JP2874771B2 - バンプの形成方法 - Google Patents
バンプの形成方法Info
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- JP2874771B2 JP2874771B2 JP30614189A JP30614189A JP2874771B2 JP 2874771 B2 JP2874771 B2 JP 2874771B2 JP 30614189 A JP30614189 A JP 30614189A JP 30614189 A JP30614189 A JP 30614189A JP 2874771 B2 JP2874771 B2 JP 2874771B2
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- Japan
- Prior art keywords
- bump
- bumps
- heads
- bump forming
- head
- Prior art date
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Description
【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、バンプの形成方法に関する。
さらに詳しくは、フリップチップボンディング法、テ
ープキャリアボンディング法等のワイヤレスボンディン
グ法により半導体チップと基板とを接続する等の際の接
続電極を構成するバンプを形成する方法において、バン
プの形成効率,製品精度等に係る改良に関する。
ープキャリアボンディング法等のワイヤレスボンディン
グ法により半導体チップと基板とを接続する等の際の接
続電極を構成するバンプを形成する方法において、バン
プの形成効率,製品精度等に係る改良に関する。
[従来の技術] 従来、バンプの形成方法としては、例えば、特開昭60
-89951号公報に記載のものが知られている。
-89951号公報に記載のものが知られている。
この従来のバンプの形成方法は、ワイヤボンディング
に使用されるヘッド(キャビラリ)に挿通されているバ
ンプ材料としての金属ワイヤーの先端を加熱してボール
を形成し、このボールを半導体チップ等のバンプ被形成
材料に接着して金属ワイヤーから切断し、バンプを形成
するものである。
に使用されるヘッド(キャビラリ)に挿通されているバ
ンプ材料としての金属ワイヤーの先端を加熱してボール
を形成し、このボールを半導体チップ等のバンプ被形成
材料に接着して金属ワイヤーから切断し、バンプを形成
するものである。
[発明が解決しようとする課題] 前述の従来のバンプの形成方法では、バンプとなるボ
ールを金属ワイヤーから加熱手段等で切断する際に、切
断部分に波形面や糸引線等ができてしまうことから、バ
ンプの周囲部を損傷したり続く後工程における接着強度
が低下するため、形成されるバンプの製品精度に問題点
を有している。
ールを金属ワイヤーから加熱手段等で切断する際に、切
断部分に波形面や糸引線等ができてしまうことから、バ
ンプの周囲部を損傷したり続く後工程における接着強度
が低下するため、形成されるバンプの製品精度に問題点
を有している。
さらに、組成の異なるバンプを含ませるためには、別
工程でバンプ形成する作業が必要となり、連続した一工
程での作業を行ない得ず、実施する装置構成が複雑でバ
ンプの形成効率も低いという問題点を有している。
工程でバンプ形成する作業が必要となり、連続した一工
程での作業を行ない得ず、実施する装置構成が複雑でバ
ンプの形成効率も低いという問題点を有している。
本発明はこのような問題点を解決するためになされた
ものであり、その目的は、製品精度の良好なバンプを簡
単な装置構成で効率的に形成することのできるバンプの
形成方法を提供することにある。
ものであり、その目的は、製品精度の良好なバンプを簡
単な装置構成で効率的に形成することのできるバンプの
形成方法を提供することにある。
[課題を解決するための手段] 前述の目的を達成するため、本発明に係るバンプの形
