JP2907241B2 - ガス入り放電管の製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はガス入り放電管の製造方
法に係り、例えばレーザ装置の放電ギャップスイッチ用
として好適なガス入り放電管の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、例えばレーザ装置の始動に放
電ギャップスイッチを用いており、これらの放電ギャッ
プスイッチを不活性ガスを封入した放電管で構成するこ
とが提案されている。また、これらの放電ギャップスイ
ッチにおいて、放電管の放電開始電圧をある程度高くし
て過電圧率を高めるために、上記放電管内に封入する不
活性ガスの圧力を数気圧以上と高くすることも知られて
いる。

【０００３】このような放電管Ｔは、図８に示したよう
に、セラミックス等の電気絶縁性材料で形成された筒体
２の両端開放部が放電電極部３ａを有する一対の金属製
電極板３で封着されたもので、上記電極板３の筒体２へ
の封着としては、ガラスフリット、金属ろう等により溶
着する方法が用いられている。かかる工程は、不活性ガ
スが満たされた電気炉内で行われるのが好ましく、上記
溶着作業と同時に上記筒体２内への不活性ガスの封入も
行うようにしていた。

【０００４】ところが、上記したように、放電管Ｔ内に
は高圧の不活性ガスを封入する必要があるので、上記電
気炉内を高圧のガス雰囲気にする必要があり、かかる高
圧のガス雰囲気のもとでは、上記溶着作業を高品質に行
うことができない（良質のろう付けを行うことができな
い）という不都合があり、また、電気炉の耐圧化も必要
となり、装置全体が大型化するという不都合があった。

【０００５】そこで、発明者らは、図９に示したよう
に、放電管Ｔの電極板３及び放電電極部３ａに放電管Ｔ
の内外を連通するような貫通孔１１を設け、この貫通孔
１１にガス封入パイプ１２ａ、１２ｂを気密に嵌着し、
このガス封入パイプの一方１２ａを封止してから他方の
ガス封入パイプ１２ｂを介して高圧の不活性ガスを管内
に封入するようにした放電管Ｔを提案している（実願平
１−８４０３０号参照）。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の放
電管Ｔにおいては、図１０に示したように、一方のガス
封入パイプ１２ａを封止してから他方のガス封入パイプ
１２ｂに継手部１０ｂ、バルブ９、継手部１０ａを結合
し、この継手部１０ａを真空装置Ｍに接続して、真空装
置Ｍの切り換えで真空引きとガス封入とを行い、その後
上記他方のガス封入パイプ１２ｂを封止するというガス
入れ加工を行わなければならず、かかるガス入れ加工
は、放電管Ｔ１つ毎に行う必要があるので、かかる高圧
のガス入り放電管Ｔを製造するにあたっては、その工程
が極めて多く、量産性が極めて悪いという不都合を有し
ている。また、上記したガス入れ加工においては、上記
継手部１０ｂが１つの放電管Ｔ毎に使い捨てとなるの
で、その製造コストが嵩むという不都合も有している。

【０００７】さらに、電極にガス封入のための管を接続
し、該ガス封入のための管を介して放電管内の排気及び
ガス吸気を行う、上述の実願平１−８４０３０号や、特
開平３−１４１５７３号のガス入り放電管を、特公平１
−１３６２７号や特開昭５２−１４６５４９号の放電管
製造方法や、実開昭６２−３３１４７号のマニホールド
を用いて、複数同時に排気及びガス吸気することも考え
られる。 しかし、特公平１−１３２６２７号の放電管製
造方法を用いる場合には、直列に接続することで放電管
列をなした各放電管へのガス充填が、その放電管列の一
端を閉塞した状態で、この閉塞端側から反対の開放端側
に向かう一方向で行われ、その充填ガスの流れが閉塞端
で止まってしまうので、終局的には放電管列内で供給ガ
スが滞留してしまい、各放電管相互のガス濃度やガス圧
力の均等化を確実に達成することが困難となり、各放電
管のガス濃度やガス圧力にばらつきが発生してしまうと
いう不都合を有している。 また、特開昭５２−１４６５
４９号の放電管製造方法や、実開昭６２−３３１４７号
のマニホールドを用い、複数の放電管を並列接続して各
放電管にガスを充填する場合にも、これらにガスを供給
する経路は最後に閉塞されているため、充填ガスの流れ
は一方向となり、従って、充填ガスが終局的には放電管
列内で滞留してしまい、各放電管相互のガス濃度やガス
圧力の均等化を確実に達成することが困難となり、各放
電管のガス濃度やガス圧力にばらつきが発生してしまう
という不都合を有している。 そして、上述した各放電管
のガス濃度やガス圧力のばらつきは、特に、放電管の直
列接続数を増やすほど一層顕著となってしまう。

