JP2898763B2 - 膜モジュール - Google Patents
膜モジュールInfo
- Publication number
- JP2898763B2 JP2898763B2 JP41764690A JP41764690A JP2898763B2 JP 2898763 B2 JP2898763 B2 JP 2898763B2 JP 41764690 A JP41764690 A JP 41764690A JP 41764690 A JP41764690 A JP 41764690A JP 2898763 B2 JP2898763 B2 JP 2898763B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hollow fiber
- fiber membrane
- case
- partition
- raw water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
- Physical Water Treatments (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は溶存ガスの除去が可能な
液体濾過用膜モジュールに関し、超純水の製造に有用な
ものである。
液体濾過用膜モジュールに関し、超純水の製造に有用な
ものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造時での洗浄工程において、最
終的に使用される超純水は、逆浸透膜、中空糸型限外濾
過膜、各種イオン交換樹脂、脱気設備を用いて製造さ
れ、微粒子数、比抵抗値、ＴＯＣ（全有機性炭素量）、
ＤＯ（溶存酸素量）、溶存シリカ量、生菌数等を指標と
して厳格な規制がなされている。特に、近来、半導体の
一層の高性能化のために、上記超純水に対する指標のよ
り一層の強化が要求されている。
終的に使用される超純水は、逆浸透膜、中空糸型限外濾
過膜、各種イオン交換樹脂、脱気設備を用いて製造さ
れ、微粒子数、比抵抗値、ＴＯＣ（全有機性炭素量）、
ＤＯ（溶存酸素量）、溶存シリカ量、生菌数等を指標と
して厳格な規制がなされている。特に、近来、半導体の
一層の高性能化のために、上記超純水に対する指標のよ
り一層の強化が要求されている。
【０００３】例えば、半導体の動作不良を惹起する畏れ
のあるイオン交換樹脂等からのＴＯＣ溶出の規制強化、
ＳＩコンタクト抵抗を増加する畏れのある配管並びにユ
ースポイント限外濾過中空糸膜モジュール等でのＤＯの
規制強化が要求されている。
のあるイオン交換樹脂等からのＴＯＣ溶出の規制強化、
ＳＩコンタクト抵抗を増加する畏れのある配管並びにユ
ースポイント限外濾過中空糸膜モジュール等でのＤＯの
規制強化が要求されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来においては、ＤＯ
の低減のために脱気塔による前処理を行っているが、上
記ＤＯの規制強化のもとでは、その前処理位置からユー
スポイントまでの間における酸素の溶解が問題となる。
他方、ユースポイント直前で脱気塔による脱気を行え
ば、せっかく、膜モジュールで除去した微粒子、生菌等
の増加が避けられない。
の低減のために脱気塔による前処理を行っているが、上
記ＤＯの規制強化のもとでは、その前処理位置からユー
スポイントまでの間における酸素の溶解が問題となる。
他方、ユースポイント直前で脱気塔による脱気を行え
ば、せっかく、膜モジュールで除去した微粒子、生菌等
の増加が避けられない。
【０００５】かかる不合理を解消するために、最終的に
脱気膜モジュールで処理することが考えられるが、微粒
子除去のための膜モジュール以外に脱気専用の膜モジュ
ールが必要となり、設備コスト、保守等の煩雑化が避け
られない。本発明の目的は微粒子並びに溶存ガスを共に
除去できる簡易な構成の液体濾過用の膜モジュールを提
供することにある。
脱気膜モジュールで処理することが考えられるが、微粒
子除去のための膜モジュール以外に脱気専用の膜モジュ
ールが必要となり、設備コスト、保守等の煩雑化が避け
られない。本発明の目的は微粒子並びに溶存ガスを共に
