JP2828604B2 - 複屈折測定装置 - Google Patents
複屈折測定装置Info
- Publication number
- JP2828604B2 JP2828604B2 JP5904895A JP5904895A JP2828604B2 JP 2828604 B2 JP2828604 B2 JP 2828604B2 JP 5904895 A JP5904895 A JP 5904895A JP 5904895 A JP5904895 A JP 5904895A JP 2828604 B2 JP2828604 B2 JP 2828604B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- birefringence
- sample
- component
- optical
- axis direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複屈折測定装置に係
り、特に試料の複屈折位相差及びその主軸方位を高速で
測定する複屈折測定装置に関する。
り、特に試料の複屈折位相差及びその主軸方位を高速で
測定する複屈折測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、光エロクトロニクス機器の発達に
伴い、光学素子、ＬＣＤ、ＭＯ等の光デバイスの高精度
化が要求されるようになってきた。特に、この光デバイ
スの品質を評価する上で光学的均一性が重要とされてい
るため、光デバイスに残留する応力に起因した複屈折を
高精度に測定する必要性が高まっている。
伴い、光学素子、ＬＣＤ、ＭＯ等の光デバイスの高精度
化が要求されるようになってきた。特に、この光デバイ
スの品質を評価する上で光学的均一性が重要とされてい
るため、光デバイスに残留する応力に起因した複屈折を
高精度に測定する必要性が高まっている。
【０００３】このように複屈折を高精度に測定する複屈
折測定装置としては、例えば光源に直交偏光２周波レー
ザを採用した光ヘテロダイン複屈折測定法（例えば、特
公昭５９−５０９２７）により複屈折位相差を測定する
ものが知られている。更に、この複屈折位相差だけでな
くその主軸方位も同時に測定する複屈折測定装置とし
て、光源に周波数安定化横ゼーマンレーザ（「Stabiliz
ed Transverse ZeemanLaser」、略して「ＳＴＺＬ」と
も呼ぶ）を用いた方法も知られている（例えば、特公平
６−１２３３３）。
折測定装置としては、例えば光源に直交偏光２周波レー
ザを採用した光ヘテロダイン複屈折測定法（例えば、特
公昭５９−５０９２７）により複屈折位相差を測定する
ものが知られている。更に、この複屈折位相差だけでな
くその主軸方位も同時に測定する複屈折測定装置とし
て、光源に周波数安定化横ゼーマンレーザ（「Stabiliz
ed Transverse ZeemanLaser」、略して「ＳＴＺＬ」と
も呼ぶ）を用いた方法も知られている（例えば、特公平
６−１２３３３）。
【０００４】しかしながら、周波数安定化横ゼーマンレ
ーザを用いた上述の複屈折測定装置は、複屈折主軸方位
を同時に測定する目的で２分の１波長板等の光学系を回
転させる構成であったため、測定時間がやや遅くなると
いった不都合があった。
ーザを用いた上述の複屈折測定装置は、複屈折主軸方位
を同時に測定する目的で２分の１波長板等の光学系を回
転させる構成であったため、測定時間がやや遅くなると
いった不都合があった。
【０００５】そこで、測定時間の短縮化を図る複屈折測
定装置として、周波数安定化横ゼーマンレーザとロック
インアンプを組み合わせたものが提案されている（例え
ば、特開平５−２４９０３１）。この複屈折測定装置に
よると、１点あたりの測定時間が２（ｍｓ）と高速化が
図られている。
定装置として、周波数安定化横ゼーマンレーザとロック
インアンプを組み合わせたものが提案されている（例え
ば、特開平５−２４９０３１）。この複屈折測定装置に
よると、１点あたりの測定時間が２（ｍｓ）と高速化が
図られている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記測
定時間の短縮化を図った複屈折測定装置にあっては、検
出対象のレーザ光の光路を２つに分けて、その２つの光
路の夫々に複数の偏光素子や検出器、ロックインアンプ
等を割り当てて配置する構成であったため、光学系だけ
でなく装置全体の構成も複雑になるといった問題があっ
た。
定時間の短縮化を図った複屈折測定装置にあっては、検
出対象のレーザ光の光路を２つに分けて、その２つの光
路の夫々に複数の偏光素子や検出器、ロックインアンプ
等を割り当てて配置する構成であったため、光学系だけ
でなく装置全体の構成も複雑になるといった問題があっ
た。
【０００７】本発明は、上述の従来技術の問題を考慮し
てなされたものであり、測定時間の短縮化を図ると共
に、装置全体の構成を簡素に構築できる複屈折測定装置
を提供することを、目的とする。
てなされたものであり、測定時間の短縮化を図ると共
に、装置全体の構成を簡素に構築できる複屈折測定装置
を提供することを、目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載の発明に係る複屈折測定装置は、レー
ザ光により測定対象の試料の複屈折状態に関する情報を
測定する構成とし、２つの互いに異なる周波数成分を有
し且つその２つの周波数成分が互いに反対向きの円偏光
となるレーザ光を発振する光源と、この光源による当該
レーザ光を上記試料に向けて発振させることにより当該
試料の上記複屈折状態を反映したレーザ光の光信号を検
出する検出手段と、この検出手段により検出された当該
光信号に基づいて上記試料の少なくとも複屈折位相差及
び複屈折主軸方位を同時に計測する計測手段とを備えて
いる。
に、請求項１記載の発明に係る複屈折測定装置は、レー
ザ光により測定対象の試料の複屈折状態に関する情報を
測定する構成とし、２つの互いに異なる周波数成分を有
し且つその２つの周波数成分が互いに反対向きの円偏光
となるレーザ光を発振する光源と、この光源による当該
レーザ光を上記試料に向けて発振させることにより当該
試料の上記複屈折状態を反映したレーザ光の光信号を検
出する検出手段と、この検出手段により検出された当該
光信号に基づいて上記試料の少なくとも複屈折位相差及
び複屈折主軸方位を同時に計測する計測手段とを備えて
いる。
【０００９】また請求項２記載の発明では、前記光源は
２つの互いに異なる周波数成分を有し且つその２つの周
波数成分が互いに直交した直線偏光となるレーザ光を発
振するレーザと４分の１波長板とを組み合わせて成って
いる。
２つの互いに異なる周波数成分を有し且つその２つの周
波数成分が互いに直交した直線偏光となるレーザ光を発
振するレーザと４分の１波長板とを組み合わせて成って
いる。
【００１０】また請求項３記載の発明では、前記レーザ
