JP2903998B2 - Display tube manufacturing equipment - Google Patents
Display tube manufacturing equipmentInfo
- Publication number
- JP2903998B2 JP2903998B2 JP7788094A JP7788094A JP2903998B2 JP 2903998 B2 JP2903998 B2 JP 2903998B2 JP 7788094 A JP7788094 A JP 7788094A JP 7788094 A JP7788094 A JP 7788094A JP 2903998 B2 JP2903998 B2 JP 2903998B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust
- envelope
- sealing
- chamber
- trolley
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、内部が高真空状態に排
気される表示管の製造装置に関するものであり、特に封
着・排気工程を一貫生産可能とすることができるもので
ある。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for manufacturing a display tube whose inside is evacuated to a high vacuum state, and more particularly to an apparatus capable of integrally producing a sealing and evacuation process.
【０００２】[0002]
【従来の技術】蛍光表示装置等における真空気密容器内
部を高真空に排気する封着・排気工程は、真空気密容器
を構成する外囲器を予備焼成する工程と、不活性ガス雰
囲気中で外囲器を封着する封着工程と、その後排気部か
ら真空気密容器内部を排気し、排気部を封止する排気工
程を有している。上記予備焼成の工程は、焼成温度が２
００℃〜５００℃で行われ、封着材の有機物を分解させ
る工程である。また、封着工程は、焼成温度が３００℃
〜６００℃で行われ、不活性ガス雰囲気中で封着材から
のガスの発生を抑えて、クリップなどで加圧しながら外
囲器を封着している。その後、封着材が再度溶融しない
程度の温度でベーキングしながら内部を排気し、排気部
を封止するものである。2. Description of the Related Art A sealing and evacuation process for evacuating the inside of a vacuum hermetic container to a high vacuum in a fluorescent display device or the like includes a process of pre-firing an envelope constituting the vacuum hermetic container and a process of pre-baking in an inert gas atmosphere. It has a sealing step of sealing the envelope, and then an exhaust step of exhausting the inside of the vacuum-tight container from the exhaust section and sealing the exhaust section. In the pre-firing step, the firing temperature is 2
This is a step performed at a temperature of 00 ° C. to 500 ° C. to decompose the organic substance of the sealing material. In the sealing step, the sintering temperature is 300 ° C.
The process is performed at a temperature of up to 600 ° C., and the envelope is sealed while pressurizing with a clip or the like while suppressing generation of gas from the sealing material in an inert gas atmosphere. Thereafter, the inside is evacuated while baking at a temperature at which the sealing material does not melt again, thereby sealing the evacuated portion.
【０００３】次に、本出願人の出願にかかる特公平４−
３９１７４号公報に記載されている封着工程と排気工程
とをインライン方式で行う表示管の製造装置を、図７に
示す。この図において、箱形の容器を背面基板に載置す
ることにより外囲器を構成し、この外囲器内に電子放出
源やアノード等を収納すると共に、この外囲器を構成す
る箱形の容器と背面基板とをクリップ等の治具により加
圧した状態で予備焼成室１２０内に移送する。この予備
焼成室１２０には加熱装置が備えられており、室内は２
００〜３００℃に保持されている。室内の雰囲気は大気
でもよいが効率を上げるために酸化性ガスを導入しても
よい。この予備焼成室１２０において、外囲器の封着部
に被着されている酸化物ソルダー中の残存有機物が十分
に酸化されて蒸発される。[0003] Next, Japanese Patent Publication No.
FIG. 7 shows a display tube manufacturing apparatus for performing the sealing step and the exhausting step described in JP-A-39174 in an in-line system. In this figure, an envelope is formed by placing a box-shaped container on a rear substrate, and an electron emission source, an anode, and the like are housed in the envelope, and a box-shaped container constituting the envelope is formed. The container and the rear substrate are transferred into the pre-firing chamber 120 while being pressed by a jig such as a clip. The pre-sintering chamber 120 is provided with a heating device.
It is kept at 00 to 300 ° C. The atmosphere in the room may be the air, but an oxidizing gas may be introduced to increase the efficiency. In the preliminary firing chamber 120, the remaining organic matter in the oxide solder applied to the sealing portion of the envelope is sufficiently oxidized and evaporated.
【０００４】予備焼成が終了すると、ゲートバルブ１２
１が開き、外囲器を乗せたトレイは移送装置によりガス
置換室１２２に入る。このガス置換室１２２において、
ロータリーポンプ１２３により室内の気体が排気される
ことに伴い、外囲器内の気体も排気され、次いで不活性
ガス（窒素ガス，アルゴンガス，炭酸ガス等）が不活性
ガス源１２６から供給され、外囲器内の気体が不活性ガ
スに置換される。When the preliminary firing is completed, the gate valve 12
1 is opened, and the tray on which the envelope is placed enters the gas replacement chamber 122 by the transfer device. In the gas replacement chamber 122,
As the gas in the room is exhausted by the rotary pump 123, the gas in the envelope is also exhausted, and then inert gas (nitrogen gas, argon gas, carbon dioxide gas, etc.) is supplied from the inert gas source 126, The gas in the envelope is replaced with an inert gas.
