JP2832087B2 - Roll stamper for forming substrate sheet for information recording medium, method for producing the same, and method for producing substrate sheet for information recording medium using roll stamper - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は樹脂シートに同心円状も
しくはらせん状の凹凸プリフォーマットを形成して連続
的に情報記録媒体用基板を製造するロール状スタンパー
とその製造方法、及びロールスタンパを用いた情報記録
媒体用基板の製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a roll-shaped stamper for continuously forming a substrate for an information recording medium by forming a concentric or helical uneven preformat on a resin sheet, a method for manufacturing the same, and a roll stamper. To a method for manufacturing a substrate for an information recording medium.

【０００２】[0002]

【従来の技術】光ディスク等の情報記録媒体の基板には
トラック溝やアドレスピット等の凹凸プリフォーマット
が形成されている。この様な基板を連続的に大量に製造
する方法として例えば特開昭５６−８６７２１号公報に
は熱可塑性合成樹脂シートを赤外線ランプで加熱軟化し
た後、成形用ロールで凹凸状の信号を転写する方法が記
載されている。2. Description of the Related Art On a substrate of an information recording medium such as an optical disk, irregular preformats such as track grooves and address pits are formed. As a method for continuously producing such a substrate in large quantities, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 56-86721 discloses a method in which a thermoplastic synthetic resin sheet is heated and softened by an infrared lamp, and then an irregular signal is transferred by a molding roll. A method is described.

【０００３】この様な方法で用いるロールスタンパーは
平板状の薄いスタンパーを鏡面加工を行なったロール基
材に接着剤等で貼り付け、又は治具等を用いて機械的に
取り付けたり、ロール基材本体に直接プリフォーマット
パターンを形成して作成されている。The roll stamper used in such a method is such that a flat thin stamper is attached to a mirror-finished roll base material with an adhesive or the like, or is mechanically attached using a jig or the like, It is created by directly forming a preformat pattern on the main body.

【０００４】ところでロールスンタパーに形成される凹
凸プリフォーマットパターンとしては従来のインジェク
ション法，コンプレッション法，光重合法（以後２Ｐ法
と略）等の１枚ごとに基板を成形する方法に用いられて
いるものと同様の例えばディスクの場合はほぼ真円のプ
リフォーマットパターンが用いられている。The uneven preformat pattern formed on the roll stamper is used in a method of forming a substrate one by one such as a conventional injection method, a compression method, and a photopolymerization method (hereinafter abbreviated as 2P method). For example, in the case of a disc similar to that used, a preformat pattern having a substantially perfect circle is used.

【０００５】この従来のインジェクション法，コンプレ
ッション法，２Ｐ法等で使われるスタンパーの有するプ
リフォーマットパターンの精度としてはディスクの場合
真円からのずれを少なくとも１００μｍ以下に抑えなけ
ればトラッキングエラーが起こり易くなる。As for the precision of the preformat pattern of the stamper used in the conventional injection method, compression method, 2P method, and the like, in the case of a disk, a tracking error is likely to occur unless the deviation from a perfect circle is at least 100 μm or less. .

【０００６】しかし樹脂シートに連続的にプリフォーマ
ットを形成する場合ロールスタンパーには比較的大きな
圧力が加わり、又樹脂の冷却に伴なって、該樹脂シート
の搬送方向と垂直な方向に収縮が起こるため前述のほぼ
真円のパターンが形成されたロール状スタンパーを用い
た場合、樹脂シート上に転写された凹凸プリフォーマッ
トは逆に転写の精度の悪化、具体的にはその真円度が悪
化するという問題点がある。特に光ディスクの様な微細
なパターンが形成され高密度な情報の記録・再生を行な
う光記録媒体の場合、プリフォーマットの真円度の悪化
はトラックはずれ等のエラーの原因となることがある。However, when a preformat is continuously formed on a resin sheet, a relatively large pressure is applied to the roll stamper, and shrinkage occurs in a direction perpendicular to the conveying direction of the resin sheet with cooling of the resin. Therefore, when the above-mentioned roll-shaped stamper on which a substantially circular pattern is formed is used, the unevenness of the preformat transferred onto the resin sheet deteriorates the transfer accuracy, specifically, the roundness deteriorates. There is a problem. Particularly, in the case of an optical recording medium such as an optical disk on which a fine pattern is formed and which records and reproduces high-density information, deterioration of the preformat circularity may cause an error such as a track deviation.

【０００７】[0007]

【発明が解決しようとしている問題点】本発明は上記問
題点に鑑みなされたものであって本発明は樹脂シートに
連続的に凹凸プリフォーマットを正確に形成することが
できる情報記録媒体用基板の成形用ロールスタンパー及
びその製造方法を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and the present invention relates to a substrate for an information recording medium capable of continuously and accurately forming an irregular preformat on a resin sheet. An object of the present invention is to provide a forming roll stamper and a method for manufacturing the same.

【０００８】また本発明は、凹凸プリフォーマットを正
確に転写された情報記録媒体用基板シートを得ることが
できる情報記録媒体用基板シートの製造方法を提供する
ことを他の目的とする。It is another object of the present invention to provide a method of manufacturing a substrate sheet for an information recording medium capable of obtaining a substrate sheet for an information recording medium on which an uneven preformat has been accurately transferred.

【０００９】[0009]

【問題点を解決するための手段】本発明の情報記録媒体
用基板シートの成形用ロールスタンパーは樹脂シート上
に連続的に同心円状もしくはらせん状の凹凸プリフォー
マットを転写して情報記録媒体用基板シートを成形する
ロールスタンパーに於て、該ロールスタンパーの有する
同心円状もしくはらせん状の凹凸プリフォーマットパタ
ーンの最も外側のトラックに於て、該樹脂シートの搬送
方向と平行な長さをａ，垂直な方向の長さをｂとしたと
きの該凹凸プリフォーマットパターンのｂ／ａの値が１
よりも大きいことを特徴とするものである。The roll stamper for forming a substrate sheet for an information recording medium of the present invention continuously transfers concentric or spiral preforms on a resin sheet to form a substrate for an information recording medium. In a roll stamper for forming a sheet, the length parallel to the conveying direction of the resin sheet is a, and the length in the outermost track of the concentric or spiral uneven preformat pattern of the roll stamper is a. The value of b / a of the uneven preformat pattern when the length in the direction is b is 1
It is characterized by being larger than.

【００１０】また本発明の情報記録媒体用基板シートの
製造方法は、樹脂シート上にロールスタンパーを用いて
連続的に同心円状もしくはらせん状の凹凸プリフォーマ
ットを転写する情報記録媒体用基板シートの製造方法に
於て、該ロールスタンパーの有する同心円状もしくはら
せん状の凹凸プリフォーマットパターンの最も外側のト
ラックにおける該樹脂シートの搬送方向と平行な方向の
長さをａ，垂直な方向の長さをｂとしたときの該凹凸プ
リフォーマットパターンのｂ／ａの値が１より大きく形
成されてなる凹凸プリフォーマットパターンを有するロ
ールスタンパーを用いることを特徴とするものである。The method for manufacturing a substrate sheet for an information recording medium according to the present invention is a method for manufacturing a substrate sheet for an information recording medium for continuously transferring concentric or helical concave and convex preformats on a resin sheet using a roll stamper. In the method, a is a length in a direction parallel to the transport direction of the resin sheet in the outermost track of the concentric or spiral uneven preformat pattern of the roll stamper, and b is a length in a vertical direction. In this case, a roll stamper having an uneven preformat pattern in which the value of b / a of the uneven preformat pattern is larger than 1 is used.

【００１１】更に、本発明のロールスタンパーの製造方
法は樹脂シート上に連続的に同心円状もしくはらせん状
のプリフォーマットパターンを転写して情報記録媒体用
基板シートを成形するロールスタンパーの製造方法に於
て、以下の工程を有することを特徴とする。 ａ）フォトレジスト層を有する原盤を所定の回転数で回
転させつつ、該レジスト層に前記プリフォーマットパタ
ーンに対応するパターンをカッティングするカッティン
グヘッド或いは前記原盤を所定の回転数の２倍の周波数
で前記原盤の径方向に振動させてフォトレジスト層に前
記パターンをカッティングした後、現像して各々のトラ
ックが楕円状であって且つ前記パターンの最も外側のト
ラックにおける短軸の長さがａ，長軸の長さがｂでｂ／
ａの値が１よりも大きい楕円状であるレジストパターン
を形成する工程。 ｂ）該レジストパターンに電鋳を行なって前記プリフォ
ーマットパターンを有するスタンパーを形成する工程。 ｃ）該スタンパーを前記パターンの短軸方向が樹脂シー
トの搬送方向と一致するようにロール基材に固定する工
程。Further, the method of manufacturing a roll stamper according to the present invention relates to a method of manufacturing a roll stamper for forming a substrate sheet for an information recording medium by continuously transferring a concentric or spiral preformat pattern onto a resin sheet. And the following steps. a) While a master having a photoresist layer is rotated at a predetermined rotation speed, a cutting head for cutting a pattern corresponding to the preformat pattern on the resist layer or the master is rotated at a frequency twice the predetermined rotation speed. After the pattern is cut into the photoresist layer by vibrating in the radial direction of the master, the pattern is developed and each track has an elliptical shape. B is b /
forming an elliptical resist pattern in which the value of a is greater than 1; b) electroforming the resist pattern to form a stamper having the preformat pattern. c) fixing the stamper to a roll base material such that the short-axis direction of the pattern coincides with the resin sheet conveying direction.