除去できる簡易な構成の液体濾過用の膜モジュールを提
供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】第１発明の膜モジュール
は、筒状ケース内に中空糸膜束が収容され、該ケース内
に中間隔壁が設けられ、中空糸膜束の一端側に端部樹脂
隔壁が設けられ、該端部樹脂隔壁の外面に各中空糸膜の
一端が開口され、同中空糸膜の他端が閉塞され、上記中
間隔壁でケース内が２分割されてなる各室の筒壁に口部
が設けられていることを特徴とする構成である。
は、筒状ケース内に中空糸膜束が収容され、該ケース内
に中間隔壁が設けられ、中空糸膜束の一端側に端部樹脂
隔壁が設けられ、該端部樹脂隔壁の外面に各中空糸膜の
一端が開口され、同中空糸膜の他端が閉塞され、上記中
間隔壁でケース内が２分割されてなる各室の筒壁に口部
が設けられていることを特徴とする構成である。
【０００７】第２発明の膜モジュールは、筒状ケース内
に中空糸膜束が収容され、該ケース内に中間隔壁が設け
られ、中空糸膜束の両端側に端部樹脂隔壁が設けられ、
各端部樹脂隔壁の外面に各中空糸膜の各端が開口され、
上記中間隔壁でケース内が２分割されてなる各室の筒壁
に口部が設けられていることを特徴とする構成である。
に中空糸膜束が収容され、該ケース内に中間隔壁が設け
られ、中空糸膜束の両端側に端部樹脂隔壁が設けられ、
各端部樹脂隔壁の外面に各中空糸膜の各端が開口され、
上記中間隔壁でケース内が２分割されてなる各室の筒壁
に口部が設けられていることを特徴とする構成である。
【０００８】
【作用】中間隔壁で隔てられた一方の室内の中空糸膜部
分を疎水性にすることにより、溶存ガスを透過分離で
き、他方の室内の中空糸膜部分を親水性にすることによ
り、原水を濾過できる。
分を疎水性にすることにより、溶存ガスを透過分離で
き、他方の室内の中空糸膜部分を親水性にすることによ
り、原水を濾過できる。
【０００９】
【実施例】図１は第１発明の実施例を示す説明図であ
る。図１において、１は筒状ケースである。２は筒状ケ
ース１内に収容した中空糸膜束である。３はケース１内
に注型により設けた中間樹脂隔壁であり、ケース１内が
２室１１，１２に分割されている。１１１，１２１は各
室１１，１２に設けた口部である。４はケース１の一端
側に注型により設けた端部樹脂隔壁であり、各中空糸膜
一端２０１の開口がこの端部樹脂隔壁４の外面に開放さ
れている。
る。図１において、１は筒状ケースである。２は筒状ケ
ース１内に収容した中空糸膜束である。３はケース１内
に注型により設けた中間樹脂隔壁であり、ケース１内が
２室１１，１２に分割されている。１１１，１２１は各
室１１，１２に設けた口部である。４はケース１の一端
側に注型により設けた端部樹脂隔壁であり、各中空糸膜
一端２０１の開口がこの端部樹脂隔壁４の外面に開放さ
れている。
【００１０】５は中空糸膜の他端部に注型した樹脂成形
体であり、この成形体５によって中空糸膜の他端２０２
が閉塞されている。ケース１の一端に取着したキャップ
であり、口部６１を備えている。７はケース１の他端に
取着したキャップであり、口部７１を備えている。
体であり、この成形体５によって中空糸膜の他端２０２
が閉塞されている。ケース１の一端に取着したキャップ
であり、口部６１を備えている。７はケース１の他端に
取着したキャップであり、口部７１を備えている。
【００１１】この膜モジュールによれば、室１１内の中
空糸膜部分２１を疎水性とし、室１２内の中空糸膜部分
２２を親水性とすることによって、原水を溶存ガスを分
離しつつ濾過することが可能である。この疎水性部分２
１並びに親水性部分２２は、疎水性の中空糸膜、例え
ば、ポリサルホン中空糸膜をグリセリン、多糖類等の保
湿水溶液の表面コートによって親水性とし、上記室１１
内の中空糸膜部分２１をエタノール等で疎水化して得る
ことができる。また、中間隔壁３は中空糸膜束２の疎水
性部分２１と親水性部分２２との境界を覆って注型され
る。
空糸膜部分２１を疎水性とし、室１２内の中空糸膜部分
２２を親水性とすることによって、原水を溶存ガスを分
離しつつ濾過することが可能である。この疎水性部分２
１並びに親水性部分２２は、疎水性の中空糸膜、例え
