴が生じること
を低減して均一な噴霧粒子で噴霧することができる噴霧
発生装置の吹き出し部材表面処理方法を提供すること
を目的とするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に係る
噴霧発生装置の吹き出し部材の表面処理方法は、噴霧発
生装置の合成樹脂材で形成される吹き出し部材を、グロ
ー放電中のイオンを加速する可変バイアス電圧を印加し
た電極上でグロー放電処理することによって、表面に極
微小凹凸条を形成すると共に合成樹脂素材よりも多くの
親水基を形成することを特徴とするものである。
【0006】また請求項2の発明は、請求項1におい
て、酸素ガス雰囲気中でグロー放電による処理をおこな
うことを特徴とするものである。また請求項3の発明
は、請求項1において、アルゴンガス雰囲気中でグロー
放電による処理をして吹き出し部材の表面をクリーニン
グした後、酸素ガス雰囲気中でグロー放電による処理を
おこなうことを特徴とするものである。
【0007】本発明の請求項4に係る噴霧発生装置の吹
き出し部材の表面処理方法は、噴霧発生装置の合成樹脂
材で形成される吹き出し部材を、コロナ放電処理するこ
とによって、表面に極微小凹凸条を形成すると共に合成
樹脂素材よりも多くの親水基 を形成することを特徴とす
るものである。本発明の請求項5に係る噴霧発生装置の
吹き出し部材の表面処理方法は、噴霧発生装置の合成樹
脂材で形成される吹き出し部材を、イオンビーム照射処
理することによって、表面に極微小凹凸条を形成すると
共に合成樹脂素材よりも多くの親水基を形成することを
特徴とするものである。
【0008】また請求項6の発明は、請求項5におい
て、吹き出し部材にマスクをしてイオンビーム照射処理
することを特徴とするものである。また請求項7の発明
は、請求項5又は6において、照射するイオンが酸素イ
オンであることを特徴とするものである。また請求項8
の発明は、請求項5又は6において、アルゴンイオンを
照射して吹き出し部材の表面をクリーニングした後、酸
素イオンを照射することを特徴とするものである。
【0009】
【作用】合成樹脂材で形成される吹き出し部材の表面に
極微小凹凸条を形成し、また合成樹脂素材よりも多くの
親水基表面に形成することによって、蒸気が水滴化せ
ずに濡れ広がらせるようにすることができ、水滴が生じ
ることを防ぐことができる。
【0010】
【実施例】以下本発明を実施例によって詳述する。 (実施例1)本実施例は請求項1及び請求項2に対応するものであ
り、図2に示すように反応器12内にアクリルニトリル
スチレン樹脂などの樹脂成形品で形成された吹き出し部
材Bを入れて電極13a,13b間にセットし、反応器
12内を0.01Torrに減圧した。この後に反応器
12内にガス導入口14から酸素ガスを導入した。この
ように酸素ガス雰囲気にして0.1Torrの一定圧力
下で放電用高周波電源31によって入力100W、高周
波13.56MHzの条件でグロー 放電させ、発生する
電離気体(プラズマ)で吹き出し部材Bの表面を数秒〜
数分間処理した。このとき、吹き出し部材Bの先端に電
離気体よりもマイナスの電位を可変に持たせるように可
変バイアス電源32に接続した電極33を設け、100
Vの負の電圧を電極33に印加し、電離気体空間中の正
電化を持った粒子の吹き出し部材Bに衝突させるエネル
ギーを変化させた。
【0011】このように酸素ガス雰囲気下でグロー放電
処理して電離気体で吹き出し部材Bの表面を処理するこ
とによって表面を改質した後、吹き出し部材Bの表面の
水の濡れ性の変化を表面接触角測定装置を用いて測定し
たところ、接触角は処理前よりも小さくなっており、水
に対する濡れの著しい向上がみられた。またこのように
グロー放電処理した後の吹き出し部材Bの表面を走査電
子顕微鏡で見たところ、グロー放電処理による電離気体
の作用で極微小な凹条溝による極微小凹凸条が生成され
ていることが観察された。さらに吹き出し部材Bの表面
をX線光電子分光分析による分析をしたところ、濡れ性
向上の原因の一つとなるカルボニル基等の酸素原子を有
する親水基が処理をする前よりも表面に多く存在するこ
とが認められた。このように極微小凹凸条の生成や親水
基の存在によって水に対して濡れを著しく向上させるこ
とができるものと考えられる。またこの実施例にあって
は、可変バイアス電圧によりグロー放電処理による電離
気体処理の効果を吹き出し部材Bの部位によって変える
ことが可能になり、特に水に対する濡れ性を向上させた
い吹き出し部材Bの先端部分の効率的な処理が可能とな
った。
【0012】吹き出し部材Bとしてカバー5の吹き出し