【０００８】本発明は上記した点に鑑みてなされたもの
で、高圧の不活性ガスが封入された放電管を、均一なガ
ス濃度及びガス圧力で極めて安価に量産できるようにし
たガス入り放電管の製造方法を提供することを目的とす
るものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るガス入り放電管の製造方法は、電気絶
縁性筒体の両端開放部を、放電電極部を有する一対の電
極で封着し、１つが上記筒体の一方の端部に形成され、
かつ、他の１つが該筒体の一方及び他方のうちいずれか
の端部に形成されて、各々が上記筒体の内外を連通する
２つの貫通孔を介して、上記筒体内にガスを充填し、該
ガスが充填された上記筒体の上記各貫通孔をそれぞれ封
止して上記筒体内にガスを封入するガス入り放電管の製
造方法において、複数の上記筒体を、各筒体の一方の貫
通孔どうしを管体により互いに接続すると共に、各筒体
の他方の貫通孔どうしを管体により互いに接続すること
で、これら複数の筒体の内部どうしが互いに並列に連通
した並列筒体群とし、上記並列筒体群を構成する上記各
筒体の一方及び他方のうちいずれかの貫通孔どうしの管
体による接続部分から、該並列筒体群を構成する各筒体
の内部にガスを充填し、上記各筒体の内部へのガスの充
填後、各筒体の貫通孔どうしの管体による接続部分を封
止、切断するようにしたことをその特徴とするものであ
る。

【００１０】また、上記構成に代えて、複数の上記筒体
を、各筒体の片方の貫通孔を他の筒体の片方の貫通孔と
管体により接続することで、これら複数の上記筒体の内
部どうしが互いに連鎖状に連通した連鎖状筒体群とし、
複数の上記連鎖状筒体群を、各連鎖状筒体群の両端部の
うち一方の端部に各々位置する各筒体の片方の貫通孔ど
うしを管体により互いに接続すると共に、各連鎖状筒体
群の両端部のうち他方の端部に各々位置する各筒体の片
方の貫通孔どうしを管体により互いに接続することで、
各連鎖状筒体群を構成する複数の筒体の内部どうしが上
記複数の連鎖状筒体群の相互間に亘って連通した並列連
鎖状筒体群とし、上記並列連鎖状筒体群を構成する上記
各連鎖状筒体群の一方の端部及び他方の端部のうちいず
れかの端部に各々位置する各筒体の片方の貫通孔どうし
の管体による接続部分から、該並列連鎖状筒体群を構成
する各連鎖状筒体群の各筒体の内部にガスを充填し、上
記各筒体の内部へのガスの充填後、各筒体の貫通孔どう
しの管体による接続部分を封止、切断するようにしたこ
とをその特徴とするものである。

【００１１】

【作用】本発明によれば、高圧の不活性ガスが封入され
たガス入り放電管を一度に大量に製造することができ、
また、従来の製造方法では不可避であった筒体毎に使用
した継手部の使い捨て状態を改善することが可能とな
る。しかも、各放電管の筒体の内部どうしが、筒体の貫
通孔どうしを互いに接続する管体を介して他の筒体の内
部と連通していて、全体で並列の筒体群や並列の連鎖状
筒体群をなしていることから、並列筒体群の内部や並列
連鎖状筒体群の内部では閉塞端が形成されず、従って、
筒体内に供給されるガスが滞留することなく環流して全
ての筒体に万遍なく行き渡り、これにより、各放電管の
ガス濃度やガス圧力がばらつくのを確実に防止すること
が可能となる。