ば、ポリサルホン中空糸膜をグリセリン、多糖類等の保
湿水溶液の表面コートによって親水性とし、上記室１１
内の中空糸膜部分２１をエタノール等で疎水化して得る
ことができる。また、中間隔壁３は中空糸膜束２の疎水
性部分２１と親水性部分２２との境界を覆って注型され
る。
【００１２】上記膜モジュールによって原水を濾過する
場合、上記の室１２が原水室とされ、口部７１が原水流
入口とされ、１２１が濃縮水出口とされる。また、室１
１が脱気室とされ、口部１１１が脱気ガス出口とされ
る。口部６１は透過水出口として使用される。上記膜モ
ジュールによって原水を濾過するには、原水流入口７１
より原水室１２に原水を所定の圧力で供給すると共に脱
気室１１を減圧する。而して、原水が中空糸膜２の親水
性部分２２に接して流動する間に、この部分２２の膜が
親水性であるために、原水の透過性成分が膜を透過し原
水中微粒子の膜への通過が阻止され、この透過によって
微粒子濃度の濃縮された非透過水、即ち、濃縮水が濃縮
水流出口１２１より流出していく。
場合、上記の室１２が原水室とされ、口部７１が原水流
入口とされ、１２１が濃縮水出口とされる。また、室１
１が脱気室とされ、口部１１１が脱気ガス出口とされ
る。口部６１は透過水出口として使用される。上記膜モ
ジュールによって原水を濾過するには、原水流入口７１
より原水室１２に原水を所定の圧力で供給すると共に脱
気室１１を減圧する。而して、原水が中空糸膜２の親水
性部分２２に接して流動する間に、この部分２２の膜が
親水性であるために、原水の透過性成分が膜を透過し原
水中微粒子の膜への通過が阻止され、この透過によって
微粒子濃度の濃縮された非透過水、即ち、濃縮水が濃縮
水流出口１２１より流出していく。
【００１３】上記中空糸膜２内の透過液は中空糸膜２の
開口端２０１に向かって流れていき、疎水性部分２１に
おいて、透過液中の液分は膜の疎水性のために膜を通過
しないが、溶存酸素においては、脱気室１１の減圧によ
る膜間差圧のもとで膜を透過して脱気室１１の脱気ガス
流出口１１１から排出されていく。従って、透過液中か
ら溶存酸素を除去でき、ＤＯの規制強化に対応し得る超
純水を得ることができる。
開口端２０１に向かって流れていき、疎水性部分２１に
おいて、透過液中の液分は膜の疎水性のために膜を通過
しないが、溶存酸素においては、脱気室１１の減圧によ
る膜間差圧のもとで膜を透過して脱気室１１の脱気ガス
流出口１１１から排出されていく。従って、透過液中か
ら溶存酸素を除去でき、ＤＯの規制強化に対応し得る超
純水を得ることができる。
【００１４】図２は第２発明の実施例を示す説明図であ
る。図２において、１は筒状ケースである。２は筒状ケ
ース１内に収容した中空糸膜束である。３はケース１内
に注型により設けた中間樹脂隔壁であり、ケース１内が
２室１１，１２０に分割されている。６１，１１１は各
室１１，１２０に設けた口部である。
る。図２において、１は筒状ケースである。２は筒状ケ
ース１内に収容した中空糸膜束である。３はケース１内
に注型により設けた中間樹脂隔壁であり、ケース１内が
２室１１，１２０に分割されている。６１，１１１は各
室１１，１２０に設けた口部である。
【００１５】４ａはケース１の一端側に注型により設け
た端部樹脂隔壁であり、各中空糸膜一端２０１の開口が
この端部樹脂隔壁４ａの外面に開放されている。４ｂは
ケース１の他端側に注型により設けた端部樹脂隔壁であ
り、各中空糸膜他端２０２の開口がこの端部樹脂隔壁４
ｂの外面に開放されている。６はケース１の一端に取着
したキャップであり、口部１２１を備えている。７はケ
ース１の他端に取着したキャップであり、口部７１を備
えている。この膜モジュールによれば、室１１内の中空
糸膜部分２１を疎水性とし、室１２０内の中空糸膜部分
２２を親水性とすることによって原水を溶存ガスを分離
しつつ濾過することが可能である。
た端部樹脂隔壁であり、各中空糸膜一端２０１の開口が
この端部樹脂隔壁４ａの外面に開放されている。４ｂは
ケース１の他端側に注型により設けた端部樹脂隔壁であ
り、各中空糸膜他端２０２の開口がこの端部樹脂隔壁４
ｂの外面に開放されている。６はケース１の一端に取着
したキャップであり、口部１２１を備えている。７はケ
