JP2836058B2 - 誘電体バリア放電ランプ装置 - Google Patents
誘電体バリア放電ランプ装置Info
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Description
表面洗浄、殺菌等に使用される真空紫外線光源の改良に
係り、特に、誘電体バリア放電によってエキシマ分子を
形成し、前記エキシマ分子から放射される光を利用する
いわゆる誘電体バリア放電ランプを使用した誘電体バリ
ア放電ランプ装置の改良に関する。
ば、日本国公開特許公報平1−144560号がある。
そこには、放電容器にエキシマ分子を形成する放電用ガ
スを充填し、誘電体バリア放電(別名オゾナイザ放電あ
るいは無声放電。電気学会発行改定新版「放電ハンドブ
ック」平成1年6月再版7刷発行第263ページ参照)
によってエキシマ分子を形成せしめ、前記エキシマ分子
から放射される光(以下、エキシマ光と称する)を利用
するランプ、すなわち誘電体バリア放電ランプについて
記載されている。
は円筒状であり、前記放電容器の少なくとも一部は前記
誘電体バリア放電の誘電体を兼ねており、前記誘電体は
光透過性であり、前記誘電体の少なくとも一部に導電性
網状電極が設けられた誘電体バリア放電ランプが記載さ
れている。
ICS誌の202ページには、石英ガラス管からなる外
側管と内側管とを同軸に配置することによって形成した
中空円筒状の放電空間を有する放電容器に、放電用ガス
としてキセノンを充填し、前記内側管の外壁の少なくと
も一部にアルミニウムフォイルからなる内側電極を設
け、前記外側管の外壁の少なくとも一部に導電性網状電
極を設けた誘電体バリア放電ランプが記載されている。
ンプからは、波長100nmから波長800nmの間の
波長領域においてはキセノンエキシマ光である中心波長
172nmで半値幅12nmである真空紫外線だけが放
出され、他の波長の発光はほとんど無い事が記載されて
いる。
放電ランプ装置は、 (1)例えば、放電用ガスとしてキセノン等を選択すれ
ば、真空紫外光が高効率で得られる (2)エキシマ光だけが放出される単一波長光源である など従来の低圧水銀放電ランプや高圧アーク放電ランプ
には無い種々の特長を有しているため有用である。
バリア放電ランプ装置は可視光の放射が著しく少なく、
ランプが点灯していることを視覚で識別することが困難
であった。したがって、数十kHzの高周波で数kVの
高電源電圧で動作し、かつ、高エネルギーの紫外線を放
出する誘電体バリア放電ランプが点灯中であるのにも拘
わらず、誤って触れてしまう可能性があり、安全性に問
題があった。
検出することによってランプの点灯状態を表示する方法
が考えられた。しかし、エキシマ光の波長が真空紫外領
域に有る場合、エキシマ光は空気中の酸素や水分によっ
て著しく吸収される。よって、その光強度が著しく変動
し、ランプの点灯状態の確認が困難であった。
などで行われているランプ電流などの電気的な特性を検
知する方法を、誘電体バリア放電ランプ装置に適用する
ことは以下の理由で困難であった。
z以上の高周波で数kVの高電源電圧で動作しているた
め、誘電体バリア放電ランプの高電圧側に検知器を設け
ることは困難であった。
電極側に検知器を設けた場合には、誘電体バリア放電ラ
ンプは接地されないことになり、危険であるという問題
があった。
気的な特性を検知する方法では、ランプの点灯状態を確
実に確認することが不可能であることを発見した。すな
わち、数kHz以上の高周波で数kVの高電源電圧で動
作する誘電体バリア放電ランプは、なんらかの原因で不
点灯になると、誘電体バリア放電ランプと電源を接続し
ている電線間などの絶縁破壊をまねき、電流が流れてし
まう。よって、誘電体バリア放電ランプが点灯している
状態と疑似的に同様な状態になってしまい、このような
方法ではランプの点灯状態を確認することが不可能にな
り、装置の焼損を招くなど信頼性、安全性に欠けるとい
う問題があった。
されたものであり、その課題は、ランプが点灯している
ことを、容易に、確実に識別することができ、したがっ