は周波数安定化横ゼーマンレーザである。
は周波数安定化横ゼーマンレーザである。
【００１１】また請求項４記載の発明では、前記検出手
段は、前記光源により発振された上記レーザ光の当該２
つの周波数成分を前記試料を介して光学的に相互に干渉
させる光学系と、この光学系からの干渉後の光ビート成
分を含むレーザ光の光信号を電気信号に変換して検出す
る光電検出器とを備えている。
段は、前記光源により発振された上記レーザ光の当該２
つの周波数成分を前記試料を介して光学的に相互に干渉
させる光学系と、この光学系からの干渉後の光ビート成
分を含むレーザ光の光信号を電気信号に変換して検出す
る光電検出器とを備えている。
【００１２】また請求項５記載の発明では、前記光学系
は、前記光源から入射されたレーザ光の２つの周波数成
分の夫々における偏光状態の位相を９０度変換する４分
の１波長板と、この４分の１波長板を介して入射される
レーザ光の上記２つの周波数成分を相互に干渉させ且つ
その干渉させて得られる光ビート成分を含むレーザ光を
出射する直線偏光子とを備え、上記光源及び４分の１波
長板間の光路上に前記試料を配置するように形成してい
る。
は、前記光源から入射されたレーザ光の２つの周波数成
分の夫々における偏光状態の位相を９０度変換する４分
の１波長板と、この４分の１波長板を介して入射される
レーザ光の上記２つの周波数成分を相互に干渉させ且つ
その干渉させて得られる光ビート成分を含むレーザ光を
出射する直線偏光子とを備え、上記光源及び４分の１波
長板間の光路上に前記試料を配置するように形成してい
る。
【００１３】また請求項６記載の発明は、前記４分の１
波長板を前記レーザ光の光軸に直交する面内の光軸を中
心として予め設定された基準方位に対して進相軸方位が
４５度となる位置に配置する一方、前記直線偏光子を上
記基準方位に対して偏光透過軸方位が０度となる位置に
配置している。
波長板を前記レーザ光の光軸に直交する面内の光軸を中
心として予め設定された基準方位に対して進相軸方位が
４５度となる位置に配置する一方、前記直線偏光子を上
記基準方位に対して偏光透過軸方位が０度となる位置に
配置している。
【００１４】また請求項７記載の発明では、前記光電検
出器はフォトダイオードである。
出器はフォトダイオードである。
【００１５】また請求項８記載の発明では、前記計測手
段は、前記光電検出器が検出した電気信号から直流成分
を抽出するローパスフィルタと、上記光電検出器が検出
した電気信号から前記光ビート成分に相当する交流成分
を抽出するロックインアンプと、上記ローパスフィルタ
により抽出された直流成分及び上記ロックインアンプに
より抽出された交流成分に基づいて前記試料の複屈折位
相差及び複屈折主軸方位を同時に演算する演算部とを備
えている。
段は、前記光電検出器が検出した電気信号から直流成分
を抽出するローパスフィルタと、上記光電検出器が検出
した電気信号から前記光ビート成分に相当する交流成分
を抽出するロックインアンプと、上記ローパスフィルタ
により抽出された直流成分及び上記ロックインアンプに
より抽出された交流成分に基づいて前記試料の複屈折位
相差及び複屈折主軸方位を同時に演算する演算部とを備
えている。
【００１６】また請求項９記載の発明では、前記演算部
は、前記交流成分に相当する２つの直交成分をＩｘ及び
Ｉｙとし、前記直流成分をＩDCとし、前記試料の複屈折
位相差をΔとし、その複屈折主軸方位をψとしたとき、
この複屈折位相差Δ及び複屈折主軸方位ψを、
は、前記交流成分に相当する２つの直交成分をＩｘ及び
Ｉｙとし、前記直流成分をＩDCとし、前記試料の複屈折
位相差をΔとし、その複屈折主軸方位をψとしたとき、
この複屈折位相差Δ及び複屈折主軸方位ψを、
【数３】 の計算式で演算するアルゴリズムを実行するように予め
設定された演算器を備えている。
設定された演算器を備えている。
【００１７】また請求項１０記載の発明は、前記演算部
により同時に演算された前記試料の複屈折位相差及び複
屈折主軸方位を出力する出力デバイスを、前記計測手段
が更に備えている。
により同時に演算された前記試料の複屈折位相差及び複
屈折主軸方位を出力する出力デバイスを、前記計測手段
が更に備えている。
【００１８】さらに、請求項１１記載の発明に係る複屈
折測定装置は、レーザ光により測定対象の試料の複屈折
状態に関する情報を測定する構成とし、２つの互いに異
なる周波数成分を有し且つその２つの周波数成分が互い
に反対向きの円偏光となるレーザ光を発振する光源と、
この光源から上記試料を介して入射されたレーザ光の２
つの周波数成分の夫々における偏光状態の位相を９０度
変換する４分の１波長板と、この４分の１波長板を介し
て入射されたレーザ光の上記２つの周波数成分を相互に
干渉させ且つその干渉させて得られる光ビート成分を含
むレーザ光を出射する直線偏光子と、この直線偏光子を
介して入射されたレーザ光の光信号を電気信号に変換し
て検出する光電検出器と、この光電検出器が検出した電
気信号から直流成分を抽出するローパスフィルタと、上
記光電検出器が検出した電気信号から上記光ビート成分
に相当する交流成分を抽出するロックインアンプと、上
記ローパスフィルタにより抽出された直流成分及び上記
ロックインアンプにより抽出された交流成分に基づいて
上記試料の複屈折位相差及び複屈折主軸方位を同時に演
算する演算部とを備えると共に、上記演算部は、上記直
流成分をＩDCとし、上記交流成分に相当する２つの直交
成分をＩｘ及びＩｙとし、上記試料の複屈折位相差をΔ
とし、その複屈折主軸方位をψとしたとき、その複屈折
位相差Δ及び複屈折主軸方位ψを、
折測定装置は、レーザ光により測定対象の試料の複屈折
状態に関する情報を測定する構成とし、２つの互いに異
なる周波数成分を有し且つその２つの周波数成分が互い
に反対向きの円偏光となるレーザ光を発振する光源と、
この光源から上記試料を介して入射されたレーザ光の２
つの周波数成分の夫々における偏光状態の位相を９０度
変換する４分の１波長板と、この４分の１波長板を介し
て入射されたレーザ光の上記２つの周波数成分を相互に
干渉させ且つその干渉させて得られる光ビート成分を含
むレーザ光を出射する直線偏光子と、この直線偏光子を
介して入射されたレーザ光の光信号を電気信号に変換し
て検出する光電検出器と、この光電検出器が検出した電
気信号から直流成分を抽出するローパスフィルタと、上
記光電検出器が検出した電気信号から上記光ビート成分
に相当する交流成分を抽出するロックインアンプと、上
記ローパスフィルタにより抽出された直流成分及び上記
ロックインアンプにより抽出された交流成分に基づいて
上記試料の複屈折位相差及び複屈折主軸方位を同時に演
算する演算部とを備えると共に、上記演算部は、上記直
流成分をＩDCとし、上記交流成分に相当する２つの直交
成分をＩｘ及びＩｙとし、上記試料の複屈折位相差をΔ
とし、その複屈折主軸方位をψとしたとき、その複屈折
位相差Δ及び複屈折主軸方位ψを、
【数４】 の計算式で演算するように設定されている。