【０００５】次に、ゲートバルブ１２４を開き、トレイ
を封着炉室１２５に移送する。封着炉室１２５におい
て、不活性ガス雰囲気中で３００〜６００℃に加熱され
て封着面の酸化物ソルダーが溶融される。すると、外囲
器は治具により上下から加圧されているために、前面基
板と背面基板とが封着されるようになる。また、封着炉
室１２５内には不活性ガス源１２６から不活性ガスが供
給されているため、カソードや蛍光体の化学変化は防止
されると共に、外囲器全体を均一に加熱でき酸化物ソル
ダーからの気泡の発生を抑えることができる。[0005] Next, the gate valve 124 is opened, and the tray is transferred to the sealing furnace chamber 125. In the sealing furnace chamber 125, it is heated to 300 to 600 ° C. in an inert gas atmosphere to melt the oxide solder on the sealing surface. Then, since the envelope is pressed from above and below by the jig, the front substrate and the rear substrate are sealed. In addition, since an inert gas is supplied from the inert gas source 126 into the sealing furnace chamber 125, chemical changes of the cathode and the phosphor are prevented, and the entire envelope can be uniformly heated, so that the oxide can be uniformly heated. Generation of air bubbles from the solder can be suppressed.
【０００６】封着された外囲器は、封着炉室１２５と同
じ不活性ガス中の徐冷室１２７に移送され、ここで２０
０〜４００℃になるまで徐冷され、酸化物ソルダーが溶
融状態から固相状態となる。徐冷された外囲器は、移送
装置により荒引き室１２８へゲートバルブ１２９，１３
０を開いて移送される。このゲートバルブ１２９は熱シ
ールド用とされ、ゲートバルブ１３０は真空用とされて
いる。この荒引室１２８は、トレイが移送されるとロー
タリポンプ１３１が作動して、室内が低真空度となるよ
うにされる。室内が排気されて所定の真空度になると、
ゲートバルブ１３２が開きトレイは本引室１３３に移送
される。本引室１３３は予め高真空に排気してあるた
め、ゲートバルブ１３２が開いて真空度が下がっても拡
散ポンプ１３６を作動させることにより、高真空状態に
短時間で排気することができる。この本引室１３３にお
いて、外囲器内を高真空状態に排気して、ゲートバルブ
１３５を開きトレイを封止室１３４に移送する。[0006] The sealed envelope is transferred to a slow cooling chamber 127 in the same inert gas as the sealing furnace chamber 125, where it is cooled.
The temperature is gradually cooled to 0 to 400 ° C., and the oxide solder changes from a molten state to a solid state. The gradually cooled envelope is transferred to the roughing chamber 128 by the transfer device and the gate valves 129 and 13 are moved.
Opened 0 and transported. The gate valve 129 is used for heat shielding, and the gate valve 130 is used for vacuum. When the tray is transferred, the rotary pump 131 is operated in the rough evacuation chamber 128 so that the inside of the chamber has a low vacuum. When the room is evacuated to a certain degree of vacuum,
The gate valve 132 is opened and the tray is transferred to the main chamber 133. Since the main draw chamber 133 has been evacuated to a high vacuum in advance, even if the gate valve 132 is opened and the degree of vacuum is reduced, the diffusion pump 136 can be operated to evacuate to a high vacuum state in a short time. In the main chamber 133, the inside of the envelope is evacuated to a high vacuum state, the gate valve 135 is opened, and the tray is transferred to the sealing chamber 134.
【０００７】この封止室１３４において、外囲器を加熱
してガスが出やすい状態としながら拡散ポンプ１３６に
より、封止室１３４内が高真空になるよう排気する。そ
して、排気管を溶融して封止するか、あるいは排気孔を
蓋部材に被着した酸化物ソルダーを溶融して接着封止す
るようにする。このようにして、内部が高真空状態に排
気された外囲器は、ゲートバルブ１３７を開いて冷却室
１３８に移送され、この冷却室１３８において徐冷され
る。徐冷された外囲器は、取り出し室１４０に移送さ
れ、さらに冷却されると共に、真空がリークされて雰囲
気が大気圧とされた後、外部に取り出される。取り出し
室１４０から取り出した外囲器は、ゲッターリング工程
やエージング工程を経て完成される。このようにして、
排気・封着される外囲器内にはカソード及び蛍光体の設
けられたアノードが配設されており、蛍光表示管とされ
る。In the sealing chamber 134, the envelope is evacuated by the diffusion pump 136 so that the inside of the sealing chamber 134 is set to a high vacuum while the envelope is heated so as to easily emit gas. Then, the exhaust pipe is melted and sealed, or the oxide solder having the exhaust hole attached to the lid member is melted and sealed. In this way, the envelope whose inside has been evacuated to a high vacuum state is transferred to the cooling chamber 138 by opening the gate valve 137 and gradually cooled in the cooling chamber 138. The slowly cooled envelope is transferred to the take-out chamber 140, where it is further cooled and, after the vacuum is leaked and the atmosphere is brought to atmospheric pressure, is taken out. The envelope taken out from the take-out chamber 140 is completed through a gettering step and an aging step. In this way,
An anode provided with a cathode and a phosphor is disposed in an envelope to be evacuated and sealed, and serves as a fluorescent display tube.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記イ
ンライン方式における排気工程においては、排気を行う
一つの部屋全体を高真空に排気する必要があることか
ら、排気に時間がかかると共に、排気設備を大型化する
必要があり、設備のコスト上昇を招くと共に、排気工程
での効率が悪いという問題点があった。さらに、一つの
部屋全体が高真空にされることから雰囲気中の熱伝導が
悪くなり、外囲器をベーキングする際に均一に加熱する
ことが困難になり、ガスの放出を完全に行えないという
問題点があった。そこで、本発明は一つの部屋全体を高