て、安全性が高く、高信頼の誘電体バリア放電ランプ装
置を提供することである。
に、本発明の請求項1の発明は、外形が概略円筒状であ
る外側管と内側管とを同軸に配置して、該両管の間に両
端が閉じられた中空円筒状の放電空間を形成した放電容
器に、誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成す
る放電用ガスが充填され、前記内側管の内壁の少なくと
も一部に金属からなる内側電極が設けられ、前記外側管
の外壁の少なくとも一部は、前記エキシマ分子から放射
される光に対して光透過性であって、かつ、前記誘電体
バリア放電の誘電体を兼ねており、前記エキシマ分子か
ら放射される光に対して光透過性である誘電体の少なく
とも一部に導電性網状電極が設けられた誘電体バリア放
電ランプと、前記誘電体バリア放電を行うための電源と
からなる誘電体バリア放電ランプ装置において、前記誘
電体バリア放電ランプから放射される200nm以上の
波長の光を検出する検出手段と、予め設定した値と前記
検出手段で検出した200nm以上の波長の光の強度の
値とを比較する比較手段と、前記検出手段で検出した2
00nm以上の波長の光の強度が予め設定した値以下の
場合にその状態を表示する表示手段を設けたものであ
る。
筒状である外側管と内側管とを同軸に配置することによ
って形成した中空円筒状の放電空間を有する放電容器
に、誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する
放電用ガスが充填され、前記内側管の外壁の少なくとも
一部に金属からなる内側電極が設けられ、前記外側管の
外壁の少なくとも一部は、前記エキシマ分子から放射さ
れる光に対して光透過性であって、かつ、前記誘電体バ
リア放電の誘電体を兼ねており、前記エキシマ分子から
放射される光に対して光透過性である誘電体の少なくと
も一部に導電性網状電極が設けられた誘電体バリア放電
ランプと、前記誘電体バリア放電を行うための電源とか
らなる誘電体バリア放電ランプ装置において、前記誘電
体バリア放電ランプから放射される200nm以上の波
長の光を検出する検出手段と、予め設定した値と前記検
出手段で検出した200nm以上の波長の光の強度の値
とを比較する比較手段と、前記検出手段で検出した20
0nm以上の波長の光の強度が予め設定した値以下の場
合に前記誘電体バリア放電ランプに印加される電圧を自
動的に遮断する手段を設けたものである。
項1の発明または本発明の請求項2の発明において、前
記誘電体バリア放電ランプから放射される200nm以
上の波長の光を検出する検出手段をフォトダイオードで
構成したものである。
項1、請求項2または請求項3のいずれかの発明におい
て、内面に形成され、外部と連通する窪み部を有するラ
ンプ冷却部材と、該ランプ冷却部材の内面と対面する前
記エキシマ分子から放射される光を取り出す光取り出し
窓部とを有するランプハウス内に、前記誘電体バリア放
電ランプの外側管の外壁の一部が前記ランプ冷却部材の
窪み部に接触するように、前記誘電体バリア放電ランプ
を設置し、窓部を有し前記200nm以上の波長の光を
検出する検出手段を、前記窪み部の外部連通口に設け、
前記検出手段の光軸と前記誘電体バリア放電ランプの中
心軸とが直交しているように構成したものである。
項4の発明において、前記誘電体バリア放電ランプの内
側電極の半径をR、前記検出手段の窓部と前記内側電極
の最短距離をLとしたとき、前記検出手段の窓部から前
記誘電体バリア放電ランプを見込む立体角がπR2 /L
2 以下であるようにしたものである。
体バリア放電ランプから放射される200nm以上の波
長の光を検出する検出手段と、予め設定した値と前記検
出手段で検出した波長200nm以上の光の強度の値と
を比較する手段と、前記検出手段で検出した200nm
以上の波長の光の強度が予め設定した値以下の場合にそ
の状態を表示する手段を設けたものである。ここで、予
め設定する値を、前記誘電体バリア放電ランプが点灯し
ている時に放射される200nm以上の波長の光の強度