成方法は、バンプ被形成部材を供給側から回収側へ間欠
的に搬送する移送路上に、金属ワイヤーを供給するヘッ
ドとリフロー炉とを配設し、前記ヘッドにより、各バン
プ被形成部材に金属ワイヤーの先端を加熱して形成した
ボールを切断接着して複数個のバンプを連続的に形成し
た後、バンプ被形成部材に形成されたバンプをリフロー
炉で加熱球状化してから、バンプ被形成部材を回収する
方法であって、上記ヘッドが移送方向に沿って複数基並
設されていることを特徴とする。
成方法は、バンプ被形成部材を供給側から回収側へ間欠
的に搬送する移送路上に、金属ワイヤーを供給するヘッ
ドとリフロー炉とを配設し、前記ヘッドにより、各バン
プ被形成部材に金属ワイヤーの先端を加熱して形成した
ボールを切断接着して複数個のバンプを連続的に形成し
た後、バンプ被形成部材に形成されたバンプをリフロー
炉で加熱球状化してから、バンプ被形成部材を回収する
方法であって、上記ヘッドが移送方向に沿って複数基並
設されていることを特徴とする。
[作用] 前述の手段によると、バンプ被形成部材を供給側から
回収側へ搬送する構成であるから、装置構成を極めて簡
素にすることができ、またバンプ被形成部材の略直線上
の連続的な送りの途中で複数個のバンプが連続的に形成
されることから、バンプの形成効率が極めて良好とな
る。
回収側へ搬送する構成であるから、装置構成を極めて簡
素にすることができ、またバンプ被形成部材の略直線上
の連続的な送りの途中で複数個のバンプが連続的に形成
されることから、バンプの形成効率が極めて良好とな
る。
さらに、複数基並列されたヘッドで組成の異なる複数
個のバンプを夫々形成することから、連続する一工程で
バンプ形成を完了させることができ、またバンプ被形成
部材に形成されたバンプをリフロー炉で加熱球状化する
ことから、バンプを形成する際の切断部分の不具合を防
止,修正することができる。
個のバンプを夫々形成することから、連続する一工程で
バンプ形成を完了させることができ、またバンプ被形成
部材に形成されたバンプをリフロー炉で加熱球状化する
ことから、バンプを形成する際の切断部分の不具合を防
止,修正することができる。
このため、製品精度の良好なバンプを簡単な装置構成
で効率的に形成することのできるバンプの形成方法を提
供するという目的が達成されることになる。
で効率的に形成することのできるバンプの形成方法を提
供するという目的が達成されることになる。
[実施例] 以下、本発明に係るバンプの形成方法の実施例を図面
に基いて説明する。
に基いて説明する。
この実施例では、半導体チップからなるバンプ被形成
部材1に半田バンプ2を形成するに好適なものを示して
ある。
部材1に半田バンプ2を形成するに好適なものを示して
ある。
この実施例を実施するための装置構成は、バンプ被形
成部材1の供給側に設備された連続的取出し機能を有す
る多段積層形の供給側ケース3と、バンプ被形成部材1
の回収側に設備された連続的受入れ機能を有する多段積
層形の回収側ケース4との間に、供給側ケース3から取
出されたバンプ被形成部材1を連続的に回収側ケース4
へ送るベルトコンベア形の略直線的な移送路5を配設し
てなる。
成部材1の供給側に設備された連続的取出し機能を有す
る多段積層形の供給側ケース3と、バンプ被形成部材1
の回収側に設備された連続的受入れ機能を有する多段積
層形の回収側ケース4との間に、供給側ケース3から取
出されたバンプ被形成部材1を連続的に回収側ケース4
へ送るベルトコンベア形の略直線的な移送路5を配設し
てなる。
このような移送路5の供給側ケース3寄りの上部に
は、第1ヘッド6,第2ヘッド7,第3ヘッド8からなる3
基のヘッド6,7,8が移送路5の移送方向(バンプ被形成
材料1の送り方向)へ並列して配設されている。このヘ
ッド6,7,8はワイヤボンディングに使用されているもの
と同構造のものであり、ヘッド6,7,8に挿通されている
半田バンプ材料としての金属ワイヤー10,11,12の先端を
電気トーチ等で加熱してボール13,14,15を形成し、この
ボール13,14,15をバンプ被形成材料1に接着して、さら
に電気トーチ等で加熱して金属ワイヤー10,11,12から切
断し、バンプ2を形成するものである。なお、各ヘッド
6,7,8の金属ワイヤー10,11,12は、同一組成とすること
も可能であり、また異なる組成とすることも可能であ
る。さらに、Pb,Sn,Inのいずれか1つを主要元素とし、
それに添加元素を配合した合金を急速凝固法により細い
ワイヤー状に作製してなるもの(特願昭62-130595号参
照)を金属ワイヤー10,11,12として採用すると、ボール
13,14,15を形成する際の加熱でボール13,14,15と金属ワ
イヤー10,11,12との間に引張強度を減少させる組織変化
現象が生じて降伏,破断が起こりやすくなるため、金属
ワイヤー10,11,12からのボール13,14,15の切断の際に加
熱しなくとも、バンプ被形成材料1に接着したボール1
3,14,15に対して金属ワイヤー10,11,12を引張るだけで
切断することができるようになる。
は、第1ヘッド6,第2ヘッド7,第3ヘッド8からなる3
基のヘッド6,7,8が移送路5の移送方向(バンプ被形成
材料1の送り方向)へ並列して配設されている。このヘ
ッド6,7,8はワイヤボンディングに使用されているもの
と同構造のものであり、ヘッド6,7,8に挿通されている
半田バンプ材料としての金属ワイヤー10,11,12の先端を
電気トーチ等で加熱してボール13,14,15を形成し、この
ボール13,14,15をバンプ被形成材料1に接着して、さら
に電気トーチ等で加熱して金属ワイヤー10,11,12から切
断し、バンプ2を形成するものである。なお、各ヘッド
6,7,8の金属ワイヤー10,11,12は、同一組成とすること
も可能であり、また異なる組成とすることも可能であ
る。さらに、Pb,Sn,Inのいずれか1つを主要元素とし、
それに添加元素を配合した合金を急速凝固法により細い
ワイヤー状に作製してなるもの(特願昭62-130595号参
照)を金属ワイヤー10,11,12として採用すると、ボール
13,14,15を形成する際の加熱でボール13,14,15と金属ワ
イヤー10,11,12との間に引張強度を減少させる組織変化
現象が生じて降伏,破断が起こりやすくなるため、金属
ワイヤー10,11,12からのボール13,14,15の切断の際に加
熱しなくとも、バンプ被形成材料1に接着したボール1
3,14,15に対して金属ワイヤー10,11,12を引張るだけで
切断することができるようになる。
なお、前記各ヘッド6,7,8の下方には、必要に応じて
ヒータ20,21,22が設備される。
ヒータ20,21,22が設備される。
また、移送路5の回収側ケース4寄りには、バンプ被
形成部材1に形成されたバンプ2を加熱して球状化する
リフロー炉9が設備されている。
形成部材1に形成されたバンプ2を加熱して球状化する
リフロー炉9が設備されている。
このような装置構成で実施される実施例によると、供
給側ケース3から取出されたバンプ被形成部材1は移送
路5によって回収側ケース4方向へ送られるが、この送
りの途中において、まず第1ヘッド6で図面右のバンプ
2が形成され、続いて第2ヘッド7で図面中央のバンプ
2,第3ヘッドで図面左のバンプ2が形成される。
給側ケース3から取出されたバンプ被形成部材1は移送
路5によって回収側ケース4方向へ送られるが、この送
りの途中において、まず第1ヘッド6で図面右のバンプ
2が形成され、続いて第2ヘッド7で図面中央のバンプ
2,第3ヘッドで図面左のバンプ2が形成される。
即ち、バンプ被形成部材1の一方向(Y軸方向)へ3
個のバンプ2が連続的に形成されることになる。この連
続的なバンプ2の形成は、ヘッド6,7,8が並列して各ヘ
ッド6,7,8間のバンプ2の形成工作が干渉しないため、
極めて限定された狭い面積内でも可能である。
個のバンプ2が連続的に形成されることになる。この連
続的なバンプ2の形成は、ヘッド6,7,8が並列して各ヘ
ッド6,7,8間のバンプ2の形成工作が干渉しないため、
極めて限定された狭い面積内でも可能である。
このように形成されたバンプ2はその切断部分に波形
面や糸引線等の不具合を有するが、そのまま移送路5に
よってリフロー炉9に送られて加熱され、バンプ2が球
