JP2907241B2 - ガス入り放電管の製造方法 - Google Patents
ガス入り放電管の製造方法Info
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- JP2907241B2 JP2907241B2 JP3156970A JP15697091A JP2907241B2 JP 2907241 B2 JP2907241 B2 JP 2907241B2 JP 3156970 A JP3156970 A JP 3156970A JP 15697091 A JP15697091 A JP 15697091A JP 2907241 B2 JP2907241 B2 JP 2907241B2
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はガス入り放電管の製造方
法に係り、例えばレーザ装置の放電ギャップスイッチ用
として好適なガス入り放電管の製造方法に関する。
法に係り、例えばレーザ装置の放電ギャップスイッチ用
として好適なガス入り放電管の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、例えばレーザ装置の始動に放
電ギャップスイッチを用いており、これらの放電ギャッ
プスイッチを不活性ガスを封入した放電管で構成するこ
とが提案されている。また、これらの放電ギャップスイ
ッチにおいて、放電管の放電開始電圧をある程度高くし
て過電圧率を高めるために、上記放電管内に封入する不
活性ガスの圧力を数気圧以上と高くすることも知られて
いる。
電ギャップスイッチを用いており、これらの放電ギャッ
プスイッチを不活性ガスを封入した放電管で構成するこ
とが提案されている。また、これらの放電ギャップスイ
ッチにおいて、放電管の放電開始電圧をある程度高くし
て過電圧率を高めるために、上記放電管内に封入する不
活性ガスの圧力を数気圧以上と高くすることも知られて
いる。
【0003】このような放電管Tは、図8に示したよう
に、セラミックス等の電気絶縁性材料で形成された筒体
2の両端開放部が放電電極部3aを有する一対の金属製
電極板3で封着されたもので、上記電極板3の筒体2へ
の封着としては、ガラスフリット、金属ろう等により溶
着する方法が用いられている。かかる工程は、不活性ガ
スが満たされた電気炉内で行われるのが好ましく、上記
溶着作業と同時に上記筒体2内への不活性ガスの封入も
行うようにしていた。
に、セラミックス等の電気絶縁性材料で形成された筒体
2の両端開放部が放電電極部3aを有する一対の金属製
電極板3で封着されたもので、上記電極板3の筒体2へ
の封着としては、ガラスフリット、金属ろう等により溶
着する方法が用いられている。かかる工程は、不活性ガ
スが満たされた電気炉内で行われるのが好ましく、上記
溶着作業と同時に上記筒体2内への不活性ガスの封入も
行うようにしていた。
【0004】ところが、上記したように、放電管T内に
は高圧の不活性ガスを封入する必要があるので、上記電
気炉内を高圧のガス雰囲気にする必要があり、かかる高
圧のガス雰囲気のもとでは、上記溶着作業を高品質に行
うことができない(良質のろう付けを行うことができな
い)という不都合があり、また、電気炉の耐圧化も必要
となり、装置全体が大型化するという不都合があった。
は高圧の不活性ガスを封入する必要があるので、上記電
気炉内を高圧のガス雰囲気にする必要があり、かかる高
圧のガス雰囲気のもとでは、上記溶着作業を高品質に行
うことができない(良質のろう付けを行うことができな
い)という不都合があり、また、電気炉の耐圧化も必要
となり、装置全体が大型化するという不都合があった。
【0005】そこで、発明者らは、図9に示したよう
に、放電管Tの電極板3及び放電電極部3aに放電管T
の内外を連通するような貫通孔11を設け、この貫通孔
11にガス封入パイプ12a、12bを気密に嵌着し、
このガス封入パイプの一方12aを封止してから他方の
ガス封入パイプ12bを介して高圧の不活性ガスを管内
に封入するようにした放電管Tを提案している(実願平
1−84030号参照)。
に、放電管Tの電極板3及び放電電極部3aに放電管T
の内外を連通するような貫通孔11を設け、この貫通孔
11にガス封入パイプ12a、12bを気密に嵌着し、
このガス封入パイプの一方12aを封止してから他方の
ガス封入パイプ12bを介して高圧の不活性ガスを管内
に封入するようにした放電管Tを提案している(実願平
1−84030号参照)。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の放
電管Tにおいては、図10に示したように、一方のガス
封入パイプ12aを封止してから他方のガス封入パイプ
12bに継手部10b、バルブ9、継手部10aを結合
し、この継手部10aを真空装置Mに接続して、真空装
置Mの切り換えで真空引きとガス封入とを行い、その後
上記他方のガス封入パイプ12bを封止するというガス
入れ加工を行わなければならず、かかるガス入れ加工
は、放電管T1つ毎に行う必要があるので、かかる高圧
のガス入り放電管Tを製造するにあたっては、その工程
が極めて多く、量産性が極めて悪いという不都合を有し
ている。また、上記したガス入れ加工においては、上記
継手部10bが1つの放電管T毎に使い捨てとなるの
で、その製造コストが嵩むという不都合も有している。
電管Tにおいては、図10に示したように、一方のガス
封入パイプ12aを封止してから他方のガス封入パイプ
12bに継手部10b、バルブ9、継手部10aを結合
し、この継手部10aを真空装置Mに接続して、真空装
置Mの切り換えで真空引きとガス封入とを行い、その後
上記他方のガス封入パイプ12bを封止するというガス
入れ加工を行わなければならず、かかるガス入れ加工
は、放電管T1つ毎に行う必要があるので、かかる高圧
のガス入り放電管Tを製造するにあたっては、その工程
が極めて多く、量産性が極めて悪いという不都合を有し
ている。また、上記したガス入れ加工においては、上記
継手部10bが1つの放電管T毎に使い捨てとなるの
で、その製造コストが嵩むという不都合も有している。
【0007】さらに、電極にガス封入のための管を接続
し、該ガス封入のための管を介して放電管内の排気及び
ガス吸気を行う、上述の実願平1−84030号や、特