とすれば、誘電体バリア放電ランプの点灯状態を、容易
に、確実に知ることができる。
は、発明者らの以下の発見に基づいている。すなわち、
発明者らは、先に示した構成からなる誘電体バリア放電
ランプと、前記該誘電体バリア放電を行うための電源と
からなる誘電体バリア放電ランプ装置において、放電用
ガスとしてキセノンを使用し、光出力の分光特性を調べ
た。
ち、波長200nm以上において、特に、波長200n
mから波長700nmの波長域において、キセノンエキ
シマ光である172nmに最大値を有する真空紫外光に
比較すると著しく小さいが、光出力が存在することが見
出された。よって、波長200nm以上に感度を有する
光を検出する検出手段を使用することにより、前記誘電
体バリア放電ランプの点灯状態の検知が可能であること
が分かる。
リア放電ランプから放射される200nm以上の波長の
光を検出する検出手段と、予め設定した値と前記検出手
段で検出した200nm以上の波長の光の強度の値とを
比較する比較手段と、前記検出手段で検出した200n
m以上の波長の光の強度が予め設定した値以下の場合に
前記誘電体バリア放電ランプに印加される電圧を自動的
に遮断する手段を設けたので、安全で、高信頼の誘電体
バリア放電ランプ装置を得ることができる。
項1または請求項2の発明において、前記誘電体バリア
放電ランプから放射される200nm以上の波長の光を
検出する検出手段を、シリコンフォトダイオード、PI
Nシリコンフォトダイオード、GaAsPフォトダイオ
ード等のフォトダイオードで構成したので、請求項1ま
たは請求項2の発明と同様の利点を有するのに加えて、
波長200nmから波長700nmの領域の光を効率よ
く検知でき、かつ、検出器が小型になるという利点が生
じる。
項1、請求項2または請求項3のいずれかの発明におい
て、内面に形成され、外部と連通する窪み部を有するラ
ンプ冷却部材と、該ランプ冷却部材の内面と対面する前
記エキシマ分子から放射される光を取り出す光取り出し
窓部とを有するランプハウス内に、前記誘電体バリア放
電ランプの外側管の外壁の一部が前記ランプ冷却部材の
窪み部に接触するように、前記誘電体バリア放電ランプ
を設置し、窓部を有し前記200nm以上の波長の光を
検出する検出手段を、前記窪み部の外部連通口に設け、
前記検出手段の光軸と前記誘電体バリア放電ランプの中
心軸とが直交しているように構成したので、請求項1、
請求項2、または請求項3のいずれかの発明と同様の利
点を有するのに加えて、前記検出手段が前記誘電体バリ
ア放電ランプの影に入るので、一般照明用の可視光等の
影響を受けにくく、したがって、前記誘電体バリア放電
ランプの点灯状態の確認を高信頼で行うことができると
いう利点を有する。
項4の発明において、前記誘電体バリア放電ランプの内
側電極の半径をR、前記検出手段の窓部と前記内側電極
の最短距離をLとしたとき、前記検出手段の窓部から前
記誘電体バリア放電ランプを見込む立体角がπR2 /L
2 以下であるようにしたので、請求項4の発明と同様の
利点を有するのに加えて、前記検出手段が光を透過しな
い前記内側電極の影に入るので、一般照明用の可視光等
の影響をさらに受けにくく、したがって、前記誘電体バ
リア放電ランプの点灯状態の確認をさらに高信頼で行う
ことができるという利点を有する。
1に示す。第1の実施例の誘電体バリア放電ランプ装置
は、構成要素として図2に示す中空円筒形状の誘電体バ
リア放電ランプ1a,1b,1c,1dを有する。
b,1c,1dの概略図を示す。図2において、放電容
器1は、全長約300mmの合成石英ガラス製である。
放電容器1には、外径が16mm、肉厚1mmの内側管
2と、内径が約24.5mm、肉厚1mmの外側管3と
が同軸に配置されていて、両端が閉じられた中空円筒状
の放電空間8が形成されている。放電空間8には、放電
用ガスとして250torrのキセノンガスが封入され
ている。
電体と光取り出し窓部材を兼用している。その外面には
光が通過する導電性網からなる長さ250mmの電極4
が設けられている。内側管2の外面には、光の反射板と
誘電体バリア放電の電極を兼ねた内側電極5が設けられ
ている。内側電極5の外半径Rは7mmである。電極4
と内側電極5は電源9に接続される。また放電容器1の
一端には、ゲッタ6を収納するゲッタ室7が設けられて
いる。ゲッタ6は放電空間8における不純ガス(例えば
H2 O等)を除去し、放電を安定にする機能を持つ。
a,1b,1c,1dは、合成石英ガラスからなる光取
り出し窓部31、冷却ブロック34、側板35a,35
bおよびランプの両端部側にある不図示の側板によって
気密に構成されているランプハウス内に、密閉されてい
る。誘電体バリア放電ランプ1a,1b,1c,1d
は、合成石英ガラスからなる光取り出し窓部31と対面
して、かつ各ランプが平行に位置するように、不図示の
支持手段によって支持されている。また、誘電体バリア
放電ランプ1a,1b,1c,1dのうち、1a,1b
は電源9aに並列接続されており、1c,1dは電源9
bに並列接続されている。
は、内面に窪み部38a,38b,38c,38dが形
成されている。各窪み部は、直径4mm、長さ20mm
の貫通孔である光導入孔37a,37b,37c,37
dを介して、外部と連通している。30a,30bは、
冷却用流体を流す孔である。誘電体バリア放電ランプ1
a,1b,1c,1dの外側管3の外壁の一部は、冷却
のため、窪み部38a,38b,38c,38dと接触
している。また、光取り出し窓部31の有効光取り出し
領域は、240mm×240mmである。
トダイオード14a,14b,14c,14dは、冷却
ブロック34の窪み部38a,38b,38c,38d
が外部と連通している外部連通口39a,39b,39
c,39dに取り付けられている。各外部連通口は各シ
リコンフォトダイオードが取り付けやすいように、窪み
形状になっている。
b,14c,14dの硼硅酸ガラスの窓部と、誘電体バ
リア放電ランプ1a,1b,1c,1dの内側電極5の
最短距離Lは39.5mmである。また、シリコンフォ
トダイオード14a,14b,14c,14dの光軸
は、誘電体バリア放電ランプ1a,1b,1c,1dの
中心軸に、それぞれ直交している。
b,14c,14dには、シリコンフォトダイオード1
4a,14b,14c,14dの出力電流の値と予め設
定した値と比較する比較部材10a,10b,10c,
10dが接続されている。また、比較部材10a,10
b,10c,10dは、発光ダイオードからなる表示部
材40に接続されている。
おいては、誘電体バリア放電ランプ1a,1b,1c,
1dの点灯を開始する前に、ガス導入口32から窒素ガ
スが導入され、誘電体バリア放電ランプ1a,1b,1
c,1dと、合成石英ガラスからなる光取り出し窓部3
1との間の空間36に存在した空気が、不活性ガス排出
口33から排出される。
は、冷却ブロック34の窪み部38a,38b,38
c,38dと誘電体バリア放電ランプ1a,1b,1
c,1dとの隙間を介して空間36と接続されているの
で、時間が経てば、光導入孔37a,37b,37c,
37d内の空気も窒素ガスで置換される。
37c,37dに存在した空気が窒素ガスで置換された
あと、電源9a,9bから誘電体バリア放電ランプ1
a,1b,1c,1dに9.4kVの電圧を印加した。
ランプへの入力電力の値を外側管3が電極4と対接して
いる部分の面積の値で除した値である管壁負荷は0.2
5W/cm2 になった。また、波長172nmに最大値
を有する波長160nmから波長180nmの波長範囲
の真空紫外光が、高効率で放出された。
c,1dは平行に並んで設置され、かつ、ランプより放
出された真空紫外光は窒素ガスが充満した空間36で吸
収されないので、実質的に平板状光源装置が得られた。
また、高価な合成石英ガラス板が多数使用されていない
ので、安価に平板状光源装置が得られた。
る。図1において、誘電体バリア放電ランプ1a,1
b,1c,1dのうちの一本でも不点灯になると、シリ
コンフォトダイオード14a,14b,14c,14d
のうちの一つのシリコンフォトダイオードの出力電流が
予め設定した値よりも小さくなり、この状態が表示部材
40に表示される。
プの不点灯状態を容易に、また確実に確認することがで
きる。よって、視覚による点灯識別が困難であった誘電
体バリア放電ランプの点灯中に、作業者が誤って触れて
しまうこともなくなり、安全な誘電体バリア放電ランプ
装置が得られた。
リア放電ランプ1a,1b,1c,1dのうちの一本で
も不点灯になったとき、表示部材40を点灯させたが、
誘電体バリア放電ランプ1a,1b,1c,1dのすべ
てが点灯しているときに表示部材40を点灯させる方法
でも良い。
灯状態を検出する検出手段として、シリコンフォトダイ
オード14a,14b,14c,14dを採用してい
る。よって、誘電体バリア放電ランプ1a,1b,1
c,1dより放出される、波長200nmから波長70
0nmの波長域に存在する光出力を、効率よく検知でき
た。
14b,14c,14dは、硼硅酸ガラスの窓部を有し
ている。硼硅酸ガラスは300nm以下の波長の光を透
過しないので、シリコンフォトダイオード14a,14
b,14c,14dは、波長172nmに最大値を有す
る真空紫外光であるエキシマ光の影響を受けにくい。ま
た、前記硼硅酸ガラス自体は、前記真空紫外線の照射に
よる劣化が少ない。よって、高信頼の誘電体バリア放電
ランプ装置が得られた。
14b,14c,14dの窓部はソーダ石灰ガラスでも
よい。
オード14a,14b,14c,14dの光軸は、誘電
体バリア放電ランプ1a,1b,1c,1dの中心軸
に、それぞれ直交している。よって、検出手段が誘電体
バリア放電ランプの影に入るので、検出手段は一般照明
用の可視光等の影響を受けにくくなり、前記誘電体バリ
ア放電ランプの点灯状態の確認を高信頼で行うことがで
きた。
ぞれのランプの内側電極5の外半径Rは7mm、各シリ
コンフォトダイオードの窓部と内側電極4の最短距離L
は39.5mmになるので、πR2 /L2は0.099
である。また、各シリコンフォトダイオードの窓部か
ら、前記誘電体バリア放電ランプを見込む立体角は、π
×22 /202 なので0.031になり、πR2 /L2
以下になっている。よって、各シリコンフォトダイオー
ドは、光を透過しない内側電極4の影に入っている。
図3に示す。本発明の第2の実施例は、乾式洗浄用の誘
電体バリア放電ランプ装置であり、例えば、試料として
液晶用ガラス41の洗浄を行うものである。
て、光取り出し窓部31の代わりに試料搬送部材42を
設けたものである。また、表示部材40の代わりに、比
較部材10a,10b,10c,10dおよび電源9
a,9bに接続された自動遮断部材50が設けられてい
る。自動遮断部材50は、電源9a,9bに信号を送信
することにより、電源9a,9bから誘電体バリア放電
ランプ1a,1b,1c,1dへの印加電圧を自動的に
遮断する機能を有する。なお、図3において、図1と同
じ符号を有する構成要素は、図1と同様の構成要素であ
る。
ランプ装置においては、ガス導入口32から空気が導入
される。第1の実施例と同様な動作条件で動作させるこ
とにより、誘電体バリア放電ランプ1a,1b,1c,
1dから、波長172nmに最大値を有する波長160
nmから波長180nmの波長範囲の真空紫外光が、高
効率で放出された。この真空紫外光によって、空間36
に存在する空気中の酸素からオゾンが生成され、このオ
ゾンによってガラス41の表面の有機物を分解・除去す
ることができた。
ダイオード14a,14b,14c,14dは、空気中
で動作することになる。よって、通常、シリコンフォト
ダイオード14a,14b,14c,14dに到達する
真空紫外光の強度は、真空紫外光が空気によって吸収さ
れるので著しく小さくなる。
よって発生したガスが、光導入孔37a,37b,37
c,37dに侵入し、このガスによっても真空紫外光が
吸収されてしまう。
ランプの点灯状態を確認することは特に困難であるが、
ここでは200nm以上の光を検出しているので、前記
誘電体バリア放電ランプの不点灯状態を容易に、信頼性
良く確認できる。
長を有する。図3において、誘電体バリア放電ランプ1
a,1b,1c,1dのなかの一本でも不点灯になる
と、シリコンフォトダイオード14a,14b,14
c,14dのなかの一つのシリコンフォトダイオードの
出力電流が、比較部材10a,10b,10c,10d
において予め設定した値よりも小さくなる。
c,1dの不点灯に対応する比較部材10a,10b,
10c,10dは、不点灯信号を自動遮断部材50へ送
信する。前記信号を受信した自動遮断部材50は、電源
9a,9bに、停止信号を送信する。その結果、電源9
a,9bから誘電体バリア放電ランプ1a,1b,1
c,1dへの印加電圧は、自動的に遮断される。
困難であった誘電体バリア放電ランプの点灯中に、作業
者が誤って触れてしまうこともなくなり、作業者に対し
て安全な誘電体バリア放電ランプ装置が得られた。
50の代わりに第1の実施例と同様の表示部材40を設
けてもよいし、表示部材40と自動遮断部材50を同時
に設けてもよい。
0の代わりに第2の実施例と同様の自動遮断部材50を
設けてもよいし、表示部材40と自動遮断部材50を同
時に設けてもよい。
は、次の効果を得ることが出来る。本発明の請求項1の
発明は、外形が概略円筒状である外側管と内側管とを同
軸に配置して、該両管の間に両端が閉じられた中空円筒
状の放電空間を形成した放電容器に、誘電体バリア放電
によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填さ
れ、前記内側管の内壁の少なくとも一部に金属からなる
内側電極が設けられ、前記外側管の外壁の少なくとも一
部は、前記エキシマ分子から放射される光に対して光透
過性であって、かつ、前記誘電体バリア放電の誘電体を
兼ねており、前記エキシマ分子から放射される光に対し
て光透過性である誘電体の少なくとも一部に導電性網状
電極が設けられた誘電体バリア放電ランプと、前記誘電
体バリア放電を行うための電源とからなる誘電体バリア
放電ランプ装置において、前記誘電体バリア放電ランプ
から放射される200nm以上の波長の光を検出する検
出手段と、予め設定した値と前記検出手段で検出した2
00nm以上の波長の光の強度の値とを比較する比較手
段と、前記検出手段で検出した200nm以上の波長の
光の強度が予め設定した値以下の場合にその状態を表示
する表示手段を設けた誘電体バリア放電ランプ装置のラ
ンプ点灯検出装置である。ここで、予め設定する値は、
前記誘電体バリア放電ランプが点灯している時に放射さ
れる200nm以上の波長の光の強度である。
ランプの点灯状態を、容易に、確実に知ることができる
という効果を有する。 (2)また、視覚による点灯識別が困難であった誘電体
バリア放電ランプの点灯中に、作業者が誤って触れてし
まうこともなくなり、安全な誘電体バリア放電ランプ装
置を提供できるという効果を有する。
リア放電ランプ装置に、前記誘電体バリア放電ランプか
ら放射される200nm以上の波長の光を検出する検出
手段と、予め設定した値と前記検出手段で検出した20
0nm以上の波長の光の強度の値とを比較する比較手段
と、前記検出手段で検出した200nm以上の波長の光
の強度が予め設定した値以下の場合に前記誘電体バリア
放電ランプに印加される電圧を自動的に遮断する手段を
設けた誘電体バリア放電ランプ装置のランプ点灯検出装
置である。
で、高信頼の誘電体バリア放電ランプ装置を得ることが
できるという効果を有する。
項1または請求項2の発明において、前記誘電体バリア
放電ランプから放射される200nm以上の波長の光を
検出する検出手段を、シリコンフォトダイオード、PI
Nシリコンフォトダイオード、GaAsPフォトダイオ
ード等のフォトダイオードで構成したものである。
明と同様な利点を有するのに加えて、 (4)波長200nmから波長700nmの領域の光を
効率よく検知でき、かつ、検出器が小型になるという効
果を有する。
項1、請求項2または請求項3のいずれかの発明におい
て、内面に形成され、外部と連通する窪み部を有するラ
ンプ冷却部材と、該ランプ冷却部材の内面と対面する前
記エキシマ分子から放射される光を取り出す光取り出し
窓部とを有するランプハウス内に、前記誘電体バリア放
電ランプの外側管の外壁の一部が前記ランプ冷却部材の
窪み部に接触するように、前記誘電体バリア放電ランプ
を設置し、窓部を有し前記200nm以上の波長の光を
検出する検出手段を、前記窪み部の外部連通口に設け、
前記検出手段の光軸と前記誘電体バリア放電ランプの中
心軸とが直交しているように構成したので、請求項1、
請求項2、または請求項3のいずれかの発明と同様な利
点を有するのに加えて以下の効果を有する。
電ランプの影に入るので、一般照明用の可視光等の影響
を受けにくく、したがって、前記誘電体バリア放電ラン
プの点灯状態の確認を高信頼で行うことができるという
効果を有する。
項4の発明において、前記誘電体バリア放電ランプの内
側電極の半径をR、前記検出手段の窓部と前記内側電極
の最短距離をLとしたとき、前記検出手段の窓部から前
記誘電体バリア放電ランプを見込む立体角がπR2 /L
2 以下であるようにしたので、請求項4の発明と同様な
効果を有するのに加えて以下の効果を有する。
しない前記内側電極の影に入るので、一般照明用の可視
光等の影響をさらに受けにくく、したがって、前記誘電
体バリア放電ランプの点灯状態の確認をさらに高信頼で
行うことができるという効果を有する。
実施例の説明図である。
施例の説明図である。
実施例の説明図である。
説明するためのグラフである。
Claims (5)
- 【請求項1】 外形が概略円筒状である外側管と内側管
とを同軸に配置して、該両管の間に両端が閉じられた中
空円筒状の放電空間を形成した放電容器に、 誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電
用ガスが充填され、 前記内側管の内壁の少なくとも一部に金属からなる内側
電極が設けられ、 前記外側管の外壁の少なくとも一部は、前記エキシマ分
子から放射される光に対して光透過性であって、かつ、
前記誘電体バリア放電の誘電体を兼ねており、 前記エキシマ分子から放射される光に対して光透過性で
ある誘電体の少なくとも一部に導電性網状電極が設けら
れた誘電体バリア放電ランプと、 前記誘電体バリア放電を行うための電源とからなる誘電
体バリア放電ランプ装置において、 前記誘電体バリア放電ランプから放射される200nm
以上の波長の光を検出する検出手段と、 予め設定した値と前記検出手段で検出した200nm以
上の波長の光の強度の値とを比較する比較手段と、 前記検出手段で検出した200nm以上の波長の光の強
度が予め設定した値以下の場合にその状態を表示する表
示手段を設けたことを特徴とする誘電体バリア放電ラン
プ装置。 - 【請求項2】 外形が概略円筒状である外側管と内側管
とを同軸に配置することによって形成した中空円筒状の
放電空間を有する放電容器に、 誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電
用ガスが充填され、 前記内側管の外壁の少なくとも一部に金属からなる内側
電極が設けられ、 前記外側管の外壁の少なくとも一部は、前記エキシマ分
子から放射される光に対して光透過性であって、かつ、
前記誘電体バリア放電の誘電体を兼ねており、 前記エキシマ分子から放射される光に対して光透過性で
ある誘電体の少なくとも一部に導電性網状電極が設けら
れた誘電体バリア放電ランプと、 前記誘電体バリア放電を行うための電源とからなる誘電
体バリア放電ランプ装置において、 前記誘電体バリア放電ランプから放射される200nm
以上の波長の光を検出する検出手段と、 予め設定した値と前記検出手段で検出した200nm以
上の波長の光の強度の値とを比較する比較手段と、 前記検出手段で検出した200nm以上の波長の光の強
度が予め設定した値以下の場合に前記誘電体バリア放電
ランプに印加される電圧を自動的に遮断する手段を設け
たことを特徴とする誘電体バリア放電ランプ装置。 - 【請求項3】 前記誘電体バリア放電ランプから放射さ
れる200nm以上の波長の光を検出する検出手段がフ
ォトダイオードであることを特徴とする請求項1もしく
は請求項2に記載の誘電体バリア放電ランプ装置。 - 【請求項4】内面に形成され、外部と連通する窪み部を
有するランプ冷却部材と、該ランプ冷却部材の内面と対
面する前記エキシマ分子から放射される光を取り出す光
取り出し窓部とを有するランプハウス内に、 前記誘電体バリア放電ランプの外側管の外壁の一部が前
記ランプ冷却部材の窪み部に接触するように、前記誘電
体バリア放電ランプを設置し、 窓部を有し前記200nm以上の波長の光を検出する検
出手段を、前記窪み部の外部連通口に設け、 前記検出手段の光軸と前記誘電体バリア放電ランプの中
心軸とが直交していることを特徴とした請求項1、請求
項2または請求項3のいずれかに記載の誘電体バリア放
電ランプ装置。 - 【請求項5】 前記誘電体バリア放電ランプの内側電極
の半径をR、前記検出手段の窓部と前記内側電極の最短
距離をLとしたとき、前記検出手段の窓部から前記誘電
体バリア放電ランプを見込む立体角がπR2 /L2 以下
であることを特徴とした請求項4に記載の誘電体バリア
放電ランプ装置。
Priority Applications (1)
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JP25020094A JP2836058B2 (ja) | 1994-09-20 | 1994-09-20 | 誘電体バリア放電ランプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP25020094A JP2836058B2 (ja) | 1994-09-20 | 1994-09-20 | 誘電体バリア放電ランプ装置 |
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ID=17204319
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JP25020094A Expired - Lifetime JP2836058B2 (ja) | 1994-09-20 | 1994-09-20 | 誘電体バリア放電ランプ装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007173247A (ja) * | 2006-12-27 | 2007-07-05 | Toshiba Corp | 紫外線発生装置 |
JP2009238880A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Ushio Inc | 紫外線照射処理方法および紫外線照射処理装置 |
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CN100524606C (zh) * | 2004-04-07 | 2009-08-05 | 株式会社杰士汤浅 | 电介质屏障放电灯 |
JP4561448B2 (ja) * | 2004-04-07 | 2010-10-13 | 株式会社Gsユアサ | 誘電体バリア放電ランプ及び紫外線照射装置 |
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-
1994
- 1994-09-20 JP JP25020094A patent/JP2836058B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2009238880A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Ushio Inc | 紫外線照射処理方法および紫外線照射処理装置 |
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JPH0896769A (ja) | 1996-04-12 |
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