口6を用いるにあたって、この吹き出し口6を上記のよ
うにグロー放電処理による電離気体で処理し、これを吸
入器Aに装着して蒸気を発生させたところ、噴射される
蒸気は図1に符号15で示すように吹き出し口6の噴霧
ガイド10の表面に水滴化せずに濡れ広がり、水滴の飛
散や水滴による汚れの発生が皆無になった。また吹き出
し部材Bとして蒸気発生ユニット1や吸入液タンク2を
用いて同様にしてグロー放電処理による電離気体で処理
したところ、水に対する著しい濡れ性の向上がみられ、
水滴残渣による表面の汚れを防止することができた。さ
らに蒸気管3や吸い上げ管4を同様にし てグロー放電処
理による電離気体で処理したところ、水に対する著しい
濡れ性の向上がみられ、管の途中に発生する水滴によっ
て液輸送の妨げを防止することができ、効率良く蒸気を
発生させることができた。また、変性ポリフェニレンオ
キサイド樹脂(PPO)で形成される噴霧ノズル7は蒸
気の通路が極めて細い管状であるために表面コーティン
グして濡れ性の向上を図ることは不可能であるが、同様
にしてグロー放電処理による電離気体で処理したとこ
ろ、細い通路内も表面処理できるために水に対する著し
い濡れ性の向上がみられた。
【0013】(実施例2) 本実施例は請求項3に対応するものであり、実施例1の
ようにグロー放電処理して電離気体で吹き出し部材Bの
表面を処理するにあたって、反応器12内にアルゴンガ
スを導入して、入力200W、高周波13.56MHz
の条件でグロー放電をおこない、吹き出し部材Bの表面
の付着した有機汚染物を物理的衝撃効果で除去した後、
続いて酸素ガスを反応器12に導入して、実施例1と同
様にしてグロー放電処理した。この実施例でも上記実施
例1と同様の効果を得ることができると共に、吹き出し
部材Bの表面を清浄にすることができる。
【0014】(実施例3) 本実施例は請求項4に対応するものであり、図3に示す
ように下の電極16aの上に誘電体17を配置し、誘電
体17上にアクリルニトリルスチレン樹脂等で成形した
吹き出し部材Bがセットしてある。上の電極16bは吹
き出し口6等で形成される吹き出し部材Bの凹形状に沿
った形に形成して吹き出し部材B内に差し込むようにし
てある。そして大気圧下で数秒〜数分間、入力500W
の条件でコロナ放電させ、発生する電離気体(プラズ
マ)で吹き出し部材Bの表面を数秒〜数分間処理する。
【0015】このようにコロナ放電処理して電離気体で
吹き出し部材Bの表面を処理することによって表面を改
質した後、吹き出し部材Bの表面の水の濡れ性の変化を
表面接触角測定装置を用いて測定したところ、接触角は
処理前よりも小さくなってお り、水に対する濡れの著し
い向上がみられた。またこのようにコロナ放電処理した
後の吹き出し部材Bの表面を走査電子顕微鏡で見たとこ
ろ、コロナ放電処理による電離気体の作用で極微小な凹
条溝による極微小凹凸条が生成されていることが観察さ
れた。さらに吹き出し部材Bの表面をX線光電子分光分
析による分析をしたところ、濡れ性向上の原因の一つと
なるカルボニル基等の酸素原子を有する親水基が処理を
する前よりも表面に多く存在することが認められた。
【0016】吹き出し部材Bとしてカバー5の吹き出し
口6を用いて上記のコロナ放電処理による電離気体で処
理し、これを吸入器Aに装着して蒸気を発生させたとこ
ろ、実施例1と同様に噴射される蒸気は吹き出し口6の
噴霧ガイド10の表面に水滴化せずに濡れ広がり、水滴
の飛散や水滴による汚れの発生が皆無であった。また吹
き出し部材Bとして蒸気発生ユニット1や吸入液タンク
2を用いて同様にしてコロナ放電処理による電離気体で
処理したところ、水に対する著しい濡れ性の向上がみら
れ、水滴残渣による表面の汚れを防止することができ
た。
【0017】(実施例4) 本実施例は請求項5及び請求項7に対応するものであ
り、図4に示すように真空容器18内の試料固定台にア
クリルニトリルスチレン樹脂等で成形した吹き出し部材
Bをセットし、真空容器18内を1×10 -3 Torr以
下に減圧し、真空容器18に設けたカウフマン型イオン
銃19にて加速電圧400V、加速電流80mAの条件
で真上から酸素イオンビームを数秒〜数分間吹き出し部
材Bの表面に照射し、酸素イオンビームの照射によって
発生する電離気体を作用させた。
【0018】このようにイオンビーム照射による電離気
体で吹き出し部材Bの表面を処理することによって表面
を改質した後、吹き出し部材Bの表面の水の濡れ性の変
化を表面接触角測定装置を用いて測定したところ、接触
角は処理前よりも小さくなっており、水に対する濡れの
著しい向上がみられた。またこのようにイオンビーム照