【００１２】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図１は本発明に係るガス入り放電管の製造方法を
実施するための一配置例を示したもので、板状の治具１
を配設し、この治具１の上面には、予め別工程において
その両端開放部に放電電極部を有する一対の金属製電極
板３がろう付け等で封着されたセラミックス等の電気絶
縁性材料からなる筒体２が所定間隔おいて直列に複数個
配置されており、また、この複数個の筒体２からなる筒
体列４が並列に複数列配置されており、これにより、治
具１上には筒体群５が配置されるようになっている。ま
た、上記各筒体２には、図４に示したように、その電極
板３及び放電電極部３ａに、筒体２の内外を連通する貫
通孔１１が設けられており、上記各筒体列４の隣接する
筒体２間には、上記貫通孔１１と内径が等しい金属製の
連接管６が配置されるようになっている。そして、この
連接管６を介して上記各筒体列４の筒体２が連通状態と
なるようになっている。

【００１３】また、上記治具１上への筒体２及び連接管
６の配置作業と別工程で形成され、上記配置された筒体
列４と同数の分岐部７ａを有し、その集合部７ｂが後述
する真空装置Ｍに接続される１組の金属製封入用集合管
７が設けられており（図２）、この封入用集合管７は、
上述した筒体２への電極板３のろう付け温度及び後述す
る筒体２と連接管６等とのろう付け温度と異なる温度の
ろう付け加工等により組み立てられるようになってい
る。上記封入用集合管７の分岐部７ａは、上記連接管６
と同様にその内径が上記貫通孔１１と等しくなってお
り、この各分岐部７ａが対応する各筒体列４のほぼ中央
部に位置するように、上記封入用集合管７が上記治具１
上に配置されることで、上記分岐部７ａを介して分岐部
７ａの両側に位置する筒体２が連通状態となるようにな
っている。そしてこれにより、上記封入用集合管７と各
筒体列４とが連通状態となり、また、上記封入用集合管
７により上記治具１上に配置された筒体群５が二分され
るようになっている。

【００１４】さらに、上記封入用集合管７と同様な温度
のろう付け加工等により別工程で形成され、上記筒体列
４と同数の分岐部８ａを有すると共に、この分岐部８ａ
が集合部８ｂで連通状態とされ、かつ、上記分岐部８ａ
の一端部８ａ′が後述するように封止される２組の金属
製封止用集合管８が設けられており、この各封止用集合
管８が上記治具１上に配置されて上記筒体群５の両端部
に位置するようになされている。ここで、上記封止用集
合管８の分岐部８ａも、上記連接管６と同様にその内径
が上記貫通孔１１と等しくなっており、これにより、上
記分岐部８ａの封止端とならない部位を介して各筒体列
４の端部に位置する筒体２と封止用集合管８とが連通状
態となるようになっている。

【００１５】そして、上記治具１上に筒体２、連接管
６、封入用集合管７及び封止用集合管８が配置され、か
つ、これらの接続部に金属ろう等が塗布された状態で、
上記治具１全体が例えば真空の電気炉（図示せず）内に
搬入され、この状態で、上記筒体２への電極板３のろう
付け温度及び上記封入用集合管７、封止用集合管８の組
み立てろう付け温度と異なる温度で、筒体２と連接管
６、筒体２と封入用集合管７及び筒体２と封止用集合管
８とのろう付けが行われるようになっている。また、上
記ろう付けが終了した段階で、上記封止用集合管８の分
岐部８ａのろう付けがされていない開放端部８ａ′が電
気溶接等により封止されるようになっている。従って、
本実施例では、各筒体列４とそれ以外の他の少なくとも
１つの筒体列４とが、封入用集合管７及び封止用集合管
８を介して、連鎖状に連通して、請求項に記載の連鎖状
筒体群を構成している。また、本実施例では、各筒体列
４の各筒体２が、同じ筒体列４の他の筒体２や連接管６
を介し、さらに、封入用集合管７及び封止用集合管８を
介して互いに連通し、これにより、請求項中に記載の並
列筒体群を構成している。そして、請求項中に記載の連
鎖状筒体群と並列筒体群とを組み合わせた構成の、全筒
体２の内部どうしが互いに連通した連鎖状の筒体群５
が、請求項中に記載の並列連鎖状筒体群として上記治具
１上に形成されるようになっている。