【００１２】このように凹凸プリフォーマットパターン
の寸法を或る特定の範囲で基準の形状からずらすことに
より樹脂シート上に凹凸プリフォーマットを転写する際
のスタンパーの伸びや樹脂シート上の冷却による収縮に
よる樹脂シートに転写された凹凸プリフォーマットの歪
みを相殺させることができ非常に正確な凹凸プリフォー
マットを樹脂シート上に形成できる。As described above, by shifting the dimensions of the concave / convex preformat pattern from the reference shape in a certain specific range, the stamper may be stretched when the concave / convex preformat is transferred onto the resin sheet, or may contract due to cooling on the resin sheet. The distortion of the uneven preformat transferred to the resin sheet can be offset, and a very accurate uneven preformat can be formed on the resin sheet.

【００１３】次に本発明の情報記録媒体用基板の成形用
ロールスタンパーについて図を用いて詳細に説明する。Next, a roll stamper for forming a substrate for an information recording medium according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

【００１４】図１は本発明のロールスタンパーに形成さ
れた凹凸プリフォーマットパターンの模式図である。図
１に於て、ａはスタンパーに形成されたパターンの最も
外側のトラックの樹脂シートの搬送方向と平行な方向の
径を表わしｂはこのパターンの樹脂シートの搬送方向に
垂直な方向の径を表わし、本発明のロールスタンパーは
このｂ／ａの値が１よりも大きいことを特徴とするもの
である。FIG. 1 is a schematic view of an uneven preformat pattern formed on a roll stamper of the present invention. In FIG. 1, a represents the diameter of the outermost track of the pattern formed on the stamper in a direction parallel to the resin sheet transport direction, and b represents the diameter of the pattern in the direction perpendicular to the resin sheet transport direction. The roll stamper of the present invention is characterized in that the value of b / a is larger than 1.

【００１５】この様にロールスタンパーに形成する凹凸
プリフォーマットパターンの寸法比と樹脂シート上に転
写される凹凸プリフォーマットの寸法比とを変えること
により樹脂シートとスタンパーの接触時のスタンパーの
伸び及び樹脂シートの収縮による樹脂シートに転写され
た凹凸プリフォーマットの歪みを相殺させることがで
き、非常に正確に凹凸プリフォーマットを樹脂シート上
に形成することができる。By changing the dimensional ratio of the concave and convex preformat pattern formed on the roll stamper and the dimensional ratio of the concave and convex preformat transferred onto the resin sheet, the elongation of the stamper when the resin sheet comes into contact with the stamper and the resin The distortion of the uneven preformat transferred to the resin sheet due to the shrinkage of the sheet can be offset, and the uneven preformat can be formed on the resin sheet very accurately.

【００１６】又、本発明のロールスタンパーに於てはこ
のａ及びｂの関係が下式（１）の関係を満たすことが望
ましく、特に溶融樹脂シートに凹凸プリフォーマットを
形成する場合には下式（２）の関係式を満足するのが好
ましい。Further, in the roll stamper of the present invention, it is desirable that the relationship between a and b satisfies the relationship of the following formula (1). It is preferable to satisfy the relational expression (2).

【００１７】[0017]

【外】[Outside]

上記の式の関係を満たすスタンパーを用いることによっ
て樹脂シートにパターンを転写する際のスタンパーの伸
び及び転写後の樹脂シートの収縮による樹脂シートに転
写される凹凸プリフォーマットの変形を特に小さく抑え
ることができる。 By using a stamper that satisfies the above equation, it is possible to particularly suppress deformation of the irregular preformat transferred to the resin sheet due to expansion of the stamper when transferring a pattern to the resin sheet and contraction of the resin sheet after transfer. it can.

【００１８】本発明のロール状スタンパーに形成される
凹凸プリフォーマットパターンの形状及び大きさは情報
記録媒体の基板に形成される凹凸プリフォーマットであ
れば特に限定することなく所望のものとすることができ
る。The shape and size of the uneven preformat pattern formed on the roll-shaped stamper of the present invention are not particularly limited as long as they are uneven preformats formed on the substrate of the information recording medium. it can.

【００１９】また、光によって記録及び／又は再生を行
なう光ディスクや光カードなどの光記録媒体用の基板に
形成される、例えば溝幅が０．１μｍ〜５μｍ、ピッチ
が１μｍ〜１２μｍ、深さが０．０１μｍ〜０．４μｍ
の同心円状やスパイラル状又はストライプ状のトラッキ
ンググルーブやミクロンオーダーのサイズの情報ピット
は転写時のわずかなサイズの伸び或いは収縮が光記録媒
体の欠陥につながってしまう。Also, for example, a groove width of 0.1 μm to 5 μm, a pitch of 1 μm to 12 μm, a depth of 1 μm to 12 μm formed on a substrate for an optical recording medium such as an optical disk or an optical card which performs recording and / or reproduction by light. 0.01 μm to 0.4 μm
For concentric, spiral or stripe tracking grooves or micron-sized information pits, slight expansion or contraction during transfer leads to defects in the optical recording medium.

【００２０】具体的には例えば光ディスク用，トラック
溝，パターンの樹脂シートへの転写時の外径寸法の伸び
によって光ディスクに偏心が生じ、トラッキングエラー
が発生して記録・再生が不可能となるものである。従っ
て、ディスクパターンの場合、パターンの外形寸法の真
円からのずれ量は９０μｍ以下特に５０μｍ以下、更に
は３０μｍ以下が好ましいものである。Specifically, for example, an eccentricity occurs in an optical disk due to an increase in the outer diameter of an optical disk, a track groove, or a pattern when the pattern is transferred to a resin sheet, and a tracking error occurs to make recording / reproduction impossible. It is. Therefore, in the case of a disk pattern, the amount of deviation of the outer dimensions of the pattern from a perfect circle is preferably 90 μm or less, particularly 50 μm or less, and more preferably 30 μm or less.

【００２１】本発明のロールスタンパーはこの様に微細
なパターンも樹脂シート上に正確に転写でき、特に光デ
ィスクや光カードなどの光記録媒体用の基板の製造に特
に有効である。The roll stamper of the present invention can accurately transfer such a fine pattern onto a resin sheet, and is particularly effective for manufacturing substrates for optical recording media such as optical disks and optical cards.

【００２２】本発明のロールスタンパーの製造方法とし
ては、例えばガラス原盤にフォトレジスト層を形成しレ
ーザービーム、エレクトロンビームによる描画を行なっ
た後現像してレジストパターンを形成し、それをＮｉ電
鋳することにより薄いＮｉスタンパーを得る。次いで図
２に示すようにこのＮｉスタンパーを鏡面研磨したロー
ル状の基材２２に接着剤や治具等で固定してロール状の
スタンパーを得ることができる。或いはロール基材に直
接または基材上に設けたパターン形成層上に凹凸プリフ
ォーマットパターンを形成してもよい。As a method of manufacturing the roll stamper of the present invention, for example, a photoresist layer is formed on a glass master, drawn by a laser beam and an electron beam, and then developed to form a resist pattern, which is then electroformed by Ni. Thus, a thin Ni stamper is obtained. Then, as shown in FIG. 2, the Ni stamper is fixed to a mirror-polished roll-shaped base material 22 with an adhesive, a jig, or the like to obtain a roll-shaped stamper. Alternatively, an uneven preformat pattern may be formed directly on the roll base material or on a pattern forming layer provided on the base material.

【００２３】このときスタンパー上のプリフォーマット
パターンのｂ／ａを所定の値とする方法としては、例え
ば光ディスクの場合、トラッキング用溝のパターンを真
円形に作製し、そのスンタンパーに樹脂シートの搬送方
向と垂直な方向にテンションを加えて引伸ばしてロール
基材に固定して本発明のロールスタンパーを得ることが
できる。At this time, as a method of setting the b / a of the preformat pattern on the stamper to a predetermined value, for example, in the case of an optical disc, a pattern of a tracking groove is formed in a perfect circle, and the resin sheet is transported in the direction of conveyance of the resin sheet. Then, a tension is applied in a direction perpendicular to the direction, and the film is stretched and fixed to a roll substrate to obtain the roll stamper of the present invention.

【００２４】また光ディスク用基板の成形用ロールスタ
ンパーの場合、前述したＮｉスタンパーの製造工程に於
て、ガラス原盤上にフォトレジスト層を形成し、このレ
ジスト層上にレーザービーム等を照射して描画する際に
ガラス原盤を回転させつつ、レーザービームの照射を行
なう光ヘツド（以降カッティングヘッド）を原盤の回転
数の２倍の周波数で原盤の径方向に振動させることで楕
円形のパターンを描画することができ、且つ楕円形の長
軸と短軸の差をカッティングヘッドの振動の振幅と等し
くすることができる。そこでこの原盤を用いてＮｉ電鋳
を行ななって得られるＮｉスタンパーを楕円形のパター
ンの短軸の方向と樹脂シートの搬送方向が一致する様に
ロール基材上に固定することによって本発明の光ディス
ク用基板シートの成形用ロールスンタパーを製造するこ
とができる。この場合スタンパーにテンションを加える
ことなく、楕円状のパターンを有するスンタパーを得る
ことができスタンパーの破損を防止することができる。In the case of a roll stamper for forming an optical disc substrate, a photoresist layer is formed on a glass master in the above-described Ni stamper manufacturing process, and the resist layer is irradiated with a laser beam or the like to perform drawing. An elliptical pattern is drawn by rotating an optical head (hereinafter referred to as a cutting head) for irradiating a laser beam in the radial direction of the master at a frequency twice as high as the number of rotations of the master while rotating the glass master. And the difference between the major and minor axes of the ellipse can be made equal to the amplitude of vibration of the cutting head. Accordingly, the present invention is intended to fix the Ni stamper obtained by performing Ni electroforming using this master on a roll base material such that the direction of the short axis of the elliptical pattern coincides with the conveying direction of the resin sheet. Can be manufactured. In this case, a suntaper having an elliptical pattern can be obtained without applying tension to the stamper, and damage to the stamper can be prevented.

【００２５】図５にこのロールスタンパーの製造方法に
用いる原盤の描画装置の一実施態様を示す。FIG. 5 shows an embodiment of a master disc drawing apparatus used in the method of manufacturing a roll stamper.

【００２６】図５においては、５１はレーザー発振器で
あり、該レーザー発振器５１から無変調のレーザービー
ムが出力される。また、５３は変調信号発生器であっ
て、該変調信号発生器５３からは、後述するディスク用
原盤５５にカッティングすべきパターンに応じた変調信
号が出力される。５２は光変調器で、該光変調器５２
は、上記レーザー発振器５１から出力されたレーザービ
ームを上記変調信号発生器５３から出力される変調信号
に応じて変調し、カッティングヘド５４に与える。該カ
ッティングヘッド５４はターンテーブル５７に載置され
たガラス製のディスク用原盤５６（以下、「ガラス原盤
５６」という。）の表面に光変調器５２からの変調済の
レーザービームを垂直下方に集光する。また、上記カッ
ティングヘツド５４は、図示しない水平方向スライド機
構によってガラス原盤５６の径方向に摺動自在に支持さ
れており、上記カッティングヘツド５４の側部を機枠６
１間にはピエゾ素子６０が配設されている。該ピエゾ素
子６０は、図示しない制御手段から与えられる交流電圧
に応じて伸縮し、上記カッティングヘッド５４をガラス
原盤の径方向に往復振動させることができる。In FIG. 5, reference numeral 51 denotes a laser oscillator, from which an unmodulated laser beam is output. Numeral 53 denotes a modulation signal generator, which outputs a modulation signal corresponding to a pattern to be cut on a disk master 55 to be described later. Reference numeral 52 denotes an optical modulator.
Modulates the laser beam output from the laser oscillator 51 in accordance with the modulation signal output from the modulation signal generator 53 and supplies the modulated laser beam to the cutting head 54. The cutting head 54 vertically collects a modulated laser beam from the optical modulator 52 on a surface of a glass disk master 56 (hereinafter, referred to as a “glass master 56”) mounted on a turntable 57. Light. The cutting head 54 is slidably supported in the radial direction of the glass master 56 by a horizontal slide mechanism (not shown).
A piezo element 60 is provided between the two. The piezo element 60 expands and contracts according to an AC voltage supplied from a control unit (not shown), and can reciprocate the cutting head 54 in the radial direction of the glass master.

【００２７】上記ガラス原盤５６は、表面にレジスト層
５５が形成されており、カッティングヘツド５４によっ
て集光されたレーザービームにより該レジスト層５５に
パターンがカッティングされる。上記ターンテーブル５
７の下方には、上記制御手段によって精密に回転数を制
制御できるダイレクトドライブ用のモーター５９が取付
けられており、ターンテブル５７をスピンドル６２を中
心として回転させることができる。上記モーター５９は
水平方向スライド機構５８によって図示左右方向に摺動
自在に支持されているとともに、図示しない送り機構を
備えており、上記制御手段によって所定の位置に摺動す
る。上記制御手段は、変調信号発生器３に指示して所定
の速度で変調信号を出力させるとともに、該速度に応じ
て上記モーター５９の回転数および上記ピエゾ素子６０
の振動周波数、さらに、上記カッティングヘッド５４の
位置を制御し、該カッティングヘッドの位置に応じて上
記ピエゾ素子６０の振幅を変化させるものである。A resist layer 55 is formed on the surface of the glass master 56, and a pattern is cut on the resist layer 55 by a laser beam focused by the cutting head 54. Turntable 5 above
A motor 59 for direct drive, whose rotation speed can be precisely controlled and controlled by the control means, is mounted below 7, so that the turntable 57 can be rotated about the spindle 62. The motor 59 is supported by a horizontal slide mechanism 58 so as to be slidable in the left and right directions in the figure, and has a feed mechanism (not shown), and slides to a predetermined position by the control means. The control means instructs the modulation signal generator 3 to output a modulation signal at a predetermined speed, and according to the speed, the rotation speed of the motor 59 and the piezo element 60.
And the position of the cutting head 54 is controlled, and the amplitude of the piezo element 60 is changed according to the position of the cutting head.

【００２８】次に、本発明のロールスタンパーの製造方
法を図５に基づいて説明する。図示しない制御手段の制
御により、あらかじめ設定した回転数でモーター５９を
回転させると、該モーター５９の回転により、ターンテ
ーブル５７およびガラス原盤５６が回転する。この状態
で、図示しない送り機構を起動して、モーター５９，タ
ーンテーブル５７およびガラス原盤５６をスライド機構
５８を用いてスライドさせて位置決めし、レーザー発振
器５１および変調信号発生器５３からそれぞれレーザー
ビームおよび変調信号を出力させて光変調器５２で変調
し、カッティングヘッド５４へ変調済のレーザービーム
を出力すると、該カッティングヘッド５４が変調済のレ
ーザービームをガラス原盤５６の表面のレジスト層５５
に照射して変調信号に応じたパターンをカッティングす
る。このとき、上記制御手段によりモーター５９の回転
と同期してピエゾ素子６０をガラス原盤５６の径方向に
振動せしめ、カッティングヘッド５４を該モーター５９
の回転数の２倍の周波数で振動させる。Next, a method of manufacturing a roll stamper according to the present invention will be described with reference to FIG. When the motor 59 is rotated at a preset number of revolutions under the control of a control unit (not shown), the rotation of the motor 59 causes the turntable 57 and the glass master 56 to rotate. In this state, a feed mechanism (not shown) is started, and the motor 59, the turntable 57, and the glass master 56 are slid and positioned using the slide mechanism 58, and the laser beam and the modulation signal generator 53 respectively transmit the laser beam and the modulated signal. When a modulated signal is output and modulated by the optical modulator 52 and a modulated laser beam is output to the cutting head 54, the cutting head 54 applies the modulated laser beam to the resist layer 55 on the surface of the glass master 56.
And a pattern corresponding to the modulation signal is cut. At this time, the piezo element 60 is vibrated in the radial direction of the glass master disk 56 in synchronization with the rotation of the motor 59 by the control means, and the cutting head 54 is moved to the motor 59.
Vibration at twice the frequency of the rotation of