射した後の吹き出し部材Bの表面を走査電子顕微鏡で見
たところ、イオンビーム照射による電離気体の作用で極
微小な凹条溝による極微小凹凸条が生成されて いること
が観察された。さらに吹き出し部材Bの表面をX線光電
子分光分析による分析をしたところ、上記実施例3の場
合と同様に濡れ性向上の原因の一つとなるカルボニル基
等の酸素原子を有する親水基が処理をする前よりも表面
に多く存在することが認められた。
【0019】吹き出し部材Bとしてカバー5の吹き出し
口6を用いて上記のイオンビーム照射をおこない、これ
を吸入器Aに装着して蒸気を発生させたところ、実施例
1と同様に噴射される蒸気は吹き出し口6の噴霧ガイド
10の表面に水滴化せずに濡れ広がり、水滴の飛散や水
滴による汚れの発生は皆無であった。また吹き出し部材
Bとして蒸気発生ユニット1や吸入液タンク2を用いて
同様にしてイオンビーム照射による電離気体で処理した
ところ、水に対する著しい濡れ性の向上がみられ、水滴
残渣による表面の汚れを防止することができた。
【0020】(実施例5) 本実施例は請求項6に対応するものであり、実施例4の
ようにイオンビーム照射するにあたって、吹き出し部材
Bに図5のようにマスク21をして、吹き出し部材Bの
蒸気やミストが通過する通路となる内面のみにイオンビ
ームが照射され、吹き出し部材Bの外面にはイオンビー
ムが照射されないようにした。吹き出し部材Bとしてカ
バー5の吹き出し口6を用いてこのイオンビーム照射を
おこない、これを吸入器Aに装着して蒸気を発生させた
ところ、吹き出し口6の内面のみが水滴化せずに濡れ広
がり、上記各実施例と同様の効果が得られ、また外面は
イオンビーム照射がされていないために水切れが良く、
水濡れによる使用者の不快感がなくなった。
【0021】(実施例6) 本実施例は請求項8に対応するものであり、実施例4の
ようにイオンビーム照射して電離気体で吹き出し部材B
の表面を処理するにあたって、真空容器18内に吹き出
し部材Bをセットして加速電圧1kV、加速電流160
mAの条件でアルゴンビームを照射して表面に付着した
有機汚染物を除去した後、実施例4と同 じ条件で酸素イ
オンビームを照射して処理する。この実施例でも上記実
施例4と同様の効果を得ることができると共に、吹き出
し部材Bの表面を清浄にすることができる。
【0022】
【発明の効果】上記のように本発明は、グロー放電や、
コロナ放電や、イオンビーム照射して合成樹脂の吹き出
し部材の表面を処理することによって、吹き出し部材の
表面に極微小凹凸を形成し、また極微小凹凸に加えて吹
き出し部材の表面に親水基を形成するようにしたので、
蒸気の粒子が水滴化せずに濡れ広がらせるようにするこ
とができるものであり、水滴が生じることを防いで均一
な粒子を噴霧することができるものである。しかも表面
に異なる材料を成膜するような必要なく表面処理をおこ
なうことができるものであって、膜の剥離による表面改
質効果の寿命低下や、剥離した膜が吸入器の場合に使用
者の口中に入ったりするというような問題はないもので
ある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によって処理された噴霧発生装置の吹き
出し部材の断面図である。
【図2】本発明の実施例1の概略図である。
【図3】本発明の実施例3の概略図である。
【図4】本発明の実施例4の概略図である。
【図5】本発明の実施例5の概略図である。
【図6】吸入器の断面図である。
【図7】吸入器の分解斜視図である。
【図8】従来例の断面図である。
【符号の説明】
B 吹き出し部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮野 孝広 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工 株式会社内 (72)発明者 渡里 義衛 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工 株式会社内 (56)参考文献 実開 昭60−191823(JP,U) 「高分子表面改質」第105−106頁,昭 和62年2月1日,株式会社近代編集社発 行

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 噴霧発生装置の合成樹脂材で形成される
    吹き出し部材を、グロー放電中のイオンを加速する可変
    バイアス電圧を印加した電極上でグロー放電処理するこ
    とによって、表面に極微小凹凸条を形成すると共に合成
    樹脂素材よりも多くの親水基を形成することを特徴とす