状化されて前記不具合が修正されることになる。
面や糸引線等の不具合を有するが、そのまま移送路5に
よってリフロー炉9に送られて加熱され、バンプ2が球
状化されて前記不具合が修正されることになる。
そして、バンプ2が修正されたバンプ被形成部材1
は、移送路5によって回収側ケース4に収納される。
は、移送路5によって回収側ケース4に収納される。
このような略直線上でのバンプ被形成部材1の送り
は、供給側ケース3,回収側ケース4間で連続的に行なわ
れることになる。
は、供給側ケース3,回収側ケース4間で連続的に行なわ
れることになる。
上記ヘッドによるバンプ形成工程の変形例を何つか説
明する。
明する。
ヘッドを第1〜第3ヘッドの中の1つ、例えば第1ヘ
ッド6のみとする方法。
ッド6のみとする方法。
この場合には第1ヘッド6をX軸方向、Y軸方向へ移
動自在とし、搬送されてきた被形成部材1がヘッド6下
に停止したときに、ヘッドが予め設定されたX−Y方向
へ移動しながら順次にバンプ2を被形成部材1上の所定
位置へ形成する。
動自在とし、搬送されてきた被形成部材1がヘッド6下
に停止したときに、ヘッドが予め設定されたX−Y方向
へ移動しながら順次にバンプ2を被形成部材1上の所定
位置へ形成する。
複数のヘッド、例えば第1〜第3ヘッド6′,7′,8′
をそれぞれX軸方向,Y軸方向へ移動自在とし(第2
図),各ヘッド6′,7′,8′が前記の方法で被形成部
材1上にバンプ2を形成する。
をそれぞれX軸方向,Y軸方向へ移動自在とし(第2
図),各ヘッド6′,7′,8′が前記の方法で被形成部
材1上にバンプ2を形成する。
この場合には被形成部材1をヘッドの数分に相当する
ピッチで間欠的に移送し、複数個(3個)の被形成部材
1上に同時にバンプ形成が可能である。
ピッチで間欠的に移送し、複数個(3個)の被形成部材
1上に同時にバンプ形成が可能である。
上記のさらに変形例であって、ヘッド6′,7′,8′
のそれぞれに異なる組成の半田バンプ材料(金属ワイヤ
ー)を供給する方法。
のそれぞれに異なる組成の半田バンプ材料(金属ワイヤ
ー)を供給する方法。
この場合には各ヘッド6′,7′,8′がそれぞれ独立し
てX−Y軸方向へ移動可能に設定され、被形成部材1が
各ヘッド下に到達し停止する間に、予め設定された所定
位置にバンプが形成される。
てX−Y軸方向へ移動可能に設定され、被形成部材1が
各ヘッド下に到達し停止する間に、予め設定された所定
位置にバンプが形成される。
第1〜第3ヘッドをそれぞれ複数個毎のヘッド6a,6b,
6c,7a,7c,8a,8b,8cにより構成し、それらを固定状に配
設する(第3図)。
6c,7a,7c,8a,8b,8cにより構成し、それらを固定状に配
設する(第3図)。
この方法においては所定位置のヘッド,例えば6a,7b,
8cに異なる組成の金属ワイヤーを供給するようにし、被
形成部材1上に異なる組成のバンプが形成される。
8cに異なる組成の金属ワイヤーを供給するようにし、被
形成部材1上に異なる組成のバンプが形成される。
なお、バンプ被形成部材1は、半導体チップの外に半
導体ウエハ、基板等であっても差支えないものである。
導体ウエハ、基板等であっても差支えないものである。
[発明の効果] 以上のように本発明に係るバンプの形成方法は、バン
プ被形成部材を供給側から回収側へ略直線上を送る構成
であることから、極めて簡素な装置構成で実施すること
ができる効果がある。
プ被形成部材を供給側から回収側へ略直線上を送る構成
であることから、極めて簡素な装置構成で実施すること
ができる効果がある。
さらに、バンプ被形成部材の連続的な送りで複数個の
バンプが連続的に形成されることから、バンプの形成効
率が極めて良好となる効果がある。
バンプが連続的に形成されることから、バンプの形成効
率が極めて良好となる効果がある。
さらに、複数基並列されたヘッドで組成の異なる複数
個のバンプを夫々形成することから、斯る態様のバンプ
形成作業を連続した一工程で効率よく行なうことがで
き、またバンプ被形成部材に形成されたバンプをリフロ
ー炉で加熱球状化することから、バンプを形成する際の
切断部分の不具合を防止,修正することができるため、
形成されるバンプの製品精度が良好になる効果がある。
個のバンプを夫々形成することから、斯る態様のバンプ
形成作業を連続した一工程で効率よく行なうことがで
き、またバンプ被形成部材に形成されたバンプをリフロ
ー炉で加熱球状化することから、バンプを形成する際の
切断部分の不具合を防止,修正することができるため、
形成されるバンプの製品精度が良好になる効果がある。
第1図面は本発明に係るバンプの形成方法の実施例を実
施する装置構成例を示す側面図、第2図及び第3図はバ
ンプ形成工程の変形例を示すヘッドの配置平面図であ
る。 1……バンプ被形成部材 2……バンプ 3……供給側ケース(供給側) 4……回収側ケース(回収側) 5……搬送部 6,7,8……ヘッド 6′,7′,8′……ヘッド 9……リフロー炉 10,11,12……金属ワイヤー 13,14,15……ボール
施する装置構成例を示す側面図、第2図及び第3図はバ
ンプ形成工程の変形例を示すヘッドの配置平面図であ
る。 1……バンプ被形成部材 2……バンプ 3……供給側ケース(供給側) 4……回収側ケース(回収側) 5……搬送部 6,7,8……ヘッド 6′,7′,8′……ヘッド 9……リフロー炉 10,11,12……金属ワイヤー 13,14,15……ボール
Claims (3)
- 【請求項1】バンプ被形成部材を供給側から回収側へ間
欠的に搬送する移送路上に、金属ワイヤーを供給するヘ
ッドとリフロー炉とを配設し、前記ヘッドにより、各バ
ンプ被形成部材に金属ワイヤーの先端を加熱して形成し
たボールを切断接着して複数個のバンプを連続的に形成
した後、バンプ被形成部材に形成されたバンプをリフロ
ー炉で加熱球状化してから、バンプ被形成部材を回収す
るバンプ形成方法であって、上記ヘッドが移送方向に沿
って複数基並設されていることを特徴とするバンプ形成
方法。 - 【請求項2】上記複数基のヘッドが組成の異なる金属ワ
イヤーを供給する請求項第1項記載のバンプ形成方法。 - 【請求項3】請求項第1項において、さらにヘッドが移
送方向と直交する方向へ複数基並設され、それらのヘッ
ドが組成の異なる金属ワイヤーを供給するヘッドを含む
バンプ形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30614189A JP2874771B2 (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | バンプの形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30614189A JP2874771B2 (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | バンプの形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03165521A JPH03165521A (ja) | 1991-07-17 |
JP2874771B2 true JP2874771B2 (ja) | 1999-03-24 |
Family
ID=17953549
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30614189A Expired - Lifetime JP2874771B2 (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | バンプの形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2874771B2 (ja) |
-
1989
- 1989-11-24 JP JP30614189A patent/JP2874771B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH03165521A (ja) | 1991-07-17 |
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