真空に排気することなく表示管とされる外囲器内を高真
空に排気することができる一貫生産可能な表示管の製造
装置を提供することを目的としている。However, in the evacuation process in the in-line system, since it is necessary to evacuate the entire room where the evacuation is performed to a high vacuum, it takes a long time to evacuate, and the evacuation equipment is large. Therefore, there is a problem that the cost of the equipment is increased and the efficiency in the exhaust process is low. Furthermore, the heat conduction in the atmosphere deteriorates because the entire room is made to be in a high vacuum, making it difficult to heat uniformly when baking the envelope, making it impossible to completely release gas. There was a problem. Therefore, an object of the present invention is to provide a display tube manufacturing apparatus capable of integrated production that can evacuate the inside of a display tube to a high vacuum without evacuating the entire room to a high vacuum. And
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の表示管の製造装置は、真空中又は不活性ガ
ス中において封着を行うインライン式の封着ラインと、
この封着ラインに続くように配置されているトロリー
式排気ラインと、 前記インライン式の封着ラインと前
記トロリー式排気ラインとの間に設けた移載機室とを備
え、封着された表示管の外周器を前記インライン式の封
着ラインから前記移載機室を介して搬送する際に、前記
外周器内を不活性ガスで充填した状態として、前記トロ
リー式排気ライン中を移動する排気トロリーに移載する
と共に、前記排気トロリーの進行中において、該排気ト
ロリーにセットされた前記外囲器の内部だけを高真空に
排気する排気手段によって排気し、排気後に前記外囲器
の排気部が封止されるようにしたものである。To achieve the above object, an apparatus for manufacturing a display tube according to the present invention comprises: an in-line sealing line for performing sealing in a vacuum or an inert gas;
A trolley-type exhaust line arranged to follow the sealing line, and a transfer machine room provided between the in-line type sealing line and the trolley-type exhaust line, Attach the outer casing of the sealed display tube to the in- line type
When transferring from the landing line through the transfer machine room,
While the outer package is filled with an inert gas, it is transferred to an exhaust trolley moving in the trolley-type exhaust line, and while the exhaust trolley is in progress, the outer casing set in the exhaust trolley is Exhaust means for evacuating only the inside to a high vacuum is evacuated, and after the evacuation, the exhaust portion of the envelope is sealed.
【００１０】[0010]
【作用】本発明によれば、一つの部屋全体を高真空に排
気することなく表示管とされる外囲器内を高真空に排気
することができる。また、排気装置を大型化することな
く外囲器内を高真空に排気することができると共に、一
貫生産可能な製造装置とすることができるため、排気効
率を向上することができると共に、大量生産を行えるの
で経済的とすることができる。さらに、封着工程と排気
工程が連続であるため、工程のつながり部における汚染
がなく製品の品質の均一化、安定化が図れる。しかも、
封着・排気工程の無駄がなく工程時間が短縮化されるた
め、生産性、量産性に優れた製造装置とすることができ
る。According to the present invention, it is possible to evacuate the inside of the envelope serving as the display tube to a high vacuum without evacuating the entire room to a high vacuum. In addition, since the inside of the envelope can be evacuated to a high vacuum without increasing the size of the exhaust device, and the manufacturing device can be manufactured in an integrated manner, exhaust efficiency can be improved and mass production can be performed. Can be made economical. Furthermore, since the sealing step and the exhausting step are continuous, there is no contamination at the connection between the steps, and the quality of the product can be made uniform and stable. Moreover,
Since there is no waste in the sealing / exhausting process and the process time is shortened, a manufacturing apparatus excellent in productivity and mass productivity can be obtained.
【００１１】[0011]
【実施例】本発明の表示管の製造装置を図１に示す。こ
の図において、セット室１において、箱形の容器を背面
基板に載置することにより外囲器を構成し、この外囲器
内に電子放出源やアノード等を収納すると共に、この外
囲器を構成する箱形の容器と背面基板とをクリップ等の
治具により加圧した状態とする。そして、この外囲器は
トレイに載置されてゲートバルブ１−１を開き、第１排
気室２内に搬送装置によりトレイ毎に移送される。この
第１排気室２には加熱装置が備えられており、室内が２
００〜３００℃に保持されている。室内は拡散ポンプ
（Ｄ．Ｐ）２−２とロータリーポンプ（Ｒ．Ｐ）２−３
により、中真空状態に引かれている。この第１排気室２
内においてガス抜きの準備が行われるよう、外囲器の封
着部に被着されている酸化物ソルダー中の残存有機物が
十分に酸化されて蒸発される。FIG. 1 shows an apparatus for manufacturing a display tube according to the present invention. In this drawing, in a set room 1, an enclosure is formed by placing a box-shaped container on a rear substrate, and an electron emission source, an anode, and the like are stored in the enclosure. Is pressed by a jig such as a clip. The envelope is placed on a tray, opens the gate valve 1-1, and is transferred into the first exhaust chamber 2 by the transfer device for each tray. The first exhaust chamber 2 is provided with a heating device.