【００２９】このとき、カッティングヘッドに与える振
動の振幅はロールスタンパーに形成するプリフォーマッ
トパターンのｂ／ａの値に応じて設定すればよい。ま
た、この振幅をガラス原盤５６の中心（ターンテーブル
５７のスピンドル６２）と、レジスト層５５上のレーザ
ービームスポットの間の距離１の関数とした場合、即ち
各トラックごとに振幅を変化させることによって全トラ
ックにわたって長軸と短軸の比が一定の楕円状のトラッ
キング用溝を形成できるため好ましい。更に、距離１の
比例係数としてはディスク基板の材料や成形の速度等に
応じて樹脂シート上にプリフォーマットパターンがより
真円に近くなるように決定され、特にこの比例係数を
０．００１〜０．０４特に０．００２〜０．０２とした
場合、ディスク基板用のトラッキング用溝を樹脂シート
上に正確に転写できる。At this time, the amplitude of the vibration applied to the cutting head may be set according to the value of b / a of the preformat pattern formed on the roll stamper. When the amplitude is a function of the distance 1 between the center of the glass master 56 (spindle 62 of the turntable 57) and the laser beam spot on the resist layer 55, that is, by changing the amplitude for each track, This is preferable because an elliptical tracking groove having a constant ratio of the major axis to the minor axis can be formed over all tracks. Further, the proportional coefficient of the distance 1 is determined so that the preformat pattern is closer to a perfect circle on the resin sheet according to the material of the disk substrate, the molding speed, and the like. When the ratio is 0.04, particularly 0.002 to 0.02, the tracking groove for the disk substrate can be accurately transferred onto the resin sheet.

【００３０】又、カッティングヘッドを振動させる代り
に原盤５６を図６に示す様に振動させてもよい。この様
にして、１トラックのカッティングが終わると、上記の
位置決めと同様にして、モーター７，ターンテーブル６
およびガラス原盤５をパターンの１ピッチ分スライド
（ステップ送り）させ、上記カッティングと同様にガラ
ス原盤５上にパターンカッティングする。この動作を順
次繰返し行なってディスク用のプリフォーマットパター
ンをカッティングしたガラス原盤５６を現像して得られ
るレジストパターンをポストベーク，ニッケルスパッ
タ，ニッケル電鋳、裏面研磨及び外径加工等の公知の工
程を経て図１に示す様なプレフォーマットを有するスタ
ンパー１１が得られる。Instead of vibrating the cutting head, the master 56 may be vibrated as shown in FIG. When the cutting of one track is completed in this manner, the motor 7, the turntable 6
Then, the glass master 5 is slid (stepped) by one pitch of the pattern, and pattern cutting is performed on the glass master 5 in the same manner as the above-described cutting. This operation is sequentially repeated to develop a resist pattern obtained by developing the glass master 56 on which the preformat pattern for the disk has been cut by a known process such as post-baking, nickel sputtering, nickel electroforming, back surface polishing, and outer diameter processing. Thus, a stamper 11 having a preformat as shown in FIG. 1 is obtained.

【００３１】図１においてａは最も外側のトラックにお
ける短軸の長さ、ｂは同じトラックにおける長軸の長さ
であり、このプリフォーマットを有するスタンパーをロ
ール基材２２に樹脂シートの搬送方向と上記パターンの
短軸方向が一致するように固定することによって本発明
の光ディスク用基板シートの成形用ロールスタンパーを
得ることがができる。In FIG. 1, a is the length of the short axis in the outermost track, and b is the length of the long axis in the same track. By fixing the pattern so that the short-axis directions thereof coincide with each other, a roll stamper for forming a substrate sheet for an optical disk of the present invention can be obtained.

【００３２】又、上記の原盤作成方法に於て、プリフォ
ーマットパターンをあまり偏平な楕円形にする必要がな
く、長軸と短軸の比を全トラックにわたって厳密に等し
くする必要がない場合は、上記振動の振幅を略一定にし
てもよい。この場合、カッティングヘッド５４とガラス
原盤５６の中心間の距離１に比例して上記振動の振幅を
変化させるための手段が不要となり、コストダウンが図
れる。In the above-mentioned method for producing a master, if the preformat pattern does not need to be made very flat and elliptical and the ratio of the major axis to the minor axis does not need to be exactly equal over all tracks, The amplitude of the vibration may be substantially constant. In this case, a means for changing the amplitude of the vibration in proportion to the distance 1 between the center of the cutting head 54 and the center of the glass master 56 becomes unnecessary, and the cost can be reduced.

【００３３】本発明に於て、ロール基材の材料として
は、金属，半導体，誘電体又は合金が用いられ、例えば
Ａ１，ガラス，超硬合金，金型用鋼（例えばマルエージ
ング鋼）等の鏡面加工の可能な材料が用いられ、特に鏡
面加工の容易なＣｒ鋼は好ましい。In the present invention, as a material of the roll base material, a metal, a semiconductor, a dielectric or an alloy is used. For example, A1, glass, cemented carbide, mold steel (for example, maraging steel), etc. A material that can be mirror-finished is used, and particularly, Cr steel, which is easily mirror-finished, is preferable.

【００３４】次に本発明のロールスタンパーを用いた情
報記録媒体用基板シートの製造方法について説明する。
図４は本発明の情報記録媒体用基板シートの製造方法の
一実施態様を示す模式図である。Next, a method of manufacturing a substrate sheet for an information recording medium using the roll stamper of the present invention will be described.
FIG. 4 is a schematic view showing one embodiment of the method for producing a substrate sheet for an information recording medium of the present invention.

【００３５】同図に於いて、４５は押出し成形のエクス
トルーダー、４６はＴ−ダイ、４９は加圧成形部で、４
１，４２，４３の３本のロールで構成されている。In the figure, 45 is an extruder for extrusion molding, 46 is a T-die, 49 is a pressure molding section,
It is composed of three rolls 1, 42 and 43.

【００３６】このロールの少なくとも１本のロールが本
発明のロールスタンパーとなっており、図４に於ては４
２がロールスタンパーで、４１及び４３は鏡面ロールと
なっている。At least one of the rolls serves as a roll stamper of the present invention.
2 is a roll stamper, 41 and 43 are mirror-surface rolls.

【００３７】先ず、押出し成形機４５に投入された樹脂
ペレット４４が押出し成形機のバレルの中で加熱溶融さ
れ、スクリューによって加圧されＴ−ダイによってシー
ト状に賦形される。この時の樹脂の温度は例えばポリカ
ーボネート樹脂の場合２６０℃〜３３０℃、好ましくは
２８０℃〜３２０℃であり、Ｔ−ダイからは透明な溶融
樹脂シート４７として連続的に押し出されてくる。Ｔ−
ダイはこの溶融シートが加圧成形部４９のロール４１，
４２間に押出されるように配置される。更にＴ−ダイの
先端とロール４１，４２との間隔は樹脂がローラーに接
するまでに固化するのを防ぐため１００ｍｍ以下に配置
されるのが好ましく、又、Ｔ−ダイとロール間の周辺雰
囲気の温度は６０℃以上に加温されるのが好ましい。First, the resin pellets 44 put into the extruder 45 are heated and melted in a barrel of the extruder, pressed by a screw, and shaped into a sheet by a T-die. The temperature of the resin at this time is, for example, 260 ° C. to 330 ° C., preferably 280 ° C. to 320 ° C. in the case of a polycarbonate resin, and is continuously extruded as a transparent molten resin sheet 47 from the T-die. T-
The die is formed of a roll 41 of the pressure forming section 49,
It is arranged to be extruded between 42. Further, the distance between the tip of the T-die and the rolls 41 and 42 is preferably set to 100 mm or less in order to prevent the resin from solidifying before contacting the roller. Preferably, the temperature is raised to 60 ° C. or higher.

【００３８】次いでロール４１，４２間に押出された樹
脂シートは加熱されたロールスタンパー４２とプレスロ
ール４３により挟圧され凹凸プリフォーマットが転写さ
れる。Next, the resin sheet extruded between the rolls 41 and 42 is pressed by a heated roll stamper 42 and a press roll 43 to transfer an uneven preformat.

【００３９】本発明のロールスタンパーは用いる樹脂が
ロール上で固化することのない温度に保たれる。即ち、
ロールスタンパーの温度は用いる樹脂の熱変形温度の＋
２０〜−２０℃の範囲に加熱されるのが好ましく、例え
ばポリカーボネート樹脂を用いる場合ロールスタンパー
の表面温度は１００℃〜１６０℃に加熱されるのが好ま
しい。即ち、上記の温度範囲とすることにより溶融樹脂
シートが急冷されないため樹脂シートに収縮等も歪みが
生じにくい。又、加圧成形部のプレスロール４３の温度
はロールスタンパー４２と同じか若干低めに設定される
のが好ましい。これらのロールの温度の調節は例えばロ
ールに鋳込まれたヒーターにより電気的に加熱された
り、ロールの中心部に熱媒を循環させることにより制御
される。The roll stamper of the present invention is maintained at a temperature at which the resin used does not solidify on the roll. That is,
The temperature of the roll stamper is +
The heating is preferably performed in the range of 20 to -20C. For example, when a polycarbonate resin is used, the surface temperature of the roll stamper is preferably heated to 100C to 160C. That is, since the molten resin sheet is not rapidly cooled by setting the temperature in the above range, the resin sheet is unlikely to be shrunk or distorted. Further, it is preferable that the temperature of the press roll 43 in the pressure forming section is set to be equal to or slightly lower than that of the roll stamper 42. The temperature of these rolls is controlled by, for example, electrically heating them by means of a heater cast into the rolls, or by circulating a heating medium through the center of the rolls.

【００４０】次に引取りロール４８は連続成形の為の重
要なロールであり、加圧成形部４９のロールとこの引取
りロール４８とは同期されて駆動している。即ちこの２
組のロールの周速度は同じであり、この間で樹脂シート
には延伸等の応力は作用しない様に構成されているのが
好ましい。このようにすることで樹脂シート内部に光学
的異方性の生じるのを防ぐことができる。Next, the take-up roll 48 is an important roll for continuous molding, and the roll of the pressure forming section 49 and the take-up roll 48 are driven in synchronization with each other. That is, this 2
It is preferable that the peripheral speeds of the rolls in the set are the same, and the resin sheet is configured so that no stress such as stretching acts on the resin sheet during this period. By doing so, it is possible to prevent optical anisotropy from occurring inside the resin sheet.

【００４１】光記録媒体用基板シート４７′厚さは、加
圧成形部１１のロール間のギャップ、Ｔ−ダイのリップ
開度及び押出し速度と引張り速度との比による引落し
率、即ち、延伸の程度によって決定される。The thickness of the optical recording medium substrate sheet 47 ′ is determined by the gap between the rolls of the pressure forming section 11, the lip opening of the T-die, and the draw-down ratio based on the ratio between the extrusion speed and the pulling speed, ie, the stretching. Is determined by the degree of

【００４２】又、本発明の他の製造方法として、予め成
形された樹脂シートを加熱軟化し、そこに本発明のロー
ルスタンパーで押圧して凹凸プリフォーマットを転写す
ることによっても、正確な凹凸プリフォーマットを有す
る情報記録媒体用基板シートを得ることができる。As another manufacturing method of the present invention, a preformed resin sheet is heated and softened, and is pressed by a roll stamper of the present invention to transfer an uneven preformat. An information recording medium substrate sheet having a format can be obtained.

【００４３】[0043]

【実施例】次に実施例を用いて本発明を更に詳細に説明
する。Next, the present invention will be described in more detail with reference to examples.

【００４４】実施例１ 図５に示す装置を用い、９００ｒｐｍでフォトレジスト
層を有するガラス原盤を回転させながら、該ガラス原盤
５の中心からの距離１が２１ｍｍから４４．５ｍｍまで
の部位についてカッティングを行った。このとき、ピエ
ゾ素子に９００÷６０×２＝３０Ｈｚの交流電圧を加え
てカッティングヘッドをガラス原盤の径方向に振動させ
た。このときの振幅は０．００３９×１（ｍｍ）となる
ようにカッティングヘッドとガラス原盤の中心間の位置
に合わせて変化させた。また、モーター，ターンテーブ
ルおよびガラス原盤の送り速度は２４μｍ／Ｓとした。Example 1 Using the apparatus shown in FIG. 5, while rotating a glass master having a photoresist layer at 900 rpm, cutting was performed on a portion where the distance 1 from the center of the glass master 5 was 21 mm to 44.5 mm. went. At this time, an AC voltage of 900 ÷ 60 × 2 = 30 Hz was applied to the piezo element, and the cutting head was vibrated in the radial direction of the glass master. The amplitude at this time was changed according to the position between the center of the cutting head and the center of the glass master so as to be 0.0039 × 1 (mm). The feed speed of the motor, the turntable and the glass master was 24 μm / S.

【００４５】この様にしてカッティング後現像して最も
外側のトラックが短軸の長さ（ａ）８９．０００ｍｍ，
長軸の長さ（ｂ）８９．１７４ｍｍの楕円形のレジスト
パターンを作成した。なお、このレジストパターンは凸
部の幅０．６μｍ，ピッチ１．６μｍ，高さが１０００
Åのスパイラル状の光ディスクのトラッキング用溝に対
応する様に形成した。In this way, after cutting and development, the outermost track has a minor axis length (a) of 89.000 mm,
An elliptical resist pattern having a major axis length (b) of 89.174 mm was formed. In this resist pattern, the width of the projection is 0.6 μm, the pitch is 1.6 μm, and the height is 1000 μm.
It was formed so as to correspond to the tracking groove of the spiral optical disk of Å.

【００４６】次いでこのレジストパターンにＮｉ電鋳を
行なってスタンパーを作製し、このスタンパーに転写さ
れた楕円状のトラッキング用溝のパターンの短軸の方向
と樹脂シートの搬送方向が一致するようにスタンパーを
ロール基材に接着剤（商品名：ＳＣ−５５；ソニーケミ
カル（株）製）で接着してロールスタンパーを作成し
た。Next, a stamper is manufactured by performing Ni electroforming on the resist pattern, and the stamper is moved so that the direction of the short axis of the elliptical tracking groove pattern transferred to the stamper coincides with the conveying direction of the resin sheet. Was bonded to a roll substrate with an adhesive (trade name: SC-55; manufactured by Sony Chemical Corporation) to prepare a roll stamper.

【００４７】このロールスタンパーを用いて図４に示す
光ディスク用基板シートの製造装置を作成し、図４に示
す様にスクリュー径３５ｍｍφの押出し機４５に下向き
にセットされた２０ｃｍ巾のコートハンガー型Ｔ−ダイ
を使用した押出し成形機を用いて光記録媒体用基板シー
トを作成した。Using this roll stamper, an apparatus for manufacturing an optical disk substrate sheet shown in FIG. 4 was prepared, and as shown in FIG. 4, a 20 cm wide coat hanger type T set downward in an extruder 45 having a screw diameter of 35 mmφ. A substrate sheet for an optical recording medium was prepared using an extruder using a die.

【００４８】樹脂としてポリカーボネート樹脂（商品名
パンライトＬ−１２５０；帝人化成製）を使用した。加
圧成形部４９はロール４１，４３が鏡面ロール、ロール
４２が先に作成したロールスタンパーである。As the resin, a polycarbonate resin (trade name Panlite L-1250; manufactured by Teijin Chemicals Ltd.) was used. In the pressure forming section 49, the rolls 41 and 43 are mirror-finished rolls, and the roll 42 is a roll stamper created earlier.

【００４９】樹脂シートの押出し条件は押出し機のバレ
ル温度は押出し機４５のＡ部を３００℃、Ｂ部を３００
℃、Ｃ部を３２０℃とし、Ｔ−ダイ４６の温度Ｔｄ＝３
２０℃として溶融樹脂シートを形成した。この時の樹脂
温度は２８０℃〜３２０℃であった。The conditions for extruding the resin sheet were as follows. The barrel temperature of the extruder was 300 ° C. for part A of extruder 45 and 300 ° C. for part B of extruder 45.
° C, the temperature of the C part is 320 ° C, and the temperature Td of the T-die 46 is 3
At 20 ° C., a molten resin sheet was formed. The resin temperature at this time was 280 to 320 ° C.

【００５０】ロールスタンパー４２は１４０℃に保持さ
れており、ロール４１はロール４２より１〜２℃低い温
度に、又ロール４３はロール３２り２０〜２１℃高い温
度に保持した。The roll stamper 42 was maintained at 140 ° C., the roll 41 was maintained at a temperature lower by 1 to 2 ° C. than the roll 42, and the roll 43 was maintained at a temperature 20 to 21 ° C. higher than the roll 32.

