JP2866137B2 - セラミックグリーンシートの製造方法 - Google Patents
セラミックグリーンシートの製造方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はセラミック基板、特にセラミック多層配線基
板の素材や、蒸着等による精密回路印刷用セラミック基
板の素材となるセラミックグリーンシートの製造方法に
関する。
板の素材や、蒸着等による精密回路印刷用セラミック基
板の素材となるセラミックグリーンシートの製造方法に
関する。
［従来の技術］ 従来より、セラミックグリーンシートを製造する際に
は、アルミナやアルミナ−ガラスなどの無機粉末と焼結
助剤を、ポリビニルブチラール等の有機バインダー、分
散剤、可塑剤およびトリクロロエチレン、メチルエチル
ケトンやトルエン等の溶剤からなるビヒクルに分散させ
てスラリーとし、このスラリーをドクタープレードによ
って高分子フィルム上にキャスティングし、その後、溶
剤を蒸発させてシート状に成形する方法が採用されてい
る。
は、アルミナやアルミナ−ガラスなどの無機粉末と焼結
助剤を、ポリビニルブチラール等の有機バインダー、分
散剤、可塑剤およびトリクロロエチレン、メチルエチル
ケトンやトルエン等の溶剤からなるビヒクルに分散させ
てスラリーとし、このスラリーをドクタープレードによ
って高分子フィルム上にキャスティングし、その後、溶
剤を蒸発させてシート状に成形する方法が採用されてい
る。
この方法により、アルミナ厚膜や薄膜基板、積層基
板、更にはセラミックコンデンサー等が製造されてい
る。また、近年の多層配線基板ではファインパターン化
のため回路巾や回路間隔を小さくする傾向があり、高密
度化のためには数十層以上の積層化が試みられている。
板、更にはセラミックコンデンサー等が製造されてい
る。また、近年の多層配線基板ではファインパターン化
のため回路巾や回路間隔を小さくする傾向があり、高密
度化のためには数十層以上の積層化が試みられている。
しかし、グリーンシートを製造する際には、スラリー
表面の乾燥膜の発生によるシート表面粗度の悪化（特開
昭62−17063号公報）、成形や乾燥膜における密度のば
らつきやクラックの発生（特開昭64−65056号公報）、
焼成時の収縮による寸法安定性（特開平１−172257号公
報）等、スラリー組成や調製方法にかかわる様々の問題
が生じてくる。しかも、ファインパターン化の達成には
シート表面粗度が大きな影響を及ぼし、多積層になるほ
ど重要な問題となる。
表面の乾燥膜の発生によるシート表面粗度の悪化（特開
昭62−17063号公報）、成形や乾燥膜における密度のば
らつきやクラックの発生（特開昭64−65056号公報）、
焼成時の収縮による寸法安定性（特開平１−172257号公
報）等、スラリー組成や調製方法にかかわる様々の問題
が生じてくる。しかも、ファインパターン化の達成には
シート表面粗度が大きな影響を及ぼし、多積層になるほ
ど重要な問題となる。
こうした状況の中で特開昭62−17063号公報には、溶
剤の検討によりシート表面粗さを改良することが試みら
れており、従来では表面粗度（Ra）1.1μｍ程度であっ
たものが、0.5μｍ程度にまで改良されている。しか
し、ファインパターンが描け、且つ数十層以上の積層化
を実施しようとすると、シート表面の平滑性は依然とし
て十分とは言えない。また上記従来技術では、シート表
面の中心線平均粗さ（Ra）と共に大きな要素となる最大
高さ（Rmax）については十分な検討がなされていない。
加えて、溶剤の防爆性を向上させるためトリクロロエチ
レンが用いられているが、これは環境に悪影響を及ぼ