It is kept at 00 to 300 ° C. In the room, a diffusion pump (DP) 2-2 and a rotary pump (RP) 2-3
Is drawn to a medium vacuum state. This first exhaust chamber 2
The remaining organic matter in the oxide solder applied to the sealing portion of the envelope is sufficiently oxidized and evaporated so as to prepare for degassing inside.
【００１２】ガス抜き準備が終了すると、ゲートバルブ
２−４が開き、外囲器を載置したトレイは搬送装置によ
り封着室３に移送される。また、不活性ガス中で封着の
場合はガス抜き後、不活性ガスが導入されガス置換が行
われる。封着室３において、中真空雰囲気中又は不活性
ガス中で３００〜６００℃に加熱されて、外囲器の封着
面に被着された酸化物ソルダーが溶融される。外囲器は
治具により上下から加圧されているために、前記酸化物
ソルダーの溶融に伴い箱形の容器と背面基板とが封着さ
れるようになる。また、封着室３内は、拡散ポンプ
（Ｄ．Ｐ）３−２とロータリーポンプ（Ｒ．Ｐ）３−３
により、中真空状態に引かれているか、または不活性ガ
スで充満されている。When the preparation for degassing is completed, the gate valve 2-4 is opened, and the tray on which the envelope is placed is transferred to the sealing chamber 3 by the transfer device. Further, in the case of sealing in an inert gas, after the gas is released, an inert gas is introduced and gas replacement is performed. In the sealing chamber 3, the solder is heated to 300 to 600 ° C. in a medium vacuum atmosphere or an inert gas to melt the oxide solder adhered to the sealing surface of the envelope. Since the envelope is pressurized from above and below by the jig, the box-shaped container and the back substrate are sealed with the melting of the oxide solder. The inside of the sealing chamber 3 includes a diffusion pump (DP) 3-2 and a rotary pump (RP) 3-3.
Are drawn to a medium vacuum or filled with an inert gas.
【００１３】そして、封着された外囲器は２００〜４０
０℃になるまで徐冷され、酸化物ソルダーが溶融状態か
ら固相状態とされる。徐冷された外囲器は、ゲートバル
ブ３−４を開いて搬送装置により移載機室４に移送され
る。移載機室４において、外囲器はトレイからトロリー
式第２排気室６に備えられた排気トロリー７1 〜排気ト
ロリー７n にそれぞれセットされる。この場合、移載機
室４及び移載機室４から移載される第２排気室６近傍に
は特定ガス源５から不活性ガスが流されており、移載機
室４内において外囲器内は不活性ガスで充満されるよう
になされる。このため、移載工程において、外囲器内に
空気が侵入して外囲器内が汚染されることを防止するこ
とができる。もし、外囲器内を不活性ガスで充満するよ
うにしないと、移載機室４及び移載工程に関連する雰囲
気中をすべて真空に引かなければならず、装置が大掛か
りとなってしまうことになる。The sealed envelope is 200 to 40.
It is gradually cooled to 0 ° C., and the oxide solder is changed from a molten state to a solid state. The gradually cooled envelope is transferred to the transfer machine room 4 by the transfer device by opening the gate valve 3-4. In the transfer machine room 4, the envelopes are set from the trays to the exhaust trolleys 7 1 to 7 n provided in the trolley type second exhaust chamber 6, respectively. In this case, an inert gas is flown from the specific gas source 5 in the vicinity of the transfer machine room 4 and the second exhaust chamber 6 transferred from the transfer machine room 4, and is surrounded in the transfer machine room 4. The inside of the vessel is filled with an inert gas. Therefore, in the transfer step, it is possible to prevent the air from entering the envelope and contaminating the interior of the envelope. If the inside of the envelope is not filled with the inert gas, the transfer machine room 4 and the atmosphere related to the transfer process must be evacuated, and the apparatus becomes large. become.
【００１４】また、トロリー式第２排気室６は排気ライ
ンを構成しており、サークル上あるいはオーバル状とさ
れた長いラインとされていると共に、排気トロリーが移
動するレールが敷設されている。排気トロリーはこのレ
ール上を移動しながら外囲器内を高真空状態に排気して
いく。このため、排気トロリー７1 ・・・７m ・・・７
n にはそれぞれ拡散ポンプ（Ｄ．Ｐ）１０1 ・・・１０
m ・・・１０n とロータリーポンプ（Ｒ．Ｐ）１１1 ・
・・１１m ・・・１１n とが設けられている。排気トロ
リー７1 ・・・７m ・・・７n は、第２排気室６内に複
数台収納されて第２排気室６内を循環している。例え
ば、排気トロリー７1 は移載機室４から移載される外囲
器がセットされる状態の位置とされており、排気トロリ
ー７m はレール上を移動しながら外囲器内を高真空状態
に引いている状態の位置とされており、排気トロリー７
n は高真空状態にされた外囲器が封止された後、ゲート
バルブ８n を開いて徐冷・取り出し室１２に移送される
状態の位置とされている。The trolley type second exhaust chamber 6 constitutes an exhaust line, which is a long line formed on a circle or an oval, and a rail on which the exhaust trolley moves is laid. The exhaust trolley evacuates the envelope to a high vacuum while moving on the rail. Therefore, the exhaust trolley 7 1 ... 7 m.