【００１９】さらに請求項１２記載の発明では、前記光
源は軸ゼーマンレーザから成っている。
源は軸ゼーマンレーザから成っている。
【００２０】
【作用】請求項１〜１２記載の発明に係る複屈折測定装
置は、光源により２つの互いに異なる周波数成分を有し
且つその２つの周波数成分が互いに反対向きの円偏光と
なるレーザ光が発振される。そして、検出手段により試
料の複屈折状態を反映したレーザ光の光信号が検出され
ると、計測手段により光信号に基づいて試料の少なくと
も複屈折位相差及び複屈折主軸方位が同時に計測され
る。
置は、光源により２つの互いに異なる周波数成分を有し
且つその２つの周波数成分が互いに反対向きの円偏光と
なるレーザ光が発振される。そして、検出手段により試
料の複屈折状態を反映したレーザ光の光信号が検出され
ると、計測手段により光信号に基づいて試料の少なくと
も複屈折位相差及び複屈折主軸方位が同時に計測され
る。
【００２１】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１〜図８に基づ
き説明する図１に示す複屈折測定装置は、光ビート成分
を担う光信号に基づいて複屈折情報を測定する光ヘテロ
ダイン複屈折測定法を適用したもので、左右円偏光２周
波レーザ光（以下、単に「２周波円偏光」と呼ぶ）Ｌを
発振する光源１と、この光源１で発振される２周波円偏
光Ｌにより、測定対象である試料Ｓａの複屈折状態に関
する情報を取得するための検出測定部２とを備えてい
る。
き説明する図１に示す複屈折測定装置は、光ビート成分
を担う光信号に基づいて複屈折情報を測定する光ヘテロ
ダイン複屈折測定法を適用したもので、左右円偏光２周
波レーザ光（以下、単に「２周波円偏光」と呼ぶ）Ｌを
発振する光源１と、この光源１で発振される２周波円偏
光Ｌにより、測定対象である試料Ｓａの複屈折状態に関
する情報を取得するための検出測定部２とを備えてい
る。
【００２２】光源１は、直交直線偏光２周波レーザであ
る周波数安定化横ゼーマンレーザ（以下、「ＳＴＺＬ」
と略称する）１ａと４分の１波長板１ｂとを組み合わせ
た構成で、ＳＴＺＬ１ａが生成する２周波直交直線偏光
を４分の１波長板１ｂを介して、２つの異なる周波数成
分（ｆ１、ｆ２）が互いに反対向きの円偏光（右回り及
び左回り）となる２周波円偏光Ｌに変換して発振させる
ようになっている。従って、この光源１は、２つの異な
る周波数成分の夫々が光軸を中心として互いに反対向き
に回転する２周波円偏光Ｌを、検出測定部２に向けて発
振するようになっている。
る周波数安定化横ゼーマンレーザ（以下、「ＳＴＺＬ」
と略称する）１ａと４分の１波長板１ｂとを組み合わせ
た構成で、ＳＴＺＬ１ａが生成する２周波直交直線偏光
を４分の１波長板１ｂを介して、２つの異なる周波数成
分（ｆ１、ｆ２）が互いに反対向きの円偏光（右回り及
び左回り）となる２周波円偏光Ｌに変換して発振させる
ようになっている。従って、この光源１は、２つの異な
る周波数成分の夫々が光軸を中心として互いに反対向き
に回転する２周波円偏光Ｌを、検出測定部２に向けて発
振するようになっている。
【００２３】検出測定部２は、試料Ｓａの複屈折状態を
反映する光ビート成分（周波数をωとしたとき、周波数
ωは２つの周波数成分の差（ω＝ｆ１−ｆ２）で表され
る）を担う光信号を検出するための検出部３（本発明の
検出手段を成す）と、この検出部３により検出された光
信号に基づいて試料Ｓａの複屈折を計測するための計測
部４（本発明の計測手段を成す）とを備えている。
反映する光ビート成分（周波数をωとしたとき、周波数
ωは２つの周波数成分の差（ω＝ｆ１−ｆ２）で表され
る）を担う光信号を検出するための検出部３（本発明の
検出手段を成す）と、この検出部３により検出された光
信号に基づいて試料Ｓａの複屈折を計測するための計測
部４（本発明の計測手段を成す）とを備えている。
【００２４】検出部３は、光源１の出射側の共通光路上
に配置される試料搭載用の試料ステージ５、偏光素子か
ら成る光学系６、及び光電検出器７を備えている。
に配置される試料搭載用の試料ステージ５、偏光素子か
ら成る光学系６、及び光電検出器７を備えている。
【００２５】試料ステージ５は、例えばＸＹステージか
ら成り、試料Ｓａの測定位置を光軸方向に直交する面内
での互いに直交する２方向の夫々に沿って自動又は手動
で可変設定できるようになっている。ここで、光源１か
らの２周波円偏光Ｌが試料Ｓａを透過する場合を考える
と、２つの周波数成分の夫々は、試料Ｓａが有する２つ
の主軸間の屈折率差に起因して生じる位相ずれにより楕
円偏光化する。従って、この楕円偏光化した２周波偏光
成分を担うレーザ光Ｌ１は、試料Ｓａの持つ複屈折位相
差（複屈折の大きさ）及びその主軸方位（複屈折の方
向）の情報を反映した光信号として次段の光学系６に出
射される。
ら成り、試料Ｓａの測定位置を光軸方向に直交する面内
での互いに直交する２方向の夫々に沿って自動又は手動
で可変設定できるようになっている。ここで、光源１か
らの２周波円偏光Ｌが試料Ｓａを透過する場合を考える
と、２つの周波数成分の夫々は、試料Ｓａが有する２つ
の主軸間の屈折率差に起因して生じる位相ずれにより楕
円偏光化する。従って、この楕円偏光化した２周波偏光
成分を担うレーザ光Ｌ１は、試料Ｓａの持つ複屈折位相
差（複屈折の大きさ）及びその主軸方位（複屈折の方
向）の情報を反映した光信号として次段の光学系６に出
射される。
【００２６】光学系６は、光軸方向に直交する面内の光
軸を中心として予め設定された基準方位（例えば、光源
１のＳＴＺＬ１ａが生成する互いに直交する直線偏光の
偏波面の２方向（ｘ方向及びｙ方向）の内の一方）に対
して進相軸方位が４５度となるように配置される４分の
１波長板６ａと、その４分の１波長板６ａの出射側に上
記基準方位に対して偏光透過軸方位が０度となるように
配置される直線偏光子６ｂとを備えている。
軸を中心として予め設定された基準方位（例えば、光源
１のＳＴＺＬ１ａが生成する互いに直交する直線偏光の
偏波面の２方向（ｘ方向及びｙ方向）の内の一方）に対
して進相軸方位が４５度となるように配置される４分の
１波長板６ａと、その４分の１波長板６ａの出射側に上
記基準方位に対して偏光透過軸方位が０度となるように
配置される直線偏光子６ｂとを備えている。
【００２７】これら構成により、この光学系６は、試料
Ｓａからのレーザ光Ｌ１の２周波偏光成分間の位相差を
保った状態で、その２周波偏光成分の夫々における偏光
状態の位相を４分の１波長板６ａにて９０度変換させる
と共に、その変換後のレーザ光Ｌ２の２周波偏光成分を
直線偏光子６ｂにて相互に干渉させて光ビート成分を生
成させる。この光ビート成分は、２つの周波数成分の差
の周波数ωで振動する「うなり成分」であると共に、上
記基準方位に基づいた試料Ｓａの複屈折位相差及びその
主軸方位に関する位相ずれ及び振幅変化を含む光信号と
なっている。要するに、光ビート成分の振幅と位相の情