開平3−141573号のガス入り放電管を、特公平1
−13627号や特開昭52−146549号の放電管
製造方法や、実開昭62−33147号のマニホールド
を用いて、複数同時に排気及びガス吸気することも考え
られる。 しかし、特公平1−132627号の放電管製
造方法を用いる場合には、直列に接続することで放電管
列をなした各放電管へのガス充填が、その放電管列の一
端を閉塞した状態で、この閉塞端側から反対の開放端側
に向かう一方向で行われ、その充填ガスの流れが閉塞端
で止まってしまうので、終局的には放電管列内で供給ガ
スが滞留してしまい、各放電管相互のガス濃度やガス圧
力の均等化を確実に達成することが困難となり、各放電
管のガス濃度やガス圧力にばらつきが発生してしまうと
いう不都合を有している。 また、特開昭52−1465
49号の放電管製造方法や、実開昭62−33147号
のマニホールドを用い、複数の放電管を並列接続して各
放電管にガスを充填する場合にも、これらにガスを供給
する経路は最後に閉塞されているため、充填ガスの流れ
は一方向となり、従って、充填ガスが終局的には放電管
列内で滞留してしまい、各放電管相互のガス濃度やガス
圧力の均等化を確実に達成することが困難となり、各放
電管のガス濃度やガス圧力にばらつきが発生してしまう
という不都合を有している。 そして、上述した各放電管
のガス濃度やガス圧力のばらつきは、特に、放電管の直
列接続数を増やすほど一層顕著となってしまう。
し、該ガス封入のための管を介して放電管内の排気及び
ガス吸気を行う、上述の実願平1−84030号や、特
開平3−141573号のガス入り放電管を、特公平1
−13627号や特開昭52−146549号の放電管
製造方法や、実開昭62−33147号のマニホールド
を用いて、複数同時に排気及びガス吸気することも考え
られる。 しかし、特公平1−132627号の放電管製
造方法を用いる場合には、直列に接続することで放電管
列をなした各放電管へのガス充填が、その放電管列の一
端を閉塞した状態で、この閉塞端側から反対の開放端側
に向かう一方向で行われ、その充填ガスの流れが閉塞端
で止まってしまうので、終局的には放電管列内で供給ガ
スが滞留してしまい、各放電管相互のガス濃度やガス圧
力の均等化を確実に達成することが困難となり、各放電
管のガス濃度やガス圧力にばらつきが発生してしまうと
いう不都合を有している。 また、特開昭52−1465
49号の放電管製造方法や、実開昭62−33147号
のマニホールドを用い、複数の放電管を並列接続して各
放電管にガスを充填する場合にも、これらにガスを供給
する経路は最後に閉塞されているため、充填ガスの流れ
は一方向となり、従って、充填ガスが終局的には放電管
列内で滞留してしまい、各放電管相互のガス濃度やガス
圧力の均等化を確実に達成することが困難となり、各放
電管のガス濃度やガス圧力にばらつきが発生してしまう
という不都合を有している。 そして、上述した各放電管
のガス濃度やガス圧力のばらつきは、特に、放電管の直
列接続数を増やすほど一層顕著となってしまう。
【0008】本発明は上記した点に鑑みてなされたもの
で、高圧の不活性ガスが封入された放電管を、均一なガ
ス濃度及びガス圧力で極めて安価に量産できるようにし
たガス入り放電管の製造方法を提供することを目的とす
るものである。
で、高圧の不活性ガスが封入された放電管を、均一なガ
ス濃度及びガス圧力で極めて安価に量産できるようにし
たガス入り放電管の製造方法を提供することを目的とす
るものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るガス入り放電管の製造方法は、電気絶
縁性筒体の両端開放部を、放電電極部を有する一対の電
極で封着し、1つが上記筒体の一方の端部に形成され、
かつ、他の1つが該筒体の一方及び他方のうちいずれか
の端部に形成されて、各々が上記筒体の内外を連通する
2つの貫通孔を介して、上記筒体内にガスを充填し、該
ガスが充填された上記筒体の上記各貫通孔をそれぞれ封
止して上記筒体内にガスを封入するガス入り放電管の製
造方法において、複数の上記筒体を、各筒体の一方の貫
通孔どうしを管体により互いに接続すると共に、各筒体
の他方の貫通孔どうしを管体により互いに接続すること
で、これら複数の筒体の内部どうしが互いに並列に連通
した並列筒体群とし、上記並列筒体群を構成する上記各
筒体の一方及び他方のうちいずれかの貫通孔どうしの管
体による接続部分から、該並列筒体群を構成する各筒体
の内部にガスを充填し、上記各筒体の内部へのガスの充
填後、各筒体の貫通孔どうしの管体による接続部分を封
止、切断するようにしたことをその特徴とするものであ
る。
に、本発明に係るガス入り放電管の製造方法は、電気絶
縁性筒体の両端開放部を、放電電極部を有する一対の電
極で封着し、1つが上記筒体の一方の端部に形成され、
かつ、他の1つが該筒体の一方及び他方のうちいずれか
の端部に形成されて、各々が上記筒体の内外を連通する
2つの貫通孔を介して、上記筒体内にガスを充填し、該
ガスが充填された上記筒体の上記各貫通孔をそれぞれ封
止して上記筒体内にガスを封入するガス入り放電管の製
造方法において、複数の上記筒体を、各筒体の一方の貫
通孔どうしを管体により互いに接続すると共に、各筒体
の他方の貫通孔どうしを管体により互いに接続すること
で、これら複数の筒体の内部どうしが互いに並列に連通
した並列筒体群とし、上記並列筒体群を構成する上記各
筒体の一方及び他方のうちいずれかの貫通孔どうしの管
体による接続部分から、該並列筒体群を構成する各筒体
の内部にガスを充填し、上記各筒体の内部へのガスの充
填後、各筒体の貫通孔どうしの管体による接続部分を封
止、切断するようにしたことをその特徴とするものであ
る。
【0010】また、上記構成に代えて、複数の上記筒体
を、各筒体の片方の貫通孔を他の筒体の片方の貫通孔と
管体により接続することで、これら複数の上記筒体の内
部どうしが互いに連鎖状に連通した連鎖状筒体群とし、
複数の上記連鎖状筒体群を、各連鎖状筒体群の両端部の
うち一方の端部に各々位置する各筒体の片方の貫通孔ど
うしを管体により互いに接続すると共に、各連鎖状筒体
群の両端部のうち他方の端部に各々位置する各筒体の片
方の貫通孔どうしを管体により互いに接続することで、
各連鎖状筒体群を構成する複数の筒体の内部どうしが上