n is a diffusion pump (DP) 10 1 ... 10
m ··· 10 n and rotary pump (RP) 11 1 ·
.. 11 m ... 11 n are provided. The exhaust trolleys 7 1 ... 7 m ... 7 n are housed in the second exhaust chamber 6, and circulate in the second exhaust chamber 6. For example, exhaust trolley 7 1 is the position of the state in which the envelope is set to be transferred from the transfer device chamber 4, the exhaust trolley 7 m high vacuum in the envelope while moving on the rail The exhaust trolley 7
n is a position where the envelope in a high vacuum state is sealed and then transferred to the slow cooling / removal chamber 12 by opening the gate valve 8 n .
【００１５】なお、封止は外囲器に設けられている排気
管を溶着により封止するか、排気ヘッドに装着されてい
る蓋部材により外囲器の排気孔を閉塞するように封止す
る。また、第２排気室６内には、加熱装置が室内に沿っ
て設けられており、排気トロリーはこの加熱装置により
所定の温度プロフィールのもとで排気していく。この場
合、排気トロリー７1 〜排気トロリー７n により外囲器
内だけを排気するようにしているため、第２排気室６内
は大気とされていてもよく、熱伝導が良好とされている
ため、効率的な加熱を行うことができる。そして、外囲
器は封止された後、徐冷・取り出し室１２に移送され徐
冷された後、さらに冷却されて外部に取り出される。徐
冷・取り出し室１２から取り出された外囲器は、必要に
応じてゲッターリング工程やエージング工程を経て完成
される。In the sealing, the exhaust pipe provided in the envelope is sealed by welding or the exhaust hole of the envelope is sealed by a lid member attached to the exhaust head. . Further, a heating device is provided in the second exhaust chamber 6 along the room, and the exhaust trolley exhausts the gas under a predetermined temperature profile by the heating device. In this case, since only the inside of the envelope is exhausted by the exhaust trolleys 7 1 to 7 n , the inside of the second exhaust chamber 6 may be set to the atmosphere, and good heat conduction is achieved. Therefore, efficient heating can be performed. Then, after the envelope is sealed, it is transferred to the slow cooling / removal chamber 12 and slowly cooled, and then further cooled and taken out. The envelope removed from the slow cooling / removal chamber 12 is completed through a gettering step and an aging step as necessary.
【００１６】このようにして、封着・排気される外囲器
内にはカソード及び蛍光体の設けられたアノードが配設
されており、蛍光表示管あるいは電界放出型表示管とさ
れる。なお、セットされていた外囲器が徐冷・取出室１
２に移送された排気トロリー７1 〜排気トロリー７n
は、順次移載機室４の横まで移動されて移載機から次の
外囲器がセットされるようにされ、第２排気室６内にお
いて新たにセットされた外囲器内の排気および封止が行
われるようにされている。本発明の表示管の製造装置に
おいては、以上のように、封着工程と排気工程との排気
系統を別々の系統としたため、封着工程の雰囲気を中真
空又は不活性ガス中とし、排気工程の真空度を高真空と
することができるようになる。このため、封着工程にお
いてはトレイを多段に積んで流すこともできるようにな
る。In this manner, the cathode and the anode provided with the phosphor are disposed in the envelope to be sealed and evacuated, so that a fluorescent display tube or a field emission display tube is obtained. In addition, the envelope that was set is the slow cooling / unloading chamber 1
Exhaust trolley 7 1 to Exhaust trolley 7 n transferred to 2
Are sequentially moved to the side of the transfer machine room 4 so that the next envelope is set from the transfer machine, and the exhaust and gas in the newly set envelope are set in the second exhaust chamber 6. Sealing is performed. In the display tube manufacturing apparatus of the present invention, as described above, since the evacuation system of the sealing step and the evacuation step are separate systems, the atmosphere of the sealing step is set to a medium vacuum or an inert gas, and the evacuation step is performed. Can be made high vacuum. For this reason, in the sealing step, the trays can be stacked and flown in multiple stages.