ース１の他端に取着したキャップであり、口部７１を備
えている。この膜モジュールによれば、室１１内の中空
糸膜部分２１を疎水性とし、室１２０内の中空糸膜部分
２２を親水性とすることによって原水を溶存ガスを分離
しつつ濾過することが可能である。
【００１６】上記膜モジュールによって原水を濾過する
場合、７１が原水流入口とされ、１２１が濃縮水出口と
され、１２０が透過水室とされ、６１が透過水出口とさ
れる。また、室１１が脱気室とされ、口部１１１が脱気
ガス出口とされる。
場合、７１が原水流入口とされ、１２１が濃縮水出口と
され、１２０が透過水室とされ、６１が透過水出口とさ
れる。また、室１１が脱気室とされ、口部１１１が脱気
ガス出口とされる。
【００１７】この別実施例の膜モジュールによって原水
を処理するには、原水を原水入口７１から中空糸膜２内
に所定の圧力で供給すると共に脱気室１１を減圧する。
而して、原水が中空糸膜束２の疎水性部分２１を通過す
る間に原水中の溶存酸素が膜を透過して脱気室１１内に
至り、脱ガス流出口１１１より排出される。脱ガスされ
た原水は中空糸膜２の一端２０１に向かって流れてい
き、親水性部分２２において、原水の透過性成分が親水
性膜部分２２を透過して微粒子が膜で除去され、この透
過水が透過水室１２０を経て透過液流出口６１より流出
していく。この透過により微粒子濃度が濃縮された非透
過液、即ち、濃縮水が濃縮水流出口１２１から流出して
いく。
を処理するには、原水を原水入口７１から中空糸膜２内
に所定の圧力で供給すると共に脱気室１１を減圧する。
而して、原水が中空糸膜束２の疎水性部分２１を通過す
る間に原水中の溶存酸素が膜を透過して脱気室１１内に
至り、脱ガス流出口１１１より排出される。脱ガスされ
た原水は中空糸膜２の一端２０１に向かって流れてい
き、親水性部分２２において、原水の透過性成分が親水
性膜部分２２を透過して微粒子が膜で除去され、この透
過水が透過水室１２０を経て透過液流出口６１より流出
していく。この透過により微粒子濃度が濃縮された非透
過液、即ち、濃縮水が濃縮水流出口１２１から流出して
いく。
【００１８】本発明の膜モジュールによれば、透過水中
の溶存酸素量を充分に低減できる。このことは次ぎの実
施例と比較例との対比からも確認できる。
の溶存酸素量を充分に低減できる。このことは次ぎの実
施例と比較例との対比からも確認できる。
【００１９】(実施例)図１において、中間樹脂隔壁３の
脱気室側表面31よりケース一端21までの間の中空糸膜部
分２１を疎水化し、その疎水化部分の長さを25cmとし、
他方、親水性部分２２の長さを75cmとした。また、中空
糸膜２の内径を0.55mm、中空糸膜の本数を600本、ケー
ス１の内径を100mmφ、ケースの長さを100cm、中間隔壁
３の厚みを5cmとし、樹脂隔壁３，４並びに封止成形体
５をエポキシ樹脂で注型した。
脱気室側表面31よりケース一端21までの間の中空糸膜部
分２１を疎水化し、その疎水化部分の長さを25cmとし、
他方、親水性部分２２の長さを75cmとした。また、中空
糸膜２の内径を0.55mm、中空糸膜の本数を600本、ケー
ス１の内径を100mmφ、ケースの長さを100cm、中間隔壁
３の厚みを5cmとし、樹脂隔壁３，４並びに封止成形体
５をエポキシ樹脂で注型した。
【００２０】この実施例品によって、１ｍｌあたりの微
粒子数（0.1μm以上の微粒子)が60〜100、溶存酸素量が
９〜10ppbの原水を濾過処理したところ(モジュール透過
水量2.7m3/hr・kg/cm2の条件で操作)、微粒子量0〜２／m
l、溶存酸素量７〜８ppbの超純水を得た。
粒子数（0.1μm以上の微粒子)が60〜100、溶存酸素量が
９〜10ppbの原水を濾過処理したところ(モジュール透過
水量2.7m3/hr・kg/cm2の条件で操作)、微粒子量0〜２／m
l、溶存酸素量７〜８ppbの超純水を得た。
【００２１】(比較例)上記実施例に対し、中空糸膜を疎
水化処理せず、中間樹脂隔壁を除去し、他は上記実施例
に同じとした。この比較例品によって、上記原水を、透
過水量3.7m3/hr・kg/cm2の条件で濾過処理したところ、
微粒子量は0〜２／mlであって、実施例との差異はなか