【００１６】また、上記封入用集合管７の集合部７ｂに
は、バルブ９及び継手部１０ａ、１０ｂを介して真空装
置Ｍの配管系が接続されるようになっており、これによ
り、上記筒体群５と真空装置Ｍとが連通状態となり、こ
の真空装置Ｍの切り換えで、後述するように上記筒体群
５の真空引きとガス封入とが行われるようになってい
る。

【００１７】次に、本発明に係る製造方法の手順につい
て説明する。まず、封入用集合管７に接続した真空装置
Ｍにより真空引きを行い、封入用集合管７と連通状態と
なった筒体群５を真空にする。ここで、この筒体群５が
真空状態か否かは、真空装置Ｍに設けた圧力計等で判断
し、完全な真空状態であれば、次に真空装置Ｍを切り換
えて、筒体群５に不活性ガスを封入する。この際、各筒
体列４の各筒体２には、封入用集合管７側からと封止用
集合管８側からとの両方から真空装置Ｍによりガスが供
給され、換言すると、封入用集合管７側から各筒体列４
の各筒体２に供給されたガスは、封止用集合管８側から
真空装置Ｍ側や他の筒体列４に還流し、反対に、封止用
集合管８側から各筒体列４の各筒体２に供給されたガス
は、封入用集合管７側から真空装置Ｍ側や他の筒体列４
に環流する。 従って、真空装置Ｍから各筒体列４の各筒
体２に供給されたガスは、筒体群５のどこかで滞留する
ことなく、筒体群５の全筒体２に行き渡る。

【００１８】そして、ガス封入が終了したら、封入用集
合管７と筒体２とを接続する分岐部７ａ、封止用集合管
８の分岐部８ａ及び筒体２間の連接管６のほぼ中間部分
を図示しない電気溶接装置等により所定幅溶着すると共
に封止し、この所定幅の封止部分のほぼ中間部位を、上
記電気溶接装置に内蔵された図示しない切断刃で切断
し、連鎖状に形成した筒体群５を図３に示したような個
々のガス入り放電管Ｔにする。

【００１９】また、上記真空装置Ｍによる真空引きが圧
力計から判断して十分でない時は、上記筒体群５の上記
各種ろう付け作業の一部が完全でない等が判明するが、
この場合、その不完全な場所が特定できないので、その
時は、図１に示したように、筒体群５の中央部に配置さ
れた封入用集合管７の分岐部７ａの一部を上記電気溶接
等で封止すると共に切断し（図中Ａ線）、筒体群５を二
分して、この二分した一方の筒体群５ａと上記真空装置
Ｍに接続した封入用集合管７とが接続した状態とする。
そして、この状態で一方の筒体群５ａの真空引きを再び
行い、この筒体群５ａが完全な真空状態であれば、他方
の筒体群５ｂに問題があることが判明するので、問題の
ない一方の筒体群５ａについては上述した各種作業を行
って個々のガス入り放電管Ｔを形成する。

【００２０】また、問題がある上記他方の筒体群５ｂに
ついては、この筒体群５ｂの端部にろう付けされた上記
封止用集合管８の集合部８ｂのほぼ中央部分を上記した
ように封止すると共に切断し（図中Ｂ線）、筒体群５ｂ
をさらに二分する。そして、この二分した各筒体群５
ｃ、５ｄの封止用集合管８の分岐部８ａの封止端８ａ′
の一つを開放し、この開放端に図示しないバルブ、継手
部を介して真空装置を接続し、上記各筒体群５ｃ、５ｄ
の真空引きを行って問題がある筒体群がどれであるかを
判明させる。そして、問題がない筒体群については上述
した同様の作業を行って個々のガス入り放電管Ｔを形成
し、また、問題がある筒体群についても、上述した作業
を繰り返して問題がある場所がどこであるかを特定する
ようにし、これにより、良品のガス入り放電管Ｔを量産
するようにする。

【００２１】なお、上述したように形成したガス入り放
電管Ｔ（図３）のガス封入部分６（７ａ、８ａ）は、例
えばレーザ装置の始動用放電ギャップスイッチとして組
み込むにあたっての位置決め並びに係止用部材として使
用できるものである。また、上記ガス入り放電管Ｔのガ
ス封入部分６の封止の信頼性を高めるために、図５に示
したように、上記封入部分６を二か所で封止するように
してもよい。

【００２２】従って、本実施例においては、電極板３で
両端開放部が封着された筒体２を連接管６を介して直列
に複数配置すると共に、この複数の筒体２からなる筒体
列４を並列に複数配置して治具１上に筒体群５を配置
し、この筒体群５の中央部に、上記複数の筒体列４と同
数の分岐部７ａを有し、その集合部７ｂが真空装置Ｍに
接続される封入用集合管７を配置し、さらに、上記筒体
群５の両端部に、上記筒体列４と同数で集合部８ｂで連
通状態とされた分岐部８ａを有し、この分岐部８ａの一
端部が封止された封止用集合管８を配置し、この状態で
上記筒体２、連接管６、封入用集合管７及び封止用集合
管８をろう付けして上記封入用集合管７と連通状態の筒
体群５を形成し、その後、上記封入用集合管７に接続さ
れた真空装置Ｍで真空引きを行うと共にガス封入を行
い、最後に、上記連接管６、封入用集合管７の分岐部７
ａ及び封止用集合管８の分岐部８ａを封止、切断してガ
ス入り放電管Ｔを形成するようにしているので、高圧の
不活性ガスが封入されたガス入り放電管Ｔを一度に大量
に製造することができ、その生産性を著しく向上させる
ことができる。

【００２３】また、従来のように筒体２毎にバルブ、継
手部を介して真空装置を接続するのではなく、筒体群５
にバルブ９、継手部１０ａ、１０ｂを介して真空装置Ｍ
を接続するようにしているので、従来の製造方法では不
可避であった筒体２毎に使用した継手部１０ｂの使い捨
て状態を改善することができ、全体の製造コストを著し
く低減させることができる。しかも、筒体群５におい
て、封入用集合管７側と封止用集合管８側とのうちいず
れか一方側から各筒体列４の各筒体２に供給された真空
装置Ｍからのガスが、封入用集合管７側と封止用集合管
８側とのうちいずれか他方側から真空装置Ｍ側や他の筒
体列４に環流し、筒体群５のどこかで滞留することな
く、筒体群５の全筒体２に行き渡るので、筒体群５の各
筒体２において内部に充填されるガスの濃度や圧力にば
らつきが発生するのを確実に防止し、全筒体２に均一し
た濃度及び圧力でガスを充填、封入することができる。

【００２４】さらに、上記封入用集合管７と連通状態に
ある上記筒体群５の真空引きができない場合には、封入
用集合管７を封止、切断して上記筒体群５を二つの筒体
群５ａ、５ｂに分割し、この分割した各筒体群に真空装
置を接続して真空引きを行うことで、真空状態とならな
い筒体群が判明でき、この作業を繰り返すことで、製造
すべき筒体群内に不良品が有るか否かを検査しつつ、良
品のガス入り放電管Ｔのみを量産することができる。

【００２５】図６及び図７は本発明に係る製造方法を実
施するための他の配置例を示したもので、治具１上に連
接管６を介して直列に配置した複数の筒体２を、図６の
ように、その長手方向が封入用集合管の集合部（図示せ
ず）と略平行になるように配置し、連接管６が筒体２の
一方の電極板３に２本配置されるようにしたもので、他
は上記配置例と同様となっている。このようにしても、
上記配置例と同様に高圧の不活性ガスが封入された良品
のガス入り放電管Ｔを大量に製造することができ、か
つ、その製造コストを低減させることができるものであ
る。