す。
剤の検討によりシート表面粗さを改良することが試みら
れており、従来では表面粗度（Ra）1.1μｍ程度であっ
たものが、0.5μｍ程度にまで改良されている。しか
し、ファインパターンが描け、且つ数十層以上の積層化
を実施しようとすると、シート表面の平滑性は依然とし
て十分とは言えない。また上記従来技術では、シート表
面の中心線平均粗さ（Ra）と共に大きな要素となる最大
高さ（Rmax）については十分な検討がなされていない。
加えて、溶剤の防爆性を向上させるためトリクロロエチ
レンが用いられているが、これは環境に悪影響を及ぼ
す。
また、バインダーとしては通常ポリビニルブチラール
樹脂が用いられているが、このバインダーを用いた場
合、得られるセラミックグリーンシートの平滑性は、
（メタ）アクリレートの共重合体をバインダーとして用
いたものに比べて劣る傾向があり、中心線平均粗さ（R
a）が0.5μｍ以下のグリーンシートは得られ難い。さら
に、ポリビニルブチラール樹脂は熱分解性が悪く、セラ
ミックグリーンシートを数十層以上積層した場合に、焼
成後もカーボンが残留して絶縁性を損なうという問題も
生じてくる。
樹脂が用いられているが、このバインダーを用いた場
合、得られるセラミックグリーンシートの平滑性は、
（メタ）アクリレートの共重合体をバインダーとして用
いたものに比べて劣る傾向があり、中心線平均粗さ（R
a）が0.5μｍ以下のグリーンシートは得られ難い。さら
に、ポリビニルブチラール樹脂は熱分解性が悪く、セラ
ミックグリーンシートを数十層以上積層した場合に、焼
成後もカーボンが残留して絶縁性を損なうという問題も
生じてくる。
［発明が解決しようとする課題］ 上記の様に従来のセラミックグリーンシートでは、数
十層以上といったファインパターン配線の積層化を実現
するには、表面平滑性、成形加工性、熱分解性等に問題
がある。
十層以上といったファインパターン配線の積層化を実現
するには、表面平滑性、成形加工性、熱分解性等に問題
がある。
本発明はかかる課題を解決すると共に、製造のための
作業環境にも大きな悪影響を及ぼさないセラミックグリ
ーンシートの製造方法を提供することを目的とする。
作業環境にも大きな悪影響を及ぼさないセラミックグリ
ーンシートの製造方法を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］ 本発明者らは上記の課題を解決するため鋭意検討した
結果、特許請求の範囲で特定される製造方法を採用する
によって目的が達成できることを見いだした。
結果、特許請求の範囲で特定される製造方法を採用する
によって目的が達成できることを見いだした。
以下本発明を詳細に説明する。
本発明では、セラミック粉体、有機バインダー及び有
機溶剤を含み、必要に応じて分散剤や、可塑剤を含むス
ラリーを、高分子フィルム上にキャスティングしてセラ
ミックグリーンシートを製造するに当たり、該有機溶剤
の組成重量比に対応する蒸発指数の和（以後「蒸発速度
指数」と記す）が206〜350の有機溶剤を使用すると共
に、有機バインダーとして、炭素数１〜10のアルキル基
を有するアルキルアクリレートと、炭素数１〜20のアル
キル基を有するアルキルメタクリレートからなる群から
選ばれるモノマーを２種以上共重合してなり、その数平
均分子量（Mn）が20000〜100000である共重合体を使用
するところに特徴を有している。
機溶剤を含み、必要に応じて分散剤や、可塑剤を含むス
ラリーを、高分子フィルム上にキャスティングしてセラ
ミックグリーンシートを製造するに当たり、該有機溶剤
の組成重量比に対応する蒸発指数の和（以後「蒸発速度