ったが、溶存酸素量は10〜11ppbであり、実施例に比べ
てかなり多量であった。
水化処理せず、中間樹脂隔壁を除去し、他は上記実施例
に同じとした。この比較例品によって、上記原水を、透
過水量3.7m3/hr・kg/cm2の条件で濾過処理したところ、
微粒子量は0〜２／mlであって、実施例との差異はなか
ったが、溶存酸素量は10〜11ppbであり、実施例に比べ
てかなり多量であった。
【００２２】本発明は酸素以外の溶存ガスを脱気しなが
ら原水を濾過する場合にも使用できる。又、揮発性液
体、例えば、エタノールのような有機溶剤を含有する原
水から有機溶剤を浸透気化により脱気しながら原水を濾
過する場合にも使用でき、この場合、脱気室内の中空糸
膜部分には、有機溶剤蒸気に対して選択透過性を有する
薄膜をコートすればよい。
ら原水を濾過する場合にも使用できる。又、揮発性液
体、例えば、エタノールのような有機溶剤を含有する原
水から有機溶剤を浸透気化により脱気しながら原水を濾
過する場合にも使用でき、この場合、脱気室内の中空糸
膜部分には、有機溶剤蒸気に対して選択透過性を有する
薄膜をコートすればよい。
【００２３】
【発明の効果】本発明の膜モジュールは上述した通りの
構成であり、一の膜モジュールで微粒子と共に溶存ガス
も除去でき、脱気専用の膜モジュールの並設が不要であ
り、膜モジュールの操作、保守、管理などが容易であ
る。又、通常の中空糸膜モジュールのケース内中間に樹
脂隔壁を付加し、中空糸膜束の１部を疎水化するだけで
よいから、モジュールの構造も簡単である。
構成であり、一の膜モジュールで微粒子と共に溶存ガス
も除去でき、脱気専用の膜モジュールの並設が不要であ
り、膜モジュールの操作、保守、管理などが容易であ
る。又、通常の中空糸膜モジュールのケース内中間に樹
脂隔壁を付加し、中空糸膜束の１部を疎水化するだけで
よいから、モジュールの構造も簡単である。
【図１】第１発明の実施例を示す説明図である。
【図２】第２発明の実施例を示す説明図である。
１ ケース １１１ 口部 １２１ 口部 ２ 中空糸膜束 ２０１ 中空糸膜一端 ２０２ 中空糸膜他端 ３ 中間樹脂隔壁 ４ 端部隔壁 ４ａ 端部隔壁 ４ｂ 端部隔壁 ５ 樹脂成形体 １１ 室 １２ 室 １２０ 室 ９
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B01D 63/02 B01D 19/00 C02F 1/20 C02F 1/44
Claims (2)
- 【請求項１】 筒状ケース内に中空糸膜束が収容され、
該ケース内に中間隔壁が設けられ、中空糸膜束の一端側
に端部樹脂隔壁が設けられ、該端部樹脂隔壁の外面に各
中空糸膜の一端が開口され、同中空糸膜の他端が閉塞さ
れ、上記中間隔壁でケース内が２分割されてなる各室の
筒壁に口部が設けられていることを特徴とする膜モジュ
ール。 - 【請求項２】 筒状ケース内に中空糸膜束が収容され、
該ケース内に中間隔壁が設けられ、中空糸膜束の両端側
に端部樹脂隔壁が設けられ、各端部樹脂隔壁の外面に各
中空糸膜の各端が開口され、上記中間隔壁でケース内が
２分割されてなる各室の筒壁に口部が設けられているこ
とを特徴とする膜モジュール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP41764690A JP2898763B2 (ja) | 1990-12-29 | 1990-12-29 | 膜モジュール |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP41764690A JP2898763B2 (ja) | 1990-12-29 | 1990-12-29 | 膜モジュール |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04250830A JPH04250830A (ja) | 1992-09-07 |
| JP2898763B2 true JP2898763B2 (ja) | 1999-06-02 |
Family