【００５１】Ｔ−ダイのリップと加圧成形部の空隙は５
０ｍｍとし、樹脂シートの押出しから加圧成形部までの
雰囲気を６０℃以上となる様に周囲を加熱箱で囲って制
御した。Ｔ−ダイのリップ開度は０．４８ｍｍで加圧成
形部のロール４１，４２がギャップを１．２ｍｍとして
樹脂シートにロールスタンパー４２のプリフォーマット
パターン１４を転写して厚さ１．２ｍｍの光ディスク用
基板シート３１を作成した。The gap between the lip of the T-die and the press-formed part is 5
It was set to 0 mm, and the atmosphere from the extrusion of the resin sheet to the pressure molding section was controlled to be 60 ° C. or higher by surrounding the surroundings with a heating box. The lip opening of the T-die is 0.48 mm, and the rolls 41 and 42 of the pressure forming section transfer the preformat pattern 14 of the roll stamper 42 to a resin sheet with a gap of 1.2 mm, and an optical disc having a thickness of 1.2 mm. A substrate sheet 31 was prepared.

【００５２】又樹脂シートの成形速度は２ｍ／分で行な
った。この様にして形成した情報記録媒体用基板シート
上の凹凸プリフォーマットについて図３に示す様に、該
プリフォーマット３２の、樹脂シートの搬送方向Ｄと平
行な方向の長さをａ′，垂直な方向の長さをｂ′とした
とき、そのａ′及びｂ′を測定しａ′を基準としたとき
のｂ′のずれを真円からのずれ畳とした。なお、この測
定の３つのサンプルを無作為に抽出して行なった。その
結果を表−１に示す。The molding speed of the resin sheet was 2 m / min. 3, the length of the preformat 32 in the direction parallel to the resin sheet conveyance direction D is a ', and Assuming that the length in the direction is b ', a' and b 'were measured, and the displacement of b' based on a 'was defined as a deviation from a perfect circle. Note that three samples of this measurement were randomly extracted and performed. Table 1 shows the results.

【００５３】[0053]

【表】【table】

【００５４】次いで上記の測定した光ディスク用基板を
シートから切断した後アルミニウムを厚さ１０００Åに
蒸着し光ディスクを作成した。Next, the optical disk substrate measured above was cut from the sheet, and then aluminum was evaporated to a thickness of 1000 ° to prepare an optical disk.

【００５５】この光ディスクを光ディスク評価装置（商
品名ＯＭＳ−１０００ Ｔｙｐｅ３；ナカミチ（株）
製）で評価してトラッキングエラー信号の振幅を測定し
た。但し、このときの振幅量が０．２Ｖ以下の場合を
◎、０．２〜０．４Ｖの場合を○、０．４〜１．０Ｖの
場合を△、１Ｖ以上からトラッキング不能の場合を×で
示した。An optical disk evaluation apparatus (trade name: OMS-1000 Type3; Nakamichi Co., Ltd.)
And the amplitude of the tracking error signal was measured. However, when the amplitude amount at this time is 0.2 V or less, ◎; when 0.2 to 0.4 V, ○; when 0.4 to 1.0 V, Δ; Indicated by

【００５６】実施例２ 実施例１と同じ装置を用い、１２００ｒｐｍでガラス原
盤を回転させながら、該ガラス原盤５の中心からの距離
１が２０ｍｍから４４．５ｍｍまでの部位についてカッ
ティングを行なった。このとき、ピエゾ素子８に１２０
０÷６０×２＝４０Ｈｚの交流電圧を加え、振幅が０．
０１１８×１（ｍｍ）となるようにカッティングヘッド
４とガラス原盤５の中心間の距離１に合わせて変化させ
ながらカッティングヘッド４を原盤の径方向に振動させ
た。Example 2 Using the same apparatus as in Example 1, while the glass master was rotated at 1200 rpm, cutting was performed on a portion where the distance 1 from the center of the glass master 5 was 20 mm to 44.5 mm. At this time, 120 is added to the piezoelectric element 8.
An AC voltage of 0 ＝ 60 × 2 = 40 Hz is applied, and the amplitude is 0.
The cutting head 4 was vibrated in the radial direction of the master while changing the distance between the center of the cutting head 4 and the center of the glass master 5 so as to be 0118 × 1 (mm).

【００５７】こうして短軸の長さ（ａ）８９．０００ｍ
ｍ長軸の長さ（ｂ）８９．５２５ｍｍの楕円形のディス
ク用トラッキング用溝のパターンを有するレジストパタ
ーンを得た。次いでこのレジストパターンを用いてＮｉ
電鋳を行なってスタンパーを作製しこのスタンパーをパ
ターンの短軸の方向と樹脂シートの搬送方向が一致する
ようにロール基材に接着剤で貼り付けてロールスタンパ
ーを作製した。次いでこのロールスタンパーを用いて実
施例１と同様にして押出し成形される樹脂シートに光デ
ィスク用プリフォーマットパターンを連続的に転写し
て、光ディスク用基板シートを作成した。Thus, the minor axis length (a) is 89.000 m.
A resist pattern having an elliptical disk tracking groove pattern with a length (b) of 89.525 mm in the m major axis was obtained. Then, using this resist pattern, Ni
A stamper was produced by electroforming, and the stamper was attached to a roll base material with an adhesive so that the direction of the short axis of the pattern coincided with the conveying direction of the resin sheet, to produce a roll stamper. Subsequently, the optical disk preformat pattern was continuously transferred to a resin sheet extruded and formed in the same manner as in Example 1 using this roll stamper, thereby producing an optical disk substrate sheet.

【００５８】このようにして得た光ディスク用基板シー
トの凹凸プリフォーマットについて実施例１と同様にし
て真円からのずれ量を測定すると共に、このシートから
光ディスク用基板を切り出して光ディスクを作成してト
ラッキングエラー信号の振幅を測定した。その結果を表
−２に示す。With respect to the irregular preformat of the optical disk substrate sheet thus obtained, the amount of deviation from a perfect circle was measured in the same manner as in Example 1, and the optical disk substrate was cut out from this sheet to produce an optical disk. The amplitude of the tracking error signal was measured. Table 2 shows the results.

【００５９】[0059]

【表】【table】

【００６０】実施例３ 実施例１と同様にして本発明のロールスタンパーを作製
し、押出し成形した樹脂シートに光ディスク用プリフォ
ーマットパターンを転写した。なお、本実施例に於て凹
凸プリフォーマットパターンは、最も外側のトラックの
樹脂シートの搬送方向と平行な方向の長さａが８９．４
２３ｍｍ、樹脂シートの搬送方向と垂直な方向の長さｂ
が８９．７９３ｍｍの楕円状で、またスタンパーの凸部
の幅が０．６μｍ，ピッチが１．６μｍ，高さが１００
０Åの光ディスクのトラッキング用溝に対応する様に形
成した。Example 3 A roll stamper of the present invention was produced in the same manner as in Example 1, and a preformat pattern for an optical disk was transferred to an extruded resin sheet. In this embodiment, the concave / convex preformat pattern has a length a in the direction parallel to the resin sheet transport direction of the outermost track of 89.4.
23 mm, length b in the direction perpendicular to the resin sheet conveyance direction
Is 89.793 mm elliptical, and the width of the protrusion of the stamper is 0.6 μm, the pitch is 1.6 μm, and the height is 100.
It was formed so as to correspond to the tracking groove of the optical disk of 0 °.

【００６１】この様にして得られた光ディスク用基板シ
ートについて実施例１と同様に測定し、この基板シート
から作成した光ディスクについてトラッキングエラー信
号の振幅を測定した。その結果を表−３に示す。The substrate sheet for an optical disk thus obtained was measured in the same manner as in Example 1, and the amplitude of a tracking error signal was measured for an optical disk made from this substrate sheet. Table 3 shows the results.

【００６２】[0062]

【表】【table】

【００６３】実施例４ ロールスタンパーに形成する凹凸プリフォーマットパタ
ーンとして長さａを８９．０２３ｍｍ長さｂを８９．７
９３ｍｍの楕円状とし、他は実施例１と同様にして光デ
ィスク用基板シートを連続成形した。Example 4 As a concave / convex preformat pattern formed on a roll stamper, length a was 89.023 mm and length b was 89.7.
An optical disk substrate sheet was continuously formed in the same manner as in Example 1 except that the shape was 93 mm elliptical.

【００６４】この様に形成した光ディスク用基板シート
の凹凸プリフォーマットについて実施例１と同様に測定
し評価した。その結果を表−４に示す。The uneven preformat of the optical disk substrate sheet thus formed was measured and evaluated in the same manner as in Example 1. Table 4 shows the results.

【００６５】[0065]

【表】 【table】

【００６６】実施例５〜８ ロールスタンパーに形成するプリフォーマットパターン
として長さａ，ｂを以下の表−５に示す値とした他は実
施例１と同様にして光ディスク用基板シートを連続成形
し、この基板シート上に転写された凹凸プリフォーマッ
トについて実施例１と同様に測定し評価した。Examples 5 to 8 An optical disk substrate sheet was continuously formed in the same manner as in Example 1 except that the lengths a and b were set to the values shown in Table 5 below as preformat patterns to be formed on the roll stamper. The uneven preformat transferred onto the substrate sheet was measured and evaluated in the same manner as in Example 1.

【００６７】比較例１〜２ ロールスタンパーに形成する凹凸プリフォーマットパタ
ーンとして長さａ及びｂを表−４に示す値とした他は実
施例１と同様にして光ディスク用基板を作成し、転写さ
れた凹凸プリフォーマットの寸法の測定及び評価を行っ
た。Comparative Examples 1 and 2 An optical disk substrate was prepared and transferred in the same manner as in Example 1 except that the lengths a and b were set to the values shown in Table 4 as the concave and convex preformat pattern formed on the roll stamper. The dimensions of the irregular preformat were measured and evaluated.

【００６８】以上実施例５〜８及び比較例１，２の結果
を表−５に示す。Table 5 shows the results of Examples 5 to 8 and Comparative Examples 1 and 2.

【００６９】[0069]

【表】【table】

【００７０】実施例９ 図６に示す装置を用い、９００ｒｐｍでガラス原盤を回
転させながら、該ガラス原盤の中心からの距離１が２０
ｍｍから４４．５ｍｍまでの部位についてカッティング
を行った。このとき、ピエゾ素子に９００÷６０×２＝
３０Ｈｚの交流電圧を加えてモーター，ターンテーブル
およびガラス原盤を左右方向に振動させた。このときの
振幅は０．００４２×１（ｍｍ）としてカッティングヘ
ッド４とガラス原盤の中心間の距離１に合わせて変化さ
せた。Example 9 Using the apparatus shown in FIG. 6, while rotating the glass master at 900 rpm, the distance 1 from the center of the glass master was 20
Cutting was performed for a portion from mm to 44.5 mm. At this time, 900 ÷ 60 × 2 =
A motor, a turntable and a glass master were vibrated in the left-right direction by applying an AC voltage of 30 Hz. The amplitude at this time was set to 0.0042 × 1 (mm) and changed according to the distance 1 between the cutting head 4 and the center of the glass master.

【００７１】この様にしてカッティング後、現像して最
も外側のトラックにおける短軸の長さ（ａ）８９．００
０ｍｍ，長軸の長さ（ｂ）８９．１８７ｍｍの楕円形の
レジストパターンを得た。なお、このレジストパターン
は、凸部の幅０．６μｍ，ピッチが１．６μｍ，高さが
１０００Åでスパイラル状の光ディスクのトラッキング
用溝に対応する様に形成した。次いでこのレジストパタ
ーンにＮｉ電鋳を行なってスタンパーを作製し、このス
タンパーに転写された楕円状のトラッキング用溝のパタ
ーンの短軸の方向と樹脂シートの搬送方向が一致するよ
うにスタンパーをロール基材に接着剤（商品名：ＳＣ−
５５；ソニーケミカル（株）製）で接着してロールスタ
ンパーを作成した。After cutting in this manner, development is performed, and the length (a) of the short axis on the outermost track is 89.00.
An oval resist pattern having a length of 0 mm and a major axis length (b) of 89.187 mm was obtained. The resist pattern was formed to have a width of 0.6 μm, a pitch of 1.6 μm, and a height of 1000 ° corresponding to the tracking groove of the spiral optical disk. Next, Ni is electroformed on the resist pattern to form a stamper, and the stamper is rolled so that the short axis direction of the elliptical tracking groove pattern transferred to the stamper and the conveying direction of the resin sheet coincide with each other. Adhesive (trade name: SC-
55; manufactured by Sony Chemical Corporation) to form a roll stamper.

【００７２】このロールスタンパーを用いて実施例１と
同様にして押出し成形したポリカーボネート樹脂シート
上に複数の光ディスク用プリフォーマットパターンの転
写を行なって光ディスク用基板シートを作成した。この
基板シートのプリフォーマットについて実施例１と同様
に測定し評価した。Using this roll stamper, a plurality of optical disk preformat patterns were transferred onto a polycarbonate resin sheet extruded and formed in the same manner as in Example 1 to prepare an optical disk substrate sheet. The preformat of this substrate sheet was measured and evaluated in the same manner as in Example 1.

【００７３】実施例１０ 実施例９と同じ装置を用い、６００ｒｐｍでガラス原盤
を回転させながら、該ガラス原盤の中心からの距離１が
２２ｍｍから４４．５ｍｍまでの部位についてレジスト
層にカッティングを行った。このとき、ピオゾ素子８に
６００÷６０×２＝２０Ｈｚの交流電圧を加え、振幅は
０．０１４×１（ｍｍ）としてカッティングヘッド４と
ガラス原盤５の中心間の距離１に合わせて変化させなが
らモーター、ターンテーブルおよびガラス原盤を左右方
向に振動させた。Example 10 Using the same apparatus as in Example 9, while rotating the glass master at 600 rpm, cutting was performed on the resist layer at a position where the distance 1 from the center of the glass master was 22 mm to 44.5 mm. . At this time, an AC voltage of 600 ÷ 60 × 2 = 20 Hz is applied to the piezo element 8 and the amplitude is set to 0.014 × 1 (mm) while changing the amplitude according to the distance 1 between the center of the cutting head 4 and the glass master 5. The motor, turntable and glass master were vibrated in the left and right directions.

【００７４】この様にしてカッティング後、現像して最
も外側のトラックにおける短軸の長さ（ａ）８９．００
０ｍｍ，長軸の長さ（ｂ）８９．６２３ｍｍの楕円形の
レジストパターンを得た。なお、このレジストパターン
は、凸部の幅０．６μｍ，ピッチが１．６μｍ，高さが
１０００Åのスパイラル状の光ディスクのトラッキング
用溝に対応する様に形成した。次いでこのレジストパタ
ーンにＮｉ電鋳を行なってスタンパーを作製し、このス
タンパーに転写された楕円状のトラッキング用溝のパタ
ーンの短軸の方向と樹脂シートの搬送方向が一致するよ
うにスタンパーをロール基材に接着剤（商品名：ＳＣ−
５５；ソニーケミカル（株）製）で接着してロールスタ
ンパーを作製した。After cutting in this manner, development is performed, and the length (a) of the short axis in the outermost track is 89.00.
An elliptical resist pattern having a length of 0 mm and a major axis length (b) of 89.623 mm was obtained. The resist pattern was formed so as to correspond to a tracking groove of a spiral optical disk having a convex portion having a width of 0.6 μm, a pitch of 1.6 μm, and a height of 1000 °. Next, Ni is electroformed on the resist pattern to form a stamper, and the stamper is rolled so that the short axis direction of the elliptical tracking groove pattern transferred to the stamper and the conveying direction of the resin sheet coincide with each other. Adhesive (trade name: SC-
55; manufactured by Sony Chemical Corporation) to produce a roll stamper.

【００７５】このロールスタンパーを用いて実施例１と
同様にして押出し成形したポリカーボネート樹脂シート
上に複数の光ディスク用プリフォーマットパターンの転
写を行なって、光ディスク用基板シートを作成した。こ
の基板シートのプリフォーマットについて実施例１と同
様に測定し評価した。Using this roll stamper, a plurality of optical disk preformat patterns were transferred onto a polycarbonate resin sheet extruded and formed in the same manner as in Example 1 to prepare an optical disk substrate sheet. The preformat of this substrate sheet was measured and evaluated in the same manner as in Example 1.

【００７６】上記実施例９，１０の結果を表−６に示
す。Table 6 shows the results of Examples 9 and 10.

【００７７】[0077]

【表】【table】

【００７８】[0078]

【発明の効果】以上説明した様に本発明のロールスタン
パー及びそれを用いた情報記録媒体用基板シートの製造
方法により、樹脂シート上に凹凸プリフォーマットを正
確に転写することができる。As described above, according to the roll stamper of the present invention and the method for manufacturing a substrate sheet for an information recording medium using the same, an irregular preformat can be accurately transferred onto a resin sheet.

【００７９】又、正確に凹凸プリフォーマットの転写さ
れた樹脂シートを連続的に製造することが可能となっ
た。Further, it has become possible to continuously manufacture a resin sheet on which a concave and convex preformat has been accurately transferred.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明のロールスタンパーのパターン形状の一
実施態様を示す模式図である。FIG. 1 is a schematic view showing one embodiment of a pattern shape of a roll stamper of the present invention.

【図２】図１のスタンパーを鏡面ロール上に固定したロ
ールスタンパーの一実施態様を表わす模式図である。FIG. 2 is a schematic view showing an embodiment of a roll stamper in which the stamper of FIG. 1 is fixed on a mirror roll.

【図３】本発明のロールスタンパーを用いた樹脂シート
へのプリフォーマットパターン転写工程を示す概略図で
ある。FIG. 3 is a schematic view showing a step of transferring a preformat pattern to a resin sheet using the roll stamper of the present invention.

【図４】本発明のロールスタンパーを用いた情報記録媒
体用基板シートの製造方法の一実施態様を示す模式図で
ある。FIG. 4 is a schematic view showing one embodiment of a method for manufacturing a substrate sheet for an information recording medium using the roll stamper of the present invention.

【図５】本発明のロールスタンパーの製造に用いる原盤
のカッティング装置の一実施態様を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing one embodiment of a master cutting device used for manufacturing the roll stamper of the present invention.

【図６】本発明のロールスタンパーの製造に用いる原盤
のカッティング装置の他の実施態様を示す断面図であ
る。FIG. 6 is a cross-sectional view showing another embodiment of a master disc cutting device used for manufacturing the roll stamper of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１１ スタンパーの凹凸プリフォーマットパターン ２１ スタンパー ２２ ロール基材 ３１ 光記録媒体用基板シート ３２ 光ディスク用プリフォーマット ４１ プレスロール ４２ ロールスタンパー ４３ プレスロール ４４ 樹脂ペレット ４５ エクストルーダー ４６ Ｔ−ダイ ４７ 溶融樹脂シート ４８ 搬送ロール ４９ 加圧成形部 ５１ レーザー発振機 ５２ 光変調器 ５３ 変調信号発生器 ５４ カッティングヘッド ５５ レジスト層 ５６ ガラス原盤 ５７ ターンテーブル ５８ 水平方向スライド機構 ５９ モーター ６０ ピエゾ素子 ６１ 機枠 ６２ スピンドル Ｄ 樹脂シートの搬送方向 11 Uneven Preform Pattern of Stamper 21 Stamper 22 Roll Substrate 31 Substrate Sheet for Optical Recording Medium 32 Preformat for Optical Disk 41 Press Roll 42 Roll Stamper 43 Press Roll 44 Resin Pellets 45 Extruder 46 T-Die 47 Molten Resin Sheet 48 Transport Roll 49 Press forming part 51 Laser oscillator 52 Optical modulator 53 Modulation signal generator 54 Cutting head 55 Resist layer 56 Glass master 57 Turntable 58 Horizontal slide mechanism 59 Motor 60 Piezo element 61 Machine frame 62 Spindle D Resin sheet Transport direction

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 八島 正孝 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 佐藤 哲也 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 芳野 斉 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 上高原 弘文 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 林 久範 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤ ノン株式会社内 (56)参考文献 特開 昭56−87203（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−209043（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G11B 7/26 B29C 59/00 - 59/04 B29D 17/00──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Masataka Yajima 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (72) Inventor Tetsuya Sato 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inside (72) Inventor Hitoshi Yoshino 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Within Canon Inc. (72) Inventor Hirofumi Uehara 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Within Canon Inc. (72) Inventor Hisanori Hayashi 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Inside Canon Inc. (56) References JP-A-56-87203 (JP, A) JP-A-63-209043 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. ⁶ , DB name) G11B 7/26 B29C 59/00-59/04 B29D 17/00

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】 樹脂シート上に連続的に同心円状もしく
はらせん状の凹凸プリフォーマットを転写して、情報記
録媒体用基板シートを成形するロールスタンパーに於
て、該ロールスタンパーの有する同心円状もしくはらせ
ん状の凹凸プリフォーマットパターンの最も外側のトラ
ックに於て、該樹脂シートの搬送方向と平行な方向の長
さをａ、垂直な方向の長さをｂとしたときの該凹凸プリ
フォーマットパターンのｂ／ａの値が１よりも大きいこ
とを特徴とする情報記録媒体用基板シートの成形用ロー
ルスタンパー。In a roll stamper for forming a substrate sheet for an information recording medium by continuously transferring concentric or spiral preforms and concaves onto a resin sheet, the concentric or spiral shape of the roll stamper is provided. In the outermost track of the concave-convex preformat pattern, the length in the direction parallel to the conveying direction of the resin sheet is a, and the length in the vertical direction is b. A roll stamper for forming a substrate sheet for an information recording medium, wherein the value of / a is larger than 1. 【請求項２】 前記ロールスタンパーの有するプリフォ
ーマットパターンの前記樹脂シートの搬送方向と平行な
方向の長さａ及び垂直な方向の長さｂが下式〔１〕の関
係にある請求項１の成形用ロールスタンパー。 【外１】 2. The length a of the preformat pattern of the roll stamper in a direction parallel to the direction in which the resin sheet is conveyed and a length b in a direction perpendicular to the direction of conveyance of the resin sheet are represented by the following formula [1]. Roll stamper for forming. [Outside 1] 【請求項３】 前記ロールスタンパーの長さａ及びｂが
下式〔２〕の関係を満足する請求項２のロールスタンパ
ー。 【外２】 3. The roll stamper according to claim 2, wherein the lengths a and b of the roll stamper satisfy the relationship of the following expression [2]. [Outside 2] 【請求項４】 樹脂シート上にロールスタンパーを用い
て連続的に同心円状もしくはらせん状の凹凸プリフォー
マットを転写する情報記録媒体用基板シートの製造方法
に於て、該ロールスタンパーの有する同心円状もしくは
らせん状の凹凸プリフォーマットパターンの最も外側の
トラックにおける該樹脂シートの搬送方向と平行な方向
の長さをａ，垂直な方向の長さをｂとしたときの該凹凸
プリフォーマットパターンのｂ／ａの値が１より大きく
形成されてなる凹凸プリフォーマットパターンを有する
ロールスタンパーを用いることを特徴とする情報記録媒
体用基板シートの製造方法。4. A method for producing a substrate sheet for an information recording medium in which a concentric or helical uneven preformat is continuously transferred onto a resin sheet by using a roll stamper. B / a of the irregular preformat pattern when the length in the direction parallel to the conveying direction of the resin sheet in the outermost track of the spiral irregular preformat pattern is a and the length in the vertical direction is b Characterized by using a roll stamper having a concave / convex preformat pattern in which the value of R is larger than 1. 【請求項５】 樹脂シート上に連続的に同心円状もしく
はらせん状のプリフォーマットパターンを転写して情報
記録媒体用基板シートを成形するロールスタンパーの製
造方法に於て、以下の工程を有することを特徴とする。 ａ）フォトレジスト層を有する原盤を所定の回転数で回
転させつつ、該レジスト層に前記プリフォーマットパタ
ーンに対応するパターンをカッティングするカッティン
グヘッド或いは前記原盤を所定の回転数の２倍の周波数
で前記原盤の径方向に振動させてフォトレジスト層に前
記パターンをカッティングした後、現像して各々のトラ
ックが楕円状であって且つ、前記パターンの最も外側の
トラックに於て短軸の長さがａ，長軸の長さがｂでｂ／
ａの値が１よりも大きい楕円状であるレジストパターン
を形成する工程。 ｂ）該レジストパターンに電鋳を行なって前記プリフォ
ーマットパターンを有するスタンパーを形成する工程。 ｃ）該スタンパーを前記パターンの短軸方向が樹脂シー
トの搬送方向と一致するようにロール基材に固定する工
程。5. A method for manufacturing a roll stamper for forming a substrate sheet for an information recording medium by continuously transferring a concentric or spiral preformat pattern onto a resin sheet, the method comprising the following steps: Features. a) While rotating a master having a photoresist layer at a predetermined rotation speed, the cutting head or the master for cutting a pattern corresponding to the preformat pattern on the resist layer is rotated at a frequency twice as high as a predetermined rotation speed. After cutting the pattern in the photoresist layer by vibrating in the radial direction of the master, development is performed so that each track has an elliptical shape and the length of the minor axis is a at the outermost track of the pattern. , The length of the major axis is b and b /
forming an elliptical resist pattern in which the value of a is greater than 1; b) electroforming the resist pattern to form a stamper having the preformat pattern. c) fixing the stamper to a roll base material such that the short-axis direction of the pattern coincides with the resin sheet conveying direction. 【請求項６】 前記カッティングヘッド或いは原盤の振
動の振幅を、カッティングの部位と原盤の中心間の距離
に比例して変化させることを特徴とする請求項５のロー
ルスタンパーの製造方法。6. The method for manufacturing a roll stamper according to claim 5, wherein the amplitude of vibration of the cutting head or the master is changed in proportion to a distance between a cutting portion and a center of the master.