【００１７】図１に示す表示管の製造装置の温度プロフ
ィールを図２に示す。この図に示すように、第１排気室
２においては約２００゜Ｃ〜３００゜Ｃで約３０分加熱
され、封着室３においては約５００゜Ｃで約３０分加熱
されて、酸化ソルダーが溶融される。そして、移載機室
４に向かう前に約３０分徐冷されるが、移載機室４にお
いても約３５０゜Ｃ〜４００゜Ｃの温度を依然として保
っており、大気中に置かれた場合は急速に金属部分が酸
化される温度とされている。さらに、第２排気室６内は
約３５０゜Ｃとされているため、封着工程の熱を有効に
使用することができる。また第２排気室６内において、
高真空度の程度に応じて約６０分ないし１２時間真空ポ
ンプにより引かれる。次いで、徐冷・取出室１２におい
て約３０分徐冷されて２００゜Ｃ程度に冷却されて取り
出される。FIG. 2 shows a temperature profile of the display tube manufacturing apparatus shown in FIG. As shown in this figure, the first exhaust chamber 2 is heated at about 200 ° C. to 300 ° C. for about 30 minutes, and the sealing chamber 3 is heated at about 500 ° C. for about 30 minutes, so that the oxide solder is removed. Is melted. Then, it is gradually cooled for about 30 minutes before heading to the transfer machine room 4, but the temperature of about 350 ° C. to 400 ° C. is still maintained in the transfer machine room 4 and it is placed in the atmosphere. Is the temperature at which metal parts are rapidly oxidized. Further, since the inside of the second exhaust chamber 6 is set at about 350 ° C., the heat of the sealing step can be used effectively. In the second exhaust chamber 6,
Vacuum is applied for about 60 minutes to 12 hours depending on the degree of high vacuum. Next, it is gradually cooled in the slow cooling / removal chamber 12 for about 30 minutes, cooled to about 200 ° C., and taken out.
【００１８】以上の各工程間において、トレイを搬送す
る搬送装置の例を図３および図４に示す。図３にフック
方式を示しているが、外囲気が載置されたトレイ２０は
ベルトコンベア状に循環しているチェーンのフックに係
合されることにより、図示するように移動されて次の工
程に搬送される。また、図４に示す搬送装置はリフトア
ンドキャリー方式であり、ロックされたトレイ２０がア
ームによりロックがはずされると共に上昇させられて、
図示する矢印のように移動され、移動されたところで下
降されることにより搬送されるものである。この場合、
送り棒が循環されるようになされている。また、移載機
室４のように外囲器を直交する方向に移載する搬送装置
は直線導入方式とされており、第１直線導入機により封
着室３から移載機室４にトレイ２０が導入され、第２直
線導入機により排気トロリーに外囲器が移送されセット
される。なお、搬送装置をローラコンベヤ方式あるいは
プッシュロッド方式としてもよい。FIGS. 3 and 4 show examples of a transfer device for transferring a tray between the above steps. FIG. 3 shows the hook system. The tray 20 on which the ambient air is placed is moved as shown in the figure by being engaged with the hooks of a chain circulating in a belt conveyer, and is moved to the next step. Transported to 4 is a lift-and-carry system, in which the locked tray 20 is unlocked and lifted by the arm.
It is moved as shown by the arrow in the drawing, and is conveyed by being lowered at the moved position. in this case,
The feed rod is circulated. The transport device for transferring in the direction perpendicular to the envelope as transfer machine chamber 4 is a straight introduction method, the tray from the sealing chamber 3 to the transfer machine chamber 4 by the first straight line Feedthrough 20 is introduced, and the envelope is transferred and set on the exhaust trolley by the second linear introducer . The transport device may be a roller conveyor type or a push rod type.
【００１９】次に、図６に排気トロリーの概略図を示
す。排気トロリーは第２排気室６内に敷設されたレール
３６上を移動するキャスタ３５と、キャスタ３５が設け
られた排気カート３１とから構成されている。さらに、
排気カート３１の上端部には排気用のヘッド３２を備え
ており、この排気ヘッド３２にはＯリング３７を介して
外囲器４０の排気管４１が装着されている。そして、排
気管４１を介して外囲器４０内を高真空に排気するよう
にしている。このため、ヘッド３２に連接して拡散ポン
プ３３およびロータリーポンプ３４が設けられている。
なお。図示していないが排気トロリーはゲートバルブを
有している。Next, FIG. 6 shows a schematic view of the exhaust trolley. The exhaust trolley includes a caster 35 that moves on a rail 36 laid in the second exhaust chamber 6 and an exhaust cart 31 provided with the casters 35. further,
An exhaust head 32 is provided at the upper end of the exhaust cart 31, and an exhaust pipe 41 of an envelope 40 is attached to the exhaust head 32 via an O-ring 37. Then, the inside of the envelope 40 is evacuated to a high vacuum through the exhaust pipe 41. Therefore, a diffusion pump 33 and a rotary pump 34 are provided in connection with the head 32.
In addition. Although not shown, the exhaust trolley has a gate valve.
【００２０】本発明によれば、封着ラインの封着工程に
おける余熱をそのまま排気ラインの排気工程の加熱に転
換することができ、エネルギーの利用効率が高く、また
外囲器に残存する熱歪みも軽減される。さらに、封着工
程と排気工程が連続であるため、工程のつながり部にお
ける汚染がないため、製品の品質の均一化、安定化が図
れる。しかも、封着・排気工程の無駄がなく工程時間が
短縮化されるため、生産性、量産性に優れた排気装置と
することができる。以上の説明においては、外囲器は蛍
光表示装置の真空気密容器として説明したが、蛍光表示
装置に限らず他の表示装置の真空気密容器としてもよ
い。According to the present invention, the residual heat in the sealing step of the sealing line can be directly converted to the heating in the exhaust step of the exhaust line, so that the energy use efficiency is high and the thermal distortion remaining in the envelope is improved. Is also reduced. Furthermore, since the sealing step and the exhausting step are continuous, there is no contamination at the connection between the steps, so that the quality of the product can be made uniform and stable. In addition, since the sealing / exhausting process is not wasted and the process time is shortened, an exhaust device excellent in productivity and mass productivity can be provided. In the above description, the envelope is firefly
Although described as a vacuum-tight container for an optical display device, the present invention is not limited to a fluorescent display device, and may be a vacuum-tight container for another display device.
【００２１】なお、前記排気トロリーに加熱装置を設け
るようにしてもよいが、この場合は第２排気室６内の温
度プロフィールに応じて加熱装置の温度制御を行う必要
が生じる。また量産規模に応じてユニット式の封着炉を
連結すると共に、トロリー式排気室を増設することによ
り、タクトタイムの調節ができ、フレキシビリティに優
れた製造装置とすることができる。A heating device may be provided in the exhaust trolley, but in this case, it is necessary to control the temperature of the heating device according to the temperature profile in the second exhaust chamber 6. In addition, by connecting a unit-type sealing furnace and adding a trolley-type exhaust chamber according to the scale of mass production, a tact time can be adjusted and a manufacturing apparatus having excellent flexibility can be obtained.
【００２２】[0022]
【発明の効果】本発明は以上のように構成されているの
で、一つの部屋全体を高真空に排気することなく表示管
とされる外囲器内を高真空に排気することができる。ま
た、排気装置を大型化することなく外囲器内を高真空に
排気することができるため、排気効率を向上することが
できると共に、一貫生産可能な製造装置とされているた
め、安定化した特性の表示管とすることができる。ま
た、封着時の余熱をそのまま移載機室を介して排気時の
加熱に転換することができ、エネルギーの利用効率が高
く、また外囲器に残存する熱歪みも軽減される。さら
に、表示容器を封着工程から排気工程に移す際に、移載
機室の箇所で不活性ガスを充填して連続的に移載するよ
うにしているので、工程のつながり部における汚染をな
くすることができ、製品の品質の均一化、安定化が図れ
る。しかも、封着・排気工程の無駄がなく工程時間が短
縮化されるため、生産性、量産性に優れた製造装置とす
ることができる。As described above, according to the present invention, it is possible to evacuate the inside of a display tube to a high vacuum without evacuating the entire room to a high vacuum. In addition, since the inside of the envelope can be evacuated to a high vacuum without increasing the size of the exhaust device, the exhaust efficiency can be improved, and the manufacturing device can be manufactured in an integrated manner. It can be a display tube for characteristics. Further, the residual heat at the time of sealing can be directly converted into heating at the time of exhaust through the transfer machine room, so that the energy use efficiency is high and the thermal distortion remaining in the envelope is reduced. Furthermore, when transferring the display container from the sealing process to the exhaust process,
Filling with inert gas at the machine room and transferring continuously
As a result, contamination at the connection between the processes can be eliminated, and the quality of the product can be made uniform and stable. In addition, since there is no waste in the sealing / exhausting process and the process time is shortened, a manufacturing apparatus excellent in productivity and mass productivity can be provided.
【図１】本発明の表示管の製造装置を示す図である。FIG. 1 is a view showing a display tube manufacturing apparatus of the present invention.
【図２】本発明の表示管の製造装置の温度プロフィール
を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a temperature profile of the display tube manufacturing apparatus of the present invention.
【図３】フック方式の搬送装置の概略図である。FIG. 3 is a schematic diagram of a hook type transfer device.
【図４】リフトアンドキャリー方式の搬送装置の概略図
である。FIG. 4 is a schematic view of a lift-and-carry type transfer device.
【図５】直線導入方式を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a straight line introduction method.
【図６】排気トロリーの概略図である。FIG. 6 is a schematic view of an exhaust trolley.
【図７】従来のインライン方式の説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram of a conventional in-line system.
１ セット室 １−１，２−４，３−４，８1 〜８n ，１２１，１２
４，１２９，１３０，１３２，１３５，１３７，１３９
ゲートバルブ ２ 第１排気室 ２−２，３−２，４−２，１０1 〜１０n ，１３６
拡散ポンプ ２−３，３−３，４−３，１１1 〜１１n ，１２３，１
３１ ロータリーポンプ ３ 封着室 ４ 移載機室 ５ 特定ガス源 ６ トロリー式第２排気室 ７1 〜７n 排気カート １２ 徐冷・取出室 １２２ ガス置換室 １２５ 封着炉 １２６ 不活性ガス源 １２７ 徐冷室 １２８ 荒引室 １３３ 本引室 １３４ 封止室 １３８ 冷却室 １４０ 取出室 １４１ 雰囲気ガス源1 set room 1-1, 2-4, 3-4, 8 1 to 8 n , 121, 12
4,129,130,132,135,137,139
Gate valve 2 First exhaust chamber 2-2, 3-2, 4-2, 10 1 to 10 n , 136
Diffusion pump 2-3,3-3,4-3,11 1 -11 n , 123,1
Reference Signs List 31 rotary pump 3 sealing chamber 4 transfer machine room 5 specific gas source 6 trolley type second exhaust chamber 7 1 to 7 n exhaust cart 12 slow cooling / removal chamber 122 gas replacement chamber 125 sealing furnace 126 inert gas source 127 Cooling room 128 Roughing room 133 Main drawing room 134 Sealing room 138 Cooling room 140 Extraction room 141 Atmospheric gas source
フロントページの続き (72)発明者 横山 三喜男 千葉県茂原市大芝629 双葉電子工業株 式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−71533（ＪＰ，Ａ) 特公 昭33−5670（ＪＰ，Ｂ１) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01J 9/385 H01J 9/26 H01J 9/40 H01J 9/46 Continuation of front page (72) Inventor Mikio Yokoyama 629 Oshiba, Mobara-shi, Chiba Futaba Electronics Industry Co., Ltd. (56) References JP-A-61-71533 (JP, A) B1) (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) H01J 9/385 H01J 9/26 H01J 9/40 H01J 9/46
Claims (1)
行うインライン式の封着ラインと、この封着ラインに続くように配置されている トロリー式
排気ラインと、 前記インライン式の封着ラインと前記トロリー式排気ラ
インとの間に設けた移載機室とを備え、 封着された表示管の外周器を前記インライン式の封着ラ
インから前記移載機室を介して搬送する際に、前記外周
器内を不活性ガスで充填した状態として、前記トロリー
式排気ライン中を移動する排気トロリーに移載すると共
に、前記排気トロリーの進行中において、該排気トロリ
ーにセットされた前記外囲器の内部だけを高真空に排気
する排気手段によって排気し、排気後に前記外囲器の排
気部が封止されるようにしたことを特徴とする表示管の
製造装置。1. An in-line sealing line for performing sealing in a vacuum or an inert gas, a trolley-type exhaust line arranged to follow the sealing line, and the in-line sealing line. the trolley Bei example a loader chamber provided between the exhaust line, sealing La of the outer peripheral unit of a display tube which is sealed the-line and
When transported from the in through the transfer machine room,
While the interior of the vessel is filled with an inert gas, the vessel is transferred to an exhaust trolley moving in the trolley-type exhaust line, and inside the envelope set in the exhaust trolley while the exhaust trolley is in progress. A display device for manufacturing a display tube, wherein only the air is exhausted by an exhaust means for exhausting only the air to a high vacuum, and an exhaust portion of the envelope is sealed after the exhaust.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7788094A JP2903998B2 (en) | 1994-03-25 | 1994-03-25 | Display tube manufacturing equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7788094A JP2903998B2 (en) | 1994-03-25 | 1994-03-25 | Display tube manufacturing equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07262929A JPH07262929A (en) | 1995-10-13 |
| JP2903998B2 true JP2903998B2 (en) | 1999-06-14 |
Family
ID=13646394
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7788094A Expired - Fee Related JP2903998B2 (en) | 1994-03-25 | 1994-03-25 | Display tube manufacturing equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2903998B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3754859B2 (en) | 2000-02-16 | 2006-03-15 | キヤノン株式会社 | Manufacturing method of image display device |
| CN106363349B (en) * | 2016-08-29 | 2018-12-11 | 武汉一冶建筑安装工程有限责任公司 | A kind of processing method of manipulator circular orbit |
-
1994
- 1994-03-25 JP JP7788094A patent/JP2903998B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07262929A (en) | 1995-10-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3754859B2 (en) | Manufacturing method of image display device | |
| KR100802671B1 (en) | Load lock apparatus, processing system and processing method | |
| JP2001257250A (en) | Dual substrate loadlock process equipment | |
| JP2001135704A (en) | Substrate treatment apparatus and transfer control method for substrate transfer tray | |
| JP2003124284A (en) | Substrate treatment equipment and method for manufacturing semiconductor device | |
| JPH09251839A (en) | Manufacture of plasma display panel | |
| JP2903998B2 (en) | Display tube manufacturing equipment | |
| KR100406840B1 (en) | Plasma display panel manufacturing apparatus and manufacturing method | |
| JP2001291758A (en) | Vacuum processing equipment | |
| KR100472924B1 (en) | Manufacturing method and manufacturing apparatus of image displaying apparatus | |
| JP2713132B2 (en) | Exhaust device | |
| JP3207402B2 (en) | Semiconductor heat treatment apparatus and semiconductor substrate heat treatment method | |
| KR0166381B1 (en) | Vacuum teatment apparatus | |
| JP4235640B2 (en) | Image display device manufacturing device | |
| JP4280743B2 (en) | Image display device manufacturing device | |
| JP2001254171A (en) | Arc-type ion plating apparatus | |
| JP3077513B2 (en) | Method and apparatus for manufacturing a substrate of a fluorescent display tube | |
| JP2023068694A (en) | Continuous heating furnace | |
| JP2000243295A (en) | Plasma display panel processing facility | |
| TW202231894A (en) | Processing device the processing performance can be improved by improving the film quality when the film formation process is performed in the vacuum chamber | |
| JPH06260433A (en) | Semiconductor manufacturing device | |
| JP4408110B2 (en) | Manufacturing method of image display device | |
| JP2009224799A (en) | Substrate treatment device and substrate treatment method using same | |
| JPH0448626A (en) | Dry etching apparatus | |
| JPH0580825B2 (en) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990223 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |