JP2835874B2 - Ring laser gyro device - Google Patents
Ring laser gyro deviceInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、例えば航空機の慣性航行装置等に角速度検
出器として使用されるリングレーザジャイロ装置に関す
る。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a ring laser gyro device used as an angular velocity detector in, for example, an inertial navigation device of an aircraft.
［従来の技術］ 航空機等の慣性航行装置としては従来の機械的なジャ
イロスコープに代わって、大きさ及び製造コストの点で
有利なリングレーザジャイロ装置の開発が進められてい
る。[Related Art] As an inertial navigation device for an aircraft or the like, development of a ring laser gyro device that is advantageous in terms of size and manufacturing cost has been advanced instead of a conventional mechanical gyroscope.
第７図は特開平２−122681合公報で開示されているレ
ーザとしてレーザダイオードを使用する従来の半導体リ
ングレーザ装置を示し、この第７図において、（１）は
レーザダイオード、（２）は埋め込み構造の導波管領域
であり、PN接合面は第７図の紙面に平行である。このレ
ーザダイオード（１）には可変抵抗器（３）を介して可
変電圧源（４）より電力が供給されている。（５）は光
ファイバを１回巻回した光ファイバループを示し、この
光ファイバループ（５）の一端部（5a）及び他端部（5
b）が夫々そのレーザダイオード（１）の一方の壁開面
（5a）及び他方の壁開面（5b）に結合されている。FIG. 7 shows a conventional semiconductor ring laser device using a laser diode as a laser disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-122681. In FIG. 7, (1) shows a laser diode, and (2) shows an embedded device. This is the waveguide region of the structure, and the PN junction plane is parallel to the plane of FIG. The laser diode (1) is supplied with power from a variable voltage source (4) via a variable resistor (3). (5) shows an optical fiber loop in which an optical fiber is wound once, and one end (5a) and the other end (5a) of the optical fiber loop (5).
b) are respectively coupled to one open face (5a) and the other open face (5b) of the laser diode (1).
この場合、そのレーザダイオード（１）の導波管領域
（２）がそれら壁開面（5a）及び（5b）となす角度θ
は、そのレーザダイオード（１）と光ファイバループ
（５）の光ファイバとの間のブリュースタ角をθＢとす
ると、 ０＜θ≦θＢ ‥‥（１） を充足するように設定され、且つそのレーザダイオード
（１）の壁開面（5a）及び（5b）には反射防止被膜が被
覆されている。In this case, the angle θ between the waveguide region (2) of the laser diode (1) and the wall open surfaces (5a) and (5b)
Is set to satisfy 0 <θ ≦ θ B １ (1), where Brewster angle between the laser diode (1) and the optical fiber of the optical fiber loop (5) is θ B , In addition, the laser diode (1) has an antireflection coating on the open surfaces (5a) and (5b).
また、その光ファイバループ（５）の他端側には方向
性カップラ（６）が形成され、この方向性カップラ
（６）から２本の光ファイバ（７）及び（８）が分岐し
て、これら光ファイバ（７）及び（８）の出力端が夫々
読み取り装置（９）に導かれている。その光ファイバル
ープ（５）の中には時計方向CWに進行するレーザ光と反
時計方向CCWに進行するレーザ光とが混在しており。そ
の方向性カップラ（６）においてその時計方向に進行す
るレーザ光の一部（例えば数％）を一方のファイバ
（７）側へ取り込み、反時計方向に進行するレーザ光の
一部を他方の光ファイバ（８）側へ取り込み、それらを
取り込んだ２種類のレーザ光を読み取り装置（９）の内
部で混合して光電変換すると、それら２種類のレーザ光
のビート信号が得られる。A directional coupler (6) is formed at the other end of the optical fiber loop (5), and two optical fibers (7) and (8) are branched from the directional coupler (6). The output ends of these optical fibers (7) and (8) are respectively led to a reading device (9). In the optical fiber loop (5), a laser beam traveling clockwise CW and a laser beam traveling counterclockwise CCW are mixed. In the directional coupler (6), a part (for example, several percent) of the laser light traveling clockwise is taken into one fiber (7), and a part of the laser light traveling counterclockwise is converted into the other light. When the two types of laser light, which are captured by the fiber (8), are mixed and photoelectrically converted in the reading device (9), beat signals of the two types of laser light are obtained.
その光ファイバループ（５）が一方向に回転すると、
例えば時計方向に進行するレーザ光の周波数が増加する
のに対して反時計方向に進行するレーザ光の周波数が減
少するので、その読み取り装置（９）内で得られるビー
ト信号の周波数は大きくなる。従って、このビート信号
の周波数を検出することによりその光ファイバループ
（５）の回転角速度を検出することができる。When the optical fiber loop (5) rotates in one direction,
For example, while the frequency of the laser beam traveling in the clockwise direction increases while the frequency of the laser beam traveling in the counterclockwise direction decreases, the frequency of the beat signal obtained in the reader (9) increases. Therefore, by detecting the frequency of the beat signal, the rotation angular velocity of the optical fiber loop (5) can be detected.
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、光ファイバのループをレーザダイオー
ドの光学共振器として用いた場合には、光ファイバ内の
レーリー散乱によりリングレーザジャイロ装置に特有の
ロックイン現象が顕著に発生する不都合がある。ロック
イン現象とは、回転角速度が０に近い領域で上記のビー
ト信号が消失し回転角速度が検出できなくなる現象をい
う。[Problems to be Solved by the Invention] However, when a loop of an optical fiber is used as an optical resonator of a laser diode, a lock-in phenomenon peculiar to a ring laser gyro device occurs remarkably due to Rayleigh scattering in the optical fiber. There is inconvenience to do. The lock-in phenomenon refers to a phenomenon in which the beat signal disappears in a region where the rotational angular velocity is close to 0, and the rotational angular velocity cannot be detected.
さらに、光ファイバは曲げ半径を小さくすると伝送損
失が増加するため、光ファイバループ（５）の半径は或
る程度より小さくすることができないため、リングレー
ザ装置をより小型化することができない不都合がある。Further, since the transmission loss increases when the bending radius of the optical fiber is reduced, the radius of the optical fiber loop (5) cannot be reduced to a certain degree, so that the ring laser device cannot be downsized. is there.
本発明は斯かる点に鑑み、ロックイン現象が発生しに
くいと共により装置全体を小型化できるリングレーザジ
ャイロ装置を提供することを目的とする。In view of the above, an object of the present invention is to provide a ring laser gyro device in which a lock-in phenomenon is less likely to occur and the entire device can be further reduced in size.