指数」と記す）が206〜350の有機溶剤を使用すると共
に、有機バインダーとして、炭素数１〜10のアルキル基
を有するアルキルアクリレートと、炭素数１〜20のアル
キル基を有するアルキルメタクリレートからなる群から
選ばれるモノマーを２種以上共重合してなり、その数平
均分子量（Mn）が20000〜100000である共重合体を使用
するところに特徴を有している。
本発明で使用する有機溶剤としてはメタノール、エタ
ノール、２−プロパノール、１−ブタノール、１−ヘキ
サノールなどのアルコール類；アセトン、メチルエチル
ケトンなどのケトン類：ペンタン、ヘキサン、ヘプタン
などの脂肪族炭化水素；ベンゼン、トルエン、キシレ
ン、エチルベンゼンなどの芳香族炭化水素；酢酸メチ
ル、酢酸エチル、酢酸ブチルなどの酢酸エステル類など
から選ばれた少なくとも１種以上を使用することができ
る。これらの有機溶剤の中でも特に好ましいのは、２−
プロパノール、１−ブタノール、トルエン、メチルエチ
ルケトンおよび酢酸エチルから選ばれる溶剤を２種以上
併用した混合溶剤である。
ノール、２−プロパノール、１−ブタノール、１−ヘキ
サノールなどのアルコール類；アセトン、メチルエチル
ケトンなどのケトン類：ペンタン、ヘキサン、ヘプタン
などの脂肪族炭化水素；ベンゼン、トルエン、キシレ
ン、エチルベンゼンなどの芳香族炭化水素；酢酸メチ
ル、酢酸エチル、酢酸ブチルなどの酢酸エステル類など
から選ばれた少なくとも１種以上を使用することができ
る。これらの有機溶剤の中でも特に好ましいのは、２−
プロパノール、１−ブタノール、トルエン、メチルエチ
ルケトンおよび酢酸エチルから選ばれる溶剤を２種以上
併用した混合溶剤である。
通常、酢酸ブチルに対する蒸発速度の比（蒸発速度指
数；酢酸ブチルの蒸発速度を100とする）であらわされ
る溶剤の蒸発性は、スラリーの安定性や、混練性等に大
きく影響し、該溶剤の選択にあたってはその蒸発速度指
数が206〜350なる範囲に調整される。
数；酢酸ブチルの蒸発速度を100とする）であらわされ
る溶剤の蒸発性は、スラリーの安定性や、混練性等に大
きく影響し、該溶剤の選択にあたってはその蒸発速度指
数が206〜350なる範囲に調整される。
蒸発速度指数が350を上回る場合は、溶剤の乾燥速度
が速いためグリーンシートの表面平滑性が劣るようにな
り、また、部分的に乾燥し易くなって、シート表面にむ
らやクラックが発生しやすくなる。一方蒸発速度指数が
206を下回る場合は、グリーンシートの表面平滑性に悪
影響は及ぼさないが、溶剤の乾燥速度が遅いため作業性
が低下する。
が速いためグリーンシートの表面平滑性が劣るようにな
り、また、部分的に乾燥し易くなって、シート表面にむ
らやクラックが発生しやすくなる。一方蒸発速度指数が
206を下回る場合は、グリーンシートの表面平滑性に悪
影響は及ぼさないが、溶剤の乾燥速度が遅いため作業性
が低下する。
使用する有機バインダーは炭素数１〜10のアルキル基
を有するアルキルアクリレート、および炭素数１〜20の
アルキル基を有するアルキルメタクリレートからなる群
から選ばれるモノマーを、数平均分子量（Mn）が20000
〜100000の範囲に、より好ましくは30000〜60000の範囲
に共重合してなる（メタ）アクリレートの共重合体であ
る。
を有するアルキルアクリレート、および炭素数１〜20の
アルキル基を有するアルキルメタクリレートからなる群
から選ばれるモノマーを、数平均分子量（Mn）が20000
〜100000の範囲に、より好ましくは30000〜60000の範囲
に共重合してなる（メタ）アクリレートの共重合体であ
る。