記複数の連鎖状筒体群の相互間に亘って連通した並列連
鎖状筒体群とし、上記並列連鎖状筒体群を構成する上記
各連鎖状筒体群の一方の端部及び他方の端部のうちいず
れかの端部に各々位置する各筒体の片方の貫通孔どうし
の管体による接続部分から、該並列連鎖状筒体群を構成
する各連鎖状筒体群の各筒体の内部にガスを充填し、上
記各筒体の内部へのガスの充填後、各筒体の貫通孔どう
しの管体による接続部分を封止、切断するようにしたこ
とをその特徴とするものである。
を、各筒体の片方の貫通孔を他の筒体の片方の貫通孔と
管体により接続することで、これら複数の上記筒体の内
部どうしが互いに連鎖状に連通した連鎖状筒体群とし、
複数の上記連鎖状筒体群を、各連鎖状筒体群の両端部の
うち一方の端部に各々位置する各筒体の片方の貫通孔ど
うしを管体により互いに接続すると共に、各連鎖状筒体
群の両端部のうち他方の端部に各々位置する各筒体の片
方の貫通孔どうしを管体により互いに接続することで、
各連鎖状筒体群を構成する複数の筒体の内部どうしが上
記複数の連鎖状筒体群の相互間に亘って連通した並列連
鎖状筒体群とし、上記並列連鎖状筒体群を構成する上記
各連鎖状筒体群の一方の端部及び他方の端部のうちいず
れかの端部に各々位置する各筒体の片方の貫通孔どうし
の管体による接続部分から、該並列連鎖状筒体群を構成
する各連鎖状筒体群の各筒体の内部にガスを充填し、上
記各筒体の内部へのガスの充填後、各筒体の貫通孔どう
しの管体による接続部分を封止、切断するようにしたこ
とをその特徴とするものである。
【0011】
【作用】本発明によれば、高圧の不活性ガスが封入され
たガス入り放電管を一度に大量に製造することができ、
また、従来の製造方法では不可避であった筒体毎に使用
した継手部の使い捨て状態を改善することが可能とな
る。しかも、各放電管の筒体の内部どうしが、筒体の貫
通孔どうしを互いに接続する管体を介して他の筒体の内
部と連通していて、全体で並列の筒体群や並列の連鎖状
筒体群をなしていることから、並列筒体群の内部や並列
連鎖状筒体群の内部では閉塞端が形成されず、従って、
筒体内に供給されるガスが滞留することなく環流して全
ての筒体に万遍なく行き渡り、これにより、各放電管の
ガス濃度やガス圧力がばらつくのを確実に防止すること
が可能となる。
たガス入り放電管を一度に大量に製造することができ、
また、従来の製造方法では不可避であった筒体毎に使用
した継手部の使い捨て状態を改善することが可能とな
る。しかも、各放電管の筒体の内部どうしが、筒体の貫
通孔どうしを互いに接続する管体を介して他の筒体の内
部と連通していて、全体で並列の筒体群や並列の連鎖状
筒体群をなしていることから、並列筒体群の内部や並列
連鎖状筒体群の内部では閉塞端が形成されず、従って、
筒体内に供給されるガスが滞留することなく環流して全
ての筒体に万遍なく行き渡り、これにより、各放電管の
ガス濃度やガス圧力がばらつくのを確実に防止すること
が可能となる。
【0012】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図1は本発明に係るガス入り放電管の製造方法を
実施するための一配置例を示したもので、板状の治具1
を配設し、この治具1の上面には、予め別工程において
その両端開放部に放電電極部を有する一対の金属製電極
板3がろう付け等で封着されたセラミックス等の電気絶
縁性材料からなる筒体2が所定間隔おいて直列に複数個
配置されており、また、この複数個の筒体2からなる筒
体列4が並列に複数列配置されており、これにより、治
具1上には筒体群5が配置されるようになっている。ま
た、上記各筒体2には、図4に示したように、その電極
板3及び放電電極部3aに、筒体2の内外を連通する貫
通孔11が設けられており、上記各筒体列4の隣接する
筒体2間には、上記貫通孔11と内径が等しい金属製の
連接管6が配置されるようになっている。そして、この
連接管6を介して上記各筒体列4の筒体2が連通状態と
なるようになっている。
する。図1は本発明に係るガス入り放電管の製造方法を
実施するための一配置例を示したもので、板状の治具1
を配設し、この治具1の上面には、予め別工程において
その両端開放部に放電電極部を有する一対の金属製電極
板3がろう付け等で封着されたセラミックス等の電気絶
縁性材料からなる筒体2が所定間隔おいて直列に複数個
配置されており、また、この複数個の筒体2からなる筒
体列4が並列に複数列配置されており、これにより、治
具1上には筒体群5が配置されるようになっている。ま
た、上記各筒体2には、図4に示したように、その電極
板3及び放電電極部3aに、筒体2の内外を連通する貫
通孔11が設けられており、上記各筒体列4の隣接する
筒体2間には、上記貫通孔11と内径が等しい金属製の
連接管6が配置されるようになっている。そして、この
連接管6を介して上記各筒体列4の筒体2が連通状態と
なるようになっている。
【0013】また、上記治具1上への筒体2及び連接管
6の配置作業と別工程で形成され、上記配置された筒体
列4と同数の分岐部7aを有し、その集合部7bが後述
する真空装置Mに接続される1組の金属製封入用集合管
7が設けられており(図2)、この封入用集合管7は、
上述した筒体2への電極板3のろう付け温度及び後述す
る筒体2と連接管6等とのろう付け温度と異なる温度の
ろう付け加工等により組み立てられるようになってい
る。上記封入用集合管7の分岐部7aは、上記連接管6
と同様にその内径が上記貫通孔11と等しくなってお
り、この各分岐部7aが対応する各筒体列4のほぼ中央
部に位置するように、上記封入用集合管7が上記治具1
上に配置されることで、上記分岐部7aを介して分岐部
7aの両側に位置する筒体2が連通状態となるようにな
っている。そしてこれにより、上記封入用集合管7と各
筒体列4とが連通状態となり、また、上記封入用集合管
7により上記治具1上に配置された筒体群5が二分され
るようになっている。
6の配置作業と別工程で形成され、上記配置された筒体
列4と同数の分岐部7aを有し、その集合部7bが後述
する真空装置Mに接続される1組の金属製封入用集合管
7が設けられており(図2)、この封入用集合管7は、
上述した筒体2への電極板3のろう付け温度及び後述す
る筒体2と連接管6等とのろう付け温度と異なる温度の
ろう付け加工等により組み立てられるようになってい
る。上記封入用集合管7の分岐部7aは、上記連接管6
と同様にその内径が上記貫通孔11と等しくなってお
り、この各分岐部7aが対応する各筒体列4のほぼ中央
部に位置するように、上記封入用集合管7が上記治具1
上に配置されることで、上記分岐部7aを介して分岐部
7aの両側に位置する筒体2が連通状態となるようにな
っている。そしてこれにより、上記封入用集合管7と各
筒体列4とが連通状態となり、また、上記封入用集合管
7により上記治具1上に配置された筒体群5が二分され
るようになっている。
【0014】さらに、上記封入用集合管7と同様な温度
のろう付け加工等により別工程で形成され、上記筒体列
4と同数の分岐部8aを有すると共に、この分岐部8a
が集合部8bで連通状態とされ、かつ、上記分岐部8a
の一端部8a′が後述するように封止される2組の金属
製封止用集合管8が設けられており、この各封止用集合
管8が上記治具1上に配置されて上記筒体群5の両端部
に位置するようになされている。ここで、上記封止用集
合管8の分岐部8aも、上記連接管6と同様にその内径
が上記貫通孔11と等しくなっており、これにより、上
記分岐部8aの封止端とならない部位を介して各筒体列
4の端部に位置する筒体2と封止用集合管8とが連通状
態となるようになっている。
のろう付け加工等により別工程で形成され、上記筒体列
4と同数の分岐部8aを有すると共に、この分岐部8a
が集合部8bで連通状態とされ、かつ、上記分岐部8a
の一端部8a′が後述するように封止される2組の金属
製封止用集合管8が設けられており、この各封止用集合
管8が上記治具1上に配置されて上記筒体群5の両端部
に位置するようになされている。ここで、上記封止用集
合管8の分岐部8aも、上記連接管6と同様にその内径
が上記貫通孔11と等しくなっており、これにより、上
記分岐部8aの封止端とならない部位を介して各筒体列
4の端部に位置する筒体2と封止用集合管8とが連通状
態となるようになっている。
【0015】そして、上記治具1上に筒体2、連接管
6、封入用集合管7及び封止用集合管8が配置され、か
つ、これらの接続部に金属ろう等が塗布された状態で、
上記治具1全体が例えば真空の電気炉(図示せず)内に
搬入され、この状態で、上記筒体2への電極板3のろう
付け温度及び上記封入用集合管7、封止用集合管8の組
み立てろう付け温度と異なる温度で、筒体2と連接管
6、筒体2と封入用集合管7及び筒体2と封止用集合管
8とのろう付けが行われるようになっている。また、上
記ろう付けが終了した段階で、上記封止用集合管8の分
岐部8aのろう付けがされていない開放端部8a′が電
気溶接等により封止されるようになっている。従って、
本実施例では、各筒体列4とそれ以外の他の少なくとも
1つの筒体列4とが、封入用集合管7及び封止用集合管
8を介して、連鎖状に連通して、請求項に記載の連鎖状
筒体群を構成している。また、本実施例では、各筒体列
4の各筒体2が、同じ筒体列4の他の筒体2や連接管6
を介し、さらに、封入用集合管7及び封止用集合管8を
介して互いに連通し、これにより、請求項中に記載の並
列筒体群を構成している。そして、請求項中に記載の連
鎖状筒体群と並列筒体群とを組み合わせた構成の、全筒
体2の内部どうしが互いに連通した連鎖状の筒体群5
が、請求項中に記載の並列連鎖状筒体群として上記治具
1上に形成されるようになっている。
6、封入用集合管7及び封止用集合管8が配置され、か
つ、これらの接続部に金属ろう等が塗布された状態で、
上記治具1全体が例えば真空の電気炉(図示せず)内に
搬入され、この状態で、上記筒体2への電極板3のろう
付け温度及び上記封入用集合管7、封止用集合管8の組
み立てろう付け温度と異なる温度で、筒体2と連接管
6、筒体2と封入用集合管7及び筒体2と封止用集合管
8とのろう付けが行われるようになっている。また、上
記ろう付けが終了した段階で、上記封止用集合管8の分
岐部8aのろう付けがされていない開放端部8a′が電
気溶接等により封止されるようになっている。従って、
本実施例では、各筒体列4とそれ以外の他の少なくとも
1つの筒体列4とが、封入用集合管7及び封止用集合管
8を介して、連鎖状に連通して、請求項に記載の連鎖状
筒体群を構成している。また、本実施例では、各筒体列
4の各筒体2が、同じ筒体列4の他の筒体2や連接管6
を介し、さらに、封入用集合管7及び封止用集合管8を
介して互いに連通し、これにより、請求項中に記載の並
列筒体群を構成している。そして、請求項中に記載の連
鎖状筒体群と並列筒体群とを組み合わせた構成の、全筒
体2の内部どうしが互いに連通した連鎖状の筒体群5
が、請求項中に記載の並列連鎖状筒体群として上記治具
1上に形成されるようになっている。
【0016】また、上記封入用集合管7の集合部7bに
は、バルブ9及び継手部10a、10bを介して真空装
置Mの配管系が接続されるようになっており、これによ
り、上記筒体群5と真空装置Mとが連通状態となり、こ
の真空装置Mの切り換えで、後述するように上記筒体群
5の真空引きとガス封入とが行われるようになってい
る。
は、バルブ9及び継手部10a、10bを介して真空装
置Mの配管系が接続されるようになっており、これによ
り、上記筒体群5と真空装置Mとが連通状態となり、こ
の真空装置Mの切り換えで、後述するように上記筒体群
5の真空引きとガス封入とが行われるようになってい
る。
【0017】次に、本発明に係る製造方法の手順につい
て説明する。まず、封入用集合管7に接続した真空装置
Mにより真空引きを行い、封入用集合管7と連通状態と
なった筒体群5を真空にする。ここで、この筒体群5が
真空状態か否かは、真空装置Mに設けた圧力計等で判断
し、完全な真空状態であれば、次に真空装置Mを切り換
えて、筒体群5に不活性ガスを封入する。この際、各筒
体列4の各筒体2には、封入用集合管7側からと封止用
集合管8側からとの両方から真空装置Mによりガスが供
給され、換言すると、封入用集合管7側から各筒体列4
の各筒体2に供給されたガスは、封止用集合管8側から
真空装置M側や他の筒体列4に還流し、反対に、封止用
集合管8側から各筒体列4の各筒体2に供給されたガス
は、封入用集合管7側から真空装置M側や他の筒体列4
に環流する。 従って、真空装置Mから各筒体列4の各筒
体2に供給されたガスは、筒体群5のどこかで滞留する
ことなく、筒体群5の全筒体2に行き渡る。
て説明する。まず、封入用集合管7に接続した真空装置
Mにより真空引きを行い、封入用集合管7と連通状態と
なった筒体群5を真空にする。ここで、この筒体群5が
真空状態か否かは、真空装置Mに設けた圧力計等で判断
し、完全な真空状態であれば、次に真空装置Mを切り換
えて、筒体群5に不活性ガスを封入する。この際、各筒
体列4の各筒体2には、封入用集合管7側からと封止用
集合管8側からとの両方から真空装置Mによりガスが供
給され、換言すると、封入用集合管7側から各筒体列4
の各筒体2に供給されたガスは、封止用集合管8側から
真空装置M側や他の筒体列4に還流し、反対に、封止用
集合管8側から各筒体列4の各筒体2に供給されたガス
は、封入用集合管7側から真空装置M側や他の筒体列4
に環流する。 従って、真空装置Mから各筒体列4の各筒
体2に供給されたガスは、筒体群5のどこかで滞留する
ことなく、筒体群5の全筒体2に行き渡る。
【0018】そして、ガス封入が終了したら、封入用集
合管7と筒体2とを接続する分岐部7a、封止用集合管
8の分岐部8a及び筒体2間の連接管6のほぼ中間部分
を図示しない電気溶接装置等により所定幅溶着すると共
に封止し、この所定幅の封止部分のほぼ中間部位を、上
記電気溶接装置に内蔵された図示しない切断刃で切断
し、連鎖状に形成した筒体群5を図3に示したような個
々のガス入り放電管Tにする。
合管7と筒体2とを接続する分岐部7a、封止用集合管
8の分岐部8a及び筒体2間の連接管6のほぼ中間部分
を図示しない電気溶接装置等により所定幅溶着すると共
に封止し、この所定幅の封止部分のほぼ中間部位を、上
記電気溶接装置に内蔵された図示しない切断刃で切断
し、連鎖状に形成した筒体群5を図3に示したような個
々のガス入り放電管Tにする。
【0019】また、上記真空装置Mによる真空引きが圧
力計から判断して十分でない時は、上記筒体群5の上記
各種ろう付け作業の一部が完全でない等が判明するが、
この場合、その不完全な場所が特定できないので、その
時は、図1に示したように、筒体群5の中央部に配置さ
れた封入用集合管7の分岐部7aの一部を上記電気溶接
等で封止すると共に切断し(図中A線)、筒体群5を二
分して、この二分した一方の筒体群5aと上記真空装置
Mに接続した封入用集合管7とが接続した状態とする。
そして、この状態で一方の筒体群5aの真空引きを再び
行い、この筒体群5aが完全な真空状態であれば、他方
の筒体群5bに問題があることが判明するので、問題の
ない一方の筒体群5aについては上述した各種作業を行
って個々のガス入り放電管Tを形成する。
力計から判断して十分でない時は、上記筒体群5の上記
各種ろう付け作業の一部が完全でない等が判明するが、
この場合、その不完全な場所が特定できないので、その
時は、図1に示したように、筒体群5の中央部に配置さ
れた封入用集合管7の分岐部7aの一部を上記電気溶接
等で封止すると共に切断し(図中A線)、筒体群5を二
分して、この二分した一方の筒体群5aと上記真空装置
Mに接続した封入用集合管7とが接続した状態とする。
そして、この状態で一方の筒体群5aの真空引きを再び
行い、この筒体群5aが完全な真空状態であれば、他方
の筒体群5bに問題があることが判明するので、問題の
ない一方の筒体群5aについては上述した各種作業を行
って個々のガス入り放電管Tを形成する。
【0020】また、問題がある上記他方の筒体群5bに
ついては、この筒体群5bの端部にろう付けされた上記
封止用集合管8の集合部8bのほぼ中央部分を上記した
ように封止すると共に切断し(図中B線)、筒体群5b
をさらに二分する。そして、この二分した各筒体群5
c、5dの封止用集合管8の分岐部8aの封止端8a′
の一つを開放し、この開放端に図示しないバルブ、継手
部を介して真空装置を接続し、上記各筒体群5c、5d
の真空引きを行って問題がある筒体群がどれであるかを
判明させる。そして、問題がない筒体群については上述
した同様の作業を行って個々のガス入り放電管Tを形成
し、また、問題がある筒体群についても、上述した作業
を繰り返して問題がある場所がどこであるかを特定する
ようにし、これにより、良品のガス入り放電管Tを量産
するようにする。
ついては、この筒体群5bの端部にろう付けされた上記
封止用集合管8の集合部8bのほぼ中央部分を上記した
ように封止すると共に切断し(図中B線)、筒体群5b
をさらに二分する。そして、この二分した各筒体群5
c、5dの封止用集合管8の分岐部8aの封止端8a′
の一つを開放し、この開放端に図示しないバルブ、継手
部を介して真空装置を接続し、上記各筒体群5c、5d
の真空引きを行って問題がある筒体群がどれであるかを
判明させる。そして、問題がない筒体群については上述
した同様の作業を行って個々のガス入り放電管Tを形成
し、また、問題がある筒体群についても、上述した作業
を繰り返して問題がある場所がどこであるかを特定する
ようにし、これにより、良品のガス入り放電管Tを量産
するようにする。
【0021】なお、上述したように形成したガス入り放
電管T(図3)のガス封入部分6(7a、8a)は、例
えばレーザ装置の始動用放電ギャップスイッチとして組
み込むにあたっての位置決め並びに係止用部材として使
用できるものである。また、上記ガス入り放電管Tのガ
ス封入部分6の封止の信頼性を高めるために、図5に示
したように、上記封入部分6を二か所で封止するように
してもよい。
電管T(図3)のガス封入部分6(7a、8a)は、例
えばレーザ装置の始動用放電ギャップスイッチとして組
み込むにあたっての位置決め並びに係止用部材として使
用できるものである。また、上記ガス入り放電管Tのガ
ス封入部分6の封止の信頼性を高めるために、図5に示
したように、上記封入部分6を二か所で封止するように
してもよい。
【0022】従って、本実施例においては、電極板3で
両端開放部が封着された筒体2を連接管6を介して直列
に複数配置すると共に、この複数の筒体2からなる筒体
列4を並列に複数配置して治具1上に筒体群5を配置
し、この筒体群5の中央部に、上記複数の筒体列4と同
数の分岐部7aを有し、その集合部7bが真空装置Mに
接続される封入用集合管7を配置し、さらに、上記筒体
群5の両端部に、上記筒体列4と同数で集合部8bで連
通状態とされた分岐部8aを有し、この分岐部8aの一
端部が封止された封止用集合管8を配置し、この状態で
上記筒体2、連接管6、封入用集合管7及び封止用集合
管8をろう付けして上記封入用集合管7と連通状態の筒
体群5を形成し、その後、上記封入用集合管7に接続さ
れた真空装置Mで真空引きを行うと共にガス封入を行
い、最後に、上記連接管6、封入用集合管7の分岐部7
a及び封止用集合管8の分岐部8aを封止、切断してガ
ス入り放電管Tを形成するようにしているので、高圧の
不活性ガスが封入されたガス入り放電管Tを一度に大量
に製造することができ、その生産性を著しく向上させる
ことができる。
両端開放部が封着された筒体2を連接管6を介して直列
に複数配置すると共に、この複数の筒体2からなる筒体
列4を並列に複数配置して治具1上に筒体群5を配置
し、この筒体群5の中央部に、上記複数の筒体列4と同
数の分岐部7aを有し、その集合部7bが真空装置Mに
接続される封入用集合管7を配置し、さらに、上記筒体
群5の両端部に、上記筒体列4と同数で集合部8bで連
通状態とされた分岐部8aを有し、この分岐部8aの一
端部が封止された封止用集合管8を配置し、この状態で
上記筒体2、連接管6、封入用集合管7及び封止用集合
管8をろう付けして上記封入用集合管7と連通状態の筒
体群5を形成し、その後、上記封入用集合管7に接続さ
れた真空装置Mで真空引きを行うと共にガス封入を行
い、最後に、上記連接管6、封入用集合管7の分岐部7
a及び封止用集合管8の分岐部8aを封止、切断してガ
ス入り放電管Tを形成するようにしているので、高圧の
不活性ガスが封入されたガス入り放電管Tを一度に大量
に製造することができ、その生産性を著しく向上させる
ことができる。
【0023】また、従来のように筒体2毎にバルブ、継
手部を介して真空装置を接続するのではなく、筒体群5
にバルブ9、継手部10a、10bを介して真空装置M
を接続するようにしているので、従来の製造方法では不
可避であった筒体2毎に使用した継手部10bの使い捨
て状態を改善することができ、全体の製造コストを著し
く低減させることができる。しかも、筒体群5におい
て、封入用集合管7側と封止用集合管8側とのうちいず
れか一方側から各筒体列4の各筒体2に供給された真空
装置Mからのガスが、封入用集合管7側と封止用集合管
8側とのうちいずれか他方側から真空装置M側や他の筒
体列4に環流し、筒体群5のどこかで滞留することな
く、筒体群5の全筒体2に行き渡るので、筒体群5の各
筒体2において内部に充填されるガスの濃度や圧力にば
らつきが発生するのを確実に防止し、全筒体2に均一し
た濃度及び圧力でガスを充填、封入することができる。
手部を介して真空装置を接続するのではなく、筒体群5
にバルブ9、継手部10a、10bを介して真空装置M
を接続するようにしているので、従来の製造方法では不
可避であった筒体2毎に使用した継手部10bの使い捨
て状態を改善することができ、全体の製造コストを著し
く低減させることができる。しかも、筒体群5におい
て、封入用集合管7側と封止用集合管8側とのうちいず
れか一方側から各筒体列4の各筒体2に供給された真空
装置Mからのガスが、封入用集合管7側と封止用集合管
8側とのうちいずれか他方側から真空装置M側や他の筒
体列4に環流し、筒体群5のどこかで滞留することな
く、筒体群5の全筒体2に行き渡るので、筒体群5の各
筒体2において内部に充填されるガスの濃度や圧力にば
らつきが発生するのを確実に防止し、全筒体2に均一し
た濃度及び圧力でガスを充填、封入することができる。
【0024】さらに、上記封入用集合管7と連通状態に
ある上記筒体群5の真空引きができない場合には、封入
用集合管7を封止、切断して上記筒体群5を二つの筒体
群5a、5bに分割し、この分割した各筒体群に真空装
置を接続して真空引きを行うことで、真空状態とならな
い筒体群が判明でき、この作業を繰り返すことで、製造
すべき筒体群内に不良品が有るか否かを検査しつつ、良
品のガス入り放電管Tのみを量産することができる。
ある上記筒体群5の真空引きができない場合には、封入
用集合管7を封止、切断して上記筒体群5を二つの筒体
群5a、5bに分割し、この分割した各筒体群に真空装
置を接続して真空引きを行うことで、真空状態とならな
い筒体群が判明でき、この作業を繰り返すことで、製造
すべき筒体群内に不良品が有るか否かを検査しつつ、良
品のガス入り放電管Tのみを量産することができる。
【0025】図6及び図7は本発明に係る製造方法を実
施するための他の配置例を示したもので、治具1上に連
接管6を介して直列に配置した複数の筒体2を、図6の
ように、その長手方向が封入用集合管の集合部(図示せ
ず)と略平行になるように配置し、連接管6が筒体2の
一方の電極板3に2本配置されるようにしたもので、他
は上記配置例と同様となっている。このようにしても、
上記配置例と同様に高圧の不活性ガスが封入された良品
のガス入り放電管Tを大量に製造することができ、か
つ、その製造コストを低減させることができるものであ
る。
施するための他の配置例を示したもので、治具1上に連
接管6を介して直列に配置した複数の筒体2を、図6の
ように、その長手方向が封入用集合管の集合部(図示せ
ず)と略平行になるように配置し、連接管6が筒体2の
一方の電極板3に2本配置されるようにしたもので、他
は上記配置例と同様となっている。このようにしても、
上記配置例と同様に高圧の不活性ガスが封入された良品
のガス入り放電管Tを大量に製造することができ、か
つ、その製造コストを低減させることができるものであ
る。
【0026】なお、本発明は上述した実施例に限定され
るものではなく、種々変更することができるものであ
り、例えば、上述したように封入用集合管7を筒体群5
の中央部に配置せずに筒体群5の一端部に配置し、他端
部には封止用集合管8を配置するようにしてもよい。ま
た、予め電極板3が封着された筒体2を治具1上に配置
せずに、筒体2、電極板3、連接管6、封入用集合管7
及び封止用集合管8を治具1上にそれぞれ配置し、これ
らを一度にろう付け加工するようにしてもよい。
るものではなく、種々変更することができるものであ
り、例えば、上述したように封入用集合管7を筒体群5
の中央部に配置せずに筒体群5の一端部に配置し、他端
部には封止用集合管8を配置するようにしてもよい。ま
た、予め電極板3が封着された筒体2を治具1上に配置
せずに、筒体2、電極板3、連接管6、封入用集合管7
及び封止用集合管8を治具1上にそれぞれ配置し、これ
らを一度にろう付け加工するようにしてもよい。
【0027】
【発明の効果】以上述べたように本発明に係るガス入り
放電管の製造方法は、電気絶縁性筒体の両端開放部を、
放電電極部を有する一対の電極で封着し、1つが上記筒
体の一方の端部に形成され、かつ、他の1つが該筒体の
一方及び他方のうちいずれかの端部に形成されて、各々
が上記筒体の内外を連通する2つの貫通孔を介して、上
記筒体内にガスを充填し、該ガスが充填された上記筒体
の上記各貫通孔をそれぞれ封止して上記筒体内にガスを
封入するガス入り放電管の製造方法において、複数の上
記筒体を、各筒体の一方の貫通孔どうしを管体により互
いに接続すると共に、各筒体の他方の貫通孔どうしを管
体により互いに接続することで、これら複数の筒体の内
部どうしが互いに並列に連通した並列筒体群とし、上記
並列筒体群を構成する上記各筒体の一方及び他方のうち
いずれかの貫通孔どうしの管体による接続部分から、該
並列筒体群を構成する各筒体の内部にガスを充填し、上
記各筒体の内部へのガスの充填後、各筒体の貫通孔どう
しの管体による接続部分を封止、切断するようにした
り、複数の上記筒体を、各筒体の片方の貫通孔を他の筒
体の片方の貫通孔と管体により接続することで、これら
複数の上記筒体の内部どうしが互いに連鎖状に連通した
連鎖状筒体群とし、複数の上記連鎖状筒体群を、各連鎖
状筒体群の両端部のうち一方の端部に各々位置する各筒
体の片方の貫通孔どうしを管体により互いに接続すると
共に、各連鎖状筒体群の両端部のうち他方の端部に各々
位置する各筒体の片方の貫通孔どうしを管体により互い
に接続することで、各連鎖状筒体群を構成する複数の筒
体の内部どうしが上記複数の連鎖状筒体群の相互間に亘
って連通した並列連鎖状筒体群とし、上記並列連鎖状筒
体群を構成する上記各連鎖状筒体群の一方の端部及び他
方の端部のうちいずれかの端部に各々位置する各筒体の
片方の貫通孔どうしの管体による接続部分から、該並列
連鎖状筒体群を構成する各連鎖状筒体群の各筒体の内部
にガスを充填し、上記各筒体の内部へのガスの充填後、
各筒体の貫通孔どうしの管体による接続部分を封止、切
断するようにした。このため、高圧の不活性ガスが封入
されたガス入り放電管を一度に大量に製造することがで
き、その生産性を著しく向上させることができ、また、
従来の製造方法では不可避であった筒体毎に使用した継
手部の使い捨て状態を改善することができ、全体の製造
コストを著しく低減させることができる。しかも、各放
電管の筒体の内部どうしが、筒体の貫通孔どうしを互い
に接続する管体を介して他の筒体の内部と連通してい
て、全体で並列の筒体群や並列の連鎖状筒体群をなして
いることから、並列筒体群の内部や並列連鎖状筒体群の
内部では閉塞端が形成されず、従って、筒体内に供給さ
れるガスが滞留することなく環流して全ての筒体に万遍
なく行き渡り、これにより、各放電管のガス濃度やガス
圧力がばらつくのを確実に防止することができる。
放電管の製造方法は、電気絶縁性筒体の両端開放部を、
放電電極部を有する一対の電極で封着し、1つが上記筒
体の一方の端部に形成され、かつ、他の1つが該筒体の
一方及び他方のうちいずれかの端部に形成されて、各々
が上記筒体の内外を連通する2つの貫通孔を介して、上
記筒体内にガスを充填し、該ガスが充填された上記筒体
の上記各貫通孔をそれぞれ封止して上記筒体内にガスを
封入するガス入り放電管の製造方法において、複数の上
記筒体を、各筒体の一方の貫通孔どうしを管体により互
いに接続すると共に、各筒体の他方の貫通孔どうしを管
体により互いに接続することで、これら複数の筒体の内
部どうしが互いに並列に連通した並列筒体群とし、上記
並列筒体群を構成する上記各筒体の一方及び他方のうち
いずれかの貫通孔どうしの管体による接続部分から、該
並列筒体群を構成する各筒体の内部にガスを充填し、上
記各筒体の内部へのガスの充填後、各筒体の貫通孔どう
しの管体による接続部分を封止、切断するようにした
り、複数の上記筒体を、各筒体の片方の貫通孔を他の筒
体の片方の貫通孔と管体により接続することで、これら
複数の上記筒体の内部どうしが互いに連鎖状に連通した
連鎖状筒体群とし、複数の上記連鎖状筒体群を、各連鎖
状筒体群の両端部のうち一方の端部に各々位置する各筒
体の片方の貫通孔どうしを管体により互いに接続すると
共に、各連鎖状筒体群の両端部のうち他方の端部に各々
位置する各筒体の片方の貫通孔どうしを管体により互い
に接続することで、各連鎖状筒体群を構成する複数の筒
体の内部どうしが上記複数の連鎖状筒体群の相互間に亘
って連通した並列連鎖状筒体群とし、上記並列連鎖状筒
体群を構成する上記各連鎖状筒体群の一方の端部及び他
方の端部のうちいずれかの端部に各々位置する各筒体の
片方の貫通孔どうしの管体による接続部分から、該並列
連鎖状筒体群を構成する各連鎖状筒体群の各筒体の内部
にガスを充填し、上記各筒体の内部へのガスの充填後、
各筒体の貫通孔どうしの管体による接続部分を封止、切
断するようにした。このため、高圧の不活性ガスが封入
されたガス入り放電管を一度に大量に製造することがで
き、その生産性を著しく向上させることができ、また、
従来の製造方法では不可避であった筒体毎に使用した継
手部の使い捨て状態を改善することができ、全体の製造
コストを著しく低減させることができる。しかも、各放
電管の筒体の内部どうしが、筒体の貫通孔どうしを互い
に接続する管体を介して他の筒体の内部と連通してい
て、全体で並列の筒体群や並列の連鎖状筒体群をなして
いることから、並列筒体群の内部や並列連鎖状筒体群の
内部では閉塞端が形成されず、従って、筒体内に供給さ
れるガスが滞留することなく環流して全ての筒体に万遍
なく行き渡り、これにより、各放電管のガス濃度やガス
圧力がばらつくのを確実に防止することができる。
【図1】本発明に係る製造方法を実施するための一配置
例を示す概略図である。
例を示す概略図である。
【図2】図1の配置例に使用する封入用集合管の斜視図
である。
である。
【図3】本製造方法により形成された放電管の斜視図で
ある。
ある。
【図4】本製造方法により形成された放電管の断面図で
ある。
ある。
【図5】封止性をより高めた放電管の斜視図である。
【図6】本発明に係る製造方法を実施するための他の配