ID=18525721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP41764690A Expired - Lifetime JP2898763B2 (ja) | 1990-12-29 | 1990-12-29 | 膜モジュール |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2898763B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4446270C1 (de) * | 1994-12-23 | 1996-02-29 | Hewlett Packard Gmbh | Basisstruktur für einen Flüssigkeitschromatographie-Entgaser |
| JP2009038047A (ja) * | 2006-04-26 | 2009-02-19 | Entegris Inc | 液体気化装置 |
-
1990
- 1990-12-29 JP JP41764690A patent/JP2898763B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04250830A (ja) | 1992-09-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Uragami | Science and technology of separation membranes | |
| US4547289A (en) | Filtration apparatus using hollow fiber membrane | |
| EP0576659B1 (en) | Membrane, rectifying dialyzer, bioreactor and the relevant use thereof | |
| US5156739A (en) | System for purifying and degasifying water by reverse osmosis | |
| JP3924926B2 (ja) | 中空糸膜型ろ過膜モジュール | |
| US5925254A (en) | Process for separating sodium from aqueous effluents resulting from the reprocessing of spent nuclear fuel elements | |
| JP2898763B2 (ja) | 膜モジュール | |
| JPH0212130B2 (ja) | ||
| JP3838689B2 (ja) | 水処理システム | |
| US20220062825A1 (en) | Separation membrane module and liquid treatment system including the same | |
| CN217042087U (zh) | 一种纳滤膜水过滤*** | |
| CN212167069U (zh) | 一种反渗透过滤*** | |
| JPH05329339A (ja) | 濾過システム | |
| JPH04271817A (ja) | ろ過方法 | |
| CN216426891U (zh) | 净水机 | |
| CN219972084U (zh) | 一种柱式中空超滤膜组件 | |
| JPH0322237B2 (ja) | ||
| CN210595528U (zh) | 水处理***的废水处理装置 | |
| JP2000070683A (ja) | 中空糸膜型ろ過膜モジュール | |
| JP2717458B2 (ja) | 濾過方法 | |
| JP2001212562A (ja) | 純水製造器および純水製造装置 | |
| JP2660261B2 (ja) | 多機能性モジュール | |
| JPH04190834A (ja) | クロスフロー型濾過器 | |
| JPH11314087A (ja) | 高清浄水製造装置 | |
| WO2003086592A1 (fr) | Module de membranes a fibres creuses |