数平均分子量（Mn）はグリーンシート積層時のラミネ
ート性に影響を与え、Mnが100000を越える場合はグリー
ンシートが硬くなって密着性が悪くなり、積層プレス後
グリーンシート間の回路付近から剥離が生じやすくな
る。20000未満の場合はグリーンシート強度が不十分で
表面にひびが生じる。
ート性に影響を与え、Mnが100000を越える場合はグリー
ンシートが硬くなって密着性が悪くなり、積層プレス後
グリーンシート間の回路付近から剥離が生じやすくな
る。20000未満の場合はグリーンシート強度が不十分で
表面にひびが生じる。
（メタ）アクリレートの共重合体の合成に用いられる
モノマーとしてはメチルアクリレート、エチルアクリレ
ート、プロピルアクリレート、ブチルアクリレート、メ
チルプロピルアクリレート、シクロヘキシルアクリレー
ト、２−エチルヘキシルアクリレート等、およびメチル
メタクリレート、エチルメタクリレート、ブチルメタク
リレート、メチルプロピルメタクリレート、オクチルメ
タクリレート、２−エチルヘキシルメタクリレート、デ
シルメタクリレート、ドデシルメタクリレート、ラウリ
ルメタクリレート、シクロヘキシルメタクリレート等か
ら２種以上が選択して用いられる。
モノマーとしてはメチルアクリレート、エチルアクリレ
ート、プロピルアクリレート、ブチルアクリレート、メ
チルプロピルアクリレート、シクロヘキシルアクリレー
ト、２−エチルヘキシルアクリレート等、およびメチル
メタクリレート、エチルメタクリレート、ブチルメタク
リレート、メチルプロピルメタクリレート、オクチルメ
タクリレート、２−エチルヘキシルメタクリレート、デ
シルメタクリレート、ドデシルメタクリレート、ラウリ
ルメタクリレート、シクロヘキシルメタクリレート等か
ら２種以上が選択して用いられる。
選択されたモノマーは、溶液重合、懸濁重合、乳化重
合など公知の方法によって重合され、有機バインダーと
して使用される。重合時に用いる溶剤はスラリー調製時
に用いる溶剤と同様のものが好ましいことは言うまでも
ない。
合など公知の方法によって重合され、有機バインダーと
して使用される。重合時に用いる溶剤はスラリー調製時
に用いる溶剤と同様のものが好ましいことは言うまでも
ない。
用いるセラミック粉体は、アルミナ、アルミナ−ガラ
スおよびジルコニアから選ばれた少なくとも１種を含有
するが、場合によっては、焼結助剤や粒子成長抑制剤と
してマグネシア、カルシア、シリカ、カオリンやタルク
などを添加することも可能である。使用するセラミック
粉体の平均粒子径は４〜５μｍ以下、ガラスでは10〜15
μｍ以下でもよいが、スラリー調製時における粉体の解
砕や分散等に時間を要する。従って、セラミック粉体の
平均粒子径は１μｍ以下、ガラスでは５μｍ以下のもの
が好ましく、さらに、セラミック粉体の平均粒子径は0.
5μｍ以下、ガラスでは１μｍ以下のものがより好まし
い。また、ガラス組成としてはシリカにホウ酸、アルミ
ナ、マグネシア、カルシア、ストロンチナ、バリア、ジ
ルコニア、チタニア、酸化亜鉛および酸化鉛などを添加
されたものが適宜選択して用いられる。
スおよびジルコニアから選ばれた少なくとも１種を含有
するが、場合によっては、焼結助剤や粒子成長抑制剤と
してマグネシア、カルシア、シリカ、カオリンやタルク
などを添加することも可能である。使用するセラミック
粉体の平均粒子径は４〜５μｍ以下、ガラスでは10〜15
μｍ以下でもよいが、スラリー調製時における粉体の解
砕や分散等に時間を要する。従って、セラミック粉体の
平均粒子径は１μｍ以下、ガラスでは５μｍ以下のもの
が好ましく、さらに、セラミック粉体の平均粒子径は0.
