JP2850044B2 - キャリアストッカ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、キャリアストッカに関するものである。

（従来の技術） 従来のキャリアストッカとしては、特開平２−30120
号公報記載のものがある。

このキャリアストッカは、キャリアを載置する多段の
キャリア設置板と、垂直方向に昇降可能で水平方向にス
ライド可能に設けられたキャリア保持体を有し、このキ
ャリア保持体にキャリアを把持した後、このキャリアを
所定のキャリア設置板のところまで上昇させ所定のキャ
リア設置板にキャリアを載置する。

そして、複数のキャリアを載置した搬送機構は、外部
から供給されるキャリアを搬入するキャリアポートと、
熱処理用石英ボートへウエハを移替える移替え部の間を
往復移動可能に設けられている。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、このようなキャリアストッカでは、バ
ッチ式熱処理炉用ウエハボートとウエハキャリア間の移
替え部においてウエハを石英ボートに移替えている間、
キャリアポートで外部から供給されるキャリアを搬入す
ることができず、キャリアストッカの機能の一部に時間
待ちが発生し、キャリアポートの前にキャリアが停滞し
てスループットが悪く、また一連の半導体製造工場のキ
ャリア移動の流れが停止するという問題点を有する。

本発明は、上記点に鑑みてなされたもので、キャリア
ポートに搬入搬出されるキャリアを停滞することなくキ
ャリアストッカに搬入搬出し、スループットの高いキャ
リアストッカを提供することにある。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 前述した目的を達成するために本発明は、本体の側壁
に鉛直方向に複数段設けられるキャリア載置棚と、 前記本体の外側に設けられ、キャリアを一時載置する
キャリアポートと、 前記本体内の下方に設けられたキャリアステーション
と、 前記本体の下方に設けられ、キャリアを搭載してウエ
ハ移替え部へ移動可能なキャリアライナと、 前記キャリアポートと前記キャリアステーションとの
間で前記キャリアライナの動作に無関係に前記キャリア
を受渡しする搬送器と、 複数個のキャリアを把持し、前記キャリアステーショ
ンと前記キャリアライナおよび前記キャリア載置棚との
間で前記キャリアライナの動作に無関係に該キャリアの
受渡しを行うキャリアアーム機構と、 を具備し、前記キャリアポートと前記キャリアステー
ションとの間および前記キャリアステーションと前記キ
ャリア載置棚との間の前記キャリアの移載と、前記キャ
リアライナによる前記ウエハ移替え部への前記キャリア
の移動とを同時に行えるよう構成されたことを特徴とす
るキャリアストッカである。

請求項２の発明は、請求項１記載のキャリアストッカ
において、 前記キャリアポートと、前記キャリアステーション
と、前記搬送器とは、夫々、前記本体内に前記キャリア
を搬入するためのイン側と、搬出するためのアウト側の
２種類設けられていることを特徴とするキャリアストッ
カである。

（作用） 本発明では、キャリアポートとキャリアステーション
との間で、搬送器によってキャリアの受渡しが行われる
とともに、キャリアステーションとキャリアライナおよ
びキャリア載置棚との間で、キャリアアーム機構によっ
てキャリアの受渡しが行われるので、キャリアポートか
らキャリアステーションへのキャリアの移載と、キャリ
アライナによるウエハ移替え部へのキャリア移動を同時
に行うことができる。

（実施例） 以下、図面に基づいて本発明がキャリア搬送装置に用
いられた実施例を詳細に説明する。

第１図はこのキャリア搬送装置が用いられる熱処理装
置全体の概略構成を示す斜視図である。

同図に示されるように、この熱処理装置は被熱処理体
例えば半導体ウエハが例えば25枚収納されたウエハキャ
リアを多数個収納するキャリアストッカ１、ウエハ搬送
用ウエハキャリアに収納されたウエハを熱処理用ウエハ
ボードに移替える移替え機構３、ボート移載機構５、ウ
エハボートを熱処理部へ搬送するボート搬送機構７、被
処理半導体ウエハを収納したウエハボートを縦型反応管
内にローディング、アンローディングするエレベータ
９、炉体11、処理するためのガスを供給するガス供給源
13を有する。

上記キャリアストッカ１は、被処理基板、たとえば半
導体ウエハを複数枚、たとえば25枚収納するキャリアを
複数個予め定められた各位置に仮想の番地により、ウエ
ハの種類と対応してキャリアポートに搬入されるキャリ
アを収納する。

上記移替え機構３は、キャリアストッカ１から送られ
るキャリアと、100〜150枚のウエハを搭載可能な耐熱性
石英ボートとの間でウエハを自動的にロボットアームに
より移替える。

上記ボート移載機構５は、ボート搬送機構７と、移替
え機構３との間でウエハボートを移送する。

上記エレベータ９は、ボート搬送機構７により移送さ
れたウエハボートを炉体11の反応管内へ挿入出する。

炉体11は、所望の酸化、拡散、CVD処理等を行う。

ガス供給源13は、炉体11の各処理室に所定の処理ガス
を供給する。

上記キャリアストッカ１、移替え機構３、ボート移載
機械５、ボート搬送機構７にはクリーンエアがダウンフ
ローブで供給されるよう図示しない送風ファン、HEPAフ
ィルター、排出ファンが設けられている。

第２図は、キャリアストッカ１およびその近傍の構成
を示す斜視図である。

キャリアストッカ１には、本体12にキャリアを載置す
る棚15が左右に、多段、たとえば４段形成される。

キャリアストッカ１の下方前面には、イン側ポート17
およびアウト側ポート19が固定して設けられる。

キャリアストッカ１の内部下方にイン側ステーション
21、アウト側ステーション23が固設される。さらに、複
数のキャリアを載置して搬送可能なキャリアライナ25が
水平方向に移動可能に設けられる。

搬送器27aは、イン側ポート17の下方から鉛直上方に
移動し、イン側ポート17に載置されたキャリアを受取
り、その後、水平方向に移動しイン側ステーション21の
上部まで来ると、下方に移動し、キャリアをイン側ステ
ーション21に載置し、その後、下方に移動し、所定の位
置まで来ると水平方向に移動して、もとの位置に戻る。

逆に搬送器27bは、アウト側ステーション23下方から
上昇し、アウト側ステーション23に載置されたキャリア
を受取り、所定の位置まで上昇して水平方向に移動し、
アウト側ポート19の上方まで来ると下降し、アウト側ポ
ート19にキャリアを載置し、その後、所定量下降した
後、水平方向に移動し、もとの位置に戻る。

キャリアストッカ１内部には、キャリアを把持する６
個の把持機構が設けられたキャリアアーム機構29が、図
中Ｙ軸およびＺ軸方向に移動可能に設けられる。

このキャリアアーム機構29は、６個の把持機構が独立
に作動し、イン側ステーション21、アウト側ステーショ
ン23、キャリアライナー25および棚15との間で、キャリ
アの移替えを行う。

キャリアライナ25は、６個のキャリアを載置してキャ
リアストッカ１と移替え機構３との間を、水平方向に移
動可能に設けられており、キャリアストッカ１と移替え
機構３との間でキャリアの搬送を行う。

次に、第２図に示すキャリアストッカ内のキャリアの
移動を説明する。

イン側ポート17にウェハを収納したキャリア14が搬入
載置されると、搬送器27aによって移動されこのキャリ
アはイン側ステーション21に載置される。

その後、キャリアアーム機構29によってイン側ステー
ション21に載置された６個のキャリア14は、棚15または
キャリアライナ25に一度に載置される。

キャリアライナ25は、水平方向に移動して載置された
キャリアを移替え機構３に搬送する。その後、処理用例
えば被処理用ボート内にウェハが挿入され、ボート移載
機構５、ボート搬送機構７、エレベータ９によってウェ
ハが炉体11に挿入され、熱処理が行われる。

熱処理の終了したウェハは、エレベター９によって炉
体11の縦型反応管の下方から取り出される。その後、移
替え機構３によってウエハボート内のウェハが１枚また
は25枚同時に把持して取り出され、このウェハはキャリ
ア内に収納される。そのキャリアがキャリアライナ25に
載置され、キャリアライナ25がキャリアストッカ１下方
まで移動する。

キャリアアーム29は、キャリアライナ25に載置された
キャリアをアウト側ステーション23に載置し、搬送器27
bがアウト側ステーシーョン23上のキャリアをアウト側
ポート19まで移動させる。

炉体11は複数設けられているため、移替え機構３にお
いてキャリアからボートにまたはその逆にたえずウエハ
を移替えているが、この間イン側ポートから未処理のウ
エハが収容されたキャリアを搬入し、アウト側ポートか
ら処理済みのウエハが収容されたキャリアを搬出してい
る。したがって、イン側、アウト側ポートでキャリアが
停滞することがない。

上記実施例では、処理として熱処理について説明した
が、処理であればエッチング、塗布処理、イオン注入、
などいずれでもよい。

［発明の効果］ 以上詳細に説明したように、本発明によればキャリア
ポートにキャリアが停滞することなくスループットの高
いキャリアストッカを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例に係るキャリアストッカを
有する熱処理装置の概略構成を示す図、 第２図は、キャリアストッカ１およびその近傍の構成を
示す一部切欠き斜視図である。 １……キャリアストッカ 15……棚 21……イン側ステーション 23……アウトステーション 25……キャリアライナ 29……キャリアアーム

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】本体の側壁に鉛直方向に複数段設けられる
   キャリア載置棚と、 前記本体の外側に設けられ、キャリアを一時載置するキ
   ャリアポートと、 前記本体内の下方に設けられたキャリアステーション
   と、 前記本体の下方に設けられ、キャリアを搭載してウエハ
   移替え部へ移動可能なキャリアライナと、 前記キャリアポートと前記キャリアステーションとの間
   で前記キャリアライナの動作に無関係に前記キャリアを
   受渡しする搬送器と、 複数個のキャリアを把持し、前記キャリアステーション
   と前記キャリアライナおよび前記キャリア載置棚との間
   で前記キャリアライナの動作に無関係に該キャリアの受
   渡しを行うキャリアアーム機構と、 を具備し、前記キャリアポートと前記キャリアステーシ
   ョンとの間および前記キャリアステーションと前記キャ
   リア載置棚との間の前記キャリアの移載と、前記キャリ
   アライナによる前記ウエハ移替え部への前記キャリアの
   移動とを同時に行えるよう構成されたことを特徴とする
   キャリアストッカ。
2. 【請求項２】請求項１記載のキャリアストッカにおい
   て、 前記キャリアポートと、前記キャリアステーションと、
   前記搬送器とは、夫々、前記本体内に前記キャリアを搬
   入するためのイン側と、搬出するためのアウト側の２種
   類設けられていることを特徴とするキャリアストッカ。