【００２６】なお、本発明は上述した実施例に限定され
るものではなく、種々変更することができるものであ
り、例えば、上述したように封入用集合管７を筒体群５
の中央部に配置せずに筒体群５の一端部に配置し、他端
部には封止用集合管８を配置するようにしてもよい。ま
た、予め電極板３が封着された筒体２を治具１上に配置
せずに、筒体２、電極板３、連接管６、封入用集合管７
及び封止用集合管８を治具１上にそれぞれ配置し、これ
らを一度にろう付け加工するようにしてもよい。

【００２７】

【発明の効果】以上述べたように本発明に係るガス入り
放電管の製造方法は、電気絶縁性筒体の両端開放部を、
放電電極部を有する一対の電極で封着し、１つが上記筒
体の一方の端部に形成され、かつ、他の１つが該筒体の
一方及び他方のうちいずれかの端部に形成されて、各々
が上記筒体の内外を連通する２つの貫通孔を介して、上
記筒体内にガスを充填し、該ガスが充填された上記筒体
の上記各貫通孔をそれぞれ封止して上記筒体内にガスを
封入するガス入り放電管の製造方法において、複数の上
記筒体を、各筒体の一方の貫通孔どうしを管体により互
いに接続すると共に、各筒体の他方の貫通孔どうしを管
体により互いに接続することで、これら複数の筒体の内
部どうしが互いに並列に連通した並列筒体群とし、上記
並列筒体群を構成する上記各筒体の一方及び他方のうち
いずれかの貫通孔どうしの管体による接続部分から、該
並列筒体群を構成する各筒体の内部にガスを充填し、上
記各筒体の内部へのガスの充填後、各筒体の貫通孔どう
しの管体による接続部分を封止、切断するようにした
り、複数の上記筒体を、各筒体の片方の貫通孔を他の筒
体の片方の貫通孔と管体により接続することで、これら
複数の上記筒体の内部どうしが互いに連鎖状に連通した
連鎖状筒体群とし、複数の上記連鎖状筒体群を、各連鎖
状筒体群の両端部のうち一方の端部に各々位置する各筒
体の片方の貫通孔どうしを管体により互いに接続すると
共に、各連鎖状筒体群の両端部のうち他方の端部に各々
位置する各筒体の片方の貫通孔どうしを管体により互い
に接続することで、各連鎖状筒体群を構成する複数の筒
体の内部どうしが上記複数の連鎖状筒体群の相互間に亘
って連通した並列連鎖状筒体群とし、上記並列連鎖状筒
体群を構成する上記各連鎖状筒体群の一方の端部及び他
方の端部のうちいずれかの端部に各々位置する各筒体の
片方の貫通孔どうしの管体による接続部分から、該並列
連鎖状筒体群を構成する各連鎖状筒体群の各筒体の内部
にガスを充填し、上記各筒体の内部へのガスの充填後、
各筒体の貫通孔どうしの管体による接続部分を封止、切
断するようにした。このため、高圧の不活性ガスが封入
されたガス入り放電管を一度に大量に製造することがで
き、その生産性を著しく向上させることができ、また、
従来の製造方法では不可避であった筒体毎に使用した継
手部の使い捨て状態を改善することができ、全体の製造
コストを著しく低減させることができる。しかも、各放
電管の筒体の内部どうしが、筒体の貫通孔どうしを互い
に接続する管体を介して他の筒体の内部と連通してい
て、全体で並列の筒体群や並列の連鎖状筒体群をなして
いることから、並列筒体群の内部や並列連鎖状筒体群の
内部では閉塞端が形成されず、従って、筒体内に供給さ
れるガスが滞留することなく環流して全ての筒体に万遍
なく行き渡り、これにより、各放電管のガス濃度やガス
圧力がばらつくのを確実に防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る製造方法を実施するための一配置
例を示す概略図である。

【図２】図１の配置例に使用する封入用集合管の斜視図
である。

【図３】本製造方法により形成された放電管の斜視図で
ある。

【図４】本製造方法により形成された放電管の断面図で
ある。

【図５】封止性をより高めた放電管の斜視図である。

【図６】本発明に係る製造方法を実施するための他の配
置例を示す概略図である。

【図７】図６の配置例により形成された放電管の斜視図
である。

【図８】従来の放電管を示す断面図である。

【図９】従来のガス封入パイプ付放電管を示す断面図で
ある。

【図１０】従来のガス封入方法を示す概略図である。

【符号の説明】

１ 治具 ２ 筒体 ３ 電極板 ４ 筒体列 ５ 筒体群 ６ 連接管 ７ 封入用集合管 ８ 封止用集合管１１ 貫通孔 Ｍ 真空装置 Ｔ 放電管

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−141573（ＪＰ，Ａ) 特開 昭52−146549（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−24290（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−33147（ＪＰ，Ｕ) 特公 平１−13627（ＪＰ，Ｂ１)

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電気絶縁性筒体の両端開放部を、放電電
   極部を有する一対の電極で封着し、１つが上記筒体の一
   方の端部に形成され、かつ、他の１つが該筒体の一方及
   び他方のうちいずれかの端部に形成されて、各々が上記
   筒体の内外を連通する２つの貫通孔を介して、上記筒体
   内にガスを充填し、該ガスが充填された上記筒体の上記
   各貫通孔をそれぞれ封止して上記筒体内にガスを封入す
   るガス入り放電管の製造方法において、 複数の上記筒体を、各筒体の一方の貫通孔どうしを管体
   により互いに接続すると共に、各筒体の他方の貫通孔ど
   うしを管体により互いに接続することで、これら複数の
   筒体の内部どうしが互いに並列に連通した並列筒体群と
   し、 上記並列筒体群を構成する上記各筒体の一方及び他方の
   うちいずれかの貫通孔どうしの管体による接続部分か
   ら、該並列筒体群を構成する各筒体の内部にガスを充填
   し、 上記各筒体の内部へのガスの充填後、各筒体の貫通孔ど
   うしの管体による接続部分を封止、切断するようにし
   た、 ことを特徴とするガス入り放電管の製造方法。
2. 【請求項２】 電気絶縁性筒体の両端開放部を、放電電
   極部を有する一対の電極で封着し、１つが上記筒体の一
   方の端部に形成され、かつ、他の１つが該筒体の一方及
   び他方のうちいずれかの端部に形成されて、各々が上記
   筒体の内外を連通する２つの貫通孔を介して、上記筒体
   内にガスを充填し、該ガスが充填された上記筒体の上記
   各貫通孔をそれぞれ封止して上記筒体内にガスを封入す
   るガス入り放電管の製造方法において、 複数の上記筒体を、各筒体の片方の貫通孔を他の筒体の
   片方の貫通孔と管体により接続することで、これら複数
   の上記筒体の内部どうしが互いに連鎖状に連通した連鎖
   状筒体群とし、 複数の上記連鎖状筒体群を、各連鎖状筒体群の両端部の
   うち一方の端部に各々位置する各筒体の片方の貫通孔ど
   うしを管体により互いに接続すると共に、各連鎖状筒体
   群の両端部のうち他方の端部に各々位置する各筒体の片
   方の貫通孔どうしを管体により互いに接続することで、
   各連鎖状筒体群を構成する複数の筒体の内部どうしが上
   記複数の連鎖状筒体群の相互間に亘って連通した並列連
   鎖状筒体群とし、 上記並列連鎖状筒体群を構成する上記各連鎖状筒体群の
   一方の端部及び他方の端部のうちいずれかの端部に各々
   位置する各筒体の片方の貫通孔どうしの管体による接続
   部分から、該並列連鎖状筒体群を構成する各連鎖状筒体
   群の各筒体の内部にガスを充填し、 上記各筒体の内部へのガスの充填後、各筒体の貫通孔ど
   うしの管体による接続部分を封止、切断するようにし
   た、 ことを特徴とするガス入り放電管の製造方法。