5μｍ以下、ガラスでは１μｍ以下のものがより好まし
い。また、ガラス組成としてはシリカにホウ酸、アルミ
ナ、マグネシア、カルシア、ストロンチナ、バリア、ジ
ルコニア、チタニア、酸化亜鉛および酸化鉛などを添加
されたものが適宜選択して用いられる。
その他、セラミック粉体としては窒化アルミニウム、
ムライト、コージェライト、フォルステライト、ジルコ
ンなどを用いることも可能である。
ムライト、コージェライト、フォルステライト、ジルコ
ンなどを用いることも可能である。
スラリーの調製にあっては通常のボールミル法でよ
く、セラミック粉体、有機バインダー及び有機溶剤、必
要に応じて分散剤、可塑剤を同時に、あるいはセラミッ
ク粉体と有機溶剤、必要に応じて分散剤をミルに添加し
て予備分散せしめた後に、有機バインダーおよび必要に
応じて可塑剤を添加し、少なくとも１時間以上、好まし
くは12時間以上分散混合してスラリーを得る。
く、セラミック粉体、有機バインダー及び有機溶剤、必
要に応じて分散剤、可塑剤を同時に、あるいはセラミッ
ク粉体と有機溶剤、必要に応じて分散剤をミルに添加し
て予備分散せしめた後に、有機バインダーおよび必要に
応じて可塑剤を添加し、少なくとも１時間以上、好まし
くは12時間以上分散混合してスラリーを得る。
この場合、セラミックグリーンシート中における（メ
タ）アクリル系バインダーの含有量が５〜30重量％の範
囲になるように添加する。グリーンシート中のバインダ
ーの含有量が５重量％未満の時は、グリーンシートの成
形性が劣るとともに強度や柔軟性も不十分となる。ま
た、含有量が30重量％を超える時は、グリーンシートの
柔軟性は得られるが加工性が劣るとともに焼成による収
縮が大きく、寸法安定性が得られなくなる。
タ）アクリル系バインダーの含有量が５〜30重量％の範
囲になるように添加する。グリーンシート中のバインダ
ーの含有量が５重量％未満の時は、グリーンシートの成
形性が劣るとともに強度や柔軟性も不十分となる。ま
た、含有量が30重量％を超える時は、グリーンシートの
柔軟性は得られるが加工性が劣るとともに焼成による収
縮が大きく、寸法安定性が得られなくなる。
セラミックグリーンシートの製造方法は、スラリーを
高分子フィルム上にキャスティングするドクターブレー
ド法やカレンダーロール法などの公知の方法によりなさ
れる。
高分子フィルム上にキャスティングするドクターブレー
ド法やカレンダーロール法などの公知の方法によりなさ
れる。
［実施例］ 以下、本発明を参考例、実施例によりさらに詳しく説
明するが、発明の主旨に従うかぎりにおいては、これら
の実施例等に限定されるものではない。
明するが、発明の主旨に従うかぎりにおいては、これら
の実施例等に限定されるものではない。
参考例１ 撹拌器、温度計、冷却管、窒素導入管、混合モノマー
滴下ロートおよび重合開始剤滴下ロートを備えたセパラ
ブルフラスコに、溶剤としてトルエン80重量部と、メチ
ルエチルケトン40重量部を入れ、窒素導入管より窒素を
導入し、フラスコ内を窒素雰囲気にした。次いで、混合
モノマー滴下ロートへ、エチルアクリレート２重量％、
２−エチルヘキシルアクリレート38重量％、メチルメタ
クリレート4.94重量％、シクロヘキシルメタクリレート
25重量％、ラウリルメタクリレート30重量％およびメタ
クリル酸0.06重量％からなる混合モノマー100重量部を
仕込み、重合開始剤滴下ロートへアゾビスイソブチロニ
トリル0.4重量部を仕込んだ。
滴下ロートおよび重合開始剤滴下ロートを備えたセパラ
ブルフラスコに、溶剤としてトルエン80重量部と、メチ
ルエチルケトン40重量部を入れ、窒素導入管より窒素を
導入し、フラスコ内を窒素雰囲気にした。次いで、混合
モノマー滴下ロートへ、エチルアクリレート２重量％、
２−エチルヘキシルアクリレート38重量％、メチルメタ
クリレート4.94重量％、シクロヘキシルメタクリレート
25重量％、ラウリルメタクリレート30重量％およびメタ
クリル酸0.06重量％からなる混合モノマー100重量部を
仕込み、重合開始剤滴下ロートへアゾビスイソブチロニ
トリル0.4重量部を仕込んだ。
60℃にフラスコの内温を調節しながら混合モノマーお
よび重合開始剤を撹拌しながら２時間かけて滴下し、さ
らに60℃で２時間、次いで80℃で２時間加熱した後、冷
却して固形分濃度45％、数平均分子量40000なるバイン
ダー（ａ）を調製した。
よび重合開始剤を撹拌しながら２時間かけて滴下し、さ
らに60℃で２時間、次いで80℃で２時間加熱した後、冷
却して固形分濃度45％、数平均分子量40000なるバイン
ダー（ａ）を調製した。
参考例２ 参考例１のモノマー組成比などを変更し、溶剤として
トルエンのみを用いた他は参考例１と同様にして固形分
50％、数平均分子量80000なるバインダー（ｂ）を調製
した。
トルエンのみを用いた他は参考例１と同様にして固形分
50％、数平均分子量80000なるバインダー（ｂ）を調製
した。
実施例１ アルミナ（日軽化工（株）製LS−23）45重量％に、カ
ルシアとジルコニアを含有する平均粒子径５μｍの硼珪
酸ガラス55重量％を添加したセラミック粉末100重量部
に、参考例１で得たバインダー（ａ）を固形分として12
重量部加え、さらに溶剤としてトルエン／メチルエチル
ケトン（重量比2/1）の混合溶剤を18重量部加えた。
ルシアとジルコニアを含有する平均粒子径５μｍの硼珪
酸ガラス55重量％を添加したセラミック粉末100重量部
に、参考例１で得たバインダー（ａ）を固形分として12
重量部加え、さらに溶剤としてトルエン／メチルエチル
ケトン（重量比2/1）の混合溶剤を18重量部加えた。
次いで24時間ボールミルにより混練してスラリーを調
製した。このスラリー中の溶剤の組成はトルエン22重量
部、メチルエチルケトン11重量部であり、蒸発速度指数
は350である。このスラリーをドクターブレード法に高
分子フィルム上にキャスティングし、80℃で乾燥して厚
さが70μｍのグリーンシートを得た。
製した。このスラリー中の溶剤の組成はトルエン22重量
部、メチルエチルケトン11重量部であり、蒸発速度指数
は350である。このスラリーをドクターブレード法に高
分子フィルム上にキャスティングし、80℃で乾燥して厚
さが70μｍのグリーンシートを得た。
得られたグリーンシートについて、触針、直線走査方
式の表面形状測定器を用いて表面の中心線平均粗さ（R
a）と最大高さ（Rmax）を測定した。その結果を後記第
１表および第１図に示す。
式の表面形状測定器を用いて表面の中心線平均粗さ（R
a）と最大高さ（Rmax）を測定した。その結果を後記第
１表および第１図に示す。
実施例２ 平均粒子径0.3μｍのジルコニア粉末（日本触媒化学
工業（株）製NS−3Y）100重量部に、参考例２で得たバ
インダー（ｂ）を固形分で25重量部使用し、溶剤として
トルエン/1−ブタノール（重量比3/1）の混合溶剤を60
重量部用い、さらに可塑剤としてジブチルフタレート１
重量部を加えて、実施例１と同様にして厚さが300μｍ
のグリーンシートを得た。スラリー中の溶剤の蒸発速度
指数は206である。
工業（株）製NS−3Y）100重量部に、参考例２で得たバ
インダー（ｂ）を固形分で25重量部使用し、溶剤として
トルエン/1−ブタノール（重量比3/1）の混合溶剤を60
重量部用い、さらに可塑剤としてジブチルフタレート１
重量部を加えて、実施例１と同様にして厚さが300μｍ
のグリーンシートを得た。スラリー中の溶剤の蒸発速度
指数は206である。
実施例１と同様にして得られたグリーンシートの特性
を後記第１表に示す。
を後記第１表に示す。
実施例３ アルミナ粉末（昭和電工（株）製AL−45）にマグネシ
ア500ppmを添加したセラミック粉末100重量部に、溶剤
としてトルエン/2−プロパノール（重量比4/1）の混合
溶剤を30重量部加えて12時間ボールミルにより混練した
のち、参考例１で得たバインダー（ａ）を固形分として
15重量部加え、さらに12時間ボールミルにより混練して
スラリーを調製した。このスラリー中の溶剤蒸発速度指
数は290である。
ア500ppmを添加したセラミック粉末100重量部に、溶剤
としてトルエン/2−プロパノール（重量比4/1）の混合
溶剤を30重量部加えて12時間ボールミルにより混練した
のち、参考例１で得たバインダー（ａ）を固形分として
15重量部加え、さらに12時間ボールミルにより混練して
スラリーを調製した。このスラリー中の溶剤蒸発速度指
数は290である。
このスラリーを用いて、実施例１と同様にして厚さが
150μｍのグリーンシートを得、グリーンシートの特性
を表に示した。
150μｍのグリーンシートを得、グリーンシートの特性
を表に示した。
比較例１ 溶剤として酢酸エチル／メチルエチルケトン（重量比
5/1）の混合溶剤24重量部使用した以外は実施例１と同
様にして、厚さが70μｍのグリーンシートを得、グリー
ンシートの特性を表および第２図に示した。
5/1）の混合溶剤24重量部使用した以外は実施例１と同
様にして、厚さが70μｍのグリーンシートを得、グリー
ンシートの特性を表および第２図に示した。
スラリー中の溶剤の蒸発速度指数は510である。
なお、このスラリーのキャスティング操作中に一部分
のみが乾燥し、製品に多数の深い溝状の欠陥を生じた。
のみが乾燥し、製品に多数の深い溝状の欠陥を生じた。
［発明の効果］ 本発明の製法によれば、表面の中心線平均粗さ（Ra）
が0.1μｍ以下、かつ最大高さ（Rmax）が１μｍ以下と
いった優れた表面平滑性のセラミックスグリーンシート
を得ることができ、スクリーン印刷やフォトリソグラフ
ィー法による回路形成に適し、しかも、その回路幅、回
路間隔が50μｍ以下で50層から数百層積層した回路基板
の製造にも適したセラミックスグリーンシートを得るこ
とができる。
が0.1μｍ以下、かつ最大高さ（Rmax）が１μｍ以下と
いった優れた表面平滑性のセラミックスグリーンシート
を得ることができ、スクリーン印刷やフォトリソグラフ
ィー法による回路形成に適し、しかも、その回路幅、回
路間隔が50μｍ以下で50層から数百層積層した回路基板
の製造にも適したセラミックスグリーンシートを得るこ
とができる。
第１図は実施例１で得られたグリーンシートの表面形状
について、第２図は比較例１で得られたグリーンシート
の表面形状について、中心線平均粗さと最大高さを測定
した結果である。
について、第２図は比較例１で得られたグリーンシート
の表面形状について、中心線平均粗さと最大高さを測定
した結果である。
フロントページの続き (72)発明者 相川 規一 兵庫県姫路市網干区興浜字西沖992番地 の１ 日本触媒化学工業株式会社触媒研 究所内 (56)参考文献 特開 昭63−147853（ＪＰ，Ａ) 特表 平１−501466（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C04B 35/00 - 35/22 C04B 35/622 - 35/636
Claims (4)
- 【請求項１】セラミック粉体、有機バインダー及び有機
溶剤を含むスラリーを高分子フィルム上にキャスティン
グしてセラミックグリーンシートを製造する方法におい
て、 上記有機溶剤の組成重量比に対応する蒸発指数の和が20
6〜350であり、 上記有機バインダーが、炭素数１〜10のアルキル基を有
するアルキルアクリレートと、炭素数１〜20のアルキル
基を有するアルキルメタクリレートからなる群から選ば
れるモノマーを２種以上共重合してなる数平均分子量
（Mn）が20000〜100000の共重合体であることを特徴と
するセラミックグリーンシートの製造方法。 - 【請求項２】得られるセラミックグリーンシートは、シ
ート表面の中心線平均粗さ（Ra）が0.1μｍ以下であ
り、且つ最大高さ（Rmax）が１μｍ以下である請求項１
に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。 - 【請求項３】セラミック粉体がアルミナ、アルミナ−ガ
ラスおよびジルコニアから選ばれた少なくとも１種を含
有する請求項１または２に記載のセラミックグリーンシ
ートの製造方法。 - 【請求項４】有機溶剤がアルコール類、ケトン類、脂肪
族炭化水素、芳香族炭化水素および酢酸エステル類より
なる群から選ばれる少なくとも１種である請求項１、２
または３に記載のセラミックグリーンシートの製造方
法。
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-
1990
- 1990-02-23 JP JP2041100A patent/JP2866137B2/ja not_active Expired - Fee Related
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