置例を示す概略図である。
置例を示す概略図である。
【図7】図6の配置例により形成された放電管の斜視図
である。
である。
【図8】従来の放電管を示す断面図である。
【図9】従来のガス封入パイプ付放電管を示す断面図で
ある。
ある。
【図10】従来のガス封入方法を示す概略図である。
1 治具 2 筒体 3 電極板 4 筒体列 5 筒体群 6 連接管 7 封入用集合管 8 封止用集合管11 貫通孔 M 真空装置 T 放電管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平3−141573(JP,A) 特開 昭52−146549(JP,A) 実開 平3−24290(JP,U) 実開 昭62−33147(JP,U) 特公 平1−13627(JP,B1)
Claims (2)
- 【請求項1】 電気絶縁性筒体の両端開放部を、放電電
極部を有する一対の電極で封着し、1つが上記筒体の一
方の端部に形成され、かつ、他の1つが該筒体の一方及
び他方のうちいずれかの端部に形成されて、各々が上記
筒体の内外を連通する2つの貫通孔を介して、上記筒体
内にガスを充填し、該ガスが充填された上記筒体の上記
各貫通孔をそれぞれ封止して上記筒体内にガスを封入す
るガス入り放電管の製造方法において、 複数の上記筒体を、各筒体の一方の貫通孔どうしを管体
により互いに接続すると共に、各筒体の他方の貫通孔ど
うしを管体により互いに接続することで、これら複数の
筒体の内部どうしが互いに並列に連通した並列筒体群と
し、 上記並列筒体群を構成する上記各筒体の一方及び他方の
うちいずれかの貫通孔どうしの管体による接続部分か
ら、該並列筒体群を構成する各筒体の内部にガスを充填
し、 上記各筒体の内部へのガスの充填後、各筒体の貫通孔ど
うしの管体による接続部分を封止、切断するようにし
た、 ことを特徴とするガス入り放電管の製造方法。 - 【請求項2】 電気絶縁性筒体の両端開放部を、放電電
極部を有する一対の電極で封着し、1つが上記筒体の一
方の端部に形成され、かつ、他の1つが該筒体の一方及
び他方のうちいずれかの端部に形成されて、各々が上記
筒体の内外を連通する2つの貫通孔を介して、上記筒体
内にガスを充填し、該ガスが充填された上記筒体の上記
各貫通孔をそれぞれ封止して上記筒体内にガスを封入す
るガス入り放電管の製造方法において、 複数の上記筒体を、各筒体の片方の貫通孔を他の筒体の
片方の貫通孔と管体により接続することで、これら複数
の上記筒体の内部どうしが互いに連鎖状に連通した連鎖
状筒体群とし、 複数の上記連鎖状筒体群を、各連鎖状筒体群の両端部の
うち一方の端部に各々位置する各筒体の片方の貫通孔ど
うしを管体により互いに接続すると共に、各連鎖状筒体
群の両端部のうち他方の端部に各々位置する各筒体の片
方の貫通孔どうしを管体により互いに接続することで、
各連鎖状筒体群を構成する複数の筒体の内部どうしが上
記複数の連鎖状筒体群の相互間に亘って連通した並列連
鎖状筒体群とし、 上記並列連鎖状筒体群を構成する上記各連鎖状筒体群の
一方の端部及び他方の端部のうちいずれかの端部に各々
位置する各筒体の片方の貫通孔どうしの管体による接続
部分から、該並列連鎖状筒体群を構成する各連鎖状筒体
群の各筒体の内部にガスを充填し、 上記各筒体の内部へのガスの充填後、各筒体の貫通孔ど
うしの管体による接続部分を封止、切断するようにし
た、 ことを特徴とするガス入り放電管の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3156970A JP2907241B2 (ja) | 1991-06-27 | 1991-06-27 | ガス入り放電管の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3156970A JP2907241B2 (ja) | 1991-06-27 | 1991-06-27 | ガス入り放電管の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH057032A JPH057032A (ja) | 1993-01-14 |
JP2907241B2 true JP2907241B2 (ja) | 1999-06-21 |
Family
ID=15639309
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3156970A Expired - Lifetime JP2907241B2 (ja) | 1991-06-27 | 1991-06-27 | ガス入り放電管の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2907241B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH0785840A (ja) * | 1993-09-20 | 1995-03-31 | Yazaki Corp | ガス入り放電管 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH03141573A (ja) * | 1989-10-25 | 1991-06-17 | Nec Corp | 放電管 |
JP3024290U (ja) * | 1995-10-31 | 1996-05-17 | 喜嗣 平野 | 地中構造物用鉄蓋 |
-
1991
- 1991-06-27 JP JP3156970A patent/JP2907241B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
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JPH057032A (ja) | 1993-01-14 |
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Legal Events
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A02 | Decision of refusal |
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