［課題を解決するための手段］ 本発明によるリングレーザジャイロ装置は、例えば、
第１図に示すように、環状の光路を形成するように配置
された第１及び第２のミラー（14a）（15a）と合波用ミ
ラー（18）と、該合波用ミラーの背後に配置された第３
のミラー（16a）及び受光素子（22）と、上記光路に沿
って配置された発光素子（19）と、を有し、上記第１及
び第２のミラーと合波ミラーによって上記発光素子の出
力光のための光学共振器が構成され、上記合波用ミラー
と上記第３のミラーとによって上記光路に沿って伝播す
る時計方向周りの光と反時計方向周りの光の干渉光が形
成され、該干渉光が上記受光素子によって検出されるよ
うに構成されたリングレーザジャイロ装置において、 上記第１、第２及び第３のミラー（14a）（15a）（16
a）は基板（12）の上面を削り取ることによって基板に
形成された凹部の壁面によって構成されていることを特
徴とするものである。[Means for Solving the Problems] A ring laser gyro device according to the present invention includes, for example,
As shown in FIG. 1, first and second mirrors (14a) (15a) and a multiplexing mirror (18) arranged to form an annular optical path, and a mirror behind the multiplexing mirror 3rd placed
And a light-emitting element (19) arranged along the optical path, and the output of the light-emitting element by the first and second mirrors and the multiplexing mirror. An optical resonator for light is formed, and the combining mirror and the third mirror form interference light of clockwise rotation light and counterclockwise rotation light propagating along the optical path, In the ring laser gyro device configured so that the interference light is detected by the light receiving element, the first, second, and third mirrors (14a), (15a), (16)
a) is characterized in that the upper surface of the substrate (12) is formed by shaving the upper surface of the substrate (12) to form a wall surface of a concave portion formed in the substrate.
［作用］ 斯かる本発明によれば、その第１のミラー（14a）と
第２のミラー（15a）と合波用ミラー（18）とでその発
光素子（19）の出力光の共学共振器が構成され、この光
学共振器の中に一方向に回る光と他方向に回る光とが混
在する。そして、例えばその一方向に回る光の一部がそ
の合波用ミラー（18）を透過する。一方、その他方向に
回る光の一部がその合波用ミラー（18）から例えばその
第３のミラー（16a）を介して再びその合波用ミラー（1
8）に戻り、その合波用ミラー（18）で反射される。従
って、その一方向に回る光の一部と他方向に回る光の一
部とが混合されてその受光素子（22）に供給されるの
で、その受光素子（22）からはその一方向に回る光の一
部と他方向に回る光の一部とのビート信号が得られる。[Operation] According to the present invention, the first mirror (14a), the second mirror (15a), and the multiplexing mirror (18) use the symmetry resonator of the output light of the light emitting element (19). Are formed, and the light turning in one direction and the light turning in the other direction are mixed in the optical resonator. Then, for example, a part of the light turning in one direction passes through the multiplexing mirror (18). On the other hand, a part of the light traveling in the other direction is again returned from the multiplexing mirror (18) via the third mirror (16a) to the multiplexing mirror (1).
Returning to 8), the light is reflected by the multiplexing mirror (18). Accordingly, a part of the light traveling in one direction and a part of the light traveling in the other direction are mixed and supplied to the light receiving element (22), and the light traveling from the light receiving element (22) in one direction. A beat signal of a part of the light and a part of the light turning in the other direction is obtained.
このビート信号の周波数はその光学共振器の回転角速
度の関数となるので、そのビート信号の周波数よりその
光学共振器の回転角速度を検出することができる。Since the frequency of the beat signal is a function of the angular velocity of the optical resonator, the angular velocity of the optical resonator can be detected from the frequency of the beat signal.
さらに、一般にその光学共振器の長さはその発光素子
（19），（38）の波長の整数倍のときに最も効率が良好
である。基板（12）は温度制御素子（11）を介して放熱
板（10）に取り付けられているから、受光素子（22）の
受光レベルが所定レベルになるようにその基板（12）を
膨張又は収縮させることにより、その光学共振器の共振
の程度を所望の程度に設定することができる。さらに、
受光素子（22）の検出出力の直流レベルが最大になるよ
うにその温度制御素子（11）を制御し、基板（12）を膨
張又は収縮させるようにした場合には、その光学共振器
の長さをその発光素子の波長の整数倍に維持することが
できる。Further, in general, the efficiency is best when the length of the optical resonator is an integral multiple of the wavelength of the light emitting elements (19) and (38). Since the substrate (12) is attached to the heat radiating plate (10) via the temperature control element (11), the substrate (12) expands or contracts so that the light receiving level of the light receiving element (22) becomes a predetermined level. By doing so, the degree of resonance of the optical resonator can be set to a desired degree. further,
When the temperature control element (11) is controlled so that the DC level of the detection output of the light receiving element (22) is maximized and the substrate (12) is expanded or contracted, the length of the optical resonator is adjusted. Can be maintained at an integral multiple of the wavelength of the light emitting element.
［実施例］ 以下、本発明によるリングレーザジャイロ装置の一実
施例につき第１図〜第５図を参照して説明しよう。本例
は発光素子としてレーザダイオードを使用する半導体リ
ングレーザジャイロ装置に本発明を適用したものであ
る。Embodiment An embodiment of a ring laser gyro device according to the present invention will be described below with reference to FIGS. In this embodiment, the present invention is applied to a semiconductor ring laser gyro device using a laser diode as a light emitting element.
第１図は本例のリングレーザジャイロ装置を示し、こ
の第１図において、（10）は正方形の板状の放熱板、
（11）はそれより小さい正方形の板状のペルチェ素子、
（12）はシリコン基板よりなるジャイロ基板であり、そ
の放熱板（10）の上にそのペルチェ素子（11）を介して
そのジャイロ基板（12）を固定する。このジャイロ基板
（12）の形状は一辺の長さＷが3cm程度の正方形であ
り、その厚さＴは1mm程度である。FIG. 1 shows a ring laser gyro device of the present embodiment. In FIG. 1, (10) is a square plate-shaped heat sink,
(11) is a smaller square plate-shaped Peltier element,
(12) is a gyro substrate made of a silicon substrate, and the gyro substrate (12) is fixed on the heat radiating plate (10) via the Peltier element (11). The shape of the gyro substrate (12) is a square having a side length W of about 3 cm and a thickness T of about 1 mm.
（13）は凸状の保護カバーを示し、この保護カバー
（13）をその放熱板（10）上にそれらペルチェ素子（1
1）及びジャイロ基板（12）を覆うように載置して固定
することにより、それらペルチェ素子（11）及びジャイ
ロ基板（10）を密封する。その保護カバー（13）の内部
は真空にするか、又はヘリウム等の不活性ガスを充填す
る。これによりその保護カバー（13）の内部のレーザ光
のゆらぎが防止されると共に、そのジャイロ基板（12）
が外気から遮断されて温度調整が容易になる。(13) denotes a convex protective cover, and the protective cover (13) is placed on the heat radiating plate (10) by the Peltier element (1).
The Peltier element (11) and the gyro substrate (10) are hermetically sealed by mounting and fixing the gyro substrate (1) and the gyro substrate (12). The inside of the protective cover (13) is evacuated or filled with an inert gas such as helium. This prevents the laser light from fluctuating inside the protective cover (13) and prevents the gyro substrate (12)
Is cut off from the outside air to facilitate temperature adjustment.
そのジャイロ基板（12）の表面には、３箇所のミラー
形成部（14），（15）及び（16）を除いてエッチングに
より深さｄまで削り取ることにより光学共振器面（17）
を形成する。その深さｄは100μｍ程度である。また、
それらミラー形成部（14），（15）及び（16）の夫々の
深さｄの壁の部分に金属（例えば金，銅等）をコーティ
ング（例えばスパッタリングにより）することによりミ
ラー面（14a），（15a）及び（16a）を形成する。これ
らの面（14a）〜（16a）は夫々そのジャイロ基板（12）
の中央部に対面するようにしておく。On the surface of the gyro substrate (12), the optical resonator surface (17) is etched away to a depth d except for the three mirror forming portions (14), (15) and (16).
To form The depth d is about 100 μm. Also,
Each of the mirror forming portions (14), (15), and (16) is coated (eg, by sputtering) with a metal (eg, gold, copper, etc.) on a wall portion having a depth d, so that the mirror surface (14a), (15a) and (16a) are formed. These planes (14a) to (16a) correspond to the gyro substrate (12), respectively.
So that it faces the center.
これらのミラー面はエッチングにより形成されている
ので面は通常のミラーに比べて粗いが、一般にレーザダ
イオードは反射率が40％程度もあれば発振するので、そ
れらのミラー面（14a）〜（16a）は多少粗くとも差し支
えない。従って、これらのミラー面（14a）〜（16a）に
は必ずしも金属をコーティングすることなく、シリコン
基板の地肌のままでもよい。なお、そのミラー面（14
a）〜（16a）の粗さをできるだけ良好にするにはエッチ
ングとしてウェットエッチ又はイオンビームエッチ等を
用いるとよい。また、金属をコーティングする場合に
は、ミラー面だけでなくその周囲の部分を含めて同時に
金属をコーティングすると作業性がよい利益がある。Since these mirror surfaces are formed by etching, the surfaces are rougher than those of ordinary mirrors. However, since laser diodes generally oscillate if the reflectivity is about 40%, the mirror surfaces (14a) to (16a) ) May be slightly rough. Therefore, these mirror surfaces (14a) to (16a) do not necessarily have to be coated with metal, and may be left as they are of the silicon substrate. The mirror surface (14
In order to make the roughness of a) to (16a) as good as possible, wet etching or ion beam etching may be used as the etching. Further, in the case of coating a metal, it is advantageous that workability is good if the metal is simultaneously coated not only on the mirror surface but also on the periphery thereof.
それらミラー面で囲まれた光学共振器面（17）上のミ
ラー面（16a）の近傍の略矩形の領域（17a）がモジュー
ル領域、（18）は若干の光透過性を有する合波ミラーで
あり、この合波ミラー（18）の反射面（18a）は反射率
が90％を超えると共に、数％〜0.5％程度の透過率を有
するようにする。そして、そのモジュール領域（17）ａ
上にその合波ミラー（18）を固定して、第１のミラー面
（14a）と第２のミラー面（15a）とその合波ミラー（1
8）の反射面（18a）とが光学共振器を構成するようにそ
の反射面（18a）の角度を調整する。即ち、それらミラ
ー面（14a）及び（15a）並びにその合波用ミラー（18）
の反射面（18a）で夫々反射するレーザビームが１個の
閉じた３角形の光路（光学共振器の光路）LBを形成する
ようにする。このレーザビームは後述のレーザダイオー
ド（19）と３角形の光路で形成される光学共振器とで生
成されるものである。A substantially rectangular region (17a) near the mirror surface (16a) on the optical resonator surface (17) surrounded by the mirror surfaces is a module region, and (18) is a multiplexing mirror having a slight light transmittance. The reflecting surface (18a) of the multiplexing mirror (18) has a reflectance of more than 90% and a transmittance of several percent to 0.5%. Then, the module area (17) a
The multiplexing mirror (18) is fixed on the first mirror surface (14a), the second mirror surface (15a), and the multiplexing mirror (1).
The angle of the reflecting surface (18a) is adjusted so that the reflecting surface (18a) of (8) forms an optical resonator. That is, the mirror surfaces (14a) and (15a) and the multiplexing mirror (18)
The laser beams respectively reflected by the reflecting surfaces (18a) form one closed triangular optical path (optical path of the optical resonator) LB. This laser beam is generated by a later-described laser diode (19) and an optical resonator formed by a triangular optical path.
（19）は両端面に反射防止膜が形成されたレーザダイ
オード、（20）はイットリウム鉄ガーネット（YIG）結
晶等よりなるファラデー素子、（21）はコイル、（22）
はフォトダイオードよりなる受光素子であり、第２のミ
ラー面（15a）と反射面（18a）との間のそのモジュール
領域（17a）上でその光学共振器の光路LBと光軸が一致
するようにレーザダイオード（19）を固定する。レーザ
ダイオード（19）の両端面に反射防止膜を形成するの
は、そのレーザダイオード（19）の内部反射を防止して
レーザダイオードが単体で光学共振器を構成するのを防
止するためである。(19) is a laser diode having antireflection films formed on both end surfaces, (20) is a Faraday element made of yttrium iron garnet (YIG) crystal, etc., (21) is a coil, (22)
Is a light receiving element composed of a photodiode such that the optical path LB of the optical resonator coincides with the optical axis on the module area (17a) between the second mirror surface (15a) and the reflection surface (18a). The laser diode (19) is fixed to. The antireflection films are formed on both end faces of the laser diode (19) in order to prevent internal reflection of the laser diode (19) and prevent the laser diode from forming an optical resonator by itself.
また、そのレーザダイオード（19）の光軸の延長上で
且つその合波ミラー（18）の反射面（18a）と反対側の
面に向かうようにその受光素子（22）を形成する。本例
のジャイロ基板（12）はシリコン基板であるので、その
受光素子（22）はそのジャイロ基板（12）と一体的に形
成することができる。そのレーザダイオード（19）には
図示省略した自動パワー制御回路より電流を供給し、例
えばその受光素子（22）の出力の直流レベルの最大値が
所定範囲に収まるようにその電流を制御する。Further, the light receiving element (22) is formed on the extension of the optical axis of the laser diode (19) and toward the surface opposite to the reflection surface (18a) of the multiplexing mirror (18). Since the gyro substrate (12) of this example is a silicon substrate, the light receiving element (22) can be formed integrally with the gyro substrate (12). A current is supplied to the laser diode (19) from an automatic power control circuit (not shown), and the current is controlled so that the maximum value of the DC level of the output of the light receiving element (22) falls within a predetermined range.
また、その第１のミラー面（14a）と反射面（18a）と
の間のそのモジュール領域（17a）上でその光学共振器
の光路LBと光軸が一致するようにファラデー素子（20）
を固定して、そのファラデー素子（20）の近くにそのフ
ァラデー素子（20）の光軸方向に磁界を付与するための
コイル（21）を取り付ける。通常ファラデー素子は入力
光を90゜旋光させるために使用されるが、本例のファラ
デー素子（20）は内部を通過するレーザビームを数度程
度旋光させるだけで充分であるため、そのファラデー素
子（20）の光軸方向の長さは1mmて程度もあればよい。Further, the Faraday element (20) such that the optical path LB of the optical resonator coincides with the optical axis on the module area (17a) between the first mirror surface (14a) and the reflection surface (18a).
Is fixed, and a coil (21) for applying a magnetic field in the optical axis direction of the Faraday element (20) is attached near the Faraday element (20). Normally, the Faraday element is used to rotate the input light by 90 °, but the Faraday element (20) in this example is sufficient to rotate the laser beam passing therethrough by several degrees, so that the Faraday element (20) is used. 20) The length in the optical axis direction may be about 1 mm.
第２図を参照して本例のジャイロ基板（12）上のミラ
ー面（14a）〜（16a）等の位置関係につき説明するに、
第１のミラー面（14a）と第２のミラー面（15a）とのな
す角度をβ１、第２のミラー面（15a）と第３のミラー
面（16a）とのなす角度をβ５として、ミラー面（14
a），（15a）及び合波ミラー（18）の反射面（18a）に
対する光学共振器の光路LBに沿うレーザビームの入射角
を夫々β3,β２及びβ４とする。With reference to FIG. 2, the positional relationship of the mirror surfaces (14a) to (16a) on the gyro substrate (12) of this example will be described.
The angle between the first mirror surface (14a) and the second mirror surface (15a) is β1, and the angle between the second mirror surface (15a) and the third mirror surface (16a) is β5. Surface (14
The incident angles of the laser beam along the optical path LB of the optical resonator with respect to the reflecting surface (18a) of the a), (15a) and the multiplexing mirror (18) are denoted by β3, β2 and β4, respectively.
この場合、先ず次の関係式が成立する。 In this case, the following relational expression is first satisfied.
２（β２＋β３＋β４）＝180゜ ‥‥（２） 同様にβ１＋（90゜−β２）＋（90゜−β３）＝180
゜が成立しているので、次の関係式が成立する。2 (β2 + β3 + β4) = 180 ° (2) Similarly, β1 + (90 ° −β2) + (90 ° −β3) = 180
Since ゜ holds, the following relational expression holds.
β１＝β２＋β３ ‥‥（３） また、その光学共振器の光路LBの中には時計方向CWに
進行するレーザビームと反時計方向CCWに進行するレー
ザビームとが混在しているが、その内の反時計方向に進
行するレーザビームのその合波ミラー（18）の反射面
（18a）上の点P1で透過する成分を受光素子（22）の受
光面上の点P2に照射させると共に、時計方向に進行する
レーザビームのその反射面（18a）上の点P1で透過する
成分をその第３のミラー面（16a）の点P3に垂直に入射
させるものとする。β1 = β2 + β3 (3) In the optical path LB of the optical resonator, a laser beam traveling in the clockwise direction CW and a laser beam traveling in the counterclockwise direction CCW are mixed. The component of the laser beam traveling in the counterclockwise direction that passes through the point P1 on the reflecting surface (18a) of the multiplexing mirror (18) is radiated to the point P2 on the light receiving surface of the light receiving element (22), and the clockwise direction. The component of the laser beam traveling at point P1 on the reflection surface (18a) of the laser beam that travels toward the third mirror surface (16a) is vertically incident on the point P3.
この場合、その反射面（18a）の反射率は90％以上で
あるのでその第３のミラー面（16a）の点P3で反射され
たレーザビームはその反射面（18a）の点P1で大部分が
反射されてその受光素子（22）の点P2に進む。従って、
この受光素子（22）の点P2において、その光学共振器の
光路LB中を時計方向に進行するレーザビームの一部と反
時計方向に進行するレーザビームの一部とが混合され、
その受光素子（22）で干渉信号であるビート信号が検出
される。In this case, since the reflectance of the reflecting surface (18a) is 90% or more, the laser beam reflected at the point P3 of the third mirror surface (16a) is mostly reflected at the point P1 of the reflecting surface (18a). Is reflected and proceeds to a point P2 of the light receiving element (22). Therefore,
At point P2 of the light receiving element (22), a part of the laser beam traveling clockwise and a part of the laser beam traveling counterclockwise in the optical path LB of the optical resonator are mixed,
A beat signal, which is an interference signal, is detected by the light receiving element (22).
また、その第３のミラー面（16a）に対してレーザビ
ームが垂直に入射することから、角度β５に関して次式
が成立する。In addition, since the laser beam is perpendicularly incident on the third mirror surface (16a), the following expression is satisfied with respect to the angle β5.
β５＋90゜＋２β３＋90゜＋β２＝360゜ ‥‥（４） 上述のように角度β１〜β５の間には３個の条件式が
存在するので、それらの角度β１〜β５の内で任意に設
定できるのは２個であり、残りの３個の角度は条件式
（２）〜（４）に基づいて決定される。また、最も単純
な角度β１〜β５の決定方法はその光学共振器の３角形
の光路LBを正３角形の光路にすることであるが、この場
合にはβ１は60゜，β２〜β４は夫々30゜，β５は90゜
になる。β5 + 90 ° + 2β3 + 90 ° + β2 = 360 ° (4) As described above, there are three conditional expressions between the angles β1 and β5. There are two, and the remaining three angles are determined based on conditional expressions (2) to (4). The simplest method of determining the angles β1 to β5 is to make the triangular optical path LB of the optical resonator a regular triangular optical path. In this case, β1 is 60 ° and β2 to β4 are respectively. 30 ° and β5 become 90 °.
第３図は本例の信号処理回路の構成を示し、この第３
図において、（23）は電流−電圧変換回路を示し、受光
素子（22）の検出電流をこの電流−電圧変換回路（23）
を介してビート信号S1に変換する。このビート信号S1は
光学共振器中を時計方向に進行するレーザビームと反時
計方向に進行するレーザビームとの干渉信号（第４図
Ａ）であり、このビート信号S1を低域通過フィルタ回路
（24）及び波形整形回路（25）に供給する。低域通過フ
ィルタ回路（24）においてはそのビート信号S1の略直流
レベルに対応するレベル信号S2（第４図Ｂ）が生成さ
れ、このレベル信号S2を波形整形回路（25）及びペルチ
ェ素子用のドライブ回路（26）に供給する。FIG. 3 shows the configuration of the signal processing circuit of the present example.
In the figure, (23) indicates a current-voltage conversion circuit, and the detection current of the light receiving element (22) is converted to the current-voltage conversion circuit (23)
To a beat signal S1 via The beat signal S1 is an interference signal (FIG. 4A) between the laser beam traveling in the clock direction and the laser beam traveling in the counterclockwise direction in the optical resonator. 24) and the waveform shaping circuit (25). In the low-pass filter circuit (24), a level signal S2 (FIG. 4B) corresponding to a substantially DC level of the beat signal S1 is generated, and this level signal S2 is converted to a waveform shaping circuit (25) and a Peltier element. Supply to drive circuit (26).
ドライブ回路（26）はそのレベル信号S2が最大になる
ようにペルチェ素子（11）を駆動する。リング状の光学
共振器は閉じた光路の長さ（厳密には更に光路の屈折率
を乗じた値）がレーザ光の波長λの整数倍であるときに
最も出力が大きくなり動作が安定するが、何等温度制御
を行わないときにはその光路の長さはジャイロ基板（1
2）の光学共振器面（17）の膨張又は収縮等により変化
してその出力反安定しにくい。また、そのビート信号S1
の直流レベルは本例の光学共振器中のレーザビームの強
度に比例するとみなせるので、本例ではビート信号S1の
直流レベルが最大になるようにそのジャイロ基板（12）
の伸縮率を制御することにより、常に光学共振器の出力
が最大になるようにしている。The drive circuit (26) drives the Peltier element (11) so that the level signal S2 is maximized. The ring-shaped optical resonator has the largest output and operates stably when the length of the closed optical path (strictly, the value obtained by multiplying the refractive index of the optical path further) is an integral multiple of the wavelength λ of the laser light. When no temperature control is performed, the length of the optical path is the gyro substrate (1
The output changes due to expansion or contraction of the optical resonator surface (17) of 2), and its output is hard to be unstable. Also, the beat signal S1
Can be considered to be proportional to the intensity of the laser beam in the optical resonator of this embodiment, so that in this embodiment the gyro substrate (12) is used so that the DC level of the beat signal S1 is maximized.
By controlling the expansion / contraction ratio of the optical resonator, the output of the optical resonator is always maximized.
波形整形回路（25）はそのビート信号S1をレベル信号
S2でスライスして２値化したデジタルのビート信号S3
（第４図Ｃ）を生成し、このビート信号S3をデータセレ
クタ（27）の入力部に供給する。（28）はアップダウン
カウンタを示し、そのデータセレクタ（27）の一方の出
力部及び他方の出力部を夫々そのカウンタ（28）のアッ
プ計数端子及びダウン計数端子に接続し、このカウンタ
（28）の計数出力をラッチ回路（29）を介して中央処理
ユニット（以下「CPU」と称する）（30）に供給する。The waveform shaping circuit (25) converts the beat signal S1 to a level signal
Digital beat signal S3 sliced by S2 and binarized
(FIG. 4C) and supplies the beat signal S3 to the input of the data selector (27). Reference numeral (28) denotes an up / down counter. One output unit and the other output unit of the data selector (27) are connected to an up counting terminal and a down counting terminal of the counter (28), respectively. Is supplied to a central processing unit (hereinafter referred to as “CPU”) (30) via a latch circuit (29).
（31）は所定周波数の矩形波の切り替え信号S4（第４
図Ｄ）を発生する発振回路を示し、この切り替え信号S4
の周波数は例えば100Hz〜1kHz程度に設定する。この切
り替え信号S4をデータセレクタ（27）の切り替え端子、
ラッチ回路（29）のクロック端子、CPU（30）及びコイ
ル用のドライブ回路（32）に供給する。そのデータセレ
クタ（27）はその切り替え信号S4がハイレベル“1"であ
るときに、ビート信号S3をアップパルスSU（第４図Ｅ）
としてカウンタ（28）のアップ計数端子に供給し、その
切り替え信号S4がローレベル“0"であるときにそのビー
ト信号S3をダウンパルスSD（第４図Ｆ）としてそのカウ
ンタ（28）のダウン計数端子に供給する。(31) is a rectangular-wave switching signal S4 (fourth
FIG. D) shows an oscillation circuit for generating the switching signal S4.
Is set to, for example, about 100 Hz to 1 kHz. This switching signal S4 is used as a switching terminal of the data selector (27),
It is supplied to the clock terminal of the latch circuit (29), the CPU (30), and the coil drive circuit (32). When the switching signal S4 is at the high level "1", the data selector (27) changes the beat signal S3 to the up pulse SU (FIG. 4E).
To the up-counting terminal of the counter (28), and when the switching signal S4 is at a low level "0", the beat signal S3 is used as a down pulse SD (FIG. 4F) to count down the counter (28). Supply to terminal.
また、ラッチ回路（29）はその切り替え信号S4の各立
ち上がりの時点におけるカウンタ（28）の計数値C1を保
持し、ドライブ回路（32）はコイル（21）にその切り替
え信号S4に応じた電流を供給する。これにより、そのコ
イル（21）の近傍のファラデー素子（20）の内部にはそ
の切り替え信号S4がハイレベル“1"のときには例えば光
学共振器の時計方向の磁界が加えられ、その切り替え信
号S4がローレベル“0"のときにはその光学共振器の反時
計方向の磁界が加えられる。そのファラデー素子（20）
の内部に光学共振器の時計方向の磁界が加えられると、
その時計方向に進行するレーザビームの位相が変化し、
光学共振器の反時計方向の磁界が加えられると、その反
時計方向に進行するレーザビームの位相が変化する。従
って、その交流磁界が加えられたファラデー素子（20）
により受光素子（22）で検出されるビート信号S1の周波
数は第４図Ａに示すようにその切り替え信号S4の周期で
変化する。The latch circuit (29) holds the count value C1 of the counter (28) at the time of each rising of the switching signal S4, and the drive circuit (32) supplies a current corresponding to the switching signal S4 to the coil (21). Supply. Thereby, when the switching signal S4 is at the high level "1" inside the Faraday element (20) near the coil (21), for example, a clockwise magnetic field of the optical resonator is applied, and the switching signal S4 is generated. At low level "0", a counterclockwise magnetic field of the optical resonator is applied. The Faraday element (20)
When a clockwise magnetic field of the optical resonator is applied inside the
The phase of the laser beam traveling clockwise changes,
When a counterclockwise magnetic field of the optical resonator is applied, the phase of the laser beam traveling in the counterclockwise direction changes. Therefore, the Faraday element to which the AC magnetic field is applied (20)
As a result, the frequency of the beat signal S1 detected by the light receiving element (22) changes with the cycle of the switching signal S4 as shown in FIG. 4A.
第５図を参照して第１図例の回転角速度の検出動作に
つき説明するに、そのジャイロ基板（12）上のミラー面
（14a），（15a）及び合波ミラー（18）の反射面（18
a）により構成される光学共振器の回転角速度（角周波
数）をΩ、その受光素子（22）で検出されるビート信号
S3の周波数をΔｆとする。この場合、そのファラデー素
子（20）に磁界が加えられていない状態では、その光学
共振器の光路LBで囲まれる面積をＳ、そのレーザダイオ
ード（19）の波長をλ、光路の長さをＬとすると、次の
関係がある。Referring to FIG. 5, the operation of detecting the rotational angular velocity in the example of FIG. 1 will be described. The mirror surfaces (14a) and (15a) on the gyro substrate (12) and the reflecting surface ( 18
The rotational angular velocity (angular frequency) of the optical resonator composed of a) is Ω, and the beat signal detected by the light receiving element (22)
Let the frequency of S3 be Δf. In this case, when no magnetic field is applied to the Faraday element (20), the area surrounded by the optical path LB of the optical resonator is S, the wavelength of the laser diode (19) is λ, and the length of the optical path is L. Then, there is the following relationship.
Δｆ＝4SΩ／（λＬ） ‥‥（５） この関係は第５図の破線（33）のようになる。特に本
例では光ファイバが使用されておらず、ロックイン現象
が比較的発生しにくいので、式（５）の関係に基づいて
ビート信号の周波数Δｆより比較的高い精度で回転角速
度Ωを求めることができる。Δf = 4SΩ / (λL) ‥‥ (5) This relationship is as shown by a broken line (33) in FIG. In particular, since the optical fiber is not used in this example and the lock-in phenomenon is relatively unlikely to occur, it is necessary to determine the rotational angular velocity Ω with a relatively higher accuracy than the frequency Δf of the beat signal based on the relationship of equation (5). Can be.
ただし、本例でもミラー面（14a），（15a）及び反射
面（18a）におけるレーザビームの若干の散乱によりロ
ックイン現象が僅かながら発生する虞があるので、より
高精度に回転角速度を検出するにはそのロックイン現象
を補正する必要がある。この場合、回転角速度Ωの絶対
値が０でないにも拘らずそのビート信号の周波数Δｆが
０になる領域であろロックイン領域を第５図の（35）で
表すと、その周波数Δｆと回転角速度Ωとの関係は実線
（34）のように表すことができる。However, also in this example, since the lock-in phenomenon may slightly occur due to slight scattering of the laser beam on the mirror surfaces (14a), (15a) and the reflection surface (18a), the rotational angular velocity is detected with higher accuracy. Needs to correct the lock-in phenomenon. In this case, if the frequency Δf of the beat signal becomes 0 even though the absolute value of the rotational angular velocity Ω is not 0, the lock-in area is represented by (35) in FIG. The relationship with Ω can be expressed as a solid line (34).
そして、本例では第３図の信号処理回路中のドライブ
回路（32）を動作させてファラデー素子（20）の内部に
切り替え信号S4と同じ周期で方向が反転する磁界を加え
る。これによりその光学共振器の回転角速度には一種の
疑似的なバイアスfBが与えられたことになるので、ビー
ト信号の周波数Δｆと実際の回転角速度Ωとの間の関係
はその信号S4の周期で第５図の実線（36）と実線（37）
との間を移り替わるようになる。In this example, the drive circuit (32) in the signal processing circuit of FIG. 3 is operated to apply a magnetic field whose direction is reversed at the same cycle as the switching signal S4 to the inside of the Faraday element (20). As a result, a kind of pseudo bias f B is given to the rotational angular velocity of the optical resonator, and the relationship between the beat signal frequency Δf and the actual rotational angular velocity Ω is determined by the period of the signal S4. The solid line (36) and solid line (37) in Fig. 5
Will switch between.
具体的に実際の光学共振器の回転角速度Ωがロックイ
ン領域（35）の内部のΩｘ（＞０）であるとすると、そ
れに対応するビート信号の周波数は夫々Δf1及びΔf2と
なり、バイアス周波数をΔfB、−ΔfBとすると回転角速
度ΩＸによる周波数差をｆΩＸとして、 Δf1＝ΔfB＋ｆΩＸ ‥‥（６） Δf2＝−ΔfB＋ｆΩＸ ‥‥（７） ｜Δf1|＞｜Δf2| ‥‥（８） が成立している。そして、｜Δf1|−｜Δf2|が破線（3
3）で求められるｆΩＸの２倍であることから、その周
波数の絶対値の差分（｜Δf1|−｜Δf2|）の1/2を式
（５）に代入することにより、実際の回転角速度Ωを正
確に検出することができる。この場合、第３図例のデー
タセレクタ（27）を切り替え信号S4を用いて切り替える
と、この切り替え信号S4の１周期内のアップパルスSUの
パルス数がその周波数Δf1に比例し、ダウンパルスSDの
パルス数がその周波数Δf2に比例するので、ラッチ回路
（29）で保持される計数値C1がその周波数の絶対値の差
分（｜Δf1|−｜Δf2|）に比例する。従って、CPU（3
0）ではその計数値C1を逐次取り込んで所定の係数を乗
ずることにより現在の実際の回転角速度Ωを求めること
ができる。Specifically, assuming that the actual rotational angular velocity Ω of the optical resonator is Ωx (> 0) inside the lock-in area (35), the corresponding beat signal frequencies are Δf 1 and Δf 2 , respectively, and the bias frequency Let Δf B and −Δf B denote the frequency difference due to the rotational angular velocity Ω X as fΩ X , and Δf 1 = Δf B + fΩ X ‥‥ (6) Δf 2 = −Δf B + fΩ X ‥‥ (7) | Δf 1 | > | Δf 2 | ‥‥ (8) holds. | Δf 1 | − | Δf 2 | is indicated by a broken line (3
Since it is twice as large as fΩ X obtained in 3), by substituting 1/2 of the difference (| Δf 1 | − | Δf 2 |) of the absolute value of the frequency into equation (5), The rotation angular velocity Ω can be accurately detected. In this case, when the data selector (27) of FIG. 3 is switched using the switching signal S4, the number of pulses of the up pulse SU in one cycle of the switching signal S4 is proportional to the frequency Δf 1 and the down pulse SD since the number of pulses is proportional to the frequency Delta] f 2, the difference between the count value C1 held by the latch circuit (29) is the absolute value of the frequency - | | proportional to (| Δf 1 | Δf 2) . Therefore, CPU (3
In (0), the current actual rotational angular velocity Ω can be obtained by successively taking in the count value C1 and multiplying it by a predetermined coefficient.
なお、上述実施例ではモジュール領域（17a）はジャ
イロ基板（12）の一部であるが、このモジュール領域
（17a）内の光学部品は他の別体の基板上に形成するよ
うにしてもよい。この場合は、そのジャイロ基板（12）
の表面の一部を予め深く削っておき、その別体の基板を
ジャイロ基板（12）の深く削った面上に固定することに
なるが、このように別体の基板上に光学部品を形成する
ことにより位置決め等が容易になる。In the above embodiment, the module area (17a) is a part of the gyro substrate (12), but the optical components in the module area (17a) may be formed on another separate substrate. . In this case, the gyro substrate (12)
Part of the surface of the gyro substrate (12) is deeply shaved in advance, and the separate substrate is fixed on the deeply shaved surface of the gyro substrate (12). In this way, optical components are formed on the separate substrate This facilitates positioning and the like.
次に第６図を参照して本発明の他の実施例につき説明
する。この第１図に対応する部分に同一符号を付して示
す第６図において、（38）はレーザダイオードであり、
このレーザダイオード（38）のレーザビームの出力面は
光学共振器の光路LBに対してブリュースタ角をなすよう
に傾斜させる。また、（39）は薄膜状のファラデー素子
を示し、そのレーザダイオード（38）の一方の出力面に
そのファラデー素子（39）を蒸着等により形成して、そ
の近傍にコイル（21）を配する。この場合、そのファラ
デー素子（39）のレーザビームの出力面もその光路LBに
対してブリュースタ角をなすように傾斜させる。Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 6, in which parts corresponding to FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, (38) is a laser diode,
The laser beam output surface of the laser diode (38) is inclined so as to form a Brewster angle with respect to the optical path LB of the optical resonator. Reference numeral (39) denotes a thin-film Faraday element. The Faraday element (39) is formed on one output surface of the laser diode (38) by vapor deposition or the like, and a coil (21) is arranged near the Faraday element. . In this case, the laser beam output surface of the Faraday element (39) is also inclined so as to form a Brewster angle with respect to the optical path LB.
また、（39）はミラーであり、このミラー（39）は合
波ミラー（18）から漏れてくるレーザビームをそのまま
その合波ミラー（18）を介して受光素子（22）に導く。
他の構成は第１図例と同様である。本例ではこの第６図
の構成要素を予め一枚の基板上にモジュール構成で形成
し、その後に第１図のジャイロ基板（12）上に位置決め
しながら固定する。A mirror (39) guides the laser beam leaking from the multiplex mirror (18) to the light receiving element (22) through the multiplex mirror (18).
Other configurations are the same as in the example of FIG. In this example, the components shown in FIG. 6 are formed in a module configuration on a single substrate in advance, and then fixed while being positioned on the gyro substrate (12) shown in FIG.
第６図例ではレーザダイオード（38）及びファラデー
素子（39）のレーザビームの出力面が夫々光路LBに対し
てブリュースタ角に設定されているので、第６図の紙面
に平行な偏光成分はそれら素子（38），（39）の表面で
は反射することなくそのまま光学共振器の光路LB中に出
力される。従って、そのレーザダイオード（38）の発振
モードが第６図の紙面に平行な偏光成分になるように選
択することにより、その光学共振器の光路LB中のレーザ
ビームの強度を最大にすることができる。In the example of FIG. 6, since the output surfaces of the laser beams of the laser diode (38) and the Faraday element (39) are each set at the Brewster angle with respect to the optical path LB, the polarization component parallel to the paper surface of FIG. The light is directly output to the optical path LB of the optical resonator without being reflected on the surfaces of the elements (38) and (39). Therefore, by selecting the oscillation mode of the laser diode (38) to be a polarization component parallel to the plane of FIG. 6, it is possible to maximize the intensity of the laser beam in the optical path LB of the optical resonator. it can.
なお、本発明は上述実施例に限定されず本発明の要旨
を逸脱しない範囲で種々の構成を採り得ることは勿論で
ある。It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiments, but can adopt various configurations without departing from the spirit of the present invention.
［発明の効果］ 本発明によれば、光ファイバが使用されていないの
で、光ファイバの内部散乱に起因するロックイン現象が
生じない利益がある。また、第１のミラーと第２のミラ
ーと合波用ミラーとで発光素子の出力光の光学共振器を
構成するようにしているので、それらミラーの間隔を狭
くすることによりその光学共振器ひいてはリングレーザ
ジャイロ装置を所望の程度まで小型化できる利益があ
る。[Effects of the Invention] According to the present invention, since no optical fiber is used, there is an advantage that a lock-in phenomenon caused by internal scattering of the optical fiber does not occur. Further, since the first mirror, the second mirror, and the multiplexing mirror constitute an optical resonator of the output light of the light emitting element, the distance between the mirrors is reduced to thereby reduce the optical resonator and thus the optical resonator. There is an advantage that the ring laser gyro device can be miniaturized to a desired degree.
基板は温度制御素子を介して放熱板に取り付けられて
いるから、例えば、受光素子の受光レベルが所定レベル
になるようにその基板を膨張又は収縮させることによ
り、その光学共振器の共振の程度を調整することができ
る。Since the substrate is attached to the heat radiating plate via the temperature control element, for example, by expanding or contracting the substrate so that the light receiving level of the light receiving element becomes a predetermined level, the degree of resonance of the optical resonator is reduced. Can be adjusted.
さらに、受光素子の検出出力の直流レベルが最大にな
るようにその温度制御素子を制御するようにした場合に
は、その光学共振器の長さをその発光素子の波長の整数
倍に維持することができる。Further, when the temperature control element is controlled so that the DC level of the detection output of the light receiving element is maximized, the length of the optical resonator should be maintained at an integral multiple of the wavelength of the light emitting element. Can be.
第１図は本発明によるリングレーザジャイロ装置の一実
施例を示す一部を切り欠いた斜視図、第２図はその一実
施例のジャイロ基板（12）の平面図、第３図はその一実
施例の信号処理回路の構成図、第４図は第３図例の各部
信号波形を示す信号波形図、第５図はロックイン現象の
説明に供する線図、第６図は本発明の他の実施例の要部
を示す構成図、第７図は従来の半導体リングレーザ装置
を示す構成図である。 （10）は放熱板、（11）はペルチェ素子、（12）はジャ
イロ基板、（14a），（15a），（16a）は夫々ミラー
面、（17a）はモジュール領域、（18）は合波ミラー、
（19）はレーザダイオード、（20）はファラデー素子、
（38）はレーザダイオード、（39）はファラデー素子で
ある。FIG. 1 is a partially cutaway perspective view showing an embodiment of a ring laser gyro device according to the present invention, FIG. 2 is a plan view of a gyro substrate (12) of the embodiment, and FIG. FIG. 4 is a configuration diagram of a signal processing circuit according to an embodiment, FIG. 4 is a signal waveform diagram showing signal waveforms of respective parts in the example of FIG. 3, FIG. 5 is a diagram for explaining a lock-in phenomenon, and FIG. FIG. 7 is a block diagram showing a conventional semiconductor ring laser device. (10) is a heat sink, (11) is a Peltier element, (12) is a gyro substrate, (14a), (15a), and (16a) are mirror surfaces, (17a) is a module area, and (18) is a combined wave. mirror,
(19) is a laser diode, (20) is a Faraday element,
(38) is a laser diode, and (39) is a Faraday element.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−312686（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−26695（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−123893（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−122681（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−66181（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−93686（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01S 3/083 G01C 19/64 - 19/72──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-63-312686 (JP, A) JP-A-55-26695 (JP, A) JP-A-54-123893 (JP, A) JP-A-2- 122681 (JP, A) JP-A-59-66181 (JP, A) JP-A-61-93686 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) H01S 3/083 G01C 19 / 64-19/72
Claims (4)
１及び第２のミラーと合波用ミラーと、該合波用ミラー
の背後に配置された第３のミラー及び受光素子と、上記
光路に沿って配置された発光素子と、を有し、上記第１
及び第２のミラーと合波ミラーによって上記発光素子の
出力光のための光学共振器が構成され、上記合波用ミラ
ーと上記第３のミラーとによって上記光路に沿って伝播
する時計方向周りの光と反時計方向周りの光の干渉光が
形成され、該干渉光が上記受光素子によって検出される
ように構成されたリングレーザジャイロ装置において、
上記第１、第２及び第３のミラーは基板の上面を削り取
ることによって基板に形成された凹部の壁面によって構
成されていることを特徴とするリングレーザジャイロ装
置。1. A first mirror, a second mirror, and a multiplexing mirror arranged to form an annular optical path; a third mirror and a light receiving element disposed behind the multiplexing mirror; A light-emitting element disposed along the optical path;
And an optical resonator for the output light of the light emitting element is constituted by the second mirror and the multiplexing mirror, and the multiplexing mirror and the third mirror make a clockwise rotation propagating along the optical path. In the ring laser gyro device configured such that interference light of light and light around the counterclockwise direction is formed, and the interference light is detected by the light receiving element.
A ring laser gyro device wherein the first, second, and third mirrors are formed by wall surfaces of concave portions formed in the substrate by shaving the upper surface of the substrate.
モジュールとして第２の基板に配置され、該第２の基板
は上記基板の凹部の底面に装着されていることを特徴と
する請求項１記載のリングレーザジャイロ装置。2. The apparatus according to claim 1, wherein the multiplexing mirror, the light emitting element and the light receiving element are arranged on a second substrate as a module, and the second substrate is mounted on a bottom surface of a concave portion of the substrate. 2. The ring laser gyro device according to 1.
取り付けられていることを特徴とする請求項１記載のリ
ングレーザジャイロ装置。3. The ring laser gyro device according to claim 1, wherein said substrate is mounted on a heat sink via a temperature control element.
大になるように上記温度制御素子が制御されるように構
成されていることを特徴とする請求項３記載のリングレ
ーザジャイロ装置。4. The ring laser gyro apparatus according to claim 3, wherein said temperature control element is controlled so that a DC level of a detection output of said light receiving element is maximized.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27969390A JP2835874B2 (en) | 1990-10-18 | 1990-10-18 | Ring laser gyro device |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP27969390A JP2835874B2 (en) | 1990-10-18 | 1990-10-18 | Ring laser gyro device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04154178A JPH04154178A (en) | 1992-05-27 |
| JP2835874B2 true JP2835874B2 (en) | 1998-12-14 |
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ID=17614558
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27969390A Expired - Lifetime JP2835874B2 (en) | 1990-10-18 | 1990-10-18 | Ring laser gyro device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2835874B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7701584B2 (en) | 2007-07-11 | 2010-04-20 | Ricoh Company, Ltd. | Light path circuit apparatus and ring laser gyro |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2853061B1 (en) * | 2003-03-25 | 2006-01-20 | Thales Sa | GYROLASER WITH STABILIZED SOLID STATE |
| US7362443B2 (en) * | 2005-11-17 | 2008-04-22 | Honeywell International Inc. | Optical gyro with free space resonator and method for sensing inertial rotation rate |
| JP2010230476A (en) * | 2009-03-27 | 2010-10-14 | Advanced Telecommunication Research Institute International | Ring laser gyro |
| CN103674002B (en) * | 2012-09-07 | 2016-06-22 | 中国航空工业第六一八研究所 | A kind of faraday's alternation offset frequency two frequency laser gyro |
| CN113441479A (en) * | 2020-03-25 | 2021-09-28 | 中移(上海)信息通信科技有限公司 | Laser cleaning device and equipment |
-
1990
- 1990-10-18 JP JP27969390A patent/JP2835874B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7701584B2 (en) | 2007-07-11 | 2010-04-20 | Ricoh Company, Ltd. | Light path circuit apparatus and ring laser gyro |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04154178A (en) | 1992-05-27 |
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