JP2893628B2 - ダイシング装置 - Google Patents
ダイシング装置Info
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- JP2893628B2 JP2893628B2 JP31675993A JP31675993A JP2893628B2 JP 2893628 B2 JP2893628 B2 JP 2893628B2 JP 31675993 A JP31675993 A JP 31675993A JP 31675993 A JP31675993 A JP 31675993A JP 2893628 B2 JP2893628 B2 JP 2893628B2
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- Japan
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- chucks
- wafer
- chuck
- arm
- dicing apparatus
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はダイシング装置に係り、
特にウエハ切断部、ウエハ洗浄部等にウエハを搬送する
ダイシング装置に関する。
特にウエハ切断部、ウエハ洗浄部等にウエハを搬送する
ダイシング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種のダイシング装置として
は、特開昭６２−１８８２８４号公報に記載されたもの
がある。このダイシング装置は、図５に示すように、供
給用ウエハキャリアを搭載するカセット２からウエハＷ
が供給され、そのウエハＷをプリアライメントする第１
の位置Ｐ１、ウエハＷをカッティングテーブルにロード
及びアンロードする第２の位置Ｐ２、切断されたウエハ
Ｗを洗浄する第３の位置Ｐ３、及び洗浄されたウエハＷ
がアンローディングされる第４の位置Ｐ４を有してお
り、前記第２の位置Ｐ２でカッティングテーブル（図示
せず）にローディングされたウエハＷは、カッティング
テーブルごと移動してファインアラメイントされ、その
後切断部１０のダイヤモンドカッタ６によって所要の半
導体チップに切断され、又このようにして切断されたウ
エハＷは第３の位置Ｐ３に搬送され、ここで洗浄され、
その後第４の位置Ｐ４に搬送され、ここから収納用ウエ
ハキャリアを搭載するカセット２に収納される。
は、特開昭６２−１８８２８４号公報に記載されたもの
がある。このダイシング装置は、図５に示すように、供
給用ウエハキャリアを搭載するカセット２からウエハＷ
が供給され、そのウエハＷをプリアライメントする第１
の位置Ｐ１、ウエハＷをカッティングテーブルにロード
及びアンロードする第２の位置Ｐ２、切断されたウエハ
Ｗを洗浄する第３の位置Ｐ３、及び洗浄されたウエハＷ
がアンローディングされる第４の位置Ｐ４を有してお
り、前記第２の位置Ｐ２でカッティングテーブル（図示
せず）にローディングされたウエハＷは、カッティング
テーブルごと移動してファインアラメイントされ、その
後切断部１０のダイヤモンドカッタ６によって所要の半
導体チップに切断され、又このようにして切断されたウ
エハＷは第３の位置Ｐ３に搬送され、ここで洗浄され、
その後第４の位置Ｐ４に搬送され、ここから収納用ウエ
ハキャリアを搭載するカセット２に収納される。
【０００３】また、前記第１乃至第４の位置は、それぞ
れ正方形の各頂点位置となる関係で配置されており、こ
れらの位置に於けるウエハの搬送は、前記正方形の中心
に回転軸１２を有し、この回転軸１２から隣接する２つ
の位置に向かってＶ字状に延出するアーム部１４によっ
て行われる。このように構成されたダイシング装置は、
ウエハの品質を維持するためにクリーンルーム内で使用
されている。
れ正方形の各頂点位置となる関係で配置されており、こ
れらの位置に於けるウエハの搬送は、前記正方形の中心
に回転軸１２を有し、この回転軸１２から隣接する２つ
の位置に向かってＶ字状に延出するアーム部１４によっ
て行われる。このように構成されたダイシング装置は、
ウエハの品質を維持するためにクリーンルーム内で使用
されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、クリー
ンルームは建設コストが高いので、クリーンルームの省
スペース化を図るために、ダイシング装置の小型化が要
望されていが、この要望に十分に対応できていないとい
う問題がある。本発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、ダイシング装置の小型化を図ることによりク
リーンルームの省スペース化を可能とするダイシング装
置を提供することを目的とする。
ンルームは建設コストが高いので、クリーンルームの省
スペース化を図るために、ダイシング装置の小型化が要
望されていが、この要望に十分に対応できていないとい
う問題がある。本発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、ダイシング装置の小型化を図ることによりク
リーンルームの省スペース化を可能とするダイシング装
置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成する為に、先端にウエハを吸着・離脱可能なチャック
を有するアームを回転させてウエハをある位置から別の
位置に移動させるダイシング装置において、前記アーム
は、伸縮自在に構成されると共に収縮して回転すること
を特徴とする。
成する為に、先端にウエハを吸着・離脱可能なチャック
を有するアームを回転させてウエハをある位置から別の
位置に移動させるダイシング装置において、前記アーム
は、伸縮自在に構成されると共に収縮して回転すること
を特徴とする。
【０００６】また、本発明は、前記目的を達成する為
に、前記アームは第１、第２のアーム部でＶ型に形成さ
れると共に該第１、第２のアーム部の先端には各々チャ
ックを昇降自在に設け、前記各々のチャックはアームの
回転収縮時に前記チャック同士の干渉を防止するように
昇降して位置をずらすことを特徴とする。
に、前記アームは第１、第２のアーム部でＶ型に形成さ
れると共に該第１、第２のアーム部の先端には各々チャ
ックを昇降自在に設け、前記各々のチャックはアームの
回転収縮時に前記チャック同士の干渉を防止するように
昇降して位置をずらすことを特徴とする。
【０００７】
【作用】本発明によれば、ウエハを吸着・離脱可能なチ
ャックを有するアームを伸縮自在に構成し、アームを収
縮してチャックをある位置から別の位置に移動する。従
って、チャックをある位置から別の位置に移動するとき
に、チャックをアームの中心位置に近づけることができ
る。
ャックを有するアームを伸縮自在に構成し、アームを収
縮してチャックをある位置から別の位置に移動する。従
って、チャックをある位置から別の位置に移動するとき
に、チャックをアームの中心位置に近づけることができ
る。
【０００８】また、本発明によれば、アームを伸縮自在
な第１、第２のアーム部でＶ型に形成し、かつ、第１、
第２のアーム部に昇降自在に各々のチャックを設けた。
そして、第１、第２のアーム部が収縮するとき各々のチ
ャックがずれるように上昇するのでチャック同士の干渉
が防止される。
な第１、第２のアーム部でＶ型に形成し、かつ、第１、
第２のアーム部に昇降自在に各々のチャックを設けた。
そして、第１、第２のアーム部が収縮するとき各々のチ
ャックがずれるように上昇するのでチャック同士の干渉
が防止される。
【０００９】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るダイシン
グ装置について詳説する。図１は本発明に係るダイシン
グ装置の平面図、図２はその要部拡大図、図３は図２の
矢視Ａ−Ａ図である。尚、図１乃至図３上で図５に示す
従来のダイシング装置と同一類似部材については同一符
号を付して説明を省略する。
グ装置について詳説する。図１は本発明に係るダイシン
グ装置の平面図、図２はその要部拡大図、図３は図２の
矢視Ａ−Ａ図である。尚、図１乃至図３上で図５に示す
従来のダイシング装置と同一類似部材については同一符
号を付して説明を省略する。
【００１０】図１に示すように、ダイシング装置３０に
はウエハの搬送位置として、４つの位置Ｐ１、Ｐ２、Ｐ
３、Ｐ４があり、これらの位置Ｐ１〜Ｐ４は正方形の各
頂点に位置する関係で配置されている。そして、位置Ｐ
１はウエハをプリアライメントするローディング位置で
あるとともに、加工後のウエハがアンローディングされ
る位置であり、位置Ｐ２は切断部１０にウエハを搬送す
るカッティングテーブル１２にウエハをロード及びアン
ロードする位置であり、位置Ｐ３は洗浄部２０のスピナ
テーブルにウエハをロード及びアンロードする位置であ
り、位置Ｐ４は洗浄後のウエハを待機させる位置であ
る。
はウエハの搬送位置として、４つの位置Ｐ１、Ｐ２、Ｐ
３、Ｐ４があり、これらの位置Ｐ１〜Ｐ４は正方形の各
頂点に位置する関係で配置されている。そして、位置Ｐ
１はウエハをプリアライメントするローディング位置で
あるとともに、加工後のウエハがアンローディングされ
る位置であり、位置Ｐ２は切断部１０にウエハを搬送す
るカッティングテーブル１２にウエハをロード及びアン
ロードする位置であり、位置Ｐ３は洗浄部２０のスピナ
テーブルにウエハをロード及びアンロードする位置であ
り、位置Ｐ４は洗浄後のウエハを待機させる位置であ
る。
【００１１】また、図２に示すように、ダイシング装置
３０は回転アーム３２を備え、回転アーム３２は回転台
３４を有している。回転台３４は略Ｖ字型に形成され、
回転軸１２を介して回動自在にダイシング装置本体に回
動自在に支持されている。回転台３４の左右には各々シ
リンダ３６Ａ、３６Ｂが設けられ、シリンダ３６Ａ、３
６Ｂのシリンダロッド３７Ａ、３７Ｂの端部にはアーム
部３８Ａ、３８Ｂの先端部が連結されている。アーム部
３８Ａ、３８Ｂは回転台３４に各々矢印Ａ−Ａ方向、矢
印Ｂ−Ｂ方向にスライド自在に支持されている。
３０は回転アーム３２を備え、回転アーム３２は回転台
３４を有している。回転台３４は略Ｖ字型に形成され、
回転軸１２を介して回動自在にダイシング装置本体に回
動自在に支持されている。回転台３４の左右には各々シ
リンダ３６Ａ、３６Ｂが設けられ、シリンダ３６Ａ、３
６Ｂのシリンダロッド３７Ａ、３７Ｂの端部にはアーム
部３８Ａ、３８Ｂの先端部が連結されている。アーム部
３８Ａ、３８Ｂは回転台３４に各々矢印Ａ−Ａ方向、矢
印Ｂ−Ｂ方向にスライド自在に支持されている。
【００１２】図３に示すように、アーム部３８Ａ、３８
Ｂの先端部にはシリンダ４０Ａ、４０Ｂが垂直方向を向
いて設けられ、ロッド４２Ａ、４２Ｂの下端部にはチャ
ック４４Ａ、４４Ｂが固定されている。従って、シリン
ダロッド３７Ａ、３７Ｂが伸長するとアーム部３８Ａ、
３８Ｂが伸長してチャック４４Ａ、４４ＢがウエハＷを
吸着及び離脱する位置Ｌ１、Ｌ２に位置決めされる。
Ｂの先端部にはシリンダ４０Ａ、４０Ｂが垂直方向を向
いて設けられ、ロッド４２Ａ、４２Ｂの下端部にはチャ
ック４４Ａ、４４Ｂが固定されている。従って、シリン
ダロッド３７Ａ、３７Ｂが伸長するとアーム部３８Ａ、
３８Ｂが伸長してチャック４４Ａ、４４ＢがウエハＷを
吸着及び離脱する位置Ｌ１、Ｌ２に位置決めされる。
【００１３】尚、チャック４４Ａ、４４Ｂが吸着・離脱
位置Ｌ１、Ｌ２まで移動すると、チャック４４Ａ、４４
Ｂは位置Ｐ１〜Ｐ４に位置決めされる。また、シリンダ
ロッド３７Ａ、３７Ｂが収縮するとアーム部３８Ａ、３
８Ｂが収縮してチャック４４Ａ、４４ＢがウエハＷを搬
送する位置Ｌ３、Ｌ４に位置決めされる。この場合、チ
ャック４４Ａ、４４Ｂは、後述するように上下方向にず
れが設けられるので、チャック４４Ａ、４４Ｂが重複し
ても互いの干渉が防止される。
位置Ｌ１、Ｌ２まで移動すると、チャック４４Ａ、４４
Ｂは位置Ｐ１〜Ｐ４に位置決めされる。また、シリンダ
ロッド３７Ａ、３７Ｂが収縮するとアーム部３８Ａ、３
８Ｂが収縮してチャック４４Ａ、４４ＢがウエハＷを搬
送する位置Ｌ３、Ｌ４に位置決めされる。この場合、チ
ャック４４Ａ、４４Ｂは、後述するように上下方向にず
れが設けられるので、チャック４４Ａ、４４Ｂが重複し
ても互いの干渉が防止される。
【００１４】そして、チャック４４Ａ、４４Ｂを搬送位
置Ｌ３、Ｌ４に位置決めした状態で、回転アーム３２を
回転するとチャック４４Ａ、４４Ｂは円Ｃ１（図１参
照）に沿って移動する。このように、チャック４４Ａ、
４４Ｂを伸縮可能にすることにより、回転アーム３２を
回転するときにチャック４４Ａ、４４Ｂを回転アーム３
２の回転中心に近づけることができるので、チャック４
４Ａ、４４Ｂの移動時に必要なスペースを小さく設定す
ることができる。
置Ｌ３、Ｌ４に位置決めした状態で、回転アーム３２を
回転するとチャック４４Ａ、４４Ｂは円Ｃ１（図１参
照）に沿って移動する。このように、チャック４４Ａ、
４４Ｂを伸縮可能にすることにより、回転アーム３２を
回転するときにチャック４４Ａ、４４Ｂを回転アーム３
２の回転中心に近づけることができるので、チャック４
４Ａ、４４Ｂの移動時に必要なスペースを小さく設定す
ることができる。
【００１５】チャック４４Ａは、十字状のフィンガ部４
６Ａと、これらのフィンガ部４６Ａの各先端部に配設さ
れた吸着部４８Ａとから成り、吸着部４８Ａはエアによ
りウエハＷを吸着及び離脱することができる。また、チ
ャック４４Ｂは、チャック４４Ａと同様に十字状のフィ
ンガ部４６Ｂと、吸着部４８Ｂとから成り、吸着部４８
ＢはエアによりウエハＷを吸着及び離脱することができ
る。さらに、チャック４４Ａ、４４Ｂは、シリンダ４０
Ａ、４０Ｂが伸長することにより夫々下降位置Ｈ１に位
置決めされ、シリンダ４０Ａ、４０Ｂが収縮することに
より夫々上昇位置Ｈ２、Ｈ３に位置決めされる。
６Ａと、これらのフィンガ部４６Ａの各先端部に配設さ
れた吸着部４８Ａとから成り、吸着部４８Ａはエアによ
りウエハＷを吸着及び離脱することができる。また、チ
ャック４４Ｂは、チャック４４Ａと同様に十字状のフィ
ンガ部４６Ｂと、吸着部４８Ｂとから成り、吸着部４８
ＢはエアによりウエハＷを吸着及び離脱することができ
る。さらに、チャック４４Ａ、４４Ｂは、シリンダ４０
Ａ、４０Ｂが伸長することにより夫々下降位置Ｈ１に位
置決めされ、シリンダ４０Ａ、４０Ｂが収縮することに
より夫々上昇位置Ｈ２、Ｈ３に位置決めされる。
【００１６】そして、チャック４４Ａ、４４Ｂは、下降
位置Ｈ１に位置決めされた時、ウエハＷを着脱する。ま
た、チャック部４４Ａ、４４Ｂが夫々上昇位置Ｈ２、Ｈ
３に位置決めされると、図３に示すようにチャック４４
Ａがチャック４４Ｂの上方に位置するので、図２に示す
ようにチャック４４Ａ、４４Ｂが搬送位置Ｌ３、Ｌ４に
位置決めされても、チャック４４Ａとチャック４４Ｂと
の干渉を防止することができる。
位置Ｈ１に位置決めされた時、ウエハＷを着脱する。ま
た、チャック部４４Ａ、４４Ｂが夫々上昇位置Ｈ２、Ｈ
３に位置決めされると、図３に示すようにチャック４４
Ａがチャック４４Ｂの上方に位置するので、図２に示す
ようにチャック４４Ａ、４４Ｂが搬送位置Ｌ３、Ｌ４に
位置決めされても、チャック４４Ａとチャック４４Ｂと
の干渉を防止することができる。
【００１７】前記の如く構成された本発明に係るダイシ
ング装置の作用について説明する。最初に、チャック部
４４Ａ、４４ＢでウエハＷを吸着及び離脱する場合につ
いて説明する。先ず、回転アーム３２を所定位置に停止
し、シリンダ３６Ａ、３６Ｂを作動してシリンダロッド
３７Ａ、３７Ｂを伸長する。これにより、アーム部３８
Ａ、３８Ｂが伸長してチャック４４Ａ、４４Ｂが吸着・
離脱位置Ｌ１、Ｌ２、すなわち、Ｐ１〜Ｐ４のいずれか
の位置まで移動する。次に、シリンダ４０Ａ、４０Ｂを
伸長してチャック４４Ａ、４４Ｂを夫々下降位置Ｈ１に
位置決めして、エアを操作して吸着部４８Ａ、４８Ｂで
ウエハＷを吸着及び離脱する。
ング装置の作用について説明する。最初に、チャック部
４４Ａ、４４ＢでウエハＷを吸着及び離脱する場合につ
いて説明する。先ず、回転アーム３２を所定位置に停止
し、シリンダ３６Ａ、３６Ｂを作動してシリンダロッド
３７Ａ、３７Ｂを伸長する。これにより、アーム部３８
Ａ、３８Ｂが伸長してチャック４４Ａ、４４Ｂが吸着・
離脱位置Ｌ１、Ｌ２、すなわち、Ｐ１〜Ｐ４のいずれか
の位置まで移動する。次に、シリンダ４０Ａ、４０Ｂを
伸長してチャック４４Ａ、４４Ｂを夫々下降位置Ｈ１に
位置決めして、エアを操作して吸着部４８Ａ、４８Ｂで
ウエハＷを吸着及び離脱する。
【００１８】次に、チャック４４Ａ、４４ＢでウエハＷ
を搬送する場合について説明する。先ず、チャック４４
Ａ、４４Ｂが夫々下降位置Ｈ１に位置決めされた状態
で、シリンダ４０Ａ、４０Ｂを収縮してチャック４４
Ａ、４４Ｂを夫々上昇位置Ｈ２、Ｈ３に位置決めする。
次に、シリンダロッド３７Ａ、３７Ｂを収縮してチャッ
ク４４Ａ、４４Ｂを夫々搬送位置Ｌ３、Ｌ４に位置決め
する。この場合、チャック４４Ａがチャック４４Ｂの上
方に位置するので、図２に示すようにチャック４４Ａと
チャック４４Ｂとが互いに重複しても、チャック４４Ａ
とチャック４４Ｂとが干渉しない。この状態で、回転ア
ーム３２を回動してチャック４４Ａ、４４Ｂを円Ｃ１に
沿って移動する。
を搬送する場合について説明する。先ず、チャック４４
Ａ、４４Ｂが夫々下降位置Ｈ１に位置決めされた状態
で、シリンダ４０Ａ、４０Ｂを収縮してチャック４４
Ａ、４４Ｂを夫々上昇位置Ｈ２、Ｈ３に位置決めする。
次に、シリンダロッド３７Ａ、３７Ｂを収縮してチャッ
ク４４Ａ、４４Ｂを夫々搬送位置Ｌ３、Ｌ４に位置決め
する。この場合、チャック４４Ａがチャック４４Ｂの上
方に位置するので、図２に示すようにチャック４４Ａと
チャック４４Ｂとが互いに重複しても、チャック４４Ａ
とチャック４４Ｂとが干渉しない。この状態で、回転ア
ーム３２を回動してチャック４４Ａ、４４Ｂを円Ｃ１に
沿って移動する。
【００１９】このように、チャック４４Ａ、４４Ｂを円
Ｃ１に沿って移動することができるので、チャック４４
Ａ、４４Ｂを第１、第２、第３、第４の位置Ｐ１、Ｐ
２、Ｐ３、Ｐ３の夫々の位置間で移動する場合に、従来
のダイシング装置の場合に必要とされていたデッドスペ
ースＳ（図５参照）が不要になる。従って、ダイシング
装置の小型化を図ることができ、これにより、ダイシン
グ装置が設備されるクリーンルームの省スペース化を図
ることができる。
Ｃ１に沿って移動することができるので、チャック４４
Ａ、４４Ｂを第１、第２、第３、第４の位置Ｐ１、Ｐ
２、Ｐ３、Ｐ３の夫々の位置間で移動する場合に、従来
のダイシング装置の場合に必要とされていたデッドスペ
ースＳ（図５参照）が不要になる。従って、ダイシング
装置の小型化を図ることができ、これにより、ダイシン
グ装置が設備されるクリーンルームの省スペース化を図
ることができる。
【００２０】前記実施例では、略Ｖ字型に形成された回
転台３４の左右の端部に設けられたシリンダ３６Ａ、３
６Ｂを伸縮して、チャック４４Ａ、４４Ｂを吸着・離脱
位置Ｌ１、Ｌ２と、搬送位置Ｌ３、Ｌ４とに位置決めす
る場合について説明したが、これに限らず、図４に示す
ように回転アーム５０を略Ｔ字型に形成し、シリンダ
（図示せず）を伸長してチャック４４Ａ、４４Ｂを矢印
方向に移動し、吸着・離脱位置Ｌ１、Ｌ２と、搬送位置
Ｌ３、Ｌ４とに位置決めしてもよい。この場合、チャッ
ク４４Ａ、４４Ｂは円Ｃ２に沿って移動する。尚、図４
上で前記実施例と同一類似部材に関しては同一符号を付
して説明を省略する。
転台３４の左右の端部に設けられたシリンダ３６Ａ、３
６Ｂを伸縮して、チャック４４Ａ、４４Ｂを吸着・離脱
位置Ｌ１、Ｌ２と、搬送位置Ｌ３、Ｌ４とに位置決めす
る場合について説明したが、これに限らず、図４に示す
ように回転アーム５０を略Ｔ字型に形成し、シリンダ
（図示せず）を伸長してチャック４４Ａ、４４Ｂを矢印
方向に移動し、吸着・離脱位置Ｌ１、Ｌ２と、搬送位置
Ｌ３、Ｌ４とに位置決めしてもよい。この場合、チャッ
ク４４Ａ、４４Ｂは円Ｃ２に沿って移動する。尚、図４
上で前記実施例と同一類似部材に関しては同一符号を付
して説明を省略する。
【００２１】また、前記実施例では、チャック４４Ａ、
４４Ｂをシリンダを使用して移動する場合について説明
したが、これに限らず、シリンダ以外の移動手段を使用
してチャック４４Ａ、４４Ｂを移動してもよい。
４４Ｂをシリンダを使用して移動する場合について説明
したが、これに限らず、シリンダ以外の移動手段を使用
してチャック４４Ａ、４４Ｂを移動してもよい。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るダイシ
ング装置によれば、ウエハを吸着・離脱可能なチャック
を有するアームを伸縮自在に構成し、アームを収縮し
て、チャックをある位置から別の位置に移動する。従っ
て、チャックをある位置から別の位置に移動するとき、
チャックを回転アームの中心位置に近づけることができ
る。従って、従来のダイシング装置の場合に、チャック
をある位置から別の位置に移動するときに必要とされて
いた、デッドスペースを無くすことができるので、ダイ
シング装置の小型化を図ることができ、これにより、ク
リーンルームの省スペース化を図ることができる。
ング装置によれば、ウエハを吸着・離脱可能なチャック
を有するアームを伸縮自在に構成し、アームを収縮し
て、チャックをある位置から別の位置に移動する。従っ
て、チャックをある位置から別の位置に移動するとき、
チャックを回転アームの中心位置に近づけることができ
る。従って、従来のダイシング装置の場合に、チャック
をある位置から別の位置に移動するときに必要とされて
いた、デッドスペースを無くすことができるので、ダイ
シング装置の小型化を図ることができ、これにより、ク
リーンルームの省スペース化を図ることができる。
【００２３】また、本発明に係るダイシング装置によれ
ば、アームを伸縮自在な第１、第２のアーム部でＶ型に
形成し、かつ、第１、第２のアーム部に昇降自在に各々
のチャックを設けた。そして、第１、第２のアーム部が
収縮するとき各々のチャックが上昇して、各々のチャッ
クにずれを生じさせたので、チャック同士の干渉が防止
される。これにより、チャックをある位置から別の位置
に移動するときに、チャックを回転アームの中心位置に
十分に近づけることができる。
ば、アームを伸縮自在な第１、第２のアーム部でＶ型に
形成し、かつ、第１、第２のアーム部に昇降自在に各々
のチャックを設けた。そして、第１、第２のアーム部が
収縮するとき各々のチャックが上昇して、各々のチャッ
クにずれを生じさせたので、チャック同士の干渉が防止
される。これにより、チャックをある位置から別の位置
に移動するときに、チャックを回転アームの中心位置に
十分に近づけることができる。
【図１】本発明に係る本発明に係るダイシング装置の平
面図
面図
【図２】本発明に係るダイシング装置の要部拡大図
【図３】図２の矢視Ａ−Ａ図
【図４】本発明に係るダイシング装置の他の実施例の平
面図
面図
【図５】従来のダイシング装置の平面図
１０…ウエハ切断部 ３２…回転アーム ３８Ａ、３８Ｂ…アーム部 ４０Ａ、４０Ｂ…シリンダ ４４Ａ、４４Ｂ…チャック Ｐ１…第１の位置 Ｐ２…第２の位置 Ｐ３…第３の位置 Ｐ４…第４の位置 Ｗ…ウエハ
Claims (2)
- 【請求項１】 先端にウエハを吸着・離脱可能なチャッ
クを有するアームを回転させてウエハをある位置から別
の位置に移動させるダイシング装置において、 前記アームは、伸縮自在に構成されると共に収縮して回
転することを特徴とするダイシング装置。 - 【請求項２】 前記アームは第１、第２のアーム部でＶ
型に形成されると共に該第１、第２のアーム部の先端に
は各々チャックを昇降自在に設け、前記各々のチャック
はアームの回転収縮時に前記チャック同士の干渉を防止
するように昇降して位置をずらすことを特徴とする請求
項１のダイシング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31675993A JP2893628B2 (ja) | 1993-12-16 | 1993-12-16 | ダイシング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31675993A JP2893628B2 (ja) | 1993-12-16 | 1993-12-16 | ダイシング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07169716A JPH07169716A (ja) | 1995-07-04 |
| JP2893628B2 true JP2893628B2 (ja) | 1999-05-24 |
Family
ID=18080610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31675993A Expired - Fee Related JP2893628B2 (ja) | 1993-12-16 | 1993-12-16 | ダイシング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2893628B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007157996A (ja) | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ワーク搬送装置及びワーク搬送方法 |
-
1993
- 1993-12-16 JP JP31675993A patent/JP2893628B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07169716A (ja) | 1995-07-04 |
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