報に試料Ｓａの複屈折位相差及び主軸方位が含まれてい
る。
Ｓａからのレーザ光Ｌ１の２周波偏光成分間の位相差を
保った状態で、その２周波偏光成分の夫々における偏光
状態の位相を４分の１波長板６ａにて９０度変換させる
と共に、その変換後のレーザ光Ｌ２の２周波偏光成分を
直線偏光子６ｂにて相互に干渉させて光ビート成分を生
成させる。この光ビート成分は、２つの周波数成分の差
の周波数ωで振動する「うなり成分」であると共に、上
記基準方位に基づいた試料Ｓａの複屈折位相差及びその
主軸方位に関する位相ずれ及び振幅変化を含む光信号と
なっている。要するに、光ビート成分の振幅と位相の情
報に試料Ｓａの複屈折位相差及び主軸方位が含まれてい
る。
【００２８】従って、直線偏光子６ｂからのレーザ光Ｌ
３は、干渉により生じた光ビート成分に試料Ｓａの複屈
折位相差及びその主軸方位を含む光信号として次段の光
電検出器７に出射される。
３は、干渉により生じた光ビート成分に試料Ｓａの複屈
折位相差及びその主軸方位を含む光信号として次段の光
電検出器７に出射される。
【００２９】光電検出器７は、フォトダイオード等のフ
ォトディテクタ（ＰＤ）から成り、直線偏光子６ｂから
のレーザ光Ｌ３の光信号を検出し、その光信号の光強度
に相当する検出信号（光電流）Ｓ１０をプリアンプ（図
示しない）等を介して計測部４にリアルタイムに出力す
る。
ォトディテクタ（ＰＤ）から成り、直線偏光子６ｂから
のレーザ光Ｌ３の光信号を検出し、その光信号の光強度
に相当する検出信号（光電流）Ｓ１０をプリアンプ（図
示しない）等を介して計測部４にリアルタイムに出力す
る。
【００３０】計測部４は、光源１から供給される光ビー
ト成分（試料入射前のそれと同じ）の周波数ω及び基準
位相を担う参照ビート信号Ｓ２０を受けて、光電検出器
７からの検出信号Ｓ１０の内の光ビート成分に相当する
交流成分Ｉｘ及びＩｙ（後述）を抽出するロックインア
ンプ８と、検出信号Ｓ１０の内の直流成分ＩDC（後述）
を抽出するローパスフィルタ９と、交流成分Ｉｘ、Ｉｙ
及び直流成分ＩDCに基づいて試料Ｓａの複屈折を演算す
る演算部１０とを備えている。
ト成分（試料入射前のそれと同じ）の周波数ω及び基準
位相を担う参照ビート信号Ｓ２０を受けて、光電検出器
７からの検出信号Ｓ１０の内の光ビート成分に相当する
交流成分Ｉｘ及びＩｙ（後述）を抽出するロックインア
ンプ８と、検出信号Ｓ１０の内の直流成分ＩDC（後述）
を抽出するローパスフィルタ９と、交流成分Ｉｘ、Ｉｙ
及び直流成分ＩDCに基づいて試料Ｓａの複屈折を演算す
る演算部１０とを備えている。
【００３１】この内、演算部１０は、演算装置（演算
器）としてのＣＰＵ１１を要部とするコンピュータ（図
示しない）を搭載して成り、そのＣＰＵ１１が予め設定
された演算アルゴリズムを実行することにより、複屈折
位相差Δ及びその主軸方位ψ（後述）を演算するように
なっている。この演算部１０には、演算結果の表示等を
行うモニタ、プリンタ等の出力デバイス１４が接続され
ている。
器）としてのＣＰＵ１１を要部とするコンピュータ（図
示しない）を搭載して成り、そのＣＰＵ１１が予め設定
された演算アルゴリズムを実行することにより、複屈折
位相差Δ及びその主軸方位ψ（後述）を演算するように
なっている。この演算部１０には、演算結果の表示等を
行うモニタ、プリンタ等の出力デバイス１４が接続され
ている。
【００３２】ここで、本発明に係る複屈折測定原理を説
明する。まず、本実施例に係る複屈折測定装置におい
て、光電検出器７からの検出信号Ｓ１０の信号特性を求
めるため、ストークスパラメータとミューラー行列とに
よる偏光の計算（例えば、応用物理学会・光学懇話会編
「結晶光学 第５章」 森北出版）を行った。
明する。まず、本実施例に係る複屈折測定装置におい
て、光電検出器７からの検出信号Ｓ１０の信号特性を求
めるため、ストークスパラメータとミューラー行列とに
よる偏光の計算（例えば、応用物理学会・光学懇話会編
「結晶光学 第５章」 森北出版）を行った。
【００３３】ストークスパラメータは、光の２方向（ｘ
及びｙ）の電界成分Ｅｘ、Ｅｙに基づいた４つの成分を
１組として偏光特性を記述するものである。一般に、光
軸に直交する面内の２方向の電界成分Ｅｘ及びＥｙの２
方向の振幅、周波数、位相の夫々をａｘ及びａｙ、ｆｘ
及びｆｙ、φｘ及びφｙとし、位相差をΦとしたとき、
ストークスパラメータの４つの成分（光強度成分をＳ
０、水平垂直直線偏光成分をＳ１、±４５度直線偏光成
分をＳ２、及び左右円偏光成分をＳ３とする）は、次式
で表現される。
及びｙ）の電界成分Ｅｘ、Ｅｙに基づいた４つの成分を
１組として偏光特性を記述するものである。一般に、光
軸に直交する面内の２方向の電界成分Ｅｘ及びＥｙの２
方向の振幅、周波数、位相の夫々をａｘ及びａｙ、ｆｘ
及びｆｙ、φｘ及びφｙとし、位相差をΦとしたとき、
ストークスパラメータの４つの成分（光強度成分をＳ
０、水平垂直直線偏光成分をＳ１、±４５度直線偏光成
分をＳ２、及び左右円偏光成分をＳ３とする）は、次式
で表現される。
【００３４】
【数５】 この（１）〜（４）式で表されるストークスパラメータ
の４つの成分は、理論値としてだけでなく実測値として
実験的にも確認できるものである。
の４つの成分は、理論値としてだけでなく実測値として
実験的にも確認できるものである。
【００３５】ミューラー行列は、４分の１波長板等の各
種の偏光素子を入射光から出射光への偏光特性の変換を
行う素子、即ち上記４つの成分（以下、「１行×４列
（Ｓ０…Ｓ３）」の行例［Ｓ］で表す）の内の少なくと
も１つを変換させる素子と見做した際の、偏光素子の偏
光特性及び光学的配置状態で定まる［４行×４列］の行
列（以下、便宜上［Ｍ］と表す）である。
種の偏光素子を入射光から出射光への偏光特性の変換を
行う素子、即ち上記４つの成分（以下、「１行×４列
（Ｓ０…Ｓ３）」の行例［Ｓ］で表す）の内の少なくと
も１つを変換させる素子と見做した際の、偏光素子の偏
光特性及び光学的配置状態で定まる［４行×４列］の行
列（以下、便宜上［Ｍ］と表す）である。
【００３６】そこで、本実施例に係る複屈折測定装置で
の光学的構成（光源１、試料Ｓａ、光学系６）におい
て、最終的に光電検出器７で検出されるレーザ光Ｌ３の
ストークスパラメータを［Ｓ］とし、光源１（ＳＴＺＬ
１ａ及び４分の１波長板１ｂ）の２周波円偏光Ｌにより
表現されるストークスパラメータを［Ｓ１］とし、試料
Ｓａのミューラー行列を［Ｍ１］とし、光学系３の４分
の１波長板６ａ及び直線偏光子６ｂのミューラー行列を
夫々［Ｍ２］及び［Ｍ３］としたとき、ストークスパラ
メータ［Ｓ］は次のベクトル計算式により求まる。
の光学的構成（光源１、試料Ｓａ、光学系６）におい
て、最終的に光電検出器７で検出されるレーザ光Ｌ３の
ストークスパラメータを［Ｓ］とし、光源１（ＳＴＺＬ
１ａ及び４分の１波長板１ｂ）の２周波円偏光Ｌにより
表現されるストークスパラメータを［Ｓ１］とし、試料
Ｓａのミューラー行列を［Ｍ１］とし、光学系３の４分