    る噴霧発生装置の吹き出し部材の表面処理方法。
  2. 【請求項2】 酸素ガス雰囲気中でグロー放電による処
    理をおこなうことを特徴とする請求項1に記載の噴霧発
    生装置の吹き出し部材の表面処理方法。
  3. 【請求項3】 アルゴンガス雰囲気中でグロー放電によ
    る処理をして吹き出し部材の表面をクリーニングした
    後、酸素ガス雰囲気中でグロー放電による処理をおこな
    うことを特徴とする請求項1に記載の噴霧発生装置の吹
    き出し部材の表面処理方法。
  4. 【請求項4】 噴霧発生装置の合成樹脂材で形成される
    吹き出し部材を、コロナ放電処理することによって、表
    面に極微小凹凸条を形成すると共に合成樹脂素材よりも
    多くの親水基を形成することを特徴とする噴霧発生装置
    の吹き出し部材の表面処理方法。
  5. 【請求項5】 噴霧発生装置の合成樹脂材で形成される
    吹き出し部材を、イオンビーム照射処理することによっ
    て、表面に極微小凹凸条を形成すると共に合成樹脂素材
    よりも多くの親水基を形成することを特徴とする噴霧発
    生装置の吹き出し部材の表面処理方法。
  6. 【請求項6】 吹き出し部材にマスクをしてイオンビー
    ム照射処理することを特徴とする請求項5に記載の噴霧
    発生装置の吹き出し部材の表面処理方法。
  7. 【請求項7】 照射するイオンが酸素イオンであること
    を特徴とする請求項5又は6に記載の噴霧発生装置の吹
    き出し部材の表面処理方法。
  8. 【請求項8】 アルゴンイオンを照射して吹き出し部材
    の表面をクリーニングした後、酸素イオンを照射するこ
    とを特徴とする請求項5又は6に記載の噴霧発生装置の
    吹き出し部材の表面処理方法。
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5190184B2 (ja) * 2006-06-12 2013-04-24 株式会社アルテコ ノズル及びノズルの製造方法並びにノズルを用いたスクイズ性容器及び塗出機並びに容器入り接着剤並びに液体の供給方法
EP3498327B1 (en) * 2012-06-25 2021-09-15 Fisher & Paykel Healthcare Limited Medical tube with microstructures for humidification and condensate management
EP2708219A1 (en) 2012-09-12 2014-03-19 PARI Pharma GmbH Opening element for opening an ampoule in an aerosol generation device and aerosol generation device comprising the opening element
CN105228680B (zh) 2013-03-14 2018-02-13 费雪派克医疗保健有限公司 具有用于加湿和冷凝物管理的微结构的医疗部件
DE102014215064A1 (de) * 2014-07-31 2016-02-04 Pari GmbH Spezialisten für effektive Inhalation Vernebler

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5359818A (en) * 1976-11-11 1978-05-30 Toyo Electric Mfg Co Ltd Inverter driving device for aac motor
JPS6024957A (ja) * 1983-07-20 1985-02-07 Seiko Epson Corp インクジエツト記録ヘツド及びその製造方法
JPS61157536A (ja) * 1984-12-28 1986-07-17 Nok Corp フツ素樹脂成形品の表面処理方法
JPH02138343A (ja) * 1988-03-29 1990-05-28 Asahi Chem Ind Co Ltd 芳香族ポリアミドフィルムの製造法
JPH03182758A (ja) * 1989-12-13 1991-08-08 Canon Inc 凹凸パターンの形成方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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