の１波長板６ａ及び直線偏光子６ｂのミューラー行列を
夫々［Ｍ２］及び［Ｍ３］としたとき、ストークスパラ
メータ［Ｓ］は次のベクトル計算式により求まる。
【００３７】
【数６】 この（５）式によるストークスパラメータ［Ｓ］の内の
光強度成分、即ち検出信号Ｓ１０に相当する成分Ｓ０
は、ベクトル計算結果（便宜上、途中計算式を省略）に
より、試料Ｓａの複屈折位相差Δ及びその主軸方位ψ
と、光源１の２周波円偏光Ｌのｘ、ｙ方向の振幅ａｘ、
ａｙ及びその周波数差ωとから、
光強度成分、即ち検出信号Ｓ１０に相当する成分Ｓ０
は、ベクトル計算結果（便宜上、途中計算式を省略）に
より、試料Ｓａの複屈折位相差Δ及びその主軸方位ψ
と、光源１の２周波円偏光Ｌのｘ、ｙ方向の振幅ａｘ、
ａｙ及びその周波数差ωとから、
【数７】 の演算式で求まることが確認された。
【００３８】そこで、上記（６）式で算出される光強度
成分Ｓ０に相当する検出信号Ｓ１０の内のローパスフィ
ルタ９で抽出される直流成分をＩDCとし、ロックインア
ンプ８で抽出される交流成分の内の直交成分をＩｘ、Ｉ
ｙとしたとき、直流成分ＩDC及び交流成分Ｉｘ、Ｉｙは
次のようになる。
成分Ｓ０に相当する検出信号Ｓ１０の内のローパスフィ
ルタ９で抽出される直流成分をＩDCとし、ロックインア
ンプ８で抽出される交流成分の内の直交成分をＩｘ、Ｉ
ｙとしたとき、直流成分ＩDC及び交流成分Ｉｘ、Ｉｙは
次のようになる。
【００３９】
【数８】
【００４０】従って、試料Ｓａの複屈折位相差Δ及びそ
の主軸方位ψは、ａｘ＝ａｙとしたとき、（７）〜
（９）式から、次の算出式で求めることができる。
の主軸方位ψは、ａｘ＝ａｙとしたとき、（７）〜
（９）式から、次の算出式で求めることができる。
【００４１】
【数９】
【００４２】ここで、実施例に戻り、演算部１０の処理
を説明すると、演算部１０は、検出信号Ｓ１０中の直流
成分ＩDC及び交流成分Ｉｘ、ＩｙをＡ／Ｄ変換器等のイ
ンタフェース（図示しない）を介してデジタル量として
取り込むと、予め上記（１０）及び（１１）式に基づい
て設定された演算アルゴリズムを実行することにより、
試料Ｓａの複屈折位相差Δ及び複屈折主軸方位ψを演算
する。
を説明すると、演算部１０は、検出信号Ｓ１０中の直流
成分ＩDC及び交流成分Ｉｘ、ＩｙをＡ／Ｄ変換器等のイ
ンタフェース（図示しない）を介してデジタル量として
取り込むと、予め上記（１０）及び（１１）式に基づい
て設定された演算アルゴリズムを実行することにより、
試料Ｓａの複屈折位相差Δ及び複屈折主軸方位ψを演算
する。
【００４３】次に、上記のように演算される複屈折位相
差及びその主軸方位の有効性に関する検証実験を試み
た。この検証実験の結果を図２〜図５に基づいて説明す
る。ここで、この検証実験にはバビネソレイユ補償器
（以下、「ＢＳＣ」と略称する）を試料として採用し
た。
差及びその主軸方位の有効性に関する検証実験を試み
た。この検証実験の結果を図２〜図５に基づいて説明す
る。ここで、この検証実験にはバビネソレイユ補償器
（以下、「ＢＳＣ」と略称する）を試料として採用し
た。
【００４４】図２は、複屈折位相差の有効性に関する検
証実験の結果を説明するものである。同図に示す検証実
験は、ＢＳＣの主軸方位を一定にした状態で、そのＢＳ
Ｃの複屈折位相差を変えたとき、即ちＢＳＣのマイクロ
メータの送りを変化させたときに得られる測定値を校正
値と比較するものである。この比較結果から、同図に示
す如く、実線で示した校正値の変化直線と○印で示した
測定値とがほぼ一致していることが確認された。
証実験の結果を説明するものである。同図に示す検証実
験は、ＢＳＣの主軸方位を一定にした状態で、そのＢＳ
Ｃの複屈折位相差を変えたとき、即ちＢＳＣのマイクロ
メータの送りを変化させたときに得られる測定値を校正
値と比較するものである。この比較結果から、同図に示
す如く、実線で示した校正値の変化直線と○印で示した
測定値とがほぼ一致していることが確認された。
【００４５】図３は、複屈折位相差の最小検出限界に関
する検証実験の結果を説明するものである。同図に示す
検証実験は、試料を配置しない状態で連続して１０回の
複屈折位相差を測定したものである。この測定結果によ
り、同図に示す如く、最小検出限界の平均値が約０．０
５４度（deg ）であることが確認された。
する検証実験の結果を説明するものである。同図に示す
検証実験は、試料を配置しない状態で連続して１０回の
複屈折位相差を測定したものである。この測定結果によ
り、同図に示す如く、最小検出限界の平均値が約０．０
５４度（deg ）であることが確認された。
【００４６】図４は、複屈折主軸方位の有効性に関する
検証実験の結果を説明するものである。同図に示す検証
実験は、ＢＳＣの複屈折位相差を一定にした状態で、Ｂ
ＳＣの主軸方位を変えたときの測定値を理想値と比較す
るものである。この比較結果から、同図に示す如く、Ｂ
ＳＣの変化させた複屈折主軸方位の理想値直線と測定値
とがほぼ一致しており、その測定誤差が約±１．２度
（deg ）であることが確認された。
検証実験の結果を説明するものである。同図に示す検証
実験は、ＢＳＣの複屈折位相差を一定にした状態で、Ｂ
ＳＣの主軸方位を変えたときの測定値を理想値と比較す
るものである。この比較結果から、同図に示す如く、Ｂ
ＳＣの変化させた複屈折主軸方位の理想値直線と測定値
とがほぼ一致しており、その測定誤差が約±１．２度
（deg ）であることが確認された。
【００４７】図５は、有効な測定速度に関する検証実験
の結果を説明するものである。同図に示す検証実験は、
データ取り込み間隔を１ｍｓと一定にして、１００回の
測定を行うことにより、ロックインアンプ（ＬＩＡ）の
時定数と測定値のばらつきの関係を調べるものである。
この実験結果により、同図に示すように、有効な測定速
度が約１００μｓ以上であることが確認された。
の結果を説明するものである。同図に示す検証実験は、
データ取り込み間隔を１ｍｓと一定にして、１００回の
測定を行うことにより、ロックインアンプ（ＬＩＡ）の
時定数と測定値のばらつきの関係を調べるものである。
この実験結果により、同図に示すように、有効な測定速
度が約１００μｓ以上であることが確認された。
【００４８】以上により、本実施例に係る複屈折装置
は、偏光素子や試料を回転させる必要がない分、測定時
間の高速化（例えば、約１００μｓ）を図ることができ
ると共に、従来の装置に比べ光学系を簡素化したにもか
かわらず、高精度の複屈折位相差（例えば、最小検出限
界の平均値が約０．０５４度）及び複屈折主軸方位（例
えば、測定誤差が約±１．２度）を同時に測定できる。
は、偏光素子や試料を回転させる必要がない分、測定時
間の高速化（例えば、約１００μｓ）を図ることができ
ると共に、従来の装置に比べ光学系を簡素化したにもか
かわらず、高精度の複屈折位相差（例えば、最小検出限
界の平均値が約０．０５４度）及び複屈折主軸方位（例
えば、測定誤差が約±１．２度）を同時に測定できる。
【００４９】このように、高精度の複屈折測定を高速に
実行できる利点を生かして、時間的に変化する変動的な
複屈折の測定に関する実験を更に試みた。この実験に使
用した試料搭載装置を図６に示す。同図の如く、この試
料搭載装置は、アクリル試料に変動的な複屈折量を与え
るもので、アクリル試料の上部から変動的に等分布荷重
を加えるためのモータ及びコイルバネを備える。従っ
て、この試料搭載装置は、モータの回転に応じてコイル
バネが伸縮し、アクリル試料の上部から等分布荷重の負
荷及び除荷を繰り返すようになっている。
実行できる利点を生かして、時間的に変化する変動的な
複屈折の測定に関する実験を更に試みた。この実験に使
用した試料搭載装置を図６に示す。同図の如く、この試
料搭載装置は、アクリル試料に変動的な複屈折量を与え
るもので、アクリル試料の上部から変動的に等分布荷重
を加えるためのモータ及びコイルバネを備える。従っ
て、この試料搭載装置は、モータの回転に応じてコイル
バネが伸縮し、アクリル試料の上部から等分布荷重の負
荷及び除荷を繰り返すようになっている。
【００５０】図７は、アクリル試料に加える荷重に対す
る複屈折位相差の応答に関する実験結果を説明するもの
である。同図に示す実験は、アクリル試料に加える荷重
を一定量毎に変化させたときの複屈折位相差の応答を測
定するものである。この測定結果により、同図に示すご
とく、一定の荷重変化に対し複屈折位相差がほぼ直線的
に変化していることが確認された。
る複屈折位相差の応答に関する実験結果を説明するもの
である。同図に示す実験は、アクリル試料に加える荷重
を一定量毎に変化させたときの複屈折位相差の応答を測
定するものである。この測定結果により、同図に示すご
とく、一定の荷重変化に対し複屈折位相差がほぼ直線的
に変化していることが確認された。
【００５１】図８は、変動的な複屈折量を与えたときの
複屈折位相差の応答に関する実験結果を説明するもので
ある。この実験は、図６に示す試料搭載装置のモータを
回転させて、アクリル試料に変動的な複屈折量を与えた
ときの測定値を、図７の実験結果から得られた理想値と
比較したものである。この比較結果から、理想値及び測
定値の夫々の振幅及び周期がほぼ一致していることが確
認された。
複屈折位相差の応答に関する実験結果を説明するもので
ある。この実験は、図６に示す試料搭載装置のモータを
回転させて、アクリル試料に変動的な複屈折量を与えた
ときの測定値を、図７の実験結果から得られた理想値と
比較したものである。この比較結果から、理想値及び測
定値の夫々の振幅及び周期がほぼ一致していることが確
認された。
【００５２】以上により、本実施例に係る複屈折測定装
置は、特に時間的に変化する変動的な複屈折の測定にお
いて、上記高速化の効果を最大限に発揮できる。
置は、特に時間的に変化する変動的な複屈折の測定にお
いて、上記高速化の効果を最大限に発揮できる。
【００５３】なお、本実施例に係る複屈折測定装置は、
光源にＳＴＺＬと４分の１波長板とを組み合わせた構成
としたが、本発明はこれに限定されるものではない。例
えば、軸ゼーマンレーザを単独に配置した光源でもよ
く、この場合は上記効果に加え、光源の構成を簡素に構
築できる利点もある。また、１つの周波数成分から成る
直線偏光レーザと偏光素子等を組み合わせた光源を適用
してもよい。要するに、光源は２周波円偏光を生成する
構成であればよい。
光源にＳＴＺＬと４分の１波長板とを組み合わせた構成
としたが、本発明はこれに限定されるものではない。例
えば、軸ゼーマンレーザを単独に配置した光源でもよ
く、この場合は上記効果に加え、光源の構成を簡素に構
築できる利点もある。また、１つの周波数成分から成る
直線偏光レーザと偏光素子等を組み合わせた光源を適用
してもよい。要するに、光源は２周波円偏光を生成する
構成であればよい。
【００５４】また、本実施例に係る複屈折測定装置は、
検出部（試料ステージ、光学系、光電検出器）を試料の
透過光を利用する共通光路上に設定したが、本発明はこ
れに限定されるものではない。例えば、検出部を試料の
反射光を利用する共通光路上に設定してもよい。また、
試料の透過光及び反射光の内の少なくとも一方を利用す
る構成であってもよい。
検出部（試料ステージ、光学系、光電検出器）を試料の
透過光を利用する共通光路上に設定したが、本発明はこ
れに限定されるものではない。例えば、検出部を試料の
反射光を利用する共通光路上に設定してもよい。また、
試料の透過光及び反射光の内の少なくとも一方を利用す
る構成であってもよい。
【００５５】さらに、本実施例に係る複屈折測定装置
は、試料の複屈折位相差Δを上記（１０）で代表される
一般式で求めたが、特定の制約条件を満足する特定の試
料を測定対象とする場合においては近似式を用いて求め
てもよい。例えば、複屈折位相差Δが微小である、即ち
Δ＜＜１の条件を満たす試料を測定対象としたとき、複
屈折位相差Δを、
は、試料の複屈折位相差Δを上記（１０）で代表される
一般式で求めたが、特定の制約条件を満足する特定の試
料を測定対象とする場合においては近似式を用いて求め
てもよい。例えば、複屈折位相差Δが微小である、即ち
Δ＜＜１の条件を満たす試料を測定対象としたとき、複
屈折位相差Δを、
【数１０】 の近似式で求めてもよい。
【００５６】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１〜１２記
載の発明に係る複屈折測定装置は、光源により２つの互
いに異なる周波数成分を有し且つその２つの周波数成分
が互いに反対向きの円偏光となるレーザ光を発振し、そ
のレーザ光の光信号を試料を介して検出し、その検出し
た光信号に基づいて試料の少なくとも複屈折位相差及び
複屈折主軸方位を同時に計測する構成としたため、装置
全体の構成を簡素に構築することができると共に、偏光
素子や試料を回転させる必要がない分、測定時間の高速
化を図ることができる。
載の発明に係る複屈折測定装置は、光源により２つの互
いに異なる周波数成分を有し且つその２つの周波数成分
が互いに反対向きの円偏光となるレーザ光を発振し、そ
のレーザ光の光信号を試料を介して検出し、その検出し
た光信号に基づいて試料の少なくとも複屈折位相差及び
複屈折主軸方位を同時に計測する構成としたため、装置
全体の構成を簡素に構築することができると共に、偏光
素子や試料を回転させる必要がない分、測定時間の高速
化を図ることができる。
【図１】実施例に係る複屈折測定装置の全体構成を示す
概略ブロック図。
概略ブロック図。
【図２】複屈折位相差の有効性に関する検証実験の結果
を説明する図。
を説明する図。
【図３】複屈折位相差の最小検出限界に関する検証実験
の結果を説明する図。
の結果を説明する図。
【図４】複屈折主軸方位の有効性に関する検証実験の結
果を説明する図。
果を説明する図。
【図５】有効な測定速度に関する検証実験の結果を説明
する図。
する図。
【図６】変動的複屈折測定に使用した試料搭載装置の概
要図。
要図。
【図７】荷重に対する複屈折位相差の応答に関する実験
結果を説明する図。
結果を説明する図。
【図８】変動的複屈折量に対する複屈折位相差の応答に
関する実験結果を説明する図。
関する実験結果を説明する図。
１ 光源 ２ 検出測定部 ３ 検出部（本発明の検出手段を成す） ４ 計測部（本発明の計測手段を成す） ５ 試料ステージ Ｓａ 試料 ６ 光学系 ６ａ ４分の１波長板 ６ｂ 直線偏光子 ７ 光電検出器 ８ ロックインアンプ ９ ローパスフィルタ １０ 演算部 １１ ＣＰＵ（演算器） １２ 出力デバイス
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−249031（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−45278（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−128946（ＪＰ，Ａ) 特公 昭59−50927（ＪＰ，Ｂ２) 特公 平６−12333（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01N 21/23 G01N 21/21 G01N 21/19
Claims (12)
- 【請求項１】 レーザ光により測定対象の試料の複屈折
状態に関する情報を測定する複屈折測定装置において、
２つの互いに異なる周波数成分を有し且つその２つの周
波数成分が互いに反対向きの円偏光となるレーザ光を発
振する光源と、この光源による当該レーザ光を上記試料
に向けて発振させることにより当該試料の上記複屈折状
態を反映したレーザ光の光信号を検出する検出手段と、
この検出手段により検出された当該光信号に基づいて上
記試料の少なくとも複屈折位相差及び複屈折主軸方位を
同時に計測する計測手段とを備えたことを特徴とする複
屈折測定装置。 - 【請求項２】 前記光源は、２つの互いに異なる周波数
成分を有し且つその２つの周波数成分が互いに直交した
直線偏光となるレーザ光を発振するレーザと４分の１波
長板とを組み合わせて成る請求項１記載の複屈折測定装
置。 - 【請求項３】 前記レーザは、周波数安定化横ゼーマン
レーザである請求項２記載の複屈折測定装置。 - 【請求項４】 前記検出手段は、前記光源により発振さ
れた上記レーザ光の当該２つの周波数成分を前記試料を
介して光学的に相互に干渉させる光学系と、この光学系
からの干渉後の光ビート成分を含むレーザ光の光信号を
電気信号に変換して検出する光電検出器とを備えた請求
項１又は２記載の複屈折測定装置。 - 【請求項５】 前記光学系は、前記光源から入射された
レーザ光の２つの周波数成分の夫々における偏光状態の
位相を９０度変換する４分の１波長板と、この４分の１
波長板を介して入射されるレーザ光の上記２つの周波数
成分を相互に干渉させ且つその干渉させて得られる光ビ
ート成分を含むレーザ光を出射する直線偏光子とを備
え、上記光源及び４分の１波長板間の光路上に前記試料
を配置するように形成した請求項４記載の複屈折測定装
置。 - 【請求項６】 前記４分の１波長板を前記レーザ光の光
軸に直交する面内の光軸を中心として予め設定された基
準方位に対して進相軸方位が４５度となる位置に配置す
る一方、前記直線偏光子を上記基準方位に対して偏光透
過軸方位が０度となる位置に配置した請求項５記載の複
屈折測定装置。 - 【請求項７】 前記光電検出器はフォトダイオードであ
る請求項４記載の複屈折測定装置。 - 【請求項８】 前記計測手段は、前記光電検出器が検出
した電気信号から直流成分を抽出するローパスフィルタ
と、上記光電検出器が検出した電気信号から前記光ビー
ト成分に相当する交流成分を抽出するロックインアンプ
と、上記ローパスフィルタにより抽出された直流成分及
び上記ロックインアンプにより抽出された交流成分に基
づいて前記試料の複屈折位相差及び複屈折主軸方位を同
時に演算する演算部とを備えた請求項４記載の複屈折測
定装置。 - 【請求項９】 前記演算部は、前記交流成分に相当する
２つの直交成分をＩｘ及びＩｙとし、前記直流成分をＩ
DCとし、前記試料の複屈折位相差をΔとし、その複屈折
主軸方位をψとしたとき、この複屈折位相差Δ及び複屈
折主軸方位ψを、 【数１】 の計算式で演算するアルゴリズムを実行するように設定
された演算器を備えた請求項８記載の複屈折測定装置。 - 【請求項１０】 前記演算部により同時に演算された前
記試料の複屈折位相差及び複屈折主軸方位を出力する出
力デバイスを、前記計測手段が更に備えた請求項８記載
の複屈折測定装置。 - 【請求項１１】 レーザ光により測定対象の試料の複屈
折状態に関する情報を測定する複屈折測定装置におい
て、２つの互いに異なる周波数成分を有し且つその２つ
の周波数成分が互いに反対向きの円偏光となるレーザ光
を発振する光源と、この光源から上記試料を介して入射
されたレーザ光の２つの周波数成分の夫々における偏光
状態の位相を９０度変換する４分の１波長板と、この４
分の１波長板を介して入射されたレーザ光の上記２つの
周波数成分を相互に干渉させ且つその干渉させて得られ
る光ビート成分を含むレーザ光を出射する直線偏光子
と、この直線偏光子を介して入射されたレーザ光の光信
号を電気信号に変換して検出する光電検出器と、この光
電検出器が検出した電気信号から直流成分を抽出するロ
ーパスフィルタと、上記光電検出器が検出した電気信号
から上記光ビート成分に相当する交流成分を抽出するロ
ックインアンプと、上記ローパスフィルタにより抽出さ
れた直流成分及び上記ロックインアンプにより抽出され
た交流成分に基づいて上記試料の複屈折位相差及び複屈
折主軸方位を同時に演算する演算部とを備えると共に、
上記演算部は、上記直流成分をＩDCとし、上記交流成分
に相当する２つの直交成分をＩｘ及びＩｙとし、上記試
料の複屈折位相差をΔとし、その複屈折主軸方位をψと
したとき、その複屈折位相差Δ及び複屈折主軸方位ψ
を、 【数２】 の計算式で演算するように設定されたことを特徴とする
複屈折測定装置。 - 【請求項１２】 前記光源は軸ゼーマンレーザから成る
請求項１記載の複屈折測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5904895A JP2828604B2 (ja) | 1995-03-17 | 1995-03-17 | 複屈折測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5904895A JP2828604B2 (ja) | 1995-03-17 | 1995-03-17 | 複屈折測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08254495A JPH08254495A (ja) | 1996-10-01 |
| JP2828604B2 true JP2828604B2 (ja) | 1998-11-25 |
Family
ID=13102052
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5904895A Expired - Fee Related JP2828604B2 (ja) | 1995-03-17 | 1995-03-17 | 複屈折測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2828604B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3679774B2 (ja) * | 2002-03-29 | 2005-08-03 | キヤノン株式会社 | 複屈折測定装置及び方法 |
| JP5375213B2 (ja) * | 2009-03-06 | 2013-12-25 | 旭硝子株式会社 | ディスプレイ用のガラス基板の製造方法およびフラットパネルディスプレイの製造方法 |
| JP2010009061A (ja) * | 2009-10-06 | 2010-01-14 | Asahi Glass Co Ltd | ディスプレイ用ガラス基板の製造方法 |
| JP5434977B2 (ja) * | 2011-07-11 | 2014-03-05 | 旭硝子株式会社 | ディスプレイ用のガラス基板の製造方法およびフラットパネルディスプレイの製造方法 |
-
1995
- 1995-03-17 JP JP5904895A patent/JP2828604B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08254495A (ja) | 1996-10-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5663793A (en) | Homodyne interferometric receiver and calibration method having improved accuracy and functionality | |
| JP6077050B2 (ja) | 原子センサシステム | |
| JPH1090175A (ja) | 測定経路内のガスの屈折率の変動を測定する装置及び方法 | |
| Yu et al. | Development of a compact, fiber-coupled, six degree-of-freedom measurement system for precision linear stage metrology | |
| JP2010038906A (ja) | 光ファイバジャイロスコープにおけるバイアス不安定性の低減 | |
| US6473181B1 (en) | Measurement of waveplate retardation using a photoelastic modulator | |
| Liu et al. | Method for the measurement of phase retardation of any wave plate with high precision | |
| JP2007057324A (ja) | 光ファイバ型計測システム | |
| US6563593B2 (en) | Dynamic angle measuring interferometer | |
| CN115727829A (zh) | 抑制碱金属极化磁场影响的操控方法及*** | |
| JPH0781915B2 (ja) | 準単色光線の偏光状態を実時間測定するための方法と装置 | |
| US5517022A (en) | Apparatus for measuring an ambient isotropic parameter applied to a highly birefringent sensing fiber using interference pattern detection | |
| JP2828604B2 (ja) | 複屈折測定装置 | |
| JP2903486B2 (ja) | 分散干渉計 | |
| Wang et al. | Two-dimensional straightness measurement based on optical knife-edge sensing | |
| Martinelli | The dynamical behavior of a single-mode optical fiber strain gage | |
| US6011402A (en) | Electro-optic apparatus and method for measuring electric-field vector | |
| Chen et al. | Alternative method for measuring the phase retardation and fast axis of a wave plate | |
| Lee et al. | A compact circular heterodyne interferometer for simultaneous measurements of variation in the magnitude of phase retardation and principal axis angle | |
| Umeda et al. | Measurement of the residual birefringence distribution in glass laser disk by transverse zeeman laser | |
| JP6989852B2 (ja) | 電界センサ | |
| JPH11351814A (ja) | 安定化干渉計測装置 | |
| Gao et al. | A 5MHz beat frequency He–Ne laser equipped with bireflectance cavity mirror | |
| JP2713190B2 (ja) | 光学特性測定装置 | |
| Liu et al. | Differential variation of laser longitudinal mode spacing induced by small intra-cavity phase anisotropies |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070918 